JPH10132613A - 光電式エンコーダ - Google Patents

光電式エンコーダ

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JPH10132613A
JPH10132613A JP9139932A JP13993297A JPH10132613A JP H10132613 A JPH10132613 A JP H10132613A JP 9139932 A JP9139932 A JP 9139932A JP 13993297 A JP13993297 A JP 13993297A JP H10132613 A JPH10132613 A JP H10132613A
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scale
light
measurement light
measurement
photoelectric conversion
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JP9139932A
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Hideki Kanbayashi
秀樹 神林
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Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、光電式エンコーダに関し、異なる
材質のスケールを用いても、測定精度が低下しない光電
式エンコーダを提供することを目的とする。 【解決手段】 測定光を照射する光源1と、その測定光
を重畳する光学素子を有する第1のスケール2と、第1
のスケール2に沿って併設され、測定光を透過する基準
板3と、2列の開口部が設けられ、1列目の開口部は光
学素子によって重畳された測定光を透過し、2列目の開
口部は基準板3の透過光を透過する第2のスケール4
と、1列目の開口部の透過光を光電変換する第1の光電
変換手段5と、2列目の開口部の透過光を光電変換する
第2の光電変換手段6と、第2の光電変換手段6で変換
される信号をしきい値として、第1の光電変換手段5で
変換される信号をパルス整形するパルス整形手段7とを
備え、第1のスケール2または第2のスケール4は、測
定方向に相対的に移動可能なことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光電式エンコーダ
に関し、特に、スケールに測定光を屈折重畳するV字状
の溝と測定光を透過する基準板とを設けた光電式エンコ
ーダに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、測長、測角用の光電式エンコー
ダとして、リニアエンコーダ、ロータリエンコーダが知
られている。通常、光電式エンコーダは2枚のスケール
と、それを挟んで光源と受光素子とが配置される構成に
なっている。
【0003】2枚のスケールのうち、被測定物としての
移動体または回転体に取り付けられて、被測定物と一体
となって動くスケールをメインスケールと呼び、メイン
スケールに対向して、所定位置に固定されるスケールを
インデックススケールと呼ぶ。メインスケールが、イン
デックススケールに対して相対的に移動すると、両スケ
ールを透過する測定光の光量が変化する。この光量の変
化からメインスケールの移動量、すなわち被測定物の変
位量が検出される。
【0004】各スケールに測定光を透過する透過部と測
定光を遮光する遮光部とが設けられている光電式エンコ
ーダでは、光源の半分の光量しか利用できないという問
題点があった。また、スケールの遮光部によって遮光さ
れるときに反射光が生じ、それが迷光となって、測定精
度を低下させる要因になっていた。
【0005】これらの問題点を解決するために、本出願
人により、特公平2−37963号公報に記載の光電式
エンコーダが提案されている。この光電式エンコーダの
特徴点は、透過部および遮光部の代わりに複数のV字状
の溝を、メインスケールに形成している点である。以
下、この方式をマイクロプリズム式エンコーダという。
【0006】図12において、マイクロプリズム式エン
コーダについて説明する。図12(a)において、光源
51から測定光が照射される。その測定光はコリメータ
レンズ52を介して、メインスケール53に垂直に入射
する。
【0007】メインスケール53のV字状の溝がプリズ
ムの働きをして光を屈折させる。測定光が重畳的に交わ
り、所定位置に明暗縞を形成する。その様子を図12
(b)に示す。明暗縞が形成される位置にインデックス
スケール54が配置されており、インデックススケール
54には、透過部と遮光部とが設けられている。
【0008】インデックススケール54の透過光を受光
素子55a、55bが受光する。メインスケール53が
移動すると、その移動に応じて受光素子55aで受光さ
れる光量が変動する。図13(a)に示すように、受光
素子55aの出力信号は、理想的には三角波に、実際に
は正弦波に近い波形になる。その受光量の変動に基づい
て、移動量が検出される。
【0009】このように、マイクロプリズム式エンコー
ダは、従来の光電式エンコーダと比較すると、インデッ
クススケールを透過する光量が2倍になり、光源の光量
を有効的に使用することができる。また、メインスケー
ルで遮光することがないので、測定時に迷光の影響を受
けることがなく、S/Nの向上を図ることができる。
【0010】ところで、一般に、マイクロプリズム式エ
ンコーダを含めた光電式エンコーダでは、光源としてL
EDを使用している。LEDの特徴として、量産された
LEDには、発光量にばらつきがあり、温度によっても
発光量に差が生じた。このため、この発光量の変動を補
償する方式として、従来では次の方法を採っていた。
【0011】まず、インデックススケールに位相を18
0゜ずらした2つの透過部を設けた。これは、図12
(a)に示したインデックススケール54の上側部分の
透過部と、下側部分の透過部とに相当する。この2つの
透過部を透過する測定光は、位相が180゜ずれてい
る。
【0012】インデックススケール54の上側部分を透
過した測定光は、受光素子55aで受光され、下側部分
を透過した測定光は、受光素子55bで受光される。図
13(a)、(b)に示すように、受光素子55a、5
5bの出力信号は、位相が180゜ずれている。次に、
図13(c)に示すように、この2つの波形の差を取
り、その波形のゼロをしきい値とし、パルス波を形成す
る。
【0013】このような補償により、LEDの個体差
や、温度によって発光量が変動しても、移動量の検出に
支障をきたすことがなく、測定精度を維持することがで
きる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この補
償方式では様々な要因によって、2つの波形の位相差が
180゜よりずれてしまう現象が起こった。
【0015】その要因としては、例えば、メインスケー
ルとインデックススケールとの材質が異なる場合が挙げ
られる。材質が異なると、熱による線膨張係数が異なる
ために位相差にずれを生じてしまう。また、メインスケ
ールとインデックススケールとの取り付けが悪いとき、
例えば、両スケールがLED光軸に垂直な面に対して傾
いたときにも位相差がずれてしまう。
【0016】このような理由から、2つの波形の位相差
が180゜よりずれてしまうと、図14に示すように、
2つの波形の差を取った波形の振幅が小さくなり、S/
Nの低下を招くという問題点があった。このため、被測
定物の移動量を正確に検出することが困難になった。す
なわち、この補償方式では、2つの波形の位相差がずれ
た場合には発光量の変動を適正に補償することができ
ず、測定精度を著しく低下させてしまうという問題点が
あった。
【0017】マイクロプリズム式エンコーダでは、メイ
ンスケールまたはインデックススケールのうち一方のス
ケールに、V字状の溝を形成するため、製造工程上プラ
スチックを用いることが望ましかった。他方のスケール
には、透過部と遮光部とを形成するために、ガラスにク
ロム等を蒸着させるという従来の製造工程を経なければ
ならなかった。このため、プラスチックとガラスという
線形膨張係数の異なる材質を用いるため、温度変化時の
位相ずれが問題となっていた。
【0018】以上の点に鑑みて、請求項1〜3に記載の
発明は、上述の問題点を解決するために、メインスケー
ルとインデックススケールとで異なる材質を用いても、
測定精度が低下しない光電式エンコーダを提供すること
を目的とする。請求項4に記載の発明は、請求項1の目
的と併せて、軽量かつ安価な光電式エンコーダを提供す
ることを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】図1は、請求項1に記載
の発明の原理ブロック図である。請求項1に記載の発明
は、測定光を照射する光源1と、光源1から照射される
測定光を、屈折作用により重畳もしくは集光する光学素
子を一列に配列し、空間上に明暗縞を形成する第1のス
ケール2と、第1のスケール2に沿って併設され、測定
光を透過もしくは反射する基準板3と、明暗縞に垂直な
方向に2列の開口部が設けられ、1列目の開口部は、光
学素子によって重畳もしくは集光された測定光を透過
し、2列目の開口部は、基準板3によって透過もしくは
反射された測定光を透過する第2のスケール4と、1列
目の開口部を透過する測定光を受光し、電気信号に変換
する第1の光電変換手段5と、2列目の開口部を透過す
る測定光を受光し、電気信号に変換する第2の光電変換
手段6と、第2の光電変換手段6から出力される信号を
しきい値として、第1の光電変換手段5から出力される
信号をパルス整形するパルス整形手段7とを備え、第1
のスケール2または第2のスケール4の少なくとも1つ
は、測定方向に相対的に移動可能なことを特徴とする。
【0020】図2は、請求項2に記載の発明の原理ブロ
ック図である。請求項2に記載の発明は、測定光を照射
する光源1と、光源1から照射される測定光を、屈折作
用により重畳もしくは集光する光学素子を一列に配列
し、空間上に明暗縞を形成する第1のスケール2と、第
1のスケール2に沿って併設され、測定光を透過もしく
は反射する基準板3と、光学素子によって重畳もしくは
集光された測定光を透過する第1の開口部が設けられた
第2のスケール8と、基準板3を介して照射される測定
光を透過する第2の開口部が設けられ、かつ第2のスケ
ール8に沿って併設される透過板9と、第1の開口部を
透過する測定光を受光し、電気信号に変換する第1の光
電変換手段5と、第2の開口部を透過する測定光を受光
し、電気信号に変換する第2の光電変換手段6と、第2
の光電変換手段6から出力される信号をしきい値とし
て、第1の光電変換手段5から出力される信号をパルス
整形するパルス整形手段7とを備え、第1のスケール2
または第2のスケール8の少なくとも1つは、測定方向
に相対的に移動可能なことを特徴とする。
【0021】図3は、請求項3に記載の発明の原理ブロ
