JPH0996748A - Supporting device for optical parts - Google Patents

Supporting device for optical parts

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Publication number
JPH0996748A
JPH0996748A JP25291095A JP25291095A JPH0996748A JP H0996748 A JPH0996748 A JP H0996748A JP 25291095 A JP25291095 A JP 25291095A JP 25291095 A JP25291095 A JP 25291095A JP H0996748 A JPH0996748 A JP H0996748A
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JP
Japan
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screw
shaft
adjusting screw
adjusting
optical component
Prior art date
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Application number
JP25291095A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Kakizaki
敦司 柿崎
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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Publication date
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Publication of JPH0996748A publication Critical patent/JPH0996748A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To miniaturize the supporting device of optical parts used for adjusting the direction of the optical parts with high resolution. SOLUTION: When an adjusting screw 32 rotates clockwise once, the screw 32 goes forward in a fixing plate 11 direction by 0.5mm equivalent to the pitch of a screw thread 321 on the outside surface. Since the rotation of a bearing screw 52 screwed to the screw 32 is restrained by a pin 54, the screw 52 goes backward with respect to the plate 11 direction by 0.45mm equivalent to the pitch of the screw thread 521 on the outside surface. Since the screws 32 and 52 are actually simultaneously operated, the screw 32 goes forward in the fixing plate 11 direction by 0.5mm-0.45mm=0.05mm per one rotation as a result.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光学部品の角度調整
等に使用される光学部品の支持装置に関し、特にキネマ
ティックマウント方式による光学部品の支持装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a supporting device for an optical component used for adjusting an angle of an optical component, and more particularly to a supporting device for an optical component by a kinematic mount system.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、レーザ変位計等の光学装置の内部
では、偏光子や反射鏡等の光学部品を使用することによ
り、光の偏光方位を変えたり反射させ、光軸の向きを変
えたりしている。これに使用される光学部品は、その位
置や角度を正確に調整して固定する必要がある。この光
学部品の位置や角度調整等を行う装置としては、キネマ
ティックマウント方式による支持装置がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, inside an optical device such as a laser displacement meter, by using optical parts such as a polarizer and a reflecting mirror, the polarization direction of light is changed or reflected to change the direction of the optical axis. are doing. The optical components used for this purpose need to be fixed by accurately adjusting their positions and angles. As a device for adjusting the position and angle of this optical component, there is a supporting device of a kinematic mount system.

【0003】図8は従来のキネマティックマウント方式
の支持装置の構成を示す分解斜視図である。支持装置8
0は、主に、光学部品81が固定される固定プレート8
2と、この固定プレート82を支持する支持台83とか
ら構成されている。光学部品81は、反射鏡等であり、
固定プレート82に接着剤等で固定される。
FIG. 8 is an exploded perspective view showing the structure of a conventional kinematic mount type supporting device. Support device 8
0 is mainly the fixing plate 8 to which the optical component 81 is fixed.
2 and a support base 83 that supports the fixed plate 82. The optical component 81 is a reflecting mirror or the like,
It is fixed to the fixing plate 82 with an adhesive or the like.

【0004】支持台83のネジ孔831,832には、
それぞれ調整ネジ841,842が螺合される。調整ネ
ジ841は、鋼球871を介して固定プレート82の平
坦部821に当接する。一方、調整ネジ842は、鋼球
872を介して、固定プレート82に形成されたV溝8
22に当接する。また、固定プレート82と支持台83
との間には、鋼球873が設けられる。鋼球873は、
固定プレート82のすり鉢状の穴823に嵌合する。
In the screw holes 831 and 832 of the support base 83,
Adjustment screws 841 and 842 are screwed together. The adjusting screw 841 contacts the flat portion 821 of the fixed plate 82 via the steel ball 871. On the other hand, the adjusting screw 842 is provided with the V-groove 8 formed in the fixing plate 82 via the steel ball 872.
Abut 22. Further, the fixed plate 82 and the support base 83
A steel ball 873 is provided between and. Steel ball 873 is
The fixing plate 82 is fitted into the mortar-shaped hole 823.

【0005】支持台83の孔833,834には、それ
ぞれバネ851,852が挿入され、さらにそのバネ8
51,852を介してネジ861,862が挿入され
る。孔833,834は、固定プレート82側の径が狭
くなっており、バネ851,852は、この狭くなった
部分に当接する。一方、ネジ861,862は、孔83
3,834を介して、固定プレート82のネジ孔82
4,825に螺合する。
Springs 851 and 852 are inserted into the holes 833 and 834 of the support base 83, respectively.
Screws 861 and 862 are inserted through 51 and 852. The holes 833 and 834 have a smaller diameter on the side of the fixed plate 82, and the springs 851 and 852 come into contact with the narrowed portions. On the other hand, the screws 861 and 862 have holes 83
3, 834 through the screw hole 82 of the fixing plate 82
It is screwed to 4,825.

【0006】こうして組み立てられた支持装置80は、
調整ネジ841を回転させることにより、鋼球873と
調整ネジ842の各中心を通る直線を軸として、固定プ
レート82が押し引きされ、結果的に固定プレート82
は鋼球873を中心に回動する。同様に、調整ネジ84
2を回転させることにより、鋼球873と調整ネジ84
1の各中心を通る直線を軸として、固定プレート82が
押し引きされ、結果的に固定プレート82は鋼球873
を中心に回動する。このように、2個の調整ネジ84
1,842によって、光学部品81の向きを調整でき、
その状態で固定することができる。
The supporting device 80 thus assembled is
By rotating the adjusting screw 841, the fixed plate 82 is pushed and pulled about a straight line passing through the centers of the steel ball 873 and the adjusting screw 842, and as a result, the fixed plate 82 is pushed.
Rotates around a steel ball 873. Similarly, adjusting screw 84
By rotating 2, the steel ball 873 and the adjusting screw 84
The fixed plate 82 is pushed and pulled around a straight line passing through each center of the No. 1 as a result, and as a result, the fixed plate 82 becomes a steel ball 873.
Around the center. In this way, two adjustment screws 84
1,842 can adjust the direction of the optical component 81,
It can be fixed in that state.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなキ
ネマティックマウント方式の構造では、鋼球873を回
転軸としているので、この鋼球873と各調整ネジ84
1,842との距離が、調整ネジ841,842のピッ
チとともに支持装置81の分解能を決定する。したがっ
て、支持装置81の小型化を図って、鋼球873と各調
整ネジ841,842との距離を小さくすると、支持装
置81の分解能が悪くなる。これを補うため調整ネジ8
41,842のピッチを小さくしようとしても、微細化
には限界がある。このため、従来の構造では、小型で高
分解能の支持装置を実現することが困難であった。
However, in such a kinematic mount type structure, since the steel ball 873 is used as the rotating shaft, the steel ball 873 and each adjusting screw 84 are used.
The distance from 1, 842 determines the resolution of the support device 81 together with the pitch of the adjusting screws 841, 842. Therefore, if the distance between the steel ball 873 and each of the adjusting screws 841 and 842 is reduced by downsizing the supporting device 81, the resolution of the supporting device 81 becomes poor. Adjustment screw 8 to compensate for this
Even if an attempt is made to reduce the pitch of 41 and 842, there is a limit to miniaturization. Therefore, with the conventional structure, it is difficult to realize a small-sized high-resolution support device.

【0008】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、小型で高分解能の支持装置を実現することが
できる光学部品の支持装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a supporting device for an optical component, which can realize a small-sized supporting device with high resolution.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、光学部品の向きの調整に使用される光学
部品の支持装置において、前記光学部品が固定される固
定部材と、前記固定部材を支持する支持部材と、前記支
持部材に対して前記固定部材を特定の支点で軸支する軸
支機構部と、前記支点を通る少なくとも1本の軸に対す
る前記固定部材の回転方向を調整する差動型調整ネジ機
構部と、を有することを特徴とする光学部品の支持装置
が提供される。
According to the present invention, in order to solve the above problems, in a supporting device for an optical component used for adjusting the orientation of an optical component, a fixing member to which the optical component is fixed, and the fixing member. A support member that supports the member, a shaft support mechanism portion that supports the fixed member with respect to the support member at a specific fulcrum, and a rotation direction of the fixed member with respect to at least one shaft that passes through the fulcrum. A differential type adjustment screw mechanism section is provided, and a supporting device for an optical component is provided.

【0010】このような光学部品の支持装置では、光学
部品が固定される固定部材を支持部材によって支持し、
差動型調整ネジ機構部を調整することにより、特定の支
点を通る少なくとも1本の軸に対する固定部材の回転方
向を、調整することができる。ここで、差動型調整ネジ
は、同心上にピッチの異なるネジを互いに螺合させたも
のであり、両者のピッチ差分の微細な送りが可能であ
る。よって、支点と差動調整ネジとの距離を短くして
も、固定部材の角度調整の分解能を高くでき、微小光学
部品に適合した小型の支持装置を実現することができ
る。
In such an optical component supporting device, the fixing member to which the optical component is fixed is supported by the supporting member,
By adjusting the differential type adjusting screw mechanism portion, it is possible to adjust the rotation direction of the fixing member with respect to at least one shaft passing through a specific fulcrum. Here, the differential type adjusting screw is formed by concentrically screwing screws having different pitches to each other, and it is possible to perform fine feed of the pitch difference between the two. Therefore, even if the distance between the fulcrum and the differential adjustment screw is shortened, the resolution of the angle adjustment of the fixing member can be increased, and a small-sized supporting device suitable for a micro optical component can be realized.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一形態を図面に基
づいて説明する。図2は本形態の光学部品の支持装置の
外観を示す固定プレート側から見た斜視図である。ま
た、図3は支持装置の外観を示す支持台側から見た斜視
図である。さらに、図4は支持装置の支持台側から見た
正面図である。本形態の支持装置10は、主に、光学部
品13が固定される固定プレート11と、この固定プレ
ート11を支持する支持台12とから構成されている。
光学部品13は、反射鏡等であり、固定プレート11に
接着剤等で固定される。固定プレート11は、高強度の
ジュラルミンで形成されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a perspective view showing an appearance of a supporting device for an optical component of the present embodiment, as seen from the side of a fixed plate. Further, FIG. 3 is a perspective view showing an appearance of the supporting device as viewed from the supporting base side. Further, FIG. 4 is a front view as seen from the support base side of the support device. The support device 10 of the present embodiment mainly includes a fixed plate 11 to which the optical component 13 is fixed, and a support base 12 that supports the fixed plate 11.
The optical component 13 is a reflecting mirror or the like and is fixed to the fixing plate 11 with an adhesive or the like. The fixed plate 11 is made of high-strength duralumin.

【0012】支持台12は、その取り付け片120がネ
ジ止めされることにより、光学装置の内部に固定され
る。この支持台12は、固定プレート11と同様に高強
度のジュラルミンで形成されている。
The support base 12 is fixed to the inside of the optical device by screwing the mounting piece 120 thereof. The support 12 is made of high-strength duralumin like the fixed plate 11.

【0013】支持台12には、図3および図4に示すよ
うに、ネジ21および22が取り付けられている。ま
た、支持台12には、差動型の調整ネジ31および32
が設けられている。調整ネジ31および32には、それ
ぞれ穴31a、32aが複数個ずつ形成されており、細
い棒状の部材を挿入して調整ネジ31および32を回す
ことができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, screws 21 and 22 are attached to the support base 12. Further, the support base 12 has a differential type adjusting screws 31 and 32.
Is provided. A plurality of holes 31a and 32a are formed in the adjusting screws 31 and 32, respectively, and the adjusting screws 31 and 32 can be turned by inserting a thin rod-shaped member.

【0014】図5は支持装置10の具体的な構成を示す
分解斜視図である。支持台12の対角線上に形成された
2個のネジ孔121,122には、それぞれステンレス
製の調整ネジ31,32が螺合される。調整ネジ31,
32は、それぞれ軸の外側面にネジ山311,321
が、軸内側に後述のネジ穴が形成されている。ここで、
ネジ山311,321は、右ネジであり、例えばその直
径はそれぞれ4mm、ピッチはそれぞれ0.5mmであ
る。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a specific structure of the supporting device 10. Adjustment screws 31, 32 made of stainless steel are screwed into the two screw holes 121, 122 formed on the diagonal of the support base 12, respectively. Adjusting screw 31,
32 are screw threads 311 and 321 on the outer surface of the shaft, respectively.
However, a screw hole described below is formed inside the shaft. here,
The threads 311 and 321 are right-hand threads, for example, each having a diameter of 4 mm and a pitch of 0.5 mm.

【0015】調整ネジ31,32の軸内側のネジ孔に
は、それぞれステンレス製の受けネジ51,52の軸が
螺合される。受けネジ51,52の各軸の外側面には、
ネジ山511,521が形成されている。ネジ山51
1,521は、右ネジであり、その直径は例えばそれぞ
れ2.5mm、ピッチはそれぞれ0.45mmである。
また、受けネジ51,52の頭部には切り欠き51a,
52aが形成されており、支持台12に固着されたピン
53,54が嵌合する。このピン53,54によって、
受けネジ51,52は回転が拘束され、軸方向のみに移
動可能になっている。
The shafts of stainless steel receiving screws 51 and 52 are screwed into the screw holes inside the adjusting screws 31 and 32, respectively. On the outer surface of each shaft of the receiving screws 51, 52,
Threads 511, 521 are formed. Screw thread 51
Reference numerals 1 and 521 are right-handed screws each having a diameter of 2.5 mm and a pitch of 0.45 mm.
Further, the heads of the receiving screws 51, 52 have notches 51a,
52a is formed, and the pins 53 and 54 fixed to the support base 12 are fitted therein. With these pins 53 and 54,
Rotation of the receiving screws 51 and 52 is restricted, and the receiving screws 51 and 52 are movable only in the axial direction.

【0016】調整ネジ31,32の頭部には、軸内側の
ネジ孔と連通するネジ孔312,322が形成されてい
る。この孔312,322には、固定プレート11の向
きの調整後に、鋼35,36を介して止めネジ33,3
4が締められる。
Screw holes 312 and 322, which communicate with the screw holes inside the shaft, are formed in the heads of the adjusting screws 31 and 32. After adjusting the orientation of the fixed plate 11, the set screws 33, 3 are inserted into the holes 312, 322 through the steels 35, 36.
4 is tightened.

【0017】支持台12に形成された孔123,124
には、それぞれバネ23,24が挿入され、さらにその
バネ23,24を介してネジ21,22が挿入される。
孔123,124は、固定プレート11側の径が狭くな
っており、バネ23,24は、この狭くなった部分に当
接する。一方、ネジ21,22は、孔123,124を
介して、固定プレート11のネジ孔112,113に螺
合する。
Holes 123 and 124 formed in the support base 12
The springs 23 and 24 are respectively inserted into the springs, and the screws 21 and 22 are further inserted through the springs 23 and 24.
The diameters of the holes 123 and 124 on the side of the fixed plate 11 are narrowed, and the springs 23 and 24 contact the narrowed portions. On the other hand, the screws 21 and 22 are screwed into the screw holes 112 and 113 of the fixed plate 11 through the holes 123 and 124.

【0018】固定プレート11の支持台12側の面に
は、その1角に穴111が形成されている。また、ネジ
孔123,124と対向する位置には、穴114,11
5が形成されている。さらに、穴111と穴114との
中間位置にはネジ孔112が、穴112と穴115との
中間位置にはネジ孔113が形成されている。ここで、
穴111の中心と穴114の中心とを結ぶ線は、穴11
1の中心と穴115の中心とを結ぶ線と互いにほぼ直角
になるように形成されている。
A hole 111 is formed in one corner of the surface of the fixed plate 11 on the support base 12 side. Further, holes 114, 11 are provided at positions facing the screw holes 123, 124.
5 are formed. Further, a screw hole 112 is formed at an intermediate position between the holes 111 and 114, and a screw hole 113 is formed at an intermediate position between the holes 112 and 115. here,
The line connecting the centers of the holes 111 and 114 is the hole 11
It is formed so as to be substantially perpendicular to the line connecting the center of 1 and the center of the hole 115.

【0019】穴111は、すり鉢状に形成されており、
鋼球41が嵌合する。穴114は底が平らに形成されて
おり、その底に鋼球42が当接する。穴115内にはV
溝が形成されている。このV溝には、鋼球43が嵌合す
る。こうして、固定プレート11は、鋼球41,42,
43を介して支持台12に取り付けられる。このとき、
受けネジ51の頭部には、鋼球42が嵌合する。一方、
受けネジ52の頭部には、鋼球43が嵌合する。
The hole 111 is formed in a mortar shape,
The steel ball 41 is fitted. The hole 114 has a flat bottom, and the steel ball 42 abuts on the bottom. V in hole 115
A groove is formed. A steel ball 43 is fitted in this V groove. In this way, the fixed plate 11 includes the steel balls 41, 42,
It is attached to the support base 12 via 43. At this time,
The steel ball 42 is fitted to the head of the receiving screw 51. on the other hand,
A steel ball 43 is fitted on the head of the receiving screw 52.

【0020】図1は組み立て後の支持装置10の構成を
示す側面から見た一部断面図である。図に示すように、
ネジ22は、バネ24の弾性力に抗して固定プレート1
1に螺合している。これにより、固定プレート11は、
ネジ22によって支持台12側に引きつけられている。
また同様に、図5で示したネジ21によっても固定プレ
ート11は支持台12側に引きつけられている。固定プ
レート11は、これらネジ21,22による引きつけ力
を、3個の鋼球41,42,43との接触点で受けてい
る。また、この固定プレート11を引きつける力は、ネ
ジ21,22の締め具合で調節され、本形態では、例え
ば0.4kgに設定されている。なお、固定プレート1
1は、穴115のV溝形状によって横ずれが防止されて
いる。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of the structure of the supporting device 10 after assembly as seen from the side. As shown in the figure,
The screw 22 resists the elastic force of the spring 24 and fixes the fixed plate 1
It is screwed to 1. As a result, the fixed plate 11 is
It is attracted to the support base 12 side by the screw 22.
Similarly, the fixing plate 11 is also pulled toward the support base 12 by the screw 21 shown in FIG. The fixed plate 11 receives the attraction force of these screws 21, 22 at the contact points with the three steel balls 41, 42, 43. Further, the force of pulling the fixing plate 11 is adjusted by the tightening degree of the screws 21 and 22, and is set to, for example, 0.4 kg in this embodiment. The fixed plate 1
In No. 1, lateral displacement is prevented by the V groove shape of the hole 115.

【0021】次に、このような構成の支持装置10にお
ける固定プレート11の向きの調整作業について説明す
る。まず、例えば図1に示す調整ネジ32の穴31bに
細い棒状の部材を挿入するなどして、時計回りに1回転
させると、調整ネジ32は、その外側面のネジ山321
のピッチ分0.5mmだけ固定プレート11方向に前進
する。一方、調整ネジ32に螺合された受けネジ52
も、調整ネジ32のネジ孔323との摩擦によって調整
ネジ32と同方向に回ろうとするが、ピン54によって
その回転が拘束されているため、調整ネジ32とは逆
に、その外側面のネジ山521のピッチ分0.45mm
だけ固定プレート11方向に対して後退する。
Next, the operation of adjusting the direction of the fixed plate 11 in the supporting device 10 having such a structure will be described. First, for example, when a thin rod-shaped member is inserted into the hole 31b of the adjustment screw 32 shown in FIG. 1 and rotated once clockwise, the adjustment screw 32 has the thread 321 on the outer surface thereof.
The pitch is moved by 0.5 mm toward the fixed plate 11. On the other hand, a receiving screw 52 screwed into the adjusting screw 32
Also tries to rotate in the same direction as the adjusting screw 32 due to friction with the screw hole 323 of the adjusting screw 32, but since the rotation is restricted by the pin 54, the screw on the outer surface thereof is opposite to the adjusting screw 32. 0.45 mm pitch for mountain 521
Only the fixed plate 11 moves backward with respect to the direction.

【0022】これら調整ネジ32および受けネジ52
は、実際には同時に動作するため、結果的に1回転につ
き、調整ネジ32は0.5mm−0.45mm=0.0
5mmだけ固定プレート11方向に前進する。これによ
って、固定プレート11は、鋼球41の中心と図5で示
した鋼球42の中心とを結ぶ直線を中心に回動し、この
方向への光学部品13の向きが調整される。
These adjusting screw 32 and receiving screw 52
Actually operate simultaneously, so that the adjustment screw 32 is 0.5 mm-0.45 mm = 0.00 per rotation.
Move forward in the direction of the fixed plate 11 by 5 mm. As a result, the fixed plate 11 rotates about a straight line connecting the center of the steel ball 41 and the center of the steel ball 42 shown in FIG. 5, and the orientation of the optical component 13 in this direction is adjusted.

【0023】ここで、支点となる鋼球41の中心と、調
整ネジ32に押されて作用点となる鋼球43の中心との
間隔を10mmとすると、鋼球43が穴115との接触
部分で滑るため、固定プレート11のあおり角θは単純
に、 θ=tan-1(0.05/10)=0.29° となる。これは、鋼球41の中心と鋼球43の中心との
間隔が100mmでピッチが0.5mmのネジを使用し
た支持装置と同性能である。よって、高分解能を得られ
ながらもかなりの小型化が可能なことが示されている。
Here, assuming that the distance between the center of the steel ball 41 serving as a fulcrum and the center of the steel ball 43 serving as a point of action pressed by the adjusting screw 32 is 10 mm, the portion where the steel ball 43 contacts the hole 115. Therefore, the tilt angle θ of the fixed plate 11 is simply θ = tan −1 (0.05 / 10) = 0.29 °. This is the same performance as a supporting device using a screw having a distance between the center of the steel ball 41 and the center of the steel ball 43 of 100 mm and a pitch of 0.5 mm. Therefore, it has been shown that a high resolution can be obtained while the size can be considerably reduced.

【0024】この調整ネジ32と同様に、調整ネジ31
を回すことにより、固定プレート11は、鋼球41の中
心と鋼球43の中心とを結ぶ直線を中心に回動し、この
方向への光学部品13の向きが調整される。
Like the adjusting screw 32, the adjusting screw 31
By rotating, the fixed plate 11 rotates about a straight line connecting the center of the steel ball 41 and the center of the steel ball 43, and the orientation of the optical component 13 in this direction is adjusted.

【0025】こうして、調整が終了すると、調整ネジ3
1,32の各孔312,322に、それぞれ止めネジ3
3,34をねじ込み、受けネジ51,52を押すように
して締めつける。これにより、止めネジ33,34は受
けネジ51,52に対してダブルナットの役目を果たす
ため、受けネジ51,52が調整ネジ31,32に対し
て容易に緩むことはない。なお、このとき、止めネジ3
3と受けネジ51との間、止めネジ34と受けネジ52
との間には、それぞれ鋼球35,36を挿入させること
により、止めネジ33,34の締め付けによる受けネジ
51,52への悪影響を防止することができる。
When the adjustment is completed in this way, the adjusting screw 3
Set screws 3 are provided in the holes 312 and 322 of 1 and 32, respectively.
3 and 34 are screwed in, and the receiving screws 51 and 52 are pushed and tightened. As a result, the set screws 33 and 34 serve as double nuts for the receiving screws 51 and 52, so that the receiving screws 51 and 52 do not easily loosen with respect to the adjusting screws 31 and 32. At this time, the set screw 3
3 and the receiving screw 51, the set screw 34 and the receiving screw 52
By inserting the steel balls 35 and 36 between and, it is possible to prevent the receiving screws 51 and 52 from being adversely affected by the tightening of the set screws 33 and 34.

【0026】なお、本形態では、固定プレート11の面
が垂直な状態になるように支持装置10を固定する例を
示したが、固定プレート11の面が水平な状態での使用
も当然可能である。
In this embodiment, an example in which the support device 10 is fixed so that the surface of the fixed plate 11 is vertical has been shown, but it is naturally possible to use it when the surface of the fixed plate 11 is horizontal. is there.

【0027】また、本形態では、調整ネジ31,32の
ネジ山311,321のピッチを受けネジ51,52の
ネジ山511,521のピッチよりも大きくしたが、こ
れを逆の関係にしてもよい。ただし、この場合には、調
整ネジ31,32の回転方向に対する固定プレート11
の移動方向は、上記の例とは逆になる。
Further, in the present embodiment, the pitch of the screw threads 311 and 321 of the adjusting screws 31 and 32 is set to be larger than the pitch of the screw threads 511 and 521 of the screws 51 and 52, but this may be reversed. Good. However, in this case, the fixing plate 11 with respect to the rotation direction of the adjusting screws 31 and 32.
The moving direction of is opposite to the above example.

【0028】さらに、本形態では、調整ネジ31,32
を支持台12に螺合するようにしたが、固定プレート1
1に螺合するようにしてもよい。この場合には、受けネ
ジ51,52の頭部は、支持台12側に当接させる。
Further, in the present embodiment, the adjusting screws 31, 32 are
The support plate 12 is screwed to the fixed plate 1
It may be screwed into 1. In this case, the heads of the receiving screws 51 and 52 are brought into contact with the support base 12 side.

【0029】さらにまた、本形態では、直方体形状の光
学部品13を固定する例を示したが、固定プレート11
の形状や固定方法を変えることにより、円筒形のファイ
バコリメータやセルフォックレンズ、円盤形状の凹凸レ
ンズなども固定し、その向きの調整を行うことが可能で
ある。
Furthermore, in this embodiment, an example in which the rectangular parallelepiped optical component 13 is fixed is shown. However, the fixing plate 11
By changing the shape or the fixing method, it is possible to fix a cylindrical fiber collimator, a SELFOC lens, a disc-shaped concavo-convex lens, etc. and adjust the direction thereof.

【0030】図6は本発明の他の形態の支持装置の外観
を示す固定プレート側から見た斜視図である。また、図
7は他の形態の支持装置の外観を示す支持台側から見た
斜視図である。支持装置60は、支持装置10と同様
に、主に固定プレート61および支持台62から構成さ
れている。支持台62は、その取り付け片620がネジ
止めされることにより、光学装置内に固定される。一
方、固定プレート61は、ネジ621,622によって
支持台62側に取り付けられており、差動型の調整ネジ
623,624によってその向きが調整される。ネジ6
21,622、調整ネジ623,624、およびその他
の調整機構については、前述の支持装置10とほぼ同じ
なので、ここでは説明を省略する。
FIG. 6 is a perspective view showing the appearance of a supporting device according to another embodiment of the present invention, as seen from the side of the fixed plate. Further, FIG. 7 is a perspective view showing an appearance of a supporting device of another form, as viewed from the supporting base side. Like the supporting device 10, the supporting device 60 mainly includes a fixed plate 61 and a supporting base 62. The support base 62 is fixed in the optical device by screwing the attachment piece 620. On the other hand, the fixed plate 61 is attached to the support base 62 side by screws 621 and 622, and the orientation thereof is adjusted by differential type adjustment screws 623 and 624. Screw 6
21, 622, the adjusting screws 623, 624, and other adjusting mechanisms are almost the same as those of the supporting device 10 described above, and thus the description thereof is omitted here.

【0031】本形態の支持装置60の固定プレート61
には、その中心部分に図示されていない孔が形成されて
いる。この孔には、光ファイバ70が挿入される。光フ
ァイバ70は、固定ブロック71によって固定されてい
る。このとき、光ファイバ70の端面70aは、固定プ
レート61の面と平行になるように設定されている。一
方、支持台61にも、その中心部分に孔625が形成さ
れている。この孔625には、光ファイバ70が挿入さ
れる。
The fixing plate 61 of the supporting device 60 of this embodiment
Has a hole (not shown) formed in the center thereof. The optical fiber 70 is inserted into this hole. The optical fiber 70 is fixed by a fixed block 71. At this time, the end surface 70a of the optical fiber 70 is set to be parallel to the surface of the fixed plate 61. On the other hand, the support pedestal 61 also has a hole 625 formed in the center thereof. The optical fiber 70 is inserted into the hole 625.

【0032】このように支持装置60に光ファイバ70
を固定した状態で、調整ネジ623,624によって固
定プレート61の向きを調整することにより、光ファイ
バ70の端面70aの向きも調整できる。
In this way, the supporting device 60 is connected to the optical fiber 70.
By fixing the direction of the fixing plate 61 with the adjusting screws 623 and 624 in the state in which is fixed, the direction of the end face 70a of the optical fiber 70 can also be adjusted.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したように本発明では、特定の
支点を通る少なくとも1本の軸に対する固定部材の回転
方向を、差動型調整ネジ機構部によって調整するように
したので、微細な送りが可能になる。よって、固定部材
の角度調整の分解能を高くでき、微小光学部品に適合し
た小型の支持装置を実現することができる。
As described above, in the present invention, the rotation direction of the fixing member with respect to at least one shaft passing through the specific fulcrum is adjusted by the differential type adjusting screw mechanism portion, so that the fine feed can be performed. Will be possible. Therefore, the resolution of the angle adjustment of the fixing member can be increased, and a small-sized supporting device suitable for a micro optical component can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】組み立て後の支持装置の構成を示す側面から見
た一部断面図である。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a configuration of a support device after assembly as seen from a side surface.

【図2】支持装置の外観を示す固定プレート側から見た
斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an appearance of a supporting device as seen from a fixed plate side.

【図3】支持装置の外観を示す支持台側から見た斜視図
である。
FIG. 3 is a perspective view showing an appearance of a supporting device as viewed from a supporting base side.

【図4】支持装置の支持台側から見た正面図である。FIG. 4 is a front view of the supporting device as viewed from the support base side.

【図5】支持装置の具体的な構成を示す分解斜視図であ
る。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a specific configuration of a supporting device.

【図6】本発明の他の形態の支持装置の外観を示す固定
プレート側から見た斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing an appearance of a supporting device according to another embodiment of the present invention, as viewed from the side of a fixed plate.

【図7】他の形態の支持装置の外観を示す支持台側から
見た斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing the outer appearance of a support device of another embodiment, as viewed from the support base side.

【図8】従来のキネマティックマウント方式の支持装置
の構成を示す分解斜視図である。
FIG. 8 is an exploded perspective view showing a configuration of a conventional kinematic mount type supporting device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 支持装置 11 固定プレート 12 支持台 13 光学部品 21,22 ネジ 23,24 バネ 31,32 調整ネジ 33,34 止めネジ 41,42,43 鋼球 51,52 受けネジ 10 Support Device 11 Fixing Plate 12 Support Base 13 Optical Components 21,22 Screw 23,24 Spring 31,32 Adjusting Screw 33,34 Set Screw 41,42,43 Steel Ball 51,52 Receiving Screw

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光学部品の向きの調整に使用される光学
部品の支持装置において、 前記光学部品が固定される固定部材と、 前記固定部材を支持する支持部材と、 前記支持部材に対して前記固定部材を特定の支点で軸支
する軸支機構部と、 前記支点を通る少なくとも1本の軸に対する前記固定部
材の回転方向を調整する差動型調整ネジ機構部と、 を有することを特徴とする光学部品の支持装置。
1. A device for supporting an optical component used for adjusting the orientation of an optical component, comprising: a fixing member to which the optical component is fixed; a supporting member supporting the fixing member; And a differential type adjusting screw mechanism section for adjusting the rotation direction of the fixing member with respect to at least one shaft passing through the fulcrum. Supporting device for optical components.
【請求項2】 前記支点を通る互いに直角な2本の軸に
対する前記固定部材の回転方向をそれぞれ調整するよう
に2つの前記差動型調整ネジ機構を有することを特徴と
する請求項1記載の光学部品の支持装置。
2. The two differential type adjusting screw mechanisms are provided so as to respectively adjust the rotation directions of the fixing member with respect to two mutually orthogonal axes passing through the fulcrum. Supporting device for optical components.
【請求項3】 前記差動型調整ネジ機構部は、軸の外側
面のネジ山が前記支持部材のネジ孔に螺合する調整ネジ
と、前記調整ネジの外側面のネジ山のピッチと異なる大
きさのピッチのネジ山が軸の外側面に形成され、かつ前
記ネジ山が前記調整ネジの軸内側に形成されたネジ穴に
回転が拘束された状態で螺合するとともに、頭部が前記
固定部材に当接する受けネジと、を有することを特徴と
する請求項1記載の光学部品の支持装置。
3. The differential type adjusting screw mechanism portion has an adjusting screw in which a screw thread on an outer surface of a shaft is screwed into a screw hole of the supporting member, and a pitch of a screw thread on an outer surface of the adjusting screw is different. A thread having a pitch of a size is formed on the outer surface of the shaft, and the thread is screwed into a screw hole formed on the inner side of the shaft of the adjusting screw in a state in which the rotation is restricted, and the head is The support device for an optical component according to claim 1, further comprising a receiving screw that abuts against the fixing member.
【請求項4】 前記差動型調整ネジ機構部は、軸の外側
面のネジ山が前記固定部材のネジ孔に螺合する調整ネジ
と、前記調整ネジの外側面のネジ山のピッチと異なる大
きさのピッチのネジ山が軸の外側面に形成され、かつ前
記ネジ山が前記調整ネジの軸内側に形成されたネジ穴に
螺合するとともに、頭部が前記支持部材に当接する受け
ネジと、を有することを特徴とする請求項1記載の光学
部品の支持装置。
4. The differential type adjusting screw mechanism portion has an adjusting screw in which a screw thread on an outer surface of a shaft is screwed into a screw hole of the fixing member and a pitch of a screw thread on an outer surface of the adjusting screw. A receiving screw in which a screw thread having a pitch of a size is formed on the outer surface of the shaft, the screw thread is screwed into a screw hole formed on the inner side of the shaft of the adjusting screw, and the head is in contact with the supporting member. The support device for an optical component according to claim 1, further comprising:
【請求項5】 前記調整ネジの頭部側には、前記軸内側
に形成されたネジ穴に連通する頭部ネジ孔が形成され、
前記頭部ネジ孔には前記受けネジの軸と当接するように
止めネジがねじ込み可能であることを特徴とする請求項
3記載の光学部品の支持装置。
5. A head screw hole communicating with a screw hole formed inside the shaft is formed on a head side of the adjusting screw,
4. A supporting device for an optical component according to claim 3, wherein a set screw can be screwed into the head screw hole so as to come into contact with the shaft of the receiving screw.
【請求項6】 前記調整ネジの頭部には、棒状部材を挿
入して回転することのできる棒状部材用穴が形成されて
いることを特徴とする請求項3記載の光学部品の支持装
置。
6. The support device for an optical component according to claim 3, wherein a hole for a rod-shaped member, into which the rod-shaped member can be inserted and rotated, is formed in the head of the adjusting screw.
【請求項7】 前記軸支機構部は、前記固定部材および
支持部材との間に設けられかつ前記固定部材の一角に形
成された孔に嵌合する軸支部材と、前記軸支部材の中心
と前記差動型調整ネジ機構の軸芯との間に設けられ、バ
ネとの組み合わせによって前記固定部材を前記支持部材
側に引きつける引きつけ用ネジと、を有することを特徴
とする請求項1記載の光学部品の支持装置。
7. The shaft support mechanism is provided between the fixing member and the support member and fits into a hole formed at one corner of the fixing member, and a center of the shaft supporting member. 2. An attracting screw that is provided between the differential type adjusting screw mechanism and a shaft core of the differential type adjusting screw mechanism and that attracts the fixing member to the supporting member side in combination with a spring. Supporting device for optical components.
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Cited By (6)

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IT201700101031A1 (en) * 2017-09-08 2019-03-08 Clay Paky Spa DEVICE AND METHOD OF ADJUSTING THE POSITION OF AN OPTICAL GROUP COMPARED TO AT LEAST A LIGHT SOURCE AND / OR TO A LUMINOUS BAND AND HEADLAMP, PREFERABLY FROM STAGE, INCLUDING THE DEVICE

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