JPH1013748A - Solid-state image pickup device, its drive method and camera using the solid-state image pickup device - Google Patents

Solid-state image pickup device, its drive method and camera using the solid-state image pickup device

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Publication number
JPH1013748A
JPH1013748A JP8162960A JP16296096A JPH1013748A JP H1013748 A JPH1013748 A JP H1013748A JP 8162960 A JP8162960 A JP 8162960A JP 16296096 A JP16296096 A JP 16296096A JP H1013748 A JPH1013748 A JP H1013748A
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JP
Japan
Prior art keywords
solid
imaging device
state imaging
sensor units
transfer unit
Prior art date
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Application number
JP8162960A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Tanaka
弘明 田中
Fuji Ishigami
富士 石上
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH1013748A publication Critical patent/JPH1013748A/en
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  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress blooming and smear components in an output signal and to reduce a screen size by applying a charge sweep-out pulse to an image pickup element board for all horizontal blanking periods for one vertical synchronization period after light reception. SOLUTION: A shutter pulse SP is generated by a timing generating circuit 21 as a charge sweep-out pulse for all horizontal blanking periods for one vertical synchronization period after light reception and the charge sweep-out pulse is fed to a board 17 while superimposing a board bias Vsub with the shutter pulse SP. Thus, the period when the signal charge is stored in the sensor section 11 is only one horizontal scanning period (1H) and even when an excess light is made incident onto the sensor section 11, since the period to store the signal charge is short, the signal charges generated in the sensor section 11 are not excessive. As a result, even in the case of incidence of excess light, the signal charges are not overflowed to surrounding picture elements and a blooming component is suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置およ
びその駆動方法、並びに固体撮像装置を用いたカメラに
関し、特に自動焦点制御装置、自動アイリス制御装置、
自動ホワイトバランス制御装置等の自動制御装置を備え
た電子スチルカメラなどに用いて好適な固体撮像装置お
よびその駆動方法、並びにその固体撮像装置を用いたカ
メラに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state imaging device and a driving method thereof, and a camera using the solid-state imaging device.
The present invention relates to a solid-state imaging device suitable for use in an electronic still camera equipped with an automatic control device such as an automatic white balance control device, a driving method thereof, and a camera using the solid-state imaging device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、ディジタル電子スチルカメラが普
及しつつある。この電子スチルカメラには、自動焦点制
御装置、自動アイリス制御装置、自動ホワイトバランス
制御装置等の自動制御装置が装備されている。これらの
制御装置における制御は、電子スチルカメラに搭載され
た撮像素子からの出力信号を使用して行う訳であるが、
撮像素子としてCCD(Charge Coupled Device) 固体撮
像素子を使用した場合、当該CCD固体撮像素子の出力
信号中にブルーミングやスミアの成分が含まれている
と、正常な処理を行うことができなくなってしまう。
2. Description of the Related Art In recent years, digital electronic still cameras have become widespread. This electronic still camera is equipped with automatic control devices such as an automatic focus control device, an automatic iris control device, and an automatic white balance control device. Control in these control devices is performed using output signals from an image sensor mounted on an electronic still camera.
When a CCD (Charge Coupled Device) solid-state imaging device is used as an imaging device, normal processing cannot be performed if a blooming or smear component is included in an output signal of the CCD solid-state imaging device. .

【0003】ここに、ブルーミングとは、過大な入射光
に対して、受光部で発生する信号電荷が過剰となり、周
辺の画素に溢れ出し、周囲に白い部分が広がる現象を言
う。また、スミアとは、高輝度被写体を撮像した場合
に、モニター画面上で上下に白く尾を引く現象を言う。
このブルーミング、スミア成分を抑制するために、CC
D固体撮像素子では、受光部(画素)や垂直転送部など
において、構造上、種々の改良がなされてきている。
[0003] Here, blooming refers to a phenomenon in which signal charge generated in a light receiving portion becomes excessive with respect to excessive incident light, overflows to peripheral pixels, and a white portion spreads around. In addition, smear refers to a phenomenon in which, when a high-luminance subject is imaged, a white tail is vertically drawn on a monitor screen.
To suppress this blooming and smear component, CC
In the D solid-state imaging device, various improvements have been made in the structure of a light receiving unit (pixel), a vertical transfer unit, and the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】一方、より高画質、低
価格の電子スチルカメラ用途として、CCD固体撮像素
子の高画素化および光学系の縮小化、即ち画素サイズの
縮小化が望まれている。これに伴い、CCD固体撮像素
子の構造上においてブルーミング、スミア成分の抑制が
厳しくなってしまう。その反面、自動焦点制御装置、自
動アイリス制御装置、自動ホワイトバランス制御装置等
の自動制御装置を備えた電子スチルカメラなどにおいて
は、その制御の正常な処理を可能とし、各機能の高精度
化を図るためには、ブルーミング、スミア成分の抑制が
強く望まれている。
On the other hand, for use in electronic still cameras of higher image quality and lower cost, it is desired to increase the number of pixels of the CCD solid-state image pickup device and reduce the size of the optical system, that is, reduce the pixel size. . Along with this, suppression of blooming and smear components becomes severe on the structure of the CCD solid-state imaging device. On the other hand, electronic still cameras equipped with automatic control devices such as an automatic focus control device, an automatic iris control device, and an automatic white balance control device enable normal processing of the control and improve the accuracy of each function. In order to achieve this, suppression of blooming and smear components is strongly desired.

【0005】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、各種の制御系の処理
に用いる際の固体撮像素子の出力信号中のブルーミン
グ、スミア成分を抑制できるとともに、固体撮像素子の
画素サイズの縮小化にも対応可能な固体撮像装置および
その駆動方法、並びにその固体撮像装置を用いたカメラ
を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to suppress blooming and smear components in an output signal of a solid-state imaging device when used in processing of various control systems. Another object of the present invention is to provide a solid-state imaging device capable of coping with a reduction in the pixel size of a solid-state imaging device, a driving method thereof, and a camera using the solid-state imaging device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明による固体撮像装
置は、行列状に配列されて光電変換を行う複数のセンサ
部およびこれらのセンサ部から読み出された信号電荷を
転送する転送部を有する固体撮像素子と、所定の動作モ
ード時に複数のセンサ部での受光後の少なくとも1垂直
同期期間において全ての水平ブランキング期間ごとに電
荷掃き捨てパルスを固体撮像素子の基板に印加する駆動
系とを備えた構成となっている。
A solid-state imaging device according to the present invention has a plurality of sensor units arranged in a matrix for performing photoelectric conversion and a transfer unit for transferring signal charges read from these sensor units. A solid-state imaging device, and a drive system that applies a charge sweep-out pulse to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by the plurality of sensor units in a predetermined operation mode. It is provided with a configuration.

【0007】本発明による駆動方法は、行列状に配列さ
れて光電変換を行う複数のセンサ部およびこれらのセン
サ部から読み出された信号電荷を転送する転送部を有す
る固体撮像素子を備えた固体撮像装置において、所定の
動作モード時に複数のセンサ部での受光後の少なくとも
1垂直同期期間において全ての水平ブランキング期間ご
とに電荷掃き捨てパルスを固体撮像素子の基板に印加す
る。
A driving method according to the present invention is directed to a solid-state image sensor having a plurality of sensor units arranged in a matrix for performing photoelectric conversion and a solid-state imaging device having a transfer unit for transferring signal charges read from these sensor units. In the imaging apparatus, in a predetermined operation mode, a charge sweeping pulse is applied to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by the plurality of sensor units.

【0008】上記構成の固体撮像装置およびその駆動方
法において、所定の動作モード時、例えば固体撮像素子
の出力信号を各種の制御系の処理に用いる動作モード時
に、複数のセンサ部での受光後の少なくとも1垂直同期
期間において全ての水平ブランキング期間ごとに電荷掃
き捨てパルスを固体撮像素子の基板に印加すると、各セ
ンサ部内に信号電荷が蓄積される期間が1水平走査期間
のみとなる。したがって、過大な光がセンサ部上に入射
したとしても、信号電荷が蓄積される期間が短いので、
センサ部内で発生する信号電荷が過剰になることがな
く、よって固体撮像素子の出力信号中のブルーミング成
分が大幅に抑制される。
In the solid-state imaging device and the method of driving the solid-state imaging device having the above-described configuration, in a predetermined operation mode, for example, in an operation mode in which an output signal of the solid-state imaging device is used for processing of various control systems, a plurality of sensor units receive light after receiving light. When a charge sweeping pulse is applied to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period, the period in which signal charges are accumulated in each sensor unit is only one horizontal scanning period. Therefore, even if excessive light is incident on the sensor unit, the period in which signal charges are accumulated is short,
The signal charges generated in the sensor section do not become excessive, so that the blooming component in the output signal of the solid-state imaging device is largely suppressed.

【0009】本発明によるカメラは、行列状に配列され
て光電変換を行う複数のセンサ部およびこれらのセンサ
部から読み出された信号電荷を転送する転送部を有する
固体撮像素子と、所定の動作モード時に複数のセンサ部
での受光後の少なくとも1垂直同期期間において全ての
水平ブランキング期間ごとに電荷掃き捨てパルスを前記
固体撮像素子の基板に印加する駆動系とを備えた固体撮
像装置と、固体撮像素子の撮像エリアに対して入射光を
導く光学系と、固体撮像素子の出力信号に基づいて固体
撮像素子および光学系の特性を自動的に制御する自動制
御装置とを具備する構成となっている。
A camera according to the present invention comprises: a plurality of sensor units arranged in a matrix for performing photoelectric conversion; a solid-state imaging device having a transfer unit for transferring signal charges read from these sensor units; A solid-state imaging device comprising: a driving system that applies a charge sweeping-out pulse to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by a plurality of sensor units in a mode. A configuration including an optical system that guides incident light to an imaging area of the solid-state imaging device, and an automatic control device that automatically controls characteristics of the solid-state imaging device and the optical system based on an output signal of the solid-state imaging device. ing.

【0010】上記構成のカメラにおいて、固体撮像素子
の出力信号を自動制御装置の制御の処理に用いる際に、
固体撮像素子の複数のセンサ部での受光後の少なくとも
1垂直同期期間において全ての水平ブランキング期間ご
とに電荷掃き捨てパルスを固体撮像素子の基板に印加す
ることで、センサ部内で発生する信号電荷が過剰になる
ことがなく、固体撮像素子の出力信号中のブルーミング
成分が大幅に抑制される。したがって、自動制御装置に
おいて、その制御の処理が正常に行われる。
In the camera having the above configuration, when the output signal of the solid-state image sensor is used for control processing of the automatic control device,
Signal charges generated in the sensor unit by applying a charge sweeping-out pulse to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by the plurality of sensor units of the solid-state imaging device. Does not become excessive, and the blooming component in the output signal of the solid-state imaging device is largely suppressed. Therefore, in the automatic control device, the control process is performed normally.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本実施形態
では、インターライン転送(IT)方式のCCD固体撮
像素子に適用した場合を例に採って説明するものとす
る。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the present embodiment, a case where the present invention is applied to an interline transfer (IT) type CCD solid-state imaging device will be described as an example.

【0012】図1は、本発明に係る固体撮像装置の一例
を示す概略構成図である。図1において、行(垂直)方
向および列(水平)方向にマトリクス状に配列され、か
つ入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換し
て蓄積する複数のセンサ部11と、これらセンサ部11
の垂直列ごとに設けられ、各センサ部11から読み出し
ゲート部12によって読み出された信号電荷を垂直転送
する複数本の垂直CCD13とによって撮像エリア14
が構成されている。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a solid-state imaging device according to the present invention. In FIG. 1, a plurality of sensor units 11 are arranged in a matrix in a row (vertical) direction and a column (horizontal) direction, and convert incident light into signal charges having a charge amount corresponding to the light amount and accumulate them. Sensor unit 11
And a plurality of vertical CCDs 13 that are provided for each of the vertical columns and vertically transfer signal charges read from the sensor units 11 by the read gate unit 12.
Is configured.

【0013】この撮像エリア14において、センサ部1
1は例えばPN接合のフォトダイオードからなってい
る。このセンサ部11に蓄積された信号電荷は、読み出
しゲート部12に後述する読み出しパルスXSGが印加
されることにより垂直CCD13に読み出される。垂直
CCD13は、例えば4相の垂直転送クロックφV1〜
φV4によって転送駆動され、読み出された信号電荷を
水平ブランキング期間の一部にて1走査線(1ライン)
に相当する部分ずつ順に垂直方向に転送する。
In this imaging area 14, the sensor unit 1
Numeral 1 is a PN junction photodiode, for example. The signal charges accumulated in the sensor unit 11 are read out to the vertical CCD 13 by applying a readout pulse XSG described later to the readout gate unit 12. The vertical CCD 13 is, for example, a four-phase vertical transfer clock φV1 to φV1.
The signal charges transferred and driven by φV4 and read out are transferred to one scanning line (one line) in a part of the horizontal blanking period.
Are sequentially transferred in the vertical direction by the portion corresponding to.

【0014】ここで、垂直CCD13において、1相目
および3相目の転送電極は、読み出しゲート部12のゲ
ート電極を兼ねている。このことから、4相の垂直転送
クロックφV1〜φV4のうち、1相目の転送クロック
φV1と3相目の転送クロックφV3が低レベル、中間
レベルおよび高レベルの3値をとるように設定されてお
り、その3値目の高レベルのパルスが読み出しゲート部
12の読み出しパルスXSGとなる。
Here, in the vertical CCD 13, the transfer electrodes of the first phase and the third phase also serve as the gate electrodes of the read gate unit 12. For this reason, of the four-phase vertical transfer clocks φV1 to φV4, the transfer clock φV1 of the first phase and the transfer clock φV3 of the third phase are set to have three values of low level, intermediate level and high level. The third high-level pulse becomes the read pulse XSG of the read gate unit 12.

【0015】撮像エリア14の図面上の下側には、水平
CCD15が配されている。この水平CCD15には、
複数本の垂直CCD13から1ラインに相当する信号電
荷が順次転送される。水平CCD15は、例えば2相の
水平転送クロックφH1,φH2によって転送駆動さ
れ、複数本の垂直CCD13から移された1ライン分の
信号電荷を、水平ブランキング期間後の水平走査期間に
おいて順次水平方向に転送する。
A horizontal CCD 15 is arranged below the imaging area 14 in the drawing. This horizontal CCD 15 has
Signal charges corresponding to one line are sequentially transferred from the plurality of vertical CCDs 13. The horizontal CCD 15 is transferred and driven by, for example, two-phase horizontal transfer clocks φH1 and φH2, and sequentially transfers the signal charges for one line transferred from the plurality of vertical CCDs 13 in the horizontal direction during the horizontal scanning period after the horizontal blanking period. Forward.

【0016】水平CCD15の転送先の端部には、例え
ばフローティング・ディフュージョン・アンプ構成の電
荷電圧変換部16が設けられている。この電荷電圧変換
部17は、水平CCD15によって水平転送されてきた
信号電荷を順次電圧信号に変換して出力する。この電圧
信号は、出力回路(図示せず)を経た後、被写体からの
光の入射量に応じたCCD出力OUTとして導出され
る。
At the end of the transfer destination of the horizontal CCD 15, a charge-voltage converter 16 having, for example, a floating diffusion amplifier configuration is provided. The charge-voltage converter 17 sequentially converts signal charges horizontally transferred by the horizontal CCD 15 into voltage signals and outputs the voltage signals. After passing through an output circuit (not shown), this voltage signal is derived as a CCD output OUT corresponding to the amount of incident light from the subject.

【0017】上述したセンサ部11、読み出しゲート部
12、垂直CCD13、水平CCD15および電荷電圧
変換部16等は半導体基板(以下、単に基板と称す)1
7上に形成される。以上により、インターライン転送方
式のCCD固体撮像素子10が構成されている。このC
CD固体撮像素子10を駆動するための4相の垂直転送
クロックφV1〜φV4および2相の水平転送クロック
φH1,φH2は、タイミング発生回路21から発生さ
れる。
The above-described sensor unit 11, readout gate unit 12, vertical CCD 13, horizontal CCD 15, charge-voltage converter 16 and the like are composed of a semiconductor substrate (hereinafter simply referred to as a substrate) 1.
7 is formed. Thus, the CCD solid-state imaging device 10 of the interline transfer system is configured. This C
The four-phase vertical transfer clocks φV1 to φV4 and the two-phase horizontal transfer clocks φH1 and φH2 for driving the CD solid-state imaging device 10 are generated from the timing generation circuit 21.

【0018】4相の垂直転送クロックφV1〜φV4
は、基板17上に形成された端子(パッド)22-1〜2
2-4を介して垂直CCD13に供給される。2相の水平
転送クロックφH1,φH2は、端子23-1,23-2を
介して水平CCD15に供給される。タイミング発生回
路21はさらに、これらの転送クロックの外に、センサ
部11に蓄積された信号電荷を基板17へ掃き出すため
のシャッタパルスSPなどの各種のタイミング信号をも
適宜発生する。
Four-phase vertical transfer clocks φV1 to φV4
Are terminals (pads) 22-1 to 22-2 formed on the substrate 17
It is supplied to the vertical CCD 13 via 2-4. The two-phase horizontal transfer clocks φH1 and φH2 are supplied to the horizontal CCD 15 via the terminals 23-1 and 23-2. In addition to these transfer clocks, the timing generation circuit 21 also appropriately generates various timing signals such as a shutter pulse SP for sweeping out signal charges accumulated in the sensor unit 11 to the substrate 17.

【0019】図2は、センサ部11の周辺の基板深さ方
向の構造を示す断面図である。図2において、例えばN
型の基板17の表面にP型のウェル領域31が形成され
ている。このウェル領域31の表面にはN+ 型の信号電
荷蓄積領域32が形成され、さらにその上にP+ 型の正
孔蓄積領域33が形成されることにより、いわゆるHA
D(正孔蓄積ダイオード)構造のセンサ部11が構成さ
れている。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure around the sensor section 11 in the substrate depth direction. In FIG. 2, for example, N
A P-type well region 31 is formed on the surface of a D-type substrate 17. An N + -type signal charge storage region 32 is formed on the surface of the well region 31, and a P + -type hole storage region 33 is further formed thereon, thereby forming a so-called HA.
A sensor unit 11 having a D (hole storage diode) structure is configured.

【0020】このセンサ部11に蓄積される信号電荷e
は、図3のポテンシャル分布図に示すように、P型のウ
ェル領域31で構成されるオーバーフローバリアOFB
のポテンシャル障壁の高さによって決定される。すなわ
ち、このオーバーフローバリアOFBは、センサ部11
に蓄積される飽和信号電荷量を決めるものであり、蓄積
電荷量がこの飽和信号電荷量を越えた場合に、その越え
た分の電荷がポテンシャル障壁を越えて基板17側へ掃
き出される。
The signal charges e accumulated in the sensor section 11
Is an overflow barrier OFB composed of a P-type well region 31 as shown in the potential distribution diagram of FIG.
Is determined by the height of the potential barrier. That is, the overflow barrier OFB is
When the accumulated charge exceeds the saturation signal charge, the excess charge is swept out to the substrate 17 side over the potential barrier.

【0021】この飽和信号電荷量は、デバイスのS/N
特性、垂直CCD13の取り扱い電荷量などによって決
定されるが、製造ばらつきにより、オーバーフローバリ
アOFBのポテンシャル障壁の高さがばらつくことにな
る。このオーバーフローバリアOFBのポテンシャル障
壁の高さは、基板17に印加されるバイアス電圧(以
下、基板バイアスと称す)Vsubによって制御可能で
ある。
The saturation signal charge is determined by the S / N of the device.
The height of the potential barrier of the overflow barrier OFB varies depending on the characteristics, the amount of charge handled by the vertical CCD 13, and the like. The height of the potential barrier of the overflow barrier OFB can be controlled by a bias voltage (hereinafter, referred to as a substrate bias) Vsub applied to the substrate 17.

【0022】センサ部11の横方向には、読み出しゲー
ト部12を構成するP型領域34を介してN+ 型の信号
電荷転送領域35およびP+ 型のチャネルストッパ領域
36が形成されている。信号電荷転送領域35の下に
は、スミア成分の混入を防止するためのP+ 型の不純物
拡散領域37が形成されている。さらに、信号電荷転送
領域35の上方には、ゲート絶縁膜38を介して例えば
多結晶シリコンからなる転送電極39が配されることに
より、垂直CCD13が構成されている。転送電極39
は、P型領域34の上方に位置する部分が、読み出しゲ
ート部12のゲート電極を兼ねている。
In the lateral direction of the sensor section 11, an N + -type signal charge transfer area 35 and a P + -type channel stopper area 36 are formed via a P-type area 34 constituting the readout gate section 12. Below the signal charge transfer region 35, a P + type impurity diffusion region 37 for preventing the smear component from being mixed is formed. Further, above the signal charge transfer region 35, a transfer electrode 39 made of, for example, polycrystalline silicon is disposed via a gate insulating film 38, thereby forming the vertical CCD 13. Transfer electrode 39
The portion located above the P-type region 34 also serves as the gate electrode of the readout gate unit 12.

【0023】垂直CCD13の上方には、転送電極39
を覆うようにして層間膜40を介してAl(アルミニウ
ム)遮光膜41が形成されている。このAl遮光膜41
は、センサ部11において選択的にエッチング除去され
ており、外部からの光Lはこのエッチング除去によって
形成された開口42を通してセンサ部11内に入射す
る。そして、基板17には、上述したように、センサ部
11に蓄積される信号電荷の電荷量を決定する、即ちオ
ーバーフローバリアOFBのポテンシャル障壁の高さを
決める基板バイアスVsubが印加されるようになって
いる。
Above the vertical CCD 13, a transfer electrode 39 is provided.
, An Al (aluminum) light-shielding film 41 is formed via an interlayer film 40. This Al light shielding film 41
Are selectively removed by etching in the sensor section 11, and light L from the outside enters the sensor section 11 through the opening 42 formed by the etching and removal. As described above, the substrate bias Vsub that determines the amount of signal charges stored in the sensor unit 11, that is, determines the height of the potential barrier of the overflow barrier OFB is applied to the substrate 17, as described above. ing.

【0024】基板バイアスVsubは、図1に示す基板
バイアス発生回路24において、デバイス個々の製造ば
らつきに伴うセンサ部11におけるオーバーフローバリ
アOFB(図3を参照)のポテンシャル障壁の高さのば
らつきを考慮してチップごとに最適値に設定され、クラ
ンプ用ダイオード25を介して端子26に印加され、基
板17に与えられる。端子26とグランドとの間には、
抵抗27が接続されている。
The substrate bias Vsub in the substrate bias generating circuit 24 shown in FIG. 1 takes into consideration the variation in the height of the potential barrier of the overflow barrier OFB (see FIG. 3) in the sensor section 11 due to the manufacturing variation of each device. The voltage is set to an optimum value for each chip, applied to the terminal 26 via the clamping diode 25, and supplied to the substrate 17. Between the terminal 26 and the ground,
The resistor 27 is connected.

【0025】一方、電子シャッタ動作時に、タイミング
発生回路21で発生されるシャッタパルスSPは、コン
デンサ28で直流カットされた後、クランプ用ダイオー
ド25によってその低レベルが基板バイアスVsubの
直流レベルにクランプされ、端子26を介して基板26
に印加される。このタイミング発生回路21、基板バイ
アス発生回路24およびその周辺の回路素子(ダイオー
ド25、抵抗27およびコンデンサ28など)により、
CCD固体撮像素子10の駆動系が構成されている。
On the other hand, during the electronic shutter operation, the shutter pulse SP generated by the timing generation circuit 21 is DC-cut by the capacitor 28, and the low level is clamped by the clamping diode 25 to the DC level of the substrate bias Vsub. , Terminal 26 via substrate 26
Is applied to The timing generation circuit 21, the substrate bias generation circuit 24 and peripheral circuit elements (diode 25, resistor 27, capacitor 28, etc.)
A drive system of the CCD solid-state imaging device 10 is configured.

【0026】上記構成の本実施形態に係るCCD固体撮
像素子10において、基板17には基板バイアス発生回
路24で設定された任意の一定電圧の基板バイアスVs
ubが印加されており、図4のタイミングチャートから
明らかなように、各フィールドごとに読み出しパルスX
SGが読み出しゲート部12に印加されることで、各セ
ンサ部11から垂直CCD13に信号電荷が読み出され
る。なお、本実施形態では、先述したように、1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1,φV3(図4には、
φV1を示す)の3値目の高レベルのパルスが読み出し
パルスXSGとなる。
In the CCD solid-state imaging device 10 according to this embodiment having the above-described configuration, the substrate 17 has an arbitrary constant substrate bias Vs set by the substrate bias generating circuit 24.
ub is applied, and as is apparent from the timing chart of FIG.
When the SG is applied to the read gate unit 12, signal charges are read from each sensor unit 11 to the vertical CCD 13. In this embodiment, as described above, the first phase,
The third-phase vertical transfer clocks φV1 and φV3 (FIG.
The third high-level pulse (indicating φV1) is the read pulse XSG.

【0027】そして、通常動作モードでは、図5に示す
ように、基板17に常時一定電圧の基板バイアスVsu
bが印加されていることが、前回の読み出しパルスXS
Gの発生時から今回の読み出しパルスXSGの発生時ま
での1フィールド期間が電荷蓄積期間となり、この電荷
蓄積期間において各センサ部11に信号電荷が蓄積され
る。なお、本例では、フィールド読み出し方式のCCD
固体撮像素子の場合を例に採って説明している。
In the normal operation mode, as shown in FIG. 5, the substrate 17 always has a constant substrate bias Vsu.
b is applied to the previous read pulse XS
One field period from the occurrence of G to the generation of the current readout pulse XSG is a charge accumulation period, and signal charges are accumulated in each sensor unit 11 during this charge accumulation period. In this example, the field readout type CCD is used.
The case of a solid-state imaging device is described as an example.

【0028】一方、電子シャッタ動作モードでは、図6
に示すように、ある電圧ΔVsubのシャッタパルスS
Pが垂直同期期間中に1回(あるいは、数回)基板バイ
アスVsubに重畳されて基板17に印加されることに
より、電荷蓄積期間が制限される。すなわち、電圧ΔV
subのシャッタパルスSPが基板17に印加されるこ
とで、図3において、基板側のオーバーフローバリアO
FBが崩れ、それまでセンサ部11に蓄積されていた信
号電荷が基板17に排出される。そして、その排出時か
ら次の読み出しパルスXSGの発生時までの期間が電荷
蓄積期間(シャッタ速度)となる。
On the other hand, in the electronic shutter operation mode, FIG.
As shown in the figure, the shutter pulse S of a certain voltage ΔVsub
When P is superimposed on the substrate bias Vsub once (or several times) and applied to the substrate 17 during the vertical synchronization period, the charge accumulation period is limited. That is, the voltage ΔV
By applying the sub shutter pulse SP to the substrate 17, the overflow barrier O on the substrate side in FIG.
The FB collapses, and the signal charges accumulated in the sensor unit 11 up to that point are discharged to the substrate 17. Then, a period from the discharge to the generation of the next read pulse XSG is a charge accumulation period (shutter speed).

【0029】本発明では、この電子シャッタ動作の原理
を利用して、所定の動作モード時、例えば本CCD固体
撮像素子10を電子スチルカメラの撮像素子として用い
た場合において、電子スチルカメラに装備されている自
動焦点制御装置、自動アイリス制御装置、自動ホワイト
バランス制御装置など、CCD固体撮像素子10や光学
系の特性を自動的に制御する自動制御装置の処理を、C
CD固体撮像素子10の出力信号を用いて行う際に、当
該出力信号中に含まれるブルーミング、スミア成分を抑
制する点を特徴としている。
In the present invention, by utilizing the principle of the electronic shutter operation, in a predetermined operation mode, for example, when the CCD solid-state imaging device 10 is used as an imaging device of an electronic still camera, the electronic still camera is provided. The automatic control device that automatically controls the characteristics of the CCD solid-state imaging device 10 and the optical system, such as the automatic focus control device, the automatic iris control device, the automatic white balance control device, etc.
When using the output signal of the CD solid-state imaging device 10, it is characterized in that blooming and smear components included in the output signal are suppressed.

【0030】具体的には、図7に示すように、センサ部
11での受光後の少なくとも1垂直同期期間(1フィー
ルド)において、全ての水平ブランキング期間ごとにシ
ャッタパルスSPを電荷掃き捨てパルスとしてタイミン
グ発生回路21で発生し、この電荷掃き捨てパルスをシ
ャッタパルスSPと同様に基板バイアスVsubに重畳
して基板17に印加するようにする。
More specifically, as shown in FIG. 7, in at least one vertical synchronizing period (one field) after the light is received by the sensor unit 11, the shutter pulse SP is changed to a charge sweeping pulse every horizontal blanking period. The charge sweep-out pulse generated by the timing generation circuit 21 is superimposed on the substrate bias Vsub and applied to the substrate 17 similarly to the shutter pulse SP.

【0031】これにより、センサ部11内に信号電荷が
蓄積される期間は、1水平走査期間(1H)のみとな
る。したがって、過大な光がセンサ部11上に入射した
としても、信号電荷が蓄積される期間が短いので、セン
サ部11内で発生する信号電荷が過剰になることがな
い。その結果、過大な光の入射時であっても、信号電荷
が周辺の画素に溢れ出すことがないため、ブルーミング
成分が大幅に抑制されることになる。
Thus, the period during which signal charges are accumulated in the sensor section 11 is only one horizontal scanning period (1H). Therefore, even if excessive light is incident on the sensor unit 11, the signal charge is accumulated in a short period, so that the signal charge generated in the sensor unit 11 does not become excessive. As a result, even when an excessive amount of light is incident, the signal charges do not overflow into the surrounding pixels, so that the blooming component is largely suppressed.

【0032】なお、ここで、上述した処理が可能となる
のは、例えば電子スチルカメラにおいて、CCD固体撮
像素子10の出力信号を用いて自動焦点制御装置、自動
アイリス制御装置、自動ホワイトバランス制御装置等の
自動制御装置の制御を行う動作モードの際には、レンズ
のアイリスやシャッタ速度にフィードバックがかかるの
にある程度の時間を要するので、その間の信号を必ずし
も必要としないためである。
Here, the above processing can be performed, for example, in an electronic still camera, by using an output signal of the CCD solid-state imaging device 10, an automatic focus control device, an automatic iris control device, and an automatic white balance control device. In the operation mode for controlling the automatic control device such as that described above, it takes a certain time for feedback to be applied to the iris and shutter speed of the lens, so that a signal during the period is not necessarily required.

【0033】図7において、電荷掃き捨てパルスの点線
の領域は、電荷掃き捨てパルスの発生期間の可変幅を示
しており、また本実施形態では、1フィールドおきに信
号電荷を読み出すようにしている。これは、電子スチル
カメラにおいて、自動焦点制御装置、自動アイリス制御
装置、自動ホワイトバランス制御装置等の自動制御装置
のフィードバック制御をより精度良く行うためである。
In FIG. 7, the area indicated by the dotted line of the charge sweeping-out pulse indicates the variable width of the generation period of the charge sweeping-out pulse. In the present embodiment, the signal charge is read out every other field. . This is because in an electronic still camera, feedback control of automatic control devices such as an automatic focus control device, an automatic iris control device, and an automatic white balance control device is performed with higher accuracy.

【0034】すなわち、各フィールドごとに信号電荷を
読み出すようにしたのでは、1フィールドの途中のライ
ンまでの画素情報しか読めなく、したがって1フィール
ドの一部分の画素情報に基づいてしかフィードバック制
御を行うことができなくなるが、1フィールドおきに信
号電荷を読み出すようにすることで、1フィールドの全
画素情報に基づいてフィードバック制御を行うことがで
きるため、その制御をより精度良く行うことができるこ
とになる。
That is, if the signal charges are read out for each field, only the pixel information up to the line in the middle of one field can be read. Therefore, the feedback control is performed only based on the pixel information of a part of one field. However, by reading out the signal charges every other field, the feedback control can be performed based on all the pixel information of one field, so that the control can be performed with higher accuracy.

【0035】本実施形態ではさらに、センサ部11から
の信号電荷の読み出し直前に、垂直CCD13中の電荷
を掃き捨てるために、垂直CCD13を高速転送駆動す
る。垂直CCD13の高速転送駆動は、タイミング発生
回路21で発生する垂直転送クロックφV1〜φV4の
周波数を高く設定することで実現できる(図7において
は、高速転送クロックがこれに相当する)。この高速転
送駆動により、信号電荷の読み出し以前に垂直CCD1
3内に蓄積されていたスミア、ブルーミング、ダーク
(暗電流)成分が水平CCD15を介して掃き捨てられ
るので、CCD固体撮像素子10の出力信号としてスミ
ア、ブルーミング、ダーク成分が抑制されたより良好な
信号が得られる。
In this embodiment, the vertical CCD 13 is driven at a high speed just before reading out the signal charge from the sensor section 11 in order to sweep out the electric charge in the vertical CCD 13. The high-speed transfer driving of the vertical CCD 13 can be realized by setting the frequency of the vertical transfer clocks φV1 to φV4 generated by the timing generation circuit 21 high (in FIG. 7, the high-speed transfer clock corresponds to this). By this high-speed transfer drive, the vertical CCD 1 is read before the signal charge is read.
Since the smear, blooming, and dark (dark current) components accumulated in 3 are swept away through the horizontal CCD 15, a better signal in which the smear, blooming, and dark components are suppressed is output as the CCD solid-state imaging device 10. Is obtained.

【0036】これにより、例えば、CCD固体撮像素子
10の高画素化および光学系の縮小化、即ち画素サイズ
の縮小化が図られ、デバイスの構造上において、ブルー
ミングやスミア成分が増えたとしても、例えば電子スチ
ルカメラに適用された場合における各自動制御装置の制
御を行う動作モードでは、CCD固体撮像素子10の出
力信号中に含まれるブルーミングやスミア成分を抑制で
きるので、CCD固体撮像素子10の画素サイズの縮小
化にも対応できることになる。
As a result, for example, the number of pixels of the CCD solid-state imaging device 10 and the size of the optical system are reduced, that is, the pixel size is reduced. Even if blooming and smear components increase in the device structure, For example, in an operation mode for controlling each automatic control device when applied to an electronic still camera, blooming and smear components contained in an output signal of the CCD solid-state imaging device 10 can be suppressed. It will be possible to cope with the reduction in size.

【0037】なお、上述した動作モードでは、1フィー
ルドおきに信号電荷を読み出すようにしたことで、1フ
ィールドおきにしか画像情報が得られないが、フレーム
メモリを用い、受光した信号出力をフレームレート変換
することにより、動画表示も実現可能となる。
In the above-described operation mode, signal charges are read out every other field, so that image information can be obtained only every other field. By performing the conversion, moving image display can be realized.

【0038】また、上記実施形態においては、インター
ライン転送方式のCCD固体撮像素子に適用した場合に
ついて説明したが、本発明は、これに限定されるもので
はなく、インターライン転送方式以外の方式のCCD固
体撮像素子にも同様に適用可能である。
Further, in the above embodiment, the case where the present invention is applied to an interline transfer type CCD solid-state imaging device has been described. However, the present invention is not limited to this. The present invention is similarly applicable to a CCD solid-state imaging device.

【0039】図8は、本発明によるCCD固体撮像素子
10を撮像素子として用いた例えば電子スチルカメラの
概略構成図である。図8において、被写体(図示せず)
からの光は、レンズ51およびアイリス(絞り)52等
の光学系を経てCCD固体撮像素子53の撮像エリアに
入射する。CCD固体撮像素子53としては、上述した
本実施形態に係るCCD固体撮像素子が用いられる。こ
のCCD固体撮像素子53の出力信号は、信号処理回路
54において自動ホワイトバランス制御などの種々の信
号処理が行われる。
FIG. 8 is a schematic configuration diagram of, for example, an electronic still camera using the CCD solid-state imaging device 10 according to the present invention as an imaging device. In FIG. 8, a subject (not shown)
Is incident on an imaging area of a CCD solid-state imaging device 53 through an optical system such as a lens 51 and an iris (aperture) 52. As the CCD solid-state imaging device 53, the above-described CCD solid-state imaging device according to the present embodiment is used. The output signal of the CCD solid-state imaging device 53 is subjected to various signal processing such as automatic white balance control in a signal processing circuit 54.

【0040】この信号処理回路54には、自動ホワイト
バランス制御を実現するために、入力信号をR(赤),
G(緑),B(青)の原色信号(以下、R,G,B信号
と称する)に分離する原色分離回路541と、R,G,
B信号の相互間のゲインを調整することによってホワイ
トバランスをとるホワイトバランスアンプ542R,5
42G,542Bが設けられている。ここに、ホワイト
バランスをとるとは、R,G,B信号の比率を等しくす
ることである。
In order to realize automatic white balance control, the signal processing circuit 54 receives input signals R (red),
A primary color separation circuit 541 for separating into primary color signals of G (green) and B (blue) (hereinafter referred to as R, G, B signals);
White balance amplifiers 542R and 542R for obtaining white balance by adjusting the gain between the B signals.
42G and 542B are provided. Here, to take the white balance means to make the ratios of the R, G, and B signals equal.

【0041】なお、本例では、ホワイトバランスアンプ
542Gのゲインを固定とし、G信号を基準として他の
2つのホワイトバランスアンプ542R,542Bの各
ゲインをコントロールすることによって、ホワイトバラ
ンスの調整が行われる。したがって、G信号に対するホ
ワイトバランスアンプ542Gを省略することも可能で
ある。
In this embodiment, the white balance is adjusted by fixing the gain of the white balance amplifier 542G and controlling the gains of the other two white balance amplifiers 542R and 542B based on the G signal. . Therefore, the white balance amplifier 542G for the G signal can be omitted.

【0042】信号処理回路54の出力信号は、撮像信号
として外部に導出されるとともに、検波回路55に供給
される。この検波回路55は、信号処理回路54を経た
CCD固体撮像素子53の出力信号を時間的に積分して
検波電圧を得る。この検波電圧は、カメラシステム全体
の制御を司る例えばCPUなどによって構成された制御
回路56に供給される。
The output signal of the signal processing circuit 54 is derived to the outside as an image pickup signal, and is supplied to a detection circuit 55. The detection circuit 55 temporally integrates the output signal of the CCD solid-state imaging device 53 that has passed through the signal processing circuit 54 to obtain a detection voltage. This detection voltage is supplied to a control circuit 56 configured by, for example, a CPU or the like that controls the entire camera system.

【0043】制御回路56は、検波回路55からの検波
電圧に基づいて、ホワイトバランスアンプ542R,5
42Bの各ゲインをコントロールすることによってホワ
イトバランスをとるためのホワイトバランス制御信号を
生成して信号処理回路54に供給し、またアイリス52
の開度を制御することによって露光を調整するためのア
イリス制御信号を生成してアイリス52の駆動系57に
供給し、さらに51の光軸方向の位置を制御することに
よって焦点を調整するための焦点制御信号をレンズ51
の駆動系58に供給する。
The control circuit 56 controls the white balance amplifiers 542R and 542R based on the detection voltage from the detection circuit 55.
A white balance control signal for obtaining white balance by controlling each gain of the iris 52B is supplied to the signal processing circuit 54.
An iris control signal for adjusting the exposure by controlling the opening of the iris is supplied to the drive system 57 of the iris 52, and further, the focus is adjusted by controlling the position of the iris 52 in the optical axis direction. Focus control signal to lens 51
Is supplied to the driving system 58.

【0044】上述したように、自動焦点制御装置、自動
アイリス制御装置、自動ホワイトバランス制御装置等の
自動制御装置を装備した電子スチルカメラにおいて、撮
像素子として本発明によるCCD固体撮像素子10を用
いたことで、当該CCD固体撮像素子10からは、スミ
ア、ブルーミング、ダーク成分が抑制された出力信号が
得られるので、当該出力信号に基づいて各制御の処理を
より正確に行うことができ、各機能の高精度化が図れ
る。
As described above, the CCD solid-state image pickup device 10 according to the present invention is used as an image pickup device in an electronic still camera equipped with an automatic control device such as an automatic focus control device, an automatic iris control device, and an automatic white balance control device. As a result, an output signal in which smear, blooming, and dark components are suppressed can be obtained from the CCD solid-state imaging device 10, so that each control process can be performed more accurately based on the output signal. Accuracy can be improved.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
例えば固体撮像素子の出力信号を各種の制御系の処理に
用いる動作モード時に、複数のセンサ部での受光後の少
なくとも1垂直同期期間において全ての水平ブランキン
グ期間ごとに電荷掃き捨てパルスを固体撮像素子の基板
に印加するようにしたことにより、各センサ部内に信号
電荷が蓄積される期間が1水平走査期間のみとなり、過
大な光がセンサ部上に入射しても、信号電荷が蓄積され
る期間が短いので、センサ部内で発生する信号電荷が過
剰になることがなく、固体撮像素子の出力信号中のブル
ーミング成分を大幅に抑制できることになる。
As described above, according to the present invention,
For example, in an operation mode in which an output signal of a solid-state imaging device is used for processing of various control systems, a charge sweeping pulse is output for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by a plurality of sensor units. By applying the voltage to the element substrate, the signal charge is accumulated in each sensor section only during one horizontal scanning period. Even if excessive light is incident on the sensor section, the signal charge is accumulated. Since the period is short, the signal charge generated in the sensor unit does not become excessive, and the blooming component in the output signal of the solid-state imaging device can be largely suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る固体撮像装置の概略構成図であ
る。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a solid-state imaging device according to the present invention.

【図2】センサ部周辺の断面構造図である。FIG. 2 is a cross-sectional structure diagram around a sensor unit.

【図3】センサ部の深さ方向のポテンシャル分布図であ
る。
FIG. 3 is a potential distribution diagram in a depth direction of a sensor unit.

【図4】CCD固体撮像素子の基本動作のタイミングチ
ャートである。
FIG. 4 is a timing chart of a basic operation of the CCD solid-state imaging device.

【図5】通常動作時のタイミングチャートである。FIG. 5 is a timing chart during normal operation.

【図6】電子シャッタ動作時のタイミングチャートであ
る。
FIG. 6 is a timing chart during an electronic shutter operation.

【図7】本実施形態に係る動作時のタイミングチャート
である。
FIG. 7 is a timing chart during operation according to the embodiment.

【図8】本発明に係る電子スチルカメラの概略構成図で
ある。
FIG. 8 is a schematic configuration diagram of an electronic still camera according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 CCD固体撮像素子 11 センサ部 12
読み出しゲート部 13 垂直CCD 15 水平CCD 17 半導
体基板 21 タイミング発生回路 24 基板バイアス発生
回路
10 CCD solid-state imaging device 11 Sensor unit 12
Readout gate unit 13 Vertical CCD 15 Horizontal CCD 17 Semiconductor substrate 21 Timing generation circuit 24 Substrate bias generation circuit

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
のセンサ部およびこれらのセンサ部から読み出された信
号電荷を転送する転送部を有する固体撮像素子と、 所定の動作モード時に前記複数のセンサ部での受光後の
少なくとも1垂直同期期間において全ての水平ブランキ
ング期間ごとに電荷掃き捨てパルスを前記固体撮像素子
の基板に印加する駆動系とを備えたことを特徴とする固
体撮像装置。
1. A solid-state imaging device having a plurality of sensor units arranged in a matrix for performing photoelectric conversion and a transfer unit for transferring signal charges read from these sensor units, and a plurality of the plurality of sensor units in a predetermined operation mode. A drive system for applying a charge sweep-out pulse to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by the sensor unit. .
【請求項2】 前記駆動系は、前記複数のセンサ部から
前記転送部への信号電荷の読み出し直前に、前記転送部
中の電荷を掃き捨てるべく前記転送部を高速転送駆動す
ることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
2. The driving system according to claim 1, wherein the driving unit drives the transfer unit at a high speed to sweep out the charges in the transfer unit immediately before reading the signal charges from the plurality of sensor units to the transfer unit. The solid-state imaging device according to claim 1.
【請求項3】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
のセンサ部およびこれらのセンサ部から読み出された信
号電荷を転送する転送部を有する固体撮像素子を備えた
固体撮像装置において、 所定の動作モード時に前記複数のセンサ部での受光後の
少なくとも1垂直同期期間において全ての水平ブランキ
ング期間ごとに電荷掃き捨てパルスを前記固体撮像素子
の基板に印加することを特徴とする駆動方法。
3. A solid-state imaging device comprising: a plurality of sensor units arranged in a matrix and performing photoelectric conversion; and a solid-state imaging device having a transfer unit that transfers signal charges read from the sensor units. A driving method comprising applying a charge sweeping-out pulse to the substrate of the solid-state imaging device in every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by the plurality of sensor units in the operation mode.
【請求項4】 前記複数のセンサ部から前記転送部への
信号電荷の読み出し直前に、前記転送部中の電荷を掃き
捨てるべく前記転送部を高速転送駆動することを特徴と
する請求項3記載の駆動方法。
4. The transfer unit according to claim 3, wherein immediately before reading out the signal charges from the plurality of sensor units to the transfer unit, the transfer unit is driven at high speed so as to sweep out the charges in the transfer unit. Drive method.
【請求項5】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
のセンサ部およびこれらのセンサ部から読み出された信
号電荷を転送する転送部を有する固体撮像素子と、所定
の動作モード時に前記複数のセンサ部での受光後の少な
くとも1垂直同期期間において全ての水平ブランキング
期間ごとに電荷掃き捨てパルスを前記固体撮像素子の基
板に印加する駆動系とを備えた固体撮像装置と、 前記固体撮像素子の撮像エリアに対して入射光を導く光
学系と、 前記固体撮像素子の出力信号に基づいて前記固体撮像素
子および前記光学系の特性を自動的に制御する自動制御
装置とを具備することを特徴とするカメラ。
5. A solid-state imaging device having a plurality of sensor units arranged in a matrix for performing photoelectric conversion, and a transfer unit for transferring signal charges read from these sensor units, and a plurality of said plurality of sensor units in a predetermined operation mode. A driving system for applying a charge sweeping pulse to the substrate of the solid-state imaging device for every horizontal blanking period in at least one vertical synchronization period after light reception by the sensor unit; An optical system that guides incident light to an imaging area of the device; and an automatic controller that automatically controls characteristics of the solid-state imaging device and the optical system based on an output signal of the solid-state imaging device. Features camera.
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