JPH10146976A - Ink jet printing head, and ink jet printing device on which the head is mounted - Google Patents

Ink jet printing head, and ink jet printing device on which the head is mounted

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JPH10146976A
JPH10146976A JP8304719A JP30471996A JPH10146976A JP H10146976 A JPH10146976 A JP H10146976A JP 8304719 A JP8304719 A JP 8304719A JP 30471996 A JP30471996 A JP 30471996A JP H10146976 A JPH10146976 A JP H10146976A
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ink
print head
substrate
jet print
ink jet
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Takashi Inoue
敬 井上
Mineo Kaneko
峰夫 金子
Shuichi Murakami
修一 村上
Michiya Mizutani
道也 水谷
Yasuyuki Tamura
泰之 田村
Ikutomo Watabe
育朋 渡部
Kanki Sato
環樹 佐藤
Masayoshi Tachihara
昌義 立原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform a stable ink liquid drop discharging, and improve the reliability under a state wherein remaining air bubbles do not unfavorably affect the ink liquid discharging by a method wherein for an ink passage for which a protuberance is provided on a discharging port plate, a joint part is provided on adjacent energy generating elements, between an ink feeding port and the ink discharging energy generating elements. SOLUTION: On a substrate 4, an electric thermal converting element 1 which is a discharging energy generating element, and an ink feeding port are provided, and on both sides in the longitudinal direction of the ink feeding port, one line each of electric thermal converting elements 1 is arranged under a zig-zag state. Also, on the substrate 4, a coating resin layer 6 which becomes an ink passage wall to form an ink passage, is provided, and on the coating resin layer 6, a discharging port plate 5 equipped with a discharging port 2, is provided. Then, in order to suppress the growth of remaining air bubbles 9 to a degree wherein the remaining air bubbles 9 unfavorably affect the ink feeding characteristics, a protuberance 7 is provided directly above the ink feeding port on the internal surface of the discharging port plate, and in addition, a joint part which is co-owned by adjacent elements 1, is provided between the ink feeding port and the electric thermal converting element 1 for the ink passage.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インク小滴を飛翔
させ、被記録媒体に記録を行うインクジェット記録方式
に用いられるインクジェットプリントヘッド及び該ヘッ
ドを用いたインクジェットプリントシステムに関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an ink jet print head used in an ink jet recording system for ejecting small ink droplets and recording on a recording medium, and an ink jet printing system using the head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録方式は、いわゆるノ
ンインパクト記録方式の一つである。この記録方式の特
徴としては、記録時における騒音の発生が無視しうる程
度の小さく、高速記録とさまざまな記録媒体に対する記
録が可能であり、いわゆる普通紙に対しても特別な処理
を必要とせずに定着し、しかも高精細な画像が廉価に得
られることを挙げることができる。このような利点か
ら、コンピューターの周辺機器としてのプリンタばかり
でなく、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の
プリンティングシステムでここ数年急速に普及してい
る。
2. Description of the Related Art An ink jet recording system is one of so-called non-impact recording systems. As a feature of this recording method, the generation of noise during recording is small enough to be ignored, high-speed recording and recording on various recording media are possible, and no special processing is required for so-called plain paper. And high-definition images can be obtained at low cost. Due to these advantages, not only printers as peripheral devices of computers but also printing systems such as copying machines, facsimile machines, word processors and the like have been rapidly spreading in recent years.

【0003】今日広く一般的に用いられているインクジ
ェット方式のインク吐出方法にはインク滴を吐出するた
めに用いられる吐出エネルギー発生素子として電気熱変
換素子(ヒーター)を利用する方法と圧電素子(ピエ
ゾ)を用いる方法があり、いずれも電気的な信号によっ
てインク滴の吐出を制御することが可能である。例え
ば、電気熱変換素子を用いるインク滴吐出方法の原理
は、電気熱変換素子に電気信号を与えることにより、電
気熱変換素子近傍のインクを瞬時にして沸騰させ、その
時のインクの相変化により生じる急激な気泡の成長によ
ってインク滴を高速に吐出させるものである。一方、圧
電素子を用いるインク滴の吐出方法の原理は、圧電素子
に電気信号を与えることにより、圧電素子が変位しこの
変位時の圧力によってインク滴を吐出させるものであ
る。ここで、前者の方法は吐出エネルギー発生素子のス
ペースをそれほど採らなくても済み、インクジェットプ
リントヘッドの構造が単純で、ノズルの集積化が容易で
あること等の利点がある。一方で、この方法固有の短所
としては電気熱変換素子の発生する熱等のインクジェッ
トプリントヘッド内の蓄熱による飛翔インク滴の体積変
動、消泡によるキャビテーションの電気熱変換素子に与
える影響、インク内に溶け込んだ空気によるインクジェ
ットプリントへッド内の残留気泡によるインク滴吐出特
性および画像に与える影響等がある。
[0003] Ink jet ink jetting methods widely used today include a method using an electrothermal transducer (heater) as an ejection energy generating element used to eject ink droplets, and a piezoelectric element (piezoelectric element). ), And the discharge of ink droplets can be controlled by an electrical signal. For example, the principle of an ink droplet ejection method using an electrothermal conversion element is that, by giving an electric signal to the electrothermal conversion element, the ink near the electrothermal conversion element is instantaneously boiled and is caused by a phase change of the ink at that time. Ink droplets are ejected at high speed by rapid growth of bubbles. On the other hand, the principle of a method of discharging ink droplets using a piezoelectric element is that an electric signal is applied to the piezoelectric element to displace the piezoelectric element, and the ink droplet is discharged by the pressure at the time of the displacement. Here, the former method does not require much space for the ejection energy generating element, has advantages such as a simple structure of the ink jet print head and easy integration of nozzles. On the other hand, the disadvantages inherent in this method are that the volume of flying ink droplets fluctuates due to heat storage in the inkjet print head, such as heat generated by the electrothermal transducer, the effect of cavitation due to defoaming on the electrothermal transducer, There is an effect on ink drop ejection characteristics and images due to bubbles remaining in the inkjet print head due to the dissolved air.

【0004】これらの欠点を解決する方法として、特開
昭54-161935号公開公報、特開昭61-185455号公開公報、
特開昭61-249768号公開公報、特開平4-10941号公開公
報、に記載されたインクジェット記録方法及びインクジ
ェットプリントヘッドがある。すなわち、上記公報に記
載されるインクジェット記録方法は、記録信号によって
電気熱変換素子を駆動させることにより生じた気泡を外
気と連通させることを特徴とするものである。この記録
方法を用いることにより飛翔インク滴の体積安定性の向
上および、高速小液滴吐出、気泡の消泡時に発生するキ
ャビテーションの解消によるヒーターの耐久性向上等が
可能となり、更なる高精細画像が容易に得られるように
なる。前記公報において気泡と外気とを連通させるため
の構成としては、電気熱変換素子と吐出口間との距離を
従来より格段に短くする構成が挙げられている。そし
て、この構成を有するインクジェットプリントヘッド
は、電気熱変換素子に対応する吐出口を配した吐出口プ
レートと、基板の背面からインクを供給するために基板
に開けられたインク供給口を有し、ちょうどインク滴が
電気熱変換素子を配した基板に対しほぼ垂直に飛翔する
ように構成される。(図1、8参照)。ここで電気熱変換
素子と吐出口間との(最短)距離としては30μm以下が
望ましいものである。
[0004] As a method of solving these drawbacks, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-161935, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-185455,
There are ink jet recording methods and ink jet print heads described in JP-A-61-249768 and JP-A-4-10941. That is, the ink jet recording method described in the above-mentioned publication is characterized in that bubbles generated by driving the electrothermal conversion element by a recording signal are communicated with the outside air. By using this recording method, it is possible to improve the volume stability of flying ink droplets, discharge small droplets at high speed, and improve the durability of the heater by eliminating cavitation generated when bubbles are bubbled out. Can be easily obtained. In the above-mentioned publication, as a configuration for communicating air bubbles with the outside air, a configuration in which the distance between the electrothermal conversion element and the discharge port is significantly shorter than in the related art is cited. An inkjet print head having this configuration has an ejection port plate provided with ejection ports corresponding to the electrothermal transducers, and an ink supply port opened in the substrate to supply ink from the back of the substrate. It is configured such that the ink droplet flies almost perpendicularly to the substrate on which the electrothermal conversion elements are arranged. (See Figures 1 and 8). Here, it is desirable that the (shortest) distance between the electrothermal conversion element and the discharge port be 30 μm or less.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで上述の公報に
記載される構成は前述の欠点の一つである、インク内に
溶け込んだ空気によるインクジェットプリントヘッド内
に残留気泡によるインク滴吐出特性および画像に与える
影響についてはいまだ十分に解決できるものではなく、
流路の高さが低いためかえってこの問題が顕著に現れや
すくなってしまうことが判明した。以下にこのインク内
に溶け込んだ空気によるインクジェットプリントヘッド
内に残留気泡によるインク滴吐出特性および画像に与え
る影響について詳しく説明する。インクジェットプリン
トヘッド内のインク中には、通常、空気が飽和状態で溶
け込んでいる。この状態で電気熱変換素子を駆動する
と、インクの相変化による発泡と急激な気泡の断熱収縮
の繰り返しの際に、インク中に溶け込んでいた空気が1
μm程度からそれ以下の径の未溶気泡としてインク中に
突然出現することがある。また、このような気泡は、気
泡の径、インクの表面張力、空気の飽和蒸気圧などから
決まる時間でインク中に再溶解することが知られてい
る。例えば、気泡の径が1μm以下であれば、溶解にか
かる時間は1μs以下のオーダーとなる。しかしなが
ら、高周波数で複数の電気熱変換素子を連続駆動する場
合、このような気泡はインク中に複数出現し、再溶解す
る前に互いに合体成長してしまう。気泡の径が大きくな
ると、再溶解にかかる時間も断然大きくなることが知ら
れているが、結果としてインクジェットプリントヘッド
内に数10μmから数100μmの複数の残留気泡を貯えて
しまうことになる。このようになると、これらの残留気
泡はほとんどインク中に再溶解することはなく、インク
滴の吐出特性に悪影響を与えることになる。すなわち、
残留気泡がインク流路を塞いでしまえば、ノズルに十分
なインクが充填されず吐出不良を生じさせることにな
る。また、インクジェットプリントヘッド内部に巨大な
残留気泡(数100μm程度)が生じ、この残留気泡がた
またま外気と連通してしまうようなことが起こると、ノ
ズル内に外気が入り込んでメニスカスが破壊されてしま
うためインクタンクのインクを吸いあげる負圧力によっ
て、インクジェットプリントヘッドの内部のインクはイ
ンクタンクに吸い上げられてしまい、全ノズルが不吐出
になってしまうということまで生じることがある。この
ような残留気泡のもたらす悪影響を回避するもっとも有
効な解決手段としては、残留気泡が悪影響を与えるほど
成長する前に吐出口から吸引、加圧等によってインクと
ともに残留気泡を外部に排出すること、いわゆる吸引
(加圧)回復処理を行う方法がある。しかしながら、こ
の場合にはインクの消費量が格段に増え、印字中にこれ
を行えば当然スループットは下がってしまう。他の方法
としては、インク中に溶け込んでいた空気を何らかの方
法によってインクから排出させ(脱気)、そのようなイ
ンクをインクジェットプリントヘッドに使用する方法が
ある。最もこの解決方法が有効に作用している時間は、
インクを脱気してから数10分程度であり、またインクを
脱気する装置は比較的大掛かりなため、この手法は大規
模なプリンティングシステム等に限って用いることがで
きるものである。
The structure described in the above-mentioned publication is one of the drawbacks mentioned above, in that the ink droplet discharge characteristics and image due to bubbles remaining in the ink jet print head due to air dissolved in the ink are reduced. The impact is still not fully resolved,
It has been found that this problem is more likely to appear remarkably because the height of the flow path is low. In the following, the effect of air dissolved in the ink on the ink droplet ejection characteristics and image due to bubbles remaining in the ink jet print head will be described in detail. In the ink in the ink jet print head, air is usually dissolved in a saturated state. When the electrothermal transducer is driven in this state, the air dissolved in the ink is reduced by one due to the repetition of bubbling due to the phase change of the ink and rapid adiabatic shrinkage of the bubbles.
It may suddenly appear in the ink as undissolved bubbles having a diameter of about μm or less. Further, it is known that such bubbles are re-dissolved in the ink in a time determined by the diameter of the bubble, the surface tension of the ink, the saturated vapor pressure of the air, and the like. For example, when the bubble diameter is 1 μm or less, the time required for dissolution is on the order of 1 μs or less. However, when a plurality of electrothermal transducers are continuously driven at a high frequency, a plurality of such bubbles appear in the ink and grow together before being re-dissolved. It is known that as the bubble diameter increases, the time required for re-dissolution increases significantly, but as a result, a plurality of residual bubbles of several tens μm to several hundreds μm are stored in the inkjet print head. In such a case, these residual bubbles hardly redissolve in the ink, and adversely affect the ejection characteristics of the ink droplets. That is,
If the residual air bubbles block the ink flow path, the nozzles will not be filled with sufficient ink, causing ejection failure. In addition, huge residual air bubbles (approximately several hundred μm) are generated inside the ink jet print head, and if the residual air bubbles happen to communicate with the outside air, the outside air enters into the nozzle and the meniscus is destroyed. Therefore, the negative pressure for sucking up the ink in the ink tank may cause the ink inside the ink jet print head to be sucked up by the ink tank, causing all the nozzles to become non-ejection. The most effective solution to avoid the adverse effects of such residual air bubbles is to discharge the residual air bubbles together with the ink by suction, pressurization, etc. from the ejection port before the residual air bubbles grow so badly that There is a method of performing a so-called suction (pressure) recovery process. However, in this case, the amount of ink consumption increases remarkably, and if this is performed during printing, the throughput naturally decreases. As another method, there is a method in which air dissolved in the ink is discharged from the ink by some method (degassing), and such ink is used for an ink jet print head. The time when this solution works best is
Since it takes about several tens of minutes after deaeration of the ink and the device for deaeration of the ink is relatively large, this method can be used only for a large-scale printing system or the like.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本願発明は上記の問題点
に鑑みてなされたものであり、インクジェットプリント
ヘッド内部に残った気泡のインク液吐出に与える悪影響
を緩和させ、安定なインク滴の吐出と信頼性の高いイン
クジェットプリントヘッドを提供することを目的とする
ものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and alleviates the adverse effect of bubbles remaining in an ink jet print head on ink liquid discharge, thereby stably discharging ink droplets. And a highly reliable ink jet print head.

【0007】本発明の別の目的は残留気泡を制御し、回
復処理の回数を少なくすることによりスループットにす
ぐれ、インク消費量の少ないインクジェットプリンティ
ングデバイスを提供することにある。
It is another object of the present invention to provide an ink jet printing device which has excellent throughput by controlling the residual bubbles and reduces the number of times of the recovery processing, and consumes a small amount of ink.

【0008】上記目的を達成する構成は、インク滴を吐
出するために用いられるエネルギーを発生する複数の吐
出エネルギー発生素子と、前記インク滴を吐出するイン
ク吐出口と、該複数の吐出エネルギー発生素子を列状に
配するとともに前記吐出エネルギー発生素子の配列方向
に沿って延在する貫通口からなるインク供給口を有する
基板と、前記インク吐出口を備える吐出口プレートと、
を備え、前記基板と前記吐出口プレートが接合され基板
と吐出口プレートとの間に前記インク吐出口とインク供
給口とを連通するインク流路が形成されているインクジ
ェットプリントヘッドにおいて、前記吐出口プレートは
前記インク供給口に対応する位置に複数の突起を有する
とともに前記インク流路は前記基板のインク供給口から
インク吐出エネルギー発生素子との間で隣接する吐出エ
ネルギー発生素子が共有する共有部を有することを特徴
とするものである。
In order to achieve the above object, a plurality of ejection energy generating elements for generating energy used for ejecting ink droplets, an ink ejection port for ejecting the ink droplets, and the plurality of ejection energy generating elements are provided. A substrate having an ink supply port consisting of a through-hole that is arranged in a row and extends along the arrangement direction of the ejection energy generating elements, and an ejection port plate including the ink ejection port,
An ink jet print head, wherein the substrate and the discharge port plate are joined and an ink flow path communicating the ink discharge port and the ink supply port is formed between the substrate and the discharge port plate. The plate has a plurality of protrusions at positions corresponding to the ink supply ports, and the ink flow path has a common portion shared by adjacent discharge energy generation elements between the ink supply ports of the substrate and the ink discharge energy generation elements. It is characterized by having.

【0009】上記のような本発明に係る構成を有するイ
ンクジェットプリントヘッドによれば、インクジェット
プリントヘッド内部に残った気泡のインク滴吐出に与え
る悪影響を緩和させることができる。また、本発明に係
る構成を有するインクジェットプリントヘッドを搭載す
るインクジェットプリンティングデバイスは、気泡が成
長して数100μmの大きさになっても吐出特性にほとんど
影響を与えないため、吸引等の回復処理によってインク
とともに気泡を外部へ排出する手段は最小限ですみ、ス
ループットを向上させインク消費量を低減することがで
きる。
According to the ink jet print head having the configuration according to the present invention as described above, it is possible to mitigate the adverse effect of the bubbles remaining inside the ink jet print head on ink droplet ejection. In addition, the inkjet printing device equipped with the inkjet print head having the configuration according to the present invention hardly affects the ejection characteristics even when the bubbles grow to a size of several hundred μm. The means for discharging bubbles together with the ink to the outside is minimized, so that the throughput can be improved and the ink consumption can be reduced.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】まず、本構成による作用を、図面
等を用いて従来例と比較しながら以下に詳細に述べる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, the operation of the present configuration will be described in detail with reference to the drawings and the like in comparison with a conventional example.

【0011】図4は本発明による構成を施した典型的な
インクジェットプリントヘッド、図8は従来の構成を持
つインクジェットプリントヘッド、図9は本発明の作用
を更に詳細に説明するために、本発明の構成と似て非な
る構成を持つ、具体的には各電気熱変換素子毎の個別の
インク流路を形成するための隔離壁がインク供給口まで
達している構成を持つインクジェットプリントヘッドで
ある。これらのプリントヘッドは特開平4-10940号公開
公報、特開平4-10941号公開公報に記載のインクジェッ
ト記録方法を特徴とするインク滴吐出手段、すなわち吐
出時の発泡を外気と連通させる特徴を持つ。なお、各図
とも電気熱変換素子を配した基板の正面から見た拡大図
および、A-A'、B-B’方向の垂直断面図を示している。
FIG. 4 is a typical ink jet print head having a structure according to the present invention, FIG. 8 is an ink jet print head having a conventional structure, and FIG. 9 is a diagram showing the structure of the present invention. An ink jet print head having a configuration similar to the above configuration, specifically, a configuration in which an isolation wall for forming an individual ink flow path for each electrothermal conversion element reaches the ink supply port. . These print heads have an ink droplet ejection means characterized by the ink jet recording method described in JP-A-4-10940 and JP-A-4-10941, that is, have a feature of communicating foaming during ejection with outside air. . Each drawing shows an enlarged view as viewed from the front of the substrate on which the electrothermal conversion elements are arranged, and a vertical cross-sectional view in the AA ′ and BB ′ directions.

【0012】まずインクジェットプリントヘッド内に溶
解せずに残った残留気泡がいかにして吐出に悪影響を与
えるかを説明する。従来のインクジェットプリントヘッ
ドでは、ある時点で供給口の直上付近において吐出口プ
レート内面に付着した残留気泡がそれを核として図8の
ように成長することが観察等によってわかっている。こ
の残留気泡9は、インク滴の吐出によるインクジェット
プリントヘッド内のインク流、具体的にはインク流路へ
インクを再充填するために生じる吐出口2に向かうイン
クの流れによって局所的にはインク流路に引き込まれや
すい形状をしている。実際約150μm程度の残留気泡9が
図8のような位置に存在していると、残留気泡9がインク
流路内に引き込まれることによってインク流路内のイン
クが気泡によって分断され、インク流路へのインク供給
不足が生じてしまう。本発明者らの観察によると、この
まま更にインク滴吐出を継続していくと、徐々にこの残
留気泡9が吐出口2側に向かっていき、この残留気泡9が
外気と連通した瞬間にインクジェットプリントヘッド内
のインクが空になってしまうという現象がおきることが
判明した。
First, how the residual air bubbles remaining without being dissolved in the ink jet print head affect the ejection will be described. It has been found by observation and the like that in a conventional ink jet print head, residual bubbles attached to the inner surface of the ejection port plate near the supply port at some point grow as shown in FIG. The residual air bubbles 9 are locally generated by the ink flow in the ink jet print head due to the discharge of the ink droplets, specifically, the ink flow toward the discharge port 2 generated to refill the ink flow path with the ink. It has a shape that is easily drawn into the road. Actually, when a residual bubble 9 of about 150 μm is present at a position as shown in FIG. 8, the residual bubble 9 is drawn into the ink flow path, whereby the ink in the ink flow path is divided by the bubble, and the ink flow path Insufficient ink supply to the printer. According to observations by the present inventors, if ink droplet ejection is further continued as it is, the residual bubbles 9 gradually move toward the ejection port 2 side, and the ink jet printing is performed at the moment when the residual bubbles 9 communicate with the outside air. It has been found that the ink in the head becomes empty.

【0013】この現象を図3に示す簡単なモデルを用い
て説明する。図3において、今、細い管をインクで満た
し、片方の端(A)を大気圧に、もう片方の端(B)を大
気圧−P(kPa)に保つ。なお、管へのインクの出入りは
自由であるとする。ここで、Pは具体的にはインクジェ
ットプリントヘッドのインクタンクがインクを吸い上げ
ている負圧力である。Aではインクの毛管力によって力
の釣り合いがとられており、メニスカスが形成されてい
る。ここで、インク中に径r(μm)の気泡9が存在する
とし、インクの表面張力をγ(dyn/cm)とすれば、この
気泡9の内圧は 大気圧−P+2γ/r (数1) で表記できる。この状態で気泡9をA側に近づけ、ある時
刻にこの気泡9を大気と連通させる。ここで 大気圧−P+2γ/r>大気圧 (数2) の場合、すなわち P<2γ/r (数3) が成立している場合((i)参照)、気泡9内の内圧が大気
圧より高いためにちょうど風船がしぼむように気泡9は
大気に排出されて点線のようにメニスカスが形成され
る。逆に 大気圧−P+2γ/r<大気圧 (数4) の場合、すなわち P>2γ/r (数5) が成立している場合((ii)参照)、気泡9内の内圧が大
気圧より低いため、気泡9内に大気から急激な空気の流
入が有り、管の中は一瞬にして点線のように空気でうま
ってしまう。
This phenomenon will be described with reference to a simple model shown in FIG. In FIG. 3, the thin tube is now filled with ink and one end (A) is kept at atmospheric pressure and the other end (B) is kept at atmospheric pressure-P (kPa). It is assumed that ink can freely enter and exit the tube. Here, P is a negative pressure at which the ink tank of the ink jet print head is sucking up the ink. In A, the forces are balanced by the capillary force of the ink, and a meniscus is formed. Here, assuming that bubbles 9 having a diameter r (μm) exist in the ink and the surface tension of the ink is γ (dyn / cm), the internal pressure of the bubbles 9 is atmospheric pressure−P + 2γ / r (Equation 1) Can be represented by In this state, the bubble 9 is brought closer to the side A, and at a certain time, the bubble 9 is communicated with the atmosphere. Here, when the atmospheric pressure−P + 2γ / r> atmospheric pressure (Equation 2), that is, when P <2γ / r (Equation 3) is satisfied (see (i)), the internal pressure in the bubble 9 is higher than the atmospheric pressure. Due to the high air bubbles 9 are discharged to the atmosphere just like a balloon collapses, forming a meniscus as shown by the dotted line. Conversely, if the atmospheric pressure−P + 2γ / r <atmospheric pressure (Equation 4), that is, if P> 2γ / r (Equation 5) holds (see (ii)), the internal pressure in the bubble 9 becomes lower than the atmospheric pressure. Due to the low temperature, there is a rapid inflow of air from the atmosphere into the bubbles 9 and the inside of the tube is instantly filled with air as indicated by the dotted line.

【0014】上記の説明でわかるように、インク流路の
近傍にP>2γ/rすなわち、 r>2γ/P となるような大きさの残留気泡が存在する場合、この残
留気泡が外気と連通した瞬間にインクジェットプリント
ヘッド内のインクが空になってしまうという現象が起こ
りうる。本発明者らの実験では、γ=47.8dyn/cmのイン
クを用い、タンク内負圧P=1kPaで確認を行っているが、
それから計算される残留気泡の臨界径は95.6μmであ
り、ほぼ予測と実験結果が一致している。
As can be seen from the above description, when there is a residual bubble having a size such that P> 2γ / r, ie, r> 2γ / P, near the ink flow path, the residual bubble communicates with the outside air. The phenomenon that the ink in the ink jet print head becomes empty at the moment of the occurrence may occur. In the experiments of the present inventors, while using γ = 47.8 dyn / cm ink, the negative pressure P in the tank was checked at 1 kPa,
The calculated critical diameter of the residual bubbles is 95.6μm, and the predictions and experimental results are almost the same.

【0015】そこで本発明者らはこの残留気泡がインク
供給特性に悪影響を与えるほど成長することを抑えるた
めに吐出口プレート内面のインク供給口直上に突起を設
ける構成を見出した。このように突起を設けることによ
って吐出口プレートの内面に付着し成長していく残留気
泡に関してはこの残留気泡の径が突起の間隙以上には成
長しないことが観察される。このため、仮にこの残留気
泡が大気と連通したとしても突起の間隙が2γ/Pよりも
短ければ、インクジェットプリントヘッド内のインクが
空になってしまう最悪の事態は防ぐことができる。ただ
し、突起の間隙は狭ければ狭いほどよいというものでは
ない。逆に狭すぎると本発明の効果を奏さないばかり
か、吐出口プレートに付着した残留気泡が突起間に入り
込み、インク吸引などの回復処理によっても除去できな
くなってしまう。本発明者らの経験的見地によれば、突
起間隙は最低でも10μm以上であることが望ましい。通
常、主成分が水であるインクを吐出させるインクジェッ
トプリントヘッドにおいて、インクはγ=40〜50dyn/cm
であることが望ましいとされている。また、タンク内負
圧がP=0.5〜2kPaで使用することが好ましいとされてい
る。これらから、a=2γ/Pは通常40μm≦a≦200μmの範
囲となることがわかる。したがって、突起の間隙を10μ
m以上40μm以下とすれば、通常インクジェットプリン
トヘッドに好適とされる各種のγを持つインク、各種の
Pを持つタンクにおいても好ましく作用する。
Therefore, the present inventors have found a configuration in which a projection is provided immediately above the ink supply port on the inner surface of the ejection port plate in order to suppress the residual bubbles from growing so as to adversely affect the ink supply characteristics. With the provision of the projections, it is observed that the diameter of the residual bubbles that adhere to and grow on the inner surface of the discharge port plate does not grow beyond the gap between the projections. For this reason, even if the residual bubbles communicate with the atmosphere, the worst case in which the ink in the ink jet print head becomes empty can be prevented if the gap between the protrusions is shorter than 2γ / P. However, the smaller the gap between the projections, the better. Conversely, if it is too narrow, not only the effect of the present invention will not be achieved, but also residual air bubbles adhering to the ejection port plate will enter between the projections and cannot be removed even by a recovery process such as ink suction. According to the empirical viewpoint of the present inventors, it is desirable that the projection gap is at least 10 μm or more. Usually, in an ink jet print head that ejects an ink whose main component is water, the ink is γ = 40 to 50 dyn / cm
It is desirable to be. Further, it is said that the tank is preferably used at a negative pressure P of 0.5 to 2 kPa. From these, it can be seen that a = 2γ / P is usually in the range of 40 μm ≦ a ≦ 200 μm. Therefore, the gap between protrusions is 10μ.
m or more and 40 μm or less, inks having various kinds of γ which are generally suitable for an ink jet print head, various kinds of inks
Also works well in tanks with P.

【0016】更に検討を進めてみると、インク流路が基
板のインク供給口からインク吐出エネルギー発生素子と
の間で隣接する吐出エネルギー発生素子が共有する共有
部を有する構成とすることによりインク流路中に気泡が
入り込むことを格段に低減できることがわかった。すな
わち、図9に示されるように残留気泡が溜まると思われ
るインク供給口近傍から各電気熱変換素子までそれぞれ
個別のインク流路で隔離された構成となっていると、イ
ンク流路のインク供給口側端が残留気泡で覆われること
になり、インク流路内にこの残留気泡を取り込んでしま
うことになる。本発明ではインク流路が基板のインク供
給口からインク吐出エネルギー発生素子との間で隣接す
る吐出エネルギー発生素子が共有する共有部を有する構
成としていることにより各電気熱変換素子毎の個別のイ
ンク流路へのインク供給は基板上で少なくとも2つ以上
の経路を持つため、仮に一部のインク供給経路が残留気
泡に覆われたとしても残りのインク供給経路からインク
が供給されインク流路内に残留気泡が入り込む虞を格段
に低減することが可能となる。
Investigations have been further conducted. The ink flow path has a common portion shared by the adjacent discharge energy generating elements between the ink supply port of the substrate and the ink discharge energy generating element. It was found that air bubbles entering the road can be significantly reduced. That is, as shown in FIG. 9, if the configuration is such that the individual bubbles are separated from the vicinity of the ink supply port where the residual air bubbles are likely to accumulate to the respective electrothermal conversion elements, the ink supply in the ink flow path The mouth end is covered with the residual air bubbles, and the residual air bubbles are taken into the ink flow path. In the present invention, the ink flow path has a common portion shared by the adjacent discharge energy generating elements between the ink supply port of the substrate and the ink discharge energy generating element, so that the individual ink for each electrothermal conversion element is provided. Since the ink supply to the flow path has at least two or more paths on the substrate, even if some of the ink supply paths are covered with residual bubbles, ink is supplied from the remaining ink supply paths and It is possible to remarkably reduce the possibility that residual air bubbles may enter the air.

【0017】図4は、本発明による構成すなわち、吐出
口プレートのインク供給口に対応する位置に複数の突起
を有するとともにインク流路が基板のインク供給口から
インク吐出エネルギー発生素子との間で隣接する吐出エ
ネルギー発生素子が共有する共有部を有する構成を施し
た典型的インクジェットプリントヘッドを示す模試図で
ある。
FIG. 4 shows a configuration according to the present invention, that is, a plurality of projections at positions corresponding to the ink supply ports of the discharge port plate, and an ink flow path between the ink supply port of the substrate and the ink discharge energy generating element. FIG. 3 is a schematic diagram showing a typical inkjet print head having a configuration having a common part shared by adjacent ejection energy generating elements.