ック図である。請求項3に記載の発明は、測定光を照射
する光源1と、光源1から照射される測定光を、屈折作
用により重畳もしくは集光する光学素子を一列に配列
し、空間上に明暗縞を形成する第1のスケール2と、光
学素子によって重畳もしくは集光された測定光を透過す
る第1の開口部が設けられた第2のスケール8と、第1
のスケール2を介さずに光源1から直接照射される測定
光を透過する第2の開口部が設けられ、かつ第2のスケ
ール8に沿って併設される透過板9と、第1の開口部を
透過する測定光を受光し、電気信号に変換する第1の光
電変換手段5と、第2の開口部を透過する測定光を受光
し、電気信号に変換する第2の光電変換手段6と、第2
の光電変換手段6から出力される信号をしきい値とし
て、第1の光電変換手段5から出力される信号をパルス
整形するパルス整形手段7とを備え、第1のスケール2
または第2のスケール8の少なくとも1つは、測定方向
に相対的に移動可能なことを特徴とする。
【0022】請求項4に記載の発明は、請求項1ないし
請求項3のいずれか1項に記載の光電式エンコーダにお
いて、第1のスケール2は、プラスチックであることを
特徴とする。
【0023】(作用)請求項1に記載の光電式エンコー
ダでは、光源1は測定光を照射する。
【0024】第1のスケール2には、光学素子が一列に
配列されている。この光学素子は、屈折作用により光源
1からの測定光を重畳もしくは集光する。したがって、
第1のスケール2の光学素子を透過する測定光は、空間
上に明暗縞を形成する。また、基準板3は、第1のスケ
ール2に沿って併設されている。この基準板3は、光源
1からの測定光を透過もしくは反射する。
【0025】さらに、第2のスケール4には、明暗縞の
垂直方向に2列の開口部が設けられている。1列目の開
口部は、第1のスケール2の光学素子によって重畳もし
くは集光された測定光を透過する。また、2列目の開口
部は、基準板3によって透過もしくは反射された測定光
を透過する。一方、第1の光電変換手段5は、光学素子
および第2のスケール4の1列目の開口部を透過した測
定光を受光し、光電変換を行う。
【0026】また、第2の光電変換手段6は、基準板3
および第2のスケール4の2列目の開口部を透過した測
定光を受光し、光電変換を行う。次に、パルス整形手段
7は、第2の光電変換手段6で変換された電気信号をし
きい値として、第1の光電変換手段5で変換される電気
信号をパルス整形する。また、本発明の光電式エンコー
ダでは、第1のスケール2もしくは第2のスケール4の
少なくとも一方は、測定方向に相対的に移動可能であ
る。なお、第1のスケール2に併設される基準板3につ
いては、第1のスケール2と共に移動してもよいし、移
動せずに固定された状態ままでもよい。
【0027】請求項2に記載の光電式エンコーダでは、
光源1からの測定光は、第1のスケール2を透過すると
空間上に明暗縞を形成する。これは、第1のスケール2
には光学素子が一列に配列されており、測定光がこの光
学素子を透過する際に屈折され、重畳または集光される
からである。基準板3は、第1のスケール2に沿って併
設されており、光源1からの測定光を透過もしくは反射
する。
【0028】第2のスケール8には、光学素子により重
畳もしくは集光された測定光を透過する第1の開口部が
設けられている。さらに、この第2のスケール8に沿っ
て透過板9が併設されている。この透過板9には、基準
板3を介して照射される測定光を透過するための第2の
開口部が設けられている。
【0029】一方、第1の光電変換手段5は、光学素子
および第1の開口部を透過した測定光を受光し、光電変
換を行う。また、第2の光電変換手段6は、基準板3お
よび第2の開口部を透過した測定光を受光し、光電変換
を行う。次に、パルス整形手段7は、第2の光電変換手
段6で変換された電気信号をしきい値として、第1の光
電変換手段5で変換される電気信号をパルス整形する。
【0030】また、本発明の光電式エンコーダでは、第
1のスケール2もしくは第2のスケール8の少なくとも
一方は、測定方向に相対的に移動可能である。なお、第
1のスケール2に併設される基準板3および第2のスケ
ール8に併設される透過板9については、第1のスケー
ル2や、第2のスケール8と共に移動してもよいし、移
動せずに固定されたままの状態でもよい。
【0031】請求項3に記載の光電式エンコーダでは、
光源1からの測定光は、第1のスケール2を透過すると
空間上に明暗縞を形成する。これは、第1のスケール2
には光学素子が一列に配列されており、測定光がこの光
学素子を透過する際に屈折され、重畳または集光される
からである。第2のスケール8には、光学素子により重
畳もしくは集光された測定光を透過する第1の開口部が
設けられている。
【0032】さらに、この第2のスケール8に沿って透
過板9が併設される。この透過板9には、第1のスケー
ル2を介さずに直接光源1から照射される測定光を透過
するための第2の開口部が設けられている。一方、第1
の光電変換手段5は、光学素子および第1の開口部を透
過した測定光を受光し、光電変換を行う。
【0033】また、第2の光電変換手段6は、透過板9
の第2の開口部を透過した測定光を受光し、光電変換を
行う。次に、パルス整形手段7は、第2の光電変換手段
6で変換された電気信号をしきい値として、第1の光電
変換手段5で変換される電気信号をパルス整形する。ま
た、本発明の光電式エンコーダでは、第1のスケール2
もしくは第2のスケール8の少なくとも一方は、測定方
向に相対的に移動可能である。なお、第2のスケール8
に併設される透過板9については、第2のスケール8と
共に移動してもよいし、移動せずに固定されたままの状
態でもよい。
【0034】請求項4に記載の光電式エンコーダでは、
第1のスケール2はプラスチックで形成されている。
【0035】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
形態を説明する。
【0036】(第1の実施形態)図4は、第1の実施形
態(請求項1、4に記載の発明に対応する)の構成図で
ある。図4において、光源21の測定光が照射される位
置に、コリメータレンズ22が配置され、コリメータレ
ンズ22の光軸上に、メインスケール23およびインデ
ックススケール24が配置される。
【0037】なお、メインスケール23は無色透明なア
クリルで、測定方向に駆動可能である。なお、アクリル
以外の材質として、ポリカーボネート、ポリスチレン等
が使用できる。メインスケール23は、上下で異なる構
造を採っている。メインスケール23の上側部分の、イ
ンデックススケール24側の面には、メインスケール2
3の縦方向にV字状の溝25が形成されている。また、
下側部分には、測定光をそのまま透過する平面部26が
形成されている。
【0038】インデックススケール24の上側部分に
は、透過部(請求項1に記載の開口部に対応する)と遮
光部とを有したパターン24aが、メインスケール23
の駆動方向(後述の明暗縞の垂直方向)に形成されてい
る。このパターン24aの形成方法としては、ガラスで
あるインデックススケール24にクロム等を蒸着して形
成する。
【0039】パターン24aには、V字状の溝25によ
って屈折された測定光が照射され、パターン24a上に
明暗縞が形成される。透過部および遮光部の横幅は、こ
の明暗縞の間隔と等しくなるように設計されている。イ
ンデックススケール24の下側部分にも、同様に透過部
と遮光部とを有したパターン24bが形成されている。
このパターン24bには、平面部26を透過した測定光
が照射される。
【0040】また、パターン24bの透過部の合計面積
は、パターン24aの透過部の合計面積と同じになるよ
うに設計されている。ここでは、パターン24aとパタ
ーン24bとは同一パターンである。
【0041】さらに、パターン24aを透過した測定光
を受光する位置に、受光素子27aが配置され、パター
ン24bを透過した測定光を受光する位置に受光素子2
7bが配置される。受光素子27aおよび受光素子27
bの出力端子は、それぞれプリアンプ28a、プリアン
プ28bの入力端子と接続される。
【0042】このとき、プリアンプ28aとプリアンプ
28bとは、全く同じ回路構成でよい。プリアンプ28
a、28bの出力端子は、波形整形回路29の入力端子
と接続され、波形整形回路29の出力端子は、マイクロ
プロセッサ30と接続される。なお、請求項1、4に記
載の発明と、第1の実施形態との対応関係については、
光源1は光源21に対応し、第1のスケール2はメイン
スケール23のV字状の溝25に対応し、基準板3はメ
インスケール23の平面部26に対応し、第2のスケー
ル4はインデックススケール24に対応し、第1の光電
変換手段5は受光素子27aに対応し、第2の光電変換
手段6は受光素子27bに対応し、パルス整形手段7は
波形整形回路29に対応する。
【0043】図5は、第1の実施形態の動作を説明する
流れ図である。以下、第1の実施形態の動作を図5、図
6を用いて説明する。光源21のLEDから測定光が照
射され、その測定光はコリメータレンズ22で平行光束
に直され、メインスケール23に入射する。図6(a)
に示すように、測定光はメインスケール23のV字状の
溝25を透過するときに、V字状の斜面で屈折し、ある
距離のところで重なり、明暗縞を形成する。
【0044】明暗縞が形成される位置には、インデック
ススケール24が配置されている。インデックススケー
ル24は、V字状の溝25によって重畳された測定光の
うち、パターン24aの透過部に達した光のみを透過す
る。
【0045】一方、図6(b)に示すように、光源21
からの測定光は、平面部26をそのまま透過する。この
透過光はインデックススケール24に達し、パターン2
4bの透過部を介して受光素子27bに達する。受光素
子27aは、パターン24aを透過した測定光を受光
し、光電変換する(ステップS1)。このとき、メイン
スケール23が測定方向に駆動すると、受光素子27a
の出力信号は、理想的には三角波になる。
【0046】しかし、実際には、光束が完全に平行でな
いなどの理由により、受光される光量の最大値は理想の
最大値より小さくなり、また、受光される光量の最小値
はゼロにならず、図6(c)に示すように、受光素子2
7aの出力信号は正弦波に近い波形になる。一方、受光
素子27bはパターン24bを透過した測定光を受光
し、光電変換する(ステップS2)。このとき、受光素
子27bの出力信号は、一定値の直流信号になる。
【0047】波形整形回路29は、受光素子27bの一
定値の直流信号をしきい値にして、受光素子27aの正
弦波状の信号を、パルス波に変換する(ステップS
3)。ここでパルス波の形成について、図6(c)を用
いて説明する。パターン24aとパターン24bとは、
同一パターンであり、透過部の合計面積は等しい。した
がって、パターン24aが、重なり合った測定光を全て
透過するとき、その光量は、パターン24bを透過する
光量の2倍になる。
【0048】波形整形回路29は、受光素子27bの直
流信号をしきい値として、受光素子27aの出力信号を
パルス波に変換するが、このとき、受光素子27bの直
流信号は、受光素子27aの出力波形の振幅の中心値と
ほぼ一致する。したがって、正弦波状の信号の場合で
は、常に直流信号が正弦波状の信号のほぼ中心に現れる
ため、発光量の変動によってパルス波のデューティが変
化したり、パルス波に変換できないという事態を回避す
ることができ、発光量の変動を的確に補償することがで
きる。
【0049】次に、マイクロプロセッサ30は、このパ
ルス波をカウントすることで、メインスケール23の移
動量を算出し(ステップS4)、被測定物の移動量を検
出する。このように、第1の実施形態の光電式エンコー
ダでは、平面部26およびインデックススケール24の
パターン24bを透過した測定光の光量をしきい値とし
て、V字状の溝25およびインデックススケール24の
パターン24aを透過した測定光の光量をパルス整形す
る。
【0050】したがって、メインスケール23にプラス
チックを使用しても、また、メインスケール23とイン
デックススケール24との取り付け精度が多少低下して
も、発光量の変動の補償を適正に行うことができる。ま
た、第1の実施形態の光電式エンコーダでは、メインス
ケール23にプラスチックを使用しているので、メイン
スケール23を軽量化することができる。さらに、駆動
部がメインスケール23を駆動する場合には、その駆動
部にかかる負荷を低減することができ、駆動部自体を小
型化することができる。
【0051】(第2の実施形態)次に、本発明の光電式
エンコーダをカメラのAF制御に利用した第2の実施形
態について説明する。図7は、第2の実施形態(請求項
1、4に記載の発明に対応する)の構成図である。
【0052】図7において、レンズ鏡筒31には、光軸
方向に駆動可能なレンズ32が配置されている。レンズ
32は移動枠33に固定されており、移動枠33は、固
定筒34の内周に摺動可能に嵌合されている。固定部3
5には、モータ36が配置され、モータ36の動力は、
歯車37およびギヤ部39を介してギヤ筒38に伝達さ
れる。また、ギヤ筒38は、固定筒34の外周に回転自
在に嵌合されている。
【0053】また、移動枠33には、ピン40が立てら
れており、ピン40は固定筒34に切られたカムと、ギ
ヤ筒38に切られた直進溝に係合している。モータ36
によって、ギヤ筒38が回転すると、固定筒34に切ら
れたカムに沿って、移動枠33およびレンズ32が回転
しながら光軸方向に移動する。レンズ鏡筒31には、ギ
ヤ筒38の回転角度を検出するためのロータリエンコー
ダ41が配置されている。
【0054】ロータリエンコーダ41は、ギヤ筒38の
回転角度を検出することによって、レンズ32の光軸方
向の移動量を検出することができる。ロータリエンコー
ダ41は、メインスケール42と、インデックススケー
ル43と、発光素子44と、受光素子45a、45bと
から構成される。メインスケール42は、第1の実施形
態と同様にV字状の溝25と平面部26が設けられてい
る。但し、第2の実施形態のメインスケール42では、
V字状の溝25および平面部26は、リニアなスケール
ではなく、円環状もしくは円弧状のスケールになってい
る。なお、メインスケール42は無色透明なアクリルで
形成されている。
【0055】また、メインスケール42の回転の中心
は、光軸と同一であり、ギヤ筒38に固定されている。
さらに、インデックススケール43のパターン24aお
よび24bも円環状もしくは円弧状になっている。パタ
ーン24aは、V字状の溝25で重なり合った測定光が
照射される位置に配置され、また、パターン24bは、
平面部26を透過した測定光が照射される位置に配置さ
れる。
【0056】受光素子45aはパターン24aを透過し
た測定光を受光し、受光素子45bはパターン24bを
透過した測定光を受光する。さらに、受光素子45a、
45bの出力端子は波形整形回路(不図示)を介して、
マイクロプロセッサ(不図示)と接続される。
【0057】一方、カメラボディ46には、レンズ32
の光軸上に、ミラー47およびサブミラー48が配置さ
れる。さらに、サブミラー48で反射した光が照射され
る位置に、焦点検出部49が配置される。焦点検出部4
9の出力端子は、マイクロプロセッサと接続される。マ
イクロプロセッサの出力端子は、駆動回路(不図示)と
接続され、駆動回路はモータ36の端子に接続されてい
る。
【0058】なお、請求項1、4に記載の発明と、第2
の実施形態との対応関係については、光源1は発光素子
44に対応し、第1のスケール2はメインスケール42
のV字状の溝25に対応し、基準板3はメインスケール
42の平面部26に対応し、第2のスケール4はインデ
ックススケール43に対応し、第1の光電変換手段5は
受光素子45aに対応し、第2の光電変換手段6は受光
素子45bに対応し、パルス整形手段7は波形整形回路
と対応する。
【0059】次に、図8を用いて、第2の実施形態の動
作について説明する。シャッタ釦(不図示)が半押しさ
れると、カメラのAF動作が開始される。焦点検出部4
9によって、デフォーカス量が検出され(ステップS
1)、マイクロプロセッサは合焦しているか否かを判断
する(ステップS2)。合焦状態のとき、AF動作は終
了する。
【0060】合焦状態でないとき、マイクロプロセッサ
は、合焦状態になるまでに必要なモータ36の駆動量を
演算し(ステップS3)、モータ36を駆動する(ステ
ップS4)。モータ36が回転すると、ギヤ筒38に取
り付けられているメインスケール42が回転し、第1の
実施形態と同様の動作により、パルス波が検出される。
【0061】マイクロプロセッサは、パルス波をカウン
トし(ステップS5)、必要な駆動量に達したか否かを
判断する(ステップS6)。必要な駆動量に達していな
いときには、ステップS4に戻り、さらにモータ36を
駆動する。必要な駆動量に達したときには、モータ36
を停止し(ステップS7)、ステップS1に戻り、デフ
ォーカス量を検出する。
【0062】以上の動作を合焦するまで繰り返す。この
ように、第2の実施形態では、本発明の光電式エンコー
ダをAF用モータに使用している。このとき、ギヤの最
終段を直接エンコーダで検出すると、ギヤのバックラッ
シによる影響を回避することができる。しかしながら、
この場合には、ギヤで減速された最終段の回転部材につ
いて回転量を検出することになるので、非常に高い分解
能が必要である。
【0063】また、超音波モータなどの低速で回転する
モータをAF用モータとして使用するときにも、高分解
能のエンコーダが必要になる。このような高分解能のエ
ンコーダにおいては、特に、光源の光量の変動が検出結
果に大きな影響を与えてしまう。本発明の光電式エンコ
ーダは、この補償をスケールの材質の違いや取り付け精
度に関わらず適正に行うことができるので、極めて有効
である。
【0064】(第3の実施形態)図9は、第3の実施形
態(請求項2、4に記載の発明に対応する)の構成図で
ある。図9において、本実施形態の構成上の特徴点は、
インデックススケール23aに形成される透過部のパタ
ーンであり、その他の構成要素については、図4の第1
の実施形態で既に述べており、ここでの詳細は省略す
る。
【0065】なお、請求項2、4に記載の発明と、第3
の実施形態との対応関係については、光源1は光源21
に対応し、第1のスケール2はメインスケール23のV
字状の溝25に対応し、基準板3はメインスケール23
の平面部26に対応し、第2のスケール8はインデック
ススケール23aの上側部24cに対応し、透過板9は
インデックススケール23aの下側部24dに対応し、
第1の光電変換手段5は受光素子27aに対応し、第2
の光電変換手段6は受光素子27bに対応し、パルス整
形手段7は波形整形回路29に対応する。
【0066】第3の実施形態では、インデックススケー
ル23aの上側部24cと下側部24dとにおいて透過
部のパターンが異なっている。透過部と遮光部とのパタ
ーンの形成は、第1の実施形態で既に述べたように、ガ
ラスであるインデックススケール23aにクロム等を蒸
着して形成する。インデックススケール23aの上側部
24cには、透過部(請求項2に記載の第1の開口部に
対応する)と遮光部とを有したパターンが形成されてい
る。
【0067】上側部24cには、V字状の溝25によっ
て屈折された測定光が照射され、明暗縞が形成される。
透過部および遮光部の横幅は、この明暗縞の間隔と等し
くなるように設計されている。一方、インデックススケ
ール23aの下側部24dにも、同様に透過部(請求項
2に記載の第2の開口部に対応する)と遮光部とを有し
たパターンが形成されている。下側部24dには、平面
部26を透過した測定光が照射される。
【0068】ここで、本実施形態の特徴点である下側部
24dの透過部のパターンについて説明する。本実施形
態では、下側部24dの透過部の合計面積は、上側部2
4cの透過部の合計面積と等しくなるように設計されて
いる。但し、受光素子27aから出力される振幅の中心
値と、受光素子27bから出力される信号値とがほぼ一
致する範囲で、上側部24cの透過部の合計面積と下側
部24dの透過部の合計面積との比率を変更してもよ
い。
【0069】また、インデックススケール23aの透過
部が形成される方向は、メインスケール23の駆動方向
(明暗縞の垂直方向)であることは要求されない。例え
ば、受光素子27aから出力される信号をより正弦波に
近い形状にするために、あえてインデックススケール2
3aを、光源21光軸の垂直面内において傾かせて使用
する場合もある。
【0070】なお、本実施形態の光電式エンコーダの動
作および効果については、第1の実施形態と同一である
ため、ここでの説明は省略する。 (第4の実施形態)図10は、第4の実施形態(請求項
3、4に記載の発明に対応する)の構成図である。
【0071】図10において、本実施形態の構成上の特
徴点は、図4に示す第1の実施形態の平面部26を省略
し、インデックススケール24の代わりにインデックス
スケール23bを用いた点であり、その他の構成要素に
ついては、第1の実施形態で既に述べており、ここでの
詳細は省略する。なお、請求項3、4に記載の発明と、
第4の実施形態との対応関係については、光源1は光源
21に対応し、第1のスケール2はメインスケール23
に対応し、第2のスケール8はインデックススケール2
3bの上側部24eに対応し、透過板9はインデックス
スケール23bの下側部24fに対応し、第1の光電変
換手段5は受光素子27aに対応し、第2の光電変換手
段6は受光素子27bに対応し、パルス整形手段7は波
形整形回路29に対応する。
【0072】第4の実施形態では、メインスケール23
の平面部が省略されている。したがって、光源21から
の測定光は、コリメータレンズ22を介して、直接イン
デックススケール23bの下側部24fに照射される。
下側部24fには、透過部(請求項3に記載の第2の開
口部に対応する)と遮光部とを有したパターンが形成さ
れている。測定光はこの透過部を透過して受光素子27
bに到達する。
【0073】一方、インデックススケール23bの上側
部24eにも、透過部(請求項3に記載の第1の開口部
に対応する)と遮光部とを有したパターンが形成されて
いる。上側部24eには、V字状の溝25によって屈折
された測定光が照射され、明暗縞が形成される。透過部
および遮光部の横幅は、この明暗縞の間隔と等しくなる
ように設計されている。
【0074】なお、本実施形態における上側部24eの
透過部の合計面積および下側部24fの透過部の合計面
積は、受光素子27aから出力される振幅の中心値と、
受光素子27bから出力される信号値とがほぼ一致する
ように設計されている。また、インデックススケール2
3bの透過部が形成される方向は、メインスケール23
の駆動方向(明暗縞の垂直方向)であることは要求され
ない。例えば、受光素子27aから出力される信号をよ
り正弦波に近い形状にするために、あえてインデックス
スケール23bを、光源21光軸の垂直面内において傾
かせて使用する場合もある。
【0075】なお、本実施形態の光電式エンコーダの動
作については、第1の実施形態と同一であるため、ここ
での説明は省略する。また、本実施形態の効果について
は、第1の実施形態の効果の他に、メインスケール23
の平面部を省略したことによって光電式エンコーダを小
型化することができる。また、メインスケール23の駆
動にかかる負荷を軽減することができる。
【0076】なお、上述した実施形態では、メインスケ
ール23、42に平面部26を設けたが、それに限定さ
れるものではない。例えば、図11に示すように、メイ
ンスケールに反射板50を設けて、インデックススケー
ルに向けて測定光を反射させてもよい。このとき、受光
素子を自由に配置することができるため、設計の自由度
が高くなる。
【0077】また、上述した実施形態では、光学素子と
してV字状の溝を用いて明暗縞を形成したが、それに限
定されるものではない。光学素子としては、測定光を重
畳もしくは集光して、明暗縞を形成するもの(例えば、
レンチキュラーレンズなど)が利用できる。さらに、上
述した実施形態では、しきい値を正弦波状の信号のほぼ
中心に設定したが、それに限定されず、しきい値をどの
レベルに設定するかは設計事項である。
【0078】また、、上述した実施形態では、透過部と
遮光部と間隔は、明暗縞の間隔と等しくなるように設計
されたが、それに限定されるものではない。さらに、上
述した実施形態では、メインスケールを測定方向に駆動
したが、それに限定されず、インデックススケールを測
定方向に駆動してもよい。また、第1、第3の実施形態
のメインスケール23は、V字状の溝25と平面部26
とが一体形成されているが、それに限定されず、各々独
立した構成でもよい。また、第3、第4の実施形態のイ
ンデックススケールは一体形成されているが、それに限
定されず、上側部と下側部とを独立したスケール構成に
してもよい。
【0079】
【発明の効果】請求項1に記載の光電式エンコーダで
は、基準板および第2のスケールを透過する測定光の光
量をしきい値として、第1のスケールおよび第2のスケ
ールを透過する測定光の光量をパルス整形する。従来で
は、発光素子の温特による光量の変動について、位相が
180゜異なる2つの波形を用いてパルス波を形成する
ことで補償していた。このため、2つの波形の位相差が
180゜よりずれてしまうと、適正に補償することがで
きなかった。
【0080】しかしながら、請求項1に記載の光電式エ
ンコーダでは、位相差のずれを全く考慮することなく、
光量の変動を適正に補償することができる。したがっ
て、第1のスケールと第2のスケールとで材質を変えて
も、測定精度を低下させることがない。
【0081】また、両スケールの取り付け精度が多少落
ちても、補償を適正に行うことができるので、経年変化
によって取り付け精度が低下しても、測定精度を維持す
ることができる。請求項2に記載の光電式エンコーダで
は、基準板および透過板を透過する測定光の光量をしき
い値として、第1のスケールおよび第2のスケールを透
過する測定光の光量をパルス整形する。
【0082】したがって、第1のスケールと第2のスケ
ールとで材質を変えても、光量の変動を適正に補償する
ことができ、測定精度を低下させることがない。請求項
3に記載の光電式エンコーダでは、透過板を透過する測
定光の光量をしきい値として、第1のスケールおよび第
2のスケールを透過する測定光の光量をパルス整形す
る。
【0083】したがって、第1のスケールと第2のスケ
ールとで材質を変えても、光量の変動を適正に補償する
ことができ、測定精度を低下させることがない。請求項
4に記載の光電式エンコーダでは、第1のスケールにプ
ラスチックを使用しているので、第1のスケールを軽量
化することができる。また、プラスチックを使用した場
合、第1のスケールは型成形で製造することができ、安
価な光電式エンコーダを実現することができる。
【0084】このようにして、本発明を適用した光電式
エンコーダは、スケールの材質の違いや取り付け精度に
関わらず、測定精度を確保することが可能であり、特
に、メインスケールにプラスチックを使用した光電式エ
ンコーダには、非常に有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1に記載の発明の原理ブロック図であ
る。
【図2】請求項2に記載の発明の原理ブロック図であ
る。
【図3】請求項3に記載の発明の原理ブロック図であ
る。
【図4】第1の実施形態の構成図である。
【図5】第1の実施形態の動作を説明する流れ図であ
る。
【図6】第1の実施形態の動作を説明する図である。
【図7】第2の実施形態の構成図である。
【図8】第2の実施形態の動作を説明する流れ図であ
る。
【図9】第3の実施形態の構成図である。
【図10】第4の実施形態の構成図である。
【図11】別の実施形態を説明する図である。
【図12】従来技術を説明する図(1)である。
【図13】従来技術を説明する図(2)である。
【図14】本発明が解決しようとする課題を説明する図
である。
【符号の説明】 1、21、51 光源 2 第1のスケール 3 基準板 4 第2のスケール 5 第1の光電変換手段 6 第2の光電変換手段 7 パルス整形手段 8 第2のスケール 9 透過板 22、52 コリメータレンズ 23、42、53 メインスケール 23a、23b、24、43、54 インデックススケ
ール 24a、24b パターン 24c、24e 上側部 24d、24f 下側部 25 V字状の溝 26 平面部 27a、27b、45a、45b、55a、55b 受
光素子 28a、28b プリアンプ 29 波形整形回路 30 マイクロプロセッサ 31 レンズ鏡筒 32 レンズ 33 移動枠 34 固定筒 35 固定部 36 モータ 37 歯車 38 ギヤ筒 39 ギヤ部 40 ピン 41 ロータリエンコーダ 44 発光素子 46 カメラボディ 47 ミラー 48 サブミラー 49 焦点検出部 50 反射板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定光を照射する光源と、 前記光源から照射される測定光を、屈折作用により重畳
    もしくは集光する光学素子を一列に配列し、空間上に明
    暗縞を形成する第1のスケールと、 前記第1のスケールに沿って併設され、前記測定光を透
    過もしくは反射する基準板と、 前記明暗縞に垂直な方向に2列の開口部が設けられ、1
    列目の開口部は、前記光学素子によって重畳もしくは集
    光された測定光を透過し、2列目の開口部は、前記基準
    板によって透過もしくは反射された測定光を透過する第
    2のスケールと、 前記1列目の開口部を透過する測定光を受光し、電気信
    号に変換する第1の光電変換手段と、 前記2列目の開口部を透過する測定光を受光し、電気信
    号に変換する第2の光電変換手段と、 前記第2の光電変換手段から出力される信号をしきい値
    として、前記第1の光電変換手段から出力される信号を
    パルス整形するパルス整形手段とを備え、 前記第1のスケールまたは前記第2のスケールの少なく
    とも1つは、測定方向に相対的に移動可能なことを特徴
    とする光電式エンコーダ。
  2. 【請求項2】 測定光を照射する光源と、 前記光源から照射される測定光を、屈折作用により重畳
    もしくは集光する光学素子を一列に配列し、空間上に明
    暗縞を形成する第1のスケールと、 前記第1のスケールに沿って併設され、前記測定光を透
    過もしくは反射する基準板と、 前記光学素子によって重畳もしくは集光された測定光を
    透過する第1の開口部が設けられた第2のスケールと、 前記基準板を介して照射される測定光を透過する第2の
    開口部が設けられ、かつ前記第2のスケールに沿って併
    設される透過板と、 前記第1の開口部を透過する測定光を受光し、電気信号
    に変換する第1の光電変換手段と、 前記第2の開口部を透過する測定光を受光し、電気信号
    に変換する第2の光電変換手段と、 前記第2の光電変換手段から出力される信号をしきい値
    として、前記第1の光電変換手段から出力される信号を
    パルス整形するパルス整形手段とを備え、 前記第1のスケールまたは前記第2のスケールの少なく
    とも1つは、測定方向に相対的に移動可能なことを特徴
    とする光電式エンコーダ。
  3. 【請求項3】 測定光を照射する光源と、 前記光源から照射される測定光を、屈折作用により重畳
    もしくは集光する光学素子を一列に配列し、空間上に明
    暗縞を形成する第1のスケールと、 前記光学素子によって重畳もしくは集光された測定光を
    透過する第1の開口部が設けられた第2のスケールと、 前記第1のスケールを介さずに前記光源から直接照射さ
    れる測定光を透過する第2の開口部が設けられ、かつ前
    記第2のスケールに沿って併設される透過板と、 前記第1の開口部を透過する測定光を受光し、電気信号
    に変換する第1の光電変換手段と、 前記第2の開口部を透過する測定光を受光し、電気信号
    に変換する第2の光電変換手段と、 前記第2の光電変換手段から出力される信号をしきい値
    として、前記第1の光電変換手段から出力される信号を
    パルス整形するパルス整形手段とを備え、 前記第1のスケールまたは前記第2のスケールの少なく
    とも1つは、測定方向に相対的に移動可能なことを特徴
    とする光電式エンコーダ。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれか1項
    に記載の光電式エンコーダにおいて、 前記第1のスケールは、プラスチックであることを特徴
    とする光電式エンコーダ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190097936A (ko) * 2018-02-13 2019-08-21 한국표준과학연구원 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 장치, 및 컬러 스케일

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