JPH1011953A - 磁気ディスクの耐久性試験装置 - Google Patents
磁気ディスクの耐久性試験装置Info
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- JPH1011953A JPH1011953A JP8179793A JP17979396A JPH1011953A JP H1011953 A JPH1011953 A JP H1011953A JP 8179793 A JP8179793 A JP 8179793A JP 17979396 A JP17979396 A JP 17979396A JP H1011953 A JPH1011953 A JP H1011953A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ディスクの耐久性の判定に必要な検査機
能を総合した、試験装置を提供する。 【解決手段】 テスト用ディスク1を装着して回転する
回転機構2と、磁気ヘッド31を装着し、テストトラック
にローディングするXYZ移動機構34、およびヘッド31
の装着位置に設けたピエゾ素子((PZ)およびストレ
ーンゲージ(SG)よりなる移動・センサ部3、ディス
ク1の読出し信号のレベル変化を測定するレベル変化測
定部41、PZの検出信号より磁気膜の凹凸の大きさを測
定する凹凸測定回路42、およびSGの検出信号より、磁
気膜とヘッド31間の静摩擦力と動摩擦力を測定する摩擦
測定回路43よりなる測定部4、ならびに、各測定データ
を処理して、各測定データのトラック1周に対する変動
データと、1周の変動データを積分した積分データと
を、それぞれ算出して出力するデータ処理部5とにより
構成される。
能を総合した、試験装置を提供する。 【解決手段】 テスト用ディスク1を装着して回転する
回転機構2と、磁気ヘッド31を装着し、テストトラック
にローディングするXYZ移動機構34、およびヘッド31
の装着位置に設けたピエゾ素子((PZ)およびストレ
ーンゲージ(SG)よりなる移動・センサ部3、ディス
ク1の読出し信号のレベル変化を測定するレベル変化測
定部41、PZの検出信号より磁気膜の凹凸の大きさを測
定する凹凸測定回路42、およびSGの検出信号より、磁
気膜とヘッド31間の静摩擦力と動摩擦力を測定する摩擦
測定回路43よりなる測定部4、ならびに、各測定データ
を処理して、各測定データのトラック1周に対する変動
データと、1周の変動データを積分した積分データと
を、それぞれ算出して出力するデータ処理部5とにより
構成される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、磁気ディスクの
磁気膜の耐久性を試験する装置に関する。
磁気膜の耐久性を試験する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータシステムに使用されるハー
ド磁気ディスク(以下単に磁気ディスクまたはディスク
という)は、各種の検査装置により検査されている。そ
の中には、製造時点のディスクを対象とし、これにテス
トデータを書込み/読出し、読出しデータのエラーを検
出して磁気膜の良否を検査するサーテファイ装置や、デ
ィスクの表面に存在する突起を検査する突起検査装置が
あり、またテストディスクを複数回使用し、ディスクと
磁気ヘッドの間の摩擦力を測定して、使用回数と磁気膜
の劣化の関係を判定する摩擦力検査装置がある。
ド磁気ディスク(以下単に磁気ディスクまたはディスク
という)は、各種の検査装置により検査されている。そ
の中には、製造時点のディスクを対象とし、これにテス
トデータを書込み/読出し、読出しデータのエラーを検
出して磁気膜の良否を検査するサーテファイ装置や、デ
ィスクの表面に存在する突起を検査する突起検査装置が
あり、またテストディスクを複数回使用し、ディスクと
磁気ヘッドの間の摩擦力を測定して、使用回数と磁気膜
の劣化の関係を判定する摩擦力検査装置がある。
【0003】磁気ディスクの磁気膜には寿命があり、使
用回数が多くなると性能が劣化するので、この寿命、す
なわち耐久性を知ることがディスクメーカには必要とさ
れている。これに対して、上記のサーテファイ装置と突
起検査装置は、それぞれ検査ラインに組込まれて、製造
時点のディスクが流れ作業により検査され、また摩擦力
検査装置は別個に設けられ、使用したテストディスクが
検査されている。しかしながら、磁気膜の性能劣化の原
因は使用回数のみにより決まるものではなく、その素材
の材質と形成方法や、磁気ヘッドとの接触状態により生
ずる表面の摩耗や荒れなどに依存するものであり、磁気
膜の耐久性の良否を判定するためには、同一のディスク
を長期間に亘って試験して各原因の因果関係を調べるこ
とが必要である。しかし、上記の各検査装置はそれぞれ
別個のため同一ディスクの長期試験は実際上困難であ
り、行われていない。これに対して、耐久性を判定する
に必要な検査機能を総合して、同一ディスクを長期試験
することが好ましい。
用回数が多くなると性能が劣化するので、この寿命、す
なわち耐久性を知ることがディスクメーカには必要とさ
れている。これに対して、上記のサーテファイ装置と突
起検査装置は、それぞれ検査ラインに組込まれて、製造
時点のディスクが流れ作業により検査され、また摩擦力
検査装置は別個に設けられ、使用したテストディスクが
検査されている。しかしながら、磁気膜の性能劣化の原
因は使用回数のみにより決まるものではなく、その素材
の材質と形成方法や、磁気ヘッドとの接触状態により生
ずる表面の摩耗や荒れなどに依存するものであり、磁気
膜の耐久性の良否を判定するためには、同一のディスク
を長期間に亘って試験して各原因の因果関係を調べるこ
とが必要である。しかし、上記の各検査装置はそれぞれ
別個のため同一ディスクの長期試験は実際上困難であ
り、行われていない。これに対して、耐久性を判定する
に必要な検査機能を総合して、同一ディスクを長期試験
することが好ましい。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記に鑑
みてなされたもので、サーテファイ装置の一部機能と突
起検査装置および摩擦力検査装置の各機能を総合し、同
一ディスクを長期試験する耐久性試験装置を提供するこ
とを課題とする。
みてなされたもので、サーテファイ装置の一部機能と突
起検査装置および摩擦力検査装置の各機能を総合し、同
一ディスクを長期試験する耐久性試験装置を提供するこ
とを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決した磁気ディスクの耐久性試験装置であって、テ
スト用の磁気ディスクを装着し、制御回路により制御さ
れて回転または停止する回転機構と、磁気ヘッドを装着
し、磁気ディスクのテストトラックにローディングする
XYZ移動機構、および磁気ヘッドの支持アームのクラ
ンプ位置に設けたピエゾ素子およびストレーンゲージよ
りなる移動・センサ部、磁気ディスクに対してテストデ
ータを書込み/読出して、読出し信号のレベル変化を測
定するレベル変化測定部、ピエゾ素子の検出信号よりト
ラックの磁気膜の凹凸の大きさを測定する凹凸測定回
路、および制御回路により回転機構を制御して、磁気デ
ィスクの回転を適当な時間間隔でスタート/ストップ
し、磁気膜と磁気ヘッド間の静摩擦力と動摩擦力を測定
する摩擦測定回路よりなる測定部、ならびに、測定され
たレベル変化データ、凹凸の大きさデータ、および摩擦
力データを処理して、各データのトラック1周に対する
変動データと、1周の変動データを積分した積分データ
とを、それぞれ算出して出力するデータ処理部とにより
構成される。
を解決した磁気ディスクの耐久性試験装置であって、テ
スト用の磁気ディスクを装着し、制御回路により制御さ
れて回転または停止する回転機構と、磁気ヘッドを装着
し、磁気ディスクのテストトラックにローディングする
XYZ移動機構、および磁気ヘッドの支持アームのクラ
ンプ位置に設けたピエゾ素子およびストレーンゲージよ
りなる移動・センサ部、磁気ディスクに対してテストデ
ータを書込み/読出して、読出し信号のレベル変化を測
定するレベル変化測定部、ピエゾ素子の検出信号よりト
ラックの磁気膜の凹凸の大きさを測定する凹凸測定回
路、および制御回路により回転機構を制御して、磁気デ
ィスクの回転を適当な時間間隔でスタート/ストップ
し、磁気膜と磁気ヘッド間の静摩擦力と動摩擦力を測定
する摩擦測定回路よりなる測定部、ならびに、測定され
たレベル変化データ、凹凸の大きさデータ、および摩擦
力データを処理して、各データのトラック1周に対する
変動データと、1周の変動データを積分した積分データ
とを、それぞれ算出して出力するデータ処理部とにより
構成される。
【0006】
【発明の実施の形態】上記の耐久性試験装置において
は、回転機構に載置されて回転するテスト用の磁気ディ
スクに対して、磁気ヘッドはXYZ移動機構により移動
してテストトラックをシークし、これにローディングさ
れる。磁気ヘッドの支持アームの位置に設けたピエゾ素
子は、トラックに存在する突起と荒れの凹凸を検出して
検出信号を出力する。また摩擦力の測定においては、ス
タート/ストップ指令が回転制御回路に与えられて、デ
ィスクの回転のスタートとストップが適当な間隔で繰り
返される。回転が停止しているときヘッドはディスクの
磁気膜に接触しており、回転をスタートすると両者は静
摩擦から動摩擦に移行しながらヘッドは漸次に浮上す
る。これと反対に、ディスクの回転をストップすると、
浮上しているヘッドは漸次に下降しながら、動摩擦から
静摩擦に移行して磁気膜に接触する。これらの摩擦力に
よりストレーンゲージに歪みが生じて検出され、検出信
号を出力する。測定部においては、磁気ディスクに対し
てテストデータを書込み/読出して、読出し信号のレベ
ル変化がレベル変化測定回路により測定され、ピエゾ素
子の検出信号は凹凸測定回路により処理されて、磁気膜
の凹凸の大きさが測定される。またストレーンゲージの
検出信号は摩擦力測定回路により処理されて、静摩擦力
と動摩擦力が測定される。以上により測定されたレベル
変化データ、凹凸の大きさデータ、および摩擦力データ
はデータ処理部において処理され、それぞれのトラック
1周に対する変動データと、1周の変動データを積分し
た積分データとが算出されて出力される。磁気ヘッドを
同一トラックにローディングして長期間に亘るテストを
行い、えられた各1周の変動データと各積分データを総
合的に検討することにより、磁気膜、すなわち磁気ディ
スク耐久性を的確に判定することができる。
は、回転機構に載置されて回転するテスト用の磁気ディ
スクに対して、磁気ヘッドはXYZ移動機構により移動
してテストトラックをシークし、これにローディングさ
れる。磁気ヘッドの支持アームの位置に設けたピエゾ素
子は、トラックに存在する突起と荒れの凹凸を検出して
検出信号を出力する。また摩擦力の測定においては、ス
タート/ストップ指令が回転制御回路に与えられて、デ
ィスクの回転のスタートとストップが適当な間隔で繰り
返される。回転が停止しているときヘッドはディスクの
磁気膜に接触しており、回転をスタートすると両者は静
摩擦から動摩擦に移行しながらヘッドは漸次に浮上す
る。これと反対に、ディスクの回転をストップすると、
浮上しているヘッドは漸次に下降しながら、動摩擦から
静摩擦に移行して磁気膜に接触する。これらの摩擦力に
よりストレーンゲージに歪みが生じて検出され、検出信
号を出力する。測定部においては、磁気ディスクに対し
てテストデータを書込み/読出して、読出し信号のレベ
ル変化がレベル変化測定回路により測定され、ピエゾ素
子の検出信号は凹凸測定回路により処理されて、磁気膜
の凹凸の大きさが測定される。またストレーンゲージの
検出信号は摩擦力測定回路により処理されて、静摩擦力
と動摩擦力が測定される。以上により測定されたレベル
変化データ、凹凸の大きさデータ、および摩擦力データ
はデータ処理部において処理され、それぞれのトラック
1周に対する変動データと、1周の変動データを積分し
た積分データとが算出されて出力される。磁気ヘッドを
同一トラックにローディングして長期間に亘るテストを
行い、えられた各1周の変動データと各積分データを総
合的に検討することにより、磁気膜、すなわち磁気ディ
スク耐久性を的確に判定することができる。
【0007】
【実施例】図1および図2は、この発明の耐久性試験装
置の一実施例を示し、図1(a) は回転機構2と移動・セ
ンサ部3の構成図、図1(b) は部分図、図2は測定部4
とデータ処理部5の構成図である。
置の一実施例を示し、図1(a) は回転機構2と移動・セ
ンサ部3の構成図、図1(b) は部分図、図2は測定部4
とデータ処理部5の構成図である。
【0008】図1(a) において、回転機構2は、チャッ
クヘッド21と、これを回転するモータ(M)22、モータ
22に対する回転制御回路23、回転角度を検出する回転角
度検出器24よりなる。移動・センサ部3は、磁気ヘッド
31と、その支持アーム32の基部をクランプするクランプ
板33、XYZ移動機構34、移動制御回路35、および、支
持アーム32のクランプ位置に設けたピエゾ素子(PZ)
とストレーンゲージ(SG)よりなる。図1(b) はPZ
とSGの取付位置を示す。
クヘッド21と、これを回転するモータ(M)22、モータ
22に対する回転制御回路23、回転角度を検出する回転角
度検出器24よりなる。移動・センサ部3は、磁気ヘッド
31と、その支持アーム32の基部をクランプするクランプ
板33、XYZ移動機構34、移動制御回路35、および、支
持アーム32のクランプ位置に設けたピエゾ素子(PZ)
とストレーンゲージ(SG)よりなる。図1(b) はPZ
とSGの取付位置を示す。
【0009】図2において、測定部4は、レベル測定部
41と、凹凸測定回路42、摩擦力測定回路43、アンプ群4
4、および切替えスイッチ(SW)45よりなる。レベル
測定部41は、書込み回路411 、読出し回路412 、レベル
変化測定回路413 よりなり、アンプにより磁気ヘッド31
に接続され、凹凸測定回路42と摩擦力測定回路43は、そ
れぞれのアンプを経てPZとSGに接続される。また、
レベル変化測定回路413と凹凸測定回路42、摩擦力測定
回路43の出力側は、SW45の切替え接点にそれぞれ接続
される。データ処理部5は、MPU51と、A/D変換器
52、CRTデスプレー53、ハードディスク(HD)54、
フロッピディスク(FD)55、およびプリンタ(PR
T)56よりなり、MPU51の出力側には、書込み回路41
1 と、回転制御回路23、および移動制御回路35が接続さ
れ、入力側には、A/D52を経てSW45と回転角度検出
器24が接続される。HD54には、予め、テストデータと
テスト順序のシーケンスプログラムが設定される。
41と、凹凸測定回路42、摩擦力測定回路43、アンプ群4
4、および切替えスイッチ(SW)45よりなる。レベル
測定部41は、書込み回路411 、読出し回路412 、レベル
変化測定回路413 よりなり、アンプにより磁気ヘッド31
に接続され、凹凸測定回路42と摩擦力測定回路43は、そ
れぞれのアンプを経てPZとSGに接続される。また、
レベル変化測定回路413と凹凸測定回路42、摩擦力測定
回路43の出力側は、SW45の切替え接点にそれぞれ接続
される。データ処理部5は、MPU51と、A/D変換器
52、CRTデスプレー53、ハードディスク(HD)54、
フロッピディスク(FD)55、およびプリンタ(PR
T)56よりなり、MPU51の出力側には、書込み回路41
1 と、回転制御回路23、および移動制御回路35が接続さ
れ、入力側には、A/D52を経てSW45と回転角度検出
器24が接続される。HD54には、予め、テストデータと
テスト順序のシーケンスプログラムが設定される。
【0010】以下、上記の耐久性試験装置によるディス
ク1の試験方法を説明する。製造直後の新しい磁気ディ
スク1をテスト用とし、これを回転機構2のチャックヘ
ッド21に装着して回転し、必要により回転のスタート/
ストップを行う。回転角度検出器24はディスク1の1回
転ごとに、その基準点を示すインデックス(INDX)
信号を出力してMPU51に与える。磁気ヘッド31は、X
YZ機構34によりXまたはY移動して所定のテストトラ
ックをシークし、Z下降してローディングされ、ディス
ク1の回転中、ヘッド31は微小な高さ浮上する。
ク1の試験方法を説明する。製造直後の新しい磁気ディ
スク1をテスト用とし、これを回転機構2のチャックヘ
ッド21に装着して回転し、必要により回転のスタート/
ストップを行う。回転角度検出器24はディスク1の1回
転ごとに、その基準点を示すインデックス(INDX)
信号を出力してMPU51に与える。磁気ヘッド31は、X
YZ機構34によりXまたはY移動して所定のテストトラ
ックをシークし、Z下降してローディングされ、ディス
ク1の回転中、ヘッド31は微小な高さ浮上する。
【0011】MPU51がHD54のシーケンスプログラム
を実行し、例えばレベル変化測定の場合は、HD54のテ
ストデータを書込み回路411 に転送して、ヘッド31によ
りテストトラックに書込み、読出し回路412 により読出
す。読出し信号はレベル変化測定回路413 によりレベル
変化が測定され、この測定データはSW45を経てA/D
52によりデジタル化されてMPU51に取り込まれ、IN
DX信号によりトラックの1周に対する変動データが作
成され、さらにこれを積分した積分データが算出され、
変動データとともにFD55に記録される。凹凸測定の場
合は、トラックの磁気膜に存在する突起や荒れによるP
Zの振動が検出され、この検出信号は凹凸測定回路42に
入力して突起や荒れの大きさが測定され、測定データは
上記と同様にデジタル化され、MPU51によるトラック
の1周に対する変動データと、その積分データとがFD
55に記録される。
を実行し、例えばレベル変化測定の場合は、HD54のテ
ストデータを書込み回路411 に転送して、ヘッド31によ
りテストトラックに書込み、読出し回路412 により読出
す。読出し信号はレベル変化測定回路413 によりレベル
変化が測定され、この測定データはSW45を経てA/D
52によりデジタル化されてMPU51に取り込まれ、IN
DX信号によりトラックの1周に対する変動データが作
成され、さらにこれを積分した積分データが算出され、
変動データとともにFD55に記録される。凹凸測定の場
合は、トラックの磁気膜に存在する突起や荒れによるP
Zの振動が検出され、この検出信号は凹凸測定回路42に
入力して突起や荒れの大きさが測定され、測定データは
上記と同様にデジタル化され、MPU51によるトラック
の1周に対する変動データと、その積分データとがFD
55に記録される。
【0012】次に摩擦力測定の場合は、MPU51よりス
タート/ストップ指令が回転制御回路23に与えられて、
モータ22の回転のスタートとストップが適当な間隔で繰
り返され、スタートとストップの際のSGの検出信号は
摩擦動力測定回路43に入力して、ヘッド31と磁気膜間の
静摩擦と動摩擦が測定される。この測定データは、上記
と同様にデジタル化され、トラックの1周に対する変動
データと、その積分データとがFD55に記録される。
タート/ストップ指令が回転制御回路23に与えられて、
モータ22の回転のスタートとストップが適当な間隔で繰
り返され、スタートとストップの際のSGの検出信号は
摩擦動力測定回路43に入力して、ヘッド31と磁気膜間の
静摩擦と動摩擦が測定される。この測定データは、上記
と同様にデジタル化され、トラックの1周に対する変動
データと、その積分データとがFD55に記録される。
【0013】耐久性試験は、同一のトラックに対して1
〜数週間の長期間行い、この間に、適当な時点でレベル
変化測定、凹凸測定、摩擦力測定を交替して、それぞれ
を複数回行う。各回ごとにえられるトラック1周に対す
る各変動データと、それぞれの積分データのモデルを、
図3〜図5に示す。図3は読出し(RD)信号のレベル
変化データを示し、(a) のトラック1周の変動データは
平均値に対して変動しており、(b) の積分データは測定
回数n1 まではほぼ一定であるが、これを越えるとレベ
ルが急激に低下しており、n1 は、読出し信号の観点か
らみた磁気膜の記録性能の劣化点である。
〜数週間の長期間行い、この間に、適当な時点でレベル
変化測定、凹凸測定、摩擦力測定を交替して、それぞれ
を複数回行う。各回ごとにえられるトラック1周に対す
る各変動データと、それぞれの積分データのモデルを、
図3〜図5に示す。図3は読出し(RD)信号のレベル
変化データを示し、(a) のトラック1周の変動データは
平均値に対して変動しており、(b) の積分データは測定
回数n1 まではほぼ一定であるが、これを越えるとレベ
ルが急激に低下しており、n1 は、読出し信号の観点か
らみた磁気膜の記録性能の劣化点である。
【0014】図4は凹凸(突起と荒れ)データを示し、
(a) のトラック1周の変動データには大小の凹凸が散在
しており、(b) の積分データは測定回数n2 まではほぼ
一定であるが、これを越えると大きさが急激に増加して
いる。また(c) は凹凸の個数をカウントしたもので、測
定回数n3 までは微増であるが、これを越えると、個数
は急激に増加する。これらのn2,n3 は、凹凸の観点か
らみた磁気膜の劣化点である。図5は摩擦力データを示
し、(a) のトラック1周の変動データは、ディスク1の
回転のスタートにより、静摩擦が急激に立上がってピー
クに達し、漸次に動摩擦に移行してボタムまで低下す
る。またストップすると動摩擦から静摩擦に移行してピ
ークに達し、以後急激に低下する。このピークが静摩擦
力とされ、このボタムが動摩擦力とされる。(b) の静摩
擦力の積分データは測定回数n4 までは微増であるが、
これを越えると急増し、(c) の動摩擦力の積分データ
は、測定回数n5 までは微増であるが、これを越えると
急増する。n4, n5 は摩擦力の鑑定からみた磁気膜の
劣化点である。
(a) のトラック1周の変動データには大小の凹凸が散在
しており、(b) の積分データは測定回数n2 まではほぼ
一定であるが、これを越えると大きさが急激に増加して
いる。また(c) は凹凸の個数をカウントしたもので、測
定回数n3 までは微増であるが、これを越えると、個数
は急激に増加する。これらのn2,n3 は、凹凸の観点か
らみた磁気膜の劣化点である。図5は摩擦力データを示
し、(a) のトラック1周の変動データは、ディスク1の
回転のスタートにより、静摩擦が急激に立上がってピー
クに達し、漸次に動摩擦に移行してボタムまで低下す
る。またストップすると動摩擦から静摩擦に移行してピ
ークに達し、以後急激に低下する。このピークが静摩擦
力とされ、このボタムが動摩擦力とされる。(b) の静摩
擦力の積分データは測定回数n4 までは微増であるが、
これを越えると急増し、(c) の動摩擦力の積分データ
は、測定回数n5 までは微増であるが、これを越えると
急増する。n4, n5 は摩擦力の鑑定からみた磁気膜の
劣化点である。
【0015】以上のトラック1周に対する各変動データ
と、それぞれの積分データは、必要の都度、CRT53に
表示され、またPRT56にプリントされ、これらの劣化
点n1 〜n5 を総合的にみることにより、磁気膜の劣化
の進行状態が正しく把握され、耐久性が的確に判定され
る。
と、それぞれの積分データは、必要の都度、CRT53に
表示され、またPRT56にプリントされ、これらの劣化
点n1 〜n5 を総合的にみることにより、磁気膜の劣化
の進行状態が正しく把握され、耐久性が的確に判定され
る。
【0016】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の耐久性
試験装置によれば、テスト用の磁気ディスクの同一トラ
ックについて、テストデータの読出し信号のレベル変化
と、磁気膜の突起と荒れによる凹凸、および磁気ヘッド
と磁気膜の摩擦力とを、長期間に亘って複数回測定し、
各回におけるトラックの1周に対する各変動データと、
それぞれの積分データとがえられるもので、これらを総
合して磁気膜の劣化が的確に判定され、磁気ディスクの
耐久性の正しい判定に寄与するところには、大きいもの
がある。
試験装置によれば、テスト用の磁気ディスクの同一トラ
ックについて、テストデータの読出し信号のレベル変化
と、磁気膜の突起と荒れによる凹凸、および磁気ヘッド
と磁気膜の摩擦力とを、長期間に亘って複数回測定し、
各回におけるトラックの1周に対する各変動データと、
それぞれの積分データとがえられるもので、これらを総
合して磁気膜の劣化が的確に判定され、磁気ディスクの
耐久性の正しい判定に寄与するところには、大きいもの
がある。
【図1】 図1は、この発明の耐久性試験装置の一実施
例の構成図であって、(a) は回転機構と移動・センサ部
の構成図、(b) はその部分図である。
例の構成図であって、(a) は回転機構と移動・センサ部
の構成図、(b) はその部分図である。
【図2】 図2は、同じく測定部とデータ処理部の構成
図である。
図である。
【図3】 図3は、読出し(RD)信号のレベル変化デ
ータの説明図であって、(a) はトラック1周に対する変
動データの説明図、(b) は測定回数に対する積分データ
の説明図である。
ータの説明図であって、(a) はトラック1周に対する変
動データの説明図、(b) は測定回数に対する積分データ
の説明図である。
【図4】 図4は、凹凸(突起と荒れ)データの説明図
であって、(a) は同じく変動データの説明図、(b) は同
じく積分データの説明図、(c) は凹凸の個数データの説
明図である。
であって、(a) は同じく変動データの説明図、(b) は同
じく積分データの説明図、(c) は凹凸の個数データの説
明図である。
【図5】 図5は、摩擦力データの説明図であって、
(a) は同じく変動データの説明図、(b) は静摩擦力の積
分データの説明図、(c) は動摩擦力の積分データの説明
図である。
(a) は同じく変動データの説明図、(b) は静摩擦力の積
分データの説明図、(c) は動摩擦力の積分データの説明
図である。
1…テスト用磁気ディスク、2…回転機構、21…チャッ
クヘッド、22…モータ(M)、23…回転制御回路、24…
回転角度検出器、3…移動・センサ部、31…磁気ヘッ
ド、32…支持アーム、33…クランプ板、34…XYZ移動
機構、35…移動制御回路、4…測定部、41…レベル測定
部、411 …書込み回路、412 …読出し回路、413 …レベ
ル変化測定回路、42…凹凸測定回路、43…摩擦力測定回
路、44…アンプ群44、45…切替えスイッチ(SW)、5
…データ処理部、51…MPU、51…A/D変換器、53…
CRTデスプレー、54…ハードディスク(HD)、55…
フロッピーディスク(FD)、55…プリンタ(PR
T)。
クヘッド、22…モータ(M)、23…回転制御回路、24…
回転角度検出器、3…移動・センサ部、31…磁気ヘッ
ド、32…支持アーム、33…クランプ板、34…XYZ移動
機構、35…移動制御回路、4…測定部、41…レベル測定
部、411 …書込み回路、412 …読出し回路、413 …レベ
ル変化測定回路、42…凹凸測定回路、43…摩擦力測定回
路、44…アンプ群44、45…切替えスイッチ(SW)、5
…データ処理部、51…MPU、51…A/D変換器、53…
CRTデスプレー、54…ハードディスク(HD)、55…
フロッピーディスク(FD)、55…プリンタ(PR
T)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樋口 晋介 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 広瀬 伸一 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内
Claims (1)
- 【請求項1】テスト用の磁気ディスクを装着し、制御回
路により制御されて回転または停止する回転機構と、磁
気ヘッドを装着し、該磁気ディスクのテストトラックに
ローディングするXYZ移動機構、および該磁気ヘッド
の支持アームのクランプ位置に設けたピエゾ素子および
ストレーンゲージよりなる移動・センサ部と、前記磁気
ディスクに対してテストデータを書込み/読出して、読
出し信号のレベル変化を測定するレベル変化測定部、前
記ピエゾ素子の検出信号より該トラックの磁気膜の凹凸
の大きさを測定する凹凸測定回路、および前記制御回路
により回転機構を制御して、該磁気ディスクの回転を適
当な時間間隔でスタート/ストップし、該磁気膜と該磁
気ヘッド間の静摩擦力と動摩擦力を測定する摩擦測定回
路よりなる測定部、ならびに、該測定されたレベル変化
データ、凹凸の大きさデータ、および摩擦力データを処
理して、該各測定データのトラック1周に対する変動デ
ータと、該1周の変動データを積分した積分データと
を、それぞれ算出して出力するデータ処理部とにより構
成されたことを特徴とする、磁気ディスクの耐久性試験
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8179793A JPH1011953A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 磁気ディスクの耐久性試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8179793A JPH1011953A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 磁気ディスクの耐久性試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1011953A true JPH1011953A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=16072000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8179793A Pending JPH1011953A (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 磁気ディスクの耐久性試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1011953A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007506093A (ja) * | 2003-09-16 | 2007-03-15 | エルジー エレクトロニクス インコーポレーテッド | 光ディスク表面の機械的耐久性検査装置及び検査方法 |
CN108680098A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-10-19 | 向春兰 | 一种新型高精度加工平面的平整度检测装置 |
-
1996
- 1996-06-21 JP JP8179793A patent/JPH1011953A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7864643B2 (en) | 2003-09-15 | 2011-01-04 | Lg Electronics Inc. | Apparatus and method for testing mechanical endurance of surface of optical disc, the optical disc of same kind as the tested optical disc |
JP2007506093A (ja) * | 2003-09-16 | 2007-03-15 | エルジー エレクトロニクス インコーポレーテッド | 光ディスク表面の機械的耐久性検査装置及び検査方法 |
US7626904B2 (en) | 2003-09-16 | 2009-12-01 | Lg Electronics Inc. | Apparatus and method for testing mechanical endurance of surface of optical disc, the optical disc of same kind as the tested optical disc |
CN108680098A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-10-19 | 向春兰 | 一种新型高精度加工平面的平整度检测装置 |
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Legal Events
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