JPH0988733A - 排気ガス再循環制御装置 - Google Patents

排気ガス再循環制御装置

Info

Publication number
JPH0988733A
JPH0988733A JP7247619A JP24761995A JPH0988733A JP H0988733 A JPH0988733 A JP H0988733A JP 7247619 A JP7247619 A JP 7247619A JP 24761995 A JP24761995 A JP 24761995A JP H0988733 A JPH0988733 A JP H0988733A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
exhaust gas
gas recirculation
chamber
recirculation control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7247619A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Yabuta
雅広 薮田
Shinichi Kawasaki
真一 川崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP7247619A priority Critical patent/JPH0988733A/ja
Publication of JPH0988733A publication Critical patent/JPH0988733A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02TCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T10/00Road transport of goods or passengers
    • Y02T10/10Internal combustion engine [ICE] based vehicles
    • Y02T10/12Improving ICE efficiencies

Landscapes

  • Exhaust-Gas Circulating Devices (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長期間の使用に対して信頼性の維持ができ、
応答性の良いフィードバック制御ができると共に、組立
性が良く、特性バラツキの修正の容易な排気ガス再循環
制御弁を得る。 【解決手段】 排気ガス再循環制御弁1の圧力室8に隣
接して圧力検出手段20を収納する収納室19aを設
け、圧力室8と収納室19aを隔てる壁に設けられた圧
力導入路19bにより圧力検出手段20が圧力室8の圧
力を検出するようにすると共に、圧力検出手段20はシ
ール材21を介して圧力導入路19bを有する壁に仮固
定され、さらに、背面より保持具24によりシール材2
1を押圧しながら固定されるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、車両用内燃機関
等の排気ガス再循環システムに用いられる圧力応動式の
排気ガス再循環制御弁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図12及び図13は、従来の排気ガス再
循環制御弁の構成図と、これを用いた排気ガス再循環シ
ステムの系統図である。図12は例えば実公昭64−1
485号公報に開示された排気ガス再循環制御弁の構造
を示す断面図で、図において、排気ガス再循環制御弁1
は、上部ハウジング2aと、下部ハウジング2bと、両
ハウジングにより形成される内室を二分して設けられ受
圧板を構成するダイヤフラム3と、ダイヤフラム3に連
結され下端に弁体4を有する軸4aと、上部ハウジング
2aに取付けられた位置検出器10よりなり、下部ハウ
ジング2bには排気ガス導入口5と、排気ガス排出口6
と、これらを連通する排気ガス通路7が形成され、排気
ガス通路7には弁座7aが設けられて弁体4と共に弁を
構成している。また、上部ハウジング2aとダイヤフラ
ム3の間には圧力室8が形成されると共にバネ9が設け
られ、バネ9は弁体4と弁座7aよりなる弁を閉じる方
向に付勢されている。位置検出器10は軸4aと連動す
るロッド10aと、抵抗体10bと、ロッド10aを軸
4aに押圧するバネ10cと、ロッド10aに設けられ
たブラシ10dよりなり、抵抗体10bをブラシ10d
が摺動して弁の開度を検出する。
【0003】図13において、11は内燃機関、12と
13はその吸気管と排気管を示し、吸気管12と排気管
13の間には排気ガス還流管14が設けられ、排気ガス
還流管14の途中に排気ガス再循環制御弁1が設けられ
ている。15は負圧導入管で、負圧導入管15は吸気管
12の負圧を負圧調整弁16に導入し、負圧調整弁16
は圧力供給源として電子制御装置17の指令に基づいた
値の圧力を負圧導入管15を介して排気ガス再循環制御
弁1の圧力室8に供給する。また、18は大気圧センサ
である。
【0004】このように構成された排気ガス再循環シス
テム及び排気ガス再循環制御弁において、内燃機関11
