JPH0982848A - Hybrid ic semiconductor device - Google Patents

Hybrid ic semiconductor device

Info

Publication number
JPH0982848A
JPH0982848A JP7241985A JP24198595A JPH0982848A JP H0982848 A JPH0982848 A JP H0982848A JP 7241985 A JP7241985 A JP 7241985A JP 24198595 A JP24198595 A JP 24198595A JP H0982848 A JPH0982848 A JP H0982848A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
hybrid
semiconductor device
metal case
fixing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7241985A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshitaka Sekine
敏孝 関根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP7241985A priority Critical patent/JPH0982848A/en
Publication of JPH0982848A publication Critical patent/JPH0982848A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/284Applying non-metallic protective coatings for encapsulating mounted components

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hybrid IC semiconductor device of a structure, wherein the reliability of the device is made to enhance and moreover, an increase in cost and the expansion of the size of the device can be suppressed, by a method wherein when the device is resin-sealed by a vacuum cast method, a cast agent is prevented from intruding into a gel-like resin. SOLUTION: A hybrid IC semiconductor device is constituted into such a structure that a second resin 21 is filled on a first resin 7, whereby when a cast agent is vacuum-cast, the cast agent is prevented from intruding into the interior of the device and by providing a means for fixing the resin 21 in a metal case 5, the resin 21 is prevented from being pushed out by a pressure due to bubbles in the resin 7 when the cast agent is vacuum-cast.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハイブリッドIC
半導体装置に関し、特に、真空注型に適したハイブリッ
ドIC半導体装置に関する。
The present invention relates to a hybrid IC.
The present invention relates to a semiconductor device, and particularly to a hybrid IC semiconductor device suitable for vacuum casting.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハイブリッドIC半導体装置では、電子
部品 (膜回路、トランジスタ、ダイオード、コンデンサ
等) を厚膜基板上に半田付けで接続することにより目的
の回路を構成しているが、その厚膜基板のパッケージ構
造には大別して2つの構造が従来より広く使用されてい
る。
2. Description of the Related Art In a hybrid IC semiconductor device, an electronic circuit (film circuit, transistor, diode, capacitor, etc.) is connected to a thick film substrate by soldering to form a target circuit. Two types of board package structures have been widely used from the past.

【0003】図9は、従来のハイブリッドIC半導体装
置の一例を示す断面図であり、回路を構成する電子部品
を半田付けした厚膜基板1が接着剤3で金属ケース5に
固定されており、金属ケース5内にはゲル状樹脂7が充
填されている。厚膜基板1と装置外部の電気的接続は、
厚膜基板1から直接取り出されたリード9によって行わ
れる。このような構造を有するハイブリッドIC半導体
装置は、取り付ける相手側の装置に、リード9を巻き付
けて半田付けや溶接等により接続が行われる。
FIG. 9 is a sectional view showing an example of a conventional hybrid IC semiconductor device, in which a thick film substrate 1 to which electronic components constituting a circuit are soldered is fixed to a metal case 5 with an adhesive 3. The metal case 5 is filled with a gel resin 7. Electrical connection between the thick film substrate 1 and the outside of the device
This is performed by the leads 9 directly taken out from the thick film substrate 1. In the hybrid IC semiconductor device having such a structure, the lead 9 is wound around the device on the other side to which the device is attached, and the device is connected by soldering, welding, or the like.

【0004】ところが、ハイブリッドIC半導体装置
は、通常、厚膜基板1等の機械的保護及び耐湿保護の目
的で樹脂封止されるが、例えば、その樹脂封止の方法と
して真空注型法を用いた場合に、上記構造のハイブリッ
ドIC半導体装置では、厚膜基板や電子部品に含まれる
水分や空気が泡となって発生すると、注型剤11がゲル
状樹脂7内に入り込み、ハイブリッドIC半導体装置の
信頼性を低下させるという問題を持っていた。例えば、
図10では、Aで示す部分において、注型剤11がゲル
状樹脂7内に入り込んでおり、ボンディングワイヤー1
3の変形を引き起こし、最悪、断線する可能性が生じて
いる。
However, the hybrid IC semiconductor device is usually resin-sealed for the purpose of mechanical protection and moisture resistance protection of the thick film substrate 1 and the like. For example, a vacuum casting method is used as the resin sealing method. In such a case, in the hybrid IC semiconductor device having the above structure, when the water or air contained in the thick film substrate or the electronic component is generated as bubbles, the casting agent 11 gets into the gel resin 7 and the hybrid IC semiconductor device. Had the problem of reducing the credibility of. For example,
In FIG. 10, in the portion indicated by A, the casting agent 11 has entered the gel-like resin 7, and the bonding wire 1
The deformation of No. 3 is caused, and in the worst case, there is a possibility of breaking the wire.

【0005】一方、上述した構造以外に、リードをコネ
クター形状とすることで取り付ける相手側の装置にソケ
ットによる接続が可能である、図11に示すような構造
のハイブリッドIC半導体装置も広く使用されている。
図11に示すハイブリッドIC半導体装置は、厚膜基板
1が接着剤3で金属プレート15に固定され、さらに、
金属プレート15には樹脂ケース17も接着剤3で固定
されており、金属プレート15と樹脂ケース17からな
る空間内にゲル状樹脂7が充填されている。また、樹脂
プレート19は、接着剤3により樹脂ケース17に接着
固定され、ハイブリッドIC半導体装置を封止している
ので、真空注型による樹脂封止を行う、図9に示すハイ
ブリッドIC半導体装置で問題となる注型剤の入り込み
による信頼性の低下は発生しない。
On the other hand, in addition to the structure described above, a hybrid IC semiconductor device having a structure as shown in FIG. 11 is widely used, in which the lead is formed into a connector shape so that the device can be connected to a mating device by a socket. There is.
In the hybrid IC semiconductor device shown in FIG. 11, the thick film substrate 1 is fixed to the metal plate 15 with the adhesive 3, and
A resin case 17 is also fixed to the metal plate 15 with an adhesive 3, and the space between the metal plate 15 and the resin case 17 is filled with the gel resin 7. Further, the resin plate 19 is adhered and fixed to the resin case 17 by the adhesive 3 to seal the hybrid IC semiconductor device. Therefore, the hybrid IC semiconductor device shown in FIG. There is no reduction in reliability due to the entry of the casting compound, which is a problem.

【0006】ところが、樹脂ケース17、樹脂プレート
19を使用するため、部品コストが高価になる、さら
に、樹脂ケース17に樹脂プレート19を接着している
ので、樹脂ケース17にある程度の厚みが必要となり、
ハイブリッドIC半導体装置のサイズを小さくすること
ができなかった。また、図12において、 (a) に示す
ように、図9のハイブリッドIC半導体装置では厚膜基
板1から直接リード9を取り出すことができたが、
(b) に示すように、図11のハイブリッドIC半導体
装置では厚膜基板1から直接リード9を取り出すことが
できないので、補助リード9Aを介して取り出すことと
なり、信頼性の低下が発生する可能性があった。
However, since the resin case 17 and the resin plate 19 are used, the parts cost is high. Further, since the resin plate 19 is bonded to the resin case 17, the resin case 17 needs to have a certain thickness. ,
The size of the hybrid IC semiconductor device could not be reduced. Further, as shown in FIG. 12A, in the hybrid IC semiconductor device of FIG. 9, the lead 9 could be directly taken out from the thick film substrate 1, but
As shown in FIG. 11B, in the hybrid IC semiconductor device of FIG. 11, the lead 9 cannot be taken out directly from the thick film substrate 1, so the lead 9 is taken out via the auxiliary lead 9A, which may cause deterioration in reliability. was there.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のハイブリッドIC半導体装置には、図9に示す構
造では、真空注型する際に、注型剤がゲル状樹脂内に入
り込み、ハイブリッドIC半導体装置の信頼性を低下さ
せるという問題を持っており、図11に示す構造では、
部品コストが高価になる、装置のサイズを小さくするこ
とができない、厚膜基板から直接リードを取り出すこと
ができないという問題があった。
As described above,
The conventional hybrid IC semiconductor device has a problem in that the structure shown in FIG. 9 causes the casting agent to enter the gel-like resin during vacuum casting, thereby reducing the reliability of the hybrid IC semiconductor device. , In the structure shown in FIG.
There are problems that the parts cost becomes high, the device size cannot be reduced, and the leads cannot be directly taken out from the thick film substrate.

【0008】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その目的は、真空注型法による樹脂封止をする際
に、注型剤がゲル状樹脂内に入り込むのを防ぐことによ
り、装置の信頼性を向上させ、さらに、コストアップ及
び装置サイズの拡大を抑えることができるハイブリッド
IC半導体装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to prevent a casting agent from entering a gel-like resin during resin sealing by a vacuum casting method. Another object of the present invention is to provide a hybrid IC semiconductor device capable of improving the reliability of the device and suppressing increase in cost and increase in device size.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに第1の発明は、回路を構成する電子部品等を半田付
けした回路基板と、前記回路基板を固定する金属ケース
と、前記電子部品等を保護するために前記金属ケース内
に充填される第1の樹脂を有するハイブリッドIC半導
体装置において、前記第1の樹脂上に充填される第2の
樹脂と、前記金属ケースに設けられ、前記第2の樹脂を
固定する手段を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide a circuit board to which electronic parts constituting a circuit are soldered, a metal case for fixing the circuit board, and an electronic device. In a hybrid IC semiconductor device having a first resin filled in the metal case for protecting components and the like, a second resin filled on the first resin and the metal case are provided. It has a means for fixing the second resin.

【0010】第2の発明は、前記第2の樹脂が、加熱に
より硬化する性質を有することを特徴とする。
A second invention is characterized in that the second resin has a property of being hardened by heating.

【0011】第3の発明は、前記第2の樹脂を固定する
手段が、前記金属ケース上端に設けられた突起であるこ
とを特徴とする。
A third invention is characterized in that the means for fixing the second resin is a protrusion provided on the upper end of the metal case.

【0012】第4の発明は、前記第2の樹脂を固定する
手段が、前記金属ケース上端に設けられた凹部であるこ
とを特徴とする。
A fourth aspect of the invention is characterized in that the means for fixing the second resin is a recess provided in the upper end of the metal case.

【0013】第5の発明は、前記第2の樹脂を固定する
手段が、前記金属ケース上端に設けられた貫通穴である
ことを特徴とする。
A fifth aspect of the invention is characterized in that the means for fixing the second resin is a through hole provided at the upper end of the metal case.

【0014】第6の発明は、前記第2の樹脂を固定する
手段が、前記金属ケースの側面の内側への絞りであるこ
とを特徴とする。
A sixth aspect of the invention is characterized in that the means for fixing the second resin is an inward drawing of the side surface of the metal case.

【0015】第7の発明は、回路を構成する電子部品等
を半田付けした回路基板と、前記回路基板を固定する金
属ケースと、前記電子部品等を保護するために前記金属
ケース内に充填される第1の樹脂を有するハイブリッド
IC半導体装置において、前記第1の樹脂上に充填さ
れ、加熱により硬化する第2の樹脂と、前記金属ケース
内に固定されるガイドを有し、前記第2の樹脂を前記ガ
イドに接着させることで前記金属ケースに固定すること
を特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, a circuit board to which electronic parts and the like which form a circuit are soldered, a metal case for fixing the circuit board, and a metal case for protecting the electronic parts and the like are filled in the metal case. In the hybrid IC semiconductor device having the first resin, the second resin has a second resin filled on the first resin and hardened by heating, and a guide fixed in the metal case. The resin is fixed to the metal case by adhering to the guide.

【0016】上記構成によれば、第1の樹脂上に加熱で
硬化する第2の樹脂を充填することにより、真空注型に
よる樹脂封止を行う際に、第1の樹脂内に注型剤が入り
込むことを防ぐことができるので、装置不良や信頼性の
低下を抑えることができる。
According to the above construction, by filling the first resin with the second resin which is hardened by heating, when the resin is sealed by vacuum casting, the casting agent is placed in the first resin. Since it can be prevented from entering, it is possible to suppress a device failure and a decrease in reliability.

【0017】また、真空注型する際に、第1の樹脂内の
気泡の圧力により第2の樹脂が押し出されることを防ぐ
ために、金属ケースの第2の樹脂を固定するための手段
を有しているのである。
Further, there is provided a means for fixing the second resin in the metal case in order to prevent the second resin from being pushed out by the pressure of the air bubbles in the first resin during the vacuum casting. -ing

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

第1の実施の形態 図1は、第1の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、従来例の図9
及び図11と同一部分には同一符号が付してある。
First Embodiment FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the first embodiment. In addition, FIG. 9 of the conventional example
The same parts as those in FIG. 11 are designated by the same reference numerals.

【0019】図1において、第1の実施の形態に係るハ
イブリッドIC半導体装置は、回路を構成する電子部品
を半田付けした厚膜基板1が接着剤3で金属ケース5に
固定されており、金属ケース5内にはゲル状樹脂7が充
填されている。厚膜基板1と装置外部の電気的接続は、
厚膜基板1から直接取り出されたリード9によって行わ
れる。ここまでは、従来例と同じであり、本発明の特徴
は、ゲル状樹脂7上に一定の硬度を有する熱硬化性樹脂
21を金属ケース7上端まで充填し、さらに、金属ケー
ス7上端に熱硬化性樹脂21を固定する固定部23Aを
有している点である。
Referring to FIG. 1, in the hybrid IC semiconductor device according to the first embodiment, a thick film substrate 1 to which electronic components constituting a circuit are soldered is fixed to a metal case 5 with an adhesive 3, The case 5 is filled with a gel resin 7. The electrical connection between the thick film substrate 1 and the outside of the device is
This is performed by the leads 9 directly taken out from the thick film substrate 1. The process up to this point is the same as in the conventional example, and the feature of the present invention is that the thermosetting resin 21 having a certain hardness is filled on the gel resin 7 up to the upper end of the metal case 7, and the upper end of the metal case 7 is heated. This is that it has a fixing portion 23A for fixing the curable resin 21.

【0020】熱硬化性樹脂21は、熱を加えると硬化す
る性質を有する樹脂のことをいい、例えばエポキシ樹脂
などがあり、一般に耐熱性、耐水性が優れている。室温
では熱硬化性樹脂21は液状であるので、リード9を厚
膜基板1から直接取り出すことができ、さらに、充填後
加熱することにより硬化するので、完全密閉することが
できる。また、真空注型する際に、注型剤がゲル状樹脂
7内に入り込むことを防ぐことができる。
The thermosetting resin 21 is a resin having a property of being hardened when heat is applied, and examples thereof include an epoxy resin and the like, and generally have excellent heat resistance and water resistance. Since the thermosetting resin 21 is liquid at room temperature, the leads 9 can be directly taken out from the thick film substrate 1 and further cured by heating after filling so that they can be completely sealed. Further, it is possible to prevent the casting agent from entering the gel-like resin 7 during vacuum casting.

【0021】固定部23Aは、金属ケース5上端に設け
られた内側への突起であり、真空注型する際に、硬化し
た熱硬化性樹脂21がゲル状樹脂7内の気泡の圧力によ
り外側に押し出されてしまうことを防ぎ、熱硬化性樹脂
21を金属ケース5に固定している。
The fixing portion 23A is an inward protrusion provided on the upper end of the metal case 5, and when the vacuum casting is performed, the hardened thermosetting resin 21 is moved outward by the pressure of the bubbles in the gel resin 7. The thermosetting resin 21 is fixed to the metal case 5 to prevent it from being pushed out.

【0022】このように、本実施の形態に係るハイブリ
ッドIC半導体装置は、ゲル状樹脂上に熱硬化性樹脂を
充填したことにより、真空注型する際に、注型剤がゲル
状樹脂内に入り込むことを防ぐことができるので、装置
不良や信頼性の低下を抑えることができる。また、熱硬
化性樹脂の金属ケースへの固定は、金属ケース上端に設
けた突起である固定部のみによるので、金属ケースの厚
みを必要とはせず、装置サイズを小さくすることができ
る。
As described above, in the hybrid IC semiconductor device according to the present embodiment, the gel-like resin is filled with the thermosetting resin so that the casting agent is placed in the gel-like resin during vacuum casting. Since it is possible to prevent the entry, it is possible to suppress a device defect and a decrease in reliability. Further, since the thermosetting resin is fixed to the metal case only by the fixing portion which is the protrusion provided on the upper end of the metal case, the thickness of the metal case is not required, and the device size can be reduced.

【0023】第2の実施の形態 図2は、第2の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Second Embodiment FIG. 2 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the second embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0024】図2において、金属ケース5の上端には外
側への突起である固定部23Bが設けられている。
In FIG. 2, a fixing portion 23B, which is an outward protrusion, is provided on the upper end of the metal case 5.

【0025】第3の実施の形態 図3は、第3の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Third Embodiment FIG. 3 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the third embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0026】図3において、金属ケース5の上端の内側
に凹部である固定部23Cが設けられている。
In FIG. 3, a fixing portion 23C, which is a concave portion, is provided inside the upper end of the metal case 5.

【0027】第4の実施の形態 図4は、第4の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Fourth Embodiment FIG. 4 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the fourth embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0028】図4において、金属ケース5の上端に貫通
穴である固定部23Dが設けられている。
In FIG. 4, a fixing portion 23D, which is a through hole, is provided at the upper end of the metal case 5.

【0029】第5の実施の形態 図5は、第5の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Fifth Embodiment FIG. 5 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the fifth embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0030】図5において、金属ケース5の側面に内側
への絞りである固定部23Eが設けられている。
In FIG. 5, a fixing portion 23E, which is an inward diaphragm, is provided on the side surface of the metal case 5.

【0031】第6の実施の形態 図6は、第6の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Sixth Embodiment FIG. 6 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the sixth embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0032】図6において、樹脂ガイド25は、金属ケ
ース5側面と厚膜基板1の間で金属ケース5底面に固定
され、樹脂ガイド25内にゲル状樹脂7が充填されてい
る。一方、熱硬化性樹脂21は、金属ケース5上端まで
充填され、樹脂ガイド25と金属ケース5の隙間に入り
込んでいる。
In FIG. 6, the resin guide 25 is fixed to the bottom surface of the metal case 5 between the side surface of the metal case 5 and the thick film substrate 1, and the resin guide 25 is filled with the gel resin 7. On the other hand, the thermosetting resin 21 is filled up to the upper end of the metal case 5 and enters the gap between the resin guide 25 and the metal case 5.

【0033】このように、本実施の形態に係るハイブリ
ッドIC半導体装置は、樹脂ガイド25と金属ケース5
の隙間に熱硬化性樹脂21を入り込ませて熱硬化性樹脂
21の接着面積を広くすることにより、熱硬化性樹脂2
1の接着力を大きくし、熱硬化性樹脂21を金属ケース
5に固定している。
As described above, the hybrid IC semiconductor device according to this embodiment has the resin guide 25 and the metal case 5.
The thermosetting resin 21 is allowed to enter the gap between the two to widen the bonding area of the thermosetting resin 21.
The adhesive force of 1 is increased and the thermosetting resin 21 is fixed to the metal case 5.

【0034】第7の実施の形態 図7は、第7の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Seventh Embodiment FIG. 7 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the seventh embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0035】図7において、金属ケース5の内側に樹脂
ガイド25が接着剤25で固定されている。ゲル状樹脂
7は樹脂ガイド25の下部まで充填され、その上に熱硬
化性樹脂21が充填されており、熱硬化性樹脂21は樹
脂ガイド25と広い接着面積で接着している。
In FIG. 7, a resin guide 25 is fixed inside the metal case 5 with an adhesive 25. The gel-like resin 7 is filled up to the lower part of the resin guide 25, and the thermosetting resin 21 is filled on it, and the thermosetting resin 21 is bonded to the resin guide 25 with a wide bonding area.

【0036】第8の実施の形態 図8は、第8の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。なお、図1、図9及
び図11と同一部分には同一符号が付してある。
Eighth Embodiment FIG. 8 is a sectional view showing the structure of a hybrid IC semiconductor device according to the eighth embodiment. The same parts as those in FIGS. 1, 9 and 11 are designated by the same reference numerals.

【0037】図8において、本実施の形態に係るハイブ
リッドIC半導体装置は、金属ケース5上端に、図1に
示す内側への突起、図3に示す内側への凹部、また、図
5に示す金属ケース5の側面の内側への絞りを組み合わ
せて、熱硬化性樹脂21を固定している。
In FIG. 8, the hybrid IC semiconductor device according to the present embodiment is provided with an inward projection shown in FIG. 1, an inward recess shown in FIG. 3, and a metal shown in FIG. The thermosetting resin 21 is fixed by combining an inward drawing of the side surface of the case 5.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ハ
イブリッドIC半導体装置を真空注型により樹脂封止を
する際に、注型剤が装置内部に入り込むことを防ぐこと
により装置不良や装置の信頼性の低下を抑えることがで
きる。
As described above, according to the present invention, when a hybrid IC semiconductor device is resin-molded by vacuum casting, the casting agent is prevented from entering the inside of the device, and thus the device is defective. It is possible to suppress a decrease in reliability.

【0039】また、装置の部品コストを抑え、装置サイ
ズを小さくすることができる。
Further, the cost of parts of the device can be suppressed and the size of the device can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a first embodiment.

【図2】第2の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a second embodiment.

【図3】第3の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a third embodiment.

【図4】第4の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a fourth embodiment.

【図5】第5の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a fifth embodiment.

【図6】第6の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a sixth embodiment.

【図7】第7の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to a seventh embodiment.

【図8】第8の実施の形態に係るハイブリッドIC半導
体装置の構成を示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing a configuration of a hybrid IC semiconductor device according to an eighth embodiment.

【図9】従来のハイブリッドIC半導体装置の一例を示
す断面図である。
FIG. 9 is a sectional view showing an example of a conventional hybrid IC semiconductor device.

【図10】図9に示す従来のハイブリッドIC半導体装
置の問題点を説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining a problem of the conventional hybrid IC semiconductor device shown in FIG.

【図11】従来のハイブリッドIC半導体装置の他の例
を示す断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing another example of a conventional hybrid IC semiconductor device.

【図12】図11に示す従来のハイブリッドIC半導体
装置の問題点を説明するための図である。
FIG. 12 is a diagram for explaining a problem of the conventional hybrid IC semiconductor device shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 厚膜基板 3 接着剤 5 金属ケース 7 ゲル状樹脂 9、9A リード 11 注型剤 13 ボンティングワイヤー 15 金属プレート 17 樹脂ケース 19 樹脂プレート 21 熱硬化性樹脂 23A、23B、23C、23D、23E、23F 固
定部 25 樹脂ガイド
1 Thick Film Substrate 3 Adhesive 5 Metal Case 7 Gel Resin 9, 9A Lead 11 Casting Agent 13 Bonding Wire 15 Metal Plate 17 Resin Case 19 Resin Plate 21 Thermosetting Resin 23A, 23B, 23C, 23D, 23E, 23F Fixed part 25 Resin guide

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路を構成する電子部品等を半田付けし
た回路基板と、前記回路基板を固定する金属ケースと、
前記電子部品等を保護するために前記金属ケース内に充
填される第1の樹脂を有するハイブリッドIC半導体装
置において、 前記第1の樹脂上に充填される第2の樹脂と、 前記金属ケースに設けられ、前記第2の樹脂を固定する
手段を有することを特徴とするハイブリッドIC半導体
装置。
1. A circuit board to which an electronic component or the like forming a circuit is soldered, and a metal case for fixing the circuit board,
A hybrid IC semiconductor device having a first resin filled in the metal case to protect the electronic component, the second resin being filled on the first resin, and provided on the metal case. And a means for fixing the second resin, the hybrid IC semiconductor device.
【請求項2】 前記第2の樹脂が、加熱により硬化する
性質を有することを特徴とする請求項1記載のハイブリ
ッドIC半導体装置。
2. The hybrid IC semiconductor device according to claim 1, wherein the second resin has a property of being hardened by heating.
【請求項3】 前記第2の樹脂を固定する手段が、前記
金属ケース上端に設けられた突起であることを特徴とす
る請求項1又は2記載のハイブリッドIC半導体装置。
3. The hybrid IC semiconductor device according to claim 1, wherein the means for fixing the second resin is a protrusion provided on the upper end of the metal case.
【請求項4】 前記第2の樹脂を固定する手段が、前記
金属ケース上端に設けられた凹部であることを特徴とす
る請求項1又は2記載のハイブリッドIC半導体装置。
4. The hybrid IC semiconductor device according to claim 1, wherein the means for fixing the second resin is a recess provided at the upper end of the metal case.
【請求項5】 前記第2の樹脂を固定する手段が、前記
金属ケース上端に設けられた貫通穴であることを特徴と
する請求項1又は2記載のハイブリッドIC半導体装
置。
5. The hybrid IC semiconductor device according to claim 1, wherein the means for fixing the second resin is a through hole provided at an upper end of the metal case.
【請求項6】 前記第2の樹脂を固定する手段が、前記
金属ケースの側面の内側への絞りであることを特徴とす
る請求項1又は2記載のハイブリッドIC半導体装置。
6. The hybrid IC semiconductor device according to claim 1, wherein the means for fixing the second resin is an inward drawing of the side surface of the metal case.
【請求項7】 回路を構成する電子部品等を半田付けし
た回路基板と、前記回路基板を固定する金属ケースと、
前記電子部品等を保護するために前記金属ケース内に充
填される第1の樹脂を有するハイブリッドIC半導体装
置において、 前記第1の樹脂上に充填され、加熱により硬化する第2
の樹脂と、 前記金属ケース内に固定されるガイドを有し、 前記第2の樹脂を前記ガイドに接着させることで前記金
属ケースに固定することを特徴とするハイブリッドIC
半導体装置。
7. A circuit board to which an electronic component forming a circuit is soldered, and a metal case for fixing the circuit board,
A hybrid IC semiconductor device having a first resin filled in the metal case to protect the electronic component, the second IC being filled on the first resin and being cured by heating.
And a guide fixed in the metal case. The hybrid IC is fixed to the metal case by adhering the second resin to the guide.
Semiconductor device.
JP7241985A 1995-09-20 1995-09-20 Hybrid ic semiconductor device Pending JPH0982848A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7241985A JPH0982848A (en) 1995-09-20 1995-09-20 Hybrid ic semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7241985A JPH0982848A (en) 1995-09-20 1995-09-20 Hybrid ic semiconductor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0982848A true JPH0982848A (en) 1997-03-28

Family

ID=17082538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7241985A Pending JPH0982848A (en) 1995-09-20 1995-09-20 Hybrid ic semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0982848A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006190725A (en) * 2005-01-04 2006-07-20 Hitachi Ltd Resin-sealing engine controller and its manufacturing method
JP2008186955A (en) * 2007-01-29 2008-08-14 Hitachi Ltd Module device
JP2008270688A (en) * 2007-04-25 2008-11-06 Hitachi Ltd Electric and electronic module for motor vehicle
JP2009173250A (en) * 2008-01-28 2009-08-06 Hitachi Ltd Resin-sealing electronic module and its resin sealing molding method
JP2013065598A (en) * 2011-09-15 2013-04-11 Shindengen Electric Mfg Co Ltd Semiconductor device
JP2015198227A (en) * 2014-04-03 2015-11-09 富士電機株式会社 semiconductor device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006190725A (en) * 2005-01-04 2006-07-20 Hitachi Ltd Resin-sealing engine controller and its manufacturing method
JP2008186955A (en) * 2007-01-29 2008-08-14 Hitachi Ltd Module device
JP2008270688A (en) * 2007-04-25 2008-11-06 Hitachi Ltd Electric and electronic module for motor vehicle
JP2009173250A (en) * 2008-01-28 2009-08-06 Hitachi Ltd Resin-sealing electronic module and its resin sealing molding method
JP2013065598A (en) * 2011-09-15 2013-04-11 Shindengen Electric Mfg Co Ltd Semiconductor device
JP2015198227A (en) * 2014-04-03 2015-11-09 富士電機株式会社 semiconductor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5523608A (en) Solid state imaging device having a solid state image sensor and its peripheral IC mounted on one package
US6777268B2 (en) Method of fabricating tape attachment chip-on-board assemblies
US10720534B2 (en) Pressure sensor and pressure sensor module
JP2019016689A (en) Electronic control device and manufacturing method of the same
JP4884406B2 (en) Resin-sealed electronic module and resin-sealing molding method thereof
US6605779B2 (en) Electronic control unit
US8242587B2 (en) Electronic device and pressure sensor
JPH0982848A (en) Hybrid ic semiconductor device
JP2006108306A (en) Lead frame and semiconductor package employing it
JP4513758B2 (en) Mold package and manufacturing method thereof
JPH11330317A (en) Hybrid integrated circuit device and its manufacture
JPH03161958A (en) Structure of plastic pin grid array type semiconductor package
KR100237912B1 (en) Packaged semiconductor, semiconductor device made therewith and method for making same
JPS61194754A (en) Semiconductor device
JP2003086925A (en) Printed board with moisture-proofing structure and its manufacturing method
JP2000252416A (en) Power semiconductor device
KR960012635B1 (en) Method for fabricating the semiconductor package
JP2010251614A (en) Semiconductor module and method of manufacturing the same
JP2009158825A (en) Semiconductor device
US6856028B1 (en) Semiconductor device having an improved mounting structure
KR100567045B1 (en) A package
JP2771475B2 (en) Semiconductor device
JP2002261197A (en) Electronic circuit device for automobile
JP2001102714A (en) Resin encapsulated printed wiring board
KR200216619Y1 (en) Semiconductor package

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees