JPH10143215A - 軌跡制御機械の同期軸の制御方法 - Google Patents
軌跡制御機械の同期軸の制御方法Info
- Publication number
- JPH10143215A JPH10143215A JP31686696A JP31686696A JPH10143215A JP H10143215 A JPH10143215 A JP H10143215A JP 31686696 A JP31686696 A JP 31686696A JP 31686696 A JP31686696 A JP 31686696A JP H10143215 A JPH10143215 A JP H10143215A
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- Japan
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- axis
- control
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 重量のある移動対象を、その一つの移動軸に
ついて２台のサ−ボモ−タを用いて移動させる場合、一
方の軸に残留振動が発生したり、一方の軸の軌跡精度が
他方の軸に比べて劣ったりすることなく、高精度の加工
を期待できる軌跡制御機械の同期軸の制御方法を提供す
ること。 【解決手段】 工作機械におけるガントリ型コラムのよ
うな移動対象の一つの移動軸を、２台のサ−ボモ−タの
同期制御により駆動するとき、前記２台のサ−ボモ−タ
に連結された第一軸と第二軸の位置ずれを減らすための
同期制御において、一方の軸M1側の現在位置と他方の軸
側の現在位置から算出した制御量を一方の軸M1の制御量
に加算すると共に、他方の軸M2側の現在位置と一方の軸
M1側の現在位置から算出した制御量を他方の軸M2の制御
量に加算して制御するようにした。
ついて２台のサ−ボモ−タを用いて移動させる場合、一
方の軸に残留振動が発生したり、一方の軸の軌跡精度が
他方の軸に比べて劣ったりすることなく、高精度の加工
を期待できる軌跡制御機械の同期軸の制御方法を提供す
ること。 【解決手段】 工作機械におけるガントリ型コラムのよ
うな移動対象の一つの移動軸を、２台のサ−ボモ−タの
同期制御により駆動するとき、前記２台のサ−ボモ−タ
に連結された第一軸と第二軸の位置ずれを減らすための
同期制御において、一方の軸M1側の現在位置と他方の軸
側の現在位置から算出した制御量を一方の軸M1の制御量
に加算すると共に、他方の軸M2側の現在位置と一方の軸
M1側の現在位置から算出した制御量を他方の軸M2の制御
量に加算して制御するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、軌跡制御を必要と
する工作機械、例えば、大型のガントリ形のコラムを具
備した機械の当該コラムのように重量の大きな移動対象
を、その移動軸の一軸を２台のサ−ボモ−タを用いて移
動させる場合、それらサ−ボモ−タの個々の軸を同期さ
せて駆動制御するための軌跡制御機械の同期軸の制御方
法に関するものである。
する工作機械、例えば、大型のガントリ形のコラムを具
備した機械の当該コラムのように重量の大きな移動対象
を、その移動軸の一軸を２台のサ−ボモ−タを用いて移
動させる場合、それらサ−ボモ−タの個々の軸を同期さ
せて駆動制御するための軌跡制御機械の同期軸の制御方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、工作機械のテ−ブル等をＸ軸方
向及び／又はＹ軸方向に移動させる場合、従来、該テ−
ブルの移動軸の一軸については１台のモ−タを用いて行
っていたが、例えば大型ガントリ機械におけるガントリ
型コラムのように重量も大きく、また、構造的にも、移
動軸について２台のサ−ボモ−タを用いて駆動せざるを
得ない構造の機械がある。この場合、２台のサ−ボモ−
タの１台が接続された一方の軸を主軸（マスタ）、残り
のモ−タが接続された他方を従軸（スレ−ブ）とし、マ
スタ軸，スレ−ブ軸ともに同じ移動指令を入力した上
で、２台のサ−ボモ−タ間の誤差を減らすために、スレ
−ブ軸側だけにマスタ軸側との差分から算出した制御量
を加算して入力する方法が知られている（図４参照）。
向及び／又はＹ軸方向に移動させる場合、従来、該テ−
ブルの移動軸の一軸については１台のモ−タを用いて行
っていたが、例えば大型ガントリ機械におけるガントリ
型コラムのように重量も大きく、また、構造的にも、移
動軸について２台のサ−ボモ−タを用いて駆動せざるを
得ない構造の機械がある。この場合、２台のサ−ボモ−
タの１台が接続された一方の軸を主軸（マスタ）、残り
のモ−タが接続された他方を従軸（スレ−ブ）とし、マ
スタ軸，スレ−ブ軸ともに同じ移動指令を入力した上
で、２台のサ−ボモ−タ間の誤差を減らすために、スレ
−ブ軸側だけにマスタ軸側との差分から算出した制御量
を加算して入力する方法が知られている（図４参照）。
【０００３】即ち、図４において、ＡはＮＣ（数値制
御、以下、同じ）プログラムを解釈して主制御部（図示
せず）からの移動指令（移動量，速度等）を受け入れる
軌道生成部、１，２は軌道生成部Ａからの指令を受け
て、サ−ボモ−タのマスタ軸M1，スレ−ブ軸M2を駆動す
るための指令信号をアンプ11，21に供給する軸制御部、
E1，E2は、前記マスタ軸M1，スレ−ブ軸M2の回転角度乃
至は回転数を検出するエンコ−ダで、エンコ−ダE1，E2
の検出信号は、アンプ11，12、軸制御部１，２に帰還さ
れると共に、同期制御部３に送られる。そして、同期制
御部３ではマスタ軸M1とスレ−ブ軸M2のエンコ−ダのパ
ルスによりカウントされた位置の差と同期ゲインKsから
制御量を算出し、その制御量をスレ−ブ軸M2側のアンプ
21に加算して入力し、スレ−ブ軸M2がマスタ軸M1と同期
回転するようにしているのである。
御、以下、同じ）プログラムを解釈して主制御部（図示
せず）からの移動指令（移動量，速度等）を受け入れる
軌道生成部、１，２は軌道生成部Ａからの指令を受け
て、サ−ボモ−タのマスタ軸M1，スレ−ブ軸M2を駆動す
るための指令信号をアンプ11，21に供給する軸制御部、
E1，E2は、前記マスタ軸M1，スレ−ブ軸M2の回転角度乃
至は回転数を検出するエンコ−ダで、エンコ−ダE1，E2
の検出信号は、アンプ11，12、軸制御部１，２に帰還さ
れると共に、同期制御部３に送られる。そして、同期制
御部３ではマスタ軸M1とスレ−ブ軸M2のエンコ−ダのパ
ルスによりカウントされた位置の差と同期ゲインKsから
制御量を算出し、その制御量をスレ−ブ軸M2側のアンプ
21に加算して入力し、スレ−ブ軸M2がマスタ軸M1と同期
回転するようにしているのである。
【０００４】然し乍ら、スレ−ブ軸側は、マスタ軸側の
動きが制御目標として加算されるので、マスタ軸側に比
べて、必ず遅れが生じることになる。このため、 ・位置決め動作では、スレ−ブ軸側に残留振動が発生す
る。 ・軌跡動作側では、スレ−ブ軸側は、直接マスタ軸側の
移動軌跡の影響を受けるために、軌跡精度は、マスタ軸
側に比べて劣ることになる。 ・この結果、スレ−ブ軸側に近い場所でワ−クを加工し
た場合、加工精度が悪くなる。 などの問題があった。
動きが制御目標として加算されるので、マスタ軸側に比
べて、必ず遅れが生じることになる。このため、 ・位置決め動作では、スレ−ブ軸側に残留振動が発生す
る。 ・軌跡動作側では、スレ−ブ軸側は、直接マスタ軸側の
移動軌跡の影響を受けるために、軌跡精度は、マスタ軸
側に比べて劣ることになる。 ・この結果、スレ−ブ軸側に近い場所でワ−クを加工し
た場合、加工精度が悪くなる。 などの問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のよう
な従来技術に鑑み、例えば、大型ガントリ機械のような
重量の大きなガントリ型コラム等のように重量のある移
動対象を、その移動軸の一軸について２台のサ−ボモ−
タを用いてＸ軸方向又Ｙ軸方向へ移動させる場合、一方
の軸に残留振動が発生したり、一方の軸の軌跡精度が他
方に比べて劣ったりすることなく、高精度の加工を期待
できる軌跡制御機械の同期軸の制御方法を提供すること
を、その課題とするものである。
な従来技術に鑑み、例えば、大型ガントリ機械のような
重量の大きなガントリ型コラム等のように重量のある移
動対象を、その移動軸の一軸について２台のサ−ボモ−
タを用いてＸ軸方向又Ｙ軸方向へ移動させる場合、一方
の軸に残留振動が発生したり、一方の軸の軌跡精度が他
方に比べて劣ったりすることなく、高精度の加工を期待
できる軌跡制御機械の同期軸の制御方法を提供すること
を、その課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すること
を目的としてなされた本発明制御方法の構成は、工作機
械におけるガントリ型コラムのような移動対象の一つの
移動軸を、２台のサ−ボモ−タの同期制御により駆動す
るとき、前記２台のサ−ボモ−タに連結された第一軸と
第二軸の位置ずれを減らすための同期制御において、一
方の軸側の現在位置と他方の軸側の現在位置から算出し
た制御量を一方の軸の制御量に加算すると共に、他方の
軸側の現在位置と一方の軸側の現在位置から算出した制
御量を他方の軸の制御量に加算して制御することを特徴
とするものである。なお、前記移動対象は、ＮＣプログ
ラムを解釈した主制御部からの移動指令（移動量，速度
等）を軌道生成部において受けて、それら指令により移
動するように形成されている。
を目的としてなされた本発明制御方法の構成は、工作機
械におけるガントリ型コラムのような移動対象の一つの
移動軸を、２台のサ−ボモ−タの同期制御により駆動す
るとき、前記２台のサ−ボモ−タに連結された第一軸と
第二軸の位置ずれを減らすための同期制御において、一
方の軸側の現在位置と他方の軸側の現在位置から算出し
た制御量を一方の軸の制御量に加算すると共に、他方の
軸側の現在位置と一方の軸側の現在位置から算出した制
御量を他方の軸の制御量に加算して制御することを特徴
とするものである。なお、前記移動対象は、ＮＣプログ
ラムを解釈した主制御部からの移動指令（移動量，速度
等）を軌道生成部において受けて、それら指令により移
動するように形成されている。
【０００７】而して、上記一方の軸側の現在位置と他方
の軸側の現在位置から、一方の軸側の制御量に加算する
制御量を求めるための係数と、他方の軸側の制御量に加
算する制御量を求めるための係数とを夫々独立して設定
し、前記係数を用いて求めたそれぞれの軸の制御量を加
算して制御するようにしてもよい。
の軸側の現在位置から、一方の軸側の制御量に加算する
制御量を求めるための係数と、他方の軸側の制御量に加
算する制御量を求めるための係数とを夫々独立して設定
し、前記係数を用いて求めたそれぞれの軸の制御量を加
算して制御するようにしてもよい。
【０００８】また、軌跡制御時、軌道上の目標位置と一
方の軸側の現在位置の差の絶対値と、前記目標位置と他
方の軸側の現在位置の差の絶対値とを比較し、該絶対値
の大きい軸側の現在位置から制御量を算出し、これをそ
の軸の制御量に加算して制御するようにしてもよい。
方の軸側の現在位置の差の絶対値と、前記目標位置と他
方の軸側の現在位置の差の絶対値とを比較し、該絶対値
の大きい軸側の現在位置から制御量を算出し、これをそ
の軸の制御量に加算して制御するようにしてもよい。
【０００９】更に、上記各手段において、ＮＣ装置から
サ−ボアンプへのオフセット電圧と速度電圧比を同定す
るためのチュ−ニング動作においては、一方の軸のチュ
−ニング中には、他方の軸は通常の軸制御部を使用せ
ず、同期制御部の追従動作のみの制御を行うようにして
もよい。
サ−ボアンプへのオフセット電圧と速度電圧比を同定す
るためのチュ−ニング動作においては、一方の軸のチュ
−ニング中には、他方の軸は通常の軸制御部を使用せ
ず、同期制御部の追従動作のみの制御を行うようにして
もよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態例につ
いて、図により説明する。而して、同期制御の場合、軌
道生成部Ａから供給される目標位置のデ−タは、軸制御
部１，２にそれぞれ分配され、各軸制御部１，２では各
軸M1，M2を駆動する夫々のモ−タを制御する。この制御
は、フィ−ドフォワ−ド制御、或は、各エンコ−ダE1，
E2のフィ−ドバック信号から算出される現在位置と前記
目標位置のデ−タをもとに、ＰＩＤ制御や加速度フィ−
ドバック制御などを行う。
いて、図により説明する。而して、同期制御の場合、軌
道生成部Ａから供給される目標位置のデ−タは、軸制御
部１，２にそれぞれ分配され、各軸制御部１，２では各
軸M1，M2を駆動する夫々のモ−タを制御する。この制御
は、フィ−ドフォワ−ド制御、或は、各エンコ−ダE1，
E2のフィ−ドバック信号から算出される現在位置と前記
目標位置のデ−タをもとに、ＰＩＤ制御や加速度フィ−
ドバック制御などを行う。
【００１１】図１において、図４に示した従来技術と異
なるところは、マスタ軸M1側に同期制御部31を、スレ−
ブ軸M2側に同期制御部32を設け、エンコ−ダE1，E2の出
力信号をそれぞれ両方の同期制御部31，32にフィ−ドバ
ックさせて、それぞれの軸M1，M2におけるそれぞれの現
在位置と目標位置から同期制御部31においては同期ゲイ
ンKs1からマスタ軸M1側の制御量を、同じく同期制御部3
2においては同期ゲインKs2からスレ−プ軸M2側の制御量
を算出し、マスタ軸M1側には該同期制御部31から前記の
算出した制御量をマスタ軸M1側の制御量に加算してアン
プ11に入力し、また、スレ−ブ軸M2側には同期制御部32
から算出した制御量をスレ−ブ軸M2側の制御量に加算し
てアンプ12に入力して、スレ−ブ軸M2とマスタ軸M1とが
同期回転するように制御する点である。
なるところは、マスタ軸M1側に同期制御部31を、スレ−
ブ軸M2側に同期制御部32を設け、エンコ−ダE1，E2の出
力信号をそれぞれ両方の同期制御部31，32にフィ−ドバ
ックさせて、それぞれの軸M1，M2におけるそれぞれの現
在位置と目標位置から同期制御部31においては同期ゲイ
ンKs1からマスタ軸M1側の制御量を、同じく同期制御部3
2においては同期ゲインKs2からスレ−プ軸M2側の制御量
を算出し、マスタ軸M1側には該同期制御部31から前記の
算出した制御量をマスタ軸M1側の制御量に加算してアン
プ11に入力し、また、スレ−ブ軸M2側には同期制御部32
から算出した制御量をスレ−ブ軸M2側の制御量に加算し
てアンプ12に入力して、スレ−ブ軸M2とマスタ軸M1とが
同期回転するように制御する点である。
【００１２】次に、図２の制御ブロックにおいても、軌
道生成部Ａは、図１の場合と同様に、同期制御か否かに
拘らず、加減速を考慮した制御周期ごとの目標値を各補
間軸に対して出力するように形成されており、図１の制
御系と異なるところは、同期選択部４を設け、この同期
選択部４にも、軌道生成部Ａからの目標位置とエンコ−
ダE1，E2のフィ−ドバック信号による現在位置を入力し
て、同期制御部31，32の出力を選択して制御するように
した点である。即ち、このブロック図において、同期選
択部４は、その入力側を、軌道生成部Ａ，エンコ−ダE
1，E2に接続すると共に、出力側を、切換スイッチ部
５，5’を介して同期制御部31，32の出力側に接続し
た。
道生成部Ａは、図１の場合と同様に、同期制御か否かに
拘らず、加減速を考慮した制御周期ごとの目標値を各補
間軸に対して出力するように形成されており、図１の制
御系と異なるところは、同期選択部４を設け、この同期
選択部４にも、軌道生成部Ａからの目標位置とエンコ−
ダE1，E2のフィ−ドバック信号による現在位置を入力し
て、同期制御部31，32の出力を選択して制御するように
した点である。即ち、このブロック図において、同期選
択部４は、その入力側を、軌道生成部Ａ，エンコ−ダE
1，E2に接続すると共に、出力側を、切換スイッチ部
５，5’を介して同期制御部31，32の出力側に接続し
た。
【００１３】図２の制御ブロックにおける動作は次の通
りである。即ち、同期制御部31，32における制御量の算
出は、図１の制御系の場合と同じであるが、同期選択部
４において、マスタ軸M1の目標位置と現在位置の差の絶
対値と、スレ−ブ軸M2の目標位置と現在位置の差の絶対
値を比較し、その値が大きい方の軸側のスイッチ部５又
は5’を閉じて同期制御部31，32の一方を選択し、選択
された同期制御部31又は32で生成される同期制御量を、
選択された一方の軸制御部１又は２の制御量に加算する
ように構成したものである。なお、この例では、同期ゲ
インKs1，Ks2を、目標位置と現在位値による比例ゲイン
のみとして説明したが、必要に応じて、積分や微分によ
る制御量を加算するようにしてもよい。
りである。即ち、同期制御部31，32における制御量の算
出は、図１の制御系の場合と同じであるが、同期選択部
４において、マスタ軸M1の目標位置と現在位置の差の絶
対値と、スレ−ブ軸M2の目標位置と現在位置の差の絶対
値を比較し、その値が大きい方の軸側のスイッチ部５又
は5’を閉じて同期制御部31，32の一方を選択し、選択
された同期制御部31又は32で生成される同期制御量を、
選択された一方の軸制御部１又は２の制御量に加算する
ように構成したものである。なお、この例では、同期ゲ
インKs1，Ks2を、目標位置と現在位値による比例ゲイン
のみとして説明したが、必要に応じて、積分や微分によ
る制御量を加算するようにしてもよい。
【００１４】一方、図３に示すブロック図は、ＮＣから
サ−ボアンプ11又は12へのオフセット電圧と速度電圧比
を同定するためのチュ−ニング動作において、例えば、
マスタ軸M1のチュ−ニング中、スレ−ブ軸M2は通常の軸
制御部２からの制御量を使用せず、同期制御部32による
追従動作のみを行わせて、マスタ軸M1の動作に、スレ−
ブ軸M2の動作による干渉を最小限にして、マスタ軸M1の
チュ−ニングの精度を高めることを説明するためのもの
である。
サ−ボアンプ11又は12へのオフセット電圧と速度電圧比
を同定するためのチュ−ニング動作において、例えば、
マスタ軸M1のチュ−ニング中、スレ−ブ軸M2は通常の軸
制御部２からの制御量を使用せず、同期制御部32による
追従動作のみを行わせて、マスタ軸M1の動作に、スレ−
ブ軸M2の動作による干渉を最小限にして、マスタ軸M1の
チュ−ニングの精度を高めることを説明するためのもの
である。
【００１５】
【発明の効果】本発明は上述のとおりであって、Ｘ軸及
び／又はＹ軸の一つの移動軸について、２台のサ−ボモ
−タで駆動軸を駆動するようにした工作機械等の移動対
象（例えば、大型ガントリ機械のガントリ型コラム）
を、前記２台のサ−ボモ−タのそれぞれの軸の位置ずれ
を減らすための同期制御において、一方の軸側の現在位
置と他方の軸側の現在位置から算出した制御量を一方の
軸の制御量に加算すると共に、他方の軸側の現在位置と
一方の軸側の現在位置から算出した制御量を他方の軸の
制御量に加算して制御するようにしたから、重量の大き
な移動対象の一つの移動軸を２台のサ−ボモ−タで駆動
する場合でも、１台のモ−タで駆動する場合と同精度の
軌跡制御を行うことが可能となり、かつ、正確，迅速に
移動させて位置決めすることができる。
び／又はＹ軸の一つの移動軸について、２台のサ−ボモ
−タで駆動軸を駆動するようにした工作機械等の移動対
象（例えば、大型ガントリ機械のガントリ型コラム）
を、前記２台のサ−ボモ−タのそれぞれの軸の位置ずれ
を減らすための同期制御において、一方の軸側の現在位
置と他方の軸側の現在位置から算出した制御量を一方の
軸の制御量に加算すると共に、他方の軸側の現在位置と
一方の軸側の現在位置から算出した制御量を他方の軸の
制御量に加算して制御するようにしたから、重量の大き
な移動対象の一つの移動軸を２台のサ−ボモ−タで駆動
する場合でも、１台のモ−タで駆動する場合と同精度の
軌跡制御を行うことが可能となり、かつ、正確，迅速に
移動させて位置決めすることができる。
【図１】本発明方法を実施する一例の制御ブロック図。
【図２】本発明方法を実施する別例の制御ブロック図。
【図３】本発明方法において、マスタ軸のチュ−ニング
の精度を高めるための制御ブロック図。
の精度を高めるための制御ブロック図。
【図４】従来方法の一例の制御ブロック図。
Ａ 軌道生成部 １，２ 軸制御部 11，12 アンプ E1，E2 エンコ−ダ M1 マスタ軸 M2 スレ−ブ軸 31，32 同期制御部 ４ 同期選択部 ５，5' 同期制御部31，32の切換スイッチ
Claims (4)
- 【請求項１】 工作機械におけるガントリ型コラムのよ
うな移動対象の一つの移動軸を、２台のサ−ボモ−タの
同期制御により駆動するとき、前記２台のサ−ボモ−タ
に連結された第一軸と第二軸の位置ずれを減らすための
同期制御において、一方の軸側の現在位置と他方の軸側
の現在位置から算出した制御量を一方の軸の制御量に加
算すると共に、他方の軸側の現在位置と一方の軸側の現
在位置から算出した制御量を他方の軸の制御量に加算し
て制御することを特徴とする軌跡制御機械の同期軸の制
御方法。 - 【請求項２】 一方の軸側の現在位置と他方の軸側の現
在位置から、一方の軸側の制御量に加算する制御量を求
めるための係数と、他方の軸側の制御量に加算する制御
量を求めるための係数とを夫々独立して設定し、前記係
数を用いて求めたそれぞれの軸の制御量を加算して制御
することを特徴とする請求項１に記載の制御方法。 - 【請求項３】 軌跡制御時、軌道上の目標位置と一方の
軸側の現在位置の差の絶対値と、前記目標位置と他方の
軸側の現在位置の差の絶対値とを比較し、該絶対値の大
きい軸側の現在位置から制御量を算出し、これをその軸
の制御量に加算して制御することを特徴とする請求項１
に記載の制御方法。 - 【請求項４】 ＮＣからサ−ボアンプへのオフセット電
圧と速度電圧比を同定するためのチュ−ニング動作にお
いて、いずれか一方の軸のチュ−ニング中、他方の軸は
通常の軸制御部を使用せず、同期制御部の追従動作のみ
の制御を行う請求項１〜３のいずれかに記載の制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31686696A JPH10143215A (ja) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | 軌跡制御機械の同期軸の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31686696A JPH10143215A (ja) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | 軌跡制御機械の同期軸の制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10143215A true JPH10143215A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=18081793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31686696A Pending JPH10143215A (ja) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | 軌跡制御機械の同期軸の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10143215A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7215089B2 (en) | 2004-01-30 | 2007-05-08 | Fanuc Ltd | Threading/tapping control apparatus |
| JP2011165163A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-08-25 | Yaskawa Electric Corp | 同期制御装置 |
-
1996
- 1996-11-14 JP JP31686696A patent/JPH10143215A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7215089B2 (en) | 2004-01-30 | 2007-05-08 | Fanuc Ltd | Threading/tapping control apparatus |
| JP2011165163A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-08-25 | Yaskawa Electric Corp | 同期制御装置 |
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