【0018】本発明による構成を施した典型的なインク
ジェットプリントヘッドでは、気泡の成長箇所が2個所
存在することが確認されている。一つは吐出口プレート
の内面に付着し成長していく残留気泡であり、もう一つ
は突起の先端部分に付着し成長していく残留気泡であ
る。このうち前者の吐出口プレートの内面に付着し成長
していく残留気泡については突起によって残留気泡の成
長を抑制し、安定したインクの供給が行えるよう制御で
きることは前述のとうりである。一方、後者の突起の先
端部分に付着し成長していく残留気泡に関しては、この
残留気泡が図4のように成長することが観察等によって
わかっている.この残留気泡もインク滴吐出後のインク
流路へインクを再充填するために生じる、吐出口に向か
うインクの流れによって局所的にわずかながら変形する
が、従来例でおきたような悪い現象は見られなかった。
これは吐出口プレート内面に設けた突起がちょうど残留
気泡のインク流路内への進入を妨げるように構成されて
いること、およびインク流路が基板のインク供給口から
インク吐出エネルギー発生素子との間で隣接する吐出エ
ネルギー発生素子が共有する共有部を有するために図の
矢印で示した広い範囲からインク供給を受けられること
によってインク供給不足が生じにくいことが作用してい
るためである。すなわち、本発明を施した構成では、残
留気泡がインク流路内に引き込まれることによってイン
ク流路内のインクが分断されることはなく、インク流路
へのインクの供給不足および大気との連通によるインク
ジェットプリントヘッド内のインクが空になってしまう
現象が非常に生じにくくなっており、安定なインク滴の
吐出と信頼性の高いインクジェットプリントヘッドを提
供している。
It has been confirmed that a typical ink-jet printhead having the structure according to the present invention has two bubble growth points. One is the residual air bubbles that adhere to and grow on the inner surface of the discharge port plate, and the other is the residual air bubbles that adhere to and grow at the tip of the projection. As described above, it is possible to control the growth of the residual air bubbles that adhere to and grow on the inner surface of the discharge port plate by using the projections and control the ink to be supplied stably. On the other hand, it is known from observations and the like that the remaining air bubbles that adhere to and grow at the tip of the projection are grown as shown in FIG. These residual bubbles are slightly deformed locally due to the flow of ink toward the discharge port, which is caused by refilling the ink flow path after the ink droplet is discharged. I couldn't.
This is because the protrusion provided on the inner surface of the ejection port plate is configured to just prevent the entry of the residual air bubbles into the ink flow path, and the ink flow path is connected to the ink ejection energy generating element from the ink supply port of the substrate. This is because there is a common portion shared by the adjacent ejection energy generating elements between them, so that it is possible to receive the ink supply from a wide range indicated by the arrow in the figure, and thus it is possible to prevent the shortage of the ink supply from occurring. That is, in the configuration according to the present invention, the ink in the ink flow path is not divided by the residual air bubbles being drawn into the ink flow path, and the ink supply to the ink flow path is insufficient and the communication with the atmosphere is prevented. This makes it very unlikely that the ink in the ink jet print head becomes empty, thereby providing a stable ink droplet ejection and highly reliable ink jet print head.

【0019】[0019]

【実施例】以下図面を参照しつつ本発明に係る実施例を
詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0020】(実施例1)図1は本発明の基本的な形態を
示すインクジェットプリントヘッドの摸式図であり、説
明のために適当な面で切断してある。なお、本図および
これ以下において、電気熱変換素子を駆動するための電
気的な配線等は図示していない。図2は、各工程におけ
る図1のインクジェットプリント基板のA−A‘断面図で
ある。図2では本発明のインクジェットプリントヘッド
の製造方法を簡潔に示している。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic view of an ink-jet printhead showing a basic embodiment of the present invention, which is cut on an appropriate surface for explanation. In addition, in this figure and below, electric wiring etc. for driving the electrothermal transducer is not shown. FIG. 2 is a cross-sectional view of the inkjet printed circuit board of FIG. 1 taken along the line AA 'in each step. FIG. 2 briefly shows a method of manufacturing the ink jet print head of the present invention.

【0021】図1において4は吐出エネルギー発生素子1
およびインク供給口3を備える基板であり、長溝状の貫
通口からなるインク供給口3の長手方向の両側に吐出エ
ネルギー発生素子である電気熱変換素子1がそれぞれ1列
ずつ千鳥状に電気熱変換素子の間隔が片側列300dpiピッ
チで配列されている。この基板4上にはインク流路を形
成するためのインク流路壁となる被覆樹脂層6が設けら
れており、この被覆樹脂層6上に更に吐出口2を備える吐
出口プレート5が設けられている。ここで図1においては
被覆樹脂層6と吐出口プレート5とは別部材として示され
ているが、この被覆樹脂層6をスピンコート等の手法に
よって基板4上に形成することにより被覆樹脂層6と吐出
口プレート5とを同一部材として同時に形成することも
可能である。7は吐出口プレート内面のインク供給口3直
上に設けられる突起である。本発明では上述のようにこ
の突起7を設けることによりインクジェットプリントヘ
ッド内部に残った気泡のインク液吐出に与える悪影響を
緩和させることができるものである。更に本発明のイン
クジェットプリントヘッドはインク流路が基板のインク
供給口からインク吐出エネルギー発生素子との間で隣接
する吐出エネルギー発生素子が共有する共有部を有する
構成となっている。具体的は各電気熱変換素子毎の個別
のインク流路を形成するための隔離壁がインク供給口ま
で達していない構成となっている。ここで、この突起の
形状としてはインク流路の流抵抗をできるだけ小さくす
る観点からインク供給口3から吐出口2に向かうインクの
流れ方向に沿うリブによって形成されることが好ましい
が、前述の間隙の範囲を満たすものであれば、例えば複
数の柱からなるような形状であっても構わない。また、
インク供給性の観点からは突起が基板から離間している
ことが望ましく、更にこの時の突起の離間距離は突起の
端部から基板までの最短距離が前述の間隙同様10〜40μ
mの範囲に収まっていることが望ましい。また、突起7が
上述のインクの流れ方向に沿うリブで形成されている場
合にはこのリブを基板と接触させることにより吐出口プ
レートの強度を向上させることもできる。更にこの時リ
ブの端部をテーパー形状とすることによってインク流路
のインクの流抵抗を小さくすることも可能である。ま
た、図1においては突起7の高さとインク流路壁6の高さ
が同じになっているが、突起7の高さは必ずしもインク
流路壁の高さと同じにする必要はなく、この時も前述同
様突起の端部から基板までの最短距離が前述の間隙同様
10〜40μmの範囲に収まっているように形成されていれ
ばかまわない。
In FIG. 1, reference numeral 4 denotes an ejection energy generating element 1
And an ink supply port 3.Electrothermal conversion elements 1, which are ejection energy generating elements, are arranged in a staggered pattern on both sides in the longitudinal direction of the ink supply port 3, which is a long groove-shaped through-hole. Elements are arranged at a pitch of 300 dpi on one side row. A coating resin layer 6 serving as an ink flow path wall for forming an ink flow path is provided on the substrate 4, and a discharge port plate 5 further including the discharge port 2 is provided on the coating resin layer 6. ing. Here, in FIG. 1, the coating resin layer 6 and the discharge port plate 5 are shown as separate members, but the coating resin layer 6 is formed on the substrate 4 by a method such as spin coating to form the coating resin layer 6. And the discharge port plate 5 can be formed simultaneously as the same member. Reference numeral 7 denotes a projection provided directly above the ink supply port 3 on the inner surface of the ejection port plate. In the present invention, by providing the projections 7 as described above, the adverse effect of the bubbles remaining inside the ink jet print head on the ejection of the ink liquid can be reduced. Further, the ink jet print head of the present invention has a configuration in which the ink flow path has a common portion shared by the adjacent discharge energy generating elements between the ink supply port of the substrate and the ink discharge energy generating elements. Specifically, the configuration is such that an isolation wall for forming an individual ink flow path for each electrothermal conversion element does not reach the ink supply port. Here, the shape of the protrusion is preferably formed by a rib along the ink flow direction from the ink supply port 3 toward the discharge port 2 from the viewpoint of minimizing the flow resistance of the ink flow path. As long as the range satisfies the range, the shape may be, for example, composed of a plurality of columns. Also,
From the viewpoint of ink supply, it is desirable that the projection is separated from the substrate, and the separation distance of the projection at this time is the shortest distance from the end of the projection to the substrate as in the above-described gap of 10 to 40 μm.
It is desirable to be within the range of m. In the case where the protrusion 7 is formed of a rib extending in the above-described ink flow direction, the strength of the ejection port plate can be improved by bringing the rib into contact with the substrate. Further, at this time, the flow resistance of the ink in the ink flow path can be reduced by making the end of the rib tapered. Further, in FIG. 1, the height of the protrusion 7 and the height of the ink flow path wall 6 are the same, but the height of the protrusion 7 does not necessarily need to be the same as the height of the ink flow path wall. Also, the shortest distance from the end of the projection to the substrate is the same as above.
What is necessary is just to form so that it may fall in the range of 10-40 micrometers.

【0022】また、前述の隔離壁に関しては、突起と同
様にその端部から基板までの最短距離が10〜40μm
の範囲となっていることが望ましい。
In addition, the shortest distance from the end to the substrate of the above-mentioned isolation wall is 10 to 40 μm, like the projection.
It is desirable to be within the range.

【0023】以下に本発明に係るインクジェットプリン
トヘッドの製造方法の一例を示す。
An example of a method for manufacturing an ink jet print head according to the present invention will be described below.

