JPH1010723A - Photosensitive resin composition and photosensitive element using same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element using same

Info

Publication number
JPH1010723A
JPH1010723A JP16474196A JP16474196A JPH1010723A JP H1010723 A JPH1010723 A JP H1010723A JP 16474196 A JP16474196 A JP 16474196A JP 16474196 A JP16474196 A JP 16474196A JP H1010723 A JPH1010723 A JP H1010723A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
parts
resin composition
group
photosensitive resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16474196A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3724607B2 (en
Inventor
Masaki Endo
昌樹 遠藤
Tatsuya Ichikawa
立也 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP16474196A priority Critical patent/JP3724607B2/en
Publication of JPH1010723A publication Critical patent/JPH1010723A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3724607B2 publication Critical patent/JP3724607B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To diminish sludge generated at the time of development and to improve plating resistance, adhesion to a base metal and tenting reliability by incorporating a specified compd. as an essential component into an ethylenic unsatd. compd. SOLUTION: This photosensitive resin compsn. contains a polymer binder having carboxyl groups, a photopolymn. initiator and a photopolymerizable compd. having at least one polymerizable ethylenic unsatd. group in one molecule and contg. a compd. represented by formula I as an essential component by 10-90 pts.wt. per 100 pts.wt. of the photopolymerizable compd. In the formula I, R<1> is a trivalent org. group and R<2> is a group represented by formula II, wherein R<3> is H or methyl, X is alkylene oxide and (n) is an integer of 1-14.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photosensitive element using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、印刷配線板の製造法には、テンテ
ィング法とめっき法の二つがある。テンティング法は、
チップ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護
し、エッチング、レジスト剥離を経て電気回路形成を行
なう方法である。一方、めっき法は、電気めっきによっ
てスルーホールに銅を析出させ、半田めっきで保護し、
レジスト剥離、エッチングによって電気回路の形成を行
なう方法である。これらの方法を実施するときに、レジ
ストとして感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エ
レメントが使用されており、未硬化部をアルカリ性水溶
液で除去するアルカリ現像型が主流となっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there are two methods of manufacturing a printed wiring board, a tenting method and a plating method. The tenting method is
In this method, a copper through hole for mounting a chip is protected with a resist, and an electric circuit is formed through etching and resist peeling. On the other hand, in the plating method, copper is deposited in through holes by electroplating, protected by solder plating,
In this method, an electric circuit is formed by stripping and etching a resist. When these methods are performed, a photosensitive resin composition and a photosensitive element using the same are used as a resist, and an alkali developing type in which an uncured portion is removed with an alkaline aqueous solution is mainly used.

【0003】しかし、アルカリ現像型の感光性樹脂組成
物を用いた場合は、現像液中に未重合の感光性樹脂組成
物が溶解し、この溶解成分がスラッジとなり、基板上に
再付着してショート不良の発生原因となっている。特
に、現像時の発泡を抑制する消泡剤を組み合わせて使用
することにより、スラッジ発生量が多くなるという問題
があるため、従来の感光性樹脂組成物及び感光性エレメ
ントは、スラッジ発生によるショート不良防止のため
に、現像機の洗浄を短期間で行い、さらに循環ポンプに
使用しているフィルタの交換も短期間で行わなければな
らず、改善が求められていた。
[0003] However, when an alkali-developable photosensitive resin composition is used, the unpolymerized photosensitive resin composition dissolves in the developing solution, and the dissolved components become sludge, which re-adheres to the substrate. This is the cause of short-circuit failure. In particular, the use of a combination of an antifoaming agent that suppresses foaming during development causes a problem of increasing the amount of sludge generated. Therefore, conventional photosensitive resin compositions and photosensitive elements have short-circuit defects due to sludge generation. To prevent this, the developer must be cleaned in a short period of time and the filter used in the circulating pump must be replaced in a short period of time.

【0004】また、特公平4−39661号公報には、
界面活性剤を含有することを特徴とする光重合性組成物
が開示されているが、これは現像機のポリ塩化ビニル樹
脂部分の軟化、膨潤の防止を主目的としており、現像時
に発生するスラッジについての記載はない。さらに、近
年、印刷配線板の配線の高密度化、高精度化に伴い、テ
ンティング法ではスルーホールの異形穴化、スルーホー
ルランドの狭小化等に対するテント信頼性が問題となっ
ており、また、めっき法ではめっき薬品に対する耐性が
要求されるが、従来の技術ではこの耐性を増すと硬化し
た膜が硬くて脆くなるため、テント信頼性との両立が難
しく、問題となっていた。
Further, Japanese Patent Publication No. 4-39661 discloses that
Although a photopolymerizable composition characterized by containing a surfactant is disclosed, it is mainly intended to prevent softening and swelling of a polyvinyl chloride resin portion of a developing machine, and a sludge generated at the time of development. Is not described. Furthermore, in recent years, with the increase in wiring density and precision of printed wiring boards, tent reliability has become a problem in the tenting method with respect to the formation of irregularly shaped through-holes, narrowing of through-hole lands, and the like. In the plating method, resistance to plating chemicals is required, but in the prior art, if this resistance is increased, the cured film becomes hard and brittle, and it is difficult to achieve compatibility with tent reliability, which has been a problem.

【0005】特開平7−128851号公報には、カル
ボキシル基を含有するバインダーポリマー、光重合開始
剤及び重合可能なエチレン性不飽和化合物を含み、その
エチレン性不飽和化合物が線状ウレタン(メタ)アクリ
レートとγ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−
メタクリロイルオキシエチル−o−フタレートを必須成
分として含有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感
光性エレメントが、耐めっき性と密着性に優れているこ
とが開示されている。また、その後の調査、検討により
低スラッジ化も達成されていることが判明した。しかし
ながら、この組合せではテント信頼性があまり良好では
なかった。
JP-A-7-128851 discloses a binder polymer containing a carboxyl group, a photopolymerization initiator and a polymerizable ethylenically unsaturated compound, wherein the ethylenically unsaturated compound is a linear urethane (meth) Acrylate and γ-chloro-β-hydroxypropyl-β′-
It is disclosed that a photosensitive resin composition containing methacryloyloxyethyl-o-phthalate as an essential component and a photosensitive element using the same have excellent plating resistance and adhesion. In addition, subsequent investigations and examinations revealed that sludge reduction was achieved. However, tent reliability was not very good with this combination.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】請求項1記載の発明
は、現像時に発生するスラッジを低減し、銅スルーホー
ル法、ハンダスルーホール法のいずれの方法によって
も、耐めっき性、下地金属との密着性等に優れ、かつテ
ント信頼性が良好な感光性樹脂組成物を提供するもので
ある。請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の効
果を奏し、よりスラッジを低減、耐めっき性、密着性及
びテント信頼性が優れる。請求項3記載の発明は、請求
項1又は2記載の発明の効果を奏し、さらに塗膜性、光
感度及び光硬化物の機械特性に優れる。請求項4記載の
発明は、スラッジを低減、耐めっき性、密着性、テント
信頼性、塗膜性、光感度、光硬化物の機械特性等に優
れ、また、取扱性、作業性にも優れた感光性エレメント
を提供するものである。
According to the first aspect of the present invention, the sludge generated during development is reduced, and the plating resistance and the adhesion to the underlying metal can be reduced by either the copper through-hole method or the solder through-hole method. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition which is excellent in adhesion and the like and has good tent reliability. The invention according to claim 2 has the effects of the invention according to claim 1, and further reduces sludge, and is excellent in plating resistance, adhesion and tent reliability. The invention described in claim 3 has the effects of the invention described in claim 1 or 2, and is further excellent in coating properties, photosensitivity, and mechanical properties of a photocured product. The invention according to claim 4 reduces sludge, is excellent in plating resistance, adhesion, tent reliability, coating properties, photosensitivity, mechanical properties of a photocured product, and is also excellent in handling properties and workability. To provide a photosensitive element.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、(A)カルボ
キシル基を有するバインダーポリマー、(B)光重合開
始剤及び(C)分子内に少なくとも1個の重合可能なエ
チレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含み、前記
(C)成分が一般式(I)
The present invention comprises (A) a binder polymer having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) at least one polymerizable ethylenically unsaturated group in a molecule. Wherein the component (C) has the general formula (I)

【化3】 〔式中、R1は3価の有機基を示し、R2は一般式(II)Embedded image [Wherein, R 1 represents a trivalent organic group, and R 2 represents a compound of the general formula (II)

【化4】 (式中、R3は水素原子又はメチル基を示し、Xはアル
キレンオキサイド基を示し、nは1〜14の整数であ
る)で表される基を示す〕で表される化合物を必須成分
として含有する感光性樹脂組成物に関する。
Embedded image (Wherein, R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, X represents an alkylene oxide group, and n represents an integer of 1 to 14).] The present invention relates to a photosensitive resin composition contained therein.

【0008】また、本発明は、(C)成分中の一般式
(I)で表される化合物の含有量が、(C)成分100
重量部中10〜90重量部である前記感光性樹脂組成物
に関する。また、本発明は、(A)成分を40〜80重
量部、(B)成分を、(A)成分と(C)成分の合計量
100重量部に対して0.1〜20重量部及び(C)成
分を20〜60重量部含み、(A)成分と(C)成分の
合計量を100重量部とした前記感光性樹脂組成物に関
する。また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を支持体
上に塗布、乾燥してなる感光性エレメントに関する。
In the present invention, the content of the compound represented by the general formula (I) in the component (C) is 100%.
The present invention relates to the photosensitive resin composition, which accounts for 10 to 90 parts by weight of the photosensitive resin composition. Further, in the present invention, the component (A) is contained in an amount of 40 to 80 parts by weight, and the component (B) is added in an amount of 0.1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (C). The present invention relates to the photosensitive resin composition containing 20 to 60 parts by weight of the component (C) and having the total amount of the components (A) and (C) as 100 parts by weight. The present invention also relates to a photosensitive element obtained by applying the photosensitive resin composition on a support and drying the composition.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳述する。
本発明に(A)成分として用いられるカルボキシル基を
有するバインダーポリマーとしては、例えば、アクリル
酸アルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステル
とアクリル酸又はメタクリル酸とこれらと共重合しうる
ビニルモノマーとの共重合体等が挙げられる。これらの
共重合体は、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用
される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
Examples of the binder polymer having a carboxyl group used as the component (A) in the present invention include a copolymer of an alkyl acrylate or an alkyl methacrylate, acrylic acid or methacrylic acid, and a vinyl monomer copolymerizable therewith. And the like. These copolymers are used alone or in combination of two or more.

【0010】アクリル酸アルキルエステル又はメタクリ
ル酸アルキルエステルとしては、例えば、アクリル酸メ
チルエステル、メタクリル酸メチルエステル、アクリル
酸エチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、アク
リル酸ブチルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、
アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、メタクリル酸
2−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
Examples of the alkyl acrylate or alkyl methacrylate include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, and the like.
Examples thereof include 2-ethylhexyl acrylate and 2-ethylhexyl methacrylate.

【0011】また、アクリル酸アルキルエステル又はメ
タクリル酸アルキルエステルや、アクリル酸又はメタク
リル酸と共重合しうるビニルモノマーとしては、例え
ば、アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、メタ
クリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、アクリル酸
ジメチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジメチル
アミノエチルエステル、アクリル酸ジエチルアミノエチ
ルエステル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルエステ
ル、アクリル酸グリシジルエステル、メタクリル酸グリ
シジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチルアク
リレート、2,2,2−トリフルオロエチルメタクリレ
ート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピルアクリ
レート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピルメタ
クリレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミ
ド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。
Examples of the alkyl acrylate or alkyl methacrylate or vinyl monomers copolymerizable with acrylic acid or methacrylic acid include tetrahydrofurfuryl acrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, and dimethyl acrylate. Aminoethyl ester, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl methacrylate, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, 2,2,2-trifluoroethyl acrylate, 2,2,2- Trifluoroethyl methacrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl methacrylate, acrylic Amide, diacetone acrylamide, styrene, vinyl toluene, and the like.

【0012】本発明の感光性樹脂組成物に(B)成分と
して用いられる光重合開始剤としては、例えば、芳香族
ケトン(ベンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−
4,4′−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケト
ン)、N,N′−テトラエチル−4,4′−ジアミノベ
ンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチルアミノベ
ンゾフェノン、2−エチルアントラキノン、フェナント
レンキノン等)、ベンゾインエーテル(ベンゾインメチ
ルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフ
ェニルエーテル等)、ベンゾイン誘導体(メチルベンゾ
イン、エチルベンゾイン等)、ベンジル誘導体(ベンジ
ルジメチルケタール等)、2,4,5−トリアリールイ
ミダゾール二量体(2−(o−クロロフェニル)−4,
5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロ
フェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)イミ
ダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,
5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキ
シフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量
体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−メトキシフェ
ニル)−5−フェニルイミダゾール二量体、2−(2,
4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)
−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等)、アクリ
ジン誘導体(9−フェニルアクリジン、1,7−ビス
(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等)などが挙げら
れる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用
いられる。
The photopolymerization initiator used as the component (B) in the photosensitive resin composition of the present invention includes, for example, aromatic ketones (benzophenone, N, N'-tetramethyl-
4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, etc., benzoin ether ( Benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether and the like, benzoin derivatives (methyl benzoin, ethyl benzoin and the like), benzyl derivatives (benzyl dimethyl ketal and the like), 2,4,5-triarylimidazole dimer (2- ( o-chlorophenyl) -4,
5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,
5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4- Di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, 2- (2,
4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl)
-4,5-diphenylimidazole dimer, etc.) and acridine derivatives (9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane, etc.) and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0013】本発明における(C)成分である分子内に
少なくとも1個の重合可能なエチレン性不飽和基を有す
る光重合性化合物に必須成分として含まれる上記一般式
(I)で表される化合物において、上記一般式(I)
中、R1で示される3価の有機基としては、炭素数1〜
10のものが好ましく、例えば、メチン基、エタントリ
イル基、1,2,3−プロパントリイル基、ブタントリ
イル基、ペンタントリイル基、ネオペンタントリイル
基、ヘキサントリイル基、ヘプタントリイル基、オクタ
ントリイル基、2−エチル−ヘキサントリイル基、ノナ
ントリイル基、デカントリイル基などが挙げられる。ま
た、R2で示される上記一般式(II)中、Xであるアル
キレンオキサイド基としては、特に制限はなく、例え
ば、エチレンオキサイド基、プロピレンオキサイド基、
ブチレンオキサイド基、ペンチレンオキサイド基、ヘキ
シレンオキサイド基などが挙げられ、中でもエチレンオ
キサイド基、プロピレンオキサイド基が好ましい。
The compound represented by the above general formula (I) which is contained as an essential component in the photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule as the component (C) in the present invention. In the above formula (I)
Wherein, as the trivalent organic group represented by R 1 ,
10 are preferred, for example, methine group, ethanetriyl group, 1,2,3-propanetriyl group, butanetriyl group, pentanetriyl group, neopentanetriyl group, hexanetriyl group, heptanetriyl group, octant Examples include a lyyl group, a 2-ethyl-hexanetriyl group, a nonanthryl group, and a decanetriyl group. Further, in the above general formula (II) represented by R 2 , the alkylene oxide group represented by X is not particularly limited, and examples thereof include an ethylene oxide group, a propylene oxide group,
Examples thereof include a butylene oxide group, a pentylene oxide group, and a hexylene oxide group. Among them, an ethylene oxide group and a propylene oxide group are preferable.

【0014】なお、プロピレンオキサイド基の結合方向
としては、
The bonding direction of the propylene oxide group is as follows.

【化5】 の2種がある。また、上記一般式(II)中、nは1〜1
4の整数であり、2〜14であることが好ましい。nが
14を超えると、機械強度が低下する。
Embedded image There are two types. In the above general formula (II), n is 1 to 1
It is an integer of 4 and preferably 2 to 14. If n exceeds 14, the mechanical strength decreases.

【0015】上記一般式(I)で表される化合物は、例
えば、下記の一般式(II−1)、一般式(II−2)又は
一般式(II−3)で表される化合物と、一般式(III)
で表される化合物との反応などにより得られる。
The compound represented by the general formula (I) is, for example, a compound represented by the following general formula (II-1), (II-2) or (II-3): General formula (III)
And the like.

【0016】[0016]

【化6】 〔式中、R3及びnは一般式(II)におけると同意義で
あり、mは3〜6の整数である〕
Embedded image [Wherein, R 3 and n have the same meanings as in general formula (II), and m is an integer of 3 to 6.]

【化7】 〔式中、R1は一般式(I)と同意義である〕Embedded image [Wherein, R 1 has the same meaning as in formula (I)]

【0017】なお、上記一般式(II−2)において、こ
のブロックセグメントのプロピレンオキサイド単位は、
表記の都合上メチル基の結合位置が酸素原子の2つ隣の
炭素原子上となっているが、この構造に限定されるわけ
ではなく、酸素原子の隣の炭素原子上にメチル基が結合
したもの、又は酸素原子の2つ隣の炭素原子上にメチル
基が結合したプロピレンオキサイド単位と酸素原子の隣
の炭素原子上にメチル基が結合したプロピレンオキサイ
ド単位とが交互にあるいはアトランダムに混じって存在
していてもよい。
In the above general formula (II-2), the propylene oxide unit of this block segment is
Due to the notation, the bonding position of the methyl group is on the carbon atom next to the oxygen atom, but this is not a limitation, and the methyl group is bonded on the carbon atom next to the oxygen atom. Or propylene oxide units in which a methyl group is bonded to a carbon atom adjacent to an oxygen atom and propylene oxide units in which a methyl group is bonded to a carbon atom adjacent to an oxygen atom are alternately or randomly mixed May be present.

【0018】また、(C)成分中の必須成分である一般
式(I)で表される化合物以外のものとしては、例え
ば、多価アルコール(ポリエチレングリコールジアクリ
レート、ポリエチレングリコールジメタクリレート(エ
チレン基の数が2〜14のもの)、トリメチロールプロ
パンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメ
チロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメ
タントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタク
リレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、
ポリプロピレングリコールジメタクリレート(プロピレ
ン基の数が2〜14のもの)、ジペンタエリスリトール
ペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメ
タクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート
等)にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる
化合物、ビスフェノールAジオキシエチレンジアクリレ
ート又はビスフェノールAジオキシエチレンジメタクリ
レート(ビスフェノールAジオキシエチレンジアクリレ
ート、ビスフェノールAジオキシエチレンジメタクリレ
ート、ビスフェノールAトリオキシエチレンジアクリレ
ート、ビスフェノールAトリオキシエチレンジメタクリ
レート、ビスフェノールAデカオキシエチレンジアクリ
レート、ビスフェノールAデカオキシエチレンジメタク
リレート等)、グリシジル基含有化合物(トリメチロー
ルプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、
ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリレート
等)にα,β−不飽和カルボン酸を付加させて得られる
化合物、アクリル酸のアルキルエステル又はメタクリル
酸のアルキルエステル(アクリル酸メチルエステル、メ
タクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステ
ル、メタクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエ
ステル、メタクリル酸ブチルエステル、アクリル酸2−
エチルヘキシルエステル、メタクリル酸2−エチルヘキ
シルエステル等)などが挙げられる。
In addition to the compound represented by the general formula (I), which is an essential component in the component (C), for example, polyhydric alcohols (polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate (ethylene group Having a number of 2 to 14), trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate,
Trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethanetrimethacrylate, tetramethylolmethanetetraacrylate, tetramethylolmethanetetramethacrylate, polypropylene glycol diacrylate,
Α, β-unsaturated carboxylic acid to polypropylene glycol dimethacrylate (having 2 to 14 propylene groups), dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, etc. Bisphenol A dioxyethylene diacrylate or bisphenol A dioxyethylene dimethacrylate (bisphenol A dioxyethylene diacrylate, bisphenol A dioxyethylene dimethacrylate, bisphenol A trioxyethylene diacrylate, bisphenol A) A-trioxyethylene dimethacrylate, bisphenol A decaoxyethylene diacrylate, bisphenol Glyceryl group-containing compounds (trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate,
A compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to bisphenol A diglycidyl ether acrylate, etc., an alkyl ester of acrylic acid or an alkyl ester of methacrylic acid (methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate) Ester, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-acrylic acid
Ethylhexyl ester, 2-ethylhexyl methacrylate, etc.).

【0019】本発明において、(A)成分の配合量は、
(A)成分及び(C)成分の合計量100重量部に対し
て40〜80重量部の範囲とすることが好ましい。この
配合量が40重量部未満では、光硬化物が脆くなり易い
傾向があり、感光性エレメントとして用いた場合に塗膜
性に劣る傾向がある。また、この配合量が80重量部を
超えると、感度が不充分となる傾向がある。
In the present invention, the amount of component (A) is
It is preferable that the amount be in the range of 40 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (C). If the amount is less than 40 parts by weight, the photocured product tends to be brittle, and when used as a photosensitive element, the coating properties tend to be poor. If the amount exceeds 80 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient.

【0020】(B)成分の配合量は、(A)成分及び
(C)成分の合計量100重量部に対して0.1〜20
重量部の範囲とすることが好ましい。この配合量が0.
1重量部未満であると、感度が不充分となる傾向があ
り、20重量部を超えると、露光の際に組成物の表面で
の吸収が増大して、内部の光硬化が不充分となる傾向が
ある。
The amount of component (B) is 0.1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of components (A) and (C).
It is preferred to be in the range of parts by weight. When the blending amount is 0.
If the amount is less than 1 part by weight, the sensitivity tends to be insufficient. If the amount is more than 20 parts by weight, the absorption on the surface of the composition during exposure increases, and the internal photocuring becomes insufficient. Tend.

【0021】また、(C)成分の配合量は、(A)成分
及び(C)成分の合計量100重量部に対して20〜6
0重量部の範囲とすることが好ましい。この配合量が2
0重量部未満であると、感度が不充分となる傾向があ
り、60重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向が
ある。(C)成分中の必須成分である一般式(I)で表
される化合物の配合量は、(C)成分100重量部に対
して、10〜90重量部であることが好ましく、60〜
90重量部であることがより好ましい。この配合量が1
0重量部未満であると、耐めっき性、密着性及びテント
信頼性が劣る傾向があり、90重量部を超えると、スラ
ッジ量が増える傾向がある。
The amount of the component (C) is 20 to 6 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (C).
It is preferably in the range of 0 parts by weight. If this blending amount is 2
If the amount is less than 0 parts by weight, the sensitivity tends to be insufficient, and if it exceeds 60 parts by weight, the photocured product tends to become brittle. The compounding amount of the compound represented by the general formula (I), which is an essential component in the component (C), is preferably from 10 to 90 parts by weight, and more preferably from 60 to 90 parts by weight, per 100 parts by weight of the component (C).
More preferably, it is 90 parts by weight. This compounding amount is 1
If the amount is less than 0 parts by weight, plating resistance, adhesion and tent reliability tend to be inferior, and if it exceeds 90 parts by weight, the amount of sludge tends to increase.

【0022】本発明の感光性樹脂組成物には、さらに、
染料、発色剤、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤、密着性
付与剤などの添加剤を必要に応じて添加してもよい。こ
れらの使用量は、前記(A)、(B)及び(C)成分の
総量100重量部に対して2重量部以下とすることが好
ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention further comprises:
Additives such as dyes, color formers, plasticizers, pigments, flame retardants, stabilizers, and adhesion promoters may be added as necessary. It is preferable that the amount of these used is 2 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the total of the components (A), (B) and (C).

【0023】本発明の感光性樹脂組成物は、前記
(A)、(B)及び(C)成分を溶解しうる溶剤、例え
ば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、クロロホルム、N,N−ジメチルホルムアミド、塩
化メチレン、メチルアルコール、エチルアルコール等に
溶解、混合させることにより、均一な溶液とすることが
できる。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a solvent capable of dissolving the components (A), (B) and (C), for example, toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, A uniform solution can be obtained by dissolving and mixing in chloroform, N, N-dimethylformamide, methylene chloride, methyl alcohol, ethyl alcohol, and the like.

【0024】本発明の感光性樹脂組成物を支持体上に塗
布、乾燥し、感光性エレメント(積層体)を得ることが
できる。支持体としては、重合体フィルム、例えば、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチ
レン等からなるフィルムが用いられ、これらのうちポリ
エチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの
重合体フィルムは、後に感光層から除去可能でなくては
ならないため、除去が不可能となるような表面処理が施
されたものであったり、材質であったりしてはならな
い。これらの重合体フィルムの厚さは、通常、5〜10
0μm、好ましくは10〜30μmである。これらの重
合体フィルムの一つは、感光層の支持フィルムとして、
他の一つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に
積層してもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention is coated on a support and dried to obtain a photosensitive element (laminate). As the support, a polymer film, for example, a film made of polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene or the like is used, and among these, a polyethylene terephthalate film is preferable. Since these polymer films must be removable from the photosensitive layer later, they must not have been subjected to a surface treatment or made of a material that cannot be removed. The thickness of these polymer films is usually 5 to 10
0 μm, preferably 10 to 30 μm. One of these polymer films, as a support film of the photosensitive layer,
The other one may be laminated on both sides of the photosensitive layer as a protective film for the photosensitive layer.

【0025】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造するに際しては、前記の保護フィル
ムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感
光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層す
る。積層される表面は、通常、金属面であるが、特に制
限はない。感光層の加熱圧着の温度は、特に制限はない
が、通常、90〜130℃とされる。また、感光層の加
熱圧着の圧力は、特に制限はないが、通常、3kg/cm2
される。感光層を前記のように加熱すれば、予め基板を
予熱処理する必要はないが、積層性をさらに向上させる
ために基板の予熱処理を行うこともできる。
In producing a photoresist image using the photosensitive element of the present invention, if the above protective film is present, after removing the protective film, the photosensitive layer is pressed against a substrate while heating. It is laminated by doing. The surface to be laminated is usually a metal surface, but is not particularly limited. The temperature of the thermocompression bonding of the photosensitive layer is not particularly limited, but is usually 90 to 130 ° C. Further, the pressure for heating and pressing the photosensitive layer is not particularly limited, but is usually 3 kg / cm 2 . If the photosensitive layer is heated as described above, it is not necessary to pre-heat the substrate in advance, but it is also possible to perform a pre-heat treatment on the substrate in order to further improve lamination properties.

【0026】このようにして積層が完了した感光層は、
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光
により画像的に露光される。この際感光層上に存在する
重合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光しても
よいが、不透明の場合には、当然除去する必要がある。
感光層の保護という点からは、重合体フィルムは透明
で、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通し
て露光することが好ましい。活性光としては、公知の活
性光源、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キ
セノンアーク、その他から発生する光が用いられる。感
光層に含まれる光重合開始剤の感受性は、通常、紫外線
領域において最大であるので、その場合は活性光源は紫
外線を有効に放射するものにすべきである。もちろん、
光重合開始剤が可視光線に感受性のもの、例えば、9,
10−フェナンスレンキノン等である場合には、活性光
として可視光が用いられ、その光源としては前記のもの
以外に写真用フラッド電球、太陽ランプなども用いられ
る。
The photosensitive layer thus completed in lamination is
Next, it is imagewise exposed to actinic light using a negative or positive film. At this time, if the polymer film present on the photosensitive layer is transparent, it may be exposed as it is, but if it is opaque, it must be removed.
From the viewpoint of protection of the photosensitive layer, the polymer film is transparent, and it is preferable to expose the polymer film while leaving the polymer film remaining. As the active light, a light generated from a known active light source, for example, a carbon arc, a mercury vapor arc, a xenon arc, or the like is used. Since the sensitivity of the photopolymerization initiator contained in the photosensitive layer is usually maximum in the ultraviolet region, the active light source should be one that effectively emits ultraviolet light. of course,
When the photopolymerization initiator is sensitive to visible light, for example, 9,
In the case of 10-phenanthrenequinone or the like, visible light is used as the active light, and in addition to the above-mentioned light sources, a flood lamp for photography, a sun lamp, and the like are used.

【0027】次いで、露光後、感光層上に重合体フィル
ム等が存在している場合には、これを除去した後、アル
カリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブ
ラッシング、スクラッビング等の公知方法により未露光
部を除去して現像する。アルカリ水溶液の塩基として
は、リチウム、ナトリウムあるいはカリウムの水酸化物
等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウムあるいはカ
リウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸
カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸
塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のア
ルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナ
トリウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水
溶液のpHは、好ましくは9〜11の範囲であり、また、
その温度は感光層の現像性に合わせて調節される。ま
た、アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像
を促進させるための少量の有機溶剤などを混入させても
よい。
Next, after exposure, if a polymer film or the like is present on the photosensitive layer, it is removed, and then, using an aqueous alkali solution, for example, spraying, rocking immersion, brushing, scrubbing, etc. The unexposed portion is removed by a known method, and development is performed. Examples of the base of the aqueous alkali solution include alkali hydroxides such as lithium, sodium or potassium hydroxide, alkali carbonates such as lithium, sodium or potassium carbonate or bicarbonate, and alkali metals such as potassium phosphate and sodium phosphate. Phosphates, alkali metal pyrophosphates such as sodium pyrophosphate and potassium pyrophosphate are used, and an aqueous solution of sodium carbonate is particularly preferable. The pH of the aqueous alkali solution used for development is preferably in the range of 9 to 11,
The temperature is adjusted according to the developability of the photosensitive layer. Further, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating development, and the like may be mixed in the alkaline aqueous solution.

【0028】さらに、印刷配線板を製造するに際して
は、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露光
している基板の表面を、エンチング、めっき等の公知方
法で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、
現像に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカリ性の
水溶液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液として
は、例えば、1〜5重量%の水酸化ナトリウム水溶液な
どが用いられる。
Further, when manufacturing a printed wiring board, the surface of the substrate exposed by using the developed photoresist image as a mask is treated by a known method such as etching or plating. Then, the photoresist image is usually
It is peeled off with an aqueous solution that is more alkaline than the aqueous alkaline solution used for development. As the strong alkaline aqueous solution, for example, an aqueous solution of 1 to 5% by weight of sodium hydroxide is used.

【0029】本発明に用いる前記一般式(I)で表され
る化合物を用いることにより、テントの伸びを含めて総
合的にテント信頼性を向上させることができる。これ
は、イソシアヌル酸構造がテント強度に、アルキレンオ
キサイド基と結合した直鎖状ウレタン(メタ)アクリレ
ートセグメントがテントの伸びに、各々影響を及ぼし、
良好に相互作用をしているためと推測される。
By using the compound represented by the general formula (I) used in the present invention, the reliability of the tent including the elongation of the tent can be improved comprehensively. This is because the isocyanuric acid structure affects the tent strength, and the linear urethane (meth) acrylate segment bonded to the alkylene oxide group affects the tent elongation,
It is presumed that they interact well.

【0030】[0030]

【実施例】次に、本発明を実施例により説明する。 実施例1〜2及び比較例1〜6 表1及び表2に示す材料を配合し、溶液を調製した。Next, the present invention will be described with reference to examples. Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 6 The materials shown in Tables 1 and 2 were blended to prepare solutions.

【0031】[0031]

【表1】 [Table 1]

【0032】[0032]

【表2】 [Table 2]

【0033】得られた溶液に表3に示す(C)成分を溶
解させて感光性樹脂組成物の溶液を得た。次いで、この
感光性樹脂組成物の溶液を25μmの厚さのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、100℃
の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して感光性エレメン
トを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、50
μmであった。
The component (C) shown in Table 3 was dissolved in the obtained solution to obtain a solution of the photosensitive resin composition. Next, the solution of the photosensitive resin composition was uniformly applied on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm.
And dried with a hot air convection dryer for 10 minutes to obtain a photosensitive element. The film thickness of the photosensitive resin composition layer after drying is 50
μm.

【0034】一方、35μm厚の銅箔を両面に積層した
ガラスエポキシ材である銅張り積層板(日立化成工業株
式会社製、商品名MCL−E−61)の銅表面を#60
0相当のブラシを持つ研磨機(三啓社製)を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を
80℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物
層を120℃に加熱しながらラミネートした。次いで、
このようにして得られた基板に、ネガフィルムを使用
し、3kW高圧水銀灯(オーク製作所製、HMW−201
B)で90mJ/cm2の露光を行った。次いで、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを除去し、30℃で1重量%
炭酸ナトリウム水溶液1リットルを60秒間スプレーす
ることにより、未露光部分を除去した。得られたパター
ンを有する積層板について、下記の試験を行い、この試
験の結果を表3にまとめて示した。
On the other hand, the copper surface of a copper-clad laminate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: MCL-E-61) which is a glass epoxy material having a 35 μm-thick copper foil laminated on both sides is # 60.
The surface of the copper-clad laminate is polished using a polishing machine having a brush equivalent to 0 (manufactured by Sankeisha Co., Ltd.), washed with water, dried in an air stream, and heated to 80 ° C. on the copper surface. The photosensitive resin composition layer was laminated while being heated to 120 ° C. Then
Using a negative film on the substrate thus obtained, a 3 kW high-pressure mercury lamp (HMW-201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.)
Exposure of 90 mJ / cm 2 was performed in B). Next, the polyethylene terephthalate film was removed, and 1% by weight at 30 ° C.
Unexposed portions were removed by spraying 1 liter of an aqueous solution of sodium carbonate for 60 seconds. The following tests were performed on the laminate having the obtained pattern, and the results of the tests are summarized in Table 3.

【0035】スラッジ量 上記現像工程において、発生したスラッジを遠心分離機
により分離、ろ過し、さらに150℃で4時間乾燥した
後、スラッジの重量を測定した。
Amount of sludge In the developing step, the sludge generated was separated by a centrifugal separator, filtered, dried at 150 ° C. for 4 hours, and the weight of the sludge was measured.

【0036】密着性 密着性は、現像液に剥離せずに残ったラインの幅(μ
m)で表され、この密着性の数値が小さい程、細いライ
ンでも銅張り積層板から剥離せずに銅張り積層板に密着
していることから、密着性が高いことを示す。
Adhesion Adhesion was determined by measuring the width of the line (μ)
m), the smaller the value of the adhesiveness, the higher the adhesiveness of the copper-clad laminate, even if the line is thin, without peeling off from the copper-clad laminate.

【0037】耐めっき性 現像後の銅張り積層板を脱脂液(PC−455(メルテ
ックス社製)25重量%)に5分間浸漬し、水洗し、ソ
フトエッチ液(過硫酸アンモニウム150g/リットル)に2
分間浸漬し、水洗し、10重量%硫酸に1分浸漬するこ
とにより前処理を行い、硫酸銅めっき浴〔硫酸銅75g/
リットル、硫酸190g/リットル、塩素イオン50ppm、カパー
グリームPCM(メルテックス社製)5ml/リットル)に入
れ、硫酸銅めっきを室温下、3A/dm2で40分間行っ
た。その後、水洗して10重量%ホウフッ化水素酸に1
分浸漬し、半田めっき浴(45重量%ホウフッ化錫64
ml/リットル、45重量%ホウフッ化鉛22ml/リットル、42重
量%ホウフッ化水素酸200ml/リットル、プルティンLA
コンダクティビティーソルト(メルテックス社製)20
g/リットル、プルティンLAスターター(メルテックス社
製)40ml/リットル)に入れ、半田めっきを室温下、1.
5A/dm2で15分行った。
Plating Resistance The developed copper-clad laminate was immersed in a degreasing solution (PC-455 (manufactured by Meltex Co., Ltd.), 25% by weight) for 5 minutes, washed with water, and immersed in a soft etch solution (ammonium persulfate, 150 g / liter). 2
Immersion in 10% by weight sulfuric acid for 1 minute to prepare a copper sulfate plating bath [75 g of copper sulfate /
Liter, sulfuric acid 190 g / liter, chlorine ion 50 ppm, copper glyme PCM (manufactured by Meltex) 5 ml / liter), and copper sulfate plating was performed at room temperature at 3 A / dm 2 for 40 minutes. Then, wash with water and add 1% by weight
Immersion in a solder plating bath (45% by weight tin borofluoride 64)
ml / liter, 45% by weight lead borofluoride 22ml / liter, 42% by weight borofluoric acid 200ml / liter, Plutin LA
Conductivity Salt (Meltex) 20
g / liter, 40 ml / liter of Plutin LA starter (manufactured by Meltex), and solder plating was performed at room temperature.
Performed at 5 A / dm 2 for 15 minutes.

【0038】水洗、乾燥後、耐めっき性を調べるため、
直ちにセロテープを貼り、これを垂直方向に引き剥がし
て(90°ピールオフ試験)、レジストの剥がれの有無
を観察した。また、レジスト剥離後、上方から光学顕微
鏡で半田めっきのもぐりの有無を観察した。半田めっき
のもぐりを生じた場合、透明なレジストを介してその下
部にめっきにより析出した半田が観察される。
After washing with water and drying, to examine the plating resistance,
Immediately, a cellophane tape was applied and peeled off vertically (90 ° peel-off test), and the presence or absence of peeling of the resist was observed. After the resist was peeled off, the presence or absence of the solder plating was observed with an optical microscope from above. When the solder plating is buried, solder deposited by plating is observed below the transparent resist through the transparent resist.

【0039】テント強度及び伸び 1.6mm厚の銅張り積層板に直径6mmの穴を100個あ
けた基材の両面に感光性樹脂組成物を積層し、90mJ/c
m2の露光を行い、60秒間現像した。次いで、基材にあ
けた穴の強度を直径1.5mmの挿入径の円柱を用いてレ
オメーター(FUDOH社製)により破断までの強度と
伸びを測定した。
Tent strength and elongation A photosensitive resin composition was laminated on both sides of a base material in which 100 holes of 6 mm in diameter were formed on a copper-clad laminate having a thickness of 1.6 mm, and 90 mJ / c
Exposure of m 2 was performed and development was performed for 60 seconds. Next, the strength of the hole drilled in the substrate was measured by a rheometer (manufactured by FUDOH) using a cylinder having an insertion diameter of 1.5 mm, and the strength up to breaking was measured.

【0040】異形テント破れ率 1.6mm厚の銅張り積層板に図1に示すように多数の穴
が開いた基材の両面に感光性樹脂組成物を積層し、90
mJ/cm2の露光を行い、60秒間の現像を2回行った。現
像後、図1に示す評価基板1の多数の穴のうち直径
(d)4mmの穴が3個連なって開いている三連穴2(h
=8mm)合計18個のうちの穴破れ数を測定し、異形テ
ント破れ率を下記の数式から算出して評価した。
As shown in FIG. 1, a photosensitive resin composition was laminated on both sides of a substrate having a large number of holes, as shown in FIG.
Exposure at mJ / cm 2 was performed and development for 60 seconds was performed twice. After the development, a triple hole 2 (h) in which three holes each having a diameter (d) of 4 mm among three holes of the evaluation substrate 1 shown in FIG.
= 8 mm) The number of broken holes out of a total of 18 was measured, and the deformed tent breaking ratio was calculated and evaluated from the following formula.

【数1】 なお、表3におけるテント強度、テント伸び及び異形テ
ント破れ率をテント信頼性の指標と考えた。
(Equation 1) The tent strength, tent elongation and deformed tent tear rate in Table 3 were considered as indexes of tent reliability.

【0041】[0041]

【表3】 [Table 3]

【0042】以上の結果から明らかなとおり、一般式
(I)で表される化合物を用いることにより、現像時に
発生するスラッジ量を低減できるとともに、密着性、耐
メッキ性及びテント信頼性を向上させることができた。
As is apparent from the above results, by using the compound represented by the general formula (I), the amount of sludge generated during development can be reduced, and the adhesion, plating resistance and tent reliability are improved. I was able to.

【0043】[0043]

【発明の効果】請求項1記載の感光性樹脂組成物は、現
像時に発生するスラッジを低減し、銅スルーホール法、
ハンダスルーホール法のいずれの方法によっても、耐め
っき性、下地金属との密着性等に優れ、かつテント信頼
性が良好なものである。請求項2記載の感光性樹脂組成
物は、請求項1記載の感光性樹脂組成物の効果を奏し、
よりスラッジを低減、耐めっき性、密着性及びテント信
頼性が優れる。請求項3記載の感光性樹脂組成物は、請
求項1又は2記載の感光性樹脂組成物の効果を奏し、さ
らに塗膜性、光感度及び光硬化物の機械特性に優れる。
請求項4記載の感光性エレメントは、スラッジを低減、
耐めっき性、密着性、テント信頼性、塗膜性、光感度、
光硬化物の機械特性等に優れ、また、取扱性、作業性に
も優れたものである。
According to the present invention, the photosensitive resin composition according to the present invention reduces the amount of sludge generated at the time of development by a copper through-hole method.
Either of the solder through hole methods is excellent in plating resistance, adhesion to the underlying metal, and the like, and has good tent reliability. The photosensitive resin composition according to claim 2 has the effects of the photosensitive resin composition according to claim 1,
Sludge is reduced, plating resistance, adhesion and tent reliability are excellent. The photosensitive resin composition according to the third aspect has the effects of the photosensitive resin composition according to the first or second aspect, and further has excellent coating properties, photosensitivity, and mechanical properties of the photocured product.
The photosensitive element according to claim 4 reduces sludge,
Plating resistance, adhesion, tent reliability, coating properties, photosensitivity,
It has excellent mechanical properties and the like of the photocured product, and also has excellent handling and workability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例及び比較例で異形テント破れ率を評価す
る際に用いた評価基板の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of an evaluation board used for evaluating a deformed tent tear rate in Examples and Comparative Examples.

【図2】図1中の三連穴の拡大説明図である。FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a triple hole in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 評価基板 2 三連穴 1 Evaluation board 2 Triple hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/00 H05K 3/00 F 3/18 0430−4E 3/18 D ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Agency reference number FI Technical display location H05K 3/00 H05K 3/00 F 3/18 0430-4E 3/18 D

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)カルボキシル基を有するバインダ
ーポリマー、(B)光重合開始剤及び(C)分子内に少
なくとも1個の重合可能なエチレン性不飽和基を有する
光重合性化合物を含み、前記(C)成分が一般式(I) 【化1】 〔式中、R1は3価の有機基を示し、R2は一般式(II) 【化2】 (式中、R3は水素原子又はメチル基を示し、Xはアル
キレンオキサイド基を示し、nは1〜14の整数であ
る)で表される基を示す〕で表される化合物を必須成分
として含有する感光性樹脂組成物。
1. A composition comprising (A) a binder polymer having a carboxyl group, (B) a photopolymerization initiator, and (C) a photopolymerizable compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated group in a molecule. The component (C) has the general formula (I): [In the formula, R 1 represents a trivalent organic group, and R 2 represents a compound represented by the general formula (II). (Wherein, R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, X represents an alkylene oxide group, and n represents an integer of 1 to 14).] A photosensitive resin composition.
【請求項2】 (C)成分中の一般式(I)で表される
化合物の含有量が、(C)成分100重量部中10〜9
0重量部である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The content of the compound represented by the general formula (I) in the component (C) is from 10 to 9 per 100 parts by weight of the component (C).
The photosensitive resin composition according to claim 1, which is 0 parts by weight.
【請求項3】 (A)成分を40〜80重量部、(B)
成分を、(A)成分と(C)成分の合計量100重量部
に対して0.1〜20重量部及び(C)成分を20〜6
0重量部含み、(A)成分と(C)成分の合計量を10
0重量部とした請求項1又は2記載の感光性樹脂組成
物。
(3) 40 to 80 parts by weight of the component (A), (B)
The component is used in an amount of 0.1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (A) and (C), and the component (C) is used in an amount of 20 to 6
0 parts by weight, and the total amount of the components (A) and (C) is 10
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the amount is 0 parts by weight.
【請求項4】 請求項1、2又は3記載の感光性樹脂組
成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメン
ト。
4. A photosensitive element obtained by applying the photosensitive resin composition according to claim 1, 2 or 3 on a support and drying.
JP16474196A 1996-06-25 1996-06-25 Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same Expired - Lifetime JP3724607B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16474196A JP3724607B2 (en) 1996-06-25 1996-06-25 Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16474196A JP3724607B2 (en) 1996-06-25 1996-06-25 Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1010723A true JPH1010723A (en) 1998-01-16
JP3724607B2 JP3724607B2 (en) 2005-12-07

Family

ID=15799033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16474196A Expired - Lifetime JP3724607B2 (en) 1996-06-25 1996-06-25 Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3724607B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018070536A1 (en) * 2016-10-14 2018-04-19 旭化成株式会社 Polyisocyanate composition, block polyisocyanate composition, hydrophilic polyisocyanate composition, coating material composition, and coating film

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018070536A1 (en) * 2016-10-14 2018-04-19 旭化成株式会社 Polyisocyanate composition, block polyisocyanate composition, hydrophilic polyisocyanate composition, coating material composition, and coating film
CN109843952A (en) * 2016-10-14 2019-06-04 旭化成株式会社 Polyisocyantates composition, blocked polyisocyanates composition, hydrophilic polyisocyanate composition, coating composition and film
US11021562B2 (en) 2016-10-14 2021-06-01 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Polyisocyanate composition, blocked polyisocyanate composition, hydrophilic polyisocyanate composition, coating material composition, and coating film
CN109843952B (en) * 2016-10-14 2021-11-12 旭化成株式会社 Polyisocyanate composition, blocked polyisocyanate composition, hydrophilic polyisocyanate composition, coating composition and coating film

Also Published As

Publication number Publication date
JP3724607B2 (en) 2005-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0738927B1 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2007286477A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same and method for producing printed wiring board
JP3199600B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3849641B2 (en) Manufacturing method of photosensitive film for circuit formation and printed wiring board
JP3692197B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3724607B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2001281855A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3437179B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3281307B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method of laminating layers of photosensitive resin composition, layered substrate of photosensitive resin composition layer, and method of curing layer of photosensitive resin composition
JPH06242603A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive resin element using the same
JP3415919B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2002207292A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element which uses the same
JP3944971B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3216403B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JPH10142789A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JPH1048822A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3173191B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3111641B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive film using the same
JP3750755B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JPH08146603A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using same
JP2004341447A (en) Photosensitive film
JP3199607B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3238527B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JPH07128851A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP3988233B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20050401

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20050901

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050914

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100930

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100930

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110930

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110930

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930

Year of fee payment: 7