JPH10104294A

JPH10104294A - 電磁雑音測定装置

Info

Publication number: JPH10104294A
Application number: JP25943796A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Arai; 賢一荒井; Masahiro Yamaguchi; 正洋山口; Mitsuharu Watanabe; 光春渡辺
Original assignee: KYODO KUMIAI JIYOINTO LAB SEND; KYODO KUMIAI JIYOINTO LAB SENDAI
Current assignee: KYODO KUMIAI JIYOINTO LAB SEND; KYODO KUMIAI JIYOINTO LAB SENDAI
Priority date: 1996-09-30
Filing date: 1996-09-30
Publication date: 1998-04-24

Abstract

(57)【要約】【課題】広帯域でＧＨｚ帯をカバーでき、かつ正確な測
定ができて電磁雑音発生源中の位置特定が可能な電磁雑
音測定装置を提供する。【解決手段】誘電体基板の表面にほぼ１ターンのマイク
ロストリップ導体を形成し、前記誘電体基板の裏面に接
地導体を形成し、かつマイクロストリップ導体の終端部
分をチップ抵抗によって接地導体に電気的に接続して形
成された複数のマイクロストリップコイル２_ijが予め定
められたピッチで配設されて一体に構成されたマイクロ
ストリップコイルアレイ２を、被測定電磁雑音発生体に
マイクロストリップ導体面を所定間隔隔てて対向させ
て、各マイクロストリップコイル２_ijからの誘起電圧を
測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はマイクロストリップ
コイルを用いて電磁雑音を測定する電磁雑音測定装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】電子機器において１００ＭＨｚを越える
クロック周波数のコンピュータに代表されるように、電
子機器のデジタル化、高速化が進んでいる。これら２値
のデジタル信号からは偶数・奇数次を含む高周波電磁雑
音が発生するため、ＧＨｚ帯をカバーする電磁雑音の測
定が望まれている。

【０００３】かかる電磁雑音を測定する電磁雑音測定装
置としては、例えば特開平６−５８９６９号公報および
特開平６−５８９７０号公報に開示されたものがある。
これらは、不要輻射の多い電子部品が実装されたプリン
ト配線基板に近磁界プローブを対向させ、プリント配線
基板に対して近磁界プローブをＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動
させて、近磁界プローブの出力によって電磁雑音を測定
している。

【０００４】また、特開平６−５８９７０号公報に開示
されたものでは、電子部品が実装されたプリント配線基
板を妨害測定用のアンテナの上に載せてプリント配線基
板の裏面側からの電磁雑音も含めて測定している。

【０００５】一方、不要輻射の磁界を検出するための妨
害測定用アンテナとして、特開平６−５８９７１号公報
に開示されたものがある。この妨害測定用アンテナは、
多層のプリント配線板上の同一位置にパターンによって
構成したコイルを直列接続して複数ターンのコイルを形
成し、表面実装型コンデンサをプリント配線板に内蔵さ
せ、複数ターンのコイルと表面実装型コンデンサとを接
続してＬＣ共振回路をプリント配線板にマトリックス状
に配置したものが開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の電磁雑音測定装置による電磁雑音の測定
ではＧＨｚ帯をカバーする電磁雑音の測定が困難である
という問題点のほか、近磁界プローブをＸ−Ｙ−Ｚ軸方
向に駆動しながら測定するために、電気的な測定時間は
短いにもかかわらず、近磁界プローブの機械的移動に時
間がかかり、高速の測定ができないという問題点があっ
た。

【０００７】さらに、上記したような従来の電磁雑音測
定装置による電磁雑音の測定では近磁界プローブを移動
させるための駆動モータが常時動作しているために、駆
動モータの電磁雑音を排除する必要が生じ、近磁界プロ
ーブから離さなければならず、装置が複雑になるという
問題点もあった。

【０００８】また、上記した従来の妨害測定用アンテナ
を用いるときは、共振回路構成にすることによって感度
は向上するものの狭帯域の電磁雑音しか測定できないと
いう問題点があり、広帯域化するためには共振周波数を
上げる必要が生ずるが、共振周波数を上げるためには小
型になって数ＭＨｚの周波数帯域では感度が低下すると
いう問題点があった。

【０００９】さらに、上記した従来の妨害測定用アンテ
ナを用いるときに、コイル数を増加させるとアンテナ面
が被測定電磁雑音をシールドすることになって、電磁雑
音である磁界成分の方向を曲げてしまって、正確な測定
が行えないという問題点もあった。

【００１０】本発明は、広帯域でＧＨｚ帯をカバーで
き、かつ正確な測定ができて電磁雑音発生源の特定が可
能な電磁雑音測定装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の電磁雑音測定装
置は、誘電体基板の表面にほぼ１ターンのマイクロスト
リップ導体を形成し、前記誘電体基板の裏面に接地導体
を形成し、かつマイクロストリップ導体の終端をチップ
抵抗によって接地導体に電気的に接続して形成された複
数のマイクロストリップコイルが予め定められたピッチ
で配設されて一体に構成されたマイクロストリップコイ
ルアレイを、被測定電磁雑音発生体にマイクロストリッ
プ導体面を所定間隔隔てて対向させて、各マイクロスト
リップコイルからの誘起電圧を測定することを特徴とす
る。

【００１２】本発明の電磁雑音測定装置によれば、マイ
クロストリップコイルからの誘起電圧によって電磁雑音
が測定され、かつＧＨｚ帯域まで電磁雑音を測定するこ
とができる。また、マイクロストリップコイルアレイに
おけるマイクロストリップコイルの位置が被測定電磁雑
音発生源の位置に対応しているため、誘起電圧を発生す
るマイクロストリップコイルのマイクロストリップコイ
ルアレイ中における位置から電磁雑音発生部位が特定で
きる。

【００１３】また、本発明の電磁雑音測定装置によれ
ば、電磁雑音の測定中にマイクロストリップコイルアレ
イを移動させる必要がないため、移動手段の駆動中に発
生する電磁雑音の影響を受けずに、電磁雑音の正確な測
定が行える。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる電磁雑音測
定装置を実施の一形態によって説明する。

【００１５】図１は本発明の実施の一形態にかかる電磁
雑音測定装置の構成を示すブロック図である。

【００１６】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測
定装置１は、誘電体基板上に複数のほぼ１ターンを構成
するマイクロストリップコイル２₁₁、……、２_mn（ｍ、
ｎは正の整数）がマトリックス状に形成されかつマイク
ロストリップコイル２₁₁、……、２_mnからの出力電圧を
選択的に切り替えて送出させるダイオードスイッチ回路
を備えたマイクロストリップコイルアレイ２と、マイク
ロストリップコイルアレイ２の一方の端部が固定され
て、図示しないＸ方向駆動パルスモータおよびＹ方向駆
動パルスモータの駆動によってマイクロストリップコイ
ルアレイ２をＸ−Ｙ方向に移動させるＸＹスライダ３
と、マイクロコンピュータからなる後記する制御回路８
の制御のもとにＸ方向駆動パルスモータおよびＹ方向駆
動パルスモータを駆動させるための駆動信号発生回路４
と、制御回路８の制御のもとに各マイクロストリップコ
イル２₁₁、……、２_mnからの出力電圧を送出させるため
の切替信号をダイオードスイッチ回路に供給する切替信
号発生回路５と、マイクロストリップコイルアレイ２か
らの出力信号を増幅する増幅器６と、増幅器６からの出
力電圧を入力するスペクトルアナライザ７と、スペクト
ルアナライザ７からの出力を受けて表示装置９の制御等
を行う制御回路８と、制御回路８の制御のもとに電磁雑
音発生位置における発生電磁雑音レベルに基づく表示を
行う表示装置９を備えている。

【００１７】次に、マイクロストリップコイル２₁₁、…
…、２_mnおよびマイクロストリップコイルアレイ２につ
いてそれぞれ説明する。

【００１８】各マイクロストリップコイル２_ij（ｉ＝１
〜ｍ、ｊ＝１〜ｎ）は図２の外観図に示すように、特開
平８−１２９０５８号において開示されているものであ
って、誘電体基板２０を１ターンのマイクロストリップ
導体２１と接地導体２２とによって挾んだ構成であり、
マイクロストリップ導体２１の線幅は特性インピーダン
スが５０Ωとなるように設定されている。

【００１９】マイクロストリップコイル２_ijの終端部分
（Ｂ点）は５０Ωのチップ抵抗２３により整合されてい
る。

【００２０】このように形成されたマイクロストリップ
コイル２_ijの磁界に対する誘起電圧の発生原理を図３に
示す。一様な交流磁界がマイクロストリップコイル２_ij
の面に直交する方向から印加されると、渦電流が接地導
体２２の表面周辺を還流し、この渦電流によって磁束Φ
は接地導体２２の表面を迂回する。このうちマイクロス
トリップ導体２１と接地導体２２の表面とを囲む斜線部
分への鎖交磁束により電圧が誘起され、マイクロストリ
ップコイル２_ijの始端部分（Ａ点）から出力電圧が取り
出される。

【００２１】次に、マイクロストリップコイルアレイ２
の構成について説明する。図４（ａ）はマイクロストリ
ップコイルアレイ２を簡略化して示した模式概略図であ
り、簡単のためにマイクロストリップコイル２_ijの数が
９個の場合を例示している。

【００２２】図４（ｂ）に示すように、誘電体基板２５
は３層に形成され、第１層の誘電体基板２５の表面に所
定間隔でマイクロストリップ導体２１が形成され、各マ
イクロストリップ導体２１に対向して第２層の誘電体基
板２５の表面に各接地導体２２が形成され、各マイクロ
ストリップ導体２１の終端部分はチップ抵抗２３によっ
て対応する接地導体２２に電気的に接続されている。さ
らに、第３層の誘電体基板２５の表面に全体接地導体２
６が形成してあって、各マイクロストリップ導体２１に
対応する第３層の誘電体基板２５の裏面位置に各マイク
ロストリップ導体２１によって形成される各マイクロス
トリップコイル２_ijの出力をオン、オフするダイオード
スイッチ回路２７が形成してあり、各マイクロストリッ
プコイル２_ijを構成するマイクロストリップ導体２１の
始端部分は全体接地導体２６と電気的に絶縁されかつ全
体接地導体２６を貫通して対応するダイオードスイッチ
回路２７に電気的に接続されている。

【００２３】ここで、本実施の一形態では、マイクロス
トリップ導体２１、接地導体２２および全体接地導体２
６を銅箔で形成し、その厚さを３５μｍに設定し、誘電
体基板２５を誘電率４．８のガラスエポキシ樹脂で形成
し、第１層および第３層の厚さを０．５ｍｍ、第２層の
厚さを３ｍｍに設定した。このように設定することでイ
ンピーダンスが整合され、感度が最大となるためであ
る。なお、全体接地導体２６を設けたのはダイオードス
イッチ回路２７を被測定電磁界からシールドするためで
ある。

【００２４】ダイオードスイッチ回路２７は図５に示す
ように、抵抗２７２〜２７３、直流遮断のためのコンデ
ンサ２７１〜２７６およびダイオード２７８とから構成
され、抵抗２７３を介してダイオード２７８の陰極側に
−１２Ｖの電圧を選択的に印加してダイオード２７８を
オン、オフ制御し、マイクロストリップコイル２_ijの出
力電圧の送出、遮断を制御する。

【００２５】ここで、ダイオードスイッチ回路２７は対
応するマイクロストリップコイル２ _ijからの距離がほぼ
等しくなるように、対応するマイクロストリップコイル
２_ijの投影面積内にほぼ位置するように設けてある。こ
のようにすることにより隣接するマイクロストリップコ
イル２_ij間のピッチがダイオードスイッチ回路２７によ
って制約されることはなくなる。ダイオード２７８に
は、オン時とオフ時のレベル差および動作周波数が必要
とする値以上のダイオードが選択される。ダイオード２
７８は本例では例えばレベル差３５ｄＢ以上、動作周波
数１ＭＨｚ以上のものから選択される。

【００２６】なお、上記例示では簡単のために、マイク
ロストリップコイルアレイ２が９個のマイクロストリッ
プコイル２_ijによって構成されている場合を示したが、
電磁雑音測定装置１を、例えばＡ列４号のサイズのプリ
ント配線基板に設けられた電子回路からの電磁雑音測定
を可能なものであるとすれば、誘電体基板２５の表面積
をＡ列４号のサイズに設定し、ｍおよびｎの値を実装可
能なマイクロストリップコイル２_ijのサイズによって設
定すればよい。各マイクロストリップコイル２ _ij間のピ
ッチを等しく設定すると電磁雑音の測定に好都合であ
る。

【００２７】電磁雑音の測定において、マイクロストリ
ップコイル２₁₁、 ……、２_mnを構成するマイクロスト
リップ導体２１の表面が被測定電磁雑音発生源に対向す
るように設置される。

【００２８】以上のように構成された電磁雑音測定装置
１の作用について説明する。

【００２９】例えば図示しないキースイッチ群中の測定
開始指示キースイッチの押圧によって測定開始指示が制
御回路８に与えられると、制御回路８の制御のもとにマ
イクロストリップコイルアレイ２を予め定められた原点
位置に移動させるべく駆動信号発生回路４に駆動信号が
制御回路８から送出され、この駆動信号に基づく駆動パ
ルスによってＸおよびＹ方向駆動パルスモータが駆動さ
れ、ＸＹスライダ３が移動させられて、マイクロストリ
ップコイルアレイ２が予め定められた原点位置にまで移
動させられる。

【００３０】この状態においてマイクロストリップコイ
ルアレイ２が被測定電磁雑音発生源であるプリント配線
基板に対向する位置になっている。マイクロストリップ
コイルアレイ２が原点位置にまで移動させられると、制
御回路８の制御のもとに切替信号発生回路５から、予め
定められた順序および時間間隔で各ダイオードスイッチ
回路２７に、ダイオード２７８を選択的にオン状態にす
る−１２Ｖの切替電圧が出力される。この切替信号を受
けて、予め定められた順序および時間間隔でダイオード
２７８がオン状態にされて、ダイオード２７８がオン状
態にされたマイクロストリップコイル２_ijからの出力電
圧が増幅器６に送出されて増幅のうえ、スペクトルアナ
ライザ７に供給され、周波数分析されて、周波数分析結
果に基づく出力レベル情報が制御回路８に送出される。

【００３１】周波数分析結果に基づく出力レベル情報を
受けた制御回路８は各周波数成分毎に、切替信号を送出
したダイオードスイッチ回路２７に対応する誘電体基板
２５上におけるマイクロストリップコイル２_ijの位置
に、同一周波数成分の出力電圧レベルに対応する表示を
表示装置９に表示させる。

【００３２】その表示の一例は図６および図７（ａ）、
（ｂ）に示すごとくである。

【００３３】マイクロストリップコイルアレイ２をＣＰ
Ｕ（４８６ＳＸ１６ＭＨｚ）の直上約５ｍｍの位置にマ
イクロストリップ導体２１の面がＣＰＵに対向するよう
に固定し、マイクロストリップコイル２_ijからの出力電
圧を増幅器６（ヒューレットパッカード社製ＨＰ８４４
７Ｄ）で増幅し、スペクトルアナライザ７（ヒューレッ
トパッカード社製ＨＰ８５５４Ｂ）により周波数スペク
トルとして測定したときにおいて、図６はクロック周波
数１６ＭＨｚにて動作のＣＰＵによりＣ言語によるプロ
グラム実行中における一つのマイクロストリップコイル
２_ijからの出力電圧のスペクトルを示し、クロック周波
数１６ＭＨｚの高調波スペクトルが観測されている。図
７（ａ）および（ｂ）はこのスペクトルの３２ＭＨｚお
よび６４ＭＨｚの成分に着目し、電磁雑音の強度分布を
示したものである。図７（ａ）、（ｂ）の中心位置がＣ
ＰＵの中心位置であり、図７（ａ）、（ｂ）の端辺がほ
ぼＣＰＵの外形と等しい位置に対応している。図７に示
すように、周波数が一定であっても電磁雑音の強度分布
があること、および周波数が異なる場合には強度分布も
異なることがわかる。

【００３４】また、レベル表示に代わって各マイクロス
トリップコイル２_ijからの出力電圧レベルに対応させた
色によって表示する色表示であってもよい。

【００３５】次に、予め定められた原点位置に移動させ
られて電磁雑音の測定が済んだときは、制御回路８の制
御のもとにマイクロストリップコイルアレイ２がＸ方向
において隣接するマイクロストリップコイル２_ijとのピ
ッチの１／２の距離だけＸ方向に移動させるべく、駆動
信号発生回路４に駆動信号が制御回路８から送出され、
この駆動信号に基づく駆動パルスによってＸ方向駆動パ
ルスモータが駆動され、ＸＹスライダ３が移動させられ
てマイクロストリップコイルアレイ２がＸ方向において
隣接するマイクロストリップコイル２_ijとのピッチの１
／２の距離だけＸ方向に移動させられて、原点位置の場
合と同様に電磁雑音の測定が行われる。このようにする
ことによって、Ｘ方向の電磁雑音測定位置の分解能を上
げることが可能である。また、Ｙ方向についても同様で
ある。また、移動距離は隣接するマイクロストリップコ
イル２_ijとのピッチの１／２の距離に限らず、他の値、
例えば１／３の値であっても差し支えない。

【００３６】なお、上記した電磁雑音測定装置１におい
て、各マイクロストリップコイル２ _ijからの出力電圧を
ダイオードスイッチ回路２７によって選択的に取り出す
場合を例示したが、ダイオードスイッチ回路２７に代わ
ってマルチプレクサ、ダイオードマトリックス等を用い
ることもできる。

【００３７】次に、本実施の一形態におけるマイクロス
トリップコイル２_ijによって測定される電磁雑音の周波
数限界について説明する。

【００３８】図８は周波数限界を示すためにコイル部分
が同寸法である２端子コイルおよびマイクロストリップ
コイル２_ijの出力電圧を比較したものである。図８にお
いて、○、□が実測値であり、破線、実線が計算値であ
って、○および破線は２端子コイルの出力電圧を、□お
よび実線はマイクロストリップコイル２_ijの出力電圧を
示している。図９（ａ）および（ｂ）は図８における計
算値の算出に用いた等価回路であり、図９（ａ）は２端
子コイルの等価回路を表し、図９（ｂ）はマイクロスト
リップコイル２_ijの等価回路を表している。

【００３９】図９（ａ）に示す２端子コイルではコイル
自身のインピーダンスは２７７Ωで、線路と測定器の特
性インピーダンス５０Ωとは異なっている。２端子コイ
ルでは、そのインピーダンスを５０Ωに設定し、かつ周
波数に拘らずこれを一定に保つことは不可能である。

【００４０】これに対し、マイクロストリップコイル２
_ijでは、コイル自身の特性インピーダンスを周波数に拘
らず５０Ω、また必要であれば５０Ω以外の所望の値に
保つことができる。

【００４１】コイルで発生した誘起電圧はコイルから線
路を伝播して計測器に至る訳であるが、図９（ａ）に示
した２端子コイルのように２端子コイルと線路のインピ
ーダンスが異なると、両者の接続点で電圧の一部が反射
し、計測器において計測される電圧は２端子コイルで発
生した誘起電圧とは異なる電圧となる。この誤差は高周
波になるほど顕著であり、そのため２端子コイルでは高
周波計測が困難になる。これに対しマイクロストリップ
コイル２_ijでは整合が採られているため、かかる問題は
ない。等価回路内に示されている電圧源Ｐｃは鎖交磁束
による誘起電圧であり、ネットワークアナライザの端子
間電圧は回路シミュレータＰｓｐｉｃｅにより求めた。
実測値は約１ＧＨｚにおいて極大値を示しており、これ
は２端子コイルおよびマイクロストリップコイル２_ijの
励磁に用いた励磁コイルの反共振によるものである。

【００４２】しかし、同一の励磁条件のもとでマイクロ
ストリップコイル２_ijの出力電圧は同じコイル寸法の２
端子コイルよりも高周波領域まで周波数に比例してい
る。

【００４３】これは次の理由である。２端子コイルの場
合、検出コイルと電送線路との接続点および終端部分に
おいてインピーダンスが整合しておらず、２点間で多重
反射が起きて、これらの反射波同士が干渉することによ
り出力電圧は２００ＭＨｚ以上で周波数に比例しない。
一方、マイクロストリップコイル２_ijの場合、接続点お
よび終端部分がほぼ整合されているため反射は十分に小
さく、このためマイクロストリップコイル２_ijの使用帯
域は共振波長により制限される。これがマイクロストリ
ップコイル２_ijのインピーダンス整合による基本的特徴
である。

【００４４】次に、マイクロストリップコイル２_ij単体
による電磁雑音の測定について説明する。

【００４５】マイクロストリップコイル２_ijがＣＰＵ
（４８６ＳＸ１６ＭＨｚ）の直上約５ｍｍの位置にマイ
クロストリップ導体２１の面がＣＰＵに対向するように
マイクロストリップコイルアレイ２を固定し、マイクロ
ストリップコイル２_ijからの出力電圧を増幅器６（ヒュ
ーレットパッカード社製ＨＰ８４４７Ｄ）で増幅し、ス
ペクトルアナライザ７（ヒューレットパッカード社製Ｈ
Ｐ８５５４Ｂ）により周波数スペクトルとして測定し
た。

【００４６】図１０は上記のようにして測定された周波
数スペクトルである。図１０（ａ）はバックグラウンド
雑音であり、シールドを施していないためＦＭ放送の周
波数、ＴＶ放送の周波数などが測定されている。図１０
（ｂ）はＣ言語による計算プログラムを実行させた場合
の周波数スペクトルである。線幅の細い１６ＭＨｚ間隔
の周波数スペクトルはＣＰＵのクロック周波数の高調波
成分であり、１ＧＨｚ近くにまで及んでいる。マイクロ
ストリップコイル２_ijの出力電圧は周波数に比例するた
め、高調波成分の強度は必ずしも高調波の次数に反比例
して減少しない。１００〜２００Ｍｚの包絡線的なピー
クはスイッチング電源からの電磁雑音であると考えられ
る。この他、ハードディスクドライブ等のように動作が
異なる場合には異なる周波数スペクトルが測定された。

【００４７】上記から、マイクロストリップコイル２_ij
によって電磁雑音が０〜１ＧＨｚの広帯域で測定するこ
とが可能であることがわかる。

【００４８】次に、マイクロストリップコイルアレイ２
における隣接マイクロストリップコイル２_ij間の相互作
用、インピーダンス整合について説明する。

【００４９】先ず、隣接マイクロストリップコイル２_ij
間の相互作用について説明する。

【００５０】マイクロストリップ導体２１の形状は矩形
状のほぼ１ターンとし、平行なストリップ導体２１の間
隔は相互作用を無視できる寸法とする。図２に示したマ
イクロストリップ導体２１についてみた場合、相対向す
る平行導体間の間隔は最小３ｍｍあれば平行導体間の相
互作用は無視できる。すなわち、図２において、ｘ＝３
ｍｍ、ｙ＝３ｍｍが平行導体間の相互作用が無視できる
最小間隔である。この関係は隣り合うマイクロストリッ
プコイル２_ijの間においても同様であって、隣り合うマ
イクロストリップコイル２_ijを構成するマイクロストリ
ップ導体２１の平行導体間の間隔は最小３ｍｍあれば相
互作用は無視できる。さらにダイオードスイッチ回路２
７の実装には１０ｍｍ×１０ｍｍ程度の面積が必要であ
ることを考慮し、電磁雑音測定装置１では、マイクロス
トリップ導体２１の１辺の長さおよび平行なマイクロス
トリップ導体２１間の距離を共に７．５ｍｍとする。こ
れは相互作用が小さいと見積もれる隣接間距離であると
共に、マイクロストリップコイル２_ijを平面方向へ隣接
間隔だけシフトして全領域を測定できる寸法でもある。

【００５１】次にインピーダンス整合について説明す
る。

【００５２】本実施の一形態のマイクロストリップコイ
ルアレイ２は全体としてインピーダンス整合を行う必要
がある。ダイオードスイッチ回路２７からの各引き出し
線は５０Ωのマイクロストリップ線路により構成するこ
とにより整合は確保されるが、マイクロストリップコイ
ルアレイ２の出力引出線との分岐点については、マイク
ロストリップコイルアレイ２からの出力点とマイクロス
トリップコイル２_ijの位置との相対関係に基づいて検討
することが必要である。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる電磁
雑音測定装置によれば、マイクロストリップコイルの誘
起電圧によって電磁雑音を測定するため、その帯域は広
くＧＨｚまでの周波数の電磁雑音を測定することができ
るという効果が得られる。

【００５４】また、本発明にかかる電磁雑音測定装置に
よれば、マイクロストリップコイルアレイを構成する複
数のマイクロストリップコイルからの誘起電圧を測定す
ることによって電磁雑音を測定しているために、測定に
長時間を必要としないという効果が得られる。

【００５５】さらに、本発明にかかる電磁雑音測定装置
によれば、誘起電圧を発生するマイクロストリップコイ
ルのマイクロストリップコイルアレイ中における位置か
ら電磁雑音発生位置が特定できて、近磁界プローブのよ
うに被測定電磁雑音発生体上を移動させる必要がないと
いう効果も得られる。この結果、移動手段の駆動中に発
生する移動手段から発生する電磁雑音の影響を受けるこ
とがないという効果も得られる。

【００５６】さらに、本発明にかかる電磁雑音測定装置
によれば、マイクロストリップコイルアレイを互いに直
交する方向に予め定められた距離移動させる移動手段を
備え、移動手段によるマイクロストリップコイルアレイ
の１回の移動長は隣接するマイクロストリップコイルの
ピッチの数分の１で済むため、マイクロストリップコイ
ルアレイ移動に長時間を必要とせず、かつ測定間の分解
能を向上させるという効果も得られる。

【００５７】また、本発明にかかる電磁雑音測定装置に
よれば、電磁雑音の測定中にマイクロストリップコイル
アレイを移動させる必要がないため、移動手段から発生
する電磁雑音の影響を受けることがないという効果も得
られる。

【００５８】本発明にかかる電磁雑音測定装置によれ
ば、マイクロストリップコイルからの誘起電圧をスイッ
チ回路によって選択的に取り出し、スイッチ回路をダイ
オードスイッチ回路で構成できるため、スイッチ回路は
簡単に構成できるという効果も得られる。

【００５９】また本発明にかかる電磁雑音測定装置にお
いて、全体接地導体を形成したときはスイッチ回路が被
測定電磁界からシールドされるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置の構成を示すブロック図である。

【図２】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置に用いるマイクロストリップコイルの構成を示す模式
外観図である。

【図３】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置に用いるマイクロストリップコイルの誘起電圧発生の
原理の説明に供する図である。

【図４】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置に用いるマイクロストリップコイルアレイの模式外観
図および該マイクロストリップコイルアレイを構成する
マイクロストリップコイルの分解斜視図である。

【図５】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置に用いるマイクロストリップコイルアレイのダイオー
ドスイッチ回路の回路図である。

【図６】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置による測定電磁雑音の周波数スペクトルを示す図であ
る。

【図７】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置による測定電磁雑音を示す説明図である。

【図８】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置に用いるマイクロストリップコイルの周波数対出力電
圧の特性を示す図である。

【図９】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置に用いるマイクロストリップコイルの特性説明に供す
る等価回路図である。

【図１０】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定
装置に用いるマイクロストリップコイルにより測定した
電磁雑音の周波数スペクトルを示す説明図である。

【符号の説明】

１電磁雑音測定装置２マイクロストリップコイルアレイ２_ij マイクロストリップコイル３ＸＹスライダ４駆動信号発生回路５切替信号発生回路７スペクトルアナライザ８制御回路９表示装置２０および２５誘電体基板２１マイクロストリップ導体２２接地導体２３チップ抵抗２７ダイオードスイッチ回路２７８ダイオード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】誘電体基板の表面にほぼ１ターンのマイク
ロストリップ導体を形成し、前記誘電体基板の裏面に接
地導体を形成し、かつマイクロストリップ導体の終端を
チップ抵抗によって接地導体に電気的に接続して形成さ
れた複数のマイクロストリップコイルが予め定められた
ピッチで配設されて一体に構成されたマイクロストリッ
プコイルアレイを、被測定電磁雑音発生体にマイクロス
トリップ導体面を所定間隔隔てて対向させて、各マイク
ロストリップコイルからの誘起電圧を測定することを特
徴とする電磁雑音測定装置。
【請求項２】請求項１記載の電磁雑音測定装置におい
て、マイクロストリップコイルアレイの一端部が固定さ
れてマイクロストリップコイルアレイを互いに直交する
方向に予め定められた距離移動させる移動手段を備えた
ことを特徴とする電磁雑音測定装置。
【請求項３】請求項２記載の電磁雑音測定装置におい
て、移動手段によるマイクロストリップコイルアレイの
１回の移動長は隣接するマイクロストリップコイルのピ
ッチの数分の１であることを特徴とする電磁雑音測定装
置。
【請求項４】請求項１記載の電磁雑音測定装置におい
て、マイクロストリップコイルアレイを構成する各マイ
クロストリップコイルからの誘起電圧はスイッチ回路に
よって選択的に取り出されることを特徴とする電磁雑音
測定装置。
【請求項５】請求項４記載の電磁雑音測定装置におい
て、スイッチ回路はダイオードスイッチ回路であること
を特徴とする電磁雑音測定装置。
【請求項６】請求項１記載の電磁雑音測定装置におい
て、マイクロストリップコイルアレイは、マイクロスト
リップコイルアレイの誘電体基板が３層に形成され、誘
電体基板の第１層の表面に所定間隔でマイクロストリッ
プ導体が形成され、誘電体基板の第２層の表面に各マイ
クロストリップ導体に対向する接地導体が形成され、各
マイクロストリップ導体の終端部分はチップ抵抗によっ
て対応する接地導体に電気的に接続され、誘電体基板の
第３層の表面に全体接地導体が形成され、各マイクロス
トリップ導体に対応する第３層の誘電体基板の裏面位置
に各マイクロストリップ導体によって形成される各マイ
クロストリップコイルの出力を選択的にオン、オフする
スイッチ回路が形成され、各マイクロストリップコイル
を構成するマイクロストリップ導体の始端部分は全体接
地導体と電気的に絶縁されかつ全体接地導体を貫通して
対応するスイッチ回路に電気的に接続されていることを
特徴とする電磁雑音測定装置。
【請求項７】請求項６記載の電磁雑音測定装置におい
て、スイッチ回路はダイオードスイッチ回路であること
を特徴とする電磁雑音測定装置。
【請求項８】請求項６記載の電磁雑音測定装置におい
て、スイッチ回路は対応するマイクロストリップコイル
からの距離がほぼ等しくなるように配置されることを特
徴とする電磁雑音測定装置。