【0024】まず、Siチップ上にパターニング等によっ
て複数の電気熱変換素子1およびそれらを駆動するため
の必要な配線(不図示)が施された基板4を用意し(図
2−A)、該基板4上に、溶解可能な樹脂層12を形成する
(図2−B)。前記樹脂層12において、フォトレジスト法
などを用いてインク流路パターンを残すとともに、本発
明の特徴であるノズル壁および供給口が形成される箇所
の上方に適当な突起に相当する部分を除去する(図2−
C)。更にこのようにインク流路パターンが形成された
溶解可能な樹脂層12'上に、被覆樹脂層6を形成させ(図
2−D)、前記被覆樹脂層6で吐出口2に相当する部分を除
去する(図2−E)。次に基板4を背面より、基板を化学
的にエッチングするなどして供給口3を形成する(図2−
F)。より具体的には、強アルカリ溶液(KOH,NaOH,TM
AH)を用いた異方性エッチングによって供給口3を形成
する。最後に溶解可能な樹脂層12'を溶出させる(図2−
G)ことにより、吐出口2、供給口3とそれらに連通する
流路および供給口直上の吐出口プレート側面に形成され
た突起部7を備えたインクジェットプリントヘッドチッ
プを得ることができる。このチップに電気熱変換素子を
駆動するための配線基板と電気的接合等を行うことによ
り本発明のインクジェットプリントヘッドを得ることが
できる。
First, a substrate 4 on which a plurality of electrothermal transducers 1 and necessary wiring (not shown) for driving them are provided on a Si chip by patterning or the like is prepared (see FIG. 1).
2-A) A dissolvable resin layer 12 is formed on the substrate 4 (FIG. 2-B). In the resin layer 12, an ink flow path pattern is left using a photoresist method or the like, and a portion corresponding to an appropriate protrusion above a position where a nozzle wall and a supply port, which is a feature of the present invention, is formed is removed. (Fig. 2-
C). Further, a coating resin layer 6 is formed on the dissolvable resin layer 12 'on which the ink flow path pattern is formed as described above.
2-D) The portion corresponding to the discharge port 2 in the coating resin layer 6 is removed (FIG. 2-E). Next, the supply port 3 is formed by, for example, chemically etching the substrate 4 from the back.
F). More specifically, a strong alkaline solution (KOH, NaOH, TM
The supply port 3 is formed by anisotropic etching using AH). Finally, the soluble resin layer 12 'is eluted (Fig. 2-
G) As a result, it is possible to obtain an ink jet print head chip having the ejection port 2, the supply port 3, the flow path communicating with them, and the projection 7 formed on the side of the ejection port plate immediately above the supply port. The ink jet print head of the present invention can be obtained by electrically connecting the chip to a wiring board for driving the electrothermal transducer.

【0025】上記のインクジェットプリントヘッドの製
造方法は、特に特開平4−10940号公開公報、特開平4−1
0941号公開公報に記載のインクジェット記録方法をイン
ク滴吐出手段とするインクジェットプリントヘッドの製
造に好ましい。これらの各公報は、記録信号によって生
じた電気熱変換素子上の気泡を外気と連通させることを
特徴とするインク滴吐出方法であり、小インク滴(50pl
以下)の吐出を可能にするインクジェットプリントヘッ
ドを提供している。前記インクジェットプリントヘッド
は、気泡を外気と連通させるため、吐出インク滴の体積
は電気熱変換素子と吐出口との間にあるインクの体積に
ほとんど依存する。言い換えるとインクジェットプリン
トヘッドのノズル部分の構造によってほぼ決まるという
特徴をもつ。したがって、前記インクジェットプリント
ヘッドは、ムラのない高品位な画像を出力することがで
きる。本発明の構造は前記のインクジェットプリントヘ
ッド、すなわち、気泡を外気と連通させるために、電気
熱変換素子と吐出口間の(最短)距離が30μm以下で
あるようなインクジェットプリントヘッドに適用するこ
とで最大の効果を発揮するが、電気熱変換素子を配した
基板面に垂直にインク滴を飛翔させるようなインクジェ
ットプリントヘッドであれば、いずれも有効に作用させ
ることができる。
The above-described method of manufacturing an ink jet print head is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
It is preferable for manufacturing an ink jet print head using the ink jet recording method described in JP-A-0941 as an ink droplet discharging means. Each of these publications is an ink droplet ejection method characterized in that bubbles on an electrothermal transducer generated by a recording signal are communicated with the outside air.
The following is an inkjet printhead that enables ejection. In the inkjet print head, since the bubbles communicate with the outside air, the volume of the ejected ink droplet depends almost on the volume of the ink between the electrothermal transducer and the ejection port. In other words, it has a feature that it is almost determined by the structure of the nozzle portion of the ink jet print head. Therefore, the inkjet print head can output a high-quality image without unevenness. The structure of the present invention is applied to the above-described ink jet print head, that is, an ink jet print head in which the (shortest) distance between the electrothermal transducer and the discharge port is 30 μm or less in order to communicate air bubbles with the outside air. Although the maximum effect is exhibited, any ink jet print head which makes ink droplets fly perpendicular to the surface of the substrate on which the electrothermal conversion elements are arranged can be effectively used.

【0026】また、本発明のインクジェットプリントヘ
ッドにおいては、隣接する電気熱変換素子を同時に駆動
させないように分散駆動にて各電気熱変換素子を駆動さ
せることによって、残留気泡による悪影響をさらに効果
的に緩和できるものである。
Further, in the ink jet print head of the present invention, by driving each electrothermal conversion element by distributed driving so that adjacent electrothermal conversion elements are not simultaneously driven, the adverse effects due to residual bubbles can be more effectively prevented. It can be relaxed.

【0027】以下に本発明のインクジェットプリントヘ
ッドの構造を具体的に説明する、尚各実施例については
いずれも前述の図2−A〜Gに示す手順にしたがって作成
したインクジェットプリントヘッドを使用し、ノズル間
隔は片側列300dpiピッチ、吐出口プレートの肉厚8μm、
本発明の特徴である突起およびノズル壁の高さは12μm
である。評価に使用したインクは、キヤノン製染料系ブ
ラックインク(表面張力47.8dyn/cm、粘度1.8cp、pH
9.8)を使用した。
The structure of the ink jet print head of the present invention will be specifically described below. In each of the embodiments, the ink jet print head prepared according to the procedure shown in FIGS. Nozzle spacing is 300dpi pitch on one side row, discharge port plate thickness 8μm,
The height of the protrusion and the nozzle wall, which is a feature of the present invention, is 12 μm.
It is. The ink used for evaluation was a Canon dye-based black ink (surface tension 47.8 dyn / cm, viscosity 1.8 cp, pH
9.8) was used.

【0028】(実施例1)本実施例のインクジェットプ
リントヘッドを電気熱変換素子を配した基板の正面から
見た拡大図と、A-A‘、B-B’断面図を図4に示す。
Embodiment 1 FIG. 4 shows an enlarged view of the ink jet print head of this embodiment as viewed from the front of a substrate on which electrothermal transducers are arranged, and a cross-sectional view taken along the lines AA 'and BB'.

【0029】本実施例の突起の吐出口プレート面への射
影での寸法は20×150μmであり、各突起間の間隔は600d
piピッチ(42.3μm)で並んでいる。すなわち、隣接す
る突起の間隙は最低でも22.3μmある構成である。
The dimensions of the projections of the present embodiment projected onto the discharge port plate surface are 20 × 150 μm, and the distance between the projections is 600 d.
They are arranged at a pi pitch (42.3 μm). That is, the gap between adjacent protrusions is at least 22.3 μm.

【0030】本実施例のインクジェットプリントヘッド
を吐出周波数10kHzで駆動し、黒ベタを連続記録してそ
の持続時間を計測し、比較評価を行った。結果は従来の
インクジェットプリントヘッドに比較して本実施例では
実に4倍近い程度も長い間黒ベタを印字することができ
た。
The ink jet print head of this embodiment was driven at an ejection frequency of 10 kHz, black solid was continuously recorded, the duration was measured, and comparative evaluation was performed. As a result, in the present embodiment, solid black could be printed for almost four times as long as that of the conventional inkjet print head.

【0031】(実施例2)本実施例のインクジェットプ
リントヘッドを電気熱変換素子を配した基板の正面から
見た拡大図と、A-A‘、B-B’断面図を図5に示す。
(Embodiment 2) FIG. 5 is an enlarged view of the ink jet print head of this embodiment as viewed from the front of a substrate on which electrothermal transducers are arranged, and FIG. 5 is a cross-sectional view along AA 'and BB'.

【0032】本実施例の突起の吐出口プレート面への射
影での寸法は40×40μmであり、各突起間は間隔80μm
(間隙としては40μm)で並んでいる。
The dimensions of the projections of the present embodiment when projected onto the discharge port plate surface are 40 × 40 μm, and the interval between the projections is 80 μm.
(The gap is 40 μm).

【0033】本実施例のインクジェットプリントヘッド
を吐出周波数10kHzで駆動し、黒ベタを連続記録してそ
の持続時間を計測し、比較評価を行った。結果は従来の
インクジェットプリントヘッドに比較して本実施例では
実に4倍近い程度も長い間黒ベタを印字することがで
き、このような構成でも本発明は良好に作用する。
The ink jet print head of this embodiment was driven at an ejection frequency of 10 kHz, black solid was continuously recorded, the duration was measured, and comparative evaluation was performed. As a result, in the present embodiment, solid black can be printed for almost four times as long as that of the conventional ink jet print head, and the present invention works well even with such a configuration.

【0034】さて、このような薄い膜状の吐出口プレー
トを有するインクジェットプリントヘッドでは、吐出口
プレート自体の強度面での信頼性が低いことは明らかで
ある。特に吐出口プレートが樹脂である場合には、吐出
口プレートがインク等により膨潤し変形する虞がある。
このようになると、インクジェットプリントヘッドのイ
ンク滴吐出特性自体に悪影響を及ぼしかねない。このた
め、本発明による突起を強度確保の対策としても提案し
たものが以下の実施例3、4である。突起を基板と吐出口
プレートの両方に接触させることで、吐出口プレートに
突起がないとき以上の強度を確保することが可能となり
更に信頼性を上げることが可能となった。
It is clear that an ink jet print head having such a thin film-shaped discharge port plate has low reliability in terms of strength of the discharge port plate itself. In particular, when the ejection port plate is made of resin, the ejection port plate may be swelled and deformed by ink or the like.
This can adversely affect the ink droplet ejection characteristics of the inkjet print head. For this reason, the following Examples 3 and 4 have also proposed the protrusion according to the present invention as a measure for ensuring the strength. By bringing the protrusion into contact with both the substrate and the discharge port plate, it is possible to secure a higher strength than when there is no protrusion on the discharge port plate, and it is possible to further increase the reliability.

【0035】(実施例3)本実施例のインクジェットプ
リントヘッドを電気熱変換素子を配した基板の正面から
見た拡大図と、A-A‘、B-B’断面図を図6に示す。
(Embodiment 3) FIG. 6 is an enlarged view of the ink jet print head of this embodiment as viewed from the front of a substrate on which electrothermal transducers are arranged, and FIG. 6 is a cross-sectional view along AA 'and BB'.

【0036】本実施例の突起の特徴は、突起が基板と吐
出口プレートの両方に接することで吐出口プレートの強
度を上げ、且つノズルへのインク供給を確保し、流抵抗
を抑えるために突起の吐出口プレートに平行な面におけ
る幅が電気熱変換素子に向かって連続的に細くなってい
ることを特徴としている。本実施例の突起の吐出口プレ
ート面への射影での幅は太いところで20μmであり、細
いところで12μmとなっている。各突起間は間隔600dpi
(42.3μm)で並んでいる。すなわち、突起と突起の間
隙は最低でも22.3μmとなる構成である。
The feature of the projection of this embodiment is that the projection comes into contact with both the substrate and the ejection port plate to increase the strength of the ejection port plate, secure ink supply to the nozzles, and suppress the flow resistance. Is characterized in that the width in a plane parallel to the discharge port plate is continuously narrowed toward the electrothermal transducer. The width of the projections of the present embodiment projected onto the discharge port plate surface is 20 μm at a large position and 12 μm at a small position. 600dpi spacing between projections
(42.3μm). That is, the gap between the projections is at least 22.3 μm.

【0037】本実施例のインクジェットプリントヘッド
においても吐出周波数10kHzで駆動し、黒ベタを連続記
録してその持続時間を計測し、比較評価を行った。結果
は従来のインクジェットプリントヘッドに比較して本実
施例では実に4倍近い程度も長い間黒ベタを印字するこ
とができ、このような構成でも本発明は良好に作用す
る。
The ink jet print head of the present embodiment was also driven at an ejection frequency of 10 kHz, black solids were continuously recorded, the duration was measured, and comparative evaluation was performed. As a result, in the present embodiment, solid black can be printed for almost four times as long as that of the conventional ink jet print head, and the present invention works well even with such a configuration.

【0038】(実施例4)本実施例のインクジェットプ
リントヘッドを電気熱変換素子を配した基板の正面から
見た拡大図と、A-A‘、B-B’断面図を図7に示す。
(Embodiment 4) FIG. 7 shows an enlarged view of the ink jet print head of this embodiment as viewed from the front of a substrate on which electrothermal transducers are arranged, and a cross-sectional view taken along the lines AA 'and BB'.

【0039】本実施例の突起の特徴は、同一の突起が供
給口をまたいで基板と吐出口プレートの両方に接し実施
例3よりも吐出口プレートの強度を向上させている。こ
れは、さらにノズルへのインク供給を確保し、流抵抗を
抑えるために突起の吐出口プレートに平行な面における
幅が電気熱変換素子に向かって連続的に細くなっている
ことをも特徴としている。本実施例の突起の吐出口プレ
ート面への射影での幅は太いところで20μmであり、細
いところで12μmとなっている。各突起間は間隔600dpi
(42.3μm)で並んでいる。すなわち、突起と突起の間
隙は最低でも22.3μmとなる構成である。
The feature of the protrusion of the present embodiment is that the same protrusion is in contact with both the substrate and the discharge port plate across the supply port, thereby improving the strength of the discharge port plate as compared with the third embodiment. This is also characterized by the fact that the width of the protrusion in the plane parallel to the ejection port plate is continuously narrowed toward the electrothermal transducer in order to secure the ink supply to the nozzles and suppress the flow resistance. I have. The width of the projections of the present embodiment projected onto the discharge port plate surface is 20 μm at a large position and 12 μm at a small position. 600dpi spacing between projections
(42.3μm). That is, the gap between the projections is at least 22.3 μm.

【0040】本実施例のインクジェットプリントヘッド
においても吐出周波数10kHzで駆動し、黒ベタを連続記
録してその持続時間を計測し、比較評価を行った。結果
は従来のインクジェットプリントヘッドに比較して本実
施例では実に3倍近い程度も長い間黒ベタを印字するこ
とができ、このような構成でも本発明は良好に作用す
る。
The ink jet print head of this embodiment was also driven at an ejection frequency of 10 kHz, and the solid black was continuously recorded, the duration was measured, and a comparative evaluation was performed. As a result, in the present embodiment, solid black can be printed for almost three times as long as that of the conventional ink jet print head, and the present invention works well in such a configuration.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
インクジェットプリントヘッド内部に残った気泡のイン
ク滴吐出に与える悪影響を緩和させ、安定なインク滴の
吐出と信頼性の高いインクジェットプリントヘッドを提
供することができる。また、残留気泡を制御することに
より回復処理を頻繁に行う必要もなくなるため、スルー
プットの向上やインク消費量の低減といった効果も奏す
るものである。更に本発明の奏する効果としては薄い膜
状の吐出口プレートを有するインクジェットプリントヘ
ッドでは、吐出口プレート自体の強度面での信頼性を上
げることもできる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a highly reliable ink jet print head in which stable discharge of ink droplets and high reliability can be provided by alleviating the adverse effect of bubbles remaining inside the ink jet print head on ink droplet discharge. Further, by controlling the residual bubbles, the recovery process does not need to be performed frequently, so that the effects of improving the throughput and reducing the ink consumption can be achieved. Further, as an effect of the present invention, in an ink jet print head having a thin film-shaped discharge port plate, the reliability of the discharge port plate itself in terms of strength can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の基本的な形態を示すインクジェットプ
リントヘッドの摸式図である。
FIG. 1 is a schematic view of an ink jet print head showing a basic mode of the present invention.

【図2】本発明のインクジェットプリントヘッドの製造
方法を説明するための説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining a method for manufacturing an ink jet print head of the present invention.

【図3】インクジェットプリントヘッド内の残留気泡の
様子を説明するための説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining a state of a residual bubble in an inkjet print head.

【図4】実施例1に係るインクジェットプリントヘッド
を示す摸式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an inkjet print head according to the first embodiment.

【図5】実施例2に係るインクジェットプリントヘッド
を示す摸式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an inkjet print head according to a second embodiment.

【図6】実施例3に係るインクジェットプリントヘッド
を示す摸式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating an inkjet print head according to a third embodiment.

【図7】実施例4に係るインクジェットプリントヘッド
を示す摸式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating an inkjet print head according to a fourth embodiment.

【図8】従来例のインクジェットプリントヘッドを示す
摸式図である。
FIG. 8 is a schematic view showing a conventional ink jet print head.

【図9】ノズル壁が供給口の直上にまで達しているイン
クジェットプリントヘッドの摸式図である。
FIG. 9 is a schematic view of an ink jet print head in which a nozzle wall reaches directly above a supply port.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 吐出エネルギー発生素子 2 吐出口 3 供給口 4 基板 5 吐出口プレート 6 被覆樹脂層(ノズル壁) 7 突起 8 インク 9 残留気泡 10 ノズルに向かうインクの流れの向き 11 インクに流れによって生じる残留気泡の変形分 12 溶解可能な樹脂層 13 インク流路パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Discharge energy generation element 2 Discharge port 3 Supply port 4 Substrate 5 Discharge port plate 6 Coating resin layer (nozzle wall) 7 Projection 8 Ink 9 Residual bubble 10 Direction of ink flow toward nozzle 11 Residual bubble generated by ink flow Deformation 12 Soluble resin layer 13 Ink flow path pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水谷 道也 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 田村 泰之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 渡部 育朋 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 佐藤 環樹 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 立原 昌義 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Michiya Mizutani 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Yasuyuki Tamura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside (72) Inventor Ikumo Watanabe 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tamaki Sato 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Masayoshi Tachihara 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc.

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インク滴を吐出するために用いられるエ
ネルギーを発生する複数の吐出エネルギー発生素子と、
前記インク滴を吐出するインク吐出口と、該複数の吐出
エネルギー発生素子を列状に配するとともに前記吐出エ
ネルギー発生素子の配列方向に沿って延在する貫通口か
らなるインク供給口を有する基板と、前記インク吐出口
を備える吐出口プレートと、を備え、前記基板と前記吐
出口プレートが接合され基板と吐出口プレートとの間に
前記インク吐出口とインク供給口とを連通するインク流
路が形成されているインクジェットプリントヘッドにお
いて、 前記吐出口プレートは前記インク供給口に対応する位置
に複数の突起を有するとともに前記インク流路は前記基
板のインク供給口からインク吐出エネルギー発生素子と
の間で隣接する吐出エネルギー発生素子が共有する共有
部を有することを特徴とするインクジェットプリントヘ
ッド。
A plurality of ejection energy generating elements for generating energy used for ejecting ink droplets;
A substrate having an ink discharge port for discharging the ink droplets, an ink supply port having a plurality of discharge energy generating elements arranged in a row, and a through-hole extending along an arrangement direction of the discharge energy generating elements; A discharge port plate having the ink discharge ports, and an ink flow path communicating the ink discharge ports and the ink supply ports between the substrate and the discharge port plate, wherein the substrate and the discharge port plate are joined. In the formed inkjet print head, the discharge port plate has a plurality of protrusions at positions corresponding to the ink supply ports, and the ink flow path is provided between the ink supply ports of the substrate and the ink discharge energy generating elements. An ink-jet printhead having a common portion shared by adjacent ejection energy generating elements.
【請求項2】 前記複数の吐出エネルギー発生素子は前
記貫通口の延在方向の両側に配列されている請求項1に
記載のインクジェットプリントヘッド。
2. The ink jet print head according to claim 1, wherein the plurality of ejection energy generating elements are arranged on both sides in the extending direction of the through-hole.
【請求項3】 インクタンクが前記インク供給口へイン
クを供給している時のインクを吸いあげる力をP(kP
a)、インクの表面張力をγ(dyn/cm)とする
と、前記複数の突起における隣接する前記突起間の間隙
が10μm以上2γ/Pμm以下である請求項1もしく
は2に記載のインクジェットプリントヘッド。
3. The ink suctioning force when the ink tank supplies ink to the ink supply port is represented by P (kP).
3. The ink jet print head according to claim 1, wherein a), when the surface tension of the ink is γ (dyn / cm), a gap between the adjacent protrusions of the plurality of protrusions is 10 μm or more and 2γ / P μm or less.
【請求項4】 前記複数の突起における隣接する前記突
起間の間隙が10μm以上40μm以下である請求項1
もしくは2に記載のインクジェットプリントヘッド。
4. A gap between adjacent ones of the plurality of protrusions is not less than 10 μm and not more than 40 μm.
Or the inkjet printhead of 2.
【請求項5】 前記複数の突起は前記インク供給口から
吐出口に向かうインクの流れ方向に沿う方向に設けられ
た複数のリブである請求項1乃至4のいずれか1項に記
載のインクジェットプリントヘッド。
5. The ink-jet print according to claim 1, wherein the plurality of projections are a plurality of ribs provided in a direction along an ink flow direction from the ink supply port toward the ejection port. head.
【請求項6】 前記リブの端部が基板から離間している
請求項5に記載のインクジェットプリントヘッド。
6. The ink jet print head according to claim 5, wherein an end of the rib is separated from a substrate.
【請求項7】 前記基板と離間しているリブの端部から
基板への最短距離が、10μm以上40μm以下である
請求項6に記載のインクジェットプリントヘッド。
7. The ink-jet printhead according to claim 6, wherein a shortest distance from an end of the rib separated from the substrate to the substrate is from 10 μm to 40 μm.
【請求項8】 前記突起の一部が前記基板に接している
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインクジェット
プリントヘッド。
8. The ink-jet printhead according to claim 1, wherein a part of the projection is in contact with the substrate.
【請求項9】 前記リブの端部がテーパー形状を有する
請求項5に記載のインクジェットプリントヘッド。
9. The ink jet print head according to claim 5, wherein an end of the rib has a tapered shape.
【請求項10】 前記吐出エネルギー発生素子は電気熱
変換素子である請求項1乃至9のいずれか1項に記載の
インクジェットプリントヘッド。
10. The ink jet print head according to claim 1, wherein the ejection energy generating element is an electrothermal conversion element.
【請求項11】 前記電気熱変換素子は分散駆動される
請求項10に記載のインクジェットプリントヘッド。
11. The ink-jet printhead according to claim 10, wherein the electrothermal transducer is driven in a distributed manner.
【請求項12】 前記インクジェットプリントヘッドは
更に前記電気熱変換素子毎の個別のインク流路を形成す
るための隔離壁を有し、該隔離壁の先端から前記基板ま
での最短距離が10〜40μmとなっている請求項1乃
至11のいずれか1項に記載のインクジェットプリント
ヘッド。
12. The ink-jet printhead further has a separating wall for forming an individual ink flow path for each of the electrothermal transducers, and a shortest distance from a tip of the separating wall to the substrate is 10 to 40 μm. The inkjet printhead according to any one of claims 1 to 11, wherein:
【請求項13】 前記インクジェットプリントヘッドの
前記インク吐出口から対応する前記電気熱変換素子まで
の距離が30μm以下である請求項10に記載インクジ
ェットプリントヘッド。
13. The ink jet print head according to claim 10, wherein a distance from the ink ejection port of the ink jet print head to the corresponding electrothermal transducer is 30 μm or less.
【請求項14】 請求項1乃至13のいずれか1項に記
載のインクジェットプリントヘッドを搭載するととも
に、前記インクジェットプリントヘッドの回復処理を行
うための回復手段を有することを特徴とするインクジェ
ットプリンティングデバイス。
14. An ink jet printing device comprising the ink jet print head according to claim 1 and a recovery unit for performing a recovery process of the ink jet print head.
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