JPH10168474A - 極圧添加剤、含フッ素グリース組成物、熱媒体、離型剤、圧力測定用液体及びマスキング油 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱、耐薬品性が良好で、かつ安価な極圧添
加剤、含フッ素グリース組成物、熱媒体、離型剤、圧力
測定用液体及びマスキング油及び真空蒸着方法を提供す
る。 【解決手段】 一部をフッ素化された炭化水素油であ
り、安価でありながらフッ素の持つ耐熱性、耐薬品性を
保持する特定の分子中に酸素原子又は硫黄原子を含有す
るフッ素化炭化水素化合物を使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特殊な含フッ素化
合物の新規な用途に関し、詳しくは、極圧添加剤、含フ
ッ素グリース組成物、離型剤、圧力測定用液体、熱媒体
及びマスキング油並びに該マスキング油を用いる真空蒸
着方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】極圧添加剤 近年、冷蔵庫・空調機などの冷媒圧縮機、自動車用エン
ジンでは省エネルギーのために、潤滑油の粘性抵抗によ
るロスを軽減しようとする努力が払われるようになり、
必然的に使用する潤滑油の低粘度化が推し進められてい
る。しかしながら、潤滑油の低粘度化が進みすぎると軸
受部での油膜破断が生じ、当初の良好な潤滑性が維持で
きず、金属同志の直接接触が起こり、接触面は著しい損
傷を受けることがある。これは焼付きと呼ばれる現象
で、この焼付きは摩擦面全体に及び、機器の正常な可動
を不可能にすることが多い。

【０００３】極圧添加剤はこの様な場合に摩擦、摩耗を
減少させ、上述の焼付きを防止する役割を有する。この
様な極圧添加剤として、トリクレジルフォスフェート等
のりん系化合物、オレフィンポリサルファイド等のいお
う系化合物、塩素化パラフィンなどの塩素系化合物が知
られているが、いずれも化合物としての熱安定性が充分
でなく、これ等の化合物の分解によって潤滑油の分解が
誘発されるためか、添加した際に例えば圧縮機の吐出弁
周辺部に於いて炭化物の析出などが起こり、圧縮機など
の正常な運転を妨げることが多かった。

【０００４】グリース組成物 グリースは、潤滑油に、金属石鹸、シリカゲル等の増ち
ょう剤を添加させて生産するが、一般の鉱油、合成油で
は、充分な耐熱性や耐薬品性が得られず、使用環境には
限界がある。一方、耐熱性、耐薬品性を持った化合物と
してはフッ素化合物が知られている。例えば、クロロト
リフルオロエチレンオリゴマーやパーフルオロポリエー
テルを基油としたグリースが市販されている（特公昭３
９−１８０７９号公報、特公平２−３２３１４号公
報）。ところが、これらの基油を用いて作られたグリー
スは、耐熱性耐薬品性は優れているものの、高価であ
り、また、一般の溶剤や防錆油に溶解しないため、使用
前に使用機材に塗布されている防錆油を除く必要があっ
たり、グリース自身に防錆剤などの各種添加剤を添加す
ることもできないといった、使用上不都合な点が多い。

【０００５】熱媒体 従来、高温用液相熱媒体としては、シリコーン油、芳香
族炭化水素油などが用いられているが、これらは高温に
おける蒸気圧が高く、高温で使用する場合飛散して減量
する可能性が強く、加えて火災の危険性も高い。比較的
火災の危険性の低い熱媒体として、塩化ジフェニルがあ
るが、人体に対する毒性が強く、最近は全く用いられて
いない。また、硝酸カリウムなどの無機塩の混合物が安
全な高温用熱媒体として用いられているが、凝固点が高
く、通常２００℃以上の高温でしか使用できず、非常に
不便である。

【０００６】離型剤 従来、例えばシリコンオイル、鉱物油、パラフィンワッ
クス、脂肪酸誘導体、グリコール等の天然若しくは合成
化合物や、タルク、マイカ等の無機物等が高分子物質の
成型の際の離型剤として使用されている。一般にこれら
の離型剤は被成型物が導入される以前に型に塗布され、
離型寿命の短い場合には毎回導入前に塗布されるのが普
通である。シリコンオイルは離型性が良好なため最も普
遍的に使用されている離型剤であるが、この場合でもウ
レタンやエポキシ樹脂のように接着性の強い物に使用す
る場合は酸化珪素の微粉末等を添加して離型剤膜の強度
を改良したものをしかも多量に塗布する必要がある。

【０００７】この様に多量に塗布することは離型剤の被
成型体への移行を招き、成型物表面の後処理、例えば塗
装や接着処理が不可能になるばかりでなく、コスト面か
らも望ましいことではない。さらにシリコン油はプラス
チックスの表面でほふくする現象があり、電気部品の成
型加工に用いる時には接点部の導通不良を起こすことが
多かった。さらに、多量に離型剤を塗布する事により一
つの金型で成型加工を続けると、離型剤のカス等が金型
表面にたまり、金型をたびたび洗浄する必要が生じ成型
加工の能率を低下させる原因になっていた。

【０００８】フッ素化合物は低表面エネルギーを有して
居り、そのもの自体でも離型性を有する事が知られてお
り、すでにパーフルオロアルキル基を有するアルコール
のリン酸エステルとシリコン油等を配合した離型性のよ
い離型剤が得られている（特公昭３−２３２７１号公報
参照）。しかし、パーフルオロアルキル基を有するアル
コールのりん酸エステルを含有する離型剤は、りん酸エ
ステルが反応性の官能基を持つために、例えば発泡ポリ
ウレタンの様に反応性の基を有する樹脂の成型加工の際
には一部が樹脂の表面と反応し表面が荒れたりする場合
があるという欠点がある。又、これ等パーフルオロアル
キル基を含有するりん酸エステルは耐熱性が充分でな
く、高温高熱下での長時間にわたる成型加工を行う場
合、炭化分解を起こし金型上にカスがたまる事が多かっ
た。

【０００９】圧力測定用液体 化学工業装置においては、流量測定や液面測定のため、
液体または気体流路中に多くの差圧測定器が設置されて
居り、測定器中の差圧伝達液および隔液として、水銀、
シリコン油、三フッ化塩化エチレンの低重合物などが多
く用いられて来た。しかし、シリコン油、水銀などは腐
蝕性薬品や酸素などには使用できず、また水銀は比重が
大きく差圧の測定には精度上の問題があった。一方、三
フッ化塩化エチレンの低重合油は、同一粘度における蒸
気圧が高く、たとえば低圧の気流の圧力測定の場合は伝
達液の飛散が多く適当ではなかった。

【００１０】一方、隔膜式圧力計は、測定しようとする
流体とブルドン管式圧力計の間に液状ダイヤフラムを取
り付け、圧力測定用液体が内部に封入されており、圧力
を測定する構造になっている。この圧力測定用液体とし
ては、通常グリセリン、シリコン油、三フッ化塩化エチ
レン低重合油などを用いているが、特に腐蝕性の液体の
測定用途には安全性の上から三フッ化塩化エチレンの低
重合体が多く用いられている。ところが、この油は蒸気
圧が高く、連成計において減圧〜加圧の測定をくり返し
た場合、三フッ化塩化エチレンの低重合体が蒸発し、測
定結果にくるいの生じることが多かった。

【００１１】マスキング油（真空蒸着方法） 従来より、プラスチックフィルム、ガラスシート等の蒸
着基材上に、非蒸着部を残して、即ちパターン状に、Ａ
ｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ等の金属膜、または酸化
錫、酸化インジウムあるいはこれらの混合物（ＩＴＯ）
等の金属酸化物導体膜等を形成する真空蒸着方法が広く
行なわれおり、これにより、装飾用あるいは電気用等の
各種蒸着製品が製造されている。このようなパターン状
蒸着膜を有する蒸着製品としては、例えばマージン部
（非蒸着部）を残して金属蒸着部を形成したコンデンサ
ー用フィルム、ＩＴＯ等の透明電極膜を形成した電極基
板等が代表例として挙げられる。

【００１２】上記したようなパターン状の蒸着膜を蒸着
基材上に形成するには、テープあるいはオイル塗布膜を
マスキング材として蒸着と同時にマージン部を形成する
方法、あるいは一旦基材上に一様な導体膜を形成した
後、乾式あるいは湿式エッチング法により選択的に導体
膜を除去してマージン部を形成する方法等が知られてい
る。

【００１３】しかしながら、上述した各種方式のうち、
一般にエンドレスのテープをマスキング材として用いる
テープマスク方式においては、例えば、以下のような欠
点がある。

【００１４】（１）テープが金属蒸気に繰返し曝される
ために、耐熱テープを使用しても蒸着作業中に寸法変化
を生じ、テープガイドロールからはずれるのでマージン
部が巾方向に乱れ易い。（２）テープに蒸着積層された
金属が粒子状に剥離飛散し、製造中の金属化フィルムに
異物として巻込まれて欠陥製品を作る。（３）従ってエ
ンドレステープといえど長時間は使えず、それによって
蒸着出来るフィルムの長さも限定され、また一作業毎に
テープの交換が必要である。

【００１５】またエッチング方式には、煩雑なエッチン
グ工程が必要であり、製造コストが上昇するという欠点
がある。

【００１６】これに対し、オイルマスク方式は、蒸着工
程直前において蒸着基材のマージン部に相当する位置に
マスキング油を、ノズルからの蒸気噴出あるいはロール
からの転写等により塗布するという簡単な方法によりマ
ージン部が形成されるため、上記テープマスク方式ある
いはエッチング方式の欠点に対する本質的な改善が期待
される。マスキング油としては、従来より電気絶縁性の
シリコーンのオイル（真空、第７巻、１２号、３９２
頁）、流動パラフィンなどが使用されている。

【００１７】しかしながら、従来のオイルマスク方式で
は、蒸着材料にもよるが、オイルを付着させたところに
も微量の導体が付着して鮮明なマージン部が形成され難
く、また蒸着部とマージン部との境界もボケ易いため、
例えばＡＩの蒸着により得られたコンデンサ用金属化フ
ィルムを巻き上げて、近年とみに要求の高い精密小型コ
ンデンサを作成した場合にも、そのマージン部の不完全
性により層間絶縁抵抗が低くなる等、十分な電気特性が
得られない。

【００１８】これらの問題点を解決するために、平均分
子量が２３０〜６８０の間にあり、かつ２００℃におけ
る蒸気圧が０．１〜２０Ｔｏｒｒのオイルを単独または
混合して使用する方法（特公昭５５−４７１１３号公
報）、オイルを付着させた後に冷却ロールによってフィ
ルムおよび付着オイルを冷却し、オイルの蒸発を限度以
内に抑えて、金属蒸着後もフィルム上にオイルを残留さ
せる方法（特開昭５８−１５１０１１号公報）などが提
案されている。しかし、これらの方法もまだ十分なもの
とは言い難く、例えば市販されているＡｌ蒸着のコンデ
ンサ用金属化フィルムの殆どは、上述したプロセス上の
問題があるにも拘らずテープマスク方式によるものであ
った。

【００１９】また一方、蒸着基材上にオイルマスク方式
により非蒸着部を付与しつつ蒸着膜を形成するに際し
て、マスキング油としてパーフロロアルキルポリエーテ
ルを用いる方法（特開昭６３−７３６３）も提案されて
いるが、パーフロロアルキルポリエーテルは高価であ
り、また一般の汎用溶剤に溶解しないことから、その使
用には問題が多い。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、耐
熱、耐薬品性が良好で、かつ安価な極圧添加剤を提供す
ることにある。

【００２１】本発明の目的は、耐熱、耐薬品性が良好
で、かつ安価であり、防錆剤等、種々の添加剤を使用可
能なグリース組成物を提供することにある。

【００２２】本発明の目的は、低温から高温に至る広い
温度範囲で用いることができ、長期間使用しても安定
で、従来から使用されている炭化水素系化合物からなる
熱媒に比べ、より難燃性または不燃性である熱媒体を提
供することにある。

【００２３】本発明の目的は、表面張力が低く、熱分解
開始温度が高く、熱安定性の良好であり、優れた離型性
と金型汚れが少ない離型剤を提供することにある。

【００２４】本発明の目的は、耐熱耐薬品性が良好で、
かつ安価な圧力測定用液体を提供することにある。

【００２５】本発明の目的は、蒸着物、特に導体蒸着物
の付着のない鮮明なマージン部を形成し得る真空蒸着方
法；マージン部の乱れがなく、且つ巻込まれた異物によ
る欠陥のない蒸着製品を与え得る真空蒸着方法；生産性
が高く、且つ長尺フィルムの蒸着を可能ならしめるオイ
ルマスク方式の真空蒸着方法を提供することにあり、ま
た、そのためのマスキング油を提供することにある。

【００２６】

【課題を解決するための手段】本発明は、一般式〔Ｉ〕
〜〔Ｖ〕の含フッ素化合物を主成分としてなる極圧添加
剤、含フッ素グリース組成物、熱媒体、離型剤、圧力測
定用液体及びマスキング油に存する。すなわち、本発明
は、（Ａ）一般式：

【００２７】

【化２】

【００２８】〔Ｒ¹、Ｒ²及びＲ³は、Ｆ−を、または、
部分的に若しくは完全にフッ素化された炭素数１〜３０
の直鎖の若しくは分岐のアルキル基若しくはアルケニル
基を（部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていて
もよい）示す。Ｒ⁴は、炭素数１〜３０の直鎖の若しく
は分岐のアルキル基若しくはアルケニル基を（部分的に
ハロゲンで置換されていてもよい）、または、炭素数２
〜５００のポリエーテル基（部分的にハロゲンで置換さ
れていてもよい）を示す。Ｘは、ＯまたはＳを示す。〕
で表される分子中に酸素原子又は硫黄原子を含有するフ
ッ素化炭化水素化合物；

【００２９】（Ｂ）一般式：（Ｒ⁵Ｏ）_dＲ⁶ 〔ＩＩ〕 〔ｄ＝１又は２。Ｒ₅は、部分的に若しくは完全にフッ
素化された炭素数１〜５０の直鎖の若しくは分岐のアル
キル基、アルケニル基若しくはアルコキシアルキル基を
（部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていてもよ
く、また、構造中に１〜３個のＯＨ基を有していてもよ
い）、または部分的に若しくは完全にフッ素化された炭
素数２〜７００のフルオロポリエーテル基（部分的にフ
ッ素以外のハロゲンで置換されていてもよく、構造中に
１〜３個の不飽和結合を含んでいてもよく、また、側鎖
にエーテル結合を含んでいてもよい）を示す。Ｒ⁶は、
ｄ＝１のとき、炭素数１〜３０の直鎖の若しくは分岐の
アルキル基若しくはアルケニル基を（部分的にハロゲン
で置換されていてもよい）、または炭素数２〜５００の
ポリエーテル基（部分的にハロゲンで置換されていても
よい）を示し、ｄ＝２のとき、炭素数１〜１０の直鎖の
若しくは分岐の二官能アルキル基若しくは二官能アルケ
ニル基を（部分的にハロゲンで置換されていてもよ
い）、または炭素数２〜５００の二官能ポリエーテル基
（部分的にハロゲンで置換されていてもよい）を示
す。〕で表される分子中に酸素原子を含有するフッ素化
炭化水素化合物；

【００３０】 （Ｃ）一般式：（Ｒ¹⁰ＯＣＨ₂）_nＲ¹²（ＣＨ₂ＯＲ¹¹）_m 〔ＩＩＩ〕 〔ｎは０〜２の整数、ｍは１〜４の整数、且つ、１≦ｎ
＋ｍ≦４。Ｒ¹⁰は、Ｈ−を、部分的に若しくは完全にフ
ッ素化された炭素数１〜５０の直鎖の若しくは分岐のア
ルキル基、アルケニル基若しくはアルコキシアルキル基
を（部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていても
よく、また、構造中に１〜３個のＯＨ基を有していても
よい）、または部分的に若しくは完全にフッ素化された
炭素数２〜７００のフルオロポリエーテル基（部分的に
フッ素以外のハロゲンで置換されていてもよく、構造中
に１〜３個の不飽和結合を含んでいてもよく、また、側
鎖にエーテル結合を含んでいてもよい）を示す。Ｒ
¹¹は、部分的に若しくは完全にフッ素化された炭素数１
〜５０の直鎖の若しくは分岐のアルキル基、アルケニル
基若しくはアルコキシアルキル基を（部分的にハロゲン
で置換されていてもよく、また、構造中に１〜３個のＯ
Ｈ基を有していてもよい）、または部分的に若しくは完
全にフッ素化された炭素数２〜７００のフルオロポリエ
ーテル基（部分的にハロゲンで置換されていてもよく、
構造中に１〜３個の不飽和結合を含んでいてもよく、ま
た、側鎖にエーテル結合を含んでいてもよい）を示す。
Ｒ¹²は、ｎ＋ｍ＝４のとき、＝Ｃ＝を示し、ｎ＋ｍ＝３
のとき、Ｒ¹³Ｃ≡を示し、ｎ＋ｍ＝２のとき、（Ｒ¹³）
（Ｒ¹⁴）Ｃ＝を示し、ｎ＋ｍ＝１（ｎ＝０且つｍ＝１）
のとき、（Ｒ¹³）（Ｒ¹⁴）（Ｒ¹⁵）Ｃ−を示す。但し、
Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は、ハロゲンで置換されていてもよ
い炭素数１〜５のアルキル基を示す。〕で表される分子
中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物；

【００３１】 （Ｄ）一般式：Ｒ¹⁶Ｏ（Ｃ（ＯＲ¹⁷）ＨＣ_m-1Ｈ_2m-3Ｏ）_n（Ｃ（ＯＲ¹⁸）Ｃ_m-1 Ｈ2_m-3Ｏ）_n´Ｒ¹⁹ 〔ＩＶ〕 〔ｍ＝２〜５の整数、ｎ＝０〜３０の整数、ｎ′＝０〜
３０の整数、且つ、１≦ｎ＋ｎ′≦３０。Ｒ¹⁶及びＲ¹⁷
は、Ｈ−を、部分的に若しくは完全にフッ素化された炭
素数１〜５０の直鎖の若しくは分岐のアルキル基、アル
ケニル基若しくはアルコキシアルキル基を（部分的にフ
ッ素以外のハロゲンで置換されていてもよく、また、構
造中に１〜３個のＯＨ基を有していてもよい）、または
部分的に若しくは完全にフッ素化された炭素数２〜７０
０のフルオロポリエーテル基（部分的にフッ素以外のハ
ロゲンで置換されていてもよく、構造中に１〜３個の不
飽和結合を含んでいてもよく、また、側鎖にエーテル結
合を含んでいてもよい）を示す。Ｒ¹⁸及びＲ¹⁹は、部分
的に若しくは完全にフッ素化された炭素数１〜５０の直
鎖の若しくは分岐のアルキル基、アルケニル基、アルコ
キシアルキル基を（部分的にフッ素以外のハロゲンで置
換されていてもよく、また、構造中に１〜３個のＯＨ基
を有していてもよい）、または部分的に若しくは完全に
フッ素化された炭素数２〜７００のフルオロポリエーテ
ル基（部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていて
もよく、構造中に１〜３個の不飽和結合を含んでいても
よく、また、側鎖にエーテル結合を含んでいてもよい）
を示す。〕で表される分子中に酸素原子を含有するフッ
素化炭化水素化合物並びに；

【００３２】 （Ｅ）一般式：Ｒ¹⁶Ｏ（ＣＨ₂Ｃ（ＯＲ¹⁷）ＨＣＨ₂Ｏ）_n（ＣＨ₂Ｃ（ＯＲ¹⁸）Ｈ ＣＨ₂Ｏ）_n´Ｒ¹⁹ 〔Ｖ〕 〔ｎ＝０〜１５の整数、ｎ´＝０〜１５の整数、且つ、
１≦ｎ＋ｍ≦１５。Ｒ¹⁶及びＲ¹⁷は、Ｈ−、ＨＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂ＣＣｌＦ−、ＣＦ₃
ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、ＣＦ₂＝ＣＦＣＦ₂
−、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦ₂−、ＨＯＣ
（ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣＦＨＣ
ＣｌＦ−（但し、ｉ＝１〜２０の整数）；Ｈ−、（ＣＦ
₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝ＣＦＣ
Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₃Ｃ＝Ｃ
ＦＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦ＝ＣＦ₂、ＣＦ₂
＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＣＦ₂
ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ
₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）＝ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、
（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦ＝ＣＦ₂、（（ＣＦ₃）₂Ｃ
Ｆ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）₂）ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦＨ
ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ ＣＣＦＨＣＦ₃、または（（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃；Ｈ−、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂
ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂
Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂
Ｏ）_wＲ⁹−（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは、同時に全
部が０とはならない０〜１００の整数）、またはＲ
⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂
Ｏ）_rＲ⁹−（ｐ、ｑ及びｒは、同時に全部が０とはなら
ない０〜１００の整数）を示す。但し、Ｒ⁷及びＲ⁸は、
ハロゲン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的
に若しくは完全にべてフッ素化されていてもよい）を示
し、Ｒ⁹は、炭素数１〜５の二官能アルキル基、二官能
アルケニル基、二官能アルキルエーテル基若しくは二官
能アルキルアルコール基を示す（部分的に若しくは完全
にフッ素化されていてもよい）を示す。Ｒ¹⁸及びＲ
¹⁹は、ＨＣＦ₂ＣＦ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂Ｃ
ＣｌＦ−、ＣＦ₃ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、
ＣＦ₂＝ＣＦＣＦ₂−、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣ
Ｆ₂−、ＨＯＣ（ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌ
Ｆ）_iＣＦＨＣＣｌＦ−（但し、ｉ＝１〜２０の整
数）；（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦ
Ｃ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ
₃）₂Ｃ＝ＣＦＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦ＝Ｃ
Ｆ₂、CF₂＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝
ＣＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂
ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）＝ＣＦＣＦ₂Ｃ
Ｆ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦ＝ＣＦ₂、（（ＣＦ₃）
₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）₂）ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦＨ
ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃ 、（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦＨＣＦ₃、または（（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃；Ｒ⁷ （ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂
Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z
（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_w
Ｒ⁹−（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは、同時に全部が
０とはならない０〜１００の整数）、またはＲ⁸（ＣＦ
（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rＲ
⁹−（但し、ｐ、ｑ及びｒは、同時に全部が０とはなら
ない０〜１００の整数）（但し、Ｒ⁷及びＲ⁸は、ハロゲ
ン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若し
くは完全にフッ素化されていてもよい）を示し、Ｒ
⁹は、炭素数１〜５の二官能アルキル基、二官能アルケ
ニル基、二官能アルキルエーテル基若しくは二官能アル
キルアルコール基を示す（部分的に若しくは完全にフッ
素化されていてもよい）を示す。但し、ｎ＝１のとき、
Ｒ¹⁶、Ｒ¹⁷及びＲ¹⁸の全部が同時にＨＣＦ₂ＣＦ₂−を示
す組み合わせは除く。〕で表される分子中に酸素原子を
含有するフッ素化炭化水素化合物からなる群から選ばれ
た少なくとも１種の含フッ素化合物からなる又は当該含
フッ素化合物を主成分としてなる極圧添加剤にある。

【００３３】本発明は、一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕のいずれ
かで表される酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化
炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の含フッ素
化合物からなる又は当該含フッ素化合物を基油としてな
る含フッ素グリース組成物にある。

【００３４】本発明は、一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕のいずれ
かで表される酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化
炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の含フッ素
化合物からなる又は当該含フッ素化合物を主成分として
なる熱媒体にある。

【００３５】本発明は、一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕のいずれ
かで表される酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化
炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の含フッ素
化合物からなる又は当該含フッ素化合物を主成分として
なる離型剤にある。

【００３６】本発明は、一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕のいずれ
かで表される酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化
炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の含フッ素
化合物又は当該含フッ素化合物を主成分としてなる圧力
測定用液体にある。

【００３７】本発明は、一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕のいずれ
かで表される酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化
炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の含フッ素
化合物を主成分としてなるマスキング油にある。

【００３８】本発明は、蒸着基材上にオイルマスク方式
により非蒸着部を付与しつつ蒸着膜、特に金属または金
属酸化物導体等の導体を形成するに際して、マスキング
油として前記のマスキング油を用いることを特徴とする
真空蒸着方法にある。

【００３９】極圧添加剤 本発明で熱媒体の主成分として使用する一般式〔Ｉ〕〜
〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、一部をフッ素化された炭化
水素油であり、フッ素の持つ耐熱性、耐薬品性を保持し
ながら、通常の潤滑油（炭化水素系有機化合物）と相溶
するという特長を持つ。本発明の極圧添加剤は、基油に
少なくとも０．１重量％の量で添加される。基油として
は、冷凍機油、ギヤ油、マシン油等を例示することがで
きる。また、本発明の極圧添加剤は、有機化合物とも相
溶するため、他の極圧添加剤、消泡剤、酸化防止剤等と
併用することができる。

【００４０】含フッ素グリース組成物 本発明で含フッ素グリース組成物の基油として使用する
一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、一部をフッ
素化された炭化水素油であり、フッ素の持つ耐熱性、耐
薬品性を保持しながら、通常の有機化合物と相溶が可能
であるという含フッ素グリース組成物の基油として優れ
た特長を持つ。一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕の含フッ素化合物
を基油として、増ちょう剤及び必要に応じてその他の添
加剤を添加することにより、含フッ素グリース組成物と
することができる。

【００４１】増ちょう剤としては、例えば、フッ素樹
脂、金属石鹸、シリカゲル、ポリウレア等を使用するこ
とができる。増ちょう剤成分は、組成物の全重量の１０
〜６０％とすることが適当であり、もし、１０％以下で
あれば、滴点が低く高温で使用できず、かつちょう度の
温度変化が大で良好なグリースとなし難い。また、逆に
６０％を超える場合はグリースが著しく硬くなり製造上
の困難を伴い、かつ該グリース塗布時ののびが悪く、高
温で固化しやすい等の欠点を生じる。

【００４２】その他の添加剤としては、極圧剤、防錆
剤、腐食防止剤、酸化防止剤、粘度指数向上剤等を添加
することができる。その他の添加剤の量は、場合による
が、０〜１０％程度が望ましい。

【００４３】あらかじめ、所定の粘度に調整した含フッ
素化合物（基油）へ、粉末状の増ちょう剤を加えて三本
ロールまたは擂潰機中で攪拌または混合する方法、ある
いは溶剤等に懸濁分散させた増ちょう剤を含フッ素化合
物（基油）に混合し、次に真空加熱混和等により、溶剤
を除去する方法等によりグリース組成物を製造すること
ができる。

【００４４】熱媒体 本発明で熱媒体の主成分として使用する一般式〔Ｉ〕〜
〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、一部をフッ素化された炭化
水素油であり、安価でありながら、フッ素の持つ耐熱
性、耐薬品性を保持しているという熱媒体として優れた
特長を持つ。

【００４５】離型剤 本発明で離型剤の主成分として使用する一般式〔Ｉ〕〜
〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、一部をフッ素化された炭化
水素油であり、安価でありながら、フッ素の持つ耐熱
性、耐薬品性を保持しているという離型剤として優れた
特長を持つ。

【００４６】圧力測定用液体 本発明で圧力測定用液体の主成分として使用する一般式
〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、一部をフッ素化さ
れた炭化水素油であり、安価でありながら、フッ素の持
つ耐熱性、耐薬品性を保持しているという特長を持つ。

【００４７】マスキング油 本発明でマスキング油の主成分として使用する一般式
〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、一部をフッ素化さ
れた炭化水素油であり、フッ素の持つ耐熱性、耐薬品性
を保持しながら、通常の有機化合物と相溶が可能である
という特長を持つ。

【００４８】真空蒸着方法 本発明の真空蒸着方法は、上述の目的を達成するために
開発されたものであり、より詳しくは、蒸着基材上にオ
イルマスク方式により非蒸着部を付与しつつ蒸着膜を形
成するに際して、マスキング油として一般式〔Ｉ〕〜
〔Ｖ〕で示される含フッ素油を用いることを特徴とする
ものである。

【００４９】

【発明の実施の形態】本発明で使用する一般式〔Ｉ〕〜
〔Ｖ〕の含フッ素化合物は、国際特許公開ＷＯ９４／１
７０２３公報に記載されているものであり、これら化合
物の製法もそこに記載されてある。以下本発明で使用す
る含フッ素化合物の好ましい実施の形態について説明す
る。

【００５０】一般式〔Ｉ〕で表されるフッ化炭化水素化
合物 一般式〔Ｉ〕で表されるフッ素化炭化水素化合物として
は、一般式〔Ｉ〕において、Ｒ¹、Ｒ²及びＲ³が、Ｆ、
ＣＦ₃（ＣＦ₂）_n−（但し、ｎ＝０〜２の整数）または
（ＣＦ₃ ）₂ＣＦ（ＣＦ₂ ）_m−（但し、ｍ＝０〜２の整
数）を示し、Ｒ⁴が、Ｃ_nＨ_2n+1−（但し、ｎ＝１０〜３
０の整数）、Ｃ_mＨ_2m-1−（但し、ｍ＝１０〜３０の整
数）、Ｃ_hＨ_2h-3−（但し、ｈ＝１０〜３０の整数）、
ＣＨ₃（ＯＣＨ₂ＣＨ₂）_l−（但し、ｌ＝１〜１００の整
数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ₃）Ｈ）_k−（但し、ｋ＝
１〜１００の整数）、またはＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ₂
ＣＨ₃）Ｈ）_j−（但し、ｊ＝１〜１００の整数）を示す
分子中に酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化炭化
水素化合物を使用することができる。

【００５１】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物 一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水素化合物とし
ては、一般式〔ＩＩ〕において、Ｒ⁵が、（ＣＦ₃）₂Ｃ
Ｆ（ＣＦ₂ＣＦ₂）_nＣＨ₂ＣＨ₂ＯＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ
₂−（但し、ｎ＝０〜１０の整数）、ＣＦ₃ＣＦ₂（ＣＦ₂
ＣＦ₂）_mＣＨ₂ＣＨ₂ＯＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ₂−（但
し、ｍ＝０〜１０の整数）、Ｈ（ＣＦ₂ＣＦ₂）_lＣＨ₂Ｃ
Ｈ₂ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ₂−（但し、ｌ＝１〜１０の整
数）、（ＣＨ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂ＣＦ₂）_kＣＨ₂ＣＨ（Ｏ
Ｈ）ＣＨ₂−（但し、ｋ＝０〜１０の整数）、またはＣ
Ｆ₃ＣＦ₂（ＣＦ₂ＣＦ₂）_jＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ₂−
（但し、ｊ＝０〜１０の整数）を示す分子中に酸素原子
を含有するフッ素化炭化水素化合物を使用することがで
きる。

【００５２】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、Ｒ⁵が、
（ＣＦ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂ＣＦ₂）_aＣＨ₂ＣＨ₂−（但し、
ａ＝０〜１０の整数）、ＣＦ₃ＣＦ₂（ＣＦ₂ＣＦ₂）_bＣ
Ｈ₂ＣＨ₂−（但し、ｂ＝０〜１０の整数）、またはＨ
（ＣＦ₂ＣＦ₂）_cＣＨ₂−（但し、ｃ＝１〜１０の整数）
を示す分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化
合物を使用することができる。

【００５３】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、Ｒ⁵が、
ＨＣＦ₂ＣＦ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂ＣＣｌＦ
−、ＣＦ₃ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、ＣＦ₂＝
ＣＦＣＦ₂−、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦ₂−、
ＨＯＣ（ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣ
ＦＨＣＣｌＦ−（但し、ｉ＝１〜２０の整数）を示す分
子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物を使
用することができる。

【００５４】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、Ｒ⁵が、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ
ＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₃、（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（Ｃ
Ｆ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ
（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣ
ＦＨＣＦ₃、または（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃
を示す分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化
合物を使用することができる。

【００５５】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、Ｒ⁵が、
Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）
_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）
_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_wＲ⁸−（但し、ｘ、ｙ、
ｚ、ｖ及びｗは、同時に全てが０とはならない０〜１０
０の整数）、またはＲ⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（Ｃ
Ｆ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rＲ⁹−（但し、ｐ、ｑ及びｒ
は、同時に全てが０とはならない０〜１００の整数）を
示し、Ｒ⁷及びＲ⁸が、ハロゲン、または炭素数１〜３の
アルコキシ基（部分的に若しくは完全にフッ素化されて
いてもよい）を示し、Ｒ⁹が、炭素数１〜５の二官能基
アルキル基、二官能アルケニル基、二官能アルキルエー
テル基若しくは二官能アルキルアルコール基を示す（部
分的に若しくは完全にフッ素化されていてもよい）分子
中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物を使用
することができる。

【００５６】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、ｄ＝１、
Ｒ⁶が、Ｃ_nＨ_2n+1−（但し、ｎ＝１０〜３０の整数）、
Ｃ_mＨ_2m-1−（但し、ｍ＝１０〜３０の整数）、Ｃ_hＨ
_2h-3−（但し、ｈ＝１０〜３０の整数）、ＣｌＣｌＨ_2l
−（但し、ｌ（添字）＝１〜１０の整数）、またはＣｌ
（ＣＨ₂）₇ＣＨ＝ＣＨ（ＣＨ₂）₈−を示す分子中に酸素
原子を含有するフッ素化炭化水素化合物を使用すること
ができる。

【００５７】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、ｄ＝１、
Ｒ⁶が、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂ＣＨ₂）_k−（但し、ｋ＝１〜１
００の整数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ₃）Ｈ）_j−（但
し、ｊ＝１〜１００の整数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ
₂ＣＨ₃）Ｈ）_i−（但し、ｉ＝１〜１００の整数）、Ｈ
（ＯＣ（ＣＨ₂Ｃｌ）ＨＣＨ₂）_p−（但し、ｐ＝１〜１
００の整数）、Ｈ（ＯＣ（ＣＨ₂（ＣＦ₂ＣＦ₂）_rＣＦ
（ＣＦ₃）₂）ＨＣＨ₂）_q−（但し、ｑ＝１〜１００の整
数、且つ、ｒ＝０〜１０の整数）、またはＨ（ＯＣ（Ｃ
Ｈ₂ＯＣ₄Ｈ₉）ＨＣＨ₂）_s−（但し、ｓ＝１〜１００の
整数）を示す分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化
水素化合物を使用することができる。

【００５８】一般式〔ＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水
素化合物としては、一般式〔ＩＩ〕において、ｄ＝２、
Ｒ⁶が、−（Ｃ_hＨ_2h）−（但し、ｈ＝１〜１０の整数）
または−ＣＨ₂Ｃ（ＯＨ）ＨＯ（Ｃ（ＣＨ₃）ＨＣＨ
₂Ｏ）_tＣ（ＯＨ）ＨＣＨ₂−（但し、ｔ＝１〜１００の
整数）を示す〔但し、Ｒ⁵が、（（ＣＦ₃ ）₂ ＣＦ）₂
ＣＨＣＦＣＦ₃ 、（（ＣＦ₃ ）₂ ＣＦ）₂ＣＣＦＨＣ
Ｆ₃、または（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃を、且
つ、Ｒ⁶が−（ＣＨ₂）₄−を示す組み合わせは除く〕分
子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物を使
用することができる。

【００５９】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物 一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化水素化合物と
しては、一般式〔ＩＩＩ〕において、Ｒ¹⁰が、Ｈ−、Ｈ
ＣＦ₂ＣＦ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂ＣＣｌＦ
−、ＣＦ₃ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、ＣＦ₂＝
ＣＦＣＦ₂−、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦ₂−、
ＨＯＣ（ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_lＣ
ＦＨＣＣｌＦ−（但し、ｌ＝１〜２０の整数）を示す分
子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物を使
用することができる。

【００６０】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、Ｒ¹⁰
が、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ
＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（Ｃ
Ｆ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦ＝
ＣＦ₂、ＣＦ₂＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）
₂Ｃ＝ＣＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝Ｃ（ＣＦ₃）Ｃ
Ｆ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂
ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）＝ＣＦＣ
Ｆ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦ＝ＣＦ₂、（（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ
（ＣＦ₃）₂）ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣ
Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣ
ＦＨＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦＨＣＦ₃、または（（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃を示す分子中に酸素原子を
含有するフッ素化炭化水素化合物を使用することができ
る。

【００６１】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、Ｒ¹⁰
が、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_wＲ⁹−（但し、ｘ、
ｙ、ｚ、ｖ及びｗは、同時に全部が０とはならない１〜
１００の整数）、またはＲ⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p
（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rＲ⁹−（但し、ｐ、ｑ及
びｒは、同時に全部が０とはならない０〜１００の整
数）を示す。但し、Ｒ⁷及びＲ⁸は、ハロゲン、または炭
素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは完全にフ
ッ素化されていてもよい）を示し、Ｒ⁹は、炭素数１〜
５の二官能アルキル基、二官能アルケニル基、二官能ア
ルキルエーテル基若しくは二官能アルキルアルコール基
を示す（部分的に若しくは完全にフッ素化されていても
よい）分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化
合物を使用することができる。

【００６２】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、Ｒ¹¹
が、ＨＣＦ₂ＣＦ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂ＣＣ
ｌＦ−、ＣＦ₃ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、Ｃ
Ｆ₂＝ＣＦＣＦ₂−、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦ
₂−、ＨＯＣ（ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌ
Ｆ）_iＣＦＨＣＣｌＦ−（但し、ｉ＝１〜２０の整数）
を示す分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化
合物を使用することができる。

【００６３】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、Ｒ¹¹
が、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ
＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（Ｃ
Ｆ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦ＝
ＣＦ₂、ＣＦ₂＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）
₂Ｃ＝ＣＣＦ₂ＣＦ3、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝Ｃ（ＣＦ₃）Ｃ
Ｆ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂
ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）＝ＣＦＣ
Ｆ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦ＝ＣＦ₂、（（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ
（ＣＦ₃）₂）ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣ
Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣ
ＦＨＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦＨＣＦ₃、または（（Ｃ
Ｆ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃を示す分子中に酸素原子を
含有するフッ素化炭化水素化合物を使用することができ
る。

【００６４】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、Ｒ¹¹
が、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_wＲ⁹−（但し、ｘ、
ｙ、ｚ、ｖ及びｗは、同時に全部が０とはならない１〜
１００の整数）、またはＲ⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p
（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rR⁹−（但し、ｐ、ｑ及
びｒは、同時に全部が０とはならない０〜１００の整
数）を示す。但し、Ｒ⁷及びＲ⁸は、ハロゲン、または炭
素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは完全にフ
ッ素化されていてもよい）を示し、Ｒ⁹は、炭素数１〜
５の二官能アルキル基、二官能アルケニル基、二官能ア
ルキルエーテル基若しくは二官能アルキルアルコール基
を示す（部分的に若しくは完全にフッ素化されていても
よい）分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化
合物を使用することができる。

【００６５】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、ｎ＋
ｍ＝４、Ｒ¹²が＝Ｃ＝を示す〔但し、Ｒ¹⁰及びＲ¹¹は、
同時にはＨＣＦ₂ＣＦ₂−を、また、同時にはＣＦ₃ＣＦ
ＨＣＦ₂−を示さない〕分子中に酸素原子を含有するフ
ッ素化炭化水素化合物を使用することができる。

【００６６】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、ｎ＋
ｍ＝３、Ｒ¹²が、ＣＨ₃Ｃ≡、またはＣＨ₃ＣＨ₂Ｃ≡を
示す〔但し、Ｒ¹⁰及びＲ¹¹は、同時にはＨＣＦ₂ＣＦ₂−
を示さない〕分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化
水素化合物を使用することができる。

【００６７】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、ｎ＋
ｍ＝２、Ｒ¹²は（ＣＨ₃）₂Ｃ＝を示す〔但し、Ｒ¹⁰及び
Ｒ¹¹は、同時にはＨＣＦ₂ＣＦ₂−を示さない〕分子中に
酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物を使用する
ことができる。

【００６８】一般式〔ＩＩＩ〕で表されるフッ素化炭化
水素化合物としては、一般式〔ＩＩＩ〕において、ｎ＋
ｍ＝１（ｎ＝０且つｍ＝１）、Ｒ¹²は（ＣＨ₃）₃Ｃ−を
示す分子中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合
物を使用することができる。

【００６９】一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕で表される化合物の
製造 一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕で表される化合物は、例えば、以
下の反応により製造することができる。

【００７０】（１）ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂ＣＦ
ＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ₂ＣＦＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、及
び、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＦＣＦ₃からなる群から
選ばれた少なくとも一種のフルオロオレフィンと、ｎ−
Ｃ_10-20Ｈ_21-41ＯＨ、ｉ−Ｃ_10-20Ｈ_21-41ＯＨ、ｎ−Ｃ
_10-20Ｈ_19-39ＯＨ、ｉ−Ｃ_10-20Ｈ_19-39ＯＨ、ｎ−Ｃ
_10-20Ｈ_17-37ＯＨ若しくはｉ−Ｃ_10-20Ｈ_17-37ＯＨで表
される直鎖の若しくは分岐の高級アルコール若しくは高
級アルケニルアルコールの少なくとも一種（特定の一種
のものの純品も、炭素数が異なるものの混合物も包含さ
れる）、ヤシアルコール、ｎ−Ｃ_10-20Ｈ_21-41ＳＨ若し
くはｉ−Ｃ_10-20Ｈ_21-41ＳＨで表される直鎖の若しくは
分岐の高級チオールの少なくとも一種（特定の一種のも
のの純品も、炭素数が異なるものの混合物も包含され
る）、（末端変性）ポリエチレングリコール、（末端変
性）ポリプロピレングリコール、並びに、（末端変性）
ポリエチレングリコールからなる群から選ばれた少なく
とも一種のアルコール若しくはチオールとを反応させ
る。

【００７１】（２）ＣＦ₂＝ＣＦ₂、ＣＣｌＦ＝ＣＦ₂、
ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ₂、ＣＨ₂＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ
₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｏ、Ｃｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣＦ＝
ＣＣｌＦ（但し、ｉ＝１〜２０の整数）、ＣＦ₃ＣＦ＝
ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ
＝ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝Ｃ（ＣＦ₃）
ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＦＣ
Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ₂ＣＦ₃）ＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）₂、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_wＣＦ＝ＣＦ₂（但し、
ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは同時に全てが０とはならない０
〜１００の整数であり、Ｒ⁷は、ハロゲン、または炭素
数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは完全にフッ
素化されていてもよい）を示す）及びＲ⁸（ＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rＣＦ＝
ＣＦ₂（但し、ｐ、ｑ及びｒは同時に全てが０とはなら
ない０〜１００の整数であり、Ｒ⁸は、ハロゲン、また
は炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは完全
にフッ素化されていてもよい）を示す）からなる群から
選ばれた少なくとも一種のフルオロオレフィン若しくは
フルオロケトンと、一般式〔ＩＸ〕：Ｒ⁶ＯＨ〔Ｒ⁶は、
以下の置換基のいいずれかを示す：Ｃ_nＨ_2n+1−（但
し、ｎ＝１０〜３０の整数）、Ｃ_mＨ_2m-1−（但し、ｍ
＝１０〜３０の整数）、Ｃ_hＨ_2h-3−（但し、ｈ＝１０
〜３０の整数）、ＣｌＣ_lＨ_2l−（但し、ｌ＝１〜１０
の整数）、Ｃｌ（ＣＨ₂）₇ＣＨ＝ＣＨ（ＣＨ₂）₈−、Ｃ
Ｈ₃（ＯＣＨ₂ＣＨ₂）_k−（但し、ｋ＝１〜１００の整
数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ₃）Ｈ）_j−（但し、ｊ＝
１〜１００の整数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ₂ＣＨ₃）
Ｈ）_i−（但し、ｉ＝１〜１００の整数）、Ｈ（ＯＣ
（ＣＨ₂Ｃｌ）ＨＣＨ₂）_p−（但し、ｐ＝１〜１００の
整数）、Ｈ（ＯＣ（ＣＨ₂（ＣＦ₂ＣＦ₂）_rＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）₂）ＨＣＨ₂）_q−（但し、ｑ＝１〜１００の整
数）、またはＨ（ＯＣ（ＣＨ₂ＯＣ₄Ｈ₉）ＨＣＨ₂）_s−
（但し、ｓ＝１〜１００の整数、且つ、ｒ＝０〜１０の
整数）。〕で表されるアルコールとを反応させる。

【００７２】（３）ＣＦ₂＝ＣＦ₂、ＣＣｌＦ＝ＣＦ₂、
ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ₂、ＣＨ₂＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ
₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｏ、Ｃｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣＦ＝
ＣＣｌＦ（但し、ｉ＝１〜２０の整数）、ＣＦ₃ＣＦ＝
ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ
＝ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝Ｃ（ＣＦ₃）
ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＦＣ
Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ₂ＣＦ₃）ＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）₂、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ
₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_wＣＦ＝ＣＦ₂（但し、
ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは同時に全てが０とはならない０
〜１００の整数であり、Ｒ⁷は、ハロゲン、または炭素
数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは完全にフッ
素化されていてもよい）を示す）及びＲ⁸（ＣＦ（Ｃ
Ｆ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_r ＣＦ
＝ＣＦ3 （但し、ｐ、ｑ及びｒは同時に全てが０とはな
らない０〜１００の整数であり、Ｒ⁸は、ハロゲン、ま
たは炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは完
全にフッ素化されていてもよい）を示す）からなる群か
ら選ばれた少なくとも一種のフルオロオレフィン若しく
はフルオロケトンと、一般式〔ＩＸ’〕：ＨＯＲ⁶ＯＨ
〔Ｒ⁶は、−（Ｃ_hＨ_2h）−（但し、ｈ＝１〜１０の整
数）を示す。〕で表されるアルコールとを反応させる。

【００７３】（４）一般式：

【００７４】

【化３】

【００７５】〔Ｒ⁵´´は、（ＣＦ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂ＣＦ
₂）_nＣＨ₂ＣＨ₂Ｏ−（但し、ｎ＝０〜１０の整数）、Ｃ
Ｈ₃ＣＦ₂（ＣＦ₂ＣＦ₂）_mＣＨ₂ＣＨ₂Ｏ−（但し、ｍ＝
０〜１０の整数）、Ｈ（ＣＦ₂ＣＦ₂）_lＣＨ₂−（但し、
ｌ＝０〜１０の整数）、（ＣＦ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂ＣＦ₂）
_k−（但し、ｋ＝０〜１０の整数）、またはＣＦ₃ＣＦ₂
（ＣＦ₂ＣＦ₂）_j−（但し、ｊ＝０〜１０の整数）を示
する。〕で表される化合物と、一般式：Ｒ⁶ＯＨ 〔Ｉ
Ｘ〕〔Ｒ⁶は、以下の置換基のいいずれかを示す：Ｃ_nＨ
_2n+1−（但し、ｎ＝１０〜３０の整数）、Ｃ_mＨ_2m-1−
（但し、ｍ＝１０〜３０の整数）、Ｃ_hＨ_2h-3−（但
し、ｈ＝１０〜３０の整数）、ＣｌＣ_lＨ_2l−（但し、
ｌ＝１〜１０の整数）、Ｃｌ（ＣＨ₂）₇ＣＨ＝ＣＨ（Ｃ
Ｈ₂）₈−、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂ＣＨ₂）_k−（但し、ｋ＝１〜
１００の整数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ（ＣＨ₃）Ｈ）_j−
（但し、ｊ＝１〜１００の整数）、ＣＨ₃（ＯＣＨ₂Ｃ
（ＣＨ₂ＣＨ₃）Ｈ）_i−（但し、ｉ＝１〜１００の整
数）、Ｈ（ＯＣ（ＣＨ₂Ｃｌ）ＨＣＨ₂）_p−（但し、ｐ
＝１〜１００の整数）、Ｈ（ＯＣ（ＣＨ₂（ＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂）_rＣＦ（ＣＦ₃）₂）ＨＣＨ₂）_q−（但し、ｑ＝１〜
１００の整数）、またはＨ（ＯＣ（ＣＨ₂ＯＣ₄Ｈ₉）Ｈ
ＣＨ₂）_s−（但し、ｓ＝１〜１００の整数、且つ、ｒ＝
０〜１０の整数）。〕で表されるアルコールとを反応さ
せる。

【００７６】（５）一般式：Ｒ⁵ＯＨ〔ＸＩ〕 〔Ｒ⁵は以下の置換基を示す：（ＣＦ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂）_aＣＨ₂ＣＨ₂−（但し、ａは０〜１０の整数）、Ｃ
Ｆ₃ＣＦ₂（ＣＦ₂ＣＦ₂）_bＣＨ₂ＣＨ₂−（但し、ｂは０
〜１０の整数）、又は、Ｈ（ＣＦ₂ＣＦ₂）_cＣＨ₂−（但
し、ｃは０〜１０の整数）〕で表される化合物と、一般
式〔ＸＩＩ〕：

【００７７】

【化４】

【００７８】〔Ｒ⁶は、−（Ｃ_hＨ_2h）−（但し、ｈ＝１
〜１０の整数）を示す。〕で表される化合物とを反応さ
せる。

【００７９】 （６）一般式：（ＨＯＣＨ₂）_n+mＲ¹²〔ＸＩＩＩ〕 〔ｎは０〜２の整数、ｍは１〜４の整数、且つ、１≦ｎ
＋ｍ≦４である。Ｒ¹²は、ｎ＋ｍ＝４のとき、＝Ｃ＝を
示し、ｎ＋ｍ＝３のとき、Ｒ¹³Ｃ≡を示し、ｎ＋ｍ＝２
のとき、（Ｒ¹³）（Ｒ¹⁴）Ｃ＝を示し、ｎ＋ｍ＝１のと
き、（Ｒ¹³）（Ｒ¹⁴）（Ｒ¹⁵）Ｃ−を示す（但し、
Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は、ハロゲンで置換されていてもよ
い炭素数１〜５のアルキル基を示す）。〕で表される化
合物を、ＣＦ₂＝ＣＦ₂、ＣＣｌＦ＝ＣＦ₂、ＣＦ₃ＣＦ＝
ＣＦ₂、ＣＨ₂＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ₂、（Ｃ
Ｆ₃）₂Ｃ＝Ｏ、Ｃｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣＦ＝ＣＣｌＦ
（但し、ｉ＝１〜２０の整数）、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ₂、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ
ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ
₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ₂ＣＦ₃）ＣＦ（ＣＦ₃）₂、Ｒ⁷（ＣＦ₂
ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂
ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂
ＣＦ₂Ｏ）_wＣＦ＝ＣＦ₂（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗ
は同時に全てが０とはならない０〜１００の整数であ
り、Ｒ⁷ は、ハロゲン、または部分的に若しくは完全に
フッ素化されていてもよい炭素数１〜３のアルコキシ基
を示す）及びＲ⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂Ｃ
Ｆ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rＣＦ＝ＣＦ₂（但し、ｐ、ｑ及び
ｒは同時に全てが０とはならない０〜１００の整数であ
り、Ｒ⁸は、ハロゲン、または部分的に若しくは完全に
フッ素化されていてもよい炭素数１〜３のアルコキシ基
を示す）からなる群から選ばれた少なくとも１種のフル
オロオレフィン若しくはフルオロケトンと１段階で、又
は、２種以上のフルオロオレフィン若しくはフルオロケ
トンと１段階で若しくは２段階以上に分割して反応させ
る。

【００８０】 （７）一般式：ＨＯ（Ｃ_mＨ_2m-1Ｏ）_n+n´〔ＸＶＩＩ〕 〔ｍは２〜５の整数、ｎ及びｎ´は１〜３０の整数、且
つ、１≦ｎ＋ｎ´≦３０である。〕で表される化合物
を、ＣＦ₂＝ＣＦ₂、ＣＣｌＦ＝ＣＦ₂、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ
₂、ＣＨ₂＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂＝
Ｏ、Ｃｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣＦ＝ＣＣｌＦ（但し、ｉ
＝１〜２０の整数）、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ
ＦＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、
（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ
（ＣＦ₂ＣＦ₃）ＣＦ（ＣＦ₃）₂、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂
Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z
（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_w
ＣＦ＝ＣＦ₂（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは同時に全
てが０とはならない０〜１００の整数であり、Ｒ⁷は、
ハロゲン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的
に若しくは完全にフッ素化されていてもよい）を示す）
及びＲ⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q
（ＣＦ₂Ｏ）_rＣＦ＝ＣＦ₂（但し、ｐ、ｑ及びｒは同時
に全てが０とはならない０〜１００の整数であり、Ｒ⁸
は、ハロゲン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部
分的に若しくは完全にフッ素化されていてもよい）を示
す）からなる群から選ばれた少なくとも１種のフルオロ
オレフィン若しくはフルオロケトンと１段階で、又は、
２種以上のフルオロオレフィン若しくはフルオロケトン
と１段階で若しくは２段階以上に分割して反応させる。

【００８１】 （８）一般式：ＨＯ（ＣＨ₂Ｃ（ＯＨ）ＨＣＨ₂Ｏ）_nＨ 〔ｎは１〜３０の整数〕で表される化合物を、ＣＦ₂＝
ＣＦ₂、ＣＣｌＦ＝ＣＦ₂、CF₃ＣＦ＝ＣＦ₂、ＣＨ₂＝ＣＦ
₂、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂＝Ｏ、Ｃｌ（ＣＦ
₂ＣＣｌＦ）_iＣＦ＝ＣＣｌＦ（但し、ｉ＝１〜２０の整
数）、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ₂、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＦＣ
Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦ
ＣＦ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂Ｃ
Ｆ）₂Ｃ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ₂ＣＦ₃）
ＣＦ（ＣＦ₃）₂、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨ
ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ
₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_wＣＦ＝ＣＦ
₂（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは同時に全てが０とは
ならない０〜１００の整数であり、Ｒ⁷は、ハロゲン、
または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若しくは
完全にフッ素化されていてもよい）を示す）及びＲ
⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂
Ｏ）_rＣＦ＝ＣＦ₂（但し、ｐ、ｑ及びｒは同時に全てが
０とはならない０〜１００の整数であり、Ｒ⁸は、ハロ
ゲン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若
しくは完全にフッ素化されていてもよい）を示す）から
なる群から選ばれた少なくとも１種のフルオロオレフィ
ン若しくはフルオロケトンと１段階で、若しくは、２種
以上のフルオロオレフィン若しくはフルオロケトンと１
段階で若しくは２段階以上に分割して反応させる。

【００８２】真空蒸着方法 図面を参照しつつ、本発明の真空蒸着方法の代表的な実
施の形態として、コンデンサ用金属化フィルムの製造方
法を具体的に説明する。図１はオイルマスク方式の真空
蒸着によるコンデンサ用金属化フィルムの半連続製造装
置の内部正面図であり、図２は上記方法によって得られ
るコンデンサ用金属化フィルムの部分平面図である。

【００８３】図１を参照して、真空室Ａ内において、Ｐ
ＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等からなる原反フ
ィルムロール１から巻出された原反フィルムは、冷却キ
ャン３を介して巻取りロール４に巻き取られる。この間
フィルム２には、冷却キャン３の下方に配置したＡｌ等
の金属蒸発源５から蒸着が行われるが、それに従いオイ
ル供給装置６（本例では転写ロール）からストライプ状
にパーフロロアルキルポリエーテルが塗布されて非蒸着
部が形成される。蒸着後、巻取られるフィルム７は、図
２に平面形状を示すように、蒸着部８とマージン部９と
からなり、一般に各部の中央に沿ってスリットした細巾
テープとした後、巻取り積層することによりフィルムコ
ンデンサーが形成される。

【００８４】本発明の実施の形態については、本発明の
範囲内で各種の変形が可能である。蒸着基材としては、
蒸着が可能である限りにおいて、特に材質上の制約はな
く、例えば、上記したＰＥＴ以外にも、ポリイミド、ポ
リカーポネート、ポリアセテート、ポリプロピレン、ポ
リフェニレンサルファイド等のプラスチックフィルム、
紙、ガラス基板等を使用できる。蒸発材料としては、Ａ
ｌの他に、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｕ等の金属ある
いはＩＴＯの如き酸化物導体に加えて、ＳＩＯ、ＳｉＯ
₂等の誘電体、各種蒸着性染顔料等を使用できるが、好
ましい実施の形態では、各種導体材料を使用する。オイ
ル供給装置としては、上記した転写ロールの他に、噴霧
塗布手段が好適に用いられるほか、装置的な制約の許す
範囲で各種印刷手段も使用できる。

【００８５】蒸着はベルジャーを用いたバッチ方式によ
り行うこともできる。蒸着方式としては、狭義の真空蒸
着のほか、各種スパッタリングも可能であり、それに応
じて真空度も、例えば１０^-1〜１０^-6Ｔｏｒｒと幅広い
範囲が選択可能である。更にフィルムあるいはシート状
基材への蒸着は片面に限らず、両面に実施してもよいこ
とは云うまでもない。

【００８６】

【発明の効果】本発明の極圧添加剤は、化学的、熱的に
安定な含フッ素化合物からなり、安定な極圧性を示す。

【００８７】本発明のグリース組成物は、耐熱、耐薬品
性が良好で、かつ安価であり、防錆剤等の種々の添加剤
を使用することができる。

【００８８】本発明の含フッ素化合物からなる熱媒体
は、−５０℃のような低温においても用いることがで
き、一方、高温においても安定で、２５０℃でも使用す
ることができる。また、本発明の熱媒体は従来の炭化水
素系化合物からなる熱媒体に比べ、より難燃性または不
燃性であり、安全である。

【００８９】本発明の離型剤は、表面張力が低く熱分解
開始温度が高いので、熱安定性が優れている。ポリウレ
タンの成形加工に用いても表面が荒れることなく、電気
部品の成形加工の場合に接点部の導通不良を起こさな
い。

【００９０】本発明の圧力測定用液体は、化学的、熱的
に安定な含フッ素化合物からなり、測定精度を上げるこ
とができる。

【００９１】本発明の含フッ素油を主成分としてなるマ
スキング油によれば、オイルマスク方式により非蒸着部
を付与しつつ真空蒸着を行なうに際して、良好なマスキ
ング効果が得られる。本発明のマスキング油を用いる真
空蒸着方法によれば、蒸着物質として導体を用いること
によりコンデンサ用金属化フィルム、電極基板を形成す
る等の電気部品の製造に顕著な効果が得られるほか、装
飾品、フィルター等のパターン化蒸着膜を必要とする製
品の製造にも好適に使用し得る。

【００９２】

【実施例】以下に実施例および比較例を示し、本発明を
具体的に説明する。

【００９３】化合物 本実施例および比較例には、以下に示す化合物１〜６を
使用した。

【００９４】化合物１：

【００９５】

【化５】

【００９６】化合物２：

【００９７】

【化６】

【００９８】化合物３：

【００９９】

【化７】

【０１００】化合物４：

【０１０１】

【化８】

【０１０２】化合物５：

【０１０３】

【化９】

【０１０４】化合物６：

【０１０５】

【化１０】

【０１０６】極圧添加剤 市販鉱油スニソ４ＧＳ（テンオイル社製、粘度（３７．
８℃）６０ｃＳｔ）を基油とし、ファレックス試験機を
用いて以下の限界粘度の測定を行った。

【０１０７】〔測定条件〕 試験材質 Ｖブロック ＡＩＳＩ−１１３７ ビン ＳＡＥ−３１３５ すべり速度 ８．９ｃｍ／ｓｅｃ 負荷方法 ラチェットを使用 昇圧速度 ３００ＬＢ／ｍｉｎ 圧縮中に、所定量の本発明極圧添加剤を加え、ポリトロ
ンを用いて、９０００ｒｐｍにて１０分間分散あるいは
荷重操作を行った後、ただちに測定を行った。

【０１０８】結果を表１に示す。

【０１０９】

【表１】

【０１１０】グリース組成物 表２に示す基油６８０ｇにポリテトラフルオロエチレン
の微粉末（粒径０．３μ、平均分子量１００万）３２０
ｇとを擂潰機中で６時間攪拌しグリースを得た。このグ
リースの物性を表３に示す。

【０１１１】

【表２】 基 油 基油重量（ｇ） ＰＴＦＥ重量（ｇ） 実施例１ 化合物１ ６８０ ３２０実施例２ 化合物６ ６８０ ３２０ 比較例１ パラフィン系合成油 ５００ ５００

【０１１２】

【表３】 耐酸性 耐アルカリ性 不混和ちょう度 極圧限界荷重（ｌｂｓ） 実施例１ 変化なし 変化なし ３２０ ２０００実施例２ 変化なし 変化なし ３２０ ２５００ 比較例１ 分 解 分 解 ２８０ １２００

【０１１３】なお、物性の測定は次のようにして行っ
た。

【０１１４】耐酸性：３５重量％塩酸に室温で１６時間
浸漬した場合の外観の変化。

【０１１５】耐アルカリ性：１０重量％水酸化ナトリウ
ム水溶液に室温で１６時間浸漬した場合の外観の変化。

【０１１６】不混和ちょう度：ＪＩＳ Ｋ２５６０によ
る。

【０１１７】極圧限界荷重：ファレックス試験器で測
定。

【０１１８】離型剤 径４ｃｍφ×深さ２ｃｍのアルミニウム型上に表５に示
した離型剤を含む組成物（各種離型剤の２％トリクロロ
トリフロロエタン溶液）を刷毛塗り塗装する。次いで、
下記Ａ液及びＢ液をハンドミキサーにより１５００ｒｐ
ｍで攪拌混合し、直ちに上記アルミニウム型上に流し込
み、２５℃で５分間発泡硬化させた後、引張試験機（引
張速度２５ｍｍ／ｍｉｎ）を用いて接着強度を求め、離
型性能を測定した。

【０１１９】

【表４】Ａ液 ポリオールＰＯＰ３１−２８〔日本ウレタン（株）〕 １００重量部 ポリオールＥＧ／ＤＥＰ〔日本ウレタン（株）〕 １２重量部 シリコーンＬ５３０２〔日本ユニカー（株）〕 １．０重量部 ポリアミンＤＢＴＤＬ ０．０１重量部トリクロロモノフルオロエタンＤＦ−１１〔ダイキン工業（株）〕 １０重量部 Ｂ液 イソシアネートＭＤｉ−ＣＬ〔日本ウレタン（株）〕 ４４．７重量部

【０１２０】

【表５】 離型剤 離型性（ｇ/ｃｍ ³） 実施例１ 化合物１ ２５０ 実施例２ 化合物６ １８０実施例３ 化合物３ ２８０ 比較例１ ポリジメチルシロキサンオイル ４７５

【０１２１】圧力測定用液体 −７６０ｍｍＨｇ〜２０ｋｇ／ｃｍ²の測定範囲を持つ
隔膜式圧力計の中に、化合物６の構造式で示される含フ
ッ素油を圧力測定用液体として用いた圧力計を試作し
た。この圧力計を試験用のボンベに取り付け、２５℃で
−７５０ｍｍＨｇに２０時間保持したが、実験中圧力は
正常な値を示した。ボンベを大気圧に戻したときも、窒
素ガスで加圧した時も正常な圧力を示した。

【０１２２】マスキング油 （１）オイル供給装置６として、転写ロールの代わり
に、スリット状開口部を有する中空パイプ状噴霧塗布装
置を用いる以外は、図１に示したような、オイルマスク
方式の半連続蒸着機を用い、オイルの種類を変えて蒸着
を行った。

【０１２３】基材フィルム２としては、ポリエチレンテ
レフタレートのフィルム（厚み２μ、巾５００ｍｍ、長
さ２００００ｍ）を用い、その片面にフィルムの巻取り
速度２４０ｍ／ｍｉnでＡｌを蒸着した。蒸着機Ａ内の
オイル供給装置設置部の真空度は約１０^-2Ｔｏｒｒ、Ａ
ｌ蒸着される近辺の真空度は１〜３×１０^-4Ｔｏｒｒで
あった。オイルは８ｍｍ間隔毎に巾１ｍｍでフィルム面
に蒸気として噴霧付着させた。またＡｌの蒸着部の表面
抵抗は１．７Ω／Ｏ（膜厚としては約４００Å）になる
ようにした。

【０１２４】異なるオイルを使用して得られたコンデン
サ用金属化フィルムについて、巻取られたロール状態で
のマージン部における金属付着量および金属化フィルム
の蒸着部とマージンとの境界のポケを目視観察した結果
を表６に示す。更にメタノールを含侵させたガーゼでマ
ージン部を拭きとって発光分析にかけたところ、流動パ
ラフィンおよびジメチルシリコーンを使用したものから
はＡｌが検出されたが、化合物１〜５を使用したものか
らは検出されなかった。

【０１２５】

【表６】オイルの種類 マージン部における金属の付着状態 ボケ 化合物１ なし（白色、テープマスクと同等） なし 化合物２ なし（白色、テープマスクと同等） なし 化合物３ なし（白色、テープマスクと同等） なし 化合物４ なし（白色、テープマスクと同等） なし 化合物５ なし（白色、テープマスクと同等） 有り 大 流動パラフィン（平均分子量：４２０） 有り（やや薄ネズミ色） ジメチリシリコーン 大 （黒褐色） マージン部の着色により観察不能

【０１２６】（２）含フッ素油各種フィルムに対するＡ
ｌ蒸着のマスキング効果を見るために、ベルジャー型蒸
着試験機を使用して実験した。これを綿棒に含侵させて
各種のフィルムに巾約５ｍｍの洗浄に塗布し、フィルム
のオイル塗布面にＡｌを蒸着した、比較のため、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムについてのみ、流動パラ
フィン（平均分子量３１０）を塗布したものも実験し
た。蒸着後のフィルムについて、オイル塗布部へのＡｌ
の付着状態およびオイル塗布部の外周の乱れを観察した
結果を表７に示す。

【０１２７】

【表７】 オイルの種類 フィルムの種類 オイル塗布部の状態 アルミの付着 外周の乱れ 化合物１ ポリエチレンテレフタレート なし なし 化合物１ ポリプロピレン なし なし 化合物１ ポリスチレン なし なし 化合物１ ポリカーボネート なし なし 化合物２ ポリエチレンテレフタレート なし なし 化合物２ ポリプロピレン なし なし 流動パラフィン ポリエチレンテレフタレート 部分的にかすみ状 あり （平均分子量：４２０） にわずかに付着 大

【図面の簡単な説明】

【図１】オイルマスク方式の真空蒸着によるコンデンサ
用金属化フィルムの半連続製造装置の内部正面図であ
る。

【図２】上記方法によって得られるコンデンサ用金属化
フィルムの部分平面図である。

【符号の説明】

１ 原反フィルムロール ２ その引き出し状態 ３ 冷却キャン ４ 蒸着品巻取りロール ５ 蒸発源 ６ オイル供給装置 ７ 蒸着品（金属化フィルム） ８ 蒸着部 ９ マージン部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ１０Ｍ 107/38 Ｃ１０Ｍ 107/38 135/22 135/22 147/04 147/04 // Ｃ１０Ｎ 30:06 30:08 30:12 50:10

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ）一般式： 【化１】 〔Ｒ¹、Ｒ²及びＲ³は、Ｆ−を、または、部分的に若し
   くは完全にフッ素化された炭素数１〜３０の直鎖の若し
   くは分岐のアルキル基若しくはアルケニル基を（部分的
   にフッ素以外のハロゲンで置換されていてもよい）示
   す。Ｒ⁴は、炭素数１〜３０の直鎖の若しくは分岐のア
   ルキル基若しくはアルケニル基を（部分的にハロゲンで
   置換されていてもよい）、または、炭素数２〜５００の
   ポリエーテル基（部分的にハロゲンで置換されていても
   よい）を示す。Ｘは、ＯまたはＳを示す。〕で表される
   分子中に酸素原子又は硫黄原子を含有するフッ素化炭化
   水素化合物、 （Ｂ）一般式：（Ｒ⁵Ｏ）_dＲ⁶ 〔ＩＩ〕 〔ｄ＝１又は２。Ｒ⁵は、部分的に若しくは完全にフッ
   素化された炭素数１〜５０の直鎖の若しくは分岐のアル
   キル基、アルケニル基若しくはアルコキシアルキル基を
   （部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていてもよ
   く、また、構造中に１〜３個のＯＨ基を有していてもよ
   い）、または部分的に若しくは完全にフッ素化された炭
   素数２〜７００のフルオロポリエーテル基（部分的にフ
   ッ素以外のハロゲンで置換されていてもよく、構造中に
   １〜３個の不飽和結合を含んでいてもよく、また、側鎖
   にエーテル結合を含んでいてもよい）を示す。Ｒ⁶は、
   ｄ＝１のとき、炭素数１〜３０の直鎖の若しくは分岐の
   アルキル基若しくはアルケニル基を（部分的にハロゲン
   で置換されていてもよい）、または炭素数２〜５００の
   ポリエーテル基（部分的にハロゲンで置換されていても
   よい）を示し、ｄ＝２のとき、炭素数１〜１０の直鎖の
   若しくは分岐の二官能アルキル基若しくは二官能アルケ
   ニル基を（部分的にハロゲンで置換されていてもよ
   い）、または炭素数２〜５００の二官能ポリエーテル基
   （部分的にハロゲンで置換されていてもよい）を示
   す。〕で表される分子中に酸素原子を含有するフッ素化
   炭化水素化合物、 （Ｃ）一般式：（Ｒ¹⁰ＯＣＨ₂）_nＲ¹²（ＣＨ₂ＯＲ¹¹）_m 〔ＩＩＩ〕 〔ｎは０〜２の整数、ｍは１〜４の整数、且つ、１≦ｎ
   ＋ｍ≦４。Ｒ¹⁰は、Ｈ−を、部分的に若しくは完全にフ
   ッ素化された炭素数１〜５０の直鎖の若しくは分岐のア
   ルキル基、アルケニル基若しくはアルコキシアルキル基
   を（部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていても
   よく、また、構造中に１〜３個のＯＨ基を有していても
   よい）、または部分的に若しくは完全にフッ素化された
   炭素数２〜７００のフルオロポリエーテル基（部分的に
   フッ素以外のハロゲンで置換されていてもよく、構造中
   に１〜３個の不飽和結合を含んでいてもよく、また、側
   鎖にエーテル結合を含んでいてもよい）を示す。Ｒ
   ¹¹は、部分的に若しくは完全にフッ素化された炭素数１
   〜５０の直鎖の若しくは分岐のアルキル基、アルケニル
   基若しくはアルコキシアルキル基を（部分的にハロゲン
   で置換されていてもよく、また、構造中に１〜３個のＯ
   Ｈ基を有していてもよい）、または部分的に若しくは完
   全にフッ素化された炭素数２〜７００のフルオロポリエ
   ーテル基（部分的にハロゲンで置換されていてもよく、
   構造中に１〜３個の不飽和結合を含んでいてもよく、ま
   た、側鎖にエーテル結合を含んでいてもよい）を示す。
   Ｒ¹²は、ｎ＋ｍ＝４のとき、＝Ｃ＝を示し、ｎ＋ｍ＝３
   のとき、Ｒ¹³Ｃ≡を示し、ｎ＋ｍ＝２のとき、（Ｒ¹³）
   （Ｒ¹⁴）Ｃ＝を示し、ｎ＋ｍ＝１（ｎ＝０且つｍ＝１）
   のとき、（Ｒ¹³）（Ｒ¹⁴）（Ｒ¹⁵）Ｃ−を示す。但し、
   Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は、ハロゲンで置換されていてもよ
   い炭素数１〜５のアルキル基を示す。〕で表される分子
   中に酸素原子を含有するフッ素化炭化水素化合物、 （Ｄ）一般式：Ｒ¹⁶Ｏ（Ｃ（ＯＲ¹⁷）ＨＣ_m-1Ｈ_2m-3Ｏ）_n（Ｃ（ＯＲ¹⁸）Ｃ_m-1 Ｈ2_m-3Ｏ）_n´Ｒ¹⁹ 〔ＩＶ〕 〔ｍ＝２〜５の整数、ｎ＝０〜３０の整数、ｎ′＝０〜
   ３０の整数、且つ、１≦ｎ＋ｎ′≦３０。Ｒ¹⁶及びＲ¹⁷
   は、Ｈ−を、部分的に若しくは完全にフッ素化された炭
   素数１〜５０の直鎖の若しくは分岐のアルキル基、アル
   ケニル基若しくはアルコキシアルキル基を（部分的にフ
   ッ素以外のハロゲンで置換されていてもよく、また、構
   造中に１〜３個のＯＨ基を有していてもよい）、または
   部分的に若しくは完全にフッ素化された炭素数２〜７０
   ０のフルオロポリエーテル基（部分的にフッ素以外のハ
   ロゲンで置換されていてもよく、構造中に１〜３個の不
   飽和結合を含んでいてもよく、また、側鎖にエーテル結
   合を含んでいてもよい）を示す。Ｒ¹⁸及びＲ¹⁹は、部分
   的に若しくは完全にフッ素化された炭素数１〜５０の直
   鎖の若しくは分岐のアルキル基、アルケニル基、アルコ
   キシアルキル基を（部分的にフッ素以外のハロゲンで置
   換されていてもよく、また、構造中に１〜３個のＯＨ基
   を有していてもよい）、または部分的に若しくは完全に
   フッ素化された炭素数２〜７００のフルオロポリエーテ
   ル基（部分的にフッ素以外のハロゲンで置換されていて
   もよく、構造中に１〜３個の不飽和結合を含んでいても
   よく、また、側鎖にエーテル結合を含んでいてもよい）
   を示す。〕で表される分子中に酸素原子を含有するフッ
   素化炭化水素化合物並びに （Ｅ）一般式：Ｒ¹⁶Ｏ（ＣＨ₂Ｃ（ＯＲ¹⁷）ＨＣＨ₂Ｏ）_n（ＣＨ₂Ｃ（ＯＲ¹⁸）Ｈ ＣＨ₂Ｏ）_n´Ｒ¹⁹ 〔Ｖ〕 〔ｎ＝０〜１５の整数、ｎ´＝０〜１５の整数、且つ、
   １≦ｎ＋ｍ≦１５。Ｒ¹⁶及びＲ¹⁷は、Ｈ−、ＨＣＦ₂Ｃ
   Ｆ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂ＣＣｌＦ−、ＣＦ₃
   ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、ＣＦ₂＝ＣＦＣＦ₂
   −、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦ₂−、ＨＯＣ
   （ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌＦ）_iＣＦＨＣ
   ＣｌＦ−（但し、ｉ＝１〜２０の整数）；Ｈ−、（ＣＦ
   ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝ＣＦＣ
   Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₃Ｃ＝Ｃ
   ＦＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦ＝ＣＦ₂、ＣＦ₂
   ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＣＦ₂
   ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ
   ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
   （ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）＝ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、
   （（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦ＝ＣＦ₂、（（ＣＦ₃）₂Ｃ
   Ｆ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ（Ｃ
   Ｆ₃）₂）ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣＦ₃、
   （ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦＨ
   ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（Ｃ
   Ｆ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
   （ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、
   （（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ ＣＣＦＨＣＦ₃、または（（Ｃ
   Ｆ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃；Ｈ−、Ｒ⁷（ＣＦ₂ＣＦ₂
   ＣＦ₂Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂
   Ｏ）_z（ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂
   Ｏ）_wＲ⁹−（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは、同時に全
   部が０とはならない０〜１００の整数）、またはＲ
   ⁸（ＣＦ（ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂
   Ｏ）_rＲ⁹−（ｐ、ｑ及びｒは、同時に全部が０とはなら
   ない０〜１００の整数）を示す。但し、Ｒ⁷及びＲ⁸は、
   ハロゲン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的
   に若しくは完全にべてフッ素化されていてもよい）を示
   し、Ｒ⁹は、炭素数１〜５の二官能アルキル基、二官能
   アルケニル基、二官能アルキルエーテル基若しくは二官
   能アルキルアルコール基を示す（部分的に若しくは完全
   にフッ素化されていてもよい）を示す。Ｒ¹⁸及びＲ
   ¹⁹は、ＨＣＦ₂ＣＦ₂−、ＨＣＣｌＦＣＦ₂−、ＨＣＦ₂Ｃ
   ＣｌＦ−、ＣＦ₃ＣＦＨＣＦ₂−、ＣＦ₃ＣＦ＝ＣＦ−、
   ＣＦ₂＝ＣＦＣＦ₂−、ＣＨ₃ＣＦ₂−、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣ
   Ｆ₂−、ＨＯＣ（ＣＦ₃）₂−、またはＣｌ（ＣＦ₂ＣＣｌ
   Ｆ）_iＣＦＨＣＣｌＦ−（但し、ｉ＝１〜２０の整
   数）；（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦ
   Ｃ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣＦ＝ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ
   ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦ＝Ｃ
   Ｆ₂、ＣＦ₂＝Ｃ（ＣＦ₃）ＣＦＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂
   Ｃ＝ＣＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣ＝Ｃ（ＣＦ₃）Ｃ
   Ｆ₂ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝ＣＦＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂
   ＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）＝ＣＦＣ
   Ｆ₂ＣＦ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦ＝ＣＦ₂、（（Ｃ
   Ｆ₃）₂ＣＦ）₂Ｃ＝ＣＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂Ｃ＝Ｃ（ＣＦ
   （ＣＦ₃）₂）ＣＦＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣＦＣ
   Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣＦＨＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＣ
   ＦＨＣＦ₂ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦＣＦ₂ＣＦ₃ 、
   （ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＣ（ＣＦ₃）（Ｈ）ＣＦ₂ＣＦ₂Ｃ
   Ｆ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦＣＦＨＣ（ＣＦ₃）ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ
   ₃、（（ＣＦ₃）₂ＣＦ）₂ＣＣＦＨＣＦ₃、または（（Ｃ
   Ｆ₃）₂ＣＦ）₂ＣＨＣＦＣＦ₃；Ｒ⁷ （ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂
   Ｏ）_x（ＣＦＨＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_y（ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_z
   （ＣＣｌ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_v（ＣＣｌＦＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_w
   Ｒ⁹−（但し、ｘ、ｙ、ｚ、ｖ及びｗは、同時に全部が
   ０とはならない０〜１００の整数）、またはＲ⁸（ＣＦ
   （ＣＦ₃）ＣＦ₂Ｏ）_p（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_q（ＣＦ₂Ｏ）_rＲ
   ⁹−（但し、ｐ、ｑ及びｒは、同時に全部が０とはなら
   ない０〜１００の整数）（但し、Ｒ⁷及びＲ⁸は、ハロゲ
   ン、または炭素数１〜３のアルコキシ基（部分的に若し
   くは完全にフッ素化されていてもよい）を示し、Ｒ
   ⁹は、炭素数１〜５の二官能アルキル基、二官能アルケ
   ニル基、二官能アルキルエーテル基若しくは二官能アル
   キルアルコール基を示す（部分的に若しくは完全にフッ
   素化されていてもよい）を示す。但し、ｎ＝１のとき、
   Ｒ¹⁶、Ｒ¹⁷及びＲ¹⁸の全部が同時にＨＣＦ₂ＣＦ₂−を示
   す組み合わせは除く。〕で表される分子中に酸素原子を
   含有するフッ素化炭化水素化合物からなる群から選ばれ
   た少なくとも１種の含フッ素化合物を主成分としてなる
   含フッ素極圧添加剤。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕
   のいずれかで表される酸素原子又は硫黄原子を含有する
   フッ素化炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の
   含フッ素化合物を基油としてなる含フッ素グリース組成
   物。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕
   のいずれかで表される酸素原子又は硫黄原子を含有する
   フッ素化炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の
   含フッ素化合物を主成分としてなる熱媒体。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕
   のいずれかで表される酸素原子又は硫黄原子を含有する
   フッ素化炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の
   含フッ素化合物を主成分としてなる離型剤。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕
   のいずれかで表される酸素原子又は硫黄原子を含有する
   フッ素化炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の
   含フッ素化合物を主成分としてなる圧力測定用液体。
6. 【請求項６】 請求項１に記載の一般式〔Ｉ〕〜〔Ｖ〕
   のいずれかで表される酸素原子又は硫黄原子を含有する
   フッ素化炭化水素化合物から選ばれた少なくとも１種の
   含フッ素化合物を主成分としてなるマスキング油。
7. 【請求項７】 蒸着基材上にオイルマスク方式により非
   蒸着部を付与しつつ蒸着膜を形成するに際して、マスキ
   ング油として請求項６に記載のマスキング油を用いるこ
   とを特徴とする真空蒸着方法。
8. 【請求項８】 蒸着膜が導体である請求項７に記載の真
   空蒸着方法。
9. 【請求項９】 蒸着膜が金属または金属酸化物導体であ
   る請求項７に記載の真空蒸着方法。