JPH10185734A - Pressure sensor module - Google Patents

Pressure sensor module

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Publication number
JPH10185734A
JPH10185734A JP34755296A JP34755296A JPH10185734A JP H10185734 A JPH10185734 A JP H10185734A JP 34755296 A JP34755296 A JP 34755296A JP 34755296 A JP34755296 A JP 34755296A JP H10185734 A JPH10185734 A JP H10185734A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
annular support
pressure
annular
housing
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP34755296A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideto Ishikawa
秀人 石川
Satoshi Nakao
悟志 中尾
Mikizo Motoki
幹三 本木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hokuriku Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Hokuriku Electric Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Priority to KR1019970707675A priority Critical patent/KR19990008150A/en
Application filed by Hokuriku Electric Industry Co Ltd filed Critical Hokuriku Electric Industry Co Ltd
Priority to JP34755296A priority patent/JPH10185734A/en
Priority to US08/945,847 priority patent/US5932808A/en
Priority to PCT/JP1997/000717 priority patent/WO1997033146A1/en
Publication of JPH10185734A publication Critical patent/JPH10185734A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a pressure sensor module for preventing water entering a pressure sensor module from a gap between the connection part of a housing and a connector body. SOLUTION: An annular support 4 is engaged to the outside of the base part of a connector body 3a. A tip surface 3f of the base part of the connector body 3a is brought into contact with a non-pressure-sensing side insulation- substrate 5a of a pressure-sensing element, and one end face 4a of the annular support 4 is brought into contact with the non-pressure-sensing side insulation- substrate 5a outside the base part of the connector body 3a. A connection part 7g1 of the housing 7 is subjected to curling machining toward the annular support 4 and the connector body 3a. An annular taper surface 4b is formed at an inner-periphery side edge part at the side of the other end face 4c of the annular support 4, and a ring-shaped packing 10 is arranged so that it contacts the taper surface 4b, an outer surface 3g2 of the base part of the connector body 3a, and an inner surface 7g2 of the connection part 7g1 of the housing 7. An annular recessed part 4d is formed at the outer-periphery surface part of the annular support 4, and an auxiliary ring-shaped packing 11 is engaged to the annular recessed part 4d.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサモジュ
ールに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure sensor module.

【0002】[0002]

【従来の技術】ガス圧力検知装置等に用いる圧力センサ
モジュールとして、圧力感知素子,回路基板,コネクタ
の一部等がハウジングに収納された構造を有するものが
知られている。圧力感知素子は、静電容量形センサ素子
からなるセンサ素子である。この圧力感知素子は、少な
くとも一方が印加圧力に対して可動または可撓性を有す
る一対のセラミック板のような絶縁性基体の対向面にそ
れぞれ対向電極を配置して対向電極間の容量の変化から
圧力の変化を検出する構造を有している。コネクタは金
属製端子部材が合成樹脂製の絶縁性材料により形成され
たコネクタ本体に固定された構造を有している。特開昭
63−19527号公報に示された圧力センサモジュー
ルでは、コネクタ本体の下端にフランジ部を一体に成形
して、このフランジ部を支持環を介して圧力感知素子の
上に積層した状態でハウジングに収納し、ハウジングの
端部でコネクタ本体のフランジ部を包むようにカーリン
グ加工(かしめ加工)している。しかしながら、フラン
ジ部を形成する絶縁性材料は耐圧強度が低いため、ハウ
ジングの端部でフランジ部を包むようにカーリング加工
をしてコネクタを取付けると、圧力感知素子及び支持環
を通して継続的にフランジ部に大きな力が加わると、コ
ネクタが外れたり、コネクタが破損するおそれがある。
そこで、特開平2−190731号公報に示す圧力セン
サモジュールでは、圧力感知素子を通して合成樹脂製の
コネクタ本体に力が加わるのを防止するために金属製の
支持部材(支持基体)を圧力感知素子とコネクタとの間
に配置して両者を絶縁している。
2. Description of the Related Art As a pressure sensor module used for a gas pressure detecting device or the like, a pressure sensor module having a structure in which a pressure sensing element, a circuit board, a part of a connector, and the like are housed in a housing is known. The pressure sensing element is a sensor element including a capacitance type sensor element. In this pressure sensing element, at least one is provided with opposing electrodes on opposing surfaces of a pair of insulating substrates, such as a pair of ceramic plates, which are movable or flexible with respect to an applied pressure. It has a structure for detecting a change in pressure. The connector has a structure in which a metal terminal member is fixed to a connector body formed of an insulating material made of synthetic resin. In the pressure sensor module disclosed in JP-A-63-19527, a flange is integrally formed at the lower end of the connector body, and the flange is laminated on the pressure sensing element via a support ring. It is housed in a housing, and is subjected to curling (caulking) so that the flange of the connector body is wrapped around the end of the housing. However, since the insulating material forming the flange portion has a low pressure resistance, when the connector is mounted by curling so as to wrap the flange portion at the end of the housing, the connector is continuously attached to the flange portion through the pressure sensing element and the support ring. When a large force is applied, the connector may be disconnected or the connector may be damaged.
Therefore, in the pressure sensor module disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-190731, a metal supporting member (supporting base) is formed as a pressure sensing element in order to prevent a force from being applied to the synthetic resin connector body through the pressure sensing element. They are arranged between the connector and insulate them.

【0003】しかしながら、金属製の支持基体を圧力感
知素子とコネクタとの間に配置すると、支持基体の厚み
分だけ全体の厚み寸法または高さ寸法が大きくなって圧
力センサモジュールのコンパクト化を図ることができな
い等の問題がある。
[0003] However, when a metal supporting base is arranged between the pressure sensing element and the connector, the entire thickness or height is increased by the thickness of the supporting base, thereby reducing the size of the pressure sensor module. There are problems such as not being able to do.

【0004】そこで、発明者は、コネクタ本体の基部の
先端面を圧力感知素子の圧力感知側絶縁性基体と接触さ
せ、環状支持体の一方の端面をコネクタ本体の基部より
も外側で圧力感知素子の圧力感知側絶縁性基体と接触さ
せた状態でコネクタ本体の基部に対してハウジングを結
合させることを提案した。具体的には、コネクタ本体の
基部の外周部に環状の肩部を一体に設けて、環状支持体
の他方の端面及びコネクタ本体の肩部の外側端面の外縁
部を包むようにハウジングの結合部をカーリング加工し
ている。このように構成すると、金属製の支持基体を圧
力感知素子とコネクタとの間に用いない分だけ圧力セン
サモジュール全体の厚み寸法または高さ寸法を小さくす
ることができる。しかも、圧力感知素子に高圧が加わっ
ても、環状支持体とコネクタ本体の両者でその圧力を分
担して受ける上、ハウジングの結合部も環状支持体とコ
ネクタ本体の両者と接触する構造を採用しているので、
コネクタ本体にはコネクタ本体を損傷される程に大きな
力が加わることはない。
Therefore, the inventor of the present invention brought the distal end face of the base of the connector body into contact with the pressure sensing side insulating base of the pressure sensing element, and placed one end face of the annular support outside the base of the connector body. It has been proposed that the housing be connected to the base of the connector body while being in contact with the pressure sensing side insulating base. Specifically, an annular shoulder is integrally provided on the outer peripheral portion of the base of the connector main body, and the coupling portion of the housing is formed so as to wrap the other end surface of the annular support and the outer edge of the outer end surface of the shoulder of the connector main body. It is curling. With this configuration, the thickness or height of the entire pressure sensor module can be reduced by the amount that the metal supporting base is not used between the pressure sensing element and the connector. Moreover, even when a high pressure is applied to the pressure sensing element, the annular support and the connector body share and receive the pressure, and the coupling portion of the housing also comes into contact with both the annular support and the connector body. So
A large force is not applied to the connector body so as to damage the connector body.

【0005】しかしながら、単に環状支持体の他方の端
面及びコネクタ本体の肩部の外側端面の外縁部を包むよ
うにハウジングの結合部をカーリング加工しただけで
は、ハウジングの結合部とコネクタ本体との間の隙間か
ら圧力センサモジュール内部に水が浸入する問題があ
る。特に圧力センサモジュール内部の信号回路基板に水
が浸入すると、短絡等の問題が発生する。そこで、発明
者は、圧力センサモジュール内部に水が浸入しないよう
に、コネクタ本体とハウジングの結合部とに跨がって合
成樹脂からなるシール層を形成することを提案した。
However, merely by curling the joint of the housing so as to wrap the other end surface of the annular support and the outer edge of the outer end surface of the shoulder of the connector main body, the gap between the joint of the housing and the connector main body cannot be obtained. There is a problem that water enters the pressure sensor module through the gap. In particular, when water enters the signal circuit board inside the pressure sensor module, a problem such as a short circuit occurs. Therefore, the inventor has proposed to form a seal layer made of a synthetic resin over the connector body and the connecting portion of the housing so that water does not enter the inside of the pressure sensor module.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このような合成樹脂か
らなるシール層を形成することにより、ある程度信頼性
の高いシールを得ることはできる。しかしながら、この
シール層を形成するためには、合成樹脂の塗布作業及び
硬化時間を考慮しなければならず、製造効率は必ずしも
高くない。また、合成樹脂からなるシール層だけでは長
時間に亘って、高いシール性を維持できるという保証が
ない。
By forming such a sealing layer made of a synthetic resin, a highly reliable seal can be obtained. However, in order to form this seal layer, it is necessary to consider the application operation and curing time of the synthetic resin, and the production efficiency is not always high. In addition, there is no guarantee that high sealing properties can be maintained for a long time using only the sealing layer made of a synthetic resin.

【0007】本発明の目的は、ハウジングの結合部とコ
ネクタ本体との間の隙間から圧力センサモジュール内部
に水が浸入するのを簡単に防ぐことができる圧力センサ
モジュールを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a pressure sensor module that can easily prevent water from entering the inside of the pressure sensor module from a gap between a coupling portion of a housing and a connector body.

【0008】本発明の他の目的は、従来よりも信頼性の
高い圧力センサモジュールを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a pressure sensor module having higher reliability than the conventional one.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、対向するよう
に配置された圧力感知側絶縁性基体及び非圧力感知側絶
縁性基体の対向面にそれぞれ対向電極を配置して対向電
極間の容量の変化から圧力の変化を検出する圧力感知素
子と、相手側コネクタの端子が接続される端子部材を有
して絶縁樹脂材料により形成されたコネクタ本体を有す
るコネクタと、コネクタ本体の基部の外側に嵌合された
環状支持体と、圧力感知素子,コネクタ本体の基部及び
環状支持体を収納する収納室,収納室と連通して圧力感
知側絶縁性基体の圧力感知面に圧力を作用させる被測定
流体を供給する高圧力流体供給路及びコネクタ本体の基
部に設けられた環状の肩部の外縁部及び環状支持体の端
面を包むようにカーリング加工される結合部とを備えた
金属製のハウジングとを具備する圧力センサモジュール
を改良の対象にする。ここで、コネクタ本体の基部に設
けられた環状の肩部は、ハウジングの結合部をカーリン
グ加工できる外縁部を有するものであればどのような形
状でもよく、圧力感知素子の非圧力感知側絶縁性基体と
接触するようにコネクタ本体の基部の下部まで延びる形
状でもよく、圧力感知素子の非圧力感知側絶縁性基体と
接触しないようにコネクタ本体の基部から外側に向って
突出するフランジ形状のものでもよい。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided a pressure sensing side insulating substrate and a non-pressure sensing side insulating substrate which are disposed so as to face each other. A pressure sensing element for detecting a change in pressure from a change in the pressure, a connector having a connector body having a terminal member to which the terminal of the mating connector is connected, and a connector body formed of an insulating resin material; The fitted annular support, the pressure sensing element, the base of the connector main body, the storage chamber for storing the annular support, and the pressure measurement surface which communicates with the storage chamber to apply pressure to the pressure sensing surface of the pressure sensing side insulating substrate. A metal housing including a high-pressure fluid supply path for supplying fluid, an outer edge of an annular shoulder provided at a base of the connector body, and a coupling portion curled so as to surround an end surface of the annular support. A pressure sensor module having a preparative be subject to improvement. Here, the annular shoulder provided at the base of the connector main body may have any shape as long as it has an outer edge portion capable of curling the connection portion of the housing, and the non-pressure sensing side insulating property of the pressure sensing element may be used. It may have a shape extending to the lower part of the base of the connector main body so as to be in contact with the base, or may have a flange shape protruding outward from the base of the connector main body so as not to contact the non-pressure sensing side insulating base of the pressure sensing element. Good.

【0010】本発明では、コネクタ本体の基部とハウジ
ングの結合部との間またはコネクタ本体の基部と環状支
持体とハウジングの結合部との間にハウジングの結合部
とコネクタ本体の基部との間に形成される隙間をシール
するリング状パッキングを配置する。
In the present invention, between the base of the connector main body and the base of the connector main body, or between the base of the connector main body and the base of the annular support and the housing. A ring-shaped packing that seals the gap formed is arranged.

【0011】リング状パッキングは、合成樹脂のシール
層を形成する場合のように、塗布作業や硬化時間を考慮
する必要がないので、本発明のように、リング状パッキ
ングを配置すれば、ハウジングの結合部とコネクタ本体
の基部との間の隙間から圧力センサモジュール内部に水
が浸入するのを防止するシール部を簡単に形成できる。
Unlike the case of forming a sealing layer of a synthetic resin, it is not necessary to consider the application work and the curing time, as in the case of forming a seal layer of a synthetic resin. A seal portion for preventing water from entering the inside of the pressure sensor module from a gap between the coupling portion and the base portion of the connector body can be easily formed.

【0012】リング状パッキングは、コネクタ本体の基
部とハウジングの結合部との間またはコネクタ本体の基
部と環状支持体とハウジングの結合部との間であれば、
どのような形態で配置しても構わない。例えば、環状支
持体の圧力感知素子と反対側の端面側の内周側縁部に、
圧力感知素子から離れるに従って径寸法が大きくなる環
状のテーパ面を形成し、このテーパ面とコネクタ本体の
基部の外面とハウジングの結合部の内面とに接触するよ
うにリング状パッキングを配置することができる。環状
支持体にはテーパ面を容易に形成できるため、リング状
パッキングを配置する空間を容易に形成できる。
The ring-shaped packing may be provided between the base of the connector main body and the connecting portion of the housing or between the base of the connector main body and the connecting portion of the annular support and the housing.
It may be arranged in any form. For example, on the inner peripheral edge on the end face side of the annular support opposite to the pressure sensing element,
It is possible to form an annular tapered surface whose diameter increases as the distance from the pressure sensing element increases, and arrange the ring-shaped packing such that the tapered surface contacts the outer surface of the base of the connector body and the inner surface of the coupling portion of the housing. it can. Since the tapered surface can be easily formed on the annular support, a space for disposing the ring-shaped packing can be easily formed.

【0013】環状支持体の外周面部とハウジングの壁部
との間には補助用リング状パッキングを更に配置させる
のが好ましい。このようにすれば、リング状パッキング
に阻止されずに環状支持体とハウジングとの間に浸入し
た水が圧力センサモジュール内部への浸入するのを阻止
できる。なお、補助用リング状パッキングは、環状支持
体の外周面部に周方向に連続する環状凹部を形成し、こ
の環状凹部に嵌合すればよい。
It is preferable that an auxiliary ring-shaped packing is further arranged between the outer peripheral surface of the annular support and the wall of the housing. With this configuration, it is possible to prevent water that has entered between the annular support and the housing from entering the pressure sensor module without being blocked by the ring-shaped packing. The auxiliary ring-shaped packing may be formed by forming an annular recess continuous in the circumferential direction on the outer peripheral surface of the annular support and fitting the annular recess.

【0014】また、コネクタ本体の基部と環状支持体と
の間に形成される隙間をシールするためにこれらの間に
第1のリング状パッキングを配置し、ハウジングと環状
支持体との間に形成される隙間をシールするためにこれ
らの間に第2のリング状パッキングを配置してもよい。
In order to seal a gap formed between the base of the connector body and the annular support, a first ring-shaped packing is disposed between the base and the annular support to form a seal between the housing and the annular support. A second ring-shaped packing may be placed between them to seal the gaps created.

【0015】この場合、コネクタ本体の基部に形成され
た環状の肩部は環状のフランジ部によって構成し、環状
支持体にはフランジ部との間に周方向に連続する環状の
パッキング嵌合空間を形成する環状の段部を形成して、
第1のリング状パッキングをパッキング嵌合空間に嵌合
する。そして、環状支持体の外周面部には周方向に連続
する環状凹部を形成して、環状凹部に第2のリング状パ
ッキングを嵌合すればよい。このようにすれば、第1の
リング状パッキングの位置決めが容易である。また、フ
ランジ部と段部との間に第1のリング状パッキングを強
く挟み込むことができるので、シール性が高くなる利点
がある。
In this case, the annular shoulder formed at the base of the connector body is constituted by an annular flange, and the annular support has an annular packing fitting space which is circumferentially continuous with the flange. Form an annular step to form,
The first ring-shaped packing is fitted into the packing fitting space. Then, an annular concave portion which is continuous in the circumferential direction is formed on the outer peripheral surface portion of the annular support, and the second ring-shaped packing may be fitted into the annular concave portion. In this way, the positioning of the first ring-shaped packing is easy. Further, since the first ring-shaped packing can be strongly sandwiched between the flange portion and the step portion, there is an advantage that the sealing performance is improved.

【0016】コネクタ本体とハウジングの結合部とに跨
がって合成樹脂からなるシール層を形成すれば、ハウジ
ングの結合部とコネクタ本体の基部との間の隙間から圧
力センサモジュール内部に水が浸入するのをより効果的
に防ぐことができ、高い信頼性を得ることができる。
If a seal layer made of synthetic resin is formed over the connecting portion between the connector body and the housing, water enters the inside of the pressure sensor module through a gap between the connecting portion of the housing and the base portion of the connector body. Can be more effectively prevented, and high reliability can be obtained.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の実施
の形態の一例の圧力センサモジュールの断面図である。
図1に示すように圧力センサモジュールはコネクタアセ
ンブリ1が圧力センサアセンブリ2に固定された構造を
有している。コネクタアセンブリ1はコネクタ3に環状
支持体4が係合された構造を有している。また圧力セン
サアセンブリ2は、圧力感知素子5と回路基板6とハウ
ジング7とから構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a pressure sensor module according to an example of an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the pressure sensor module has a structure in which a connector assembly 1 is fixed to a pressure sensor assembly 2. The connector assembly 1 has a structure in which an annular support 4 is engaged with a connector 3. The pressure sensor assembly 2 includes a pressure sensing element 5, a circuit board 6, and a housing 7.

【0018】コネクタ3は、コネクタ本体3aに3本の
端子部材3b1 ,3b2 ,3b3 (3b3 は図示せず)
がインサート成形された構造を有している。コネクタ本
体3aは、筒体3cと3本の端子部材3b1 〜3b3 が
固定された端子部材固定部3dとから構成されており、
後述するハウンジング7の材質(アルミ合金,鉄等)よ
りも高圧により変形しやすいPBT(ポリブチレンテレ
フタレート)からなる合成樹脂(絶縁樹脂材料)により
一体成形されている。筒体3cの基部(ハウジング7側
の部分)には、回路基板6を囲む基板収納凹部3eが形
成されている。基板収納凹部3eを囲む先端面3fが圧
力感知素子5の非圧力感知側絶縁性基体5aと接触して
いる。また、筒体3cの基部の外周部には径方向外側に
向かって突出する環状の肩部3gが一体に設けられてい
る。図2の部分拡大図に詳細に示すように肩部3gは、
その下端が非圧力感知側絶縁性基体5aと接触するよう
にコネクタ本体の基部の下部まで延びる形状を有してお
り、先端面3fとは反対側に環状の外側端面3g1 を有
している。端子部材3b1 〜3b3 は一方の端部が回路
基板6に電気的に接続され、他方の端部が図示しない相
手側コネクタの端子に接続される。
The connector 3 has three terminal members 3b1, 3b2, 3b3 (3b3 not shown) on a connector body 3a.
Has an insert molded structure. The connector main body 3a is composed of a cylindrical body 3c and a terminal member fixing portion 3d to which three terminal members 3b1 to 3b3 are fixed.
It is integrally formed of a synthetic resin (insulating resin material) made of PBT (polybutylene terephthalate) which is more easily deformed by high pressure than a material of a later-described housing 7 (aluminum alloy, iron, etc.). A substrate housing recess 3e surrounding the circuit board 6 is formed at the base (portion on the housing 7 side) of the cylindrical body 3c. The front end face 3f surrounding the substrate storage recess 3e is in contact with the non-pressure sensing side insulating base 5a of the pressure sensing element 5. Further, an annular shoulder 3g protruding outward in the radial direction is integrally provided on the outer peripheral portion of the base of the cylindrical body 3c. As shown in detail in the partial enlarged view of FIG.
The lower end has a shape extending to the lower part of the base of the connector main body so as to contact the non-pressure sensing side insulating base 5a, and has an annular outer end face 3g1 on the side opposite to the front end face 3f. One end of the terminal members 3b1 to 3b3 is electrically connected to the circuit board 6, and the other end is connected to a terminal of a mating connector (not shown).

【0019】環状支持体4は、一方の端面4aがコネク
タ本体3aの基部よりも外側で圧力感知素子5の非圧力
感知側絶縁性基体5aと接触するようにコネクタ本体3
aの基部の外周部を囲むように配置されている。環状支
持体4は、コネクタ本体3aの材質(PBT)よりも高
圧で変形し難いアルミ合金,鉄等からなる金属材料によ
り形成されている。図2に示すように環状支持体4の他
方の端面4c側の内周側縁部には、圧力感知素子5から
離れるに従って径寸法が大きくなる環状のテーパ面4b
が形成されている。また、環状支持体4の非圧力感知側
絶縁性基体5aに近い側の外周面部には周方向に連続す
る環状凹部4dが形成されている。
The annular support 4 is provided such that one end face 4a is in contact with the non-pressure sensing side insulating base 5a of the pressure sensing element 5 outside the base of the connector body 3a.
It is arranged so as to surround the outer peripheral portion of the base of a. The annular support 4 is formed of a metal material such as an aluminum alloy or iron that is less likely to be deformed at a higher pressure than the material (PBT) of the connector body 3a. As shown in FIG. 2, an annular tapered surface 4 b of which the radial dimension increases with distance from the pressure sensing element 5 is formed on the inner peripheral edge on the other end surface 4 c side of the annular support 4.
Are formed. Further, an annular concave portion 4d which is continuous in the circumferential direction is formed on the outer peripheral surface portion of the annular support member 4 on the side closer to the non-pressure sensing side insulating base 5a.

【0020】圧力センサアセンブリ2の圧力感知素子5
は公知の圧力感知素子である。例えば、図3の概略断面
図に示すように、セラミック基体からなる非圧力感知側
絶縁性基体5aと可撓性を有するダイヤフラムを構成す
るセラミック基体からなる圧力感知側絶縁性基体5bと
が環状のガラス層5cを介して封着された構造を有して
いる。なお、理解を容易にするため、図3はガラス層5
cの厚み寸法及び非圧力感知側絶縁性基体5aと圧力感
知側絶縁性基体5bとの間の寸法を誇張して描いてい
る。非圧力感知側絶縁性基体5a及び圧力感知側絶縁性
基体5bの対向面には、それぞれ対向電極5d,5eが
形成されている。これらの対向電極5d,5eはそれぞ
れ図示しない導電性の接続手段により回路基板6の回路
パターンに接続されている。この圧力感知素子5は、対
向電極5d,5e間の容量の変化から圧力の変化を検出
する。
The pressure sensing element 5 of the pressure sensor assembly 2
Is a known pressure sensing element. For example, as shown in the schematic sectional view of FIG. 3, the non-pressure sensing side insulating base 5a made of a ceramic base and the pressure sensing side insulating base 5b made of a ceramic base constituting a flexible diaphragm are formed in an annular shape. It has a structure sealed via a glass layer 5c. In order to facilitate understanding, FIG.
The thickness dimension of c and the dimension between the non-pressure sensing side insulating base 5a and the pressure sensing side insulating base 5b are exaggerated. Opposite electrodes 5d and 5e are formed on the opposing surfaces of the non-pressure sensing insulating substrate 5a and the pressure sensing insulating substrate 5b, respectively. These opposing electrodes 5d and 5e are connected to the circuit pattern of the circuit board 6 by conductive connecting means (not shown). The pressure sensing element 5 detects a change in pressure from a change in capacitance between the counter electrodes 5d and 5e.

【0021】回路基板6は、圧力感知素子5の非圧力感
知側絶縁性基体5aの上に配置されており、回路基板即
ち絶縁性基体6aに信号変換回路6bと接続部6c…と
を備えた構造を有している。接続部6c…は、コネクタ
3の端子部材3b1 〜3b3の一方の端部が嵌入される
雌形端子構造を有している。
The circuit board 6 is disposed on the non-pressure sensing side insulating base 5a of the pressure sensing element 5, and includes a signal conversion circuit 6b and a connecting portion 6c on the circuit board, that is, the insulating base 6a. It has a structure. The connecting portions 6c have a female terminal structure into which one ends of the terminal members 3b1 to 3b3 of the connector 3 are fitted.

【0022】ハウジング7はハウジング本体7aと高圧
力流体供給用筒体7bとが一体に成形された構造を有し
ており、このハウジング7はアルミ合金,鉄,真ちゅう
等からなる金属により形成されている。ハウジング本体
7aは、底壁部7a1 と周壁部7a2 とを有するほぼ円
筒形状をなしており、内部には収納室7cが形成されて
いる。収納室7cは圧力感知素子5が収納される圧力感
知素子収納部7dと、該圧力感知素子収納部7dに連続
して設けられて環状支持体4、回路基板6及びコネクタ
本体3aの基部を収納する支持体収納部7eとを有して
いる。支持体収納部7eが圧力感知素子収納部7dより
も大径に形成されているため、圧力感知素子収納部7d
と支持体収納部7eとの間には、環状支持体4の一方の
端面4aの外縁部を支持する支持段部7fが形成されて
いる。なお本実施例では、圧力感知素子5の圧力感知側
絶縁性基体5bと圧力感知素子収納部7dの底面(底壁
部7a1 )との間にOリング8aと、該Oリング8aの
外側に同心的に配置されたバックアップリング8bとを
備えている。このバックアップリング8bはテフロン
(商標)から形成されている。ハウジング本体7aの底
壁部7a1 の上には、Oリング8aとバックアップリン
グ8bとを収納する環状の溝が形成されている。これら
のOリング8a及びバックアップリング8bの存在によ
って圧力感知側絶縁性基体5bに圧力を作用する室が形
成されている。支持体収納部7eを囲むハウジング本体
7aの周壁部7a2 の一部を構成する壁部7gは支持体
収納部7eに収納された環状支持体4の端面4cを越え
て延びる位置まで延長されており、この延長された部分
により結合部7g1 が形成されている。図2に示すよう
に、結合部7g1 は、環状支持体4の端面4c及びコネ
クタ本体3aの肩部3gの先端面3fとは反対に位置す
る外側端面3g1 の外縁部を包むようにカーリング加工
されており、このカーリング加工された結合部7g1 と
肩部3gとの係合によりコネクタアセンブリ1は圧力セ
ンサアセンブリ2に対して取付けられる。また、この例
では、コネクタ本体3aとハウジング7の結合部7g1
とに跨がってウレタン樹脂やエポキシ樹脂からなるシー
ル層9が形成されている。
The housing 7 has a structure in which a housing body 7a and a high-pressure fluid supply cylinder 7b are integrally formed. The housing 7 is formed of a metal such as an aluminum alloy, iron, brass or the like. I have. The housing body 7a has a substantially cylindrical shape having a bottom wall 7a1 and a peripheral wall 7a2, and has a storage chamber 7c formed therein. The storage chamber 7c stores the pressure sensing element storage section 7d in which the pressure sensing element 5 is stored, and the annular support 4, the circuit board 6, and the base of the connector main body 3a provided continuously to the pressure sensing element storage section 7d. And a support storage section 7e. Since the support accommodating portion 7e is formed to be larger in diameter than the pressure sensing element accommodating portion 7d, the pressure sensing element accommodating portion 7d
A support step 7f that supports the outer edge of one end face 4a of the annular support 4 is formed between the support member 7e and the support storage portion 7e. In this embodiment, an O-ring 8a is provided between the pressure sensing side insulating base 5b of the pressure sensing element 5 and the bottom surface (bottom wall 7a1) of the pressure sensing element housing 7d, and concentric with the outside of the O-ring 8a. And a backup ring 8b that is arranged in a uniform manner. This backup ring 8b is formed of Teflon (trademark). An annular groove for accommodating the O-ring 8a and the backup ring 8b is formed on the bottom wall 7a1 of the housing body 7a. Due to the presence of the O-ring 8a and the backup ring 8b, a chamber for applying pressure to the pressure sensing side insulating base 5b is formed. The wall 7g which forms a part of the peripheral wall 7a2 of the housing body 7a surrounding the support accommodating portion 7e is extended to a position extending beyond the end face 4c of the annular support 4 accommodated in the support accommodating portion 7e. The extended portion forms a coupling portion 7g1. As shown in FIG. 2, the coupling portion 7g1 is curled so as to wrap the outer edge of the outer end surface 3g1 which is located opposite to the end surface 4c of the annular support 4 and the tip surface 3f of the shoulder 3g of the connector body 3a. The connector assembly 1 is attached to the pressure sensor assembly 2 by the engagement between the curled joint 7g1 and the shoulder 3g. Further, in this example, the connecting portion 7g1 of the connector body 3a and the housing 7 is provided.
And a seal layer 9 made of urethane resin or epoxy resin.

