JP2018094867A - Liquid jet head and liquid jet recording device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet head which can reduce a pressure wave leaking from a pressure chamber to a liquid passage without reducing a reflection rate of the pressure wave in a connection portion between the liquid passage and the pressure chamber, and to provide a liquid jet recording device.SOLUTION: An inkjet head 4 has: ink introduction passages 62 to which a liquid is supplied; multiple pressure chambers 60 respectively connected with the ink introduction passages 62 and to which an ink flows; a nozzle plate 43 which is disposed facing the pressure chambers 60 and is formed with nozzles 43A; an actuator plate 40 which varies the volumetric capacity of the pressure chambers 60 to jet the ink in the pressure chambers 60 from the nozzles 43A as ink droplets; and filters 64, each of which is provided at the ink introduction passage 62 side spaced away from a connection portion between the ink introduction passage 62 and the pressure chamber 60 and through which the ink passes. Further, a printer has: the inkjet head 4; ink supply means which supplies the ink to the inkjet head 4; and scanning means which scans the ink jet head 4 in a direction intersecting with a recording medium transport direction.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドを有する液体噴射記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid jet head and a liquid jet recording apparatus having the liquid jet head.

従来、記録媒体に向けてノズルから液滴状のインクを噴射することで画像や文字等を描画するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。また、インクジェット方式の液体噴射ヘッドとして、液体流路から圧力室内へインクを流入させ、圧力室の容積を圧電アクチュエータ等によって変化させて圧力室内のインクに圧力波を生じさせることでインクをノズルから噴射させる、いわゆるピエゾ方式の液体噴射ヘッドが知られている。   2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet type liquid ejecting head that draws an image, characters, or the like by ejecting droplet-like ink from a nozzle toward a recording medium has been used. Further, as an ink jet type liquid ejecting head, ink is caused to flow from the nozzle to the pressure chamber by causing the ink to flow into the pressure chamber and changing the volume of the pressure chamber by a piezoelectric actuator or the like to generate a pressure wave in the ink in the pressure chamber. A so-called piezo-type liquid jet head for jetting is known.

このピエゾ方式の液体噴射ヘッドにおいて、圧力室内で生じた圧力波は、開口端とされた圧力室と液体流路との接続部分で反射してほとんどが圧力室内に戻るが、一部の圧力波が開口端で反射されずに液体流路に漏れ出ることがある。この液体流路に漏れ出る圧力波を低減させるため、例えば特許文献1には、ポンピングチャンバ(圧力室)内、もしくはポンピングチャンバ(圧力室)とノズル流路(液体流路)との接続部分に圧力波を吸収するフィルタを設ける構成が開示されている。   In this piezo-type liquid ejecting head, the pressure wave generated in the pressure chamber is reflected at the connection portion between the pressure chamber at the open end and the liquid flow path, and almost returns to the pressure chamber. May leak into the liquid flow path without being reflected at the open end. In order to reduce the pressure wave leaking into the liquid flow path, for example, Patent Document 1 discloses a pumping chamber (pressure chamber) or a connection portion between a pumping chamber (pressure chamber) and a nozzle flow path (liquid flow path). The structure which provides the filter which absorbs a pressure wave is disclosed.

特開2010−76453号公報JP 2010-76453 A

フィルタを圧力室内に設けた場合、圧力室内の圧力波がフィルタによって吸収されてしまうため、特に短時間に複数回のインク噴射動作を行う際に、噴射動作のエネルギー効率が悪化する虞がある。また、フィルタを圧力室と液体流路との接続部分に設けた場合、フィルタによって圧力室の接続部分(開口端)の開口面積が狭くなるため、液体流路と圧力室との接続部分での圧力波の反射率が低減する虞がある。   When the filter is provided in the pressure chamber, the pressure wave in the pressure chamber is absorbed by the filter, and therefore, the energy efficiency of the ejection operation may be deteriorated particularly when performing the ink ejection operation a plurality of times in a short time. In addition, when the filter is provided at the connection portion between the pressure chamber and the liquid flow path, the opening area of the connection portion (opening end) of the pressure chamber is narrowed by the filter. There is a possibility that the reflectance of the pressure wave is reduced.

本発明は上記事実に鑑み、液体流路と圧力室との接続部分での圧力波の反射率を低減させることなく、圧力室から液体流路内に漏れた圧力波を低減することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供することを目的とする。   In view of the above fact, the present invention can reduce the pressure wave leaking from the pressure chamber into the liquid channel without reducing the reflectance of the pressure wave at the connection portion between the liquid channel and the pressure chamber. An object is to provide an ejection head and a liquid ejection recording apparatus.

請求項1に記載の液体噴射ヘッドは、液体が供給される液体流路と、前記液体流路と接続され液体が流入する複数の圧力室と、前記圧力室に面して配置されノズルが形成されたノズル板と、前記圧力室の容積を可変させて前記圧力室内の液体を液滴として前記ノズルから噴射させるアクチュエータと、前記液体流路と前記圧力室との接続部分から離れた前記液体流路側に設けられ、液体が通過するフィルタと、を有する。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a liquid channel to which a liquid is supplied, a plurality of pressure chambers connected to the liquid channel and into which the liquid flows, and a nozzle that is disposed facing the pressure chamber are formed A nozzle plate, an actuator for changing the volume of the pressure chamber to eject the liquid in the pressure chamber as droplets from the nozzle, and the liquid flow away from a connection portion between the liquid flow path and the pressure chamber. And a filter that is provided on the road side and through which the liquid passes.

アクチュエータで圧力室の容積を可変させることで、圧力室内の液体が液滴としてノズルから噴射される。このとき、圧力室内で発生した圧力波は液体流路側へ進行して、液体流路と圧力室との接続部分でほとんどが反射されて圧力室内へ戻るが、一部の圧力波が開口端で反射されずに液体流路に漏れ出る。   By changing the volume of the pressure chamber with the actuator, the liquid in the pressure chamber is ejected as droplets from the nozzle. At this time, the pressure wave generated in the pressure chamber travels to the liquid flow path side and is mostly reflected at the connection portion between the liquid flow path and the pressure chamber and returns to the pressure chamber. It leaks into the liquid flow path without being reflected.

ここで、上記構成によれば、液体流路と圧力室との接続部分から離れた液体流路側に、液体が通過するフィルタが設けられている。このため、フィルタにより、圧力室から液体流路内に漏れた圧力波を吸収することで低減することができ、液体流路を介して他の圧力室のノズルから噴射される液体の噴射挙動を乱す、いわゆるクロストークを抑制することができる。   Here, according to the above configuration, the filter through which the liquid passes is provided on the side of the liquid flow channel away from the connection portion between the liquid flow channel and the pressure chamber. For this reason, the pressure wave leaked from the pressure chamber into the liquid channel can be reduced by the filter, and the ejection behavior of the liquid ejected from the nozzles of the other pressure chambers through the liquid channel can be reduced. Disturbing so-called crosstalk can be suppressed.

また、フィルタが液体流路と圧力室の接続部分から離れた位置に設けられるため、フィルタによって圧力室の接続部分の開口面積が狭くなることを抑制することができ、液体流路と圧力室の接続部分での圧力波の反射率が低減することを抑制することができる。   In addition, since the filter is provided at a position away from the connection portion between the liquid flow path and the pressure chamber, it is possible to prevent the opening area of the connection portion between the pressure chamber from being narrowed by the filter. It can suppress that the reflectance of the pressure wave in a connection part reduces.

請求項2に記載の液体噴射ヘッドは、請求項1に記載の液体噴射ヘッドであって、前記フィルタは、前記圧力室の長手方向の延長線上に設けられ、かつ前記圧力室の前記接続部分の開口面積から導かれる開口端補正距離よりも前記接続部分から前記液体流路側へ離れて設けられている。   The liquid ejecting head according to claim 2 is the liquid ejecting head according to claim 1, wherein the filter is provided on an extension line in a longitudinal direction of the pressure chamber, and the connection portion of the pressure chamber is provided. An opening end correction distance derived from the opening area is provided away from the connection portion toward the liquid channel.

上記構成によれば、フィルタを圧力室の長手方向の延長線上に設けることで、液体流路と圧力室の接続部分から漏れた圧力波をフィルタによって効率的に吸収して低減することができる。また、フィルタを、圧力室の接続部分の開口面積から導かれる開口端補正距離よりも圧力室の接続部分から液体流路側へ離れて設けることで、接続部分の圧力波の反射率がフィルタによって低減することをより抑制することができる。   According to the said structure, the pressure wave which leaked from the connection part of a liquid flow path and a pressure chamber can be efficiently absorbed and reduced by a filter by providing a filter on the extension line | wire of the longitudinal direction of a pressure chamber. In addition, the filter reduces the reflectance of the pressure wave at the connection part by providing the filter farther from the connection part of the pressure chamber to the liquid channel side than the opening end correction distance derived from the opening area of the connection part of the pressure chamber. It can be suppressed more.

請求項3に記載の液体噴射ヘッドは、請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドであって、前記フィルタの高さは、前記圧力室の接続部分の高さより高い。   A liquid ejecting head according to a third aspect is the liquid ejecting head according to the first or second aspect, wherein the height of the filter is higher than the height of the connecting portion of the pressure chamber.

上記構成によれば、フィルタの高さが圧力室の接続部分の高さより高いため、フィルタの高さが圧力室の接続部分の高さより低い構成と比較して、圧力室から液体流路内に漏れた圧力波をより低減させることができる。   According to the above configuration, since the height of the filter is higher than the height of the connection portion of the pressure chamber, the height of the filter is less than the height of the connection portion of the pressure chamber, so that The leaked pressure wave can be further reduced.

