JPH1013183A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH1013183A JPH1013183A JP16417396A JP16417396A JPH1013183A JP H1013183 A JPH1013183 A JP H1013183A JP 16417396 A JP16417396 A JP 16417396A JP 16417396 A JP16417396 A JP 16417396A JP H1013183 A JPH1013183 A JP H1013183A
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- Japan
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- input
- bonding pad
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 入出力用ボンディングパッドからみた静電容
量（Ｃp）を減少させ、フィルタの帯域内リップルを改
善した弾性表面波装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 圧電性基板上に、すだれ状変換器と入出
力用信号ラインと入出力用ボンディングパッドと、接地
用ボンディングパッドを備えた弾性表面波装置であっ
て、前記入出力用信号ライン若しくは前記入出力用ボン
ディングパッドと前記接地用ボンディングパッドの間隔
は、10μm以上であることを特徴とする。
量（Ｃp）を減少させ、フィルタの帯域内リップルを改
善した弾性表面波装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 圧電性基板上に、すだれ状変換器と入出
力用信号ラインと入出力用ボンディングパッドと、接地
用ボンディングパッドを備えた弾性表面波装置であっ
て、前記入出力用信号ライン若しくは前記入出力用ボン
ディングパッドと前記接地用ボンディングパッドの間隔
は、10μm以上であることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波装置に
係わり、特に電気特性が改善された弾性表面波装置に関
する。
係わり、特に電気特性が改善された弾性表面波装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波（Surface Acoustic Wave :
SAW）装置、特に弾性表面波フィルタは、自動車電話
機、携帯電話機等のＩＦ帯のみならず、ＲＦ帯フィルタ
においても盛んに利用されるようになってきた。この理
由としては、従来使われている誘電体フィルタに較べ、
弾性表面波フィルタは素子寸法が小さい、また、同じ素
子寸法で比較すると電気特性が優れている等が挙げられ
る。
SAW）装置、特に弾性表面波フィルタは、自動車電話
機、携帯電話機等のＩＦ帯のみならず、ＲＦ帯フィルタ
においても盛んに利用されるようになってきた。この理
由としては、従来使われている誘電体フィルタに較べ、
弾性表面波フィルタは素子寸法が小さい、また、同じ素
子寸法で比較すると電気特性が優れている等が挙げられ
る。
【０００３】携帯電話機に用いられる弾性表面波フィル
タに必要な電気特性は、挿入損失が小さいこと、帯域内
リップルが小さいこと、帯域外スプリアスレベルが低い
こと、帯域外減衰量が大きいこと、通信システムに要求
されるチャンネル数を確保するための帯域幅をもってい
ること等である。弾性表面波フィルタは、これらの条件
をすべて満足することが要求されている。従って、これ
ら一つ一つの電気特性を用途に応じて実現するため、例
えば、圧電性基板の選定、すだれ状変換器の構成方法、
電極材料等、種々の検討がなされている。
タに必要な電気特性は、挿入損失が小さいこと、帯域内
リップルが小さいこと、帯域外スプリアスレベルが低い