【0023】コネクタ本体3aの基部と環状支持体4と
ハウジング7の結合部7g1 との間には、環状支持体4
のテーパ面4bとコネクタ本体3aの基部の外面(肩部
の外面)3g2 とハウジング7の結合部7g1 の内面7
g2 とに接触するようにリング状パッキング10が配置
されている。リング状パッキング10はニトリルゴムに
より形成されており、ハウジング7の結合部7g1 とコ
ネクタ本体3aの基部との間に形成される隙間をシール
している。また、環状支持体4の環状凹部4dには、補
助用リング状パッキング11が嵌合されている。補助用
リング状パッキング11も、リング状パッキング10と
同様にニトリルゴムにより形成されている。この補助用
リング状パッキング11は、環状支持体4の外周面部と
ハウジング7の支持体収納部7eを囲む壁部7e1 との
間に配置されて、リング状パッキング10に阻止されず
に環状支持体4とハウジング7との間に浸入した水の圧
力センサモジュール内部への浸入を阻止している。
Between the base of the connector body 3a, the annular support 4 and the connecting portion 7g1 of the housing 7, the annular support 4
Tapered surface 4b, outer surface 3g2 of the base of connector body 3a (outer surface of shoulder) and inner surface 7 of coupling portion 7g1 of housing 7.
The ring-shaped packing 10 is arranged so as to contact with g2. The ring-shaped packing 10 is formed of nitrile rubber, and seals a gap formed between the joint 7g1 of the housing 7 and the base of the connector body 3a. An auxiliary ring-shaped packing 11 is fitted in the annular recess 4d of the annular support 4. The auxiliary ring-shaped packing 11 is also made of nitrile rubber like the ring-shaped packing 10. The auxiliary ring-shaped packing 11 is disposed between the outer peripheral surface of the annular support 4 and the wall 7e1 surrounding the support accommodating portion 7e of the housing 7, so that the ring-shaped packing 10 is not hindered by the ring-shaped packing 10. Water that has entered between the housing 4 and the housing 7 is prevented from entering the pressure sensor module.

【0024】高圧力流体供給用筒体7bはハウジング本
体7aより小さい径寸法の円筒形状を有しており、外周
部には捩子部7hが形成されている。高圧力流体供給用
筒体7bの内部には高圧力流体供給路7iが形成されて
いる。高圧力流体供給路7iは収納室7cと連通するよ
うに形成されており、圧力感知素子5の圧力感知側絶縁
性基体5bに圧力を作用させる高圧力流体からなる被測
定流体を供給する。
The high pressure fluid supply cylinder 7b has a cylindrical shape with a smaller diameter than the housing body 7a, and has a screw portion 7h formed on the outer periphery. A high-pressure fluid supply passage 7i is formed inside the high-pressure fluid supply cylinder 7b. The high-pressure fluid supply path 7i is formed so as to communicate with the storage chamber 7c, and supplies a fluid to be measured consisting of a high-pressure fluid that applies pressure to the pressure-sensing-side insulating base 5b of the pressure sensing element 5.

【0025】本実施例では、圧力センサモジュールを次
のようにして組み立てた。まず図4の分解断面図に示す
ように、環状支持体4のテーパ面4bとコネクタ本体3
aの基部の外面(肩部の外面)3g2 とにリング状パッ
キング10が接触し、環状支持体4の環状凹部4dに補
助用リング状パッキング11が嵌合させた状態でコネク
タ本体3aに環状支持体4を嵌合してコネクタアセンブ
リ1を作った。この状態(カーリング加工が施される前
の状態)でコネクタ本体3aの肩部3gの外側端面3g
1 は、環状支持体の他方の端面4cよりも突出してい
る。次に図4の矢印Aに示す方向にコネクタアセンブリ
1を圧力センサアセンブリ2のハウジング7内に収納す
る。この収納の際、補助用リング状パッキング11は、
環状支持体4の環状凹部4dとハウジング7の壁部7e
1 との間で押されて圧縮する。また、環状支持体4の一
方の端面4a及びコネクタ本体3aの基部の先端面3f
を圧力感知素子5の非圧力感知側絶縁性基体5aに当接
すると共に回路基板6の接続部6c…とコネクタ3の3
本の端子部材3b1 〜3b3 とを嵌合する。次にハウジ
ング7の結合部7g1 を、フランジ部3gの外側端面3
g1 の外縁部を包むように矢印Bに示す方向にかしめ加
工即ちカーリング加工して、コネクタアセンブリ1を圧
力センサアセンブリ2に固定した。このカーリング加工
の際、リング状パッキング10は、環状支持体4のテー
パ面4bとコネクタ本体3aの基部の外面(肩部の外
面)3g2 とハウジング7の結合部7g1 の内面7g2
とにより押されて圧縮する。
In this embodiment, the pressure sensor module was assembled as follows. First, as shown in the exploded sectional view of FIG. 4, the tapered surface 4b of the annular support 4 and the connector body 3
The ring-shaped packing 10 comes into contact with the outer surface (outer surface of the shoulder) 3g2 of the base portion of a, and the ring-shaped packing 11 is fitted to the annular concave portion 4d of the ring-shaped support 4 to support the ring-shaped packing 11 on the connector body 3a. The connector assembly 1 was made by fitting the body 4. In this state (the state before the curling process is performed), the outer end surface 3g of the shoulder 3g of the connector main body 3a.
1 protrudes from the other end face 4c of the annular support. Next, the connector assembly 1 is housed in the housing 7 of the pressure sensor assembly 2 in the direction indicated by arrow A in FIG. During this storage, the auxiliary ring-shaped packing 11
The annular recess 4d of the annular support 4 and the wall 7e of the housing 7
Press between 1 and compress. Also, one end face 4a of the annular support 4 and the tip end face 3f of the base of the connector body 3a
Are brought into contact with the non-pressure sensing side insulating base 5a of the pressure sensing element 5 and the connection portions 6c.
The terminal members 3b1 to 3b3 are fitted. Next, the joint 7g1 of the housing 7 is connected to the outer end face 3 of the flange 3g.
The connector assembly 1 was fixed to the pressure sensor assembly 2 by caulking or curling in the direction shown by arrow B so as to cover the outer edge of g1. At the time of this curling, the ring-shaped packing 10 includes the tapered surface 4b of the annular support 4, the outer surface 3g2 of the base of the connector body 3a (outer surface of the shoulder), and the inner surface 7g2 of the joint 7g1 of the housing 7.
Pressed by and compress.

【0026】次にコネクタ本体3aとハウジング7の結
合部7g1 とに跨がってウレタン樹脂またはエポキシ樹
脂を充填してシール層9を形成して完成した。なお、こ
の例では、コネクタ本体3aに環状支持体4を嵌合して
コネクタアセンブリ1を作り、コネクタアセンブリ1を
圧力センサアセンブリ2のハウジング7内に収納した
が、補助用リング状パッキング11を環状凹部4dに嵌
合した環状支持体4を圧力センサアセンブリ2のハウジ
ング7内に収納した後に、環状支持体4に肩部3gを係
合するようにコネクタ本体3aをハウジング7内に収納
してから環状支持体4のテーパ面4bとコネクタ本体3
aの基部の外面(肩部の外面)3g2 とに接触するよう
にリング状パッキング10を配置してもよいのは勿論で
ある。
Next, a seal layer 9 was formed by filling a urethane resin or an epoxy resin over the connector body 3a and the joint 7g1 of the housing 7, thereby completing the process. In this example, the annular support 4 is fitted to the connector body 3a to form the connector assembly 1 and the connector assembly 1 is housed in the housing 7 of the pressure sensor assembly 2. After accommodating the annular support 4 fitted into the recess 4d in the housing 7 of the pressure sensor assembly 2, the connector body 3a is accommodated in the housing 7 so that the shoulder 3g is engaged with the annular support 4 and then. Tapered surface 4b of annular support 4 and connector body 3
Of course, the ring-shaped packing 10 may be arranged so as to be in contact with the outer surface (outer surface of the shoulder) 3g2 of the base of a.

【0027】また、上記例では、環状支持体4のテーパ
面4bとコネクタ本体3aの基部の外面(肩部の外面)
3g2 とハウジング7の結合部7g1 の内面7g2 とに
接触するようにリング状パッキング10を配置したが、
ハウジング7の結合部7g1とコネクタ本体3aの基部
との間に形成される隙間をシールするものであればよ
く、コネクタ本体3aの基部とハウジング7の結合部7
g1 との間にリング状パッキングを配置しても構わな
い。その場合、コネクタ本体3aの基部、またはハウジ
ング7の結合部7g1 にリング状パッキングを配置する
環状の凹部を形成すればよい。
In the above example, the tapered surface 4b of the annular support 4 and the outer surface of the base of the connector body 3a (the outer surface of the shoulder).
The ring-shaped packing 10 is arranged so as to be in contact with 3g2 and the inner surface 7g2 of the connecting portion 7g1 of the housing 7.
Any connector may be used as long as it seals a gap formed between the joint 7g1 of the housing 7 and the base of the connector body 3a.
A ring-shaped packing may be arranged between the g1 and the g1. In that case, an annular concave portion for arranging the ring-shaped packing may be formed at the base of the connector main body 3a or the coupling portion 7g1 of the housing 7.

【0028】図5は、他の例の圧力センサモジュールの
コネクタ本体とハウジングとの結合部分を示す部分拡大
図である。この例では、コネクタ本体13aの基部と環
状支持体14との間に形成される隙間を第1のリング状
パッキング110によりシールしている。具体的には、
コネクタ本体13aの基部に環状のフランジ部13gを
形成し、環状支持体14にフランジ部13gとの間に周
方向に連続する環状のパッキング嵌合空間Sを形成する
環状の段部14bを形成する。そして、第1のリング状
パッキング110をパッキング嵌合空間Sに嵌合してい
る。更に、環状支持体14の外周面部の周方向に連続す
る環状凹部14dには、第2のリング状パッキングを構
成する補助用リング状パッキング111を嵌合してい
る。この例のようにすれば、第1のリング状パッキング
110の位置決めが容易である。また、フランジ部13
と段部14bとの間に第1のリング状パッキング110
を強く挟み込むことができるので、シール性が高くなる
利点がある。
FIG. 5 is a partially enlarged view showing a joint portion between the connector body and the housing of another example of the pressure sensor module. In this example, the gap formed between the base of the connector body 13a and the annular support 14 is sealed by the first ring-shaped packing 110. In particular,
An annular flange portion 13g is formed at the base of the connector main body 13a, and an annular step portion 14b is formed on the annular support member 14 to form an annular packing fitting space S that is continuous in the circumferential direction between the annular support portion 14 and the flange portion 13g. . Then, the first ring-shaped packing 110 is fitted in the packing fitting space S. Further, an auxiliary ring-shaped packing 111 constituting a second ring-shaped packing is fitted into an annular concave portion 14d which is continuous in the circumferential direction of the outer peripheral surface of the annular support 14. According to this example, the positioning of the first ring-shaped packing 110 is easy. The flange 13
Ring-shaped packing 110 between the step and the step 14b.
Can be strongly sandwiched, so that there is an advantage that the sealing property is enhanced.

【0029】また、上記各例では、コネクタ本体3a,
13aとハウジング7の結合部7g1 とに跨がってウレ
タン樹脂からなるシール層9を形成したが、必ずしもシ
ール層9は形成する必要はない。
In each of the above examples, the connector body 3a,
Although the seal layer 9 made of urethane resin is formed so as to extend over the connecting portion 13a and the joint 7g1 of the housing 7, the seal layer 9 is not necessarily formed.

【0030】以下、本明細書に記載した複数の発明のい
くつかについて記載する。
Hereinafter, some of the plurality of inventions described in this specification will be described.

【0031】(1) 対向するように配置された圧力感
知側絶縁性基体及び非圧力感知側絶縁性基体の対向面に
それぞれ対向電極を配置して前記対向電極間の容量の変
化から圧力の変化を検出する圧力感知素子と、相手側コ
ネクタの端子が接続される端子部材を有して絶縁樹脂材
料により形成されたコネクタ本体を有するコネクタと、
前記圧力感知素子及び前記コネクタ本体の基部を収納す
る収納室、前記収納室と連通して前記圧力感知側絶縁性
基体の圧力感知面に圧力を作用させる被測定流体を供給
する高圧力流体供給路及びカーリング加工が施されて前
記コネクタ本体の前記基部に設けられた環状の肩部と結
合される結合部とを備えた金属製のハウジングと、前記
コネクタ本体の前記基部の外側に嵌合された環状支持体
とを具備し、前記コネクタ本体の前記基部の先端面が前
記非圧力感知側絶縁性基体と接触し、前記環状支持体の
一方の端面が前記コネクタ本体の前記基部よりも外側で
前記非圧力感知側絶縁性基体と接触し、前記ハウジング
の前記収納室は、前記圧力感知素子が収納される感知素
子収納部と、前記圧力感知素子収納部に連続して設けら
れて前記環状支持体が収納される支持体収納部とを有
し、前記感知素子収納部と前記支持体収納部との間に前
記環状支持体の前記一方の端面の外縁部と接触して前記
環状支持体を支持する支持段部が形成され、前記ハウジ
ングの前記支持体収納部を囲む壁部が、前記支持体収納
部に収納された前記環状支持体の他方の端面を越えて延
びる位置まで延長されて前記結合部が構成され、前記結
合部が前記環状支持体の前記他方の端面及び前記コネク
タ本体の前記基部に設けられた前記肩部の前記基部の前
記先端面とは反対側に位置する外側端面の外縁部を包む
ようにカーリング加工されている圧力センサモジュール
において、前記ハウジングの前記結合部と前記コネクタ
本体の前記基部との間に形成される隙間をシールするリ
ング状パッキングが、前記コネクタ本体の前記基部と前
記ハウジングの前記結合部との間または前記コネクタ本
体の前記基部と前記環状支持体と前記ハウジングの前記
結合部との間に配置されていることを特徴とする圧力セ
ンサモジュール。
(1) Opposing electrodes are arranged on opposing surfaces of the pressure-sensing-side insulating base and the non-pressure-sensing-side insulating base, respectively, which are arranged so as to face each other. And a connector having a connector body formed of an insulating resin material having a terminal member to which the terminal of the mating connector is connected,
A housing chamber for housing the base of the pressure sensing element and the connector body, and a high-pressure fluid supply passage communicating with the housing chamber for supplying a fluid to be measured for applying pressure to a pressure sensing surface of the insulating body on the pressure sensing side. And a metal housing having a coupling portion which is subjected to curling processing and is coupled to an annular shoulder portion provided on the base portion of the connector main body, and fitted outside the base portion of the connector main body. An annular support, wherein the distal end surface of the base of the connector body is in contact with the non-pressure sensing side insulating substrate, and one end surface of the annular support is outside the base of the connector body. The storage chamber of the housing is in contact with the non-pressure sensing side insulating substrate, and the storage chamber of the housing is provided with a sensing element storage part in which the pressure sensing element is stored, and the annular support is provided continuously with the pressure sensing element storage part. And a support housing portion in which the annular support is supported between the sensing element housing portion and the support housing portion by contacting the outer edge of the one end surface of the annular support member. A support step portion is formed, and a wall surrounding the support housing portion of the housing is extended to a position extending beyond the other end surface of the annular support housed in the support housing portion, and the connection is performed. And an outer edge of an outer end face of the connecting portion, the other end face of the annular support and an outer end face located on a side opposite to the tip end face of the base of the shoulder provided on the base of the connector body. In a pressure sensor module that is curled so as to enclose a part, a ring-shaped packing that seals a gap formed between the coupling part of the housing and the base of the connector body is provided on the connector main body. The pressure sensor module, characterized in that it is disposed between the coupling portion between or the said base portion of said connector body and said annular support housing and said coupling portion of said base and said housing.

【0032】(2) 前記環状支持体の前記他方の端面
側の内周側縁部には、前記圧力感知素子から離れるに従
って径寸法が大きくなる環状のテーパ面が形成され、前
記リング状パッキングは前記テーパ面と前記コネクタ本
体の前記基部の外面と前記ハウジングの前記結合部の内
面とに接触するように配置されている上記(1)に記載
の圧力センサモジュール。
(2) An annular tapered surface is formed at an inner peripheral edge of the annular support on the other end surface side, the annular taper surface increasing in diameter as the distance from the pressure sensing element increases. The pressure sensor module according to (1), wherein the pressure sensor module is arranged so as to contact the tapered surface, an outer surface of the base of the connector main body, and an inner surface of the coupling portion of the housing.

【0033】(3) 前記環状支持体の外周面部と前記
ハウジングの前記支持体収納部を囲む前記壁部との間に
は補助用リング状パッキングが更に配置されていること
を特徴とする上記(1)または(2)に記載の圧力セン
サモジュール。
(3) An auxiliary ring-shaped packing is further disposed between the outer peripheral surface of the annular support and the wall surrounding the support accommodating portion of the housing. The pressure sensor module according to 1) or 2).

【0034】(4) 前記環状支持体の外周面部には周
方向に連続する環状凹部が形成され、前記環状凹部に前
記補助用リング状パッキングが嵌合されている上記
(3)に記載の圧力センサモジュール。
(4) The pressure as described in (3) above, wherein an annular concave portion is formed in the outer peripheral surface portion of the annular support body in the circumferential direction, and the auxiliary ring-shaped packing is fitted in the annular concave portion. Sensor module.

【0035】(5) 前記コネクタ本体と前記ハウジン
グの前記結合部とに跨がって合成樹脂からなるシール層
が形成されている上記(1),(2),(3)または
(4)に記載の圧力センサモジュール。
(5) In the above (1), (2), (3) or (4), a seal layer made of a synthetic resin is formed over the connector main body and the coupling portion of the housing. The pressure sensor module according to any one of the preceding claims.

【0036】[0036]

【発明の効果】リング状パッキングは、合成樹脂のシー
ル層を形成する場合のように、塗布作業や硬化時間を考
慮する必要がない。したがって、本発明によれば、リン
グ状パッキングを配置するので、ハウジングの結合部と
コネクタ本体の基部との間の隙間から圧力センサモジュ
ール内部に水が浸入するのを防止するシール部を簡単に
形成できる。
As in the case of forming a sealing layer of a synthetic resin, it is not necessary to consider the application work and the curing time in the ring-shaped packing. Therefore, according to the present invention, since the ring-shaped packing is disposed, a seal portion for preventing water from entering the inside of the pressure sensor module from the gap between the coupling portion of the housing and the base of the connector body is easily formed. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態の一例の圧力センサモジ
ュールの断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a pressure sensor module according to an example of an embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示す圧力センサモジュールの部分拡大
図である。
FIG. 2 is a partially enlarged view of the pressure sensor module shown in FIG.

【図3】 本発明の実施の形態の一例の圧力センサモジ
ュールに用いる圧力感知素子の断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a pressure sensing element used in a pressure sensor module according to an example of an embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の実施の形態の一例の圧力センサモジ
ュールの分解断面図である。
FIG. 4 is an exploded cross-sectional view of a pressure sensor module according to an example of an embodiment of the present invention.

【図5】 他の例の圧力センサモジュールの部分拡大図
である。
FIG. 5 is a partially enlarged view of another example of the pressure sensor module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3 コネクタ 3a コネクタ本体 3b1 ,3b2 端子部材 3e 基板収納凹部 3f 先端面 3g 肩部 4 環状支持体 4a 端面 4b テーパ部 5 圧力感知素子 5a 非圧力感知側絶縁性基体 5b 圧力感知側絶縁性基体 5d,5e 対向電極 6 回路基板 6c 接続部 7 ハウジング 7c 収納室 7d 感知素子収納部 7e 支持体収納部 7f 支持段部 7g1 結合部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Connector 3a Connector body 3b1, 3b2 Terminal member 3e Substrate storage recess 3f Tip surface 3g Shoulder 4 Annular support 4a End surface 4b Tapered portion 5 Pressure sensing element 5a Non-pressure sensing insulating substrate 5b Pressure sensing insulating substrate 5d 5e Counter electrode 6 Circuit board 6c Connection part 7 Housing 7c Storage room 7d Sensing element storage part 7e Support storage part 7f Support step part 7g1 Coupling part

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 対向するように配置された圧力感知側絶
縁性基体及び非圧力感知側絶縁性基体の対向面にそれぞ
れ対向電極を配置して前記対向電極間の容量の変化から
圧力の変化を検出する圧力感知素子と、 相手側コネクタの端子が接続される端子部材を有して絶
縁樹脂材料により形成されたコネクタ本体を有するコネ
クタと、 前記コネクタ本体の基部の外側に嵌合された環状支持体
と、 前記圧力感知素子,前記コネクタ本体の前記基部及び前
記環状支持体を収納する収納室,前記収納室と連通して
前記圧力感知側絶縁性基体の圧力感知面に圧力を作用さ
せる被測定流体を供給する高圧力流体供給路及び前記コ
ネクタ本体の前記基部に設けられた環状の肩部の外縁部
及び前記環状支持体の端面を包むようにカーリング加工
される結合部とを備えた金属製のハウジングとを具備す
る圧力センサモジュールにおいて、 前記ハウジングの前記結合部と前記コネクタ本体の前記
基部との間に形成される隙間をシールするリング状パッ
キングが、前記コネクタ本体の前記基部と前記ハウジン
グの前記結合部との間または前記コネクタ本体の前記基
部と前記環状支持体と前記ハウジングの前記結合部との
間に配置されていることを特徴とする圧力センサモジュ
ール。
1. A counter electrode is disposed on each of opposing surfaces of a pressure-sensing-side insulating base and a non-pressure-sensing-side insulating base, which are disposed so as to face each other. A pressure sensing element to be detected, a connector having a connector body formed of an insulating resin material having a terminal member to which a terminal of a mating connector is connected, and an annular support fitted outside the base of the connector body A body, a storage chamber for storing the pressure sensing element, the base of the connector body, and the annular support, and a measured object that communicates with the storage chamber to apply pressure to a pressure sensing surface of the pressure sensing side insulating substrate. A high-pressure fluid supply path for supplying fluid, an outer edge of an annular shoulder provided at the base of the connector body, and a connecting portion curled so as to surround an end surface of the annular support. A pressure sensor module comprising: a metal housing; a ring-shaped packing that seals a gap formed between the coupling portion of the housing and the base of the connector main body; A pressure sensor module, wherein the pressure sensor module is disposed between the coupling portion of the housing or between the base portion of the connector main body, the annular support, and the coupling portion of the housing.
【請求項2】 前記環状支持体の前記圧力感知素子と反
対側の端面側の内周側縁部には、前記圧力感知素子から
離れるに従って径寸法が大きくなる環状のテーパ面が形
成され、 前記リング状パッキングは前記テーパ面と前記コネクタ
本体の前記基部の外面と前記ハウジングの前記結合部の
内面とに接触するように配置されている請求項1に記載
の圧力センサモジュール。
2. An annular tapered surface whose diameter increases with distance from the pressure sensing element is formed at an inner peripheral side edge of the annular support opposite to the pressure sensing element on an end surface side, The pressure sensor module according to claim 1, wherein the ring-shaped packing is arranged so as to contact the tapered surface, an outer surface of the base of the connector body, and an inner surface of the coupling portion of the housing.
【請求項3】 前記環状支持体の外周面部と前記ハウジ
ングの壁部との間には補助用リング状パッキングが更に
配置されていることを特徴とする請求項1または2に記
載の圧力センサモジュール。
3. The pressure sensor module according to claim 1, wherein an auxiliary ring-shaped packing is further disposed between an outer peripheral surface of the annular support and a wall of the housing. .
【請求項4】 前記環状支持体の外周面部には周方向に
連続する環状凹部が形成され、 前記環状凹部に前記補助用リング状パッキングが嵌合さ
れている請求項3に記載の圧力センサモジュール。
4. The pressure sensor module according to claim 3, wherein an annular concave portion is formed in an outer peripheral surface portion of the annular support body in a circumferential direction, and the auxiliary ring-shaped packing is fitted in the annular concave portion. .
【請求項5】 対向するように配置された圧力感知側絶
縁性基体及び非圧力感知側絶縁性基体の対向面にそれぞ
れ対向電極を配置して前記対向電極間の容量の変化から
圧力の変化を検出する圧力感知素子と、 相手側コネクタの端子が接続される端子部材を有して絶
縁樹脂材料により形成されたコネクタ本体を有するコネ
クタと、 前記コネクタ本体の基部の外側に嵌合された環状支持体
と、 前記圧力感知素子,前記コネクタ本体の前記基部及び前
記環状支持体を収納する収納室,前記収納室と連通して
前記圧力感知側絶縁性基体の圧力感知面に圧力を作用さ
せる被測定流体を供給する高圧力流体供給路及び前記コ
ネクタ本体の前記基部に設けられた環状の肩部の外縁部
及び前記環状支持体の端面を包むようにカーリング加工
される結合部とを備えた金属製のハウジングとを具備す
る圧力センサモジュールにおいて、 前記コネクタ本体の前記基部と前記環状支持体との間に
形成される隙間をシールするためにこれらの間に第1の
リング状パッキングが配置され、また前記ハウジングと
前記環状支持体との間に形成される隙間をシールするた
めにこれらの間に第2のリング状パッキングが配置され
ていることを特徴とする圧力センサモジュール。
5. A counter electrode is disposed on each of opposing surfaces of a pressure sensing side insulating base and a non-pressure sensing side insulating base which are disposed so as to face each other, and a change in pressure is detected based on a change in capacitance between the counter electrodes. A pressure sensing element to be detected, a connector having a connector body formed of an insulating resin material having a terminal member to which a terminal of a mating connector is connected, and an annular support fitted outside the base of the connector body A body, a storage chamber for storing the pressure sensing element, the base of the connector body, and the annular support, and a measured object that communicates with the storage chamber to apply pressure to a pressure sensing surface of the pressure sensing side insulating substrate. A high-pressure fluid supply path for supplying fluid, an outer edge of an annular shoulder provided at the base of the connector body, and a connecting portion curled so as to surround an end surface of the annular support. A pressure sensor module comprising: a metal housing; a first ring-shaped packing disposed between the base and the annular support to seal a gap formed between the base and the annular support; And a second ring-shaped packing is disposed between the housing and the annular support to seal a gap formed between the housing and the annular support.
【請求項6】 前記コネクタ本体の前記基部に形成され
た前記環状の肩部は環状のフランジ部によって構成さ
れ、前記環状支持体には前記フランジ部との間に周方向
に連続する環状のパッキング嵌合空間を形成する環状の
段部が形成され、前記第1のリング状パッキングが前記
パッキング嵌合空間に嵌合され、 前記環状支持体の外周面部には周方向に連続する環状凹
部が形成され、 前記環状凹部に前記第2のリング状パッキングが嵌合さ
れている請求項5に記載の圧力センサモジュール。
6. The annular shoulder formed on the base of the connector main body is constituted by an annular flange, and the annular support is annularly continuous between the annular support and the flange. An annular step portion that forms a fitting space is formed, the first ring-shaped packing is fitted into the packing fitting space, and a circumferentially continuous annular concave portion is formed on the outer peripheral surface of the annular support. The pressure sensor module according to claim 5, wherein the second ring-shaped packing is fitted in the annular concave portion.
【請求項7】 前記コネクタ本体と前記ハウジングの前
記結合部とに跨がって合成樹脂からなるシール層が形成
されている請求項1,2,3,4,5または6に記載の
圧力センサモジュール。
7. The pressure sensor according to claim 1, wherein a seal layer made of a synthetic resin is formed over the connector main body and the connecting portion of the housing. module.
JP34755296A 1996-03-07 1996-12-26 Pressure sensor module Withdrawn JPH10185734A (en)

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JP34755296A JPH10185734A (en) 1996-12-26 1996-12-26 Pressure sensor module
US08/945,847 US5932808A (en) 1996-03-07 1997-03-07 Pressure sensor module having dual insulating substrates on the pressure sensing and non-pressure sensing sides
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006145468A (en) * 2004-11-24 2006-06-08 Nagano Keiki Co Ltd Sealing structure of sensor, and sealing method of sensor
JP2016009576A (en) * 2014-06-24 2016-01-18 日本航空電子工業株式会社 Waterproof connector
JP2022516096A (en) * 2018-12-27 2022-02-24 サーム-オー-ディスク・インコーポレイテッド Pressure sensor assembly and method for manufacturing pressure sensor assembly

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