JPH0995627A - Coating agent for forming metallic oxide thin film - Google Patents

Coating agent for forming metallic oxide thin film

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JPH0995627A
JPH0995627A JP7276389A JP27638995A JPH0995627A JP H0995627 A JPH0995627 A JP H0995627A JP 7276389 A JP7276389 A JP 7276389A JP 27638995 A JP27638995 A JP 27638995A JP H0995627 A JPH0995627 A JP H0995627A
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JP
Japan
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thin film
coating agent
oxide thin
solvent
organic acid
Prior art date
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Application number
JP7276389A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuki Takatani
和樹 高谷
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Shinto Paint Co Ltd
Original Assignee
Shinto Paint Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0995627A publication Critical patent/JPH0995627A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the subject coating agent, comprising a polyhydric alcohol derivative of acetic acid as a solvent, capable of being readily coated, having practically desirable transparency and film thickness as a plasma display panel and forming a metallic oxide thin film according to a coating and thermal decomposition method. SOLUTION: This coating agent for forming a metallic oxide thin film comprises (A) a metallic salt of an alkaline earth metal and/or a rare earth metal with an organic acid, (B) a polyhydric alcohol derivative of acetic acid as a solvent (e.g. ethylene glycol monomethyl ether acetate) and (C) an additive comprising an organic substance. Furthermore, a metallic salt of Mg, Ba or Sr alone or a mixture of two or more thereof with the organic acid is preferably used with one or more metallic salts of Ca or a rare earth metal with the organic acids in combination as the component (A).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラープラズマディス
プレイパネルの透明な誘電体保護膜を、塗布熱分解法に
より形成するための、金属酸化物薄膜形成用コーティン
グ剤(以下、コーティング剤)に関するものである。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a coating agent for forming a metal oxide thin film (hereinafter referred to as a coating agent) for forming a transparent dielectric protective film of a color plasma display panel by a coating pyrolysis method. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、AC型のプラズマディスプレ
イパネル(以下、PDP)において、放電電極の保護、
及び放電開始電圧及び放電維持電圧を低減のため、アル
カリ土類金属酸化物からなる誘電体保護膜で電極を覆う
ことが行われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an AC type plasma display panel (hereinafter referred to as PDP), protection of discharge electrodes,
In order to reduce the discharge start voltage and the discharge sustaining voltage, the electrodes are covered with a dielectric protective film made of an alkaline earth metal oxide.

【0003】フルカラーAC型面放電反射型PDPの誘
電体保護膜は前面ガラスに形成されるため、特に透明性
と電気特性の優れたなものが必要である。そのためその
保護膜は蒸着法で形成されているが、高価で複雑な設備
が必要であり、さらに生産性が悪いため経済的な問題が
ある。
Since the dielectric protective film of the full-color AC type surface discharge reflection type PDP is formed on the front glass, it is necessary to have particularly excellent transparency and electric characteristics. Therefore, the protective film is formed by the vapor deposition method, but it is expensive and requires complicated equipment, and the productivity is poor, so that there is an economical problem.

【0004】そのため高価で複雑な装置の必要がなく、
しかも簡単な工程で誘電体保護膜を形成できる方法とし
て塗布熱分解法があり、具体例としては例えば有機溶剤
に可溶なアルカリ土類金属化合物を含有する、透明皮膜
形成用ペースト(特開昭58−135155号公報)、
アルカリ土類金属含有有機化合物を誘電体に塗布熱分解
して金属酸化物から成る保護層を形成する、誘電体保護
層の形成方法(特開平6−162920号公報)、誘電
体層にMgなどの金属アルコキシドを塗布熱分解し、金
属酸化物保護膜を被覆したPDP(特開平6−2203
72号公報)、アルカリ金属酸化物粒子と、Al,S
i、Ti、Zrなど金属有機化合物からなる誘電体保護
剤(特開平6−316671号公報)、AC型PDPの
陰極及び誘電体層を金属酸化物保護膜で被覆するように
したPDP(特開平7−14516号公報)など多数が
提案されている。
Therefore, there is no need for expensive and complicated equipment,
Moreover, there is a coating pyrolysis method as a method of forming a dielectric protective film in a simple process, and a specific example is a paste for forming a transparent film containing an alkaline earth metal compound soluble in an organic solvent (Japanese Patent Laid-Open No. SHO11-96, 58-135155),
A method for forming a dielectric protective layer (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 6-162920), in which an organic compound containing an alkaline earth metal is applied to a dielectric and pyrolyzed to form a protective layer made of a metal oxide, and Mg or the like is applied to the dielectric layer. PDP coated with a metal alkoxide and thermally decomposed to cover a metal oxide protective film (Japanese Patent Laid-Open No. 6-2203).
72), alkali metal oxide particles, Al, S
A dielectric protective agent composed of a metal organic compound such as i, Ti, and Zr (JP-A-6-31667), a cathode of an AC type PDP, and a PDP in which a dielectric layer is covered with a metal oxide protective film (JP-A-6-31970). 7-14516) has been proposed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来技術において、アルカリ土類金属の有機酸金属塩、
或いは金属アルコキシドを誘電体保護膜前駆体に用いた
場合、金属酸化物薄膜を形成することが可能であるが、
形成された均一で透明な膜の膜厚は0.3μm以下であ
り、その膜は誘電体との付着性が悪い。また膜厚を0.
3μm以上にすると不均一で不透明な膜を形成するため
実用上問題がある。
However, in the above-mentioned prior art, organic acid metal salt of alkaline earth metal,
Alternatively, when a metal alkoxide is used as a dielectric protective film precursor, it is possible to form a metal oxide thin film,
The thickness of the formed uniform and transparent film is 0.3 μm or less, and the film has poor adhesion to the dielectric. Moreover, the film thickness is set to 0.
When the thickness is 3 μm or more, a non-uniform and opaque film is formed, which is a practical problem.

【0006】本発明の目的は、塗布熱分解法により、金
属酸化物薄膜を誘電体に形成する、有機金属酸金属塩
と、それを溶解する溶剤及び有機物からなる添加剤とを
含有するコーティング剤において、塗布し易く、PDP
のパネル特性として、実用上望ましい透明性と膜厚を有
する、誘電体保護膜を形成できるコーティング剤を提供
することにある。
An object of the present invention is to provide a coating agent containing a metal salt of an organometallic acid which forms a metal oxide thin film on a dielectric by a coating pyrolysis method, and a solvent which dissolves it and an additive consisting of an organic substance. Is easy to apply in PDP
It is an object of the present invention to provide a coating agent capable of forming a dielectric protective film, which has transparency and a film thickness which are practically desirable as the panel characteristics.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は目的を達成する
ため、アルカリ土類金属及び又は稀土類金属の有機酸塩
を溶解する溶剤として、多価アルコール酢酸誘導体を他
の溶剤と共に用いたとき、スクリーン印刷、スピンコー
ト、ディッピング、或いはスプレイなどの方法で塗布し
易く、塗布乾燥後、350〜600℃で焼成することに
より、PDPのパネル特性として、実用上望ましい透明
性と膜厚を有する、誘電体保護膜を形成できることを見
いだしたものである。
In order to achieve the object of the present invention, when a polyhydric alcohol acetic acid derivative is used together with another solvent as a solvent for dissolving an organic acid salt of an alkaline earth metal and / or a rare earth metal, It is easy to apply by a method such as screen printing, spin coating, dipping, or spraying, and has a transparency and a film thickness that are practically desirable as panel properties of PDP by coating and drying and baking at 350 to 600 ° C. They have found that a dielectric protective film can be formed.

【0008】すなわち本発明は、アルカリ土類金属、及
び又は稀土類金属の有機酸金属塩、溶剤及び有機物から
なる添加剤を含有する金属酸化物薄膜形成用コーティン
グ剤であって、溶剤として多価アルコール酢酸誘導体を
含有することを特徴とする塗布熱分解法により金属酸化
物薄膜を形成する金属酸化物薄膜形成用コーティング剤
である。
That is, the present invention is a coating agent for forming a metal oxide thin film containing an organic acid metal salt of an alkaline earth metal and / or a rare earth metal, a solvent, and an additive, which is a polyvalent solvent. It is a coating agent for forming a metal oxide thin film which forms a metal oxide thin film by a coating pyrolysis method, which comprises an alcohol acetic acid derivative.

【0009】本発明によれば、有機酸金属塩、溶剤及び
添加剤はそれぞれ有機物であり、これら有機成分はコー
ティング剤を塗布乾燥、或いは焼成させた際に気化或い
は熱分解して雰囲気中へと散逸する。従ってコーティン
グ剤の塗布乾燥及び焼成により金属と有機成分とに分解
し、その後の加熱による酸化で光透過率の高い透明な金
属酸化物薄膜が形成される。
According to the present invention, the organic acid metal salt, the solvent and the additive are each an organic substance, and these organic components are vaporized or thermally decomposed when the coating agent is applied, dried or baked to be put into the atmosphere. Dissipate. Therefore, the coating agent is decomposed into a metal and an organic component by coating and drying and baking, and the subsequent oxidation by heating forms a transparent metal oxide thin film having a high light transmittance.

【0010】本発明におけるアルカリ土類金属及び又は
稀土類金属の有機酸金属塩は、これらのみの溶剤に限定
されないが、例えばキシレン、トルエン、イソプロピル
アルコール、メチルイソブチルケトン、酢酸ブチル、ジ
エチレングリコールモノブチルエーテル、ミネラルスピ
リット、シクロヘキサン、シクロヘキサノンなどの溶剤
を、単独或いは複数のものを併用して溶解することが可
能であり、その溶液と増粘剤や希釈溶剤を組み合わせて
塗布し易いコーティング剤とし、塗布乾燥後350〜6
00℃で1〜30分焼成しても、誘電体と付着性の良い
金属酸化物薄膜は形成出来ない。
The organic acid metal salt of an alkaline earth metal and / or a rare earth metal in the present invention is not limited to these solvents, but includes, for example, xylene, toluene, isopropyl alcohol, methyl isobutyl ketone, butyl acetate, diethylene glycol monobutyl ether, Solvents such as mineral spirits, cyclohexane, cyclohexanone can be dissolved alone or in combination, and the solution is combined with a thickener or a diluting solvent to form a coating agent that is easy to apply. 350-6
Even if baked at 00 ° C. for 1 to 30 minutes, a metal oxide thin film having good adhesion to the dielectric cannot be formed.

【0011】しかし、現在のところ理論的解明には至っ
ていないが、本発明の多価アルコール酢酸誘導体、例え
ば酢酸ジエチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリ
コールモノブチルエテール、酢酸エチレングリコールモ
ノエチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノメチル
エーテル、モノ酢酸エチレングリコール、モノ酢酸ジエ
チレングリコール、プロピレングリコールメチルエーテ
ルアセトテート、プロピレングリコールモノエチルエー
テルアセトテート、などの内1種類以上を他の溶剤と併
用あるいは単独で使用することにより、誘電体と付着性
が良く、均一で透明な薄膜を形成することが出来る。そ
れらの溶剤の用い方に制限は無く、有機酸金属塩を調製
過程、或いはコーティング剤の調製過程で必要量を単に
混合するのみで良い。
However, although it has not been theoretically clarified at present, the polyhydric alcohol acetic acid derivative of the present invention, for example, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate is used. , Ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoacetate, diethylene glycol monoacetate, propylene glycol methyl ether acetoate, propylene glycol monoethyl ether acetoate, etc. in combination with other solvent Alternatively, when used alone, it is possible to form a uniform and transparent thin film having good adhesion to the dielectric. There is no limitation on how to use those solvents, and the organic acid metal salt may be simply mixed in a necessary amount in the preparation process or the preparation process of the coating agent.

【0012】また本発明には有機酸金属塩1種又は2種
以上混合して使用できるが、特にMg、Ba、Srの有
機酸金属塩1種類、或いは2種以上と、Ca或いは稀土
類金属の有機酸金属塩1種、或いは2種類以上を混合し
て使用したとき、Mg、Ba、Srを主体とした金属酸
化物薄膜の物理強度を上げ、誘電体との付着性を良くす
ることが出来る。
In the present invention, one kind or two or more kinds of organic acid metal salts may be mixed and used, and in particular, one kind or two or more kinds of organic acid metal salts of Mg, Ba and Sr and Ca or rare earth metal. When one or more kinds of the organic acid metal salts are mixed and used, the physical strength of the metal oxide thin film mainly containing Mg, Ba, and Sr can be increased and the adhesion to the dielectric can be improved. I can.

【0013】本発明のコーティング剤に用いる有機酸金
属塩を形成している有機酸の種類としては、生成した有
機酸金属塩が有機溶剤に溶解するものであれば特に制限
は無いが、例えばカプロン酸、カプリル酸、カプリン
酸、オクチル酸、セカノイック酸、ネオデカン酸、ネオ
ヘプタン酸、ネオノナン酸、N−ヘプタノイック酸、ナ
フテン酸、トール油脂肪酸などを単独或いは2種類以上
を併用して反応したものが望ましい。しかし炭素数6以
下の有機酸例えば酢酸、プロピオン酸などを炭素数7以
上のものに混合して用いたものも使用可能である。また
平均炭素数が6以下の有機酸を出発原料にしたは金属塩
は、溶剤に対する溶解性が劣るため単独で用いることは
困難であるが、他の有機酸金属塩に溶解する範囲で使用
しても差し支えない。
The type of the organic acid forming the organic acid metal salt used in the coating agent of the present invention is not particularly limited as long as the formed organic acid metal salt can be dissolved in an organic solvent. For example, capron. Acid, caprylic acid, capric acid, octylic acid, secanoic acid, neodecanoic acid, neoheptanoic acid, neononanoic acid, N-heptanoic acid, naphthenic acid, tall oil fatty acid, etc. are preferably used alone or in combination of two or more kinds. . However, it is also possible to use a mixture of an organic acid having 6 or less carbon atoms, such as acetic acid or propionic acid, mixed with one having 7 or more carbon atoms. In addition, it is difficult to use a metal salt having an average carbon number of 6 or less as a starting material because the metal salt has poor solubility in a solvent, but it is used in a range in which it is soluble in another organic acid metal salt. It doesn't matter.

【0014】また本発明で用いる溶剤としては、酢酸ジ
エチレングリコールモノブチルエーテル、、酢酸ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、酢酸ジエチレング
リコールモノメチルエーテル、酢酸エチレングリコール
モノブチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチ
ルエーテル、酢酸エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、モノ酢酸エチレングリコール、モノ酢酸ジエチレン
グリコール、モノ酢酸グリセロール、プロピレングリコ
ールメチルエーテルアセトテート、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテルアセトテートなどのような多価ア
ルコール酢酸誘導体の他に、これらと併用するもので有
機酸金属塩が溶解するものであれば特に制限はなく、キ
シレン、トルエン、イソプロピルアルコール、メチルイ
ソブチルケトン、酢酸ブチル、ジエチレングリコールモ
ノブチルエーテル、ミネラルスピリットなどの溶剤複数
のものを併用することが好ましい。
The solvent used in the present invention is diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, monoacetic acid. In addition to polyhydric alcohol acetic acid derivatives such as ethylene glycol, diethylene glycol monoacetate, glycerol monoacetate, propylene glycol methyl ether acetoate, propylene glycol monoethyl ether acetoate, etc. There is no particular limitation as long as it does, xylene, toluene, isopropyl alcohol, methyl isobutyl ketone, Butyl, diethylene glycol monobutyl ether, it is preferably used in combination as a solvent plurality of such mineral spirits.

【0015】また本発明に用いる有機物からなる添加剤
は、エチルセルロース、ニトロセルロース、アクリル樹
脂などを増粘剤として用いることが望ましい。
As the organic additive used in the present invention, it is desirable to use ethyl cellulose, nitrocellulose, acrylic resin or the like as a thickener.

【0016】本発明のコーティング剤を、スクリーン印
刷用のペーストとする場合は、有機酸金属塩溶液にエチ
ルセルロース、ニトロセルロース、アクリル樹脂などの
増粘剤を単独で必要量添加して溶解し、さらにジエチレ
ングリコールモノブチルエーテル、テルピネオール、テ
キサノールなどの溶剤で印刷に適した粘度に調整する必
要がある。スピンコーターやスプレー塗布する場合は、
スクリーン印刷用ペーストを溶剤で希釈して用いること
が可能あるが、特に増粘剤を用いる必要は無く、単に有
機酸金属塩を溶剤で希釈するのみで差し支えない。また
消泡剤やレベリング剤は必要に応じ用いることが可能で
ある。
When the coating agent of the present invention is used as a paste for screen printing, a thickening agent such as ethyl cellulose, nitrocellulose, or acrylic resin is added to a solution of a metal salt of an organic acid in a necessary amount and dissolved. It is necessary to adjust the viscosity suitable for printing with a solvent such as diethylene glycol monobutyl ether, terpineol, and Texanol. When applying a spin coater or spray coating,
It is possible to use the screen printing paste diluted with a solvent, but it is not necessary to use a thickener, and it is sufficient to simply dilute the organic acid metal salt with the solvent. Further, an antifoaming agent or a leveling agent can be used as necessary.

【0017】しかしいずれの塗布方法を採用する場合で
もコーティング剤中の合計金属含有量が高い場合は、薄
く均一に塗布することが困難なため、所望する透明で均
一な金属酸化物薄膜を形成することが困難になる。また
反対にコーティング剤中の合計金属含有量が低い場合に
は、均一な薄膜を形成可能であるが、一度に0.4〜
1.3μmの膜厚を得るためには塗布熱分解を数回繰り
返さなければならない。したがってコーティング剤中の
合計金属含有量は、溶剤や増粘剤などの量を調整して
4.0重量%以下、好ましくは0.5〜2.0重量%に
する必要がある。
However, whichever coating method is used, if the total metal content in the coating agent is high, it is difficult to coat thinly and uniformly, so that a desired transparent and uniform metal oxide thin film is formed. Becomes difficult. On the other hand, if the total metal content in the coating agent is low, a uniform thin film can be formed, but 0.4-
The coating pyrolysis must be repeated several times to obtain a film thickness of 1.3 μm. Therefore, the total metal content in the coating agent needs to be 4.0% by weight or less, preferably 0.5 to 2.0% by weight, by adjusting the amounts of the solvent and the thickener.

【0018】本発明の金属酸化物薄膜形成用コーティン
グ剤の調製方法に特に制限は無く、有機酸金属塩溶液
に、予め溶剤に増粘剤を溶解した液を添加して溶解し、
希釈溶剤で粘度調整することが好ましい。
The method for preparing the coating agent for forming a metal oxide thin film of the present invention is not particularly limited, and a solution prepared by previously dissolving a thickener in a solvent is added to an organic acid metal salt solution and dissolved.
It is preferable to adjust the viscosity with a diluting solvent.

【0019】[0019]

【実施例】【Example】

(実施例1) Mg含有量2重量%のオクチル酸Mg溶
液を、表1の溶剤を用い重量比で2倍に希釈し、スライ
ドグラス(25mm×75×2)に流し塗りした後、室
温で30分乾燥した後の状態と、450℃で5分間焼成
した後の状態を目視で観察した。その結果溶剤として多
価アルコールの酢酸誘導体を用いたNo.12から18
までものは、0.2〜0.7μmの透明な膜を形成し
た。No.21は乾燥した後の状態は良好であったが、
焼成後は均一な膜を形成しなかった。またその他のもの
は、均一な乾燥膜を形成しなかった。
(Example 1) A Mg octylate solution having a Mg content of 2% by weight was diluted with a solvent shown in Table 1 by a weight ratio of 2 times, and the solution was cast on a slide glass (25 mm x 75 x 2) and then coated at room temperature. The state after drying for 30 minutes and the state after baking at 450 ° C. for 5 minutes were visually observed. As a result, No. 1 using an acetic acid derivative of a polyhydric alcohol as a solvent. 12 to 18
The product formed a transparent film having a thickness of 0.2 to 0.7 μm. No. No. 21 was in good condition after drying,
A uniform film was not formed after firing. Others did not form a uniform dry film.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】(実施例2) 表2に記載のアルカリ土類
金属、及び稀土類金属の有機酸塩の金属含有量を、それ
ぞれの溶剤で金属含有量を2重量%に調整したものを、
酢酸ジエチレングリコールモノブチルエーテルとキシレ
ンを8:2(重量比)の割合で混合した溶剤で、金属含
有量を1重量%に調整して試料溶液を調製した。その溶
液をスライドグラスに流し塗りし、70℃で5分乾燥後
400℃で2分間焼成した。その結果、表2に記載のと
おりガラスと付着性が良く、透明な薄膜を形成出来た。
Example 2 The metal contents of the organic acid salts of alkaline earth metals and rare earth metals shown in Table 2 were adjusted to 2% by weight with respective solvents,
A sample solution was prepared by adjusting the metal content to 1% by weight with a solvent in which diethylene glycol monobutyl ether acetate and xylene were mixed at a ratio of 8: 2 (weight ratio). The solution was cast on a slide glass, dried at 70 ° C. for 5 minutes, and then baked at 400 ° C. for 2 minutes. As a result, as shown in Table 2, it was possible to form a transparent thin film having good adhesion to glass.

【0022】[0022]

【表2】 [Table 2]

【0023】(比較例) 表2のNo.1〜8をそれぞ
れの希釈溶剤で金属含有量を1重量%に調整したものに
ついて、同一条件で塗布乾燥したが、焼成前の段階で均
一な膜を形成しなかった。
Comparative Example No. 2 in Table 2 Each of 1 to 8 whose metal content was adjusted to 1% by weight with each diluting solvent was coated and dried under the same conditions, but a uniform film was not formed in the stage before firing.

【0024】(実施例3) 実施例2と同一の有機酸金
属塩を、それぞれの溶剤で金属含有量を2重量%に調整
したものを表3の混合割合で混合した。その溶液をさら
に酢酸ジエチレングリコールモノブチルエーテルとキシ
レンを8:2(重量比)混合した溶剤で、2倍(重量割
合)に希釈した液を試料溶液とし、実施例2と同じ条件
で塗布焼成を行い、形成した膜の状態を調べた。その結
果は、表3のとおりNo.2〜10はガラスとの付着性
も良好な膜を形成したが、オクチル酸Mg単独のものは
傷が付き易くガラスと付着性がやや劣っていた。
Example 3 The same organic acid metal salt as in Example 2 was mixed at the mixing ratio shown in Table 3 with the metal content adjusted to 2% by weight with each solvent. The solution was further diluted by a factor of 2 (weight ratio) with a solvent in which diethylene glycol monobutyl ether acetate and xylene were mixed in a ratio of 8: 2 (weight ratio) to prepare a sample solution, which was applied and baked under the same conditions as in Example 2, The state of the formed film was examined. The results are as shown in Table 3. Nos. 2 to 10 formed a film having good adhesion to glass, but Mg octylate alone was liable to be scratched and had slightly poor adhesion to glass.

【0025】[0025]

【表3】 [Table 3]

【0026】(実施例4) 表4の配合率でコーティン
グ剤を調整し、エアスプレイ塗布を行い、70℃で15
分間乾燥後420℃で5分間焼成し、冷却後光透過率と
膜厚を調べた結果、光透過度が85〜95%で、膜厚が
0.1〜1.3μmの透明な薄膜を形成した。
(Example 4) A coating agent was prepared at the compounding ratio shown in Table 4, and air spray coating was carried out.
After drying for 5 minutes, baking at 420 ° C. for 5 minutes, and after cooling, the light transmittance and film thickness were examined. As a result, a transparent thin film having a light transmittance of 85 to 95% and a film thickness of 0.1 to 1.3 μm was formed. did.

【0027】[0027]

【表4】 [Table 4]

【0028】[0028]

【発明の効果】従来、面放電反射型カラーPDPの誘電
体の透明MgO保護膜は蒸着法で形成されているが、生
産性が悪く経済的な問題が有る。しかし本発明の金属酸
化物薄膜形成用コーティング剤を、PDPの誘電体にス
クリーン印刷又はスプレイ塗布し、乾燥後、350〜6
00℃で1〜30分焼成することにより、膜厚が0.1
〜1.3μmの透明な金属酸化物薄膜の形成が可能にな
った。そのことにより大幅な経済効果が期待出来る。
The transparent MgO protective film of the dielectric of the surface discharge reflection type color PDP is conventionally formed by the vapor deposition method, but the productivity is poor and there is an economical problem. However, the coating material for forming a metal oxide thin film of the present invention is screen-printed or spray-coated on the dielectric of PDP, and after drying, 350 to 6
By baking at 00 ° C for 1 to 30 minutes, the film thickness becomes 0.1
It became possible to form a transparent metal oxide thin film of ˜1.3 μm. As a result, a significant economic effect can be expected.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アルカリ土類金属、及び又は稀土類金属
の有機酸金属塩、溶剤及び有機物からなる添加剤を含有
する金属酸化物薄膜形成用コーティング剤であって、溶
剤として多価アルコール酢酸誘導体を含有することを特
徴とする塗布熱分解法により金属酸化物薄膜を形成する
金属酸化物薄膜形成用コーティング剤。
1. A coating agent for forming a metal oxide thin film, which comprises an organic acid metal salt of an alkaline earth metal and / or a rare earth metal, a solvent, and an additive, and a polyhydric alcohol acetic acid derivative as a solvent. A coating agent for forming a metal oxide thin film, which comprises a metal oxide thin film formed by a coating pyrolysis method.
【請求項2】 有機酸金属塩としてMg、Ba、Srの
有機酸金属塩単独、又は2種類以上の混合物に、Caま
たは稀土類金属の有機酸金属塩1種類又は2種類以上を
併用することを特徴とする請求項1記載の金属酸化物薄
膜形成用コーティング剤。
2. An organic acid metal salt of Mg, Ba, Sr alone or a mixture of two or more kinds of organic acid metal salts, and one or more kinds of organic acid metal salts of Ca or rare earth metals are used in combination. The coating agent for forming a metal oxide thin film according to claim 1.
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