請求項4に記載の液体噴射ヘッドは、請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、前記フィルタは、互いに間隔をあけて前記液体流路の内壁面から突出する複数の突起で構成されている。   A liquid ejecting head according to a fourth aspect is the liquid ejecting head according to any one of the first to third aspects, wherein the filters protrude from the inner wall surface of the liquid flow channel at a distance from each other. It is composed of a plurality of protrusions.

上記構成によれば、フィルタが、互いに間隔をあけた複数の突起で構成されているため、液体を通過可能としつつ、フィルタによって圧力室から液体流路内に漏れた圧力波を低減させることができる。また、複数の突起によってフィルタを形成することで、壁体等に設けた複数の孔によってフィルタを形成する構成と比較して、フィルタを容易に作製及び設置することができる。   According to the above configuration, since the filter is configured by a plurality of projections spaced from each other, it is possible to reduce pressure waves leaking from the pressure chamber into the liquid flow path while allowing the liquid to pass therethrough. it can. In addition, by forming the filter with a plurality of protrusions, the filter can be easily manufactured and installed as compared with a configuration in which the filter is formed with a plurality of holes provided in a wall body or the like.

請求項5に記載の液体噴射ヘッドは、請求項4に記載の液体噴射ヘッドであって、前記圧力室は、前記液体流路を挟んで両側に並列して設けられ、かつ前記液体流路と前記圧力室との接続部分は、前記液体流路に沿った方向でずれており、前記突起は、前記液体流路を挟んで対向する前記圧力室を構成する壁部同士を繋ぐ仮想線に沿って並んでいる。   The liquid ejecting head according to claim 5 is the liquid ejecting head according to claim 4, wherein the pressure chamber is provided in parallel on both sides of the liquid flow path, and the liquid flow path The connecting portion with the pressure chamber is displaced in a direction along the liquid flow path, and the protrusion is along a virtual line that connects the walls constituting the pressure chamber facing each other across the liquid flow path. Are lined up.

上記構成によれば、液体流路を挟んで対向する圧力室の壁部同士を繋ぐ仮想線に沿って突起が設けられているため、圧力室から液体流路内に漏れた圧力波が並列する他の圧力室の液体の噴射挙動を乱すことを突起によって抑制することができる。   According to the above configuration, since the protrusion is provided along the imaginary line that connects the walls of the pressure chambers facing each other across the liquid flow path, the pressure waves leaking from the pressure chamber into the liquid flow path are arranged in parallel. Disturbing the ejection behavior of the liquid in the other pressure chamber can be suppressed by the protrusion.

請求項6に記載の液体噴射記録装置は、請求項1〜5の何れか1項に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給手段と、前記液体噴射ヘッドを記録媒体の搬送方向と交差する方向へ走査する走査手段と、を有する。   A liquid jet recording apparatus according to a sixth aspect records the liquid jet head according to any one of the first to fifth aspects, a liquid supply unit that supplies a liquid to the liquid jet head, and the liquid jet head. And a scanning unit that scans in a direction that intersects the conveyance direction of the medium.

液体噴射記録装置の液体供給手段から液体噴射ヘッドに液体を供給し、走査手段で液体噴射ヘッドを記録媒体の搬送方向と交差する方向へ走査しながら、液滴を記録媒体へ噴射することで、記録媒体に画像を形成することができる。ここで、上記構成によれば、液体噴射ヘッドが請求項1〜5の何れか1項に記載の構成を備えているため、ノズルから噴射される液滴の噴射速度や噴射体積のばらつきを抑制することができる。   By supplying liquid from the liquid supply means of the liquid jet recording apparatus to the liquid jet head, and scanning the liquid jet head in a direction intersecting with the conveyance direction of the recording medium by the scanning means, jetting droplets onto the recording medium, An image can be formed on a recording medium. Here, according to the above configuration, since the liquid ejecting head includes the configuration according to any one of claims 1 to 5, variations in ejection speed and ejection volume of the droplet ejected from the nozzle are suppressed. can do.

本発明によれば、液体流路と圧力室との接続部分での圧力波の反射率を低減させることなく、圧力室から液体流路内に漏れた圧力波を低減することができる。   According to the present invention, the pressure wave leaking from the pressure chamber into the liquid channel can be reduced without reducing the reflectance of the pressure wave at the connection portion between the liquid channel and the pressure chamber.

第1実施形態に係る液体噴射記録装置としてのインクジェットプリンタを示す斜視図である。1 is a perspective view showing an ink jet printer as a liquid jet recording apparatus according to a first embodiment. 第1実施形態に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェットプリンタのインクジェットヘッドを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating an ink jet head of an ink jet printer as a liquid ejecting head according to the first embodiment. インクジェットヘッドのヘッドチップを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the head chip of an inkjet head. 図3におけるヘッドチップの分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of the head chip in FIG. 3. 図4におけるヘッドチップのアクチュエータプレートとカバープレートを分解した状態を示す拡大分解斜視図である。FIG. 5 is an enlarged exploded perspective view illustrating a state where an actuator plate and a cover plate of the head chip in FIG. 4 are disassembled. 図4におけるA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line in FIG. 第2実施形態に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェットヘッドのヘッドチップを示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a head chip of an ink jet head as a liquid jet head according to a second embodiment. 図7におけるB−B線断面図である。It is the BB sectional view taken on the line in FIG. 第2実施形態のヘッドチップの変形例を示す図8のC−C線断面図に相当する拡大平面図である。FIG. 9 is an enlarged plan view corresponding to the cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 8 showing a modification of the head chip of the second embodiment. (A)、(B)は、第2実施形態のヘッドチップの他の変形例を示す図8のD−D線断面図に相当する拡大平面図である。(A), (B) is an enlarged plan view equivalent to the DD sectional view of Drawing 8 showing other modifications of the head chip of a 2nd embodiment.

<第1実施形態>
以下、本発明の第1実施形態に係る液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置について、図1〜6を用いて説明する。なお、以下の実施形態では、液体噴射ヘッドを備える液体噴射記録装置の一例として、液体としてインクを利用して記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ(以下「プリンタ」という。)について説明する。
<First Embodiment>
Hereinafter, a liquid jet head and a liquid jet recording apparatus according to a first embodiment of the invention will be described with reference to FIGS. In the following embodiments, an ink jet printer (hereinafter referred to as “printer”) that performs recording on a recording medium using ink as a liquid will be described as an example of a liquid jet recording apparatus including a liquid jet head.

(プリンタ)
図1に示すように、プリンタ1は、記録紙等の記録媒体Sを搬送する一対の搬送手段2、3と、記録媒体Sに図示しないインク(液体)を噴射する液体噴射ヘッドとしてのインクジェットヘッド4と、を備えている。
(Printer)
As shown in FIG. 1, a printer 1 includes a pair of conveying units 2 and 3 that convey a recording medium S such as recording paper, and an ink jet head as a liquid ejecting head that ejects ink (liquid) (not shown) to the recording medium S. 4 is provided.

また、プリンタ1は、インクジェットヘッド4にインクを供給する液体供給手段としてのインク供給手段5と、インクジェットヘッド4を記録媒体Sの搬送方向Yと交差する走査方向Xに走査する走査手段6と、を備えている。なお、本実施形態では、搬送方向Y及び走査方向Xの2方向に直交する方向を上下方向Zとする。   The printer 1 includes an ink supply unit 5 as a liquid supply unit that supplies ink to the inkjet head 4, a scanning unit 6 that scans the inkjet head 4 in a scanning direction X that intersects the transport direction Y of the recording medium S, It has. In the present embodiment, the direction perpendicular to the two directions of the transport direction Y and the scanning direction X is defined as the vertical direction Z.

一対の搬送手段2、3は、搬送方向Yに間隔をあけて配置されており、一方の搬送手段2が搬送方向Yの上流側に位置し、他方の搬送手段3が搬送方向Yの下流側に位置している。   The pair of conveying means 2 and 3 are arranged with a gap in the conveying direction Y, one conveying means 2 is located upstream in the conveying direction Y, and the other conveying means 3 is downstream in the conveying direction Y. Is located.

また、搬送手段2、3は、走査方向Xに延設されたグリッドローラ2A、3Aと、このグリッドローラ2A、3Aに対して平行に配置されるとともに、グリッドローラ2A、3Aとの間で記録媒体Sを挟み込むピンチローラ2B、3Bと、グリッドローラ2A、3Aをその軸回りに回転させる図示しないモータ等の駆動機構と、をそれぞれ備えている。そして、一対の搬送手段2、3のグリッドローラ2A、3Aを回転させることで、記録媒体Sを搬送方向Yに沿った矢印A方向に搬送することが可能とされている。   The conveying means 2 and 3 are arranged parallel to the grid rollers 2A and 3A extending in the scanning direction X and the grid rollers 2A and 3A, and printing is performed between the grid rollers 2A and 3A. Pinch rollers 2B and 3B that sandwich the medium S and drive mechanisms such as a motor (not shown) that rotate the grid rollers 2A and 3A around their axes are provided. The recording medium S can be transported in the direction of arrow A along the transport direction Y by rotating the grid rollers 2A and 3A of the pair of transport means 2 and 3.

インク供給手段5は、インクが収容されたインクタンク10と、インクタンク10とインクジェットヘッド4とを接続するインク配管11と、を備えている。本実施形態では、例えばイエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(B)の四色のインクがそれぞれ収容されたインクタンク10Y、10M、10C、10Bが搬送方向Yに並んで配置されている。インク配管11は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド4を支持するキャリッジ16の動作(移動)に追従可能とされている。   The ink supply unit 5 includes an ink tank 10 that contains ink, and an ink pipe 11 that connects the ink tank 10 and the inkjet head 4. In this embodiment, for example, ink tanks 10Y, 10M, 10C, and 10B each containing four colors of ink of yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (B) are arranged in the transport direction Y. Is arranged in. The ink pipe 11 is a flexible hose having flexibility, for example, and can follow the operation (movement) of the carriage 16 that supports the inkjet head 4.

走査手段6は、走査方向Xに延び、搬送方向Yに間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール15と、一対のガイドレール15に沿って移動可能に配置されたキャリッジ16と、キャリッジ16を走査方向Xに移動させる駆動機構17と、を備えている。   The scanning means 6 extends in the scanning direction X, and is paired with a pair of guide rails 15 arranged in parallel with each other in the transport direction Y, and a carriage 16 disposed so as to be movable along the pair of guide rails 15; And a drive mechanism 17 that moves the carriage 16 in the scanning direction X.

駆動機構17は、一対のガイドレール15の間に配置され、走査方向Xに間隔をあけて配置された一対のプーリ18と、一対のプーリ18の間に巻回されて走査方向Xに移動する無端ベルト19と、一方のプーリ18を回転駆動させる駆動モータ20と、を備えている。   The drive mechanism 17 is disposed between the pair of guide rails 15, is wound between the pair of pulleys 18 disposed at a distance in the scanning direction X, and moved in the scanning direction X. An endless belt 19 and a drive motor 20 that rotationally drives one pulley 18 are provided.

キャリッジ16は、無端ベルト19に連結されており、一方のプーリ18の回転駆動による無端ベルト19の移動に伴って走査方向Xに移動可能とされている。また、キャリッジ16には、複数のインクジェットヘッド4が走査方向Xに並んだ状態で搭載されている。   The carriage 16 is connected to an endless belt 19 and is movable in the scanning direction X along with the movement of the endless belt 19 by the rotational drive of one pulley 18. A plurality of inkjet heads 4 are mounted on the carriage 16 in a state of being aligned in the scanning direction X.

本実施形態では、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(B)の各インクをそれぞれ噴射する4つのインクジェットヘッド4、すなわちインクジェットヘッド4Y、4M、4C、4Bが搭載されている。   In the present embodiment, four inkjet heads 4 that respectively eject yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black (B) inks, that is, inkjet heads 4Y, 4M, 4C, and 4B are mounted. ing.

(インクジェットヘッド)
図2に示すように、インクジェットヘッド4は、図1に示すキャリッジ16に固定される固定プレート25と、固定プレート25上に固定されたヘッドチップ26と、を備えている。また、図1に示すインク供給手段5から供給されたインクを、ヘッドチップ26の後述する共通インク室41Aに供給するインク供給部27と、ヘッドチップ26に駆動電圧を印加する制御手段28と、を備えている。
(Inkjet head)
As shown in FIG. 2, the inkjet head 4 includes a fixed plate 25 fixed to the carriage 16 shown in FIG. 1, and a head chip 26 fixed on the fixed plate 25. Further, an ink supply unit 27 that supplies the ink supplied from the ink supply unit 5 shown in FIG. 1 to a common ink chamber 41A (described later) of the head chip 26, a control unit 28 that applies a drive voltage to the head chip 26, and It has.

インクジェットヘッド4は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の噴出量で噴射する。このとき、図1に示すように、インクジェットヘッド4が走査手段6により走査方向Xに移動することにより、記録媒体Sにおける所定範囲に記録を行うことができる。この走査を繰り返し行うことで、搬送手段2、3により記録媒体Sを搬送方向Yに間歇的に搬送しながら、記録媒体Sの全体に記録を行うことが可能となる。   The inkjet head 4 ejects ink of each color with a predetermined ejection amount by applying a driving voltage. At this time, as shown in FIG. 1, the inkjet head 4 is moved in the scanning direction X by the scanning unit 6, so that recording can be performed in a predetermined range on the recording medium S. By repeating this scanning, it is possible to perform recording on the entire recording medium S while the recording medium S is intermittently conveyed in the conveying direction Y by the conveying means 2 and 3.

図2に示すように、固定プレート25には、アルミ等の金属製のベースプレート30が上下方向Zに沿って起立した状態で固定されているとともに、ヘッドチップ26の後述する共通インク室41Aにインクを供給する流路部材31が固定されている。   As shown in FIG. 2, a base plate 30 made of metal such as aluminum is fixed to the fixed plate 25 in an upright direction Z, and ink is placed in a common ink chamber 41 </ b> A (described later) of the head chip 26. The flow path member 31 for supplying is fixed.

流路部材31の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器32がベースプレート30に支持された状態で配置されている。そして、流路部材31と圧力緩衝器32は、インク連結管33を介して連結され、圧力緩衝器32にはインク配管11が接続されている。   Above the flow path member 31, a pressure buffer 32 having a storage chamber for storing ink is disposed in a state supported by the base plate 30. The flow path member 31 and the pressure buffer 32 are connected via an ink connecting pipe 33, and the ink pipe 11 is connected to the pressure buffer 32.

インク配管11を介して圧力緩衝器32に供給されたインクは、圧力緩衝器32の貯留室内に一旦貯留された後、所定量がインク連結管33及び流路部材31を介して共通インク室41Aに供給される。なお、これら流路部材31、圧力緩衝器32、及びインク連結管33は、インク供給部27として機能する。   The ink supplied to the pressure buffer 32 via the ink pipe 11 is temporarily stored in the storage chamber of the pressure buffer 32, and then a predetermined amount of the ink is supplied to the common ink chamber 41 </ b> A via the ink connection pipe 33 and the flow path member 31. To be supplied. The flow path member 31, the pressure buffer 32, and the ink connection pipe 33 function as the ink supply unit 27.

また、固定プレート25には、ヘッドチップ26を駆動するための集積回路等の制御回路(駆動回路)35が搭載されたIC基板36が取り付けられている。この制御回路35と、ヘッドチップ26の後述する共通電極50及び個別電極52は、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板37を介して電気的に接続されている。   An IC substrate 36 on which a control circuit (drive circuit) 35 such as an integrated circuit for driving the head chip 26 is mounted is attached to the fixed plate 25. The control circuit 35 and the common electrode 50 and the individual electrode 52 (to be described later) of the head chip 26 are electrically connected via a flexible substrate 37 on which a wiring pattern (not shown) is printed.

これにより、制御回路35は、フレキシブル基板37を介して共通電極50と個別電極52との間に、駆動電圧を印加することが可能とされる。なお、これら制御回路35が搭載されたIC基板36及びフレキシブル基板37は、制御手段28として機能する。   As a result, the control circuit 35 can apply a drive voltage between the common electrode 50 and the individual electrode 52 via the flexible substrate 37. Note that the IC substrate 36 and the flexible substrate 37 on which these control circuits 35 are mounted function as the control means 28.

(ヘッドチップ)
図3、図4に示すように、インクジェットヘッド4のヘッドチップ26は、アクチュエータとしてのアクチュエータプレート40と、カバープレート41と、支持プレート42と、複数のノズル43Aが形成されたノズルプレート43と、を備えている。
(Head chip)
As shown in FIGS. 3 and 4, the head chip 26 of the inkjet head 4 includes an actuator plate 40 as an actuator, a cover plate 41, a support plate 42, and a nozzle plate 43 in which a plurality of nozzles 43A are formed. It has.

また、ヘッドチップ26(インクジェットヘッド4)は、後述する吐出チャネル45Aの長手方向の端部に臨むノズル43Aからインクを噴射する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。   The head chip 26 (inkjet head 4) is a so-called edge chute type that ejects ink from a nozzle 43A that faces an end in the longitudinal direction of a discharge channel 45A described later.

図4、図5に示すように、アクチュエータプレート40は、第1アクチュエータプレート40A及び第2アクチュエータプレート40Bの2枚のプレートを積層した積層プレート(積層基板)とされている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the actuator plate 40 is a laminated plate (laminated substrate) obtained by laminating two plates, a first actuator plate 40A and a second actuator plate 40B.

第1アクチュエータプレート40A及び第2アクチュエータプレート40Bは、共に厚さ方向に分極処理された圧電基板、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)セラミックス基板であり、互いの分極方向を反対に向けた状態で接合されている。このアクチュエータプレート40は、厚さ方向L1に直交する第1方向(配列方向)L2に長く、厚さ方向L1および第1方向L2に対して直交する第2方向L3に短い、平面視略長方形状に形成されている。   Both the first actuator plate 40A and the second actuator plate 40B are piezoelectric substrates that are polarized in the thickness direction, for example, PZT (lead zirconate titanate) ceramic substrates, with the polarization directions of the substrates opposite to each other. It is joined. The actuator plate 40 is long in a first direction (arrangement direction) L2 orthogonal to the thickness direction L1 and short in a second direction L3 orthogonal to the thickness direction L1 and the first direction L2, and is substantially rectangular in plan view. Is formed.

なお、本実施形態のインクジェットヘッド4はエッジシュートタイプであるため、アクチュエータプレート40の厚さ方向L1がプリンタ1における走査方向Xに一致し、かつ第1方向L2が搬送方向Y、第2方向L3が上下方向Zに一致する。また、本実施形態では、アクチュエータプレート40の側壁面のうち、ノズルプレート43に対向する側壁面を前端面39Aと称し、この前端面39Aとは第2方向L3の反対側に位置する側壁面を後端面39Bと称する。   Since the inkjet head 4 of this embodiment is an edge shoot type, the thickness direction L1 of the actuator plate 40 coincides with the scanning direction X in the printer 1, and the first direction L2 is the transport direction Y and the second direction L3. Coincides with the vertical direction Z. In the present embodiment, among the side wall surfaces of the actuator plate 40, the side wall surface that faces the nozzle plate 43 is referred to as a front end surface 39A, and the side wall surface that is located on the opposite side of the second direction L3 from the front end surface 39A. This is referred to as a rear end face 39B.

