JPH0991670A

JPH0991670A - Magnetic recording medium

Info

Publication number: JPH0991670A
Application number: JP25232095A
Authority: JP
Inventors: Osamu Yoshida; 修吉田; Noriyuki Kitaori; 典之北折; Katsumi Sasaki; 克己佐々木; Junko Ishikawa; 准子石川
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1995-09-29
Filing date: 1995-09-29
Publication date: 1997-04-04

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a magnetic recording medium excellent in electromagnetic transducing characteristics and corrosion resistance with use of an Fe material less liable to cause the problem of environmental pollution. SOLUTION: A metallic magnetic film of Fe-N-O having 47-67at.% O content in the region from the surface to a depth of 50Å is formed on a substrate to obtain the objective magnetic recording medium.

Description

Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｆｅ系金属磁性膜
を有する磁気記録媒体に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magnetic recording medium having an Fe-based metal magnetic film.

【０００２】[0002]

【発明が解決しようとする課題】磁性膜を蒸着やスパッ
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。例えば、これまでは、主とし
て、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が用いられて
いる。A metal thin film type magnetic recording medium in which a magnetic film is formed by dry plating means such as vapor deposition or sputtering is widely known. There are various materials for forming the magnetic film. For example, Co-Ni and Co-Cr magnetic alloys have been mainly used so far.

【０００３】しかし、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等は価格が高
い。又、公害問題なども心配されている。前記の問題点
に鑑みて、Ｆｅが注目されている。このＦｅは、価格が
安く、かつ、公害問題を引き起こすことも少ない。そし
て、Ｆｅ系金属磁性膜としてＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が提案されている。However, Co, Ni, Cr, etc. are expensive. There are also concerns about pollution problems. In view of the above problems, attention is paid to Fe. This Fe is low in price and rarely causes pollution problems. An Fe-N-O-based metal magnetic film has been proposed as the Fe-based metal magnetic film.

【０００４】このＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜は、ＪＩＳ
規格の耐蝕性（５％食塩水溶液）に優れた結果を奏する
ものの、高温多湿下における耐蝕性は不十分であった。
この点についての研究を鋭意押し進めて行った結果、Ｆ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の構造によって耐蝕性や保磁力
の大幅な向上を得ることが出来た。すなわち、Ｆｅ−Ｎ
−Ｏ系金属磁性膜において、その深さ方向におけるＯ含
有割合を制御することによって、優れた磁気特性を保持
したままで耐蝕性の向上が得られることが判った。This Fe-N-O type metal magnetic film is based on JIS
Although excellent results were obtained in the standard corrosion resistance (5% saline solution), the corrosion resistance under high temperature and high humidity was insufficient.
As a result of earnestly conducting research on this point, F
Due to the structure of the e-N-O type metal magnetic film, the corrosion resistance and the coercive force could be significantly improved. That is, Fe-N
It has been found that by controlling the O content in the depth direction of the -O-based metal magnetic film, the corrosion resistance can be improved while maintaining excellent magnetic characteristics.

【０００５】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、公害問題を引き起こすことが少ないＦ
ｅ材料を用いて電磁変換特性や耐蝕性に優れた磁気記録
媒体を提供することを目的とする。The present invention has been achieved on the basis of such knowledge, and causes less pollution problems.
An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium excellent in electromagnetic conversion characteristics and corrosion resistance by using the e material.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、支
持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁
気記録媒体であって、前記金属磁性膜は、その表面から
５０Åまでの深さの領域におけるＯ含有割合が４７〜６
７ａｔ．％であることを特徴とする磁気記録媒体によっ
て達成される。The object of the present invention is a magnetic recording medium comprising a support and a Fe--N--O type metal magnetic film provided on the support, wherein the metal magnetic film is formed from the surface thereof. O content in the region of depth up to 50Å is 47 to 6
7 at. % Of the magnetic recording medium.

【０００７】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜
５０ａｔ．％であることを特徴とする磁気記録媒体によ
って達成される。A magnetic recording medium having a Fe--N--O type metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region of a depth of 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, Fe content ratio is 30 to
50 at. % Of the magnetic recording medium.

【０００８】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜
５０ａｔ．％、Ｎ含有割合が３〜１３ａｔ．％であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体によって達成される。Further, in a magnetic recording medium comprising a Fe--N--O system metal magnetic film provided on a support, the metal magnetic film has an O in a region of a depth of 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, Fe content ratio is 30 to
50 at. %, N content is 3 to 13 at. % Of the magnetic recording medium.

【０００９】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、その表面から５００Å
より１０００Åの領域におけるＯ含有割合が７〜２０ａ
ｔ．％であることを特徴とする磁気記録媒体によって達
成される。A magnetic recording medium comprising an Fe-N-O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has O in a region of a depth of 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, 500Å from the surface
O content in the region of 1000 Å is 7 to 20a
t. % Of the magnetic recording medium.

【００１０】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜
５０ａｔ．％、その表面から５００Åより１０００Åの
領域におけるＯ含有割合が７〜２０ａｔ．％であること
を特徴とする磁気記録媒体によって達成される。A magnetic recording medium comprising an Fe-N-O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O in a region of a depth of 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, Fe content ratio is 30 to
50 at. %, And the O content in the region of 500 liters to 1000 liters from the surface is 7 to 20 at. % Of the magnetic recording medium.

【００１１】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜
５０ａｔ．％、Ｎ含有割合が３〜１３ａｔ．％、その表
面から５００Åより１０００Åの領域におけるＯ含有割
合が７〜２０ａｔ．％であることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。A magnetic recording medium having a Fe--N--O system metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region of a depth of 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, Fe content ratio is 30 to
50 at. %, N content is 3 to 13 at. %, And the O content in the region of 500 liters to 1000 liters from the surface is 7 to 20 at. % Of the magnetic recording medium.

【００１２】上記の磁気記録媒体において、金属磁性膜
は、その表面から５００Åより１０００Åの領域におけ
るＯ含有割合が７〜２０ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が５５
〜８３ａｔ．％、Ｎ含有割合が１０〜２５ａｔ．％のも
のが好ましい。特に、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁
性膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属
磁性膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけ
るＯ含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３
０〜５０ａｔ．％、Ｎ含有割合が３〜１３ａｔ．％、そ
の表面から５００Åより１０００Åの領域におけるＯ含
有割合が７〜２０ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が５５〜８３
ａｔ．％、Ｎ含有割合が１０〜２５ａｔ．％であること
を特徴とする磁気記録媒体によって達成される。In the above magnetic recording medium, the metal magnetic film has an O content of 7 to 20 at. %, Fe content ratio is 55
~ 83 at. %, N content is 10 to 25 at. % Is preferable. In particular, in a magnetic recording medium in which a Fe—N—O-based metal magnetic film is provided on a support, the metal magnetic film has an O content ratio of 47 to 50 in a region from the surface to a depth of 50 Å. 67 at. %, Fe content ratio is 3
0-50 at. %, N content is 3 to 13 at. %, And the O content in the region of 500 liters to 1000 liters from the surface is 7 to 20 at. %, Fe content ratio is 55 to 83
at. %, N content is 10 to 25 at. % Of the magnetic recording medium.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体は、支持体
上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられてなる磁気記
録媒体であって、前記金属磁性膜は、その表面から５０
Åまでの深さの領域におけるＯ含有割合が４７〜６７ａ
ｔ．％である。又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁
性膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域における
Ｏ含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０
〜５０ａｔ．％である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The magnetic recording medium of the present invention is a magnetic recording medium comprising an Fe—N—O-based metal magnetic film provided on a support.
O content in the depth range up to Å is 47 to 67a
t. %. A magnetic recording medium comprising a Fe-N-O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content of 47 to 50 Å from its surface. 67 at. %, Fe content ratio is 30
~ 50 at. %.

【００１４】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜
５０ａｔ．％、Ｎ含有割合が３〜１３ａｔ．％である。
又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられて
なる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜は、その表
面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ含有割合が４
７〜６７ａｔ．％、その表面から５００Åより１０００
Åの領域におけるＯ含有割合が７〜２０ａｔ．％であ
る。A magnetic recording medium comprising an Fe-N-O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region up to 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, Fe content ratio is 30 to
50 at. %, N content is 3 to 13 at. %.
A magnetic recording medium comprising an Fe—N—O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content ratio of 4 in a region from the surface to a depth of 50 Å.
7-67 at. %, 1000 from 500 Å from the surface
O content in the region of Å is 7 to 20 at. %.

【００１５】又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性
膜は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ
含有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜
５０ａｔ．％、その表面から５００Åより１０００Åの
領域におけるＯ含有割合が７〜２０ａｔ．％である。
又、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が設けられて
なる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜は、その表
面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ含有割合が４
７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜５０ａｔ．
％、Ｎ含有割合が３〜１３ａｔ．％、その表面から５０
０Åより１０００Åの領域におけるＯ含有割合が７〜２
０ａｔ．％である。A magnetic recording medium comprising a Fe-N-O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region up to 50 Å from the surface thereof.
The content ratio is 47 to 67 at. %, Fe content ratio is 30 to
50 at. %, And the O content in the region of 500 liters to 1000 liters from the surface is 7 to 20 at. %.
A magnetic recording medium comprising an Fe—N—O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content ratio of 4 in a region from the surface to a depth of 50 Å.
7-67 at. %, The Fe content ratio is 30 to 50 at.
%, N content is 3 to 13 at. %, 50 from the surface
O content ratio in the range of 0Å to 1000Å is 7 to 2
0 at. %.

【００１６】又、上記の磁気記録媒体において、金属磁
性膜は、その表面から５００Åより１０００Åの領域に
おけるＯ含有割合が７〜２０ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が
５５〜８３ａｔ．％、Ｎ含有割合が１０〜２５ａｔ．％
である。特に、支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が
設けられてなる磁気記録媒体であって、前記金属磁性膜
は、その表面から５０Åまでの深さの領域におけるＯ含
有割合が４７〜６７ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が３０〜５
０ａｔ．％、Ｎ含有割合が３〜１３ａｔ．％、その表面
から５００Åより１０００Åの領域におけるＯ含有割合
が７〜２０ａｔ．％、Ｆｅ含有割合が５５〜８３ａｔ．
％、Ｎ含有割合が１０〜２５ａｔ．％である。Further, in the above magnetic recording medium, the metal magnetic film has an O content of 7 to 20 at.% In a region of 500 liters to 1000 liters from the surface thereof. %, The Fe content is 55 to 83 at. %, N content is 10 to 25 at. %
It is. In particular, in a magnetic recording medium in which a Fe—N—O-based metal magnetic film is provided on a support, the metal magnetic film has an O content ratio of 47 to 50 in a region from the surface to a depth of 50 Å. 67 at. %, Fe content ratio is 30 to 5
0 at. %, N content is 3 to 13 at. %, And the O content in the region of 500 liters to 1000 liters from the surface is 7 to 20 at. %, The Fe content is 55 to 83 at.
%, N content is 10 to 25 at. %.

【００１７】このような磁気記録媒体は、蒸着やスパッ
タ等のＰＶＤ（フィジカルベーパーデポジション）法を
用いることで作製できる。例えば、成膜速度が大きな蒸
着法を例にとって説明すると次のようになる。先ず、例
えば全金属成分中Ｆｅが９５〜９８．５ｗｔ％（所謂、
純度が９５〜９８．５ｗｔ％のＦｅ）、Ａｕ，Ｐｔ，Ａ
ｇの合計量が０〜０．０５ｗｔ％（０であることに越し
たことはないが、不可避不純物として多少含まれる場合
が有る。又、含有するにしても、ＡｕとＰｔとＡｇの合
計量を出来るだけ少なく、例えば０．０５ｗｔ％以下に
抑える）、残りがその他の金属成分（例えば、Ｃｏ，Ｎ
ｉ，Ｍｎ，Ｃｒ等）であるＦｅ系金属材料を、斜め蒸着
装置のルツボの中に入れる。このような純度（９５〜９
８．５ｗｔ％）のＦｅ材料を用いたのは、純度が９９．
９５ｗｔ％以上と言った高純度のＦｅを用いる場合に比
べて遙に安価であるからによる。尚、純度が９８．５ｗ
ｔ％以上の高純度Ｆｅを用いるのを排除するものではな
い。そして、斜め蒸着装置内を所定の真空度に排気する
と共に、電子銃あるいはその他の手段によりＦｅ系金属
材料を蒸発させ、走行する支持上にＦｅ系金属粒子を付
着・堆積させる。この付着・堆積に際しては、Ｆｅ系金
属蒸発粒子あるいは堆積面に向けて窒素ガス（又は窒素
イオン）や酸素ガス（又は酸素イオン）等を照射し、非
磁性の支持体上に設ける磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ系膜とす
る。尚、この成膜に際し、窒素ガス（又は窒素イオン）
と酸素ガス（又は酸素イオン）との関係を調整すること
は大事である。例えば、後述する比較例でも示すよう
に、同じ手法が採用されても、導入する窒素量や酸素量
を変化させると、本発明が提案した金属磁性膜とはなら
ない。Such a magnetic recording medium can be manufactured by using a PVD (physical vapor deposition) method such as vapor deposition or sputtering. For example, a vapor deposition method with a high film formation rate will be described as follows. First, for example, Fe in the total metal components is 95 to 98.5 wt% (so-called,
Fe with a purity of 95-98.5 wt%), Au, Pt, A
The total amount of g is 0 to 0.05 wt% (It is good that it is 0, but it may be contained as an unavoidable impurity to some extent. Even if it is contained, the total amount of Au, Pt, and Ag is included. Of the other metal components (for example, Co and N)
An Fe-based metallic material (i, Mn, Cr, etc.) is put in the crucible of the oblique vapor deposition apparatus. Such purity (95-9
(8.5 wt%) Fe material was used, and the purity was 99.
This is because it is much cheaper than the case of using high-purity Fe of 95 wt% or more. The purity is 98.5w
The use of high purity Fe of t% or more is not excluded. Then, the inside of the oblique vapor deposition apparatus is evacuated to a predetermined vacuum degree, the Fe-based metal material is evaporated by an electron gun or other means, and the Fe-based metal particles are attached and deposited on the running support. At the time of this attachment / deposition, nitrogen gas (or nitrogen ions), oxygen gas (or oxygen ions) or the like is irradiated toward the Fe-based metal vaporized particles or the deposition surface, and the magnetic film provided on the non-magnetic support is Fe. -N-O based film. In this film formation, nitrogen gas (or nitrogen ion)
It is important to adjust the relationship between oxygen gas and oxygen gas (or oxygen ions). For example, as shown in Comparative Examples described later, even if the same method is adopted, if the amount of introduced nitrogen or the amount of oxygen is changed, the metal magnetic film proposed by the present invention is not obtained.

【００１８】尚、蒸発源に置くＦｅ材料として純度が１
００ｗｔ％のＦｅを用いる訳ではないから、成膜される
金属磁性膜中にＦｅ以外の金属元素が含まれる。例え
ば、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｍｎ，Ｃｒ等が含まれる。又、微量で
はあるが、Ａｕ，Ｐｔ，Ａｇ等が０．０５ｗｔ％以下含
まれる場合が有る。しかし、いずれにせよ、Ｆｅ以外の
金属元素の含有量は約５ｗｔ％以下であるから、これら
の金属元素による変動は僅かであり、Ｆｅ，Ｎ，Ｏで規
定した。尚、金属磁性膜中に含まれる元素は、基本的に
は、前記Ｆｅ，Ｎ，Ｏのみであるが、後述する測定され
たオージェプロファイルでは保護膜ないしは潤滑剤やベ
ースフィルム中に含まれる若しくは不純物としてのＣも
表示している。The purity of the Fe material placed in the evaporation source is 1
Since Fe of 0.00 wt% is not used, the metal magnetic film formed contains a metal element other than Fe. For example, Co, Ni, Mn, Cr, etc. are included. In addition, although a trace amount, Au, Pt, Ag, etc. may be contained in an amount of 0.05 wt% or less. However, in any case, since the content of the metal elements other than Fe is about 5 wt% or less, the variation due to these metal elements is slight and it is defined by Fe, N, and O. The element contained in the metal magnetic film is basically only Fe, N, and O described above, but in the measured Auger profile described later, the element contained in the protective film, the lubricant, or the base film, or impurities. C as is also displayed.

【００１９】本発明の磁気記録媒体の支持体としては、
磁性あるいは非磁性いずれのものでも良いが、一般的に
は非磁性のものである。このような支持体はＰＥＴ等の
ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン
系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂と
いった有機材料が主として用いられる。尚、支持体の表
面には、磁性膜との密着性を向上させる為のアンダーコ
ート層が適宜設けられる。As the support of the magnetic recording medium of the present invention,
It may be magnetic or non-magnetic, but is generally non-magnetic. For such a support, an organic material such as polyester such as PET, polyamide, polyimide, polysulfone, polycarbonate, olefin resin such as polypropylene, cellulose resin, or vinyl chloride resin is mainly used. An undercoat layer for improving the adhesion with the magnetic film is appropriately provided on the surface of the support.

【００２０】そして、上記のようにして１５００〜２０
００Å厚さのＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が支持体上に設
けられると、必要に応じて、ダイヤモンドライクカーボ
ン、炭化ホウ素、窒化珪素などからなる５０〜２００Å
程度の厚さの保護膜がＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜上に設
けられる。又、パーフルオロポリエーテル等のフッ素系
の潤滑剤が２０〜７０Å程度の厚さ設けられる。Then, as described above, 1500 to 20
When a Fe-N-O-based metal magnetic film having a thickness of 00Å is provided on a support, 50 to 200Å composed of diamond-like carbon, boron carbide, silicon nitride, etc., if necessary.
A protective film having a certain thickness is provided on the Fe—N—O based metal magnetic film. Further, a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether is provided with a thickness of about 20 to 70Å.

【００２１】又、支持体の裏面にはバツクコート膜が設
けられる。バックコート膜を塗布により構成する場合
は、粒径１０〜１００ｎｍのカーボンブラックを塩ビ
系、ウレタン系等のバインダ樹脂中に分散させ、グラビ
ア方式、リバース方式あるいはダイ塗工方式等で乾燥後
の厚さが０．４〜１μｍとなるよう塗布する。バックコ
ート膜を蒸着などのＰＶＤ手段で構成する場合は、Ａｌ
−Ｃｕ合金やＡｌなどの金属材料を蒸発源に置き、蒸発
金属粒子を０．０５〜１μｍの厚さ堆積させる。A back coat film is provided on the back surface of the support. When the back coat film is formed by coating, carbon black having a particle size of 10 to 100 nm is dispersed in a binder resin such as a PVC-based resin or a urethane-based resin, and is dried by a gravure method, a reverse method, a die coating method, or the like. Is applied so as to be 0.4 to 1 μm. When the back coat film is formed by PVD means such as vapor deposition, Al
Place a metal material such as Cu alloy or Al on the evaporation source and deposit evaporated metal particles to a thickness of 0.05-1 μm.

【００２２】そして、上記のように構成させた磁気記録
媒体は、高い保磁力、高い飽和磁束密度を有するもので
あり、かつ、耐蝕性に富むものであった。しかも、磁性
材料のＦｅは安価で、公害問題を起こし難い。特に、高
純度Ｆｅを用いなくても良いから、コストがより低廉で
ある。The magnetic recording medium configured as described above has a high coercive force, a high saturation magnetic flux density, and a high corrosion resistance. Moreover, the magnetic material Fe is inexpensive and does not easily cause pollution problems. In particular, since it is not necessary to use high-purity Fe, the cost is lower.

【００２３】[0023]

【実施例１】図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の概略図である。図１中、１は非磁性の支持体、例
えばＰＥＴフィルム、２ａはＰＥＴフィルム１の供給側
ロール、２ｂはＰＥＴフィルム１の巻取側ロール、３は
冷却キャンロール、４は遮蔽板、５はルツボ、６はＦｅ
磁性金属、７は電子銃、８は真空槽、９は支持体走行方
向における下流側から上流側に向けて設けられた酸素ガ
ス供給ノズル、１０はＦｅ系磁性金属粒子が堆積する上
流側から中流側に向けて設けられたカウフマン型のイオ
ンガンである。Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic diagram of a magnetic recording medium manufacturing apparatus according to the present invention. In FIG. 1, 1 is a non-magnetic support, such as a PET film, 2a is a PET film 1 supply side roll, 2b is a PET film 1 winding side roll, 3 is a cooling can roll, 4 is a shielding plate, and 5 is a shield plate. Crucible, 6 is Fe
Magnetic metal, 7 is an electron gun, 8 is a vacuum chamber, 9 is an oxygen gas supply nozzle provided from the downstream side to the upstream side in the traveling direction of the support, and 10 is the middle stream from the upstream side where Fe-based magnetic metal particles are deposited. It is a Kaufman type ion gun installed toward the side.

【００２４】本実施例の磁気記録媒体（磁気テープ）は
図１に示す斜め蒸着装置を用いることによって得られ
る。すなわち、６μｍ厚さのＰＥＴフィルム１を供給側
ロール２ａと巻取側ロール２ｂとの間に掛け渡し、冷却
キャンロール３に沿って走行させる。真空槽８内を１０
^-4〜１０^-6Ｔｏｒｒ、例えば８．８×１０^-5Ｔｏｒｒ程
度の真空度に排気した後、電子銃７からの電子ビーム加
熱によりルツボ５内の磁性金属（純度が９９．９％のＦ
ｅ）を溶融、蒸発させ、ＰＥＴフィルム１上に厚さが１
８００ÅのＦｅ系金属磁性膜を設けた。The magnetic recording medium (magnetic tape) of this embodiment can be obtained by using the oblique vapor deposition apparatus shown in FIG. That is, the PET film 1 having a thickness of 6 μm is spanned between the supply side roll 2 a and the winding side roll 2 b and run along the cooling can roll 3. 10 in the vacuum tank 8
^-4 to 10 ^-6 Torr, for example, after evacuating to a vacuum degree of about 8.8 × 10 ^-5 Torr, the magnetic metal (purity of 99.9% F in the crucible 5 in the crucible 5 is heated by electron beam heating from the electron gun 7.
e) is melted and evaporated to a thickness of 1 on PET film 1.
An 800 Å Fe-based metal magnetic film was provided.

【００２５】Ｆｅ系金属磁性膜の成膜時に、酸素ガス供
給ノズル９から酸素ガスを１５ｓｃｃｍ供給すると共
に、イオンガン１０に窒素ガスを１０ｓｃｃｍ供給し、
Ｆｅ系金属磁性膜に向けて酸素ガスと窒素イオンを照射
した。この後、パーフルオロポリエーテル等のフッ素系
の潤滑剤（商品名ＦＯＭＢＬＩＮＡＭ２００１）を２
０Å厚さ形成した。又、ＰＥＴフィルム１の磁性膜形成
面側とは反対側の面にＡｌ蒸着膜（バックコート膜）を
０．２μｍ厚さ設け、この後８ｍｍ幅に裁断し、カセッ
トに装填して８ｍｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。At the time of forming the Fe-based metal magnetic film, 15 sccm of oxygen gas was supplied from the oxygen gas supply nozzle 9 and 10 sccm of nitrogen gas was supplied to the ion gun 10.
The Fe metal magnetic film was irradiated with oxygen gas and nitrogen ions. After this, add 2 fluorine-based lubricants (trade name FOMBLIN AM2001) such as perfluoropolyether.
Formed to 0Å thickness. Further, an Al vapor deposition film (back coat film) having a thickness of 0.2 μm is provided on the surface of the PET film 1 opposite to the surface on which the magnetic film is formed. A tape was made.

【００２６】尚、このようにして得たＦｅ−Ｎ−Ｏ系金
属磁性膜についてのオージェ電子分光分析（エッチング
レートは０．２Å／ｓｅｃ）によるプロファイル（横軸
にエッチング時間、縦軸にＦｅ，Ｎ，Ｏ，Ｃのａｔ．
％、Ｆｅ＋Ｎ＋Ｏ＋Ｃ＝１００％）を図２及び図３に示
す。このオージェプロファイル（特に、表面部分の詳細
なプロファイルである図３）においては、表面にＣが認
められる。このＣは潤滑剤などに起因するものである。
この為、オージェ電子分光分析による場合、磁性膜の表
面（界面）がどこからかの問題が起きるが、ＣとＦｅと
が交差するポイントが磁性膜の表面（界面）と考える。
又、支持体側にあっても、ベースフィルムのＣとＦｅと
が交差するポイントが磁性膜の界面と考える。The profile obtained by Auger electron spectroscopy (etching rate is 0.2Å / sec) of the Fe--N--O type metal magnetic film thus obtained (etching time on the horizontal axis, Fe on the vertical axis, N, O, C at.
%, Fe + N + O + C = 100%) are shown in FIGS. 2 and 3. In this Auger profile (particularly, FIG. 3 which is a detailed profile of the surface portion), C is recognized on the surface. This C is due to a lubricant or the like.
Therefore, according to Auger electron spectroscopy analysis, a problem arises where the surface (interface) of the magnetic film is, but the point where C and Fe intersect is considered to be the surface (interface) of the magnetic film.
Further, even on the support side, the point where C and Fe of the base film intersect is considered to be the interface of the magnetic film.

【００２７】[0027]

【実施例２】実施例１において、イオンガン１０への窒
素ガスを１０ｓｃｃｍ、ノズル９からの酸素ガスを２０
ｓｃｃｍとし、図４や図５のオージェ電子分光分析によ
るプロファイルのＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜（厚さ１８
２０Å）を作製した以外は実施例１に準じて行い、８ｍ
ｍＶＴＲ用磁気テープを作製した。Second Embodiment In the first embodiment, the nitrogen gas to the ion gun 10 is 10 sccm, and the oxygen gas from the nozzle 9 is 20 sccm.
sccm, and the Fe—N—O-based metallic magnetic film (thickness 18
20 m) was prepared according to Example 1 except that 8 m
A magnetic tape for mVTR was produced.

【００２８】[0028]

【比較例１】実施例１において、イオンガン１０への窒
素ガスを１０ｓｃｃｍ、ノズル９の先端部を図１のよう
に支持体走行方向に沿うようには曲げておらず、真っ直
ぐにしたノズルを用い、供給する酸素ガスを１７ｓｃｃ
ｍとし、図６や図７のオージェ電子分光分析によるプロ
ファイルのＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜（厚さ１８００
Å）を作製した以外は実施例１に準じて行い、８ｍｍＶ
ＴＲ用磁気テープを作製した。COMPARATIVE EXAMPLE 1 In Example 1, the nitrogen gas to the ion gun 10 was 10 sccm, and the tip of the nozzle 9 was not bent along the support running direction as shown in FIG. , Supply oxygen gas at 17scc
m, and the Fe—N—O-based metal magnetic film (thickness 1800) of the profile obtained by Auger electron spectroscopy analysis of FIGS.
Å) was prepared according to Example 1 except that 8 mmV
A magnetic tape for TR was produced.

【００２９】[0029]

【特性】上記各例で得た磁気テープについて、その磁気
特性、耐蝕性を調べたので、その結果を表−１及び図８
に示す。表−１保磁力（Ｏｅ）残留磁束密度（Ｇ）耐蝕性（％）実施例１１６００５１００９７実施例２１６２０４９００９８比較例１１６１０５０００９１＊耐蝕性；６０℃、９０％ＲＨ下に１週間放置した後の飽和磁束密度Ｂｓの保持率で表示これによれば、本発明で規定される特徴のＦｅ−Ｎ−Ｏ
系金属磁性膜は、優れた磁気特性を保持したまま、耐蝕
性が向上していることが判る。[Characteristics] The magnetic characteristics and corrosion resistance of the magnetic tapes obtained in the above examples were examined. The results are shown in Table-1 and FIG.
Shown in Table-1 Coercive force (Oe) Residual magnetic flux density (G) Corrosion resistance (%) Example 1 1600 5100 97 Example 2 1620 4900 98 Comparative example 1 1610 5000 91 * Corrosion resistance; 1 at 60 ° C, 90% RH Displayed by retention rate of saturation magnetic flux density Bs after being left for a week. According to this, Fe—N—O having the characteristics specified in the present invention
It can be seen that the metal-based magnetic film has improved corrosion resistance while maintaining excellent magnetic properties.

【００３０】これに対して、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜
であっても、本発明で規定される特徴を持たないＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜は、耐蝕性に劣っていることが判
る。On the other hand, even Fe—N—O based metal magnetic films do not have the characteristics specified in the present invention.
It can be seen that the NO magnetic metal film is inferior in corrosion resistance.

【００３１】[0031]

【効果】安価な材料を用いて高密度記録に適した磁気記
録媒体が得られる。[Effect] A magnetic recording medium suitable for high density recording can be obtained by using an inexpensive material.

[Brief description of drawings]

【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の概略図FIG. 1 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.

【図２】実施例１のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージ
ェプロファイルFIG. 2 is an Auger profile of the Fe—N—O based metal magnetic film of Example 1.

【図３】実施例１のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜表面部の
詳細なオージェプロファイルFIG. 3 is a detailed Auger profile of the surface portion of the Fe—N—O based metal magnetic film of Example 1.

【図４】実施例２のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージ
ェプロファイルFIG. 4 is an Auger profile of the Fe—N—O-based metal magnetic film of Example 2.

【図５】実施例２のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜表面部の
詳細なオージェプロファイルFIG. 5 is a detailed Auger profile of the surface portion of the Fe—N—O-based metal magnetic film of Example 2.

【図６】比較例１のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜のオージ
ェプロファイルFIG. 6 is an Auger profile of a Fe—N—O-based metal magnetic film of Comparative Example 1.

【図７】比較例１のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜表面部の
詳細なオージェプロファイル7 is a detailed Auger profile of the surface portion of the Fe—N—O-based metal magnetic film of Comparative Example 1. FIG.

【図８】耐蝕性の経時変化を示すグラフFIG. 8 is a graph showing changes in corrosion resistance with time.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石川准子栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Junko Ishikawa 2606 Akabane, Kai-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Corporation Company Information Science Laboratory

Claims

[Claims]

1. A magnetic recording medium comprising an Fe—N—O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region from the surface to a depth of 50 Å. Is 47 to 67 at. % Magnetic recording medium.

2. A magnetic recording medium comprising an Fe—N—O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region from the surface to a depth of 50 Å. Is 47 to 67 at. %, The Fe content ratio is 30 to 50 at. % Magnetic recording medium.

3. A magnetic recording medium comprising an Fe—N—O-based metal magnetic film provided on a support, wherein the metal magnetic film has an O content in a region from the surface to a depth of 50 Å. Is 47 to 67 at. %, The Fe content ratio is 30 to 50 at. %, N content ratio is 3 to 13a
t. % Magnetic recording medium.

4. The metal magnetic film has an O content of 7 to 20a in a region of 500 to 1000 liters from the surface.
t. %, The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3.

5. The metal magnetic film has an O content of 7 to 20a in a region of 500Å to 1000Å from the surface.
t. %, The Fe content is 55 to 83 at. %, N content is 10 to 25 at. %, The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 4.