こと、帯域外減衰量が大きいこと、通信システムに要求
されるチャンネル数を確保するための帯域幅をもってい
ること等である。弾性表面波フィルタは、これらの条件
をすべて満足することが要求されている。従って、これ
ら一つ一つの電気特性を用途に応じて実現するため、例
えば、圧電性基板の選定、すだれ状変換器の構成方法、
電極材料等、種々の検討がなされている。
【０００４】弾性表面波装置は、原理的には圧電性基板
とその表面に形成されたすだれ状変換器で構成される。
しかし、実際の弾性表面波装置は、図４に示すように、
圧電性基板１上に形成されたすだれ状変換器２の他に、
すだれ状変換器２はバスバー３に接続され、そのバスバ
ー３は入出力用配線パターン４a、５aに接続され、入出
力用配線パターン４a、５aは入出力用ボンディングパッ
ド４、５に接続されている。また、接地用ボンディング
パッド６も必要となる。これらの構成を１チップとして
ダイシングソウで切断し、パッケージに搭載し、そのチ
ップとパッケージはボンディングワイヤーで接続されて
いる。このため、これらすべての電気特性の影響を含ん
だ結果が弾性表面波装置の電気特性として現れることに
なる。
とその表面に形成されたすだれ状変換器で構成される。
しかし、実際の弾性表面波装置は、図４に示すように、
圧電性基板１上に形成されたすだれ状変換器２の他に、
すだれ状変換器２はバスバー３に接続され、そのバスバ
ー３は入出力用配線パターン４a、５aに接続され、入出
力用配線パターン４a、５aは入出力用ボンディングパッ
ド４、５に接続されている。また、接地用ボンディング
パッド６も必要となる。これらの構成を１チップとして
ダイシングソウで切断し、パッケージに搭載し、そのチ
ップとパッケージはボンディングワイヤーで接続されて
いる。このため、これらすべての電気特性の影響を含ん
だ結果が弾性表面波装置の電気特性として現れることに
なる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】多電極型弾性表面波フ
ィルタは、入出力用ボンディングパッドからみた静電容
量（Ｃp）が、すだれ状変換器の入出力に付加される。
この静電容量の増加に伴い、フィルタの帯域内リップル
（ディップ）が大きくなり電気特性を劣化させるという
問題点があった。
ィルタは、入出力用ボンディングパッドからみた静電容
量（Ｃp）が、すだれ状変換器の入出力に付加される。
この静電容量の増加に伴い、フィルタの帯域内リップル
（ディップ）が大きくなり電気特性を劣化させるという
問題点があった。
【０００６】本発明は、以上の点を解決するためになさ
れたもので、入出力用ボンディングパッドからみた静電
容量（Ｃp）を減少させ、フィルタの帯域内リップルを
改善した弾性表面波装置を提供することを目的としてい
る。
れたもので、入出力用ボンディングパッドからみた静電
容量（Ｃp）を減少させ、フィルタの帯域内リップルを
改善した弾性表面波装置を提供することを目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
に示す構成１ないし構成４の発明により達成される。 （構成１）圧電性基板上に、すだれ状変換器と、入出力
用信号ラインと、入出力用ボンディングパッドと、接地
用ボンディングパッドを備えた弾性表面波装置であっ
て、前記入出力用信号ライン若しくは前記入出力用ボン
ディングパッドと前記接地用ボンディングパッドの間隔
は、10μm以上であることを特徴とする。
に示す構成１ないし構成４の発明により達成される。 （構成１）圧電性基板上に、すだれ状変換器と、入出力
用信号ラインと、入出力用ボンディングパッドと、接地
用ボンディングパッドを備えた弾性表面波装置であっ
て、前記入出力用信号ライン若しくは前記入出力用ボン
ディングパッドと前記接地用ボンディングパッドの間隔
は、10μm以上であることを特徴とする。
【０００８】（構成２）構成１に記載した弾性表面波装