アクチュエータプレート40の一方の主面(カバープレート41が重なる面)39Cには、第1方向L2に所定の間隔をあけて並んだ複数のチャネル45が形成されている。複数のチャネル45は、一方の主面39C側に開口した状態で第2方向L3に沿って直線状に延びており、長手方向の一方側がアクチュエータプレート40の前端面39A側に開口している。   A plurality of channels 45 arranged at predetermined intervals in the first direction L2 are formed on one main surface (surface on which the cover plate 41 overlaps) 39C of the actuator plate 40. The plurality of channels 45 extend in a straight line along the second direction L3 in a state opened to the one main surface 39C side, and one side in the longitudinal direction opens to the front end surface 39A side of the actuator plate 40.

また、複数のチャネル45の間には、断面略長方形状で第2方向L3に延びる駆動壁46が形成されている。この駆動壁46によって、各チャネル45がそれぞれ区分けされている。   A drive wall 46 is formed between the plurality of channels 45 and has a substantially rectangular cross section and extends in the second direction L3. Each channel 45 is divided by the drive wall 46.

複数のチャネル45は、インクが充填される吐出チャネル45Aと、インクが充填されないダミーチャネル45Bと、に大別される。そして、これら吐出チャネル45Aとダミーチャネル45Bは、第1方向L2に交互に並んで配置されている。   The plurality of channels 45 are roughly divided into an ejection channel 45A filled with ink and a dummy channel 45B not filled with ink. The discharge channels 45A and the dummy channels 45B are alternately arranged in the first direction L2.

このうち、吐出チャネル45Aは、アクチュエータプレート40の後端面39B側に開口することなく、前端面39A側にだけ開口した状態で形成されている。一方、ダミーチャネル45Bについては、アクチュエータプレート40の前端面39A側だけでなく、後端面39B側にも開口するように形成されている。   Among these, the discharge channel 45 </ b> A is formed in a state of opening only to the front end surface 39 </ b> A side without opening to the rear end surface 39 </ b> B side of the actuator plate 40. On the other hand, the dummy channel 45B is formed to open not only on the front end surface 39A side of the actuator plate 40 but also on the rear end surface 39B side.

吐出チャネル45Aの内壁面、すなわち第1方向L2に向かい合う一対の側壁面及び底壁面には、共通電極50が形成されている。この共通電極50は、吐出チャネル45Aに沿って第2方向L3に延び、アクチュエータプレート40の一方の主面39C上に形成された共通端子51に導通している。なお、吐出チャネル45Aの内壁面のうち、後述する共通インク室41Aに平面視で重なる部分には、図示しない絶縁膜を介して共通電極50が形成されている。   A common electrode 50 is formed on the inner wall surface of the discharge channel 45A, that is, the pair of side wall surfaces and the bottom wall surface facing the first direction L2. The common electrode 50 extends in the second direction L3 along the discharge channel 45A and is electrically connected to a common terminal 51 formed on one main surface 39C of the actuator plate 40. Note that a common electrode 50 is formed on an inner wall surface of the ejection channel 45 </ b> A through an insulating film (not shown) at a portion overlapping a common ink chamber 41 </ b> A described later in plan view.

一方、ダミーチャネル45Bの内壁面のうち、第1方向L2に向かい合う一対の側壁面には、個別電極52が互いに電気的に分離して形成されている。これら個別電極52は、それぞれダミーチャネル45Bに沿って第2方向L3に延び、アクチュエータプレート40の一方の主面39C上に形成された個別端子53に導通している。   On the other hand, of the inner wall surface of the dummy channel 45B, individual electrodes 52 are formed on the pair of side wall surfaces facing the first direction L2 so as to be electrically separated from each other. Each of the individual electrodes 52 extends in the second direction L3 along the dummy channel 45B and is electrically connected to an individual terminal 53 formed on one main surface 39C of the actuator plate 40.

なお、個別端子53は、アクチュエータプレート40の一方の主面39C上における後端面39B側に形成されている。そして、吐出チャネル45Aを挟んだ両側に位置する個別電極52同士(異なるダミーチャネル45B内に形成された個別電極52同士)を、接続するように形成されている。   The individual terminals 53 are formed on the rear end surface 39B side on the one main surface 39C of the actuator plate 40. The individual electrodes 52 located on both sides of the ejection channel 45A (individual electrodes 52 formed in different dummy channels 45B) are connected to each other.

このとき、個別端子53は、一方の主面39C上において、共通端子51よりも後端面39B側に離間した位置で第1方向L2に延びることにより、個別電極52同士をブリッジ状に繋ぐように形成されている。   At this time, the individual terminal 53 extends in the first direction L2 at a position separated from the common terminal 51 on the rear end surface 39B side on the one main surface 39C so as to connect the individual electrodes 52 in a bridge shape. Is formed.

フレキシブル基板37を介して制御回路35が共通端子51及び個別端子53を通じて、共通電極50と個別電極52との間に駆動電圧を印加すると、駆動壁46がせん断モード(シアモード)で変形する。これにより、吐出チャネル45A内のインクに圧力波を生じさせ、吐出チャネル45A内のインクをノズル43Aから噴射して、記録媒体Sに文字や画像等の各種情報を記録することができる。   When the control circuit 35 applies a drive voltage between the common electrode 50 and the individual electrode 52 through the common terminal 51 and the individual terminal 53 via the flexible substrate 37, the drive wall 46 is deformed in a shear mode (shear mode). As a result, pressure waves are generated in the ink in the ejection channel 45A, and the ink in the ejection channel 45A is ejected from the nozzle 43A, so that various information such as characters and images can be recorded on the recording medium S.

ここで、吐出チャネル45Aの内壁面のうち、共通インク室41Aに平面視で重なる部分には、絶縁膜を介して共通電極50が形成されている。このため、吐出チャネル45Aには、駆動電圧の印加によって変形してインクの噴射動作に実質的に寄与する駆動領域と、インクの噴射動作にほとんど寄与しない非駆動領域と、が形成される。なお、この駆動領域が後述する圧力室60とされ、非駆動領域が後述する液体流路としてのインク導入路62とされる。   Here, a common electrode 50 is formed on the inner wall surface of the ejection channel 45A over the common ink chamber 41A in plan view with an insulating film interposed therebetween. For this reason, the ejection channel 45A is formed with a drive region that is deformed by the application of the drive voltage and substantially contributes to the ink ejection operation, and a non-drive region that hardly contributes to the ink ejection operation. The driving area is a pressure chamber 60 described later, and the non-driving area is an ink introduction path 62 as a liquid flow path described later.

図3、図4に示すように、カバープレート41は、アクチュエータプレート40の一方の主面39C上に重ね合されている。このカバープレート41には、図2に示す流路部材31を介してインクが供給される共通インク室41Aが、第1方向L2に長い平面視矩形状に形成されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the cover plate 41 is superimposed on one main surface 39 </ b> C of the actuator plate 40. In the cover plate 41, a common ink chamber 41A to which ink is supplied via the flow path member 31 shown in FIG. 2 is formed in a rectangular shape in plan view that is long in the first direction L2.

共通インク室41Aには、複数のスリット55Aが形成されたインク規制板55が設けられている。複数のスリット55Aは、吐出チャネル45Aに対応する位置に形成されており、インク規制板55によって共通インク室41A内のインクを吐出チャネル45Aにのみ導入させ、ダミーチャネル45B内への導入を規制する。   The common ink chamber 41A is provided with an ink regulating plate 55 in which a plurality of slits 55A are formed. The plurality of slits 55A are formed at positions corresponding to the ejection channel 45A, and the ink in the common ink chamber 41A is introduced only into the ejection channel 45A by the ink regulating plate 55, and the introduction into the dummy channel 45B is regulated. .

なお、カバープレート41は、例えばアクチュエータプレート40と同じPZTセラミックス基板で形成され、アクチュエータプレート40と同じ熱膨張をさせることで、温度変化に対する反りや変形を抑制している。しかしながら、この場合に限られず、アクチュエータプレート40とは異なる材料でカバープレート41を形成しても構わない。ただし、アクチュエータプレート40及びカバープレート41は、それぞれ熱膨張係数が近い材料を用いることが好ましい。   The cover plate 41 is formed of, for example, the same PZT ceramic substrate as the actuator plate 40, and suppresses warping and deformation with respect to a temperature change by causing the same thermal expansion as the actuator plate 40. However, the present invention is not limited to this case, and the cover plate 41 may be formed of a material different from that of the actuator plate 40. However, it is preferable that the actuator plate 40 and the cover plate 41 are made of materials having close thermal expansion coefficients.

支持プレート42は、重ね合されたアクチュエータプレート40及びカバープレート41を支持しているとともに、ノズルプレート43を同時に支持している。支持プレート42には、第1方向L2に沿って嵌合孔42Aが形成されており、重ね合されたアクチュエータプレート40及びカバープレート41を嵌合孔42A内に嵌め込んだ状態で支持している。このとき支持プレート42は、アクチュエータプレート40の前端面39Aと面一となるように組み合わされている。   The support plate 42 supports the actuator plate 40 and the cover plate 41 that are superimposed, and simultaneously supports the nozzle plate 43. A fitting hole 42A is formed in the support plate 42 along the first direction L2, and the overlapped actuator plate 40 and cover plate 41 are supported in a state of being fitted in the fitting hole 42A. . At this time, the support plate 42 is combined with the front end surface 39A of the actuator plate 40 so as to be flush with the front end surface 39A.

ノズルプレート43は、支持プレート42及びアクチュエータプレート40の前端面39Aに、例えば接着等により固定されており、例えばガラスにより形成された板状のものである。なお、ノズルプレート43における記録媒体Sに対向する対向面には、例えばインクの付着等を防止するための撥水膜をコーティングしてもよい。   The nozzle plate 43 is fixed to the front end face 39A of the support plate 42 and the actuator plate 40 by, for example, adhesion, and is a plate-like member formed of, for example, glass. Note that a surface of the nozzle plate 43 facing the recording medium S may be coated with a water repellent film for preventing ink adhesion or the like, for example.

また、ノズルプレート43には、第1方向L2に所定の間隔をあけて複数のノズル43Aが一列に並んだ状態で形成されている。これらノズル43Aは、複数の吐出チャネル45Aに対してそれぞれ対向する位置に形成されており、各吐出チャネル45A内に連通する。また、図6に示すように、ノズル43Aは、徐々に先細りとなるようにテーパ状に形成されている。   Further, the nozzle plate 43 is formed with a plurality of nozzles 43A arranged in a line at a predetermined interval in the first direction L2. The nozzles 43A are formed at positions facing the plurality of discharge channels 45A, and communicate with each discharge channel 45A. Further, as shown in FIG. 6, the nozzle 43A is formed in a tapered shape so as to be gradually tapered.

具体的には、ノズル43Aのノズルプレート43におけるアクチュエータプレート40側の面44Bの孔径は、例えば約60μm程度に設定されている。一方、ノズル43Aのノズルプレート43におけるインク滴噴射側の面44Aの孔径は、例えば約30μm程度に設定されている。なお、通常時にノズル43Aからインクが噴射されないように、各ノズル43Aにおいて適切なメニスカスが保たれている。   Specifically, the hole diameter of the surface 44B on the actuator plate 40 side of the nozzle plate 43 of the nozzle 43A is set to about 60 μm, for example. On the other hand, the hole diameter of the surface 44A on the ink droplet ejection side of the nozzle plate 43 of the nozzle 43A is set to about 30 μm, for example. An appropriate meniscus is maintained in each nozzle 43A so that ink is not ejected from the nozzle 43A during normal operation.

図5、図6に示すように、吐出チャネル45Aは、圧力室60と、液体流路としてのインク導入路62とを有している。圧力室60は、前述したように、駆動電圧の印加によって変形してインクの噴射動作に実質的に寄与する駆動領域であり、図6に示すように、吐出チャネル45Aの前端側(ノズルプレート43に面する側)に設けられている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the ejection channel 45 </ b> A includes a pressure chamber 60 and an ink introduction path 62 as a liquid flow path. As described above, the pressure chamber 60 is a driving region that is deformed by the application of the driving voltage and substantially contributes to the ink ejecting operation. As shown in FIG. 6, the front end side of the ejection channel 45A (the nozzle plate 43). On the side facing the surface).

また、圧力室60は、長手方向の一方側(前端側)がノズル43Aに連通しているとともに、長手方向の他端側(後端側)がインク導入路62との接続部分となる開口端60Aとされている。   The pressure chamber 60 has one end (front end side) in the longitudinal direction communicating with the nozzle 43 </ b> A, and the other end side (rear end side) in the longitudinal direction is an open end that serves as a connection portion with the ink introduction path 62. 60A.

一方、インク導入路62は、前述したように、インクの噴射動作にほとんど寄与しない非駆動領域であり、吐出チャネル45Aの後端側の共通インク室41Aに平面視で重なる部分に設けられている。また、インク導入路62は、上部がカバープレート41のスリット55Aを介して共通インク室41Aに連通しているとともに、前端側が圧力室60の開口端60Aに接続されている。   On the other hand, as described above, the ink introduction path 62 is a non-driving area that hardly contributes to the ink ejection operation, and is provided in a portion overlapping the common ink chamber 41A on the rear end side of the ejection channel 45A in plan view. . The ink introduction path 62 communicates with the common ink chamber 41 </ b> A through the slit 55 </ b> A of the cover plate 41 at the top, and is connected to the opening end 60 </ b> A of the pressure chamber 60 at the front end side.

さらに、インク導入路62内の圧力室60の長手方向の延長線上には、複数の円柱形状の突起64Aで構成されたフィルタ64が設けられている。突起64Aは、互いに間隔をあけてそれぞれインク導入路62の底壁面から突出しており、突起64Aの突出高さは、圧力室60の開口端60Aの高さと略同じ高さとなっている。   Further, a filter 64 composed of a plurality of cylindrical protrusions 64A is provided on the extension line in the longitudinal direction of the pressure chamber 60 in the ink introduction path 62. The protrusions 64 </ b> A protrude from the bottom wall surface of the ink introduction path 62 at intervals from each other, and the protrusion height of the protrusion 64 </ b> A is substantially the same as the height of the opening end 60 </ b> A of the pressure chamber 60.

また、突起64A(フィルタ64)は、圧力室60の開口端60Aに対して開口端補正距離Lよりも離れた位置に設けられている。ここで「開口端補正距離L」とは、開口端60Aの開口面積から導かれる距離であり、圧力室60内の圧力波の実質的な反射位置である。なお、例えば圧力室60を半径rの円管とした場合、開口端補正距離L≒0.6rで求めることができる。   Further, the protrusion 64 </ b> A (filter 64) is provided at a position away from the opening end correction distance L with respect to the opening end 60 </ b> A of the pressure chamber 60. Here, the “opening end correction distance L” is a distance derived from the opening area of the opening end 60 </ b> A, and is a substantial reflection position of the pressure wave in the pressure chamber 60. For example, when the pressure chamber 60 is a circular pipe having a radius r, the opening end correction distance L can be obtained by 0.6r.

(作用及び効果)
上記のように構成されたプリンタ1により、記録媒体Sに情報を記録する場合には、図1に示すように、例えば、一対の搬送手段2、3により記録媒体Sを搬送方向Yに搬送させながら、走査手段6によりキャリッジ16を介して各インクジェットヘッド4を走査方向Xに往復移動させる。
(Function and effect)
When recording information on the recording medium S by the printer 1 configured as described above, for example, the recording medium S is conveyed in the conveying direction Y by a pair of conveying means 2 and 3 as shown in FIG. However, each inkjet head 4 is reciprocated in the scanning direction X by the scanning means 6 via the carriage 16.

この間に、各インクジェットヘッド4において、制御回路35によって共通端子51と個別端子53との間に駆動電圧を印加することで、駆動壁46にせん断モード(シアモード)の変形を生じさせる。このとき、ダミーチャネル45Bの向かい合う一対の側壁面に形成された個別電極52が互いに電気的に分離しているため、各駆動壁46をそれぞれ個別に駆動させることができる。   During this time, in each inkjet head 4, a drive voltage is applied between the common terminal 51 and the individual terminal 53 by the control circuit 35, thereby causing the drive wall 46 to deform in a shear mode (shear mode). At this time, since the individual electrodes 52 formed on the pair of opposing side wall surfaces of the dummy channel 45B are electrically separated from each other, each drive wall 46 can be driven individually.

ここで、まず、吐出チャネル45Aの容積が拡大するように駆動壁46が変形することで、共通インク室41A内のインクがスリット55Aを介してインク導入路62内に供給され、インク導入路62内のインクが開口端60A(接続部分)から圧力室60内に流入する。   Here, first, the drive wall 46 is deformed so as to increase the volume of the ejection channel 45A, whereby the ink in the common ink chamber 41A is supplied into the ink introduction path 62 through the slit 55A, and the ink introduction path 62 is supplied. The ink inside flows into the pressure chamber 60 from the opening end 60A (connection portion).

次に、吐出チャネル45Aの容積が縮小するように駆動壁46が変形することで、圧力室60に充填されたインクに圧力波が生じる。この圧力波により、圧力室60の内圧が高まるため、インクをノズル43Aから噴射させることができ、ノズル43Aから噴射されるインク滴によって記録媒体Sに文字や画像等の各種情報を記録することができる。   Next, the drive wall 46 is deformed so as to reduce the volume of the ejection channel 45 </ b> A, so that a pressure wave is generated in the ink filled in the pressure chamber 60. Due to this pressure wave, the internal pressure of the pressure chamber 60 increases, so that ink can be ejected from the nozzle 43A, and various information such as characters and images can be recorded on the recording medium S by the ink droplets ejected from the nozzle 43A. it can.

なお、圧力室60内で発生した圧力波は、圧力室60の長手方向に沿って一方側であるノズル43A側、及び他方側であるインク導入路62側へ進行する。インク導入路62側へ進行した圧力波は、インク導入路62との接続部分である開口端60Aから開口端補正距離L離れた位置で反射されてほとんどが圧力室60内へ戻るが、一部の圧力波が反射されずにインク導入路62に漏れ出る。   Note that the pressure wave generated in the pressure chamber 60 travels along the longitudinal direction of the pressure chamber 60 to the nozzle 43A side which is one side and the ink introduction path 62 side which is the other side. The pressure wave that has traveled toward the ink introduction path 62 is reflected at a position away from the opening end 60A, which is a connection portion with the ink introduction path 62, at an opening end correction distance L, and most of the pressure wave returns into the pressure chamber 60. The pressure wave leaks into the ink introduction path 62 without being reflected.

ここで、本実施形態によれば、インク導入路62内にフィルタ64が設けられているため、圧力室60からインク導入路62内に漏れた圧力波をフィルタ64によって吸収することで低減することができる。このため、インク導入路62を介して他の圧力室60のノズル43Aから噴射されるインクの噴射挙動を乱す、いわゆるクロストークを抑制することができる。   Here, according to the present embodiment, since the filter 64 is provided in the ink introduction path 62, the pressure wave leaking from the pressure chamber 60 into the ink introduction path 62 is absorbed by the filter 64 and reduced. Can do. For this reason, so-called crosstalk that disturbs the ejection behavior of the ink ejected from the nozzles 43 </ b> A of the other pressure chambers 60 via the ink introduction path 62 can be suppressed.

また、本実施形態によれば、フィルタ64が圧力室60の長手方向の延長線上に設けられているため、長手方向の延長線上に設けられていない構成と比較して、圧力室60からインク導入路62内に漏れた圧力波をフィルタ64によって効率的に吸収することができる。   In addition, according to the present embodiment, since the filter 64 is provided on the extension line in the longitudinal direction of the pressure chamber 60, ink is introduced from the pressure chamber 60 as compared with a configuration not provided on the extension line in the longitudinal direction. The pressure wave leaking into the passage 62 can be efficiently absorbed by the filter 64.

さらに、フィルタ64が、圧力室60の開口端60Aに対して開口端補正距離Lよりも離れた位置に設けられている。このため、圧力室60の開口端60Aの開口面積がフィルタ64によって狭くなることを抑制することができるとともに、開口端60Aから開口端補正距離L離れた位置での圧力波の反射がフィルタ64によって妨げられて、圧力波の反射率が低減することを抑制することができる。   Further, the filter 64 is provided at a position away from the opening end correction distance L with respect to the opening end 60 </ b> A of the pressure chamber 60. Therefore, the opening area of the opening end 60A of the pressure chamber 60 can be suppressed from being narrowed by the filter 64, and the reflection of the pressure wave at the position away from the opening end 60A by the opening end correction distance L is reflected by the filter 64. It can be prevented that the reflectance of the pressure wave is reduced.

また、本実施形態によれば、フィルタ64が互いに間隔をあけた複数の突起64Aで構成されているため、弾性体からなるダンパをインク導入路62内に設けて圧力波を吸収させる構成と比較して、圧力室60内へのインクの流入が妨げられることを抑制することができる。   Further, according to the present embodiment, since the filter 64 is composed of a plurality of protrusions 64A spaced apart from each other, it is compared with a configuration in which a damper made of an elastic body is provided in the ink introduction path 62 to absorb pressure waves. Thus, it is possible to prevent the inflow of ink into the pressure chamber 60 from being hindered.

すなわち、フィルタ64を構成する突起64Aは、インクの流れをほとんど妨げないため、圧力室60の開口端60Aに対して開口端補正距離Lよりも離れた位置において、可能な限り圧力室60の近傍に配置することができる。具体的には、フィルタ64と圧力室60の開口端60Aとの距離を、70μm未満、好ましくは50μm未満、より好ましくは30μm未満とすることができる。   That is, since the protrusion 64A constituting the filter 64 hardly obstructs the ink flow, it is as close to the pressure chamber 60 as possible at a position away from the opening end correction distance L with respect to the opening end 60A of the pressure chamber 60. Can be arranged. Specifically, the distance between the filter 64 and the opening end 60A of the pressure chamber 60 can be less than 70 μm, preferably less than 50 μm, more preferably less than 30 μm.

また、本実施形態によれば、複数の突起64Aによってフィルタ64を形成することで、壁体等に設けた複数の孔によってフィルタを形成する構成と比較して、フィルタ64を容易に作製及び設置することができる。   Further, according to the present embodiment, the filter 64 is formed by the plurality of protrusions 64A, so that the filter 64 can be easily manufactured and installed as compared with the configuration in which the filter is formed by the plurality of holes provided in the wall body or the like. can do.

<第2実施形態>
以下、本発明の第2実施形態に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェットヘッドについて、図7、図8を用いて説明する。なお、液体噴射記録装置としてのプリンタは第1実施形態のプリンタ1と同様の構成であるため、図示及び説明を省略する。
Second Embodiment
Hereinafter, an ink jet head as a liquid jet head according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Since the printer as the liquid jet recording apparatus has the same configuration as the printer 1 of the first embodiment, illustration and description thereof are omitted.

(インクジェットヘッド)
第1実施形態のインクジェットヘッド4が、圧力室60の両側壁面に形成された電極によって、圧力室60をせん断モード(シアモード)で変形させる構成とされていたのに対し、第2実施形態のインクジェットヘッド66は、撓みモード(ベントモード)で変形させる構成とされている。
(Inkjet head)
The inkjet head 4 according to the first embodiment is configured to deform the pressure chamber 60 in the shear mode (shear mode) by the electrodes formed on both side walls of the pressure chamber 60, whereas the inkjet head according to the second embodiment. The head 66 is configured to be deformed in a bending mode (bent mode).

具体的には、図7、図8に示すように、インクジェットヘッド66のヘッドチップ68は、ノズルプレート70と、ノズルプレート70の上に積層された流路形成プレート72と、流路形成プレート72の上に積層されたダイヤフラム74と、を備えている。   Specifically, as shown in FIGS. 7 and 8, the head chip 68 of the inkjet head 66 includes a nozzle plate 70, a flow path forming plate 72 stacked on the nozzle plate 70, and a flow path forming plate 72. And a diaphragm 74 stacked on top of each other.

流路形成プレート72には、液体流路としてのインク導入路76と、インク導入路76を挟んだ位置に設けられた一対のインク排出路78A、78Bとが、互いに所定の間隔をあけて並列に形成されている。なお、インク導入路76は、図示しない供給用共通インク室と連通しており、インク排出路78A、78Bは、図示しない排出用共通インク室と連通している。   In the flow path forming plate 72, an ink introduction path 76 as a liquid flow path and a pair of ink discharge paths 78A and 78B provided at positions sandwiching the ink introduction path 76 are arranged in parallel at a predetermined interval. Is formed. The ink introduction path 76 communicates with a supply common ink chamber (not shown), and the ink discharge paths 78A and 78B communicate with a discharge common ink chamber (not shown).

また、流路形成プレート72におけるインク導入路76とインク排出路78Aとの間には、インク導入路76及びインク排出路78Aと交差する方向に延び、かつ互いに間隔をあけて並んだ複数の圧力室80が形成されている。圧力室80の長手方向の両端は開口端80A、80Bとされており、開口端80A、80Bがインク導入路76及びインク排出路78Aとの接続部分とされている。   Further, a plurality of pressures extending between the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78A in the flow path forming plate 72 in a direction intersecting with the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78A and arranged at intervals. A chamber 80 is formed. Both ends of the pressure chamber 80 in the longitudinal direction are open ends 80A and 80B, and the open ends 80A and 80B are connected to the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78A.

同様に、流路形成プレート72におけるインク導入路76とインク排出路78Bとの間には、インク導入路76及びインク排出路78Bと交差する方向に延び、かつ互いに間隔をあけて並んだ複数の圧力室82が形成されている。   Similarly, between the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78B in the flow path forming plate 72, a plurality of lines extending in a direction intersecting with the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78B and arranged at intervals from each other. A pressure chamber 82 is formed.

圧力室82は、圧力室80と同様に、長手方向の両端が開口端82Aとされており、開口端82Aがインク導入路76及びインク排出路78Bとの接続部分とされている。なお、圧力室82は、長手方向に沿った中心軸が圧力室80の長手方向に沿った中心軸に対してずれるように、圧力室80と互い違いに配置されている。   As with the pressure chamber 80, the pressure chamber 82 has both ends in the longitudinal direction as open ends 82A, and the open ends 82A serve as connecting portions between the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78B. The pressure chambers 82 are alternately arranged with the pressure chambers 80 so that the central axis along the longitudinal direction is shifted from the central axis along the longitudinal direction of the pressure chamber 80.

圧力室80、82の上部にはダイヤフラム74が載置されており、ダイヤフラム74が圧力室80、82の天面とされている。また、ダイヤフラム74の上部における複数の圧力室80、82に対応する位置には、圧力室80、82の長手方向に沿ってアクチュエータとしてのアクチュエータプレート(PZTセラミックス基板)84がそれぞれ設けられている。なお、ダイヤフラム74の上部には、アクチュエータプレート84に電圧を印加して選択的に変形させるための図示しない駆動電極が形成されている。   A diaphragm 74 is placed on top of the pressure chambers 80 and 82, and the diaphragm 74 is a top surface of the pressure chambers 80 and 82. An actuator plate (PZT ceramic substrate) 84 as an actuator is provided along the longitudinal direction of the pressure chambers 80 and 82 at positions corresponding to the plurality of pressure chambers 80 and 82 in the upper part of the diaphragm 74. A drive electrode (not shown) for applying a voltage to the actuator plate 84 to selectively deform the actuator plate 84 is formed on the diaphragm 74.

図8に示すように、ノズルプレート70には、圧力室80の底壁面の長手方向の中央部分に連通するノズル70Aが形成されている。なお、ノズル70Aは、ノズルプレート70における複数の圧力室80、82の底壁面に対応する位置にそれぞれ形成されている。   As shown in FIG. 8, the nozzle plate 70 is formed with a nozzle 70 </ b> A that communicates with the central portion in the longitudinal direction of the bottom wall surface of the pressure chamber 80. The nozzle 70 </ b> A is formed at a position corresponding to the bottom wall surface of the plurality of pressure chambers 80 and 82 in the nozzle plate 70.

また、図7に示すように、ノズルプレート70の上面におけるインク導入路76及びインク排出路78A、78Bに対応する位置には、フィルタ86を構成する複数の円柱形状の突起86Aがそれぞれ突設されている。   Further, as shown in FIG. 7, a plurality of columnar projections 86A constituting the filter 86 are respectively provided at positions corresponding to the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B on the upper surface of the nozzle plate 70. ing.

複数の突起86Aは、複数の圧力室80、82のインク導入路76及びインク排出路78A、78Bとの接続部分である開口端80A、80B、82Aに沿って2列に並設されているとともに、1列目の突起86Aと2列目の突起86Aとが互い違いになるように配置されている。   The plurality of protrusions 86A are juxtaposed in two rows along the open ends 80A, 80B, and 82A, which are connection portions between the ink introduction paths 76 and the ink discharge paths 78A and 78B of the plurality of pressure chambers 80 and 82. The first row of protrusions 86A and the second row of protrusions 86A are arranged alternately.

また、図8に示すように、突起86A(フィルタ86)は、圧力室80、82の長手方向の延長線上に設けられているとともに、圧力室80、82の開口端80A、82Aに対して開口端補正距離Lよりも離れた位置にそれぞれ設けられている。さらに、突起86Aの突出高さは、開口端80A、82Aの高さより高くなっている。   Further, as shown in FIG. 8, the protrusion 86 </ b> A (filter 86) is provided on the extension line in the longitudinal direction of the pressure chambers 80 and 82, and is open to the opening ends 80 </ b> A and 82 </ b> A of the pressure chambers 80 and 82. It is provided at a position separated from the end correction distance L. Furthermore, the protrusion height of the protrusion 86A is higher than the height of the opening ends 80A and 82A.

なお、本実施形態において、流路形成プレート72は、例えばシリコンウェハーから作製されており、インク導入路76、インク排出路78A、78B、圧力室80、82、及び突起86A(フィルタ86)がそれぞれエッチングにより形成されている。   In the present embodiment, the flow path forming plate 72 is made of, for example, a silicon wafer, and the ink introduction path 76, the ink discharge paths 78A and 78B, the pressure chambers 80 and 82, and the protrusion 86A (filter 86) are provided. It is formed by etching.

(作用及び効果)
本実施形態のインクジェットヘッド66は、第1実施形態のインクジェットヘッド4と同様に、図示しない駆動電極に駆動電圧を印加してアクチュエータプレート84を変形させることで、インクの噴射動作を行う。
(Function and effect)
As with the inkjet head 4 of the first embodiment, the inkjet head 66 of the present embodiment performs an ink ejection operation by applying a drive voltage to a drive electrode (not shown) to deform the actuator plate 84.

本実施形態では、アクチュエータプレート84が圧力室80、82の上部に設けられているため、アクチュエータプレート84が変形することでダイヤフラム74が撓みモード(ベントモード)で変形する。   In the present embodiment, since the actuator plate 84 is provided above the pressure chambers 80 and 82, the diaphragm 74 is deformed in the bending mode (vent mode) when the actuator plate 84 is deformed.

このとき、まず、ダイヤフラム74を変形させて圧力室80、82の容積を拡大させることで、インク導入路76内のインクを開口端80A、82A(接続部分)から圧力室80、82内に流入させる。   At this time, first, the diaphragm 74 is deformed to enlarge the volume of the pressure chambers 80 and 82, whereby the ink in the ink introduction path 76 flows into the pressure chambers 80 and 82 from the opening ends 80A and 82A (connection portion). Let

次に、ダイヤフラム74を変形させて圧力室80、82の容積を縮小させることで、圧力室80、82に充填されたインクに圧力波を生じさせ、インクをノズル70Aから噴射させる。なお、ノズル70Aから噴射されなかった圧力室80、82内のインクは、インク排出路78A、78Bへ排出される。   Next, the diaphragm 74 is deformed to reduce the volume of the pressure chambers 80 and 82, thereby generating a pressure wave in the ink filled in the pressure chambers 80 and 82 and ejecting the ink from the nozzle 70A. The ink in the pressure chambers 80 and 82 that has not been ejected from the nozzle 70A is discharged to the ink discharge paths 78A and 78B.

圧力室80、82内で発生した圧力波は、圧力室80、82の長手方向に沿ってインク導入路76側及びインク排出路78A、78B側へ進行する。インク導入路76側及びインク排出路78A、78B側へ進行した圧力波は、インク導入路76及びインク排出路78A、78Bとの接続部分である開口端80A、80B、82Aから開口端補正距離L離れた位置で反射されてほとんどが圧力室80、82内へ戻るが、一部の圧力波が反射されずにインク導入路76及びインク排出路78A、78Bに漏れ出る。   The pressure wave generated in the pressure chambers 80 and 82 travels along the longitudinal direction of the pressure chambers 80 and 82 toward the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B. The pressure wave that has traveled toward the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B is corrected to the opening end correction distance L from the opening ends 80A, 80B, and 82A, which are the connection portions between the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B. Most of the light waves are reflected back to the pressure chambers 80 and 82, but some pressure waves are not reflected and leak into the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B.

ここで、本実施形態によれば、インク導入路76及びインク排出路78A、78Bの圧力室80、82の長手方向の延長線上、かつ圧力室80、82の開口端80A、80B、82Aに対して開口端補正距離Lよりも離れた位置にフィルタ64が設けられている。   Here, according to the present embodiment, the longitudinal direction of the pressure chambers 80 and 82 of the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B and the opening ends 80A, 80B and 82A of the pressure chambers 80 and 82 are defined. Thus, a filter 64 is provided at a position farther from the opening end correction distance L.

このため、第1実施形態と同様に、インク導入路76及びインク排出路78A、78Bと圧力室80、82との接続部分での圧力波の反射率を低減させることなく、フィルタ64によって圧力室80、82からインク導入路76内及びインク排出路78A、78B内に漏れた圧力波を低減することができる。   For this reason, as in the first embodiment, the pressure chamber is reduced by the filter 64 without reducing the reflectance of the pressure wave at the connection portion between the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B and the pressure chambers 80 and 82. Pressure waves leaking from 80 and 82 into the ink introduction path 76 and the ink discharge paths 78A and 78B can be reduced.

さらに、フィルタ64の突起64Aの高さが圧力室80、82の開口端80A、82Aの高さより高くなっている。このため、突起64Aの高さが圧力室80、82の開口端80A、82Aの高さより低くなっている構成と比較して、圧力室80、82からインク導入路76内及びインク排出路78A、78B内に漏れた圧力波を、より低減させることができる。   Further, the height of the protrusion 64A of the filter 64 is higher than the height of the opening ends 80A and 82A of the pressure chambers 80 and 82. For this reason, the height of the protrusion 64A is lower than the height of the opening ends 80A and 82A of the pressure chambers 80 and 82 from the pressure chambers 80 and 82 into the ink introduction path 76 and the ink discharge path 78A. The pressure wave leaking into 78B can be further reduced.

<変形例>
以下、本発明の第2実施形態のインクジェットヘッド66のヘッドチップ68の変形例について、図9を用いて説明する。なお、第2実施形態と同様の構成については、同じ符号を付すとともに、一部図示及び説明を省略する。
<Modification>
A modification of the head chip 68 of the inkjet head 66 according to the second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In addition, about the structure similar to 2nd Embodiment, while attaching | subjecting the same code | symbol, some illustrations and description are abbreviate | omitted.

前述したように、圧力室80と圧力室82とは、インク導入路76を挟んで対向するとともに、圧力室80の長手方向に沿った中心軸が圧力室82の長手方向に沿った中心軸に対してインク導入路76に沿ってずれるように互い違いに配置されている。すなわち、図9に示すように、複数の圧力室80の側壁面を構成する壁部88と複数の圧力室82の側壁面を構成する壁部90は、互いに半ピッチずれた位置に設けられている。   As described above, the pressure chamber 80 and the pressure chamber 82 face each other with the ink introduction path 76 interposed therebetween, and the central axis along the longitudinal direction of the pressure chamber 80 is the central axis along the longitudinal direction of the pressure chamber 82. On the other hand, they are alternately arranged so as to be displaced along the ink introduction path 76. That is, as shown in FIG. 9, the wall portion 88 constituting the side wall surfaces of the plurality of pressure chambers 80 and the wall portion 90 constituting the side wall surfaces of the plurality of pressure chambers 82 are provided at positions shifted from each other by a half pitch. Yes.

ここで、本変形例では、インク導入路76内に設けられたフィルタ92の複数の突起92Aが、インク導入路76を挟んで半ピッチずれて対向する壁部88、90間において、壁部88、90をそれぞれ繋ぐ仮想線Mに沿って並んで配置されている。   Here, in this modification, a plurality of protrusions 92A of the filter 92 provided in the ink introduction path 76 are arranged between the wall parts 88 and 90 facing each other with a half-pitch deviation across the ink introduction path 76. , 90 are arranged side by side along an imaginary line M connecting the two.

これにより、フィルタ92は、対向する圧力室80、82間、及び隣り合う圧力室80間、圧力室82間をそれぞれ区切るように平面視でジグザグ状に設けられる。なお、複数の突起92Aは、2列に並んで配置されているとともに、圧力室80、82の開口端80A、82Aに対して開口端補正距離Lよりも離れた位置にそれぞれ設けられている。   As a result, the filter 92 is provided in a zigzag shape in plan view so as to divide the pressure chambers 80, 82 facing each other and between the adjacent pressure chambers 80, between the pressure chambers 82. The plurality of protrusions 92 </ b> A are arranged in two rows and are provided at positions away from the opening end correction distance L with respect to the opening ends 80 </ b> A and 82 </ b> A of the pressure chambers 80 and 82.

(作用及び効果)
本変形例によれば、インク導入路76を挟んで対向する圧力室80、82の壁部88、90同士を繋ぐ仮想線Mに沿って、フィルタ92の突起82Aが設けられている。このため、圧力室80、82からインク導入路76内に漏れた圧力波が、並列する他の圧力室80、82及び対向する他の圧力室80、82のインクの挙動を乱すことをフィルタ92によってより抑制することができる。
(Function and effect)
According to this modification, the protrusion 82 </ b> A of the filter 92 is provided along the imaginary line M that connects the wall portions 88, 90 of the pressure chambers 80, 82 that face each other across the ink introduction path 76. Therefore, the filter 92 prevents the pressure wave leaking from the pressure chambers 80 and 82 into the ink introduction path 76 from disturbing the behavior of the ink in the other pressure chambers 80 and 82 in parallel and the other pressure chambers 80 and 82 facing each other. Can be further suppressed.

<その他の実施形態>
以上、本発明について第1、第2実施形態、及び変形例を説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能である。
<Other embodiments>
As described above, the first and second embodiments and the modified examples of the present invention have been described. However, the present invention is not limited to such embodiments, and various other embodiments are possible within the scope of the present invention. It is.

例えば、第1、第2実施形態では、フィルタ64、86、92の突起64A、86A、92Aが、平面視で円形状とされた円柱とされていた。しかし、突起64A、86A、92Aの形状は円形状に限られず、平面視で凹形状とされていてもよく、図10(A)に示すフィルタ94の突起94Aのように、平面視で三角形状とされていてもよい。   For example, in the first and second embodiments, the protrusions 64A, 86A, and 92A of the filters 64, 86, and 92 are circular cylinders in plan view. However, the shape of the protrusions 64A, 86A, and 92A is not limited to a circular shape, and may be a concave shape in a plan view, and is triangular in a plan view like the protrusion 94A of the filter 94 shown in FIG. It may be said.

また、第1、第2実施形態では、フィルタ64、86、92の突起64A、86A、92Aが、インク導入路62、76又はインク排出路78A、78Bの底壁面から突設していた。しかし、図10(B)に示すように、圧力室80の開口端80Bに対向する壁面(流路形成プレート72)から開口端80B側へと突出するようにフィルタ96の突起96Aを形成してもよい。   In the first and second embodiments, the protrusions 64A, 86A, and 92A of the filters 64, 86, and 92 protrude from the bottom wall surface of the ink introduction paths 62 and 76 or the ink discharge paths 78A and 78B. However, as shown in FIG. 10B, the protrusion 96A of the filter 96 is formed so as to protrude from the wall surface (flow path forming plate 72) facing the opening end 80B of the pressure chamber 80 toward the opening end 80B. Also good.

突起64A、86A、92A、94A、96Aの形状や形成位置を変えることにより、突起64A、86A、92A、94A、96Aによる圧力波の反射方向や吸収率を調整することができる。   By changing the shape and formation position of the protrusions 64A, 86A, 92A, 94A, and 96A, the reflection direction and the absorption rate of the pressure wave by the protrusions 64A, 86A, 92A, 94A, and 96A can be adjusted.

なお、上記実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ(プリンタ1)を例に挙げて説明したが、液体噴射記録装置はインクジェットプリンタには限られず、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。   In the above embodiment, the ink jet printer (printer 1) is described as an example of the liquid jet recording apparatus. However, the liquid jet recording apparatus is not limited to the ink jet printer, and may be a fax machine, an on-demand printing machine, or the like. There may be.

また、上記実施形態では、インクジェットヘッド4、66の一例として、圧力室60をせん断モード(シアモード)で変形させる非循環式のエッジシュートタイプ、及び圧力室80、82を撓みモード(ベントモード)で変形させる循環式のサイドシュートタイプを説明した。しかし、インクジェットヘッドは、せん断モード(シアモード)で変形させる循環式のサイドシュートタイプや撓みモード(ベントモード)で変形させる非循環式のサイドシュートタイプ等であってもよい。   Moreover, in the said embodiment, as an example of the inkjet heads 4 and 66, the non-circulation type edge chute type which deform | transforms the pressure chamber 60 by shear mode (shear mode), and the pressure chambers 80 and 82 by bending mode (vent mode). The circulation side shoot type to be deformed was explained. However, the inkjet head may be a circulation side shoot type that is deformed in a shear mode (shear mode) or a non-circulation type side shoot type that is deformed in a bending mode (vent mode).

さらに、上記実施形態では、フィルタ64、86、92が、圧力室60、80、82の開口端60A、80A、80B、82Aに対して開口端補正距離Lよりも離れて設けられている構成について説明した。しかし、フィルタ64、86、92は、少なくとも開口端60A、80A、80B、82Aから漏れ出た圧力波を低減することができる位置、かつ開口端60A、80A、80B、82Aから離れた位置に設けられていればよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the filters 64, 86, and 92 are provided so as to be separated from the opening ends 60A, 80A, 80B, and 82A of the pressure chambers 60, 80, and 82 by the opening end correction distance L. explained. However, the filters 64, 86, and 92 are provided at least at a position where pressure waves leaking from the open ends 60A, 80A, 80B, and 82A can be reduced, and at positions away from the open ends 60A, 80A, 80B, and 82A. It only has to be done.

フィルタ64、86、92を開口端60A、80A、80B、82Aから離すことで、フィルタ64、86、92が開口端60A、80A、80B、82Aに接している構成と比較して、圧力室60、80、82の開口端60A、80A、80B、82Aでの圧力波の反射率の低減を抑制することができる。   By separating the filters 64, 86, and 92 from the opening ends 60A, 80A, 80B, and 82A, the pressure chamber 60 is compared with the configuration in which the filters 64, 86, and 92 are in contact with the opening ends 60A, 80A, 80B, and 82A. , 80 and 82 can be prevented from reducing the reflectance of the pressure wave at the open ends 60A, 80A, 80B and 82A.

また、上記実施形態では、フィルタ64、86、92、94、96が複数の突起64A、86A、92A、94A、96Aで構成されていたが、壁体や膜体に複数の孔を形成することでフィルタを構成してもよい。   In the above embodiment, the filters 64, 86, 92, 94, and 96 are configured by the plurality of protrusions 64 </ b> A, 86 </ b> A, 92 </ b> A, 94 </ b> A, and 96 </ b> A, but a plurality of holes are formed in the wall body and film body. The filter may be configured with

1 プリンタ(液体噴射記録装置の一例)
4、66、100 インクジェットヘッド
5 インク供給手段(液体供給手段の一例)
6 走査手段
40、74、118 アクチュエータプレート(アクチュエータの一例)
43、70、104 ノズルプレート
43A、70A、104A ノズル
60、80、82 圧力室
60A、80A、80B、82A 開口端(接続部分の一例)
62、76 インク導入路(液体流路の一例)
64、86、92、94、96 フィルタ
64A、86A、92A、94A、96A 突起
88、90 壁部
L 開口端補正距離
M 仮想線
1 Printer (an example of a liquid jet recording device)
4, 66, 100 Inkjet head 5 Ink supply means (an example of liquid supply means)
6 Scanning means 40, 74, 118 Actuator plate (an example of an actuator)
43, 70, 104 Nozzle plate 43A, 70A, 104A Nozzle 60, 80, 82 Pressure chamber 60A, 80A, 80B, 82A Open end (an example of a connecting portion)
62, 76 Ink introduction path (an example of a liquid flow path)
64, 86, 92, 94, 96 Filter 64A, 86A, 92A, 94A, 96A Projection 88, 90 Wall L Open end correction distance M Virtual line

Claims (6)

液体が供給される液体流路と、
前記液体流路と接続され液体が流入する複数の圧力室と、
前記圧力室に面して配置されノズルが形成されたノズル板と、
前記圧力室の容積を可変させて前記圧力室内の液体を液滴として前記ノズルから噴射させるアクチュエータと、
前記液体流路と前記圧力室との接続部分から離れた前記液体流路側に設けられ、液体が通過するフィルタと、
を有する液体噴射ヘッド。
A liquid flow path through which liquid is supplied;
A plurality of pressure chambers connected to the liquid flow path and into which liquid flows;
A nozzle plate arranged facing the pressure chamber and having nozzles formed thereon;
An actuator for varying the volume of the pressure chamber and ejecting the liquid in the pressure chamber as droplets from the nozzle;
A filter that is provided on the liquid flow path side away from a connection portion between the liquid flow path and the pressure chamber, and through which the liquid passes;
A liquid ejecting head.
前記フィルタは、前記圧力室の長手方向の延長線上に設けられ、かつ前記圧力室の前記接続部分の開口面積から導かれる開口端補正距離よりも前記接続部分から前記液体流路側へ離れて設けられている、請求項1に記載の液体噴射ヘッド。   The filter is provided on an extension line in the longitudinal direction of the pressure chamber, and is provided farther from the connection portion toward the liquid flow path than an opening end correction distance derived from an opening area of the connection portion of the pressure chamber. The liquid ejecting head according to claim 1. 前記フィルタの高さは、前記圧力室の接続部分の高さより高い、請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a height of the filter is higher than a height of a connection portion of the pressure chamber. 前記フィルタは、互いに間隔をあけて前記液体流路の内壁面から突出する複数の突起で構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the filter is configured by a plurality of protrusions protruding from an inner wall surface of the liquid flow path at intervals. 前記圧力室は、前記液体流路を挟んで両側に並列して設けられ、かつ前記液体流路と前記圧力室との接続部分は、前記液体流路に沿った方向でずれており、
前記突起は、前記液体流路を挟んで対向する前記圧力室を構成する壁部同士を繋ぐ仮想線に沿って並んでいる、請求項4に記載の液体噴射ヘッド。
The pressure chamber is provided in parallel on both sides across the liquid flow path, and a connection portion between the liquid flow path and the pressure chamber is displaced in a direction along the liquid flow path,
The liquid ejecting head according to claim 4, wherein the protrusions are arranged along an imaginary line that connects the walls configuring the pressure chambers facing each other across the liquid flow path.
請求項1〜5の何れか1項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドへ液体を供給する液体供給手段と、
前記液体噴射ヘッドを記録媒体の搬送方向と交差する方向へ走査する走査手段と、
を有する液体噴射記録装置。
The liquid jet head according to any one of claims 1 to 5,
Liquid supply means for supplying liquid to the liquid ejecting head;
Scanning means for scanning the liquid ejecting head in a direction intersecting the conveyance direction of the recording medium;
A liquid jet recording apparatus having:
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