JPH10144213A - 感光性ガラスペースト組成物 - Google Patents
感光性ガラスペースト組成物Info
- Publication number
- JPH10144213A JPH10144213A JP8315497A JP31549796A JPH10144213A JP H10144213 A JPH10144213 A JP H10144213A JP 8315497 A JP8315497 A JP 8315497A JP 31549796 A JP31549796 A JP 31549796A JP H10144213 A JPH10144213 A JP H10144213A
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- glass
- photosensitive
- alkali
- glass powder
- paste composition
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精細でかつ高アスペクト比の隔壁を少な
い工程にて製造できる感光性ガラスペースト組成物を提
供すること。 【解決手段】 アルカリ可溶型感光性樹脂組成物、ガラ
ス粉末および溶剤からなる感光性ガラスペースト組成物
において、アルカリ可溶型感光性樹脂組成物が、アルカ
リ可溶性樹脂、光重合性化合物および光重合開始剤から
なり、かつガラス粉末との屈折率差が０．２０以下であ
ることを特徴とする感光性ガラスペースト組成物。
い工程にて製造できる感光性ガラスペースト組成物を提
供すること。 【解決手段】 アルカリ可溶型感光性樹脂組成物、ガラ
ス粉末および溶剤からなる感光性ガラスペースト組成物
において、アルカリ可溶型感光性樹脂組成物が、アルカ
リ可溶性樹脂、光重合性化合物および光重合開始剤から
なり、かつガラス粉末との屈折率差が０．２０以下であ
ることを特徴とする感光性ガラスペースト組成物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマ・ディスプ
レイ・パネル（以下「ＰＤＰ」と称する。）の隔壁を作
成する際に用いられて好適な感光性ガラスペースト組成
物に関する。
レイ・パネル（以下「ＰＤＰ」と称する。）の隔壁を作
成する際に用いられて好適な感光性ガラスペースト組成
物に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＰＤＰの隔壁を形成する方法としては、
印刷法、アディティブ法、サンドブラスト法および感光
性ペースト法が挙げられる。
印刷法、アディティブ法、サンドブラスト法および感光
性ペースト法が挙げられる。
【０００３】印刷法は、ガラス基板にガラスペーストを
スクリーン印刷法にて印刷して隔壁を形成する方法であ
るが、一回のスクリーン印刷では高さの限界があり、通
常は、位置合わせ、印刷、乾燥の工程を１０〜２０回繰
り返して所定の高さにした後、焼成して形成している。
このため位置合わせが難しく隔壁の形状が不均一になり
高さの精度が得られないという問題点がある。
スクリーン印刷法にて印刷して隔壁を形成する方法であ
るが、一回のスクリーン印刷では高さの限界があり、通
常は、位置合わせ、印刷、乾燥の工程を１０〜２０回繰
り返して所定の高さにした後、焼成して形成している。
このため位置合わせが難しく隔壁の形状が不均一になり
高さの精度が得られないという問題点がある。
【０００４】アディティブ法は、特開平４−１０９５３
６号で提案されている様に、感光性フィルムをラミネー
トする等の方法で、レジストをガラス基板に塗布し、露
光現像によってレジスト膜に隔壁部位に相当する穴を空
け、そこにガラスペーストを埋め込み乾燥し、レジスト
剥離後焼成して形成する。この方法は高粘度なガラスペ
ーストをレジスト穴に埋め込む時に気泡をかみ易く、ま
た隅まで十分にペーストが埋まらずに隔壁が逆台形とな
ってしまうという問題点がある。
６号で提案されている様に、感光性フィルムをラミネー
トする等の方法で、レジストをガラス基板に塗布し、露
光現像によってレジスト膜に隔壁部位に相当する穴を空
け、そこにガラスペーストを埋め込み乾燥し、レジスト
剥離後焼成して形成する。この方法は高粘度なガラスペ
ーストをレジスト穴に埋め込む時に気泡をかみ易く、ま
た隅まで十分にペーストが埋まらずに隔壁が逆台形とな
ってしまうという問題点がある。
【０００５】サンドブラスト法は、特開平３−５７１３
８号で提案されている様に、まずガラスペーストをガラ
ス基板全面に塗布し、その上に感光性フィルムをラミネ
ートして露光現像によって隔壁形成部位のレジスト膜を
残した後、レジストの無い部分を細かい硬質粒子でブラ
スト処理して削り取り、その後レジスト除去後焼成して
隔壁を形成する方法である。しかしこの方法では、ブラ
