JPH10128971A - Ink jet head and its manufacture - Google Patents
Ink jet head and its manufactureInfo
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- JPH10128971A JPH10128971A JP28496496A JP28496496A JPH10128971A JP H10128971 A JPH10128971 A JP H10128971A JP 28496496 A JP28496496 A JP 28496496A JP 28496496 A JP28496496 A JP 28496496A JP H10128971 A JPH10128971 A JP H10128971A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプリンタに
使用するインクジェツトヘッドおよびその製造方法に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head used for a printer, for example, and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種のインクジェットヘッドと
して、インクを収容するためのチャネルプレート、隔
壁、圧電板および基板を重ねて一体的に形成されたもの
が知られている。このチャネルプレートは、多数のノズ
ルを形成したノズルプレートと、この多数のノズルの各
々に一体一の関係で連通するように並設した多数のイン
クチャンネルを有するチャネル壁とからなっている。そ
して、このチャネルプレートと上記圧電板との間に設け
た上記隔壁が、接着剤により固定されている。2. Description of the Related Art Heretofore, as this type of ink jet head, there has been known an ink jet head in which a channel plate for accommodating ink, a partition wall, a piezoelectric plate, and a substrate are integrally formed. The channel plate includes a nozzle plate having a large number of nozzles formed thereon, and a channel wall having a large number of ink channels arranged side by side so as to communicate with each of the multiple nozzles in a unitary relationship. The partition provided between the channel plate and the piezoelectric plate is fixed by an adhesive.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記従来のインクジェ
ットヘッドでは、隔壁をチャネル壁と圧電板との間に固
定するのに接着剤を用いて固定しているため、インクチ
ャネルへの接着剤の回り込みによってインクチャネルが
狭まったり、接着剤によるインクインレットの詰まりが
生じる他、接着層の厚みのばらつきによるインクインレ
ットやインクチャネルの体積のばらつきの結果、インク
飛翔が不安定になる等の問題が生じていた。本発明は、
斯る従来の問題をなくすことを課題としてなされたもの
で、インクチャネルの狭まりや、インクインレットの詰
まりをなくし、インク飛翔の安定性の向上を可能とした
インクジェットヘッドを提供しようとするものである。In the above-mentioned conventional ink jet head, the partition is fixed between the channel wall and the piezoelectric plate using an adhesive, so that the adhesive flows around the ink channel. In addition, the ink channel is narrowed, the ink inlet is clogged by the adhesive, and the volume of the ink inlet and the ink channel is varied due to the variation in the thickness of the adhesive layer. Was. The present invention
An object of the present invention is to provide an ink-jet head capable of improving the stability of the ink flight by eliminating the narrowing of the ink channel and the clogging of the ink inlet. .
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、第1発明は、インクを収容するためのインクチャネ
ルの形成されたチャネルプレート、隔壁、圧電板および
基板を一体的に重ね合わせた構造を有するインクジェッ
トヘッドにおいて、少なくとも上記隔壁と接する上記チ
ャネルプレートの部分を感光性ドライフィルムで形成し
た。According to a first aspect of the present invention, a channel plate, a partition, a piezoelectric plate, and a substrate, each having an ink channel for accommodating ink, are integrally laminated. In the inkjet head having a structure, at least a portion of the channel plate in contact with the partition was formed of a photosensitive dry film.
【0005】また、第2発明は、インクを収容するため
のインクチャネルの形成されたチャネルプレート、隔
壁、圧電板および基板を一体的に重ね合わせた構造を有
するインクジェットヘッドの少なくとも上記隔壁と接す
る上記チャネルプレートの部分に感光性ドライフィルム
を用いて、この部分を上記隔壁に熱圧着して形成するよ
うにした。According to a second aspect of the present invention, there is provided an ink-jet head having a structure in which a channel plate, a partition, a piezoelectric plate and a substrate on which ink channels for accommodating ink are formed are integrally laminated. A photosensitive dry film was used for the channel plate portion, and this portion was formed by thermocompression bonding to the partition walls.
【0006】さらに、第3発明は、インクチャネル内の
インクを押圧してノズルからインク滴を吐出するインク
ジェットの製造方法において、上記インクチャネルの製
造工程が、(a)インクチャネルの壁部を支持するため
の支持面に感光性ドライフィルムを貼り付ける工程、
(b)上記感光性ドライフィルムを露光、現像して上記
壁部を形成する工程、および、(c)上記壁部を覆うよ
うに天板を貼り付けてインクチャネルを形成する工程を
備えたものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink-jet wherein an ink in an ink channel is pressed to eject ink droplets from a nozzle, wherein the step of manufacturing the ink channel comprises: (a) supporting a wall of the ink channel; Attaching a photosensitive dry film to the support surface to perform
(B) exposing and developing the photosensitive dry film to form the wall, and (c) adhering a top plate so as to cover the wall to form an ink channel. It is.
【0007】さらにまた、第4発明は、インクチャネル
内のインクを押圧してノズルからインク滴を吐出するイ
ンクジェットの製造方法において、上記インクチャネル
の製造工程が、(a)天板に感光性ドライフィルムを貼
り付ける工程、(b)上記感光性ドライフィルムを露
光、現像してインクチャネルの壁部を形成する工程、お
よび、(c)上記壁部を支持する支持面を貼り付けてイ
ンクチャネルを形成する工程を備えたものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an ink-jet wherein an ink in an ink channel is pressed to eject ink droplets from a nozzle, wherein the step of manufacturing the ink channel comprises: Attaching a film, (b) exposing and developing the photosensitive dry film to form a wall of the ink channel, and (c) attaching a support surface supporting the wall to form the ink channel. It is provided with a step of forming.
【0008】第5発明は、インクチャネル内のインクを
押圧してノズルからインク滴を吐出するインクジェット
の製造方法において、上記インクチャネルの壁部が感光
性ドライフィルムで形成するようにした。According to a fifth aspect of the present invention, in a method of manufacturing an ink jet apparatus for ejecting ink droplets from nozzles by pressing ink in an ink channel, the wall of the ink channel is formed of a photosensitive dry film.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の一形態を図
面にしたがって説明する。図1〜3は、本発明の一実施
形態であるインクジェットヘッドを示し、このインクジ
ェットヘッドは、チャネルプレート1、隔壁2、圧電板
3および基板4を一体的に重ね合わセた構造となってい
る。チャネルプレート1は、ノズルプレート5とチャネ
ル壁6とからなっており、その内のノズルプレート5は
ニッケル等の金属、セラミック或はその他の硬質材料か
らなり、このノズルプレート5には、インク11を吐出
する多数のノズル12が形成されている。チャネル壁6
は、後述するように感光性ドライフィルムを用いて形成
されたものであり、このチャネル壁6によってノズル1
2の各々に連通するインクチャネル13、インクインレ
ット14、およびこのインクインレット14を介して各
インクチャネル13にインク11を導くインク供給室1
5が形成されている。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 show an ink jet head according to an embodiment of the present invention. The ink jet head has a structure in which a channel plate 1, a partition 2, a piezoelectric plate 3, and a substrate 4 are integrally laminated. The channel plate 1 is composed of a nozzle plate 5 and a channel wall 6, and the nozzle plate 5 is made of a metal such as nickel, ceramic or other hard material. A number of nozzles 12 for discharging are formed. Channel wall 6
Is formed by using a photosensitive dry film as described later.
2, an ink channel 13, an ink inlet 14, and an ink supply chamber 1 that guides the ink 11 to each ink channel 13 through the ink inlet 14.
5 are formed.
【0010】隔壁2は、例えばニッケル等の金属やその
他の材料で構成されるフィルムであり、後述するように
接着剤を用いることなくチャネル壁6に熱圧着されてい
る。圧電板3は、周知の積層型圧電材料からなり、隔壁
2と基板4との間に接着剤で固定された後、例えばダイ
シング加工により形成された縦方向溝21、横方向溝2
2により各インクチャネル13毎に分断されている。そ
して、圧電板3の内、インクチャネル13の下方の部分
は振動部(図1,2および4中の符号Aの部分)となっ
ており、その他の部分は非振動部となっている。即ち、
図2に示すようにこの振動部の圧電板3の一方の側面に
は個別電極23が設けられ、他方の側面には共通電極2
4が設けられており、この両電極により振動部が振動さ
せられるようになっている。この振動によりインク供給
室15からインクインレット14を経てインクチャネル
13内に導かれたインク11がノズル12から噴射され
る。なお、個別電極23は縦方向溝により両側の圧電板
3の部分と電気的に完全に絶縁されている。基板4は、
非導電材料、例えばセラミック材からなり、その上面に
上記振動部の上記各電極に電気を導くための導電リード
部が形成されている。The partition 2 is a film made of a metal such as nickel or other material, and is thermocompression-bonded to the channel wall 6 without using an adhesive as described later. The piezoelectric plate 3 is made of a well-known laminated piezoelectric material, and is fixed between the partition wall 2 and the substrate 4 with an adhesive, and then formed, for example, by a dicing process into the vertical grooves 21 and the horizontal grooves 2.
Each ink channel 13 is divided by 2. The portion of the piezoelectric plate 3 below the ink channel 13 is a vibrating portion (the portion indicated by the symbol A in FIGS. 1, 2 and 4), and the other portions are non-vibrating portions. That is,
As shown in FIG. 2, an individual electrode 23 is provided on one side of the piezoelectric plate 3 of the vibrating portion, and a common electrode 2 is provided on the other side.
4 are provided, and the vibrating section is caused to vibrate by these two electrodes. Due to this vibration, the ink 11 guided from the ink supply chamber 15 into the ink channel 13 via the ink inlet 14 is ejected from the nozzle 12. The individual electrodes 23 are completely insulated electrically from the piezoelectric plates 3 on both sides by the vertical grooves. The substrate 4
It is made of a non-conductive material, for example, a ceramic material, and has a conductive lead on its upper surface for conducting electricity to the electrodes of the vibrating portion.
【0011】なお、ここに示す例の場合、ノズル12、
インクチャネル13およびインク供給室15および圧電
板3は、図1において、上下2種類のグループに分けて
形成されており、例えば上段が小径インク滴吐出部、下
段が大径インク滴吐出部になっている。In the case of the example shown here, the nozzle 12,
In FIG. 1, the ink channel 13, the ink supply chamber 15, and the piezoelectric plate 3 are formed in two types, upper and lower groups. For example, the upper stage is a small-diameter ink droplet ejection unit, and the lower stage is a large-diameter ink droplet ejection unit. ing.
【0012】ところで、チャネル壁6を形成する感光性
ドライフィルムは、一般的には、PETフィルムとPE
フィルムでフォトレジストフィルムを挟んだ3層構造の
ものであり、ホットロールラミネータ等を用いてPEフ
ィルムを剥がした後、基板等に熱圧着して使用する。こ
のような感光性ドライフィルムは、レジスト厚みを高く
均一にとることができ、しかも作業性に優れる等の利点
を有しており、例えば、東京応化工業社製ドライフィル
ムレジストPRシリーズとして入手可能である。なお、
このような感光性ドライフィルムは、本発明者らの検討
によれば、露光・現像後も粘着性を有することが判明し
ており、本発明はこのような知見に基づいてなされたも
のである。The photosensitive dry film forming the channel wall 6 is generally made of a PET film and a PE film.
It has a three-layer structure in which a photoresist film is sandwiched between films. The PE film is peeled off using a hot roll laminator or the like, and then used by thermocompression bonding to a substrate or the like. Such a photosensitive dry film has advantages such as a high and uniform resist thickness and excellent workability. For example, it is available as a dry film resist PR series manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. is there. In addition,
According to the study of the present inventors, it has been found that such a photosensitive dry film has tackiness even after exposure and development, and the present invention has been made based on such knowledge. .
【0013】上記インクジェットヘッドにおいて、チャ
ネル壁6は、ノズルプレート5側に所定パターンに形成
したドライフィルムと、隔壁2側に所定パターンに形成
したドライフィルムを接着剤を介することなく、貼り合
わせた後、熱硬化させて、両ドライフィルムを接合して
形成されている。以下、インクジェットヘッドの製造方
法を図を用いて詳しく説明する。図4は、図2に示した
インクジェットヘッドの製造方法を模式的に示した図で
ある。まず、図4(a)、(b)に示すように、ノズル
プレート5にドライフィルム60を貼り付け、透明なP
ETフィルム層61の上からマスク70を用いてチャネ
ル壁として残したい部分に対して露光を行う。次に、図
4(c)に示すように、現像液を用いて現像を行い不要
部分即ち未露光部分を洗い流す。一方、振動板3上に設
けた隔壁2上にも感光性ドライフィルムを貼り付け、上
述したのと同様の工程を行う(図4(d)〜図4
(f))。そして、ノズルプレート5側に設けたレジス
ト層と隔壁2側に設けたレジスト層とを向かい合わせて
貼り付け、所定の圧力をかけながら熱して両者を熱硬化
させて接合し、インクチャネルを形成する。In the above-mentioned ink jet head, the channel wall 6 is formed by laminating a dry film formed in a predetermined pattern on the nozzle plate 5 side and a dry film formed in a predetermined pattern on the partition wall 2 without using an adhesive. It is formed by thermosetting and joining both dry films. Hereinafter, a method for manufacturing the ink jet head will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 4 is a diagram schematically showing a method of manufacturing the ink jet head shown in FIG. First, as shown in FIGS. 4A and 4B, a dry film 60 is attached to the nozzle plate 5, and a transparent P
Exposure is performed from above the ET film layer 61 using a mask 70 to a portion that is to be left as a channel wall. Next, as shown in FIG. 4C, development is performed using a developer to wash away unnecessary portions, that is, unexposed portions. On the other hand, a photosensitive dry film is also stuck on the partition 2 provided on the diaphragm 3 and the same process as described above is performed (FIGS. 4D to 4D).
(F)). Then, the resist layer provided on the nozzle plate 5 side and the resist layer provided on the partition wall 2 side are adhered to each other, and are heated and hardened by applying a predetermined pressure to bond the two to form an ink channel. .
【0014】なお、上記実施形態に示すごとく、感光性
ドライフィルムを複数枚積み重ねることによってチャネ
ル高さをより高くすることができ、特に40μm以上チ
ャネル高さが必要とされる場合には、このような複数枚
の感光性ドライフィルムを用いることが好ましい。ま
た、細かいパターンを形成する必要のある部分には、薄
いドライフィルムを使用し、粗いパターンを形成する必
要がある部分には、厚いドライフィルムを使用するよう
にすれば、種々の高さ、幅を有するパターンでインクチ
ャネルを形成することができる。もちろん、インクチャ
ネルインクインレットを予めノズルプレート側に形成し
ておくなどして、1層のみのドライフィルムを用いてイ
ンクチャネルを形成することも可能である。As described in the above embodiment, the channel height can be further increased by stacking a plurality of photosensitive dry films. In particular, when a channel height of 40 μm or more is required, such a case is adopted. It is preferable to use a plurality of photosensitive dry films. Also, if a thin pattern needs to be formed using a thin dry film and a coarse pattern needs to be formed using a thick dry film, various heights and widths can be obtained. The ink channel can be formed with a pattern having Of course, it is also possible to form an ink channel using only one layer of dry film, for example, by forming an ink channel ink inlet on the nozzle plate side in advance.
【0015】上述したチャネル壁6の試作に使用される
材料、およびその製造条件の一例を以下に示す。An example of materials used for the trial manufacture of the above-described channel wall 6 and manufacturing conditions thereof will be described below.
【表1】 [Table 1]
【0016】[0016]
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
においては、インクチャネルの壁部を感光性ドライフィ
ルムで形成するようにしたので、インクチャネルの狭ま
り、インクインレットの詰まりがなくなり、インク飛翔
の安定性の向上が可能となり、また接着剤が不要になっ
たことにより、インクジェットヘッド形成に要する材料
が減り、その製造工程が単純化される等の顕著な効果を
奏する。As is apparent from the above description, in the present invention, since the wall of the ink channel is formed of a photosensitive dry film, the ink channel is not narrowed and the ink inlet is not clogged, and the ink is not clogged. Since the flight stability can be improved and the adhesive is no longer required, the number of materials required for forming the ink jet head is reduced, and a remarkable effect such as simplification of the manufacturing process is achieved.
【図1】 本発明の一実施形態であるインクジェットヘ
ッドの一部を示す正面図である。FIG. 1 is a front view illustrating a part of an inkjet head according to an embodiment of the invention.
【図2】 図1のII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG.
【図3】 図1のIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of FIG.
【図4】 インクジェットヘッドの製造方法の一実施形
態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing one embodiment of a method for manufacturing an ink jet head.
1 チャネルプレート 2 隔壁 3 圧電板 4 基板 5 ノズルプレート 6 チャネル壁 13 インクチャネル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Channel plate 2 Partition wall 3 Piezoelectric plate 4 Substrate 5 Nozzle plate 6 Channel wall 13 Ink channel
Claims (5)
の形成されたチャネルプレート、隔壁、圧電板および基
板を一体的に重ね合わせた構造を有するインクジェット
ヘッドにおいて、少なくとも上記隔壁と接する上記チャ
ネルプレートの部分を感光性ドライフィルムで形成した
ことを特徴とするインクジェットヘッド。1. An ink jet head having a structure in which an ink channel for accommodating ink is formed on a channel plate, a partition, a piezoelectric plate, and a substrate, at least a portion of the channel plate in contact with the partition. An ink jet head characterized in that is formed of a photosensitive dry film.
の形成されたチャネルプレート、隔壁、圧電板および基
板を一体的に重ね合わせた構造を有するインクジェット
ヘッドの少なくとも上記隔壁と接する上記チャネルプレ
ートの部分に感光性ドライフィルムを用いて、この部分
を上記隔壁に熱圧着して形成することを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。2. An ink jet head having a structure in which an ink channel for accommodating ink is formed on a channel plate, a partition, a piezoelectric plate, and a substrate, which is in contact with at least a portion of the channel plate in contact with the partition. A method for manufacturing an ink jet head, comprising forming the portion by thermocompression bonding to the partition using a photosensitive dry film.
ズルからインク滴を吐出するインクジェットの製造方法
において、上記インクチャネルの製造工程が、 (a)インクチャネルの壁部を支持するための支持面に
感光性ドライフィルムを貼り付ける工程、 (b)上記感光性ドライフィルムを露光、現像して上記
壁部を形成する工程、および、 (c)上記壁部を覆うように天板を貼り付けてインクチ
ャネルを形成する工程を備えたことを特徴とするインク
チャネルの製造方法。3. A method for manufacturing an ink jet, wherein an ink droplet is ejected from a nozzle by pressing ink in an ink channel, the manufacturing process of the ink channel includes: (a) a support surface for supporting a wall of the ink channel; (B) exposing and developing the photosensitive dry film to form the wall, and (c) attaching a top plate so as to cover the wall. A method for manufacturing an ink channel, comprising a step of forming an ink channel.
ズルからインク滴を吐出するインクジェットの製造方法
において、上記インクチャネルの製造工程が、 (a)天板に感光性ドライフィルムを貼り付ける工程、 (b)上記感光性ドライフィルムを露光、現像してイン
クチャネルの壁部を形成する工程、および、 (c)上記壁部を支持する支持面を貼り付けてインクチ
ャネルを形成する工程を備えたことを特徴とするインク
チャネルの製造方法。4. A method of manufacturing an ink jet, wherein an ink in an ink channel is pressed to eject ink droplets from a nozzle, wherein the step of manufacturing the ink channel includes: (a) attaching a photosensitive dry film to a top plate; (B) exposing and developing the photosensitive dry film to form a wall of an ink channel; and (c) attaching a support surface supporting the wall to form an ink channel. A method for manufacturing an ink channel, comprising:
ズルからインク滴を吐出するインクジェットの製造方法
において、上記インクチャネルの壁部が感光性ドライフ
ィルムで形成されてなることを特徴とするインクチャネ
ルの製造方法。5. A method of manufacturing an ink jet, wherein an ink in an ink channel is pressed to eject ink droplets from a nozzle, wherein a wall of the ink channel is formed of a photosensitive dry film. Manufacturing method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28496496A JPH10128971A (en) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | Ink jet head and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28496496A JPH10128971A (en) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | Ink jet head and its manufacture |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10128971A true JPH10128971A (en) | 1998-05-19 |
Family
ID=17685366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28496496A Pending JPH10128971A (en) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | Ink jet head and its manufacture |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10128971A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6530652B1 (en) | 1998-12-30 | 2003-03-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micro actuator and ink jet printer head manufactured using the same |
-
1996
- 1996-10-28 JP JP28496496A patent/JPH10128971A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6530652B1 (en) | 1998-12-30 | 2003-03-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micro actuator and ink jet printer head manufactured using the same |
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