JPH10185525A - 磁気ヘッド浮上量測定装置 - Google Patents
磁気ヘッド浮上量測定装置Info
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- JPH10185525A JPH10185525A JP8341701A JP34170196A JPH10185525A JP H10185525 A JPH10185525 A JP H10185525A JP 8341701 A JP8341701 A JP 8341701A JP 34170196 A JP34170196 A JP 34170196A JP H10185525 A JPH10185525 A JP H10185525A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】透明ディスク１０の一方面側に磁気ヘッド２０
を、他方面側に光照射手段１１と光検出手段１２とをそ
れぞれ配置してなり、上記透明ディスク１０を回転させ
て磁気ヘッド２０を浮上させながら、上記光照射手段１
１より透明ディスク１０を介して磁気ヘッド２０に照射
した光の反射光１４を検出して磁気ヘッド２０の浮上量
ｈを測定するようにした装置において、透明ディスク１
０の寿命を長くするとともに、薄く軽量化し、かつ磁気
ヘッド２０の浮上量ｈを小さくしても静電気による悪影
響を防止する。 【解決手段】透明ディスク１０を単結晶サファイアで形
成する。
を、他方面側に光照射手段１１と光検出手段１２とをそ
れぞれ配置してなり、上記透明ディスク１０を回転させ
て磁気ヘッド２０を浮上させながら、上記光照射手段１
１より透明ディスク１０を介して磁気ヘッド２０に照射
した光の反射光１４を検出して磁気ヘッド２０の浮上量
ｈを測定するようにした装置において、透明ディスク１
０の寿命を長くするとともに、薄く軽量化し、かつ磁気
ヘッド２０の浮上量ｈを小さくしても静電気による悪影
響を防止する。 【解決手段】透明ディスク１０を単結晶サファイアで形
成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
で用いる磁気ヘッドの浮上量を測定するための装置に関
する。
で用いる磁気ヘッドの浮上量を測定するための装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置は、円盤状の基体上に
磁性膜を形成してなる磁気ディスクを記録媒体として用
い、記録再生を行うための磁気ヘッドを上記磁気ディス
ク上に配置して構成される。そして、停止時には上記磁
気ヘッドは磁気ディスクに接触しているが、駆動時に磁
気ディスクを高速回転させると、磁気ヘッドのスライダ
ーに備えられた負圧発生溝によって磁気ヘッドが浮上し
て非接触状態となり、微小な浮上量を保ったままで記録
再生を行うようになっている。また、近年、高密度記録
を行うために、上記磁気ヘッドの浮上量は１００ｎｍ以
下と極めて微小なものが求められている。
磁性膜を形成してなる磁気ディスクを記録媒体として用
い、記録再生を行うための磁気ヘッドを上記磁気ディス
ク上に配置して構成される。そして、停止時には上記磁
気ヘッドは磁気ディスクに接触しているが、駆動時に磁
気ディスクを高速回転させると、磁気ヘッドのスライダ
ーに備えられた負圧発生溝によって磁気ヘッドが浮上し
て非接触状態となり、微小な浮上量を保ったままで記録
再生を行うようになっている。また、近年、高密度記録
を行うために、上記磁気ヘッドの浮上量は１００ｎｍ以
下と極めて微小なものが求められている。
【０００３】ところで、このような磁気ディスク装置を
製造する場合、予め磁気ヘッドの浮上量が所定の値とな
るかどうかを測定する必要があり、この場合には磁気ヘ
ッド浮上量測定装置が用いられる。
製造する場合、予め磁気ヘッドの浮上量が所定の値とな
るかどうかを測定する必要があり、この場合には磁気ヘ
ッド浮上量測定装置が用いられる。
【０００４】この装置は、図１に示すように、本来の磁
気ディスクの代わりにガラス等からなる透明ディスク１
０を用い、この透明ディスク１０の一方面側に測定対象
の磁気ヘッド２０を配置し、他方面側に光照射手段１１
と、光検出手段１２を備えたものである。そして、磁気
ヘッド２０は通常は透明ディスク１０に接触するが、透
明ディスク１０を高速回転させると浮上し、この状態で
光照射手段１１より透明ディスク１０を介して磁気ヘッ
ド２０に向けて出射光１３を照射し、この出射光１３が
透明ディスク１０の磁気ヘッド２０側の主面１０ａで反
射した反射光１４ａと磁気ヘッド２０での反射光１４ｂ
を光検出手段１２で受光し、両反射光１４ａ、１４ｂの
位相差による干渉を利用して、磁気ヘッド２０の浮上量
ｈを測定できるようになっている。
気ディスクの代わりにガラス等からなる透明ディスク１
０を用い、この透明ディスク１０の一方面側に測定対象
の磁気ヘッド２０を配置し、他方面側に光照射手段１１
と、光検出手段１２を備えたものである。そして、磁気
ヘッド２０は通常は透明ディスク１０に接触するが、透
明ディスク１０を高速回転させると浮上し、この状態で
光照射手段１１より透明ディスク１０を介して磁気ヘッ
ド２０に向けて出射光１３を照射し、この出射光１３が
透明ディスク１０の磁気ヘッド２０側の主面１０ａで反
射した反射光１４ａと磁気ヘッド２０での反射光１４ｂ
を光検出手段１２で受光し、両反射光１４ａ、１４ｂの
位相差による干渉を利用して、磁気ヘッド２０の浮上量
ｈを測定できるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記磁気ヘッド浮上量
測定装置において、回転中は磁気ヘッド２０が浮上する
が、回転開始時と停止時には磁気ヘッド２０が透明ディ
スク１０に接触し摺動することになる。そのため、ガラ
ス製の透明ディスク１０では磁気ヘッド２０との摺動に
よる摩耗が激しく、１週間程度の使用で傷により反射光
１４の読み取りが困難になるため、交換する必要があっ
た。そのため、手間がかかるだけでなく、測定値の信頼
性が劣るという問題があった。
測定装置において、回転中は磁気ヘッド２０が浮上する
が、回転開始時と停止時には磁気ヘッド２０が透明ディ
スク１０に接触し摺動することになる。そのため、ガラ
ス製の透明ディスク１０では磁気ヘッド２０との摺動に
よる摩耗が激しく、１週間程度の使用で傷により反射光
１４の読み取りが困難になるため、交換する必要があっ
た。そのため、手間がかかるだけでなく、測定値の信頼
性が劣るという問題があった。
【０００６】また、ガラス製の透明ディスク１０は剛性
が低いため、高速回転時に変形しやすいことから、薄く
して軽量化することが困難であった。
が低いため、高速回転時に変形しやすいことから、薄く
して軽量化することが困難であった。
【０００７】さらに、ガラス製の透明ディスク１０を用
いて、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを数十ｎｍまで小さく
すると、透明ディスク１０が静電気により帯電してしま
い、磁気ヘッド２０に悪影響を及ぼすという問題もあっ
た。特に、磁気ヘッド２０の高密度化が進むにつれて、
ＩＤ（インダクティブ）ヘッドからＭＲ（磁気抵抗）ヘ
ッドへと移行しており、このＭＲヘッドは静電気に弱い
ため、浮上量ｈが２０〜４０ｎｍになると確実に静電気
によるダメージを受けてしまうという問題があった。
いて、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを数十ｎｍまで小さく
すると、透明ディスク１０が静電気により帯電してしま
い、磁気ヘッド２０に悪影響を及ぼすという問題もあっ
た。特に、磁気ヘッド２０の高密度化が進むにつれて、
ＩＤ（インダクティブ）ヘッドからＭＲ（磁気抵抗）ヘ
ッドへと移行しており、このＭＲヘッドは静電気に弱い
ため、浮上量ｈが２０〜４０ｎｍになると確実に静電気
によるダメージを受けてしまうという問題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、光の干
渉を利用して磁気ヘッドの浮上量を測定する装置におい
て、透光体からなる透明ディスクを単結晶サファイアで
形成したことを特徴とする。
渉を利用して磁気ヘッドの浮上量を測定する装置におい
て、透光体からなる透明ディスクを単結晶サファイアで
形成したことを特徴とする。
【０００９】また、本発明は、上記透明ディスクの主面
をＣ面と一致させたことを特徴とする。
をＣ面と一致させたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明によれば、透明ディスクを高硬度の単結
晶サファイアで形成したため、磁気ヘッドとの摺動によ
る傷がつきにくく、長期間良好に使用できる。また、単
結晶サファイアは剛性が高いため、高速回転時に変形し
にくく、透明ディスクを薄く軽量化することができる。
しかも、磁気ヘッドの浮上量が小さくなるほど、短波長
の光を用いる必要があるが、単結晶サファイアは短波長
光に対しても充分な透光性を示している。
晶サファイアで形成したため、磁気ヘッドとの摺動によ
る傷がつきにくく、長期間良好に使用できる。また、単
結晶サファイアは剛性が高いため、高速回転時に変形し
にくく、透明ディスクを薄く軽量化することができる。
しかも、磁気ヘッドの浮上量が小さくなるほど、短波長
の光を用いる必要があるが、単結晶サファイアは短波長
光に対しても充分な透光性を示している。
【００１１】さらに、透明ディスクの主面を単結晶サフ
ァイアのＣ面と一致させれば、複屈折の影響をなくし、
正確な浮上量測定を行うことができる。
ァイアのＣ面と一致させれば、複屈折の影響をなくし、
正確な浮上量測定を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を図によっ
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１に示す磁気ヘッド浮上量測定装置は、
本来の磁気ディスクの代わりに透明ディスク１０を用
い、この透明ディスク１０の一方面側に磁気ヘッド２０
を配置し、他方面側に光照射手段１１と、光検出手段１
２を備えたものである。そして、磁気ヘッド２０は通常
は透明ディスク１０に接触するが、透明ディスク１０を
１万回転／分程度で高速回転させれば浮上し、この状態
で光照射手段１１より出射光１３を照射し、この出射光
１２が透明ディスク１０の磁気ヘッド２０側の主面１０
ａで反射した反射光１４ａと磁気ヘッド２０での反射光
１４ｂを光検出手段１２で受光し、両反射光１４ａ、１
４ｂの干渉を利用して、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを測
定することができる。
本来の磁気ディスクの代わりに透明ディスク１０を用
い、この透明ディスク１０の一方面側に磁気ヘッド２０
を配置し、他方面側に光照射手段１１と、光検出手段１
２を備えたものである。そして、磁気ヘッド２０は通常
は透明ディスク１０に接触するが、透明ディスク１０を
１万回転／分程度で高速回転させれば浮上し、この状態
で光照射手段１１より出射光１３を照射し、この出射光
１２が透明ディスク１０の磁気ヘッド２０側の主面１０
ａで反射した反射光１４ａと磁気ヘッド２０での反射光
１４ｂを光検出手段１２で受光し、両反射光１４ａ、１
４ｂの干渉を利用して、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを測
定することができる。
【００１４】なお、図１では斜め方向に光を照射した
が、図２に示すように、ビームスプリッタ１５を用いて
出射光１３と反射光１４を同一方向で逆向きとなるよう
にすることもできる。
が、図２に示すように、ビームスプリッタ１５を用いて
出射光１３と反射光１４を同一方向で逆向きとなるよう
にすることもできる。
【００１５】そして、本発明では、上記透明ディスク１
０を単結晶サファイアにより形成してある。ここで、単
結晶サファイアとは、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）の単結晶
体であり、表１に一般的なガラス（白板ガラスＢＫ−
７、石英ガラス）と比較した特性を示すように、硬度、
剛性が極めて高く透光性に優れた材質である。
０を単結晶サファイアにより形成してある。ここで、単
結晶サファイアとは、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）の単結晶
体であり、表１に一般的なガラス（白板ガラスＢＫ−
７、石英ガラス）と比較した特性を示すように、硬度、
剛性が極めて高く透光性に優れた材質である。
【００１６】そのため、単結晶サファイア製の透明ディ
スク１０を用いれば、回転開始時や停止時に磁気ヘッド
２０と摺動しても、傷がつきにくく、耐薬品性等にも優
れて鋳ることから長期間良好に使用することができる。
しかも、剛性が高いことから、高速回転時に変形しにく
く、薄く形成して軽量化することが可能である。
スク１０を用いれば、回転開始時や停止時に磁気ヘッド
２０と摺動しても、傷がつきにくく、耐薬品性等にも優
れて鋳ることから長期間良好に使用することができる。
しかも、剛性が高いことから、高速回転時に変形しにく
く、薄く形成して軽量化することが可能である。
【００１７】なお、上記効果を奏するためには、透明デ
ィスク１０を成す単結晶サファイアとして、Ａｌ2 Ｏ3
含有量９９．９９重量％以上、ビッカース硬度２０００
ｋｇ／ｍｍ2 以上、ヤング率４×１０4 ｋｇ／ｍｍ2 以
上のものを用いることが好ましい。
ィスク１０を成す単結晶サファイアとして、Ａｌ2 Ｏ3
含有量９９．９９重量％以上、ビッカース硬度２０００
ｋｇ／ｍｍ2 以上、ヤング率４×１０4 ｋｇ／ｍｍ2 以
上のものを用いることが好ましい。
【００１８】また、単結晶サファイアからなる透明ディ
スク１０は、表面精度が良好であり、欠陥がなく、非磁
性であるため磁気ヘッド２０に悪影響を与えにくい。
スク１０は、表面精度が良好であり、欠陥がなく、非磁
性であるため磁気ヘッド２０に悪影響を与えにくい。
【００１９】
【表１】
【００２０】また、この磁気ヘッド浮上量測定装置にお
いて、磁気ヘッド２０の浮上量ｈが小さくなるほど測定
には短波長の光を用いる必要があるが、単結晶サファイ
アからなる透明ディスク１０は短波長の光に対しても透
過性に優れている。
いて、磁気ヘッド２０の浮上量ｈが小さくなるほど測定
には短波長の光を用いる必要があるが、単結晶サファイ
アからなる透明ディスク１０は短波長の光に対しても透
過性に優れている。
【００２１】また、単結晶サファイアには、図３に示す
ようにＣ軸、Ａ軸、Ｒ軸等の結晶軸と、各結晶軸に垂直
なＣ面、Ａ面、Ｒ面等の各種の結晶方位が存在するが、
この透明ディスク１０では、主面１０ａをＣ面と一致さ
せている。ここでＣ面と一致するとは、主面１０ａがＣ
面（０００１）±２°であることを言い、これによって
出射光１３及び反射光１４の複屈折を防止してある。
ようにＣ軸、Ａ軸、Ｒ軸等の結晶軸と、各結晶軸に垂直
なＣ面、Ａ面、Ｒ面等の各種の結晶方位が存在するが、
この透明ディスク１０では、主面１０ａをＣ面と一致さ
せている。ここでＣ面と一致するとは、主面１０ａがＣ
面（０００１）±２°であることを言い、これによって
出射光１３及び反射光１４の複屈折を防止してある。
【００２２】即ち、単結晶サファイアの正常光に対する
屈折率Ｎｏ、異常光に対する屈折率Ｎｅは、 Ｎｏ＝１．７６８ Ｎｅ＝１．７６０ であり、種々実験の結果、単結晶サファイアのＣ面に垂
直に入射した光は正常光となってＮｏの屈折率となる
が、その他の面に入射した光は異常光となってＮｅの屈
折率となり、屈折率Ｎｏとの差によって複屈折を生じる
ことを見出した。そのため、透明ディスク１０の主面１
０ａをＣ面以外にすると、上記複屈折によって正常な光
路とのずれが生じ、測定誤差となってしまう。これに対
し、透明ディスク１０の主面１０ａをＣ面と一致させれ
ば、複屈折がないことから、正確な測定が可能となるの
である。
屈折率Ｎｏ、異常光に対する屈折率Ｎｅは、 Ｎｏ＝１．７６８ Ｎｅ＝１．７６０ であり、種々実験の結果、単結晶サファイアのＣ面に垂
直に入射した光は正常光となってＮｏの屈折率となる
が、その他の面に入射した光は異常光となってＮｅの屈
折率となり、屈折率Ｎｏとの差によって複屈折を生じる
ことを見出した。そのため、透明ディスク１０の主面１
０ａをＣ面以外にすると、上記複屈折によって正常な光
路とのずれが生じ、測定誤差となってしまう。これに対
し、透明ディスク１０の主面１０ａをＣ面と一致させれ
ば、複屈折がないことから、正確な測定が可能となるの
である。
【００２３】また、正確な測定を行うためには、上記主
面１０ａは表面粗さ（中心線平均粗さＲａ）０．０１μ
ｍ以下、平面度５μｍ以下の滑らかな面とすることが好
ましく、さらに透明ディスク１０外周面の真円度は２０
μｍ以下とすることが好ましい。
面１０ａは表面粗さ（中心線平均粗さＲａ）０．０１μ
ｍ以下、平面度５μｍ以下の滑らかな面とすることが好
ましく、さらに透明ディスク１０外周面の真円度は２０
μｍ以下とすることが好ましい。
【００２４】しかも、上記単結晶サファイア製の透明デ
ィスク１０を用いれば、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを小
さくした時に生じる静電気の帯電を防止することができ
る。この理由は必ずしも明確ではないが、以下のように
考えられる。即ち、磁気ヘッド２０が微小浮上した状態
で透明ディスク１０が高速回転した際に、空気の摩擦に
よって透明ディスク１０表面に静電気が発生すると考え
られる。この時、単結晶サファイア自体がガラスに比べ
て静電気が発生しにくい材質であり、しかも透明ディス
ク１０表面の極微細構造を見ると、ガラスに比べて単結
晶サファイアの方が極微小な凹凸が存在していることに
より、静電気が発生しにくいのではないかと考えられ
る。
ィスク１０を用いれば、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを小
さくした時に生じる静電気の帯電を防止することができ
る。この理由は必ずしも明確ではないが、以下のように
考えられる。即ち、磁気ヘッド２０が微小浮上した状態
で透明ディスク１０が高速回転した際に、空気の摩擦に
よって透明ディスク１０表面に静電気が発生すると考え
られる。この時、単結晶サファイア自体がガラスに比べ
て静電気が発生しにくい材質であり、しかも透明ディス
ク１０表面の極微細構造を見ると、ガラスに比べて単結
晶サファイアの方が極微小な凹凸が存在していることに
より、静電気が発生しにくいのではないかと考えられ
る。
【００２５】このような、単結晶サファイア製の透明デ
ィスク１０は、ＥＦＧ法等により、溶融アルミナから種
子結晶を引き上げる方法によって製造することができ
る。この時金型の形状、種子結晶の結晶方位を調整し
て、主面がＣ面となる板状に引き上げた後、円盤形状に
加工し、表面を研磨することによって本発明の透明ディ
スク１０を得ることができる。
ィスク１０は、ＥＦＧ法等により、溶融アルミナから種
子結晶を引き上げる方法によって製造することができ
る。この時金型の形状、種子結晶の結晶方位を調整し
て、主面がＣ面となる板状に引き上げた後、円盤形状に
加工し、表面を研磨することによって本発明の透明ディ
スク１０を得ることができる。
【００２６】また、図１、２に示す磁気ヘッド浮上量測
定装置において、出射光１３としては可視光線や紫外線
を用い、光照射手段１１は光源とミラーやレンズ等から
構成され、上記光源としては水銀ランプやハロゲンラン
プ等を用いる。さらに、複数種の出射光１３を用いるこ
ともでき、例えば、赤（波長５８０ｎｍ）、緑（波長５
４６ｎｍ）、青（波長４３６ｎｍ）の３色のレーザー光
を同時に照射し、干渉縞を光検出手段１２で測定するこ
ともできる。
定装置において、出射光１３としては可視光線や紫外線
を用い、光照射手段１１は光源とミラーやレンズ等から
構成され、上記光源としては水銀ランプやハロゲンラン
プ等を用いる。さらに、複数種の出射光１３を用いるこ
ともでき、例えば、赤（波長５８０ｎｍ）、緑（波長５
４６ｎｍ）、青（波長４３６ｎｍ）の３色のレーザー光
を同時に照射し、干渉縞を光検出手段１２で測定するこ
ともできる。
【００２７】一方、光検出手段１２は、画像を検知する
ＴＶカメラ、分光放射計、及びデータを解析するコンピ
ュータ等から構成される。
ＴＶカメラ、分光放射計、及びデータを解析するコンピ
ュータ等から構成される。
【００２８】以上のような本発明の磁気ヘッド浮上量測
定装置は、特に磁気ヘッド２０の浮上量ｈが１００ｎｍ
以下であるような微小浮上量の測定に特に好適に使用す
ることができる。
定装置は、特に磁気ヘッド２０の浮上量ｈが１００ｎｍ
以下であるような微小浮上量の測定に特に好適に使用す
ることができる。
【００２９】
【実施例】本発明実施例として、図１に示す透明ディス
ク１０を単結晶サファイアで作製し、その寸法は直径７
６．２ｍｍ（３インチ）、厚み１．８ｍｍとした。一
方、比較例として、同じ寸法の透明ディスク１０を白板
ガラス（ＢＫ−７）と石英ガラスでそれぞれ作製した。
ク１０を単結晶サファイアで作製し、その寸法は直径７
６．２ｍｍ（３インチ）、厚み１．８ｍｍとした。一
方、比較例として、同じ寸法の透明ディスク１０を白板
ガラス（ＢＫ−７）と石英ガラスでそれぞれ作製した。
【００３０】図１に示す磁気ヘッド浮上量測定装置とし
て、レーザー光を用いた光照射手段１１を有し、磁気ヘ
ッド２０としてＭＲヘッドを用いたものを用意し、上記
の各透明ディスク１０を組み込んで試験を行った。
て、レーザー光を用いた光照射手段１１を有し、磁気ヘ
ッド２０としてＭＲヘッドを用いたものを用意し、上記
の各透明ディスク１０を組み込んで試験を行った。
【００３１】まず、透明ディスク１０の回転数を１２０
００回転／分として、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを変化
させた時に、静電気による磁気ヘッド２０のダメージの
有無を調べた。結果は、表２に示すように、磁気ヘッド
２０の浮上量ｈが４０ｎｍ以下になると、比較例である
ガラス製の透明ディスク１０を用いたものは静電気によ
るダメージを受けた。これに対し、単結晶サファイア製
の透明ディスク１０を用いた本発明実施例では、全く静
電気によるダメージは受けなかった。
００回転／分として、磁気ヘッド２０の浮上量ｈを変化
させた時に、静電気による磁気ヘッド２０のダメージの
有無を調べた。結果は、表２に示すように、磁気ヘッド
２０の浮上量ｈが４０ｎｍ以下になると、比較例である
ガラス製の透明ディスク１０を用いたものは静電気によ
るダメージを受けた。これに対し、単結晶サファイア製
の透明ディスク１０を用いた本発明実施例では、全く静
電気によるダメージは受けなかった。
【００３２】
【表２】
【００３３】次に、上記と同じ各種の透明ディスク１０
を用いて使用試験を行い、透明ディスク１０の傷による
読み取り不良が生じるまでの使用期間を調べた。結果は
表３に示すように、比較例では１週間の使用で寿命とな
ったのに対し、本発明実施例では６カ月使用しても問題
なく、寿命を格段に長くできることがわかる。
を用いて使用試験を行い、透明ディスク１０の傷による
読み取り不良が生じるまでの使用期間を調べた。結果は
表３に示すように、比較例では１週間の使用で寿命とな
ったのに対し、本発明実施例では６カ月使用しても問題
なく、寿命を格段に長くできることがわかる。
【００３４】
【表３】
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、透明ディ
スクの一方面側に磁気ヘッドを、他方面側に光照射手段
と光検出手段とをそれぞれ配置してなり、上記透明ディ
スクを回転させて磁気ヘッドを浮上させながら、上記光
照射手段から透明ディスクを介して照射した光の反射光
を検出して磁気ヘッドの浮上量を測定するようにした装
置において、上記透明ディスクを単結晶サファイアで形
成したことによって、透明ディスクの寿命を長くできる
とともに、薄く軽量化することができ、しかも磁気ヘッ
ド浮上量を小さくしても静電気による悪影響を防止でき
る。
スクの一方面側に磁気ヘッドを、他方面側に光照射手段
と光検出手段とをそれぞれ配置してなり、上記透明ディ
スクを回転させて磁気ヘッドを浮上させながら、上記光
照射手段から透明ディスクを介して照射した光の反射光
を検出して磁気ヘッドの浮上量を測定するようにした装
置において、上記透明ディスクを単結晶サファイアで形
成したことによって、透明ディスクの寿命を長くできる
とともに、薄く軽量化することができ、しかも磁気ヘッ
ド浮上量を小さくしても静電気による悪影響を防止でき
る。
【００３６】さらに、上記透明ディスクの主面をＣ面と
一致させたことによって、複屈折による誤差の発生を防
止し、極めて高精度の測定を行うことができる。
一致させたことによって、複屈折による誤差の発生を防
止し、極めて高精度の測定を行うことができる。
【図１】磁気ヘッド浮上量測定装置の概略構造を示して
おり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面
図である。
おり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面
図である。
【図２】磁気ヘッド浮上量測定装置の他の実施形態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】単結晶サファイアの結晶方位を示す図である。
１０：透明ディスク １０ａ：主面 １１：光照射手段 １２：光検出手段 １３：出射光 １４：反射光 ２０：磁気ヘッド
Claims (2)
- 【請求項１】透明ディスクの一方面側に磁気ヘッドを、
他方面側に光照射手段と光検出手段とをそれぞれ配置し
てなり、上記透明ディスクを回転させて磁気ヘッドを浮
上させながら、上記光照射手段より透明ディスクを介し
て磁気ヘッドへ照射した光の反射光を検出して磁気ヘッ
ドの浮上量を測定するようにした装置であって、上記透
明ディスクを単結晶サファイアで形成したことを特徴と
する磁気ヘッド浮上量測定装置。 - 【請求項２】上記透明ディスクの主面を単結晶サファイ
アのＣ面と一致させたことを特徴とする請求項１記載の
磁気ヘッド浮上量測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8341701A JPH10185525A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 磁気ヘッド浮上量測定装置 |
| US08/994,846 US6246475B1 (en) | 1996-12-20 | 1997-12-19 | Measuring apparatus of flying height of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8341701A JPH10185525A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 磁気ヘッド浮上量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185525A true JPH10185525A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18348116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8341701A Pending JPH10185525A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 磁気ヘッド浮上量測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6246475B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10185525A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002184845A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | ウエハー支持基板 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716704B1 (ko) * | 2004-03-03 | 2007-05-14 | 산요덴키가부시키가이샤 | 퇴적 두께 측정 방법, 재료층의 형성 방법, 퇴적 두께 측정장치 및 재료층의 형성 장치 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4862414A (en) * | 1986-06-11 | 1989-08-29 | Kuehnle Manfred R | Optoelectronic recording tape or strip comprising photoconductive layer on thin, monocrystalline, flexible sapphire base |
| US5063538A (en) * | 1989-08-30 | 1991-11-05 | Kuehnle Manfred R | Optoelectronic signal recording medium and method of making same |
| WO1997022121A1 (en) * | 1995-12-12 | 1997-06-19 | Phase Metrics | A variable pneumatic loader for testing a disk drive head gimbal assembly |
| US5831733A (en) * | 1996-02-28 | 1998-11-03 | Zygo Corporation | Apparatus and methods for measuring gaps while compensating for birefringence effects in the measurement path |
| US5619331A (en) * | 1996-07-26 | 1997-04-08 | Samsung Electronics, Ltd. | Monitoring the effect of read/write element on the effective optical constants of the Al2 O3 film by using a reflectometer |
| US5781299A (en) * | 1996-09-24 | 1998-07-14 | Phase Metrics | Determining the complex refractive index phase offset in interferometric flying height testing |
| US5767964A (en) * | 1997-03-07 | 1998-06-16 | Phase Metrics | Slider for calibration and correlation of flying height testers |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP8341701A patent/JPH10185525A/ja active Pending
-
1997
- 1997-12-19 US US08/994,846 patent/US6246475B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002184845A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | ウエハー支持基板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6246475B1 (en) | 2001-06-12 |
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