スト処理のためにガラス基板上に形成した電極まで削ら
れてしまうという問題点がある。
８号で提案されている様に、まずガラスペーストをガラ
ス基板全面に塗布し、その上に感光性フィルムをラミネ
ートして露光現像によって隔壁形成部位のレジスト膜を
残した後、レジストの無い部分を細かい硬質粒子でブラ
スト処理して削り取り、その後レジスト除去後焼成して
隔壁を形成する方法である。しかしこの方法では、ブラ
スト処理のためにガラス基板上に形成した電極まで削ら
れてしまうという問題点がある。
【０００６】これらの問題を解決する方法として、感光
性ガラスペースト組成物を使ってフォトリソグラフィー
によって隔壁を形成する方法が、特開平１−２９６５３
４号、特開平２−１６５５３８号および特開平５−３４
２９９２号で提案されている。
性ガラスペースト組成物を使ってフォトリソグラフィー
によって隔壁を形成する方法が、特開平１−２９６５３
４号、特開平２−１６５５３８号および特開平５−３４
２９９２号で提案されている。
【０００７】しかしながら、感光性ガラスペースト組成
物中にガラス粉末が高濃度に分散してありかつ膜厚が非
常に厚いと、パターン露光した時、下部までＵＶ（紫外
線）光が到達せず硬化不良となって、精細なパターンや
必要な高さのＰＤＰの隔壁が得られないという問題があ
った。このため、スクリーン印刷を併用したり、ＵＶ光
が到達できる数十μｍの膜厚の塗布、パターン露光を数
多く繰り返して必要な高さにする必要があった。また、
パターン露光の回数を少なくするためには、ガラス粉末
の濃度を低下させる必要があり、この場合には焼成後に
緻密な隔壁とならないという問題点があった。
物中にガラス粉末が高濃度に分散してありかつ膜厚が非
常に厚いと、パターン露光した時、下部までＵＶ（紫外
線）光が到達せず硬化不良となって、精細なパターンや
必要な高さのＰＤＰの隔壁が得られないという問題があ
った。このため、スクリーン印刷を併用したり、ＵＶ光
が到達できる数十μｍの膜厚の塗布、パターン露光を数
多く繰り返して必要な高さにする必要があった。また、
パターン露光の回数を少なくするためには、ガラス粉末
の濃度を低下させる必要があり、この場合には焼成後に
緻密な隔壁とならないという問題点があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ＰＤＰの隔壁は、画面
サイズや画素数によって異なるが、高さが１５０〜２０
０μｍと非常に厚く、線幅が２０〜７０μｍと細い高ア
スペクトなものである。本発明の目的は、高精細でかつ
高アスペクト比の隔壁を少ない工程にて製造できる感光
性ガラスペースト組成物を提供することである。
サイズや画素数によって異なるが、高さが１５０〜２０
０μｍと非常に厚く、線幅が２０〜７０μｍと細い高ア
スペクトなものである。本発明の目的は、高精細でかつ
高アスペクト比の隔壁を少ない工程にて製造できる感光
性ガラスペースト組成物を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、感光性ガ
ラスペースト組成物を用いてフォトリソグラフィー法で
ＰＤＰの隔壁を形成する場合、下部までＵＶ光が到達し
ないという現象について鋭意検討をした結果、ガラス粉
末とベースとなる樹脂との屈折率の差が大きいため、ガ
ラス粉末表面で光が散乱することが原因であることを見
出した。
ラスペースト組成物を用いてフォトリソグラフィー法で
ＰＤＰの隔壁を形成する場合、下部までＵＶ光が到達し
ないという現象について鋭意検討をした結果、ガラス粉
末とベースとなる樹脂との屈折率の差が大きいため、ガ
ラス粉末表面で光が散乱することが原因であることを見
出した。
【００１０】本発明者等は、目的達成の手段として、Ｐ
ＤＰ用感光性ガラスペースト組成物について鋭意検討を
重ねた結果、ガラス粉末、アルカリ可溶型感光性樹脂組
成物および溶剤からなる感光性ガラスペースト組成物に
おいて、ガラス粉末とアルカリ可溶型感光性樹脂組成物
との屈折率の差を小さく、具体的には０．２０以下とす
ることにより、膜厚の厚いガラスペースト膜を下部まで
露光硬化できることを見出し、本発明を完成するに至っ
たのである。
ＤＰ用感光性ガラスペースト組成物について鋭意検討を
重ねた結果、ガラス粉末、アルカリ可溶型感光性樹脂組
成物および溶剤からなる感光性ガラスペースト組成物に
おいて、ガラス粉末とアルカリ可溶型感光性樹脂組成物
との屈折率の差を小さく、具体的には０．２０以下とす
ることにより、膜厚の厚いガラスペースト膜を下部まで
露光硬化できることを見出し、本発明を完成するに至っ
たのである。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明で使用するガラス粉末は、一般に低融点ガラスの
微粉末が用いられる。SiO2、PbO2、Al2O3 、B2O3、Bi2O
3 、ZnO およびLi2O等から適宜選択された成分からな
り、ガラス転移温度や軟化温度が低く、ガラス基板との
線膨張係数の差が小さく、かつベースとなる樹脂が有す
る屈折率に近くなるものが好ましい。ガラス粉末の粒子
径は、目的とする隔壁の幅や高さによって選択するが、
平均粒子径０．３〜７μｍが好ましい。０．３μｍ未満
に粉砕するのは難しく、７μｍを超えると高精細な隔壁
が形成し難くなる。ガラス粉末のガラス転移温度は、３
００〜５００℃が好ましい。５００℃を超えるとガラス
基板の焼成温度が高くなり、ガラス基板の寸法安定性に
悪影響を与え易くなり、３００℃未満の場合は得られた
ＰＤＰの隔壁をガラス板と貼り合わせるときに該隔壁の
形状が変化し易くなる。また軟化点は６５０℃以下、ガ
ラス基板との線膨張係数の差は３０％以下が好ましい。
本発明で使用するガラス粉末は、一般に低融点ガラスの
微粉末が用いられる。SiO2、PbO2、Al2O3 、B2O3、Bi2O
3 、ZnO およびLi2O等から適宜選択された成分からな
り、ガラス転移温度や軟化温度が低く、ガラス基板との
線膨張係数の差が小さく、かつベースとなる樹脂が有す
る屈折率に近くなるものが好ましい。ガラス粉末の粒子
径は、目的とする隔壁の幅や高さによって選択するが、
平均粒子径０．３〜７μｍが好ましい。０．３μｍ未満
に粉砕するのは難しく、７μｍを超えると高精細な隔壁
が形成し難くなる。ガラス粉末のガラス転移温度は、３
００〜５００℃が好ましい。５００℃を超えるとガラス
基板の焼成温度が高くなり、ガラス基板の寸法安定性に
悪影響を与え易くなり、３００℃未満の場合は得られた
ＰＤＰの隔壁をガラス板と貼り合わせるときに該隔壁の
形状が変化し易くなる。また軟化点は６５０℃以下、ガ
ラス基板との線膨張係数の差は３０％以下が好ましい。
【００１２】感光性ガラスペースト組成物の主成分とな
るアルカリ可溶性樹脂は、ガラス粉末を分散安定化さ
せ、かつフォトリソグラフィーにおける露光現像を可能
にするために用いるもので、感度および解像度が高く、
また焼成した時に残渣が残りにくい低温焼成性に優れて
いることが要求される。アルカリ可溶性樹脂としては、
ポリビニルアルコール、ポリメチルセルロースまたはカ
ゼイン等の水溶性樹脂、ビニルフェノール系重合体、フ
ェノール類とアルデヒドとの重縮合体であるノボラック
樹脂、カルボキシル基含有アクリル樹脂、並びにスチレ
ンとアクリル酸との共重合体等の溶剤系樹脂等が挙げら
れる。アルカリ可溶性樹脂のうち、水溶性樹脂はガラス
粉末と混合した場合、ガラス粉末がゲル化したりして、
均一に分散することが困難となり易いため、溶剤系樹脂
の方が好ましい。
るアルカリ可溶性樹脂は、ガラス粉末を分散安定化さ
せ、かつフォトリソグラフィーにおける露光現像を可能
にするために用いるもので、感度および解像度が高く、
また焼成した時に残渣が残りにくい低温焼成性に優れて
いることが要求される。アルカリ可溶性樹脂としては、
ポリビニルアルコール、ポリメチルセルロースまたはカ
ゼイン等の水溶性樹脂、ビニルフェノール系重合体、フ
ェノール類とアルデヒドとの重縮合体であるノボラック
樹脂、カルボキシル基含有アクリル樹脂、並びにスチレ
ンとアクリル酸との共重合体等の溶剤系樹脂等が挙げら
れる。アルカリ可溶性樹脂のうち、水溶性樹脂はガラス
粉末と混合した場合、ガラス粉末がゲル化したりして、
均一に分散することが困難となり易いため、溶剤系樹脂
の方が好ましい。
【００１３】溶剤系樹脂の中では、カルボキシル基含有
アクリル樹脂またはアルカリ可溶性ノボラック樹脂が、
感光性ガラスペースト組成物としたときの感度および解
像度が良いので更に好ましい。特に好ましくは、カルボ
キシル基含有アクリル樹脂に、エチレン性不飽和基を導
入して感光性も持たせたアルカリ可溶性アクリル樹脂で
ある。
アクリル樹脂またはアルカリ可溶性ノボラック樹脂が、
感光性ガラスペースト組成物としたときの感度および解
像度が良いので更に好ましい。特に好ましくは、カルボ
キシル基含有アクリル樹脂に、エチレン性不飽和基を導
入して感光性も持たせたアルカリ可溶性アクリル樹脂で
ある。
【００１４】具体的な例としては、アクリル酸および／
またはメタクリル酸（以下「（メタ）アクリル酸と称す
る。）並びにこれとイタコン酸等の他の不飽和カルボン
酸と、（メタ）アクリル酸エステルおよび／またはこれ
とスチレン、アクリロニトリル等他のビニル単量体とか
らなる共重合体を、一部のカルボキシル基を残してグリ
シジルアクリレートおよび／またはグリシジルメタクリ
レート（以下「アクリレートおよび／またはメタクリレ
ート」を「（メタ）アクリレート」と称する。）で変性
して、アクリロイルおよび／またはメタクリロイル（以
下「（メタ）アクリロイル」と称する。）基等の不飽和
基を側鎖に導入した、アクリル系および／またはメタク
リル系（以下「（メタ）アクリル系」と称する。）樹脂
が挙げられる。
またはメタクリル酸（以下「（メタ）アクリル酸と称す
る。）並びにこれとイタコン酸等の他の不飽和カルボン
酸と、（メタ）アクリル酸エステルおよび／またはこれ
とスチレン、アクリロニトリル等他のビニル単量体とか
らなる共重合体を、一部のカルボキシル基を残してグリ
シジルアクリレートおよび／またはグリシジルメタクリ
レート（以下「アクリレートおよび／またはメタクリレ
ート」を「（メタ）アクリレート」と称する。）で変性
して、アクリロイルおよび／またはメタクリロイル（以
下「（メタ）アクリロイル」と称する。）基等の不飽和
基を側鎖に導入した、アクリル系および／またはメタク
リル系（以下「（メタ）アクリル系」と称する。）樹脂
が挙げられる。
【００１５】該樹脂の好ましい重量平均分子量は、１０
００〜１０００００、より好ましくは、３０００〜５０
０００である。分子量が低過ぎると、アルカリ現像時に
表面荒れを起こし易く、高過ぎると解像度が低下して共
に好ましくない。また該樹脂の好ましい酸価は０．５〜
５meq/g の範囲である。０．５meq/g 未満では、アルカ
リ現像時に現像残りが多くなり、５meq/g を超えると露
光硬化部分の耐アルカリ性が悪くなりパターンの欠けが
起こり易くなる。
００〜１０００００、より好ましくは、３０００〜５０
０００である。分子量が低過ぎると、アルカリ現像時に
表面荒れを起こし易く、高過ぎると解像度が低下して共
に好ましくない。また該樹脂の好ましい酸価は０．５〜
５meq/g の範囲である。０．５meq/g 未満では、アルカ
リ現像時に現像残りが多くなり、５meq/g を超えると露
光硬化部分の耐アルカリ性が悪くなりパターンの欠けが
起こり易くなる。
【００１６】光重合性化合物としては、単官能（メタ）
アクリル系単量体、多官能（メタ）アクリル系単量体ま
たはその縮合体、リン酸（メタ）アクリレート、ポリエ
ステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリ
レート或いはＮ−ビニル−２−ピロリドン等のエチレン
性不飽和基を有する化合物が挙げられる。
アクリル系単量体、多官能（メタ）アクリル系単量体ま
たはその縮合体、リン酸（メタ）アクリレート、ポリエ
ステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリ
レート或いはＮ−ビニル−２−ピロリドン等のエチレン
性不飽和基を有する化合物が挙げられる。
【００１７】単官能（メタ）アクリル系単量体、多官能
の（メタ）アクリル系単量体またはリン酸（メタ）アク
リレートの具体的としては、各種のアルキル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ（メタ）アクリレート、これらのエチレング
リコールまたはプロピレングリコール変性体、およびモ
ノ（メタ）アクリロイルオキシエチルホスフェート等が
挙げられる。
の（メタ）アクリル系単量体またはリン酸（メタ）アク
リレートの具体的としては、各種のアルキル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ（メタ）アクリレート、これらのエチレング
リコールまたはプロピレングリコール変性体、およびモ
ノ（メタ）アクリロイルオキシエチルホスフェート等が
挙げられる。
【００１８】光重合性化合物の配合量は前記アルカリ可
溶性樹脂１００重量部に対して１０〜２００重量部が好
ましい。１０重量部未満では露光部分の硬化性が不足
し、一方２００重量部を超えると塗膜のタックが増大し
て露光時のパターンフィルムの汚れの原因になり易く、
また現像時間が非常に短くなって最適時間の巾が狭くな
る。
溶性樹脂１００重量部に対して１０〜２００重量部が好
ましい。１０重量部未満では露光部分の硬化性が不足
し、一方２００重量部を超えると塗膜のタックが増大し
て露光時のパターンフィルムの汚れの原因になり易く、
また現像時間が非常に短くなって最適時間の巾が狭くな
る。
【００１９】光重合開始剤としては、ベンゾインエーテ
ル系、ベンゾフェノン系、ベンジルケタール系、アセト
フェノン系、キサントン系および安息香酸エステル系等
が挙げられる。必要に応じて増感剤等を併用できる。そ
の配合量は前記アルカリ可溶性樹脂と光重合性化合物の
合計量１００重量部に対して０．１〜３０重量部が好ま
しい。０．１重量部未満では反応が十分開始され難く、
３０重量部を超えると塗膜が脆くなり易い。より好まし
くは３〜１５重量部である。
ル系、ベンゾフェノン系、ベンジルケタール系、アセト
フェノン系、キサントン系および安息香酸エステル系等
が挙げられる。必要に応じて増感剤等を併用できる。そ
の配合量は前記アルカリ可溶性樹脂と光重合性化合物の
合計量１００重量部に対して０．１〜３０重量部が好ま
しい。０．１重量部未満では反応が十分開始され難く、
３０重量部を超えると塗膜が脆くなり易い。より好まし
くは３〜１５重量部である。
【００２０】溶剤としては、酢酸エチル、酢酸ブチル、
プロピオン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エ
トキシプロピオン酸エチル、乳酸メチルおよび乳酸エチ
ル等のエステル類；エチレングリコールモノエチルエー
テルおよびプロピレングリコールモノメチルエーテル等
のグリコールエーテル類；エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、β−メトキシイソ酪酸メチルおよ
びβ−メトキシイソ酪酸エチル等のグリコールエーテル
アセテート類；テトラヒドロフランおよびジオキサン等
のエーテル類；メチルエチルケトンおよびシクロヘキサ
ノン等のケトン類；エチレンカーボネート、プロピレン
カーボネート、ジメチルカーボネートおよびジエチルカ
ーボネート等のカーボネート類；Ｎ、Ｎ−ジメチルホル
ムアミド、Ｎ−メチルピロリドンおよびジメチルスルホ
キサイド等の非プロトン性極性溶媒；トルエンおよびキ
シレン等の芳香族炭化水素類が挙げられ、このうちの１
種または２種以上を塗布装置の特性に合わせて選択して
使用される。
プロピオン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エ
トキシプロピオン酸エチル、乳酸メチルおよび乳酸エチ
ル等のエステル類；エチレングリコールモノエチルエー
テルおよびプロピレングリコールモノメチルエーテル等
のグリコールエーテル類；エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、β−メトキシイソ酪酸メチルおよ
びβ−メトキシイソ酪酸エチル等のグリコールエーテル
アセテート類；テトラヒドロフランおよびジオキサン等
のエーテル類；メチルエチルケトンおよびシクロヘキサ
ノン等のケトン類；エチレンカーボネート、プロピレン
カーボネート、ジメチルカーボネートおよびジエチルカ
ーボネート等のカーボネート類；Ｎ、Ｎ−ジメチルホル
ムアミド、Ｎ−メチルピロリドンおよびジメチルスルホ
キサイド等の非プロトン性極性溶媒；トルエンおよびキ
シレン等の芳香族炭化水素類が挙げられ、このうちの１
種または２種以上を塗布装置の特性に合わせて選択して
使用される。
【００２１】塗布装置としてロールコータを使用する場
合は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ートが、スクリーン印刷の場合は、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテートが、溶解性、沸点、蒸
発速度等を勘案すると好ましい種類である。また溶剤の
配合量は、塗布装置の特性と膜厚に合わせて適宜調節す
る。
合は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ートが、スクリーン印刷の場合は、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテートが、溶解性、沸点、蒸
発速度等を勘案すると好ましい種類である。また溶剤の
配合量は、塗布装置の特性と膜厚に合わせて適宜調節す
る。
【００２２】感光性ガラスペースト組成物は、ガラス粉
末を上記アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合
開始剤および溶剤に分散して使用する。ガラス基板に
は、スクリーン印刷、ロールコーター、バーコーター
等、種々の塗布装置にて塗布できる。また予めフィルム
に塗布乾燥しておき、ガラス基板にラミネートすること
もできる。
末を上記アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合
開始剤および溶剤に分散して使用する。ガラス基板に
は、スクリーン印刷、ロールコーター、バーコーター
等、種々の塗布装置にて塗布できる。また予めフィルム
に塗布乾燥しておき、ガラス基板にラミネートすること
もできる。
【００２３】本発明で用いるＰＤＰ作製に適したアルカ
リ可溶性樹脂では、アルカリ可溶性アクリル系樹脂また
はアルカリ可溶性ノボラック樹脂等の樹脂そのものの種
類が異なる場合は、一般的にその屈折率に違いがある。
しかし同じ種類の樹脂の中では、組成を多少変更しても
その屈折率が大幅に変化することは少ない。このため、
樹脂の種類が決められている場合には、屈折率差の調整
は主としてガラス粉末にて行う方が好ましい。
リ可溶性樹脂では、アルカリ可溶性アクリル系樹脂また
はアルカリ可溶性ノボラック樹脂等の樹脂そのものの種
類が異なる場合は、一般的にその屈折率に違いがある。
しかし同じ種類の樹脂の中では、組成を多少変更しても
その屈折率が大幅に変化することは少ない。このため、
樹脂の種類が決められている場合には、屈折率差の調整
は主としてガラス粉末にて行う方が好ましい。
【００２４】
【実施例】次に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説
明するが、本発明はこれらの例によってなんら制限され
るものではない。なお、「部」とあるのは「重量部」で
ある。なお屈折率は本来、露光する紫外線の波長での値
を用いるべきであるが、波長への依存性が小さいため、
ここでは、２０℃、Ｄ線（５８９ｎｍ）での値ｎD 20を
用いることとする。
明するが、本発明はこれらの例によってなんら制限され
るものではない。なお、「部」とあるのは「重量部」で
ある。なお屈折率は本来、露光する紫外線の波長での値
を用いるべきであるが、波長への依存性が小さいため、
ここでは、２０℃、Ｄ線（５８９ｎｍ）での値ｎD 20を
用いることとする。
【００２５】実施例１ メタクリル酸メチルを８２部、メタクリル酸を１３部、
スチレンを３部および１−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートを２部を重合してなる共重合体に、グリシジルメタ
クリレートを５部反応させて変性し、酸価が１ｍｅｑ／
ｇ、分子量７０００でアルカリ可溶性で感光性を有しか
つ多官能性のアクリル系樹脂を得た。アルカリ可溶性樹
脂として上記アクリル系樹脂を８０部、光重合性化合物
として用いる多官能性単量体としてトリメチロールプロ
パントリアクリレートを８０部、光重合開始剤としてイ
ルガキュアー９０７（チバガイギー社製品、α−アミノ
アセトフェノン系）を５部、増感剤としてカヤキュアー
ＤＥＴＸ−Ｓ（日本化薬（株）製、ジエチルチオキサン
トン）を１．８部、染料としてマラカイトグリーンを
０．１部およびクリスタルバイオレットを０．１部、並
びに有機溶媒としてジエチレングリコールモノエチルエ
ーテルアセテートを１００部を混合して、アルカリ可溶
型感光性樹脂組成物（以下「組成物Ａ」と称する。）の
溶液を調製した。この組成物の溶液にガラス粉末Ａ（ガ
ラス転移点４５０℃）を８１５部加え、三本ロールにて
混合分散させて感光性ガラスペースト組成物を調製し
た。
スチレンを３部および１−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートを２部を重合してなる共重合体に、グリシジルメタ
クリレートを５部反応させて変性し、酸価が１ｍｅｑ／
ｇ、分子量７０００でアルカリ可溶性で感光性を有しか
つ多官能性のアクリル系樹脂を得た。アルカリ可溶性樹
脂として上記アクリル系樹脂を８０部、光重合性化合物
として用いる多官能性単量体としてトリメチロールプロ
パントリアクリレートを８０部、光重合開始剤としてイ
ルガキュアー９０７（チバガイギー社製品、α−アミノ
アセトフェノン系）を５部、増感剤としてカヤキュアー
ＤＥＴＸ−Ｓ（日本化薬（株）製、ジエチルチオキサン
トン）を１．８部、染料としてマラカイトグリーンを
０．１部およびクリスタルバイオレットを０．１部、並
びに有機溶媒としてジエチレングリコールモノエチルエ
ーテルアセテートを１００部を混合して、アルカリ可溶
型感光性樹脂組成物（以下「組成物Ａ」と称する。）の
溶液を調製した。この組成物の溶液にガラス粉末Ａ（ガ
ラス転移点４５０℃）を８１５部加え、三本ロールにて
混合分散させて感光性ガラスペースト組成物を調製し
た。
【００２６】ＵＶ透過量を測定するため、ＨＭＤＳ（ヘ
キサメチルジシラザン）にて表面処理したガラス基板上
に該ガラスペースト組成物をスクリーン印刷法にて塗布
し、８０℃で１０分プリベークした。ガラス基板の下に
積算光量計を置いて露光を行ない、ガラスペースト膜を
透過する光量を測定した。露光はミカサ（株）製マスク
アライナーＭＡ−１０を用いた。ガラス基板のみの透過
光量は２５０３mJ/cm2であるのに対して、ガラスペース
ト膜を形成したガラス基板の透過光量は４７７mJ/cm2で
あった。ガラスペースト膜の膜厚を測定したところ１
５．０μｍであった。これから（式１）にて求めた値を
吸光係数（以下「散乱係数」と称する。）とする。この
散乱係数を用いて、例えば、膜厚が５０μｍ、ガラス基
板のみの透過光量が１０００mJ/cm2となる様に照射した
場合の透過光量（以下「換算光量」称する。）を（式
２）にて計算したところ、１４．０mJ/cm2となった。結
果を表１に記載した。
キサメチルジシラザン）にて表面処理したガラス基板上
に該ガラスペースト組成物をスクリーン印刷法にて塗布
し、８０℃で１０分プリベークした。ガラス基板の下に
積算光量計を置いて露光を行ない、ガラスペースト膜を
透過する光量を測定した。露光はミカサ（株）製マスク
アライナーＭＡ−１０を用いた。ガラス基板のみの透過
光量は２５０３mJ/cm2であるのに対して、ガラスペース
ト膜を形成したガラス基板の透過光量は４７７mJ/cm2で
あった。ガラスペースト膜の膜厚を測定したところ１
５．０μｍであった。これから（式１）にて求めた値を
吸光係数（以下「散乱係数」と称する。）とする。この
散乱係数を用いて、例えば、膜厚が５０μｍ、ガラス基
板のみの透過光量が１０００mJ/cm2となる様に照射した
場合の透過光量（以下「換算光量」称する。）を（式
２）にて計算したところ、１４．０mJ/cm2となった。結
果を表１に記載した。
【００２７】 （散乱係数）＝（Ａ）／（Ｂ） ・・・（式１） Ａ＝−ｌｏｇ｛（透過光量）／（ガラス基板のみの透過光量）｝ Ｂ＝（膜厚） （換算光量）＝１０００×１０-C ・・・（式２） Ｃ＝（散乱係数）×５０
【００２８】なお、ガラス粉末の屈折率は、該粉末を焼
成して板とし、Ａｂｂｅ屈折率計で測定して求めた。ま
た、アルカリ可溶型感光性樹脂組成物の屈折率は、該組
成物と溶剤との溶液から溶剤をとばして膜状にしたもの
を、上記と同様にＡｂｂｅ屈折率計で測定して求めた。
成して板とし、Ａｂｂｅ屈折率計で測定して求めた。ま
た、アルカリ可溶型感光性樹脂組成物の屈折率は、該組
成物と溶剤との溶液から溶剤をとばして膜状にしたもの
を、上記と同様にＡｂｂｅ屈折率計で測定して求めた。
【００２９】実施例２ ガラス粉末として、ガラス粉末Ｂ（PbO2／B2O3／SiO
2系、ガラス転移点４４５℃）を用いた以外は実施例１
と同様に感光性ガラスペースト組成物を調製し、散乱係
数および換算光量を測定した。表１に結果をまとめた。
2系、ガラス転移点４４５℃）を用いた以外は実施例１
と同様に感光性ガラスペースト組成物を調製し、散乱係
数および換算光量を測定した。表１に結果をまとめた。
【００３０】実施例３、４ アルカリ可溶性樹脂として、クレゾールノボラック樹脂
（メタ／パラ＝６／４）８０部を用いた以外は実施例
１、２と同様にしてアルカリ可溶型感光性樹脂組成物
（以下「組成物Ｃ」と称する。）の溶液を調製し、感光
性ガラスペースト組成物を調製し、散乱係数および換算
光量を測定した。表１に結果をまとめた。
（メタ／パラ＝６／４）８０部を用いた以外は実施例
１、２と同様にしてアルカリ可溶型感光性樹脂組成物
（以下「組成物Ｃ」と称する。）の溶液を調製し、感光
性ガラスペースト組成物を調製し、散乱係数および換算
光量を測定した。表１に結果をまとめた。
【００３１】
【表１】
【００３２】1) 有機成分：アルカリ可溶性樹脂、光重
合性化合物および光重合開始剤の混合物 2) 組成物Ａ：アルカリ可溶性樹脂がアクリル系樹脂。 組成物Ｃ：アルカリ可溶性樹脂がクレゾールノボラック
系樹脂。 3) 屈折率の単位：ｎD 20 4) 膜厚５０μｍ、露光量１０００mJ/cm2
合性化合物および光重合開始剤の混合物 2) 組成物Ａ：アルカリ可溶性樹脂がアクリル系樹脂。 組成物Ｃ：アルカリ可溶性樹脂がクレゾールノボラック
系樹脂。 3) 屈折率の単位：ｎD 20 4) 膜厚５０μｍ、露光量１０００mJ/cm2
【００３３】実施例５〜８ 隔壁形成のため、ＨＭＤＳにて表面処理したガラス基板
上に実施例１〜４の感光性ガラスペースト組成物をそれ
ぞれスクリーン印刷法にて塗布し、８０℃で１０分プリ
ベークした。Ｌ（ライン）／Ｓ（スペース）＝７０／１
５０のストライプパターンのネガ型マスクを用いて、マ
スクアライナーＭＡ−１０にて２０００mJ/cm2の露光を
行い、０．６％水酸化ナトリウム水溶液にてシャワー現
像を行いストライプの隔壁を形成した。いずれも下部ま
で硬化しており、所定の寸法の隔壁が形成できた。
上に実施例１〜４の感光性ガラスペースト組成物をそれ
ぞれスクリーン印刷法にて塗布し、８０℃で１０分プリ
ベークした。Ｌ（ライン）／Ｓ（スペース）＝７０／１
５０のストライプパターンのネガ型マスクを用いて、マ
スクアライナーＭＡ−１０にて２０００mJ/cm2の露光を
行い、０．６％水酸化ナトリウム水溶液にてシャワー現
像を行いストライプの隔壁を形成した。いずれも下部ま
で硬化しており、所定の寸法の隔壁が形成できた。
【００３４】上記で得られた隔壁基板をマッフル炉中で
空気雰囲気下にて４５０℃２時間焼成して樹脂成分を分
解した。更に５２０℃１時間焼成を行いガラス粒子を融
着させて隔壁を製作した。
空気雰囲気下にて４５０℃２時間焼成して樹脂成分を分
解した。更に５２０℃１時間焼成を行いガラス粒子を融
着させて隔壁を製作した。
【００３５】比較例１〜２ ガラス粉末をガラス粉末Ｃ（ガラス転移点３８５℃）お
よびガラス粉末Ｄ（ガラス転移点３４５℃）に変えた以
外は実施例１と同様にして、感光性ガラスペースト組成
物を調製し、ＵＶ透過光量の測定およびパターニング性
を評価した。結果を表２にまとめた。ＵＶ透過性が不足
したためペースト膜下部の硬化性が十分でなくストライ
プパターンは形成できなかった。
よびガラス粉末Ｄ（ガラス転移点３４５℃）に変えた以
外は実施例１と同様にして、感光性ガラスペースト組成
物を調製し、ＵＶ透過光量の測定およびパターニング性
を評価した。結果を表２にまとめた。ＵＶ透過性が不足
したためペースト膜下部の硬化性が十分でなくストライ
プパターンは形成できなかった。
【００３６】
【表２】
【００３７】
【発明の効果】本発明の感光性ガラスペースト組成物
は、特にフォトリソグラフィでのＵＶ光の透過性に優
れ、短い工程で高精度のＰＤＰ用隔壁を形成することが
可能であり、実用上極めて有用である。
は、特にフォトリソグラフィでのＵＶ光の透過性に優
れ、短い工程で高精度のＰＤＰ用隔壁を形成することが
可能であり、実用上極めて有用である。
Claims (1)
- 【請求項１】 アルカリ可溶型感光性樹脂組成物、ガラ
ス粉末および溶剤からなる感光性ガラスペースト組成物
において、アルカリ可溶型感光性樹脂組成物が、アルカ
リ可溶性樹脂、光重合性化合物および光重合開始剤から
なり、かつガラス粉末との屈折率差が０．２０以下であ
ることを特徴とする感光性ガラスペースト組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8315497A JPH10144213A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 感光性ガラスペースト組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8315497A JPH10144213A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 感光性ガラスペースト組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10144213A true JPH10144213A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=18066084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8315497A Pending JPH10144213A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 感光性ガラスペースト組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10144213A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001158803A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Toray Ind Inc | 感光性ガラスペースト、プラズマディスプレイ用背面板およびそれを用いたプラズマディスプレイ |
| JP2008233901A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-10-02 | Samsung Sdi Co Ltd | 感光性ペースト組成物、これを用いたプラズマディスプレイ用バリアリブ及びこれを備えるプラズマディスプレイパネル |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP8315497A patent/JPH10144213A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001158803A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Toray Ind Inc | 感光性ガラスペースト、プラズマディスプレイ用背面板およびそれを用いたプラズマディスプレイ |
| JP2008233901A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-10-02 | Samsung Sdi Co Ltd | 感光性ペースト組成物、これを用いたプラズマディスプレイ用バリアリブ及びこれを備えるプラズマディスプレイパネル |
| US8198003B2 (en) | 2007-03-06 | 2012-06-12 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Photosensitive paste composition, barrier rib prepared using the composition and plasma display panel comprising the barrier rib |
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