置であって、前記入出力用信号ライン若しくは前記入出
力用ボンディングパッドと前記接地用ボンディングパッ
ドの間隔は、20μm以上であることを特徴とする。
置であって、前記入出力用信号ライン若しくは前記入出
力用ボンディングパッドと前記接地用ボンディングパッ
ドの間隔は、20μm以上であることを特徴とする。
【０００９】（構成３）構成１又は構成２に記載した弾
性表面波装置であって、前記弾性表面波装置は、多電極
型弾性表面波フィルタであることを特徴とする。
性表面波装置であって、前記弾性表面波装置は、多電極
型弾性表面波フィルタであることを特徴とする。
【００１０】（構成４）構成１又は構成２に記載した弾
性表面波装置であって、前記弾性表面波装置は、多重モ
ード型弾性表面波フィルタであることを特徴とする。
性表面波装置であって、前記弾性表面波装置は、多重モ
ード型弾性表面波フィルタであることを特徴とする。
【００１１】（説明）弾性表面波装置に用いるすだれ状
変換器は櫛形電極であり、圧電性基板上の弾性表面波を
利用しなければ、通常は櫛形キャパシタとなる。従っ
て、弾性表面波装置のインピーダンス整合をとるため、
すだれ状変換器自体のキャパシタの静電容量を打ち消す
ように、すだれ状変換器の入出力にインダクタが接続さ
れるのが普通である。
変換器は櫛形電極であり、圧電性基板上の弾性表面波を
利用しなければ、通常は櫛形キャパシタとなる。従っ
て、弾性表面波装置のインピーダンス整合をとるため、
すだれ状変換器自体のキャパシタの静電容量を打ち消す
ように、すだれ状変換器の入出力にインダクタが接続さ
れるのが普通である。
【００１２】しかるに、すだれ状変換器の入出力には、
入出力用ボンディングパッド、入出力用配線パターン、
及びバスバーが接続され、その面積に比例した静電容量
（対地容量）が、すだれ状変換器の入出力に付加される
ことになる。従って、入出力用ボンディングパッドから
みた静電容量が大きくなると、弾性表面波装置のインピ
ーダンスが変化し、フィルタの帯域内リップル（ディッ
プ）が大きくなって電気特性を劣化させる。
入出力用ボンディングパッド、入出力用配線パターン、
及びバスバーが接続され、その面積に比例した静電容量
（対地容量）が、すだれ状変換器の入出力に付加される
ことになる。従って、入出力用ボンディングパッドから
みた静電容量が大きくなると、弾性表面波装置のインピ
ーダンスが変化し、フィルタの帯域内リップル（ディッ
プ）が大きくなって電気特性を劣化させる。
【００１３】この入出力用ボンディングパッドからみた
静電容量には、その面積に比例する対地容量の他に、入
出力用ボンディングパッド若しくは入出力用ボンディン
グパッドと各すだれ状変換器を接続する入出力用配線パ
ターンからなる入出力用信号ラインと接地用ボンディン
グパッド間に発生する空間容量も含まれている。
静電容量には、その面積に比例する対地容量の他に、入
出力用ボンディングパッド若しくは入出力用ボンディン
グパッドと各すだれ状変換器を接続する入出力用配線パ
ターンからなる入出力用信号ラインと接地用ボンディン
グパッド間に発生する空間容量も含まれている。
【００１４】そこで、本発明は入出力用信号ライン若し
くは前記入出力用ボンディングパッドと前記接地用ボン
ディングパッドの間隔を１０ないし２０μm以上とする
ことによって、入出力用ボンディングパッドからみた静
電容量のうち空間容量の影響を減少し、弾性表面波装置
の入出力インピーダンスの変動を小さくし、フィルタの
帯域内リップルの劣化を最小にして、優れた電気特性を
有する弾性表面波装置を実現することができたと考え
る。
くは前記入出力用ボンディングパッドと前記接地用ボン
ディングパッドの間隔を１０ないし２０μm以上とする
ことによって、入出力用ボンディングパッドからみた静
電容量のうち空間容量の影響を減少し、弾性表面波装置
の入出力インピーダンスの変動を小さくし、フィルタの
帯域内リップルの劣化を最小にして、優れた電気特性を
有する弾性表面波装置を実現することができたと考え
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１な
いし図３の具体例を用いて詳細に説明する。図３の弾性
表面波装置は、ＲＦ帯の周波数帯域でフィルタとして用
いられる多電極型弾性表面波フィルタで、タンタル酸リ
チウム（ＬiＴaＯ3）基板３１上に、すだれ状変換器
（入力のすだれ状変換器は７個）と、入力側に、入力用
ボンディングパッド３４、入力用ボンディングパッド３
４と入力用の各すだれ状変換器を接続する入力用配線パ
ターンからなる入力用信号ライン、及び接地用ボンディ
ングパッド３６を備え、図示されていないが出力側に、
出力用ボンディングパッド、出力用ボンディングパッド
と出力用の各すだれ状変換器を接続する出力用配線パタ
ーンからなる出力用信号ライン、及び接地用ボンディン
グパッドを備えている。
いし図３の具体例を用いて詳細に説明する。図３の弾性
表面波装置は、ＲＦ帯の周波数帯域でフィルタとして用
いられる多電極型弾性表面波フィルタで、タンタル酸リ
チウム（ＬiＴaＯ3）基板３１上に、すだれ状変換器
（入力のすだれ状変換器は７個）と、入力側に、入力用
ボンディングパッド３４、入力用ボンディングパッド３
４と入力用の各すだれ状変換器を接続する入力用配線パ
ターンからなる入力用信号ライン、及び接地用ボンディ
ングパッド３６を備え、図示されていないが出力側に、
出力用ボンディングパッド、出力用ボンディングパッド
と出力用の各すだれ状変換器を接続する出力用配線パタ
ーンからなる出力用信号ライン、及び接地用ボンディン
グパッドを備えている。
【００１６】ここで、図３に図示すように多電極型弾性
表面波フィルタのすだれ状変換器に接続された入力用信
号ラインと接地用ボンディングパッドとの間隔をｄと規
定した。この入力用信号ラインと接地用ボンディングパ
ッドの間隔（ｄ）を変数とした、入力用ボンディングパ
ッドからみた静電容量（Ｃp）との関係の実験結果を図
１に示す。なお、入力用ボンディングパッドからみた静
電容量（Ｃp）は、ＲＦ帯インピ−ダンスアナライザ
（Ｖ−Ｉ法）で測定した。
表面波フィルタのすだれ状変換器に接続された入力用信
号ラインと接地用ボンディングパッドとの間隔をｄと規
定した。この入力用信号ラインと接地用ボンディングパ
ッドの間隔（ｄ）を変数とした、入力用ボンディングパ
ッドからみた静電容量（Ｃp）との関係の実験結果を図
１に示す。なお、入力用ボンディングパッドからみた静
電容量（Ｃp）は、ＲＦ帯インピ−ダンスアナライザ
（Ｖ−Ｉ法）で測定した。
【００１７】図１から明らかなように、入力用信号ライ
ンと接地用ボンディングパッドの間隔（ｄ）の増加に対
し、入力用ボンディングパッドからみた静電容量（Ｃ
p）は、指数関数的に減少する。入力用ボンディングパ
ッドからみた静電容量（Ｃp）は、入力用信号ラインと
接地用ボンディングパッドの間隔ｄ＝10μm（Ｃp＝3.3p
F）では、ｄ＝５μm（Ｃp＝6.4pF）より60％以上小さく
なり、ｄ＝20μmではＣp＝2.1pFとなった後、ｄ＝60μm
での1.4pFに収束してゆく。ところで、接地用ボンディ
ングパッドがない場合の入力用ボンディングパッドの静
電容量（対地容量Ｃp0）は、1.4pFであるので、図１
は、入力用ボンディングパッドの対地容量Ｃp0＝1.4pF
を取り除けば、入力用ボンディングパッド３４と入力用
すだれ状変換器を接続する入力用配線パターンからなる
入力用信号ラインと接地用ボンディングパッド３６との
間に存在する空間容量（Ｃs）の変化を表している。従
って、入力用パッド３４の面積の大小に関わらず、この
空間容量の影響を小さくするためには、入力用信号ライ
ンと接地用ボンディングパッド３６の間隔（ｄ）を10な
いし20μm以上にすると、入力用ボンディングパッド３
４と入力用すだれ状変換器を接続する入力用配線パター
ンからなる入力用信号ラインと接地用ボンディングパッ
ド３６との間に存在する空間容量（Ｃs）が1.9ないし0.
7pF以下になり、入力用ボンディングパッドからみた静
電容量（Ｃp）は減少した。
ンと接地用ボンディングパッドの間隔（ｄ）の増加に対
し、入力用ボンディングパッドからみた静電容量（Ｃ
p）は、指数関数的に減少する。入力用ボンディングパ
ッドからみた静電容量（Ｃp）は、入力用信号ラインと
接地用ボンディングパッドの間隔ｄ＝10μm（Ｃp＝3.3p
F）では、ｄ＝５μm（Ｃp＝6.4pF）より60％以上小さく
なり、ｄ＝20μmではＣp＝2.1pFとなった後、ｄ＝60μm
での1.4pFに収束してゆく。ところで、接地用ボンディ
ングパッドがない場合の入力用ボンディングパッドの静
電容量（対地容量Ｃp0）は、1.4pFであるので、図１
は、入力用ボンディングパッドの対地容量Ｃp0＝1.4pF
を取り除けば、入力用ボンディングパッド３４と入力用
すだれ状変換器を接続する入力用配線パターンからなる
入力用信号ラインと接地用ボンディングパッド３６との
間に存在する空間容量（Ｃs）の変化を表している。従
って、入力用パッド３４の面積の大小に関わらず、この
空間容量の影響を小さくするためには、入力用信号ライ
ンと接地用ボンディングパッド３６の間隔（ｄ）を10な
いし20μm以上にすると、入力用ボンディングパッド３
４と入力用すだれ状変換器を接続する入力用配線パター
ンからなる入力用信号ラインと接地用ボンディングパッ
ド３６との間に存在する空間容量（Ｃs）が1.9ないし0.
7pF以下になり、入力用ボンディングパッドからみた静
電容量（Ｃp）は減少した。
【００１８】図２に、多電極型弾性表面波フィルタの入
力用信号ラインと接地用ボンディングパッドの間隔
（ｄ）が５μm（Ｃpに換算すると＝6.4pF）と10μm（Ｃ
pに換算すると＝1.9pF）と20μm（Ｃpに換算すると＝0.
7pF）の場合の帯域内の伝送特性の測定結果を示す。ｄ
＝10μm（Ｃp＝1.9pF）ではｄ＝５μm（Ｃp＝6.4pF）に
較べて帯域内の高周波側に存在していたリップルが少な
くなり、ｄ＝20μm（Ｃp＝0.7pF）ではｄ＝10μm（Ｃp
＝1.9pF）に較べて帯域内の高周波側に存在していたリ
ップルが更に無くなり、帯域内がより平坦で、優れた電
気特性を有する弾性表面波フィルタが得られた。
力用信号ラインと接地用ボンディングパッドの間隔
（ｄ）が５μm（Ｃpに換算すると＝6.4pF）と10μm（Ｃ
pに換算すると＝1.9pF）と20μm（Ｃpに換算すると＝0.
7pF）の場合の帯域内の伝送特性の測定結果を示す。ｄ
＝10μm（Ｃp＝1.9pF）ではｄ＝５μm（Ｃp＝6.4pF）に
較べて帯域内の高周波側に存在していたリップルが少な
くなり、ｄ＝20μm（Ｃp＝0.7pF）ではｄ＝10μm（Ｃp
＝1.9pF）に較べて帯域内の高周波側に存在していたリ
ップルが更に無くなり、帯域内がより平坦で、優れた電
気特性を有する弾性表面波フィルタが得られた。
【００１９】また、入力用信号ラインの幅（面積）を大
きくして、ワイヤボンディングするための入力用ボンデ
ィングパッドと入力用信号ラインを兼ね備えた構成にお
いても、これらの面積の変動に応じて図１における対地
容量（Ｃp0）分がスライドするのみで、入力用ボンディ
ングパッドからみた静電容量（Ｃp）は同様の変化を示
し、帯域内リップルが小さい、優れた電気特性を実現で
きた。従って、入力用ボンディングパッドと接地用ボン
ディングパッドの間隔（ｄ）を変数に規定しても、同様
の効果が得られることがわかった。
きくして、ワイヤボンディングするための入力用ボンデ
ィングパッドと入力用信号ラインを兼ね備えた構成にお
いても、これらの面積の変動に応じて図１における対地
容量（Ｃp0）分がスライドするのみで、入力用ボンディ
ングパッドからみた静電容量（Ｃp）は同様の変化を示
し、帯域内リップルが小さい、優れた電気特性を実現で
きた。従って、入力用ボンディングパッドと接地用ボン
ディングパッドの間隔（ｄ）を変数に規定しても、同様
の効果が得られることがわかった。
【００２０】更に、本実施例は多電極型弾性表面波フィ
ルタの入力側に適用した実施例であるが、出力側に適用
しても同様な結果が得られた。また、多重モード型弾性
表面波フィルタは、多電極型弾性表面波フィルタのすだ
れ状変換器数を少なくした構成（例えば３電極型や５電
極型）ともいえるため、本発明は多重モード型弾性表面
波フィルタにも適用可能である。
ルタの入力側に適用した実施例であるが、出力側に適用
しても同様な結果が得られた。また、多重モード型弾性
表面波フィルタは、多電極型弾性表面波フィルタのすだ
れ状変換器数を少なくした構成（例えば３電極型や５電
極型）ともいえるため、本発明は多重モード型弾性表面
波フィルタにも適用可能である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、入力用ボンディングパ
ッドからみた接地用ボンディングパッド間の静電容量
（Ｃp）の影響を減少して、帯域内リップルが小さい、
優れた電気特性を有する弾性表面波装置を実現すること
ができた。
ッドからみた接地用ボンディングパッド間の静電容量
（Ｃp）の影響を減少して、帯域内リップルが小さい、
優れた電気特性を有する弾性表面波装置を実現すること
ができた。
【図１】この発明の多電極型弾性表面波フィルタの入力
用信号ラインと接地用ボンディングパッドの間隔（ｄ）
を変数としたときの入力用ボンディングパッドからみた
静電容量（Ｃp）との関係を示す。
用信号ラインと接地用ボンディングパッドの間隔（ｄ）
を変数としたときの入力用ボンディングパッドからみた
静電容量（Ｃp）との関係を示す。
【図２】この発明の一実施例の多電極型弾性表面波フィ
ルタの入力用ボンディングパッドと接地用ボンディング
パッドの間隔（ｄ）が５μm、10μm及び20μmの場合の
帯域内伝送特性を示す。
ルタの入力用ボンディングパッドと接地用ボンディング
パッドの間隔（ｄ）が５μm、10μm及び20μmの場合の
帯域内伝送特性を示す。
【図３】 この発明の一実施例のタンタル酸リチウム基
板上に、７個の入力用すだれ状変換器を想定した多電極
型弾性表面波フィルタの入力用パッド、入力用信号ライ
ン、接地用ボンディングパッドを構成した静電容量（Ｃ
p）測定用のチップを示す図である。
板上に、７個の入力用すだれ状変換器を想定した多電極
型弾性表面波フィルタの入力用パッド、入力用信号ライ
ン、接地用ボンディングパッドを構成した静電容量（Ｃ
p）測定用のチップを示す図である。
【図４】多電極型弾性表面波フィルタの１チップ内の構
成を説明する図である。
成を説明する図である。
３１ タンタル酸リチウム基板 ３４ 入力用ボンディングパッド ３６ 接地用ボンディングパッド
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電性基板上に、すだれ状変換器と、入
出力用信号ラインと、入出力用ボンディングパッドと、
接地用ボンディングパッドを備えた弾性表面波装置であ
って、 前記入出力用信号ライン若しくは前記入出力用ボンディ
ングパッドと前記接地用ボンディングパッドの間隔は、
10μm以上であることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載した弾性表面波装置であ
って、 前記入出力用信号ライン若しくは前記入出力用ボンディ
ングパッドと前記接地用ボンディングパッドの間隔は、
20μm以上であることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２のいずれか１項に
記載した弾性表面波装置であって、 前記弾性表面波装置は、多電極型弾性表面波フィルタで
あることを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項４】 請求項１又は請求項２のいずれか１項に
記載した弾性表面波装置であって、 前記弾性表面波装置は、多重モード型弾性表面波フィル
タであることを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16417396A JPH1013183A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16417396A JPH1013183A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1013183A true JPH1013183A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15788120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16417396A Withdrawn JPH1013183A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1013183A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000209061A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Toshiba Corp | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 |
| US6967546B2 (en) | 2002-10-21 | 2005-11-22 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter and filter device |
-
1996
- 1996-06-25 JP JP16417396A patent/JPH1013183A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000209061A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Toshiba Corp | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 |
| US6967546B2 (en) | 2002-10-21 | 2005-11-22 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter and filter device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |