JPH1010435A - 顕微鏡装置 - Google Patents
顕微鏡装置Info
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- JPH1010435A JPH1010435A JP8182802A JP18280296A JPH1010435A JP H1010435 A JPH1010435 A JP H1010435A JP 8182802 A JP8182802 A JP 8182802A JP 18280296 A JP18280296 A JP 18280296A JP H1010435 A JPH1010435 A JP H1010435A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 精度の高い焦準位置の検出を行なうことがで
き、しかも安価な顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 ステージ７上に載置された試料８に照明
光を集光させる対物レンズ２２と、対物レンズ２２を光
軸に沿って移動させるレボルバ台２０と、対物レンズ２
２の焦準位置を検出する位置検出部５０とを備えた顕微
鏡装置１において、位置検出部５０は、対物レンズ２２
と一体に光軸方向に移動し、照明光の一部を分割する光
分割部２５と、光検出器が光軸と平行に配列して顕微鏡
本体に固設され、光分割部２５によって分割された照明
光を検出する１次元ＰＳＤ素子１０とを備える。
き、しかも安価な顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 ステージ７上に載置された試料８に照明
光を集光させる対物レンズ２２と、対物レンズ２２を光
軸に沿って移動させるレボルバ台２０と、対物レンズ２
２の焦準位置を検出する位置検出部５０とを備えた顕微
鏡装置１において、位置検出部５０は、対物レンズ２２
と一体に光軸方向に移動し、照明光の一部を分割する光
分割部２５と、光検出器が光軸と平行に配列して顕微鏡
本体に固設され、光分割部２５によって分割された照明
光を検出する１次元ＰＳＤ素子１０とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は顕微鏡装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡装置は、ステージ上に載置された
試料に照明光を集光させる対物レンズと、対物レンズを
光軸に沿って移動させるレボルバ台とを備えている。
試料に照明光を集光させる対物レンズと、対物レンズを
光軸に沿って移動させるレボルバ台とを備えている。
【０００３】前記対物レンズの焦準位置（フォーカス位
置）の検出は、粗微動フォーカスハンドルにロータリエ
ンコーダを取り付け、このロータリエンコーダの出力を
レボルバ台が上下する長さに変換するか、若しくはレボ
ルバ台に直接リニアエンコーダを取付けることによって
行なわれていた。
置）の検出は、粗微動フォーカスハンドルにロータリエ
ンコーダを取り付け、このロータリエンコーダの出力を
レボルバ台が上下する長さに変換するか、若しくはレボ
ルバ台に直接リニアエンコーダを取付けることによって
行なわれていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、粗微動フォー
カスハンドルにロータリエンコーダを取り付けた場合、
レボルバ台を上下動させるラックとピニオン等の歯車の
バックラッシュによって精度の高い焦準位置を検出する
ことができないという問題があった。
カスハンドルにロータリエンコーダを取り付けた場合、
レボルバ台を上下動させるラックとピニオン等の歯車の
バックラッシュによって精度の高い焦準位置を検出する
ことができないという問題があった。
【０００５】また、レボルバ台にリニアエンコーダを取
り付ける場合、リニアエンコーダは高価であり、しかも
リニアエンコーダを取り付ける位置によってアッベの誤
差が生じ、精度の高い焦準位置の検出ができないという
問題があった。
り付ける場合、リニアエンコーダは高価であり、しかも
リニアエンコーダを取り付ける位置によってアッベの誤
差が生じ、精度の高い焦準位置の検出ができないという
問題があった。
【０００６】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、精度の高い焦準位置の検出を行なうことがで
き、しかも安価な顕微鏡装置を提供することである。
たもので、精度の高い焦準位置の検出を行なうことがで
き、しかも安価な顕微鏡装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１記載の発明の顕微鏡装置は、ステージ上に載置
された試料に照明光を集光させる対物レンズと、前記対
物レンズを光軸に沿って移動させる移動手段と、前記対
物レンズの焦準位置を検出する位置検出手段とを備えた
顕微鏡装置において、前記位置検出手段は、前記対物レ
ンズと一体に前記光軸方向に移動し、前記照明光の一部
を分割する光分割手段と、前記光軸と平行な配列で前記
顕微鏡本体に固定され、前記光分割手段によって分割さ
れた照明光を検出する位置検出器とを備えることを特徴
とする。
請求項１記載の発明の顕微鏡装置は、ステージ上に載置
された試料に照明光を集光させる対物レンズと、前記対
物レンズを光軸に沿って移動させる移動手段と、前記対
物レンズの焦準位置を検出する位置検出手段とを備えた
顕微鏡装置において、前記位置検出手段は、前記対物レ
ンズと一体に前記光軸方向に移動し、前記照明光の一部
を分割する光分割手段と、前記光軸と平行な配列で前記
顕微鏡本体に固定され、前記光分割手段によって分割さ
れた照明光を検出する位置検出器とを備えることを特徴
とする。
【０００８】対物レンズの光軸と同一光軸上に励起光分
割手段を配置したので、アッベの誤差が生じることがな
くなる。また、高価なリニアエンコーダを使用しないで
済むため、顕微鏡装置を安価に提供することができる。
割手段を配置したので、アッベの誤差が生じることがな
くなる。また、高価なリニアエンコーダを使用しないで
済むため、顕微鏡装置を安価に提供することができる。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１記載の発明の
顕微鏡装置において、前記位置検出手段は１次元又は２
次元半導体位置検出器であることを特徴とする。
顕微鏡装置において、前記位置検出手段は１次元又は２
次元半導体位置検出器であることを特徴とする。
【００１０】１つの半導体位置検出器によって焦準位置
を精度良く検出できる。また、２次元半導体位置検出器
では、傾斜して取り付けられた場合でも焦準位置を精度
良く検出できる。
を精度良く検出できる。また、２次元半導体位置検出器
では、傾斜して取り付けられた場合でも焦準位置を精度
良く検出できる。
【００１１】請求項３の発明は、請求項１記載の発明の
顕微鏡装置において、前記位置検出手段はＣＣＤライン
センサであることを特徴とする。
顕微鏡装置において、前記位置検出手段はＣＣＤライン
センサであることを特徴とする。
【００１２】ＣＣＤラインセンサによって焦準位置を精
度良く検出できる。また、ＣＣＤラインセンサを２次元
的に配置したときには、傾斜して取り付けられた場合で
も焦準位置を精度良く検出できる。
度良く検出できる。また、ＣＣＤラインセンサを２次元
的に配置したときには、傾斜して取り付けられた場合で
も焦準位置を精度良く検出できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１４】図１はこの発明の第１実施形態に係る顕微
鏡装置のブロック構成図、図２はダイクロイックミラー
１９の分光特性図、図３はダイクロイックミラー２１の
分光特性図である。
鏡装置のブロック構成図、図２はダイクロイックミラー
１９の分光特性図、図３はダイクロイックミラー２１の
分光特性図である。
【００１５】顕微鏡装置１は、励起光（照明光）を発す
る光源（例えば、波長λが３５１ｎｍ及び４８８ｎｍの
アルゴンレーザ光源）２と、集光レンズ３と、所定波長
（例えば４８８ｎｍ）の励起光だけを通す励起フィルタ
（ＥＸフィルタ）４と、励起光の透過率を調整する減光
フィルタ（ＮＤフィルタ）５と、フィルタキューブ６
と、ダイクロイックミラー２１と、ダイクロイックミラ
ー２１を通過した励起光をステージ７（図示のようにＸ
Ｙ方向へ移動する）上に載置された試料８に集光させる
対物レンズ２２と、所定波長以上の光を通すバリアフィ
ルタ１１と、ミラー１２，１３と、リレーレンズ１４，
１５と、プリズム１６と、接眼レンズ１８と、光軸と平
行な配列で顕微鏡本体（図示せず）に固定された１次元
ＰＳＤ素子（位置検出器）１０と、集光レンズ２３と、
この集光レンズ２３と１次元ＰＳＤ素子１０との間に設
けた防塵カバーガラス９と、信号処理装置３０とを備え
る。
る光源（例えば、波長λが３５１ｎｍ及び４８８ｎｍの
アルゴンレーザ光源）２と、集光レンズ３と、所定波長
（例えば４８８ｎｍ）の励起光だけを通す励起フィルタ
（ＥＸフィルタ）４と、励起光の透過率を調整する減光
フィルタ（ＮＤフィルタ）５と、フィルタキューブ６
と、ダイクロイックミラー２１と、ダイクロイックミラ
ー２１を通過した励起光をステージ７（図示のようにＸ
Ｙ方向へ移動する）上に載置された試料８に集光させる
対物レンズ２２と、所定波長以上の光を通すバリアフィ
ルタ１１と、ミラー１２，１３と、リレーレンズ１４，
１５と、プリズム１６と、接眼レンズ１８と、光軸と平
行な配列で顕微鏡本体（図示せず）に固定された１次元
ＰＳＤ素子（位置検出器）１０と、集光レンズ２３と、
この集光レンズ２３と１次元ＰＳＤ素子１０との間に設
けた防塵カバーガラス９と、信号処理装置３０とを備え
る。
【００１６】ダイクロイックミラー２１、対物レンズ２
２及び集光レンズ２３はレボルバ台（移動手段）２０に
取り付けられ、矢印ａで示されるようにレボルバ台２０
とともに光軸上をＺ方向へ移動できる。
２及び集光レンズ２３はレボルバ台（移動手段）２０に
取り付けられ、矢印ａで示されるようにレボルバ台２０
とともに光軸上をＺ方向へ移動できる。
【００１７】フィルタキューブ６は２つの２等辺直角プ
リズムの斜面を半透膜等を介して張合わせたものであっ
て、斜面部分がダイクロイックミラー１９として機能す
る。
リズムの斜面を半透膜等を介して張合わせたものであっ
て、斜面部分がダイクロイックミラー１９として機能す
る。
【００１８】ダイクロイックミラー２１と集光レンズ２
３とで励起光分割部（光分割手段）２５を構成する。
３とで励起光分割部（光分割手段）２５を構成する。
【００１９】また、この励起光分割部２５と１次元ＰＳ
Ｄ素子１０とで位置検出部（位置検出手段）５０を構成
する。
Ｄ素子１０とで位置検出部（位置検出手段）５０を構成
する。
【００２０】ダイクロイックミラー１９は、図２に示す
ようにほぼ４９０ｎｍ以下の波長の光を反射させる分光
特性を有し、ダイクロイックミラー２１は、図３に示す
ようにほぼ４９０ｎｍ以下の波長の８０％の光を透過さ
せる分光特性を有する。
ようにほぼ４９０ｎｍ以下の波長の光を反射させる分光
特性を有し、ダイクロイックミラー２１は、図３に示す
ようにほぼ４９０ｎｍ以下の波長の８０％の光を透過さ
せる分光特性を有する。
【００２１】なお、図２において横軸は波長（単位：ｎ
ｍ）、縦軸は反射率（単位：％）であり、図３において
横軸は波長（単位：ｎｍ）、縦軸は反射率（単位：％）
である。
ｍ）、縦軸は反射率（単位：％）であり、図３において
横軸は波長（単位：ｎｍ）、縦軸は反射率（単位：％）
である。
【００２２】１次元ＰＳＤ素子１０は、走査を利用しな
いで光スポットを計測する位置敏感型の半導体位置検出
器である。高抵抗層が均一抵抗層に挟まれ、一方の均一
抵抗層の周辺に２個の信号読み出し電極が設けられてい
る。
いで光スポットを計測する位置敏感型の半導体位置検出
器である。高抵抗層が均一抵抗層に挟まれ、一方の均一
抵抗層の周辺に２個の信号読み出し電極が設けられてい
る。
【００２３】１次元ＰＳＤ素子１０に入射した光は光電
変換され、発生した電荷は表面の抵抗層を通って２個の
読み出し電極から出力される。このとき、各電極から得
られる電流が光入射位置と電極との間の抵抗値に逆比例
するので、各電極の電流値から光入射位置を求めること
ができる。
変換され、発生した電荷は表面の抵抗層を通って２個の
読み出し電極から出力される。このとき、各電極から得
られる電流が光入射位置と電極との間の抵抗値に逆比例
するので、各電極の電流値から光入射位置を求めること
ができる。
【００２４】なお、１次元ＰＳＤ素子１０の分光感度域
は４００〜１０００ｎｍである。
は４００〜１０００ｎｍである。
【００２５】上記構成の顕微鏡装置の動作を図１，図２
及び図３を参照して説明する。
及び図３を参照して説明する。
【００２６】光源２から出射された３５１ｎｍ及び４８
８ｎｍの波長の励起光は集光レンズ３で集光され、励起
フィルタ４で４８８ｎｍの波長の励起光だけが透過さ
れ、その励起光が減光フィルタ（ＮＤフィルタ）５で調
光される。
８ｎｍの波長の励起光は集光レンズ３で集光され、励起
フィルタ４で４８８ｎｍの波長の励起光だけが透過さ
れ、その励起光が減光フィルタ（ＮＤフィルタ）５で調
光される。
【００２７】この励起光はフィルタキューブ６内のダイ
クロイックミラー１９で反射された後、ほぼ８０％の励
起光がダイクロイックミラー２１を透過し、対物レンズ
２２によってステージ７上の試料８に集光される（図２
及び図３参照）。
クロイックミラー１９で反射された後、ほぼ８０％の励
起光がダイクロイックミラー２１を透過し、対物レンズ
２２によってステージ７上の試料８に集光される（図２
及び図３参照）。
【００２８】励起光の照射によって試料８から発生した
蛍光（例えばＦＩＴＣの場合、波長λ＝５２０ｎｍ、ロ
ーダミンの場合、波長λ＝５７０ｎｍ、ボディピィの場
合、波長λ＝５１２ｎｍ）は励起光とともに対物レンズ
２２からダイクロイックミラー２１、フィルタキューブ
６へと光路を逆行し、フィルタキューブ６内のダイクロ
イックミラー１９で励起光と分離される。
蛍光（例えばＦＩＴＣの場合、波長λ＝５２０ｎｍ、ロ
ーダミンの場合、波長λ＝５７０ｎｍ、ボディピィの場
合、波長λ＝５１２ｎｍ）は励起光とともに対物レンズ
２２からダイクロイックミラー２１、フィルタキューブ
６へと光路を逆行し、フィルタキューブ６内のダイクロ
イックミラー１９で励起光と分離される。
【００２９】ダイクロイックミラー１９を通過した蛍光
は、バリアフィルタ１１を通った後、ミラー１２，１
３、リレーレンズ１４，１５、プリズム１６を経由して
接眼レンズ１８で集光され、眼１７で観察される。
は、バリアフィルタ１１を通った後、ミラー１２，１
３、リレーレンズ１４，１５、プリズム１６を経由して
接眼レンズ１８で集光され、眼１７で観察される。
【００３０】一方、ダイクロイックミラー２１で反射さ
れた２０％の励起光は、集光レンズ２３によって１次元
ＰＳＤ素子１０に防塵カバーガラス９を介して集光され
る。１次元ＰＳＤ素子１０の各電極から得られた電流は
信号処理装置３０へ出力され、信号処理装置３０では演
算等の信号処理が行なわれ、焦準位置が求められる。
れた２０％の励起光は、集光レンズ２３によって１次元
ＰＳＤ素子１０に防塵カバーガラス９を介して集光され
る。１次元ＰＳＤ素子１０の各電極から得られた電流は
信号処理装置３０へ出力され、信号処理装置３０では演
算等の信号処理が行なわれ、焦準位置が求められる。
【００３１】図４は第１実施形態における信号処理装置
のブロック構成図である。
のブロック構成図である。
【００３２】信号処理装置３０は、増幅器３１，３２
と、アナログ信号処理回路３３，３４と、距離演算回路
３５と、Ａ／Ｄ変換器３６と、ＣＰＵ３７と、メモリ３
８とからなる。
と、アナログ信号処理回路３３，３４と、距離演算回路
３５と、Ａ／Ｄ変換器３６と、ＣＰＵ３７と、メモリ３
８とからなる。
【００３３】１次元ＰＳＤ素子１０の各電極から得られ
た信号は各信号毎に増幅器３１、３２で増幅され、アナ
ログ信号処理回路３３、３４で正規化された後、距離演
算回路３５で移動量の計算が行われる。
た信号は各信号毎に増幅器３１、３２で増幅され、アナ
ログ信号処理回路３３、３４で正規化された後、距離演
算回路３５で移動量の計算が行われる。
【００３４】この計算結果はＡ／Ｄ変換器３６でデジタ
ル信号とされ、ＣＰＵ３７を介してメモリ３８に記憶さ
れる。また、メモリ３８の内容は必要に応じてモニタ
（図示せず）に表示される。
ル信号とされ、ＣＰＵ３７を介してメモリ３８に記憶さ
れる。また、メモリ３８の内容は必要に応じてモニタ
（図示せず）に表示される。
【００３５】この第１実施形態によれば、高価なリニア
エンコーダを用いることなく焦準位置を検出できるの
で、安価な顕微鏡装置を提供できる。また、励起光分割
部２５を対物レンズ２２の光軸と同一光軸上に設けたの
で、アッベの誤差が生じず、精度の高い焦準位置の検出
を行うことができる。
エンコーダを用いることなく焦準位置を検出できるの
で、安価な顕微鏡装置を提供できる。また、励起光分割
部２５を対物レンズ２２の光軸と同一光軸上に設けたの
で、アッベの誤差が生じず、精度の高い焦準位置の検出
を行うことができる。
【００３６】図５はこの発明の第２実施形態における信
号処理装置のブロック構成図である。第１実施形態の顕
微鏡装置では、位置検出器として１次元ＰＳＤ素子１０
を用いた場合について述べたが、第２実施形態では、１
次元ＰＳＤ素子１０に代えてＣＣＤラインセンサ７０を
用いるようにした。
号処理装置のブロック構成図である。第１実施形態の顕
微鏡装置では、位置検出器として１次元ＰＳＤ素子１０
を用いた場合について述べたが、第２実施形態では、１
次元ＰＳＤ素子１０に代えてＣＣＤラインセンサ７０を
用いるようにした。
【００３７】位置検出器のＣＣＤラインセンサ７０以外
の構成については第１実施形態の顕微鏡装置１と共通す
るので、その説明を省略する。
の構成については第１実施形態の顕微鏡装置１と共通す
るので、その説明を省略する。
【００３８】信号処理装置６０は、増幅器６１と、Ａ／
Ｄ変換器６２と、ＣＰＵ６３と、メモリ６４とからな
る。
Ｄ変換器６２と、ＣＰＵ６３と、メモリ６４とからな
る。
【００３９】ＣＣＤラインセンサ７０は１次元の光情報
を電気信号に変換する固体撮像デバイスであり、５００
０画素や７５００画素のものを用いる。
を電気信号に変換する固体撮像デバイスであり、５００
０画素や７５００画素のものを用いる。
【００４０】ところで、励起光は通常ガウス分布になっ
ており、中央の光強度が一番強く、半径方向に裾を引い
て緩やかな曲線を描く。そして、焦点面のスポットサイ
ズは対物レンズ２２及び集光レンズ２３の焦点距離によ
り定まる。
ており、中央の光強度が一番強く、半径方向に裾を引い
て緩やかな曲線を描く。そして、焦点面のスポットサイ
ズは対物レンズ２２及び集光レンズ２３の焦点距離によ
り定まる。
【００４１】ＣＣＤラインセンサ７０上には画素の配列
ピッチより大きい径のスポット光が当てられる。ＣＣＤ
ラインセンサ７０では各画素の明暗に応じた電気信号に
変換され、増幅器６１で増幅され、Ａ／Ｄ変換器６２で
デジタル信号とされ、ＣＰＵ６３を介してメモリ６４に
記憶される。
ピッチより大きい径のスポット光が当てられる。ＣＣＤ
ラインセンサ７０では各画素の明暗に応じた電気信号に
変換され、増幅器６１で増幅され、Ａ／Ｄ変換器６２で
デジタル信号とされ、ＣＰＵ６３を介してメモリ６４に
記憶される。
【００４２】ＣＰＵ６３では受光量に応じて出力され
る、それぞれの画素の持つ階調値を基にスポット光の重
心位置（光強度が一番高い部分）を求め、移動量を演算
し、結果をメモリ６４に記憶させる。また、メモリ６４
の内容は必要に応じてモニタ（図示せず）に表示され
る。
る、それぞれの画素の持つ階調値を基にスポット光の重
心位置（光強度が一番高い部分）を求め、移動量を演算
し、結果をメモリ６４に記憶させる。また、メモリ６４
の内容は必要に応じてモニタ（図示せず）に表示され
る。
【００４３】この第２実施形態によれば、第１実施形態
と同様の効果を得ることができる。また、スポット光の
移動量を計算するのに重心位置を用いたので、ＣＣＤラ
インセンサ７０の配列ピッチより小さな移動量を検出す
ることができる。
と同様の効果を得ることができる。また、スポット光の
移動量を計算するのに重心位置を用いたので、ＣＣＤラ
インセンサ７０の配列ピッチより小さな移動量を検出す
ることができる。
【００４４】この場合の分解能はＣＣＤラインセンサ７
０の配列ピッチ、スポット光の大きさ、スポット光の強
度分布及びＡ／Ｄ変換器６２の性能により決定される。
０の配列ピッチ、スポット光の大きさ、スポット光の強
度分布及びＡ／Ｄ変換器６２の性能により決定される。
【００４５】なお、第１実施形態の１次元ＰＳＤ素子の
代わりに２次元ＰＳＤ素子を使用し、また第２実施形態
のＣＣＤラインセンサを２次元的に配置するようにして
もよい。
代わりに２次元ＰＳＤ素子を使用し、また第２実施形態
のＣＣＤラインセンサを２次元的に配置するようにして
もよい。
【００４６】このようにすることで、２次元ＰＳＤ素子
や２次元的に配置されたＣＣＤラインセンサが傾いてい
るときでも演算により位置を求めることができ、検出結
果の補正が可能となる。
や２次元的に配置されたＣＣＤラインセンサが傾いてい
るときでも演算により位置を求めることができ、検出結
果の補正が可能となる。
【００４７】なお、上記各実施形態においては励起レー
ザ光を使用する顕微鏡装置で説明したが、照明光として
は励起レーザ光以外の白色光等を使用する顕微鏡装置に
も適用することができる。
ザ光を使用する顕微鏡装置で説明したが、照明光として
は励起レーザ光以外の白色光等を使用する顕微鏡装置に
も適用することができる。
【００４８】
【発明の効果】以上に説明したように請求項１記載の発
明の顕微鏡装置によれば、対物レンズの光軸と同一光軸
上に励起光分割手段を配置したので、アッベの誤差が生
じることがなく、精度の高い焦準位置の検出を行うこと
ができる。また、高価なリニアエンコーダを使用しない
ので、顕微鏡装置を安価に提供することができる。
明の顕微鏡装置によれば、対物レンズの光軸と同一光軸
上に励起光分割手段を配置したので、アッベの誤差が生
じることがなく、精度の高い焦準位置の検出を行うこと
ができる。また、高価なリニアエンコーダを使用しない
ので、顕微鏡装置を安価に提供することができる。
【００４９】請求項２又は３に記載の発明の顕微鏡装置
によれば、高価なリニアエンコーダを用いないので、安
価な顕微鏡装置を提供できる。
によれば、高価なリニアエンコーダを用いないので、安
価な顕微鏡装置を提供できる。
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係る顕微鏡装
置のブロック構成図である。
置のブロック構成図である。
【図２】図２はダイクロイックミラー１９の分光特性図
である。
である。
【図３】図３はダイクロイックミラー２１の分光特性図
である。
である。
【図４】図４は第１実施形態における信号処理装置のブ
ロック構成図である。
ロック構成図である。
【図５】図５は第２実施形態における信号処理装置のブ
ロック構成図である。
ロック構成図である。
１ 顕微鏡装置 ２ 光源 ７ ステージ ８ 試料 １０ ＰＳＤ素子（位置検出器） ２０ レボルバ台（移動手段） ２２ 対物レンズ ２５ 光分割部（光分割手段） ５０ 位置検出部（位置検出手段） ７０ ＣＣＤラインセンサ（位置検出器）
Claims (3)
- 【請求項１】 ステージ上に載置された試料に照明光を
集光させる対物レンズと、前記対物レンズを光軸に沿っ
て移動させる移動手段と、前記対物レンズの焦準位置を
検出する位置検出手段と、前記対物レンズ、移動手段及
び位置検出手段が収容される顕微鏡本体とを備えた顕微
鏡装置において、 前記位置検出手段は、前記対物レンズと一体に前記光軸
方向に移動し、前記照明光の一部を分割する光分割手段
と、前記光軸と平行な配列で前記顕微鏡本体に固定さ
れ、前記光分割手段によって分割された照明光を検出す
る位置検出器とを備えることを特徴とする顕微鏡装置。 - 【請求項２】 前記位置検出器は１次元又は２次元半導
体位置検出器であることを特徴とする請求項１に記載の
顕微鏡装置。 - 【請求項３】 前記位置検出器はＣＣＤラインセンサで
あることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8182802A JPH1010435A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8182802A JPH1010435A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1010435A true JPH1010435A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=16124687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8182802A Withdrawn JPH1010435A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1010435A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002044791A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-06 | Iatia Imaging Pty Ltd | Lens assembly |
-
1996
- 1996-06-24 JP JP8182802A patent/JPH1010435A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002044791A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-06 | Iatia Imaging Pty Ltd | Lens assembly |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |