JPH1012442A - Broad-band noise filter - Google Patents
Broad-band noise filterInfo
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- JPH1012442A JPH1012442A JP16341596A JP16341596A JPH1012442A JP H1012442 A JPH1012442 A JP H1012442A JP 16341596 A JP16341596 A JP 16341596A JP 16341596 A JP16341596 A JP 16341596A JP H1012442 A JPH1012442 A JP H1012442A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、商用周波数（ＤＣ
〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数範
囲においてノイズフィルタとして使用するのに好適な広
帯域ノイズフィルタに関するものである。The present invention relates to a commercial frequency (DC)
The present invention relates to a wideband noise filter suitable for use as a noise filter in a wide frequency range from (.about.) To a high frequency (.about.1 GHz).
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁性材料を使用したノイズフィルタは、
この磁性材料の磁気損失によるノイズ抑制効果を利用し
たものである。2. Description of the Related Art Noise filters using magnetic materials are:
This utilizes the effect of suppressing noise caused by the magnetic loss of the magnetic material.
【０００３】このような磁性材料を用いたノイズフィル
タとしては、インピーダンス（Ｚ）および抵抗（Ｒ）が
大きいことが要求されるため、ノイズフィルタ用材料と
しては比透磁率および磁気損失が大きいことが必要とな
る。Since a noise filter using such a magnetic material is required to have a large impedance (Z) and a large resistance (R), the noise filter material must have a large relative permeability and a large magnetic loss. Required.
【０００４】従来、このような磁性材料からなるノイズ
フィルタとしては、フェライトコアを使用したものがあ
った。Conventionally, as a noise filter made of such a magnetic material, there has been one using a ferrite core.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなフェライトコアを使用した従来のノイズフィルタで
は、低周波数のノイズフィルタとしては十分良好に機能
するものの、高周波数の領域で使用する場合にコイル数
を増加させる必要があり、コイル数を増加させると多数
のコイルが密集することになるため浮遊キャパシタンス
を生じるという不具合があり、さらには、周波数が１０
０ＭＨｚ以上の高周波領域ではフェライトコアをノイズ
フィルタとして使用することができないという問題点が
あった。However, the conventional noise filter using such a ferrite core functions sufficiently as a low-frequency noise filter, but when used in a high-frequency region, the number of coils is small. It is necessary to increase the number of coils, and if the number of coils is increased, a large number of coils will be densely packed, causing a stray capacitance.
There is a problem that the ferrite core cannot be used as a noise filter in a high frequency region of 0 MHz or more.
【０００６】[0006]
【発明の目的】本発明は、このような従来の問題点を解
決するためになされたものであって、商用周波数（ＤＣ
〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数領
域においてノイズの減衰率が高く広帯域ノイズフィルタ
として使用することができる広帯域ノイズフィルタを提
供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, and has been made in view of the problem of commercial frequency (DC).
It is an object of the present invention to provide a broadband noise filter which has a high noise attenuation rate in a wide frequency range from (.about.) To a high frequency (.about.1 GHz) and can be used as a broadband noise filter.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係わる広帯域ノ
イズフィルタは、請求項１に記載しているように、層厚
さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介して積層してな
る構成としたことを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a broadband noise filter comprising two or more magnetic layers having different thicknesses laminated via an insulating layer. It is characterized by having.
【０００８】そして、本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタの実施態様においては、請求項２に記載しているよ
うに、薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層
とを２層以上積層してなるものとすることができる。In the embodiment of the broadband noise filter according to the present invention, as described in claim 2, two or more thin-film magnetic layers and thin-film magnetic layers having different thicknesses are laminated. It can be made.
【０００９】同じく、本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタの実施態様においては、請求項３に記載しているよ
うに、商用周波数に対応する磁性材料の薄板と、１ｋＨ
ｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１０μｍの薄
膜磁性層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に対応する膜
厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々絶縁層を介
して積層してなるものとすることができる。Similarly, in the embodiment of the broadband noise filter according to the present invention, a thin plate of a magnetic material corresponding to a commercial frequency and a 1 kHz
A thin film magnetic layer having a thickness of 1 to 10 μm corresponding to a frequency of z to 1 MHz and a thin film magnetic layer having a thickness of 0.1 to 1.0 μm corresponding to a frequency of 1 MHz to 1 GHz are laminated with an insulating layer interposed therebetween. It can be made.
【００１０】同じく、本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタの実施態様においては、請求項４に記載しているよ
うに、絶縁層の厚さが０．１〜１．０μｍであるものと
することができる。[0010] Similarly, in the embodiment of the broadband noise filter according to the present invention, the thickness of the insulating layer may be 0.1 to 1.0 µm. .
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタは、層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介し
て積層してなる構成を有するものであり、例えば、薄板
よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層とを２層以
上積層してなる構成としたものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A broadband noise filter according to the present invention has a configuration in which two or more magnetic layers having different thicknesses are laminated with an insulating layer interposed therebetween. And two or more thin film magnetic layers having different layer thicknesses.
【００１２】図１は本発明による広帯域ノイズフィルタ
の一実施形態を示すものであって、この広帯域ノイズフ
ィルタ１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領域で
ノイズフィルタとして機能する磁性材料の薄板（帯材）
２と、この磁性材料の薄板２の上側に、０．１〜１．０
μｍ厚さの絶縁層３ａを介して、周波数１ｋＨｚ〜１Ｍ
Ｈｚの領域でノイズフィルタとして機能する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層４と、この薄膜磁性層４の上に、
０．１〜１．０μｍ厚さの絶縁層３ｂを介して、周波数
１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイズフィルタとして機能
する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５を積層した
構造をなすものである。FIG. 1 shows an embodiment of a broadband noise filter according to the present invention. In this broadband noise filter 1, a thin plate of a magnetic material functioning as a noise filter in a commercial frequency (DC to 1 kHz) region is used. Strip)
2 and 0.1 to 1.0 on the upper side of the thin plate 2 of this magnetic material.
Through the insulating layer 3a having a thickness of μm, the frequency is 1 kHz to 1 M
1 to 1 functioning as a noise filter in the Hz range
0 μm thin film magnetic layer 4, and on this thin film magnetic layer 4,
A structure in which a thin film magnetic layer 5 having a thickness of 0.1 to 1.0 μm functioning as a noise filter in a frequency range of 1 MHz to 1 GHz is laminated via an insulating layer 3 b having a thickness of 0.1 to 1.0 μm. It is.
【００１３】図２は本発明による広帯域ノイズフィルタ
の他の実施形態を示すものであって、この広帯域ノイズ
フィルタ１１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領
域でノイズフィルタとして機能する磁性材料の薄板（帯
材）１２と、この磁性材料の薄板１２の上側に、０．１
〜１．０μｍ厚さの絶縁層１３ａを介して、周波数１ｋ
Ｈｚ〜１ＭＨｚの領域でノイズフィルタとして機能する
膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性層１４と、前記磁性材料の
薄板１２の下側に、０．１〜１．０μｍ厚さの絶縁層１
３ｂを介して、周波数１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイ
ズフィルタとして機能する膜厚０．１〜１．０μｍの薄
膜磁性層１５を積層した構造をなすものである。FIG. 2 shows another embodiment of the broadband noise filter according to the present invention. In this broadband noise filter 11, a thin plate of a magnetic material functioning as a noise filter in a commercial frequency (DC to 1 kHz) region is shown. (Strip) 12 and 0.1 mm above the thin plate 12 of this magnetic material
Through an insulating layer 13a having a thickness of about 1.0 μm,
A thin film magnetic layer 14 having a thickness of 1 to 10 μm functioning as a noise filter in a frequency range of 1 MHz to 1 MHz, and an insulating layer 1 having a thickness of 0.1 to 1.0 μm below the thin plate 12 of the magnetic material.
3b, a thin film magnetic layer 15 having a thickness of 0.1 to 1.0 μm and functioning as a noise filter in a frequency range of 1 MHz to 1 GHz is laminated.
【００１４】このような構造をなす広帯域ノイズフィル
タ１，１１において、磁性材料の薄板２，１２や薄膜磁
性層４，５，１４，１５としては、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
に、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｙ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎ
ｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｓｉ，Ｂなどを添加したも
のを用いることができ、より具体的には、ＦｅＮｉ合金
（パーマロイ）やＣｏＺｒＮｂ合金などを用いることが
できる。In the broadband noise filters 1 and 11 having such a structure, the thin plates 2 and 12 made of a magnetic material and the thin film magnetic layers 4, 5, 14 and 15 are made of Fe, Co and Ni.
In addition, Fe, Co, Ni, Y, Ti, Zr, Hf, V, N
A material to which b, Ta, Cr, Mo, W, Si, B, or the like is added can be used, and more specifically, a FeNi alloy (permalloy), a CoZrNb alloy, or the like can be used.
【００１５】また、絶縁層３ａ，３ｂ，１３ａ，１３ｂ
としては、Ａｌ２Ｏ３，ＳｉＯ２，ＡｌＮ，ＢＮ，Ｓｉ
Ｃなどの酸化物，炭化物，窒化物の中から選択したもの
を使用することができる。The insulating layers 3a, 3b, 13a, 13b
Al 2 O 3 , SiO 2 , AlN, BN, Si
A material selected from oxides such as C, carbides and nitrides can be used.
【００１６】そして、この広帯域ノイズフィルタ１，１
１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領域でノイズ
フィルタとして機能する磁性材料の薄板２，１２と、周
波数１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの領域でノイズフィルタとして
機能する膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性層４，１４と、周
波数１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイズフィルタとして
機能する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５，１５
を積層してなるものであるから、商用周波数（ＤＣ〜）
から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数でノイ
ズフィルタとして機能する広帯域ノイズフィルタとな
る。The broadband noise filters 1, 1
In No. 1, thin plates 2 and 12 made of a magnetic material functioning as a noise filter in a commercial frequency range (DC to 1 kHz), and a thin film magnetic layer 4 having a thickness of 1 to 10 μm functioning as a noise filter in a frequency range of 1 kHz to 1 MHz. 14 and a thin-film magnetic layer 5 and 15 having a thickness of 0.1 to 1.0 μm and functioning as a noise filter in a frequency range of 1 MHz to 1 GHz.
From the commercial frequency (DC ~)
A broadband noise filter that functions as a noise filter in a wide frequency range from to 1 GHz.
【００１７】なお、上記実施形態における周波数の区分
や、膜厚の区分などは単なる一例を示したにすぎないも
のであり、各層の厚さを変えたり、層数を変えて３層以
上の薄膜磁性層を積層したり、コイルの巻数を変えた
り、磁性材料そのものの透磁率を変えたりしたものとす
ることが可能であり、あるいは、環形状の広帯域ノイズ
フィルタとしたり、矩形状の広帯域ノイズフィルタとし
たり、板状としたりすることも可能である。The frequency division and the film thickness division in the above embodiment are merely examples, and the thickness of each layer is changed or the number of layers is changed so that three or more thin films are formed. It is possible to stack magnetic layers, change the number of turns of the coil, change the magnetic permeability of the magnetic material itself, or use a ring-shaped broadband noise filter, or a rectangular broadband noise filter. Or a plate shape.
【００１８】[0018]
【実施例】板厚が０．５ｍｍのＰＣパーマロイ（Ｆｅ−
７８重量％Ｎｉ）よりなる磁性材料の薄板（帯材）の片
面に、厚さ０．５μｍのＳｉＯ２絶縁層を介して、厚さ
を５μｍとした薄膜磁性層を設け、さらに厚さ０．５μ
ｍのＳｉＯ２絶縁層を介して、厚さを０．５μｍとした
薄膜磁性層を設けてノイズフィルタを形成した。EXAMPLE A 0.5 mm thick PC permalloy (Fe-
A thin-film magnetic layer having a thickness of 5 μm is provided on one surface of a thin plate (strip) of a magnetic material made of 78% by weight Ni) via a 0.5 μm-thick SiO 2 insulating layer. 5μ
A noise filter was formed by providing a thin film magnetic layer having a thickness of 0.5 μm via an m 2 SiO 2 insulating layer.
【００１９】次に、このノイズフィルタの周波数による
減衰率を調べたところ、図３に示す結果であった。Next, when the attenuation rate of the noise filter depending on the frequency was examined, the result shown in FIG. 3 was obtained.
【００２０】図３に示すように、商用周波数（ＤＣ〜）
から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い範囲において
ノイズの減衰率が大きなものとなっており、広帯域ノイ
ズフィルタとして使用できるものとなっていた。As shown in FIG. 3, as shown in FIG.
The attenuation rate of noise is large in a wide range from to high frequencies (up to 1 GHz), and can be used as a broadband noise filter.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明に係わる広帯域ノイズフィルタに
よれば、層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介し
て積層してなる構成としたから、層厚さ毎に対応した周
波数でのノイズフィルタとして機能させることが可能と
なるので、広帯域のノイズフィルタとして有用なものに
なるという著しく優れた効果がもたらされる。According to the broadband noise filter of the present invention, two or more magnetic layers having different layer thicknesses are laminated with an insulating layer interposed therebetween, so that a frequency corresponding to each layer thickness can be obtained. Can be made to function as a noise filter, so that a remarkably excellent effect of being useful as a broadband noise filter is provided.
【００２２】そして、請求項２に記載しているように、
薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層とを２
層以上積層してなるものとすることによって、層厚さ毎
に対応した周波数でのノイズフィルタとして機能させる
ことが可能となるので広帯域のノイズフィルタとして有
用なものであると共に、薄板は広帯域ノイズフィルタの
基板として兼用させることも可能であるという著しく優
れた効果がもたらされる。And, as described in claim 2,
A magnetic layer composed of a thin plate and a thin-film magnetic layer
By laminating more than one layer, it becomes possible to function as a noise filter at a frequency corresponding to each layer thickness, so that it is useful as a broadband noise filter and a thin plate is a broadband noise filter. A remarkably excellent effect that the substrate can also be used as the substrate is obtained.
【００２３】さらに、請求項３に記載しているように、
商用周波数に対応する磁性材料の薄板と、１ｋＨｚ〜１
ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性
層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に対応する膜厚０．
１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々絶縁層を介して積
層してなる構成のものとすることによって、商用周波数
（ＤＣ〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周
波数領域での広帯域ノイズフィルタとして使用すること
が可能であるという著しく優れた効果がもたらされる。Further, as described in claim 3,
A thin plate of magnetic material corresponding to the commercial frequency, 1 kHz to 1
A thin film magnetic layer having a film thickness of 1 to 10 μm corresponding to a frequency of 1 MHz and a film thickness of 0.1 μm corresponding to a frequency of 1 MHz to 1 GHz.
By adopting a configuration in which a thin film magnetic layer of 1 to 1.0 μm is laminated via an insulating layer, a wide band in a wide frequency range from a commercial frequency (DC to) to a high frequency (up to 1 GHz). A remarkably excellent effect that it can be used as a noise filter is provided.
【図１】本発明による広帯域ノイズフィルタの一実施形
態を示す断面説明図である。FIG. 1 is an explanatory sectional view showing an embodiment of a broadband noise filter according to the present invention.
【図２】本発明による広帯域ノイズフィルタの他の実施
形態を示す断面説明図である。FIG. 2 is an explanatory sectional view showing another embodiment of the broadband noise filter according to the present invention.
【図３】本発明による広帯域ノイズフィルタの実施例に
おいて周波数による減衰率の変化を調べた結果を例示す
るグラフである。FIG. 3 is a graph illustrating a result of examining a change in an attenuation factor depending on a frequency in an embodiment of a broadband noise filter according to the present invention.
１，１１，２１，３１ 広帯域ノイズフィルタ ２，１２ 磁性材料の薄板（磁性層） ３ａ，３ｂ，１３ａ，１３ｂ 絶縁層 ４，１４ 薄膜磁性層（磁性層） ５，１５ 薄膜磁性層（磁性層） 1,11,21,31 Broadband noise filter 2,12 Thin plate of magnetic material (magnetic layer) 3a, 3b, 13a, 13b Insulating layer 4,14 Thin film magnetic layer (magnetic layer) 5,15 Thin film magnetic layer (magnetic layer)
Claims (4)
を介して積層してなることを特徴とする広帯域ノイズフ
ィルタ。1. A broadband noise filter comprising two or more magnetic layers having different thicknesses laminated via an insulating layer.
膜磁性層とを２層以上積層してなる請求項１に記載の広
帯域ノイズフィルタ。2. The broadband noise filter according to claim 1, wherein two or more thin-film magnetic layers and thin-film magnetic layers having different thicknesses are laminated.
と、１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に
対応する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々
絶縁層を介して積層してなる請求項１または２に記載の
広帯域ノイズフィルタ。3. A thin plate of a magnetic material corresponding to a commercial frequency and a film thickness of 1 to 1 corresponding to a frequency of 1 kHz to 1 MHz.
3. The broadband noise according to claim 1, wherein a thin film magnetic layer having a thickness of 0 [mu] m and a thin film magnetic layer having a thickness of 0.1 to 1.0 [mu] m corresponding to a frequency of 1 MHz to 1 GHz are laminated with an insulating layer interposed therebetween. filter.
る請求項１ないし３のいずれかに記載の広帯域ノイズフ
ィルタ。4. The broadband noise filter according to claim 1, wherein the thickness of the insulating layer is 0.1 to 1.0 μm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16341596A JPH1012442A (en) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | Broad-band noise filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16341596A JPH1012442A (en) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | Broad-band noise filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1012442A true JPH1012442A (en) | 1998-01-16 |
Family
ID=15773469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16341596A Pending JPH1012442A (en) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | Broad-band noise filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1012442A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183657B1 (en) | 1998-05-18 | 2001-02-06 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Core material for noise filter |
| JP2007006466A (en) * | 2005-05-27 | 2007-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | Integration type microelectronics element for carrying out filter of electromagnetic noise, and radio-frequency transmission circuit equipped with it |
| CN109718465A (en) * | 2019-01-28 | 2019-05-07 | 深圳市中明科技股份有限公司 | 3D printing electret micropin promotees to absorb facial mask |
-
1996
- 1996-06-24 JP JP16341596A patent/JPH1012442A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183657B1 (en) | 1998-05-18 | 2001-02-06 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Core material for noise filter |
| JP2007006466A (en) * | 2005-05-27 | 2007-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | Integration type microelectronics element for carrying out filter of electromagnetic noise, and radio-frequency transmission circuit equipped with it |
| CN109718465A (en) * | 2019-01-28 | 2019-05-07 | 深圳市中明科技股份有限公司 | 3D printing electret micropin promotees to absorb facial mask |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050801 |
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Effective date: 20050920 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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Effective date: 20060207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |