JPH10172143A - Production of thin film medium and its producing device - Google Patents
Production of thin film medium and its producing deviceInfo
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- JPH10172143A JPH10172143A JP32833796A JP32833796A JPH10172143A JP H10172143 A JPH10172143 A JP H10172143A JP 32833796 A JP32833796 A JP 32833796A JP 32833796 A JP32833796 A JP 32833796A JP H10172143 A JPH10172143 A JP H10172143A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、金属薄膜型の磁
気記録テープ等の薄膜媒体の製造方法およびその製造装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a thin film medium such as a metal thin film type magnetic recording tape and an apparatus for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】高密度記録に適した金属薄膜型の磁気記
録テープは、通常、カールしていることが多い。そし
て、このカールは、磁気ヘッドとの当たりを悪くするこ
とから、除去することが要望されている。したがって、
このカールを除去するために、例えば、加熱ロールによ
ってカールを除去することが試みられている。2. Description of the Related Art Metal thin-film magnetic recording tapes suitable for high-density recording are usually curled in many cases. Then, it is required to remove the curl because the curl deteriorates the contact with the magnetic head. Therefore,
In order to remove the curl, for example, an attempt has been made to remove the curl using a heating roll.
【0003】しかしながら、このような加熱手段では、
従来より熱じわの発生が多くみられ、薄膜媒体の品質を
低下させる原因となっていた。[0003] However, with such a heating means,
The generation of hot wrinkles has been observed more frequently than before, which has been a cause of deteriorating the quality of the thin film medium.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この熱じわの原因に
は、例えば、加熱ロールと薄膜媒体との間の空気の咬み
込みによる加熱むらや、加熱ロール出側で薄膜媒体が急
激に冷却されることによる薄膜媒体の急激な収縮が考え
られ、完全な加熱手段は実用化されていなかった。この
発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、熱じ
わの発生を防止した薄膜媒体の製造方法およびその製造
装置を提供することを目的とする。The causes of the thermal wrinkles include, for example, uneven heating caused by air entrapment between the heating roll and the thin film medium, and the thin film medium being rapidly cooled on the exit side of the heating roll. Due to this, rapid shrinkage of the thin film medium is considered, and a perfect heating means has not been put to practical use. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a thin-film medium in which generation of heat wrinkles is prevented and a manufacturing apparatus therefor.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】請求項1は、基板上に薄
膜を設けてなる薄膜媒体の製造方法であって、減圧真空
中で、連続する複数個の加熱ロールに、薄膜媒体の表面
および裏面を交互に添接させて薄膜媒体を走行させる加
熱工程を含むことを特徴とするものである。請求項1記
載の薄膜媒体の製造方法によると、減圧真空中で薄膜媒
体の表裏面を加熱ロールに交互に添接させて走行するの
で、薄膜媒体と加熱ロールとの間における空気の咬み込
みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロールに密着し、薄膜媒体へ
の熱の移動が速やかかつ均一に行われる。また、減圧真
空下では、加熱ロールから送出された薄膜媒体からの空
気による熱の逃げがなく、薄膜媒体の急激な冷却による
急激な収縮を防止できる。A first aspect of the present invention is a method of manufacturing a thin film medium comprising a thin film provided on a substrate, the method comprising: The method includes a heating step of running the thin-film medium with the back surface alternately attached. According to the method for manufacturing a thin film medium according to the first aspect, since the thin film medium travels while alternately contacting the front and back surfaces of the thin film medium with the heating roll in a reduced-pressure vacuum, air entrapment between the thin film medium and the heating roll is reduced. This prevents the thin-film medium from coming into intimate contact with the heating roll, so that heat can be quickly and uniformly transferred to the thin-film medium. Further, under reduced pressure vacuum, there is no escape of heat due to air from the thin film medium sent out from the heating roll, and it is possible to prevent rapid shrinkage due to rapid cooling of the thin film medium.
【0006】請求項2は、基板上に薄膜を設けてなる薄
膜媒体の製造装置であって、減圧真空槽と、この減圧真
空槽内に配設された連続する複数個の加熱ロールと、こ
れら複数個の加熱ロールに表面および裏面を交互に添接
させて薄膜媒体を走行させる走行手段とを備えたことを
特徴とするものである。請求項2記載の薄膜媒体の製造
装置によると、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロ
ールに交互に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱
ロールとの間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体
が加熱ロールに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やか
かつ均一に行われる。また、減圧真空下では、加熱ロー
ルから送出された薄膜媒体からの空気による熱の逃げが
なく、薄膜媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止で
きる。According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a thin film medium comprising a thin film provided on a substrate, a reduced-pressure vacuum tank, a plurality of continuous heating rolls disposed in the reduced-pressure vacuum tank, Running means for running the thin-film medium with the front and back surfaces alternately attached to the plurality of heating rolls. According to the apparatus for manufacturing a thin film medium according to claim 2, since the thin film medium travels while being alternately attached to the heating roll in a reduced pressure vacuum, air entrapment between the thin film medium and the heating roll is reduced. This prevents the thin-film medium from coming into intimate contact with the heating roll, so that heat can be quickly and uniformly transferred to the thin-film medium. Further, under reduced pressure vacuum, there is no escape of heat due to air from the thin film medium sent out from the heating roll, and it is possible to prevent rapid shrinkage due to rapid cooling of the thin film medium.
【0007】請求項3は、基板上に薄膜を設けてなる薄
膜媒体の製造装置であって、真空中で基板上に薄膜を設
けて薄膜媒体とする成膜手段と、減圧真空槽と、この減
圧真空槽内に配設された連続する複数個の加熱ロール
と、これら複数個の加熱ロールに表面および裏面を交互
に添接させて薄膜媒体を走行させる走行手段とを備えた
ことを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a thin film medium comprising a thin film provided on a substrate, a film forming means for providing a thin film on a substrate in vacuum to form a thin film medium, a reduced-pressure vacuum tank, A plurality of continuous heating rolls arranged in a reduced-pressure vacuum tank, and a traveling means for traveling the thin film medium by alternately adhering the front and back surfaces to the plurality of heating rolls, Is what you do.
【0008】請求項3記載の薄膜媒体の製造装置による
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。According to the apparatus for manufacturing a thin film medium according to the third aspect, since the thin film medium travels while being alternately attached to the heating roll in a reduced pressure vacuum, the air flowing between the thin film medium and the heating roll is reduced. Biting is prevented, the thin-film medium comes into close contact with the heating roll, and heat is transferred to the thin-film medium quickly and uniformly. Further, under reduced pressure vacuum, there is no escape of heat due to air from the thin film medium sent out from the heating roll, and it is possible to prevent rapid shrinkage due to rapid cooling of the thin film medium.
【0009】[0009]
第1の実施の形態 この発明の第1の実施の形態における薄膜媒体の製造方
法およびその製造装置について、図1を用いて説明す
る。図1において、1は加熱装置、2は薄膜媒体、3は
供給側ロール、4はニップロール、5は第1加熱ロー
ル、6は第2加熱ロール、7は第3加熱ロール、8は巻
取側ロール、9は減圧真空槽である。なお、供給側ロー
ル3,ニップロール4,巻取側ロール8にて走行手段を
構成している。First Embodiment A method and an apparatus for manufacturing a thin film medium according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, 1 is a heating device, 2 is a thin film medium, 3 is a supply side roll, 4 is a nip roll, 5 is a first heating roll, 6 is a second heating roll, 7 is a third heating roll, and 8 is a winding side. The roll 9 is a vacuum chamber. The running means is constituted by the supply roll 3, the nip roll 4, and the winding roll 8.
【0010】薄膜媒体2は、例えば、基板上に金属薄膜
を設けてなる磁気記録テープである。加熱装置1の減圧
真空槽9内を10-2〜10-4Torr程度の真空度のも
のに排気した後、供給側ロール3より送出される薄膜媒
体2を第1加熱ロール5に添接させる。このとき、薄膜
媒体2を第1加熱ロール5とニップロール4とで挟むよ
うに、ばね,油圧シリンダ,エアシリンダ等の付勢部材
4aにより付勢する。そして、第1加熱ロール5より送
出された薄膜媒体2を第2加熱ロール6に添接させる。
このとき、第1加熱ロール5に添接する薄膜媒体2の一
方の面とは逆の他方の面が第2加熱ロール6に添接す
る。さらに、第2加熱ロール6より送出された薄膜媒体
2を第3加熱ロール7に添接させる。このとき、第2加
熱ロール6に添接する薄膜媒体2の一方の面とは逆の他
方の面が第3加熱ロール7に添接する。つぎに、第3加
熱ロール7より送出された薄膜媒体2を巻取側ロール8
に巻取っていく。The thin film medium 2 is, for example, a magnetic recording tape in which a metal thin film is provided on a substrate. After the inside of the vacuum chamber 9 of the heating device 1 is evacuated to a vacuum degree of about 10 -2 to 10 -4 Torr, the thin film medium 2 sent from the supply roll 3 is brought into contact with the first heating roll 5. . At this time, the thin film medium 2 is urged by an urging member 4a such as a spring, a hydraulic cylinder, or an air cylinder so as to be sandwiched between the first heating roll 5 and the nip roll 4. Then, the thin film medium 2 sent from the first heating roll 5 is brought into contact with the second heating roll 6.
At this time, the other surface opposite to the one surface of the thin film medium 2 that is in contact with the first heating roll 5 is in contact with the second heating roll 6. Further, the thin film medium 2 sent from the second heating roll 6 is brought into contact with the third heating roll 7. At this time, the other surface opposite to the one surface of the thin film medium 2 that is in contact with the second heating roll 6 is in contact with the third heating roll 7. Next, the thin-film medium 2 sent from the third heating roll 7 is taken up by the winding roll 8.
And roll it up.
【0011】以上説明した構成の薄膜媒体の製造装置に
おける薄膜媒体の製造方法について説明する。加熱工程
において、供給側ロール3および巻取側ロール8には巻
取力を与え、薄膜媒体2にテンションが掛かった状態、
すなわち第1加熱ロール5,第2加熱ロール6および第
3加熱ロール7に薄膜媒体2が圧着された状態で薄膜媒
体2を走行させる。A method for manufacturing a thin film medium in the apparatus for manufacturing a thin film medium having the above-described configuration will be described. In the heating step, a winding force is applied to the supply-side roll 3 and the winding-side roll 8 so that tension is applied to the thin-film medium 2.
That is, the thin-film medium 2 is run with the thin-film medium 2 pressed against the first heating roll 5, the second heating roll 6, and the third heating roll 7.
【0012】このとき、減圧真空槽9内は10-2〜10
-4Torr程度の真空下にあり、薄膜媒体2にはテンシ
ョンが掛かり各加熱ロール5,6,7に薄膜媒体2が圧
着しており、さらに薄膜媒体2はニップロール4により
第1加熱ロール5に圧着しているので、薄膜媒体2と第
1加熱ロール5との間、薄膜媒体2と第2加熱ロール6
との間および薄膜媒体2と第3加熱ロール7との間の密
着は極めて良く、熱の移動は速やかに均一に行われる。At this time, the inside of the vacuum chamber 9 is 10 −2 to 10.
Under a vacuum of about -4 Torr, tension is applied to the thin film medium 2, and the thin film medium 2 is pressed against each of the heating rolls 5, 6, 7. Because of the pressure bonding, the thin film medium 2 and the second heating roll 6 are located between the thin film medium 2 and the first heating roll 5.
And between the thin film medium 2 and the third heating roll 7 are extremely good, and the heat transfer is performed quickly and uniformly.
【0013】ここで、第1加熱ロール5,第2加熱ロー
ル6および第3加熱ロール7の温度を薄膜媒体2の基板
の材質(PET,PEN,アラミド等)に適した温度に
設定し、薄膜媒体2に急激な温度変化が加わらないよう
にする。このように構成された薄膜媒体の製造方法およ
びその製造装置によると、減圧真空中で薄膜媒体2の表
裏面を加熱ロール5,6,7に交互に添接させて走行す
るので、薄膜媒体2と加熱ロール5,6,7との間にお
ける空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体2が加熱ロール
5,6,7に密着し、薄膜媒体2への熱の移動が速やか
かつ均一に行われる。Here, the temperature of the first heating roll 5, the second heating roll 6, and the third heating roll 7 is set to a temperature suitable for the material (PET, PEN, aramid, etc.) of the substrate of the thin film medium 2, and Abrupt temperature changes are not applied to the medium 2. According to the method and apparatus for manufacturing a thin film medium configured as described above, the thin film medium 2 travels while being alternately attached to the heating rolls 5, 6, and 7 in a reduced-pressure vacuum. And the heating rolls 5, 6, and 7 are prevented from being caught by air, the thin film medium 2 comes into close contact with the heating rolls 5, 6, and 7, and heat is transferred to the thin film medium 2 quickly and uniformly.
【0014】さらに、減圧真空槽9内は10-2〜10-4
Torr程度の真空下にあるので、各加熱ロールよ5,
6,7り送出された薄膜媒体2からの空気による熱の逃
げがなく、これに起因して薄膜媒体2が急激に冷却され
ることによる温度低下がなく、薄膜媒体2の急激な収縮
を防止できる。よって、加熱むらや熱収縮による熱じわ
が発生せず、薄膜媒体2のカール除去が効率よく行え
る。Further, the pressure in the vacuum chamber 9 is 10 -2 to 10 -4.
Because it is under a vacuum of about Torr,
There is no escape of heat due to air from the thin film medium 2 which has been sent out, and there is no temperature drop due to rapid cooling of the thin film medium 2 due to this, and rapid contraction of the thin film medium 2 is prevented. it can. Therefore, heat wrinkles due to uneven heating and heat shrinkage do not occur, and the curl of the thin film medium 2 can be efficiently removed.
【0015】なお、減圧真空槽9内の真空度が上がって
いれば、薄膜媒体2への影響が考えられるニップロール
4は使用する必要がない。また、加熱ロール5,6,7
は、この例では3個であるが、基板の材質にもよるが、
2個以上であれば良い。第2の実施の形態この発明の第
2の実施の形態における薄膜媒体の製造方法およびその
製造装置について、図2を用いて説明する。If the degree of vacuum in the vacuum chamber 9 is increased, it is not necessary to use the nip roll 4 which may affect the thin film medium 2. Heating rolls 5, 6, 7
Is three in this example, but depending on the material of the substrate,
It suffices if it is two or more. Second Embodiment A method and an apparatus for manufacturing a thin film medium according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【0016】図2において、1は加熱装置、2は薄膜媒
体、3は供給側ロール、4はニップロール、5は第1加
熱ロール、6は第2加熱ロール、7は第3加熱ロール、
8は巻取側ロール、9は減圧真空槽であり、11は蒸着
装置、12は基板、13は冷却キャンロール、14は遮
蔽板、15は酸素ガス供給ノズル、16はルツボ、17
はルツボ16内に供給された磁性金属材料、18は電子
銃、19は真空槽である。なお、蒸着装置11にて成膜
手段を構成している。In FIG. 2, 1 is a heating device, 2 is a thin film medium, 3 is a supply roll, 4 is a nip roll, 5 is a first heating roll, 6 is a second heating roll, 7 is a third heating roll,
8 is a take-up roll, 9 is a vacuum chamber, 11 is a vapor deposition device, 12 is a substrate, 13 is a cooling can roll, 14 is a shield plate, 15 is an oxygen gas supply nozzle, 16 is a crucible, 17
Is a magnetic metal material supplied into the crucible 16, 18 is an electron gun, and 19 is a vacuum chamber. Note that a film forming unit is configured by the vapor deposition device 11.
【0017】このように構成された薄膜媒体の製造装置
において、蒸着装置11の真空槽19内を10-4〜10
-6Torr程度の真空度のものに排気した後、電子銃1
8からのビーム加熱によりルツボ16内の磁性金属材料
17を溶融して蒸発させる。ここで、供給側ロール3よ
り送出される基板12を冷却キャンロール13に添接さ
せて走行させ、この添接する基板12に対して0.05
〜1μm厚の磁性金属材料17を蒸着させ、薄膜媒体2
を成膜する。このとき、供給側ロール3には巻取力を与
え、基板12にテンションが掛かった状態で薄膜媒体2
を成膜する。この薄膜媒体2の形成に際して、蒸着部分
に酸素ガス供給ノズル15から酸素を供給し、強制酸化
させることによって薄膜媒体2の表層部分を酸化させ、
酸化膜による保護膜を形成する。In the apparatus for manufacturing a thin film medium configured as described above, the inside of the vacuum chamber 19 of the vapor deposition apparatus 11 is set to 10 −4 to 10 −4.
After evacuating to a vacuum of about -6 Torr,
The magnetic metal material 17 in the crucible 16 is melted and evaporated by the beam heating from 8. Here, the substrate 12 delivered from the supply-side roll 3 is caused to travel while being in contact with the cooling can roll 13, and the substrate 12 to be in contact with the cooling can roll 13 is moved by 0.05 mm.
A magnetic metal material 17 having a thickness of about 1 μm
Is formed. At this time, a take-up force is applied to the supply-side roll 3, and the thin-film medium 2
Is formed. At the time of forming the thin film medium 2, oxygen is supplied to the deposition portion from the oxygen gas supply nozzle 15, and the surface portion of the thin film medium 2 is oxidized by forced oxidation,
A protective film made of an oxide film is formed.
【0018】また、加熱装置1の減圧真空槽9内は10
-2〜10-4Torr程度の真空度のものに排気してい
る。以下の構成については、前記第1の実施の形態と同
様である。第1の実施の形態では供給ロール3より送出
される薄膜媒体2を第1加熱ロール5に添接させるのに
対し、本実施の形態では蒸着装置11より供給される薄
膜媒体2を第1加熱ロール5に添接させる点が異なるに
過ぎず、その他の基本的な技術は同じなので、詳細な説
明は省略する。The pressure in the vacuum chamber 9 of the heating device 1 is 10
The air is evacuated to a vacuum degree of about -2 to 10 -4 Torr. The following configuration is the same as in the first embodiment. In the first embodiment, the thin film medium 2 supplied from the supply roll 3 is brought into contact with the first heating roll 5, whereas in the present embodiment, the thin film medium 2 supplied from the vapor deposition device 11 is subjected to the first heating. The only difference is that the roll 5 is attached to the roll 5 and the other basic techniques are the same.
【0019】以上説明した構成の薄膜媒体の製造装置に
おける薄膜媒体の製造方法について説明する。上記蒸着
工程において、磁性金属材料17を蒸着させ、薄膜媒体
2を成膜するに際して、蒸着部分に過大な熱が加わって
いる。しかし、薄膜媒体2は冷却キャンロール13に添
接されて走行しているので、蒸着による熱は冷却キャン
ロール13や走行系の金属ロール等により奪われるが、
薄膜媒体2が急速に常温程度まで冷却されると、薄膜媒
体2が熱収縮し熱じわが発生する。そこで、急激な冷却
が起きないように、続く加熱工程において、徐々に冷却
するようにする。A method for manufacturing a thin film medium in the apparatus for manufacturing a thin film medium having the above-described configuration will be described. In the above vapor deposition step, when the magnetic metal material 17 is vapor-deposited and the thin film medium 2 is formed, excessive heat is applied to the vapor-deposited portion. However, since the thin film medium 2 runs while being attached to the cooling can roll 13, heat generated by vapor deposition is removed by the cooling can roll 13 and a traveling metal roll.
When the thin-film medium 2 is rapidly cooled to about room temperature, the thin-film medium 2 contracts heat and generates wrinkles. Therefore, in the subsequent heating step, cooling is performed gradually so that rapid cooling does not occur.
【0020】まず、巻取側ロール8に巻取力を与え、薄
膜媒体2にテンションが掛かった状態、すなわち第1加
熱ロール5,第2加熱ロール6および第3加熱ロール7
に薄膜媒体2が圧着された状態で薄膜媒体2を走行させ
る。このとき、減圧真空槽9内は10-2〜10-4Tor
r程度の真空下にあり、薄膜媒体2にはテンションが掛
かり各加熱ロール5,6,7に薄膜媒体2が圧着してお
り、さらに薄膜媒体2はニップロール4により第1加熱
ロール5に圧着しているので、薄膜媒体2と第1加熱ロ
ール5との間、薄膜媒体2と第2加熱ロール6との間お
よび薄膜媒体2と第3加熱ロール7との間の密着は極め
て良く、熱の移動は速やかに均一に行われる。First, a winding force is applied to the winding roll 8 to apply tension to the thin film medium 2, that is, the first heating roll 5, the second heating roll 6, and the third heating roll 7
The thin film medium 2 is caused to run in a state where the thin film medium 2 is pressure-bonded. At this time, the pressure inside the vacuum chamber 9 is 10 −2 to 10 −4 Torr.
Under a vacuum of about r, the tension is applied to the thin-film medium 2 and the thin-film medium 2 is pressed against each of the heating rolls 5, 6, and 7, and the thin-film medium 2 is pressed against the first heating roll 5 by the nip roll 4. Therefore, the adhesion between the thin film medium 2 and the first heating roll 5, between the thin film medium 2 and the second heating roll 6, and between the thin film medium 2 and the third heating roll 7 are extremely good. The movement is performed quickly and uniformly.
【0021】ここで、第1加熱ロール5,第2加熱ロー
ル6および第3加熱ロール7の温度を適切な温度に設定
し、薄膜媒体2に急激な温度変化が加わらないようにす
る。このように構成された薄膜媒体の製造方法およびそ
の製造装置によると、減圧真空中で薄膜媒体2の表裏面
を加熱ロール5,6,7に交互に添接させて走行するの
で、薄膜媒体2と加熱ロール5,6,7との間における
空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体2が加熱ロール5,
6,7に密着し、薄膜媒体2への熱の移動が速やかかつ
均一に行われる。Here, the temperatures of the first heating roll 5, the second heating roll 6, and the third heating roll 7 are set to appropriate temperatures so that a rapid temperature change is not applied to the thin film medium 2. According to the method and apparatus for manufacturing a thin film medium configured as described above, the thin film medium 2 travels while being alternately attached to the heating rolls 5, 6, and 7 in a reduced-pressure vacuum. To prevent air from being trapped between the heating rolls 5, 6, and 7, and
6 and 7, the heat is transferred to the thin film medium 2 quickly and uniformly.
【0022】さらに、減圧真空槽9内は10-2〜10-4
Torr程度の真空下にあるので、各加熱ロールよ5,
6,7り送出された薄膜媒体2からの空気による熱の逃
げがなく、これに起因して薄膜媒体2が急激に冷却され
ることによる温度低下がなく、薄膜媒体2の急激な収縮
を防止できる。よって、蒸着工程において、加熱むらや
熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜媒体2のカール除
去が効率よく行える。Further, the pressure in the vacuum chamber 9 is 10 -2 to 10 -4.
Because it is under a vacuum of about Torr,
There is no escape of heat due to air from the thin film medium 2 which has been sent out, and there is no temperature drop due to rapid cooling of the thin film medium 2 due to this, and rapid contraction of the thin film medium 2 is prevented. it can. Therefore, in the vapor deposition process, heat wrinkles due to uneven heating and heat shrinkage do not occur, and the curl of the thin film medium 2 can be efficiently removed.
【0023】[0023]
【発明の効果】請求項1記載の薄膜媒体の製造方法によ
ると、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交
互に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールと
の間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロ
ールに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一
に行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送
出された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄
膜媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よ
って、加熱むらや熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜
媒体のカール除去が効率よく行え、熱じわのない品質の
良い薄膜媒体が得られる。According to the method for manufacturing a thin-film medium according to the first aspect, the thin-film medium travels while alternately contacting the front and back surfaces of the thin-film medium with the heating roll in a reduced-pressure vacuum. Air is prevented from being trapped, the thin-film medium comes into close contact with the heating roll, and heat is transferred to the thin-film medium quickly and uniformly. Further, under reduced pressure vacuum, there is no escape of heat due to air from the thin film medium sent out from the heating roll, and it is possible to prevent rapid shrinkage due to rapid cooling of the thin film medium. Accordingly, no thermal wrinkles due to uneven heating or thermal shrinkage are generated, the curl of the thin film medium can be efficiently removed, and a high quality thin film medium without thermal wrinkles can be obtained.
【0024】請求項2記載の薄膜媒体の製造装置による
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よっ
て、加熱むらや熱収縮による熱じわが発生せず、薄膜媒
体のカール除去が効率よく行え、熱じわのない品質の良
い薄膜媒体が得られる。According to the apparatus for manufacturing a thin film medium according to the second aspect, since the thin film medium travels while being alternately attached to the heating roll under reduced pressure vacuum, the air between the thin film medium and the heating roll is moved. Biting is prevented, the thin-film medium comes into close contact with the heating roll, and heat is transferred to the thin-film medium quickly and uniformly. Further, under reduced pressure vacuum, there is no escape of heat due to air from the thin film medium sent out from the heating roll, and it is possible to prevent rapid shrinkage due to rapid cooling of the thin film medium. Accordingly, no thermal wrinkles due to uneven heating or thermal shrinkage are generated, the curl of the thin film medium can be efficiently removed, and a high quality thin film medium without thermal wrinkles can be obtained.
【0025】請求項3記載の薄膜媒体の製造装置による
と、減圧真空中で薄膜媒体の表裏面を加熱ロールに交互
に添接させて走行するので、薄膜媒体と加熱ロールとの
間における空気の咬み込みを防ぎ、薄膜媒体が加熱ロー
ルに密着し、薄膜媒体への熱の移動が速やかかつ均一に
行われる。また、減圧真空下では、加熱ロールから送出
された薄膜媒体からの空気による熱の逃げがなく、薄膜
媒体の急激な冷却による急激な収縮を防止できる。よっ
て、蒸着工程において、加熱むらや熱収縮による熱じわ
が発生せず、薄膜媒体のカール除去が効率よく行え、熱
じわのない品質の良い薄膜媒体が得られる。According to the apparatus for manufacturing a thin film medium according to the third aspect, since the thin film medium travels while being alternately attached to the heating roll in a reduced pressure vacuum, the air flowing between the thin film medium and the heating roll is reduced. Biting is prevented, the thin-film medium comes into close contact with the heating roll, and heat is transferred to the thin-film medium quickly and uniformly. Further, under reduced pressure vacuum, there is no escape of heat due to air from the thin film medium sent out from the heating roll, and it is possible to prevent rapid shrinkage due to rapid cooling of the thin film medium. Therefore, in the vapor deposition process, heat wrinkles due to uneven heating and heat shrinkage do not occur, the curl of the thin film medium can be efficiently removed, and a high quality thin film medium without heat wrinkles can be obtained.
【図1】この発明の第1の実施の形態における薄膜媒体
の製造装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a thin film medium according to a first embodiment of the present invention.
【図2】この発明の第2の実施の形態における薄膜媒体
の製造装置の概略図である。FIG. 2 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a thin film medium according to a second embodiment of the present invention.
1 加熱装置 2 薄膜媒体 3 供給側ロール 5 第1加熱ロール 6 第2加熱ロール 7 第3加熱ロール 8 巻取側ロール 9 減圧真空槽 11 蒸着装置 12 基板 13 冷却キャンロール 16 ルツボ 17 磁性金属材料 19 真空槽 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heating device 2 Thin film medium 3 Supply side roll 5 1st heating roll 6 2nd heating roll 7 3rd heating roll 8 Take-up side roll 9 Decompression vacuum tank 11 Evaporation device 12 Substrate 13 Cooling can roll 16 Crucible 17 Magnetic metal material 19 Vacuum chamber
Claims (3)
造方法であって、 減圧真空中で、連続する複数個の加熱ロールに、薄膜媒
体の表面および裏面を交互に添接させて前記薄膜媒体を
走行させる加熱工程を含むことを特徴とする薄膜媒体の
製造方法。1. A method for producing a thin film medium comprising a thin film provided on a substrate, wherein the front and back surfaces of the thin film medium are alternately attached to a plurality of continuous heating rolls in a reduced pressure vacuum. A method for manufacturing a thin film medium, comprising a heating step of running the thin film medium.
造装置であって、 減圧真空槽と、この減圧真空槽内に配設された連続する
複数個の加熱ロールと、これら複数個の加熱ロールに表
面および裏面を交互に添接させて薄膜媒体を走行させる
走行手段とを備えたことを特徴とする薄膜媒体の製造装
置。2. An apparatus for manufacturing a thin film medium comprising a thin film provided on a substrate, comprising: a reduced-pressure vacuum tank; a plurality of continuous heating rolls disposed in the reduced-pressure vacuum tank; Running means for running the thin-film medium by alternately attaching the front and back surfaces to the heating roll, and a running means for running the thin-film medium.
造装置であって、 真空中で基板上に薄膜を設けて薄膜媒体とする成膜手段
と、減圧真空槽と、この減圧真空槽内に配設された連続
する複数個の加熱ロールと、これら複数個の加熱ロール
に表面および裏面を交互に添接させて前記薄膜媒体を走
行させる走行手段とを備えたことを特徴とする薄膜媒体
の製造装置。3. An apparatus for producing a thin film medium comprising a thin film provided on a substrate, a film forming means for providing a thin film on a substrate in vacuum to form a thin film medium, a reduced pressure vacuum tank, and a reduced pressure vacuum tank. A thin film comprising: a plurality of continuous heating rolls disposed therein; and running means for running the thin film medium by alternately abutting the front and back surfaces of the plurality of heating rolls. Media manufacturing equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32833796A JPH10172143A (en) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | Production of thin film medium and its producing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32833796A JPH10172143A (en) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | Production of thin film medium and its producing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10172143A true JPH10172143A (en) | 1998-06-26 |
Family
ID=18209116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32833796A Pending JPH10172143A (en) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | Production of thin film medium and its producing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10172143A (en) |
-
1996
- 1996-12-09 JP JP32833796A patent/JPH10172143A/en active Pending
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