の運転中、内燃機関の回転速度や負荷の状況、冷却水温
度等に応じた排気ガス還流量が電子制御装置17におい
て算定され、排気ガス還流量に応じた圧力値の指令が負
圧調整弁16に与えられて負圧調整弁16は排気ガス再
循環制御弁1に指令に基づいた負圧を供給する。排気ガ
ス再循環制御弁1はその圧力室8に負圧を受け、ダイヤ
フラム3を引き上げて弁体4と弁座7aよりなる弁を開
き、排気管13と吸気管12を連通せしめ、排気ガスを
吸気管12に再循環させる。弁体4と弁座7aよりなる
弁の開度は圧力室8の負圧値とバネ9の押圧力により決
まるため、排気ガスの還流量は電子制御装置17の圧力
指令値により決まることになる。位置検出器10は弁の
開度によりその出力が変わるポテンショメータであり、
弁の開度を検出して電子制御装置17にその値をフィー
ドバックし、電子制御装置17は圧力指令値と弁開度を
比較して圧力指令値を修正し、弁開度を目標値に設定す
る。なお、大気圧センサ18は大気圧により燃料供給量
を補正するもので、所謂空燃比の高地補正のためのもの
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た従来の排気ガス再循環制御弁においては、フィードバ
ック制御に使用される位置検出器10が、抵抗体10b
とこれを摺動するブラシ10dよりなるポテンショメー
タであるため、使用中に抵抗体10bの摩耗により位置
検出の誤差が発生し、ディーゼルエンジンのように長時
間使用される場合には、時間と共にこの検出誤差が増大
して排気ガス再循環制御に支障を来す結果、途中での交
換を余儀なくされるものであった。これに対し、特開平
1−227860号公報に開示されているように、圧力
供給源である負圧調整弁16と排気ガス再循環制御弁1
との間の負圧導入管15に圧力検出手段を介入させ、圧
力検出手段の出力を電子制御装置にフィードバックする
手法が提案されているが、この手法では、圧力導入管等
の流路がデッドボリュウムとなって、弁の開度に関与す
る圧力室の圧力の測定に対しては充分な追従性が得られ
ず、応答性を良くするためには学習機能や予測制御等、
煩雑な制御を必要とするものであった。
【0006】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、第1の目的は、圧力室の圧力を
直接検知してこれを電子制御装置にフィードバックさせ
ることにより、長期間にわたって信頼性の維持ができ、
応答性の良い排気ガス再循環制御弁を得ようとするもの
である。また、第2の目的は、圧力室の圧力を検知する
センサにより大気圧も検知し、大気圧センサを排除しよ
うとするものである。さらに、第3の目的は、圧力室の
圧力を直接検知するものにおいて、組立性と耐振性に優
れた排気ガス再循環制御弁を提供しようとするものであ
る。さらにまた、第4の目的は、部品の集積誤差による
特性誤差の修正や、特性の変更が容易にできる排気ガス
再循環制御弁を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係る排気ガス
再循環制御弁においては、排気ガス再循環制御弁の圧力
室に隣接して一体に構成された収納室に圧力検出手段を
収納し、圧力供給源より圧力室に与えられた流体の圧力
を、圧力室と収納室を連通する圧力導入路を介して圧力
検出手段により直接検出し、電子制御装置にフィードバ
ックするようにしたものである。
【0008】さらに、圧力室と収納室を連通する圧力導
入路の収納室側外周部にOリング等のシール材を収納す
る収納部と、収納室に収納された圧力検出手段をその背
面より保持する保持具と、この保持具を収納室に係合す
る係合手段とを設け、保持具を収納室に係合装着するこ
とにより、圧力検出手段がシール材収納部のシール材に
圧接しながら固定され、圧力検出手段の感圧部が大気と
は遮断されて圧力室と連通するようにしたものである。
【0009】また、圧力室の圧力を受けて弁を操作する
受圧板と共に圧力に対する弁の開度を設定するバネの、
受圧板に対する押圧力を圧力室の外部から調整具もしく
はネジにより変更または調整できるようにしたものであ
る。また、圧力検出手段を収納する収納室内の圧力検出
手段の周囲に、粒状体よりなる、または軟質の合成樹脂
よりなる緩衝材を充填するようにしたものである。ま
た、排気ガス再循環制御弁の圧力室に隣接して設けられ
た圧力検出手段に、圧力の絶対値を検出する絶対圧セン
サを使用するようにしたものである。
【0010】
【作用】上記のように構成された排気ガス再循環制御弁
においては、圧力検出手段が隣接する圧力室の圧力を直
接検知し、電子制御装置にフィードバックするので、圧
力を検出する流路にデッドボリュウムとなるものがな
く、学習機能や予測制御を必要とせずに応答性の良い制
御ができ、制御の単純化と高精度化が可能になる。ま
た、圧力検出手段には半導体圧力センサが使用でき、接
触摺動部分がなくなるので長期間の使用に対し高い信頼
性を得ることができる。また、空燃比の高地補正のため
の大気圧測定は、運転初期及び運転途中に適宜その値を
測定して電子制御装置に記憶させておけば良く、排気ガ
ス再循環制御弁の非動作時には圧力室は大気圧になって
いるため、内燃機関の始動前及び排気ガス再循環制御弁
の非動作時を検知して圧力室の圧力を測定し、これを大
気圧として記憶させておけば従来例の大気圧センサは不
必要となる。そのためには、圧力検出手段に圧力の絶対
値を測定する絶対圧センサを使用すれば良い。
【0011】さらに、圧力検出手段を収納する収納室の
開口側からシール材収納部にOリング等のシール材を装
着し、収納室の圧力導入路に圧力検出手段の圧力導入孔
が一致するように圧力検出手段を装着し、圧力検出手段
の背面より収納室のカバーを兼ねた保持具により圧力検
出手段がシール材を加圧するように固定し、収納室の係
合手段に保持具を係合装着するだけで組付けが完了し、
同時に圧力検出手段の感圧部の、大気に対する気密性
と、圧力室に対する連通が得られる。さらにまた、収納
室内の圧力検出手段周囲に緩衝材を充填することによ
り、圧力検出手段に加わる振動を軽減でき、緩衝材に例
えばゲル化シリコンのような樹脂材を使用する時にはシ
ール材の排除も可能になる。
【0012】また、圧力室の圧力に対する弁の開度は各
部品の精度によりバラツキが発生するが、バネの押圧力
を外部から調整することにより、圧力に対する弁開度特
性を平行移動させることができ、組立後の特性調整や特
性変更が可能になる。
【0013】
【実施の形態】
実施の形態1.図1はこの発明の一実施の形態である排
気ガス再循環制御弁の断面図、図2は図1のA−A線断
面を矢印方向にみた断面図、図3はこの発明の排気ガス
再循環制御弁を使用した排気ガス再循環システムの系統
図であり、図中、上記従来例と同一部分には同一符号を
付し、その説明を省略する。図において、19は上部ハ
ウジングで、上部ハウジング19には圧力室8に隣接し
て圧力検出手段20を収納する収納室19aが設けら
れ、圧力室8と収納室19aを仕切る壁には圧力導入路
19bが設けられて両室を連通している。19cは圧力
導入路19bの収納室19a側の外周部に設けられたリ
ング状のリブで、リブ19cと圧力導入路19bの間に
はシール材収納部が設けられ、Oリング等のシール材2
1が装着される。圧力検出手段20は感圧部であるセン
サとセンサの信号を増幅する増幅回路を含み、その圧力
導入孔20aが圧力導入路19bに連通するようにシー
ル材21を加圧しながら取付けられ、圧力検出手段20
の感圧部は大気とは遮断され、圧力室8と連通する。2
2は圧力検出手段20の出力用の基板であり出力端子2
3に接続される。24は収納室19aのカバーを兼ねた
圧力検出手段20の保持具であり、保持具24を取付け
ると同時に圧力検出手段20が収納室19a内に固定さ
れるように構成されている。
【0014】以上のように構成された実施の形態におい
て、内燃機関11の運転中、従来の排気ガス再循環シス
テムと同様、内燃機関の回転速度や負荷の状況、冷却水
温度等を信号入力として電子制御装置17は予めプログ
ラムされた排気ガス再循環量を算定し、算定結果を圧力
値指令として負圧調整弁16に与え、負圧調整弁16は
圧力供給源として指令に基づいた圧力を排気ガス再循環
制御弁1の圧力室8に与える。排気ガス再循環制御弁1
は導入された圧力値に基づいて弁を開き排気ガスを再循
環させると同時に、圧力室8の圧力は圧力導入路19
b,圧力導入孔20aを経て圧力検出手段20により検
出され、電子制御装置17にフィードバックされる。電
子制御装置17は指令した目標値とフィードバックされ
た検出値との差に応じた修正指令を出し、検出値を目標
値に一致させて弁の開度を目標値に設定し、算定された
量の排気ガスを再循環させる。
【0015】以上のようにこの実施の形態によれば、圧
力検出手段20が弁の操作に直接関与する圧力室8の圧
力を検出するようにしたので、上記従来例の摺動式の位
置検出器のような摺動部分の摩耗による検出誤差の発生
がなく、信頼性の向上が計れる。また、圧力検出流路に
デッドボリュームがないため応答性に優れ、短時間で弁
開度を目標値に一致させることのできる排気ガス再循環
制御弁が得られる。また、圧力センサ20は、大気圧と
の差を検出する所謂相対圧センサでも圧力の絶対値を検
出する絶対圧センサでも同様の効果が得られるが、絶対
圧センサを使用する場合、内燃機関の始動前及び排気ガ
ス再循環制御弁の非動作時には圧力室8の圧力が大気圧
になっているため、この時点での圧力を測定することに
より、空燃比を設定するための大気圧センサを省略する
ことができる。
【0016】実施の形態2.図4は実施の形態1で示し
た図1の圧力検出手段20と収納室19aの組付け状態
を示す縦断面図、図5は図4のB−B線断面を矢印方向
にみた断面図、図6は収納室19aの背面図である。こ
の実施の形態においては、収納室19aの内面にはその
上下方向に設けられた段部19fと、段部19fにより
拡大された内壁19eに段部19fから一定距離を置い
て突起19dが設けられており、また、出力端子23が
L字状に折り曲げられてその一端が収納室19a内に突
出している。収納室19aの外面の左右の壁面19gに
は嵌合溝19hが設けられており、カバーを兼ねた保持
具24には嵌合溝19hに係合するための係止部24a
と、組付時、圧力検出手段20を支承するためのホルダ
24bが設けられ、また、圧力検出手段20の基板22
には図示しないスルーホールが設けられて出力端子23
と係合接続されるようになっている。
【0017】この実施の形態は、圧力検出手段20の組
付性を良くするためのものであって、図に示すように、
まず、リブ19cと圧力導入路19bの間の面にシール
材21を装着し、続いて圧力検出手段20と一体になっ
た基板22の図示しないスルーホールに出力端子23の
一端を係合させながら、基板22が内壁19eの上下に
設けられた突起19dを乗り越えて段部19fに当接す
るところまで挿入する。基板22は内壁19eにより上
下方向に、出力端子23により左右方向に位置決めされ
るため、圧力検出手段20の先端の小径部外径はリング
状のリブ19cの内径に挿入され、圧力導入孔20aと
圧力導入路19bが連通するようにシール材21を押圧
しながら取付けられる。基板22は、突起19dと段部
19fの間に仮保持され、基板22と出力端子23との
電気的な接続が可能となる。さらに収納室19aのカバ
ーを兼ねた保持具24を取付け、係止部24aを収納室
外壁19gの嵌合溝19hに係合することにより、ホル
ダ24bが圧力検出手段20を押圧固定し、シール材2
1がリブ19cと圧力導入路19bの間の壁面と圧力検
出手段20の間に圧縮挟持されて、圧力検出手段20の
感圧部は大気に対する気密性と、圧力室8に対する連通
が得られ、組立が完了する。以上のようにこの実施の形
態によれば、構成部品の組付けが一方から連続的に行
え、締結のための部品も必要とせず、組付けの自動化が
容易に実現できる。
【0018】実施の形態3.図7はこの実施の形態の断
面図、図8はその背面図、図9はこの実施の形態の変形
例を示すものである。図7及び図8の実施の形態では、
保持具24は、実施の形態2の係止部24aとホルダ2
4bの機能を有するだけで大きく開口部を有し、この開
口部から収納室19a内の圧力検出手段20の周囲に、
軟質の樹脂よりなる緩衝材25を注入充填するようにし
たものである。また、図9に示す変形例は、実施の形態
2の収納室19a内の圧力検出手段20の周囲に、粒状
のまたはゴム状の緩衝材25を充填するようにしたもの
である。
【0019】圧力検出手段20に半導体圧力センサを使
用する場合、半導体圧力センサは内部に極細のボンディ
ングワイヤ等を使用しているため、特にその耐振性には
注意を要するものである。この実施の形態によれば、圧
力検出手段20の周囲に緩衝材25を充填するようにし
たので、内燃機関からの振動は緩衝材25に吸収され、
圧力検出手段20に加わる振動を低減することができ
る。また図7及び図8の実施の形態において、緩衝材2
5に例えばゲル化シリコン等のような軟質で密着性の良
い樹脂を使用することにより気密性と耐水性を得ること
ができ、シール材21を省略することも可能になる。
【0020】実施の形態4.図10はこの実施の形態の
構成を示す説明図であり、この実施の形態においては、
バネ9は一端が受圧板3に当接し、他端はバネ受け26
に当接して受圧板3を弁が閉じる方向に押圧している。
27は調整具であり、図の27a,27b,27c,に
示すように長さLの異なる複数の調整具が準備される。
組み付け後、調整具27を長さLの異なるものに交換す
ることによりバネ受け26の位置が変わり、バネ9の受
圧板3に対する押圧力を変えることができる。これによ
り、圧力室8の圧力に対する弁の開度特性が平行移動
し、開弁開始時の圧力室8の圧力や、所定圧力に対する
目標弁開度の調整が可能になり、各部品のバラツキによ
る製品特性のバラツキが最終工程で調整できる。
【0021】実施の形態5.図11はこの実施の形態の
構成を示す断面図であり、上記実施の形態4との違いは
上部ハウジング19にメネジ部28が設けられ、このメ
ネジ部28に螺合するオネジ29により、バネ受け26
の位置を連続的に変えられるようにしたものである。こ
の実施の形態では、各部品のバラツキによる製品特性の
バラツキが最終工程で連続的に修正できるものである。
【0022】また、上記実施の形態4とこの実施の形態
5においては、次の効果を合わせ持つものである。つま
り、圧力検出手段20に半導体圧力センサを用いる場
合、圧力に対する出力電圧のバラツキを調整し、さら
に、排気ガス再循環制御弁1の圧力に対する弁開度を調
整しなければならないが、排気ガス再循環制御弁1と圧
力検出手段20が一体化され、さらに最終工程で特性調
整ができるこれらの実施の形態では、半導体圧力センサ
の出力電圧に対する弁開度の調整を行うことにより、半
導体圧力センサの調整を簡略化することができるもので
ある。
【0023】
【発明の効果】この発明は、以上に説明したように、排
気ガス再循環制御弁の圧力室に隣接して接触摺動部を持
たない圧力検出手段を一体化して設け、圧力室の圧力を
直接検出できるようにしたので、長期間の使用に耐え、
応答性の良いフィードバック制御が可能な排気ガス再循
環制御システムを得ることができ、また、圧力検出手段
に絶対圧センサを用いることにより、空燃比制御用の大
気圧センサを省略することができる。さらに、構成部品
を一方向から連続的に順次組み付けて行くことにより、
圧力検出部の気密性を保持しながら容易に組立ができ、
組立自動化の容易な排気ガス再循環制御弁を得ることが
できる。さらにまた、簡単な構成で耐振性の良い排気ガ
ス再循環制御弁を得ることができ、また、製品完成後に
外部よりバネの押圧力を設定できるようにしたので、最
終工程で特性のバラツキを修正したり、特性の変更をし
たりすることができ、生産性と精度に優れた排気ガス再
循環制御弁を得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1の排気ガス再循環制
御弁の断面図である。
【図2】 図1のA−A線断面図である。
【図3】 この発明による排気ガス再循環制御システム
の系統図である。
【図4】 この発明の実施の形態2を説明するための縦
断面図である。
【図5】 図4のB−B線断面図である。
【図6】 この発明の図4の上部ハウジングの側面図で
ある。
【図7】 この発明の実施の形態3を説明するための断
面図である。
【図8】 この発明の実施の形態3を説明するための側
面図である。
【図9】 この発明の実施の形態3の変形例を示す断面
図である。
【図10】この発明の実施の形態4を説明するための構
成図である。
【図11】この発明の実施の形態5の排気ガス再循環制
御弁の断面図である。
【図12】従来の排気ガス再循環制御弁の断面図であ
る。
【図13】従来の排気ガス再循環制御システムの系統図
である。
【符号の説明】
1 排気ガス再循環制御弁、2b 下部ハウジング、3
受圧板、4 弁体、4a 軸、7 排気ガス通路、、
8 圧力室、9 バネ、19上部ハウジング、19a
収納室、19b 圧力導入路、19c リブ、20 圧
力検出手段、21 シール材、22 基板、23 出力
端子、24 保持具、

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内燃機関の運転状況に応じて圧力値を指
    示する電子制御装置、この電子制御装置により指示され
    た圧力値の流体が供給される圧力室を有する排気ガス再
    循環制御弁、この排気ガス再循環制御弁の圧力室に隣接
    してこれと一体に構成され圧力導入路を介して圧力室に
    連通する収納室、この収納室に配設され前記圧力導入路
    から導入される流体の圧力を検出する感圧部を有する圧
    力検出手段を備え、前記排気ガス再循環制御弁の圧力室
    に供給される流体の圧力値に応じて弁の開度を制御して
    排気ガス還流量を制御すると共に、前記流体の圧力値を
    前記電子制御装置にフィードバックすることにより、圧
    力室の圧力値と弁開度を目標値に設定するよう構成した
    ことを特徴とする排気ガス再循環制御装置。
  2. 【請求項2】 排気ガス再循環制御弁の圧力室と収納室
    を連通する圧力導入路の収納室側の外周部にシール材収
    納部を設けると共に、このシール材収納部にシール材を
    装着し、収納室に収納された圧力検出手段を背面より保
    持する保持具と収納室に係合手段を設け、前記保持具を
    前記収納室に係合装着することにより、圧力検出手段が
    シール材収納部のシール材に圧接しながら固定されるよ
    うに構成したことを特徴とする請求項1記載の排気ガス
    再循環制御装置。
  3. 【請求項3】 排気ガス再循環制御弁は、圧力室の圧力
    に応じて弁の開度を操作する受圧板と、この受圧板とバ
    ネ受けの間に配置され、受圧板と共に弁の開度を設定す
    るバネを有するものであって、前記バネ受けの位置が外
    部より調整可能に構成されていることを特徴とする請求
    項1または請求項2記載の排気ガス再循環制御装置。
  4. 【請求項4】 収納室内には、圧力検出手段の周囲に軟
    質の合成樹脂よりなる緩衝材が充填されていることを特
    徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項記載の排気
    ガス再循環制御装置。
  5. 【請求項5】 圧力検出手段は、流体圧力の絶対値を検
    出する絶対圧センサであることを特徴とする請求項1〜
    請求項4のいずれか一項記載の排気ガス再循環制御装
    置。
JP7247619A 1995-09-26 1995-09-26 排気ガス再循環制御装置 Pending JPH0988733A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7247619A JPH0988733A (ja) 1995-09-26 1995-09-26 排気ガス再循環制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7247619A JPH0988733A (ja) 1995-09-26 1995-09-26 排気ガス再循環制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0988733A true JPH0988733A (ja) 1997-03-31

Family

ID=17166210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7247619A Pending JPH0988733A (ja) 1995-09-26 1995-09-26 排気ガス再循環制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0988733A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999061775A1 (fr) * 1998-05-27 1999-12-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Clapet anti-retour pour gaz d'echappement
WO2003027551A1 (en) * 2001-09-24 2003-04-03 Hydrogenics Corporation Back pressure valve with dynamic pressure control

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999061775A1 (fr) * 1998-05-27 1999-12-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Clapet anti-retour pour gaz d'echappement
US6279552B1 (en) 1998-05-27 2001-08-28 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Exhaust gas re-circulation valve
WO2003027551A1 (en) * 2001-09-24 2003-04-03 Hydrogenics Corporation Back pressure valve with dynamic pressure control
US6866061B2 (en) 2001-09-24 2005-03-15 Hydrogenics Corporation Back pressure valve with dynamic pressure control

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4377145A (en) Intake vacuum sensing system with correction device for an internal combustion engine
US6923902B2 (en) Methods and apparatus for measuring NOx gas concentration, for detecting exhaust gas concentration and for calibrating and controlling gas sensor
CN111831022B (zh) 腔室压力控制方法及装置、半导体设备
US4198030A (en) Fluid operated valve positioner
US6789533B1 (en) Engine control system
US6041814A (en) Vacuum pressure control system
US6422206B1 (en) Combination pressure sensor and regulator for direct injection engine fuel system
JPH08233792A (ja) 流量及び圧力の測定及び制御のための方法及び装置
EP2034047A1 (en) Vaporizer/supplier of material and automatic pressure regulator for use therein
US5540083A (en) Leakage measuring apparatus
US5299447A (en) Air flow manifold system for providing two different mass air flow rates to a mass air flow sensor production calibration station
JPH0518324A (ja) 機関の排気ガス再循環制御装置
US20030195682A1 (en) Diagnostic method and system for a manifold air pressure sensor
US4903721A (en) Fuel pressure regulator
US6564642B1 (en) Stable differential pressure measuring system
US20010009163A1 (en) Combined sensor and flow controller provided with combined sensor
JPH0128210B2 (ja)
JPH0988733A (ja) 排気ガス再循環制御装置
US20030070494A1 (en) Air flow meter
JPH10310049A (ja) ブレーキブースタ装置
US4373490A (en) Fuel injection apparatus
US4201166A (en) Air to fuel ratio control system for internal combustion engine
US5029610A (en) Flow-control type piezoelectric element valve
US5099695A (en) Pressure detection apparatus
US6883219B2 (en) Method for manufacturing sensor device