JPH0981249A - High frequency power supply - Google Patents
High frequency power supplyInfo
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- JPH0981249A JPH0981249A JP23377595A JP23377595A JPH0981249A JP H0981249 A JPH0981249 A JP H0981249A JP 23377595 A JP23377595 A JP 23377595A JP 23377595 A JP23377595 A JP 23377595A JP H0981249 A JPH0981249 A JP H0981249A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、負荷にパルス的な
高周波電力を供給するための高周波電源に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high frequency power supply for supplying pulsed high frequency power to a load.
【０００２】[0002]
【従来の技術】負荷にパルス的な高周波電源を供給する
高周波電源の一例を図１に示す。この図１の高周波電源
は、高い（速い）周期の高周波電力を得るに適した電源
である。図において、発振器１からの高周波は、自動ゲ
イン制御回路２、高周波電力増幅器３，負荷に供給され
る高周波出力をモニタするカプラ４を介して高周波出力
端子５に供給される。端子５は適宜な負荷（図示せず）
に接続されている。2. Description of the Related Art FIG. 1 shows an example of a high frequency power source for supplying a pulsed high frequency power source to a load. The high frequency power supply of FIG. 1 is a power supply suitable for obtaining high frequency (high speed) high frequency power. In the figure, the high frequency from the oscillator 1 is supplied to a high frequency output terminal 5 via an automatic gain control circuit 2, a high frequency power amplifier 3, and a coupler 4 that monitors a high frequency output supplied to a load. Terminal 5 is an appropriate load (not shown)
It is connected to the.
【０００３】カプラ４から得られた高周波入力電力に比
例した信号は、比較回路６に供給され、出力設定器７か
らの基準出力と比較される。比較回路６には、演算増幅
器８と並列にコンデンサＣと抵抗Ｒとが設けられている
が、これは、高周波の位相を安定させるためのものであ
る。比較回路６からの制御信号は、自動ゲイン制御回路
２に供給される。更に、比較回路６の出力側には、パル
ス発生器９とトランジスタ１０から成るパルス制御回路
１１が接続されている。A signal proportional to the high frequency input power obtained from the coupler 4 is supplied to the comparison circuit 6 and compared with the reference output from the output setting device 7. The comparator circuit 6 is provided with a capacitor C and a resistor R in parallel with the operational amplifier 8 for stabilizing the phase of high frequencies. The control signal from the comparison circuit 6 is supplied to the automatic gain control circuit 2. Further, the output side of the comparison circuit 6 is connected with a pulse control circuit 11 including a pulse generator 9 and a transistor 10.
【０００４】このような構成で、発振器１から発生し高
周波増幅器３によって増幅され、高周波出力端子５に供
給される高周波電力に比例した信号Ｐｆは、カプラ４に
よって得られ比較回路６に供給される。比較回路では、
信号Ｐｆと出力設定器７からの基準出力信号と比較し、
その差信号を自動ゲイン制御回路２に供給する。その結
果、負荷に供給される高周波電力値は、所望の値に制御
される。With such a configuration, the signal Pf generated from the oscillator 1 and amplified by the high frequency amplifier 3 and proportional to the high frequency power supplied to the high frequency output terminal 5 is obtained by the coupler 4 and supplied to the comparison circuit 6. . In the comparison circuit,
Compare the signal Pf with the reference output signal from the output setting device 7,
The difference signal is supplied to the automatic gain control circuit 2. As a result, the high frequency power value supplied to the load is controlled to a desired value.
【０００５】さて、負荷に供給する高周波電力をパルス
的に動作させる場合、パルス制御回路１１が用いられ
る。パルス制御回路１１のパルス発生器９からは、図２
（ａ）に示すパルス信号が発生する。一方、出力設定器
７からは、図２（ｂ）に示す負の設定信号が出力され
る。図２（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示して
おり、カプラ４からの信号と出力設定器７からの信号の
差信号が得られる。なお、この出力信号が時間と共にレ
ベルが下がっているのは、Ｃ，Ｒの時定数によるためで
ある。When the high frequency power supplied to the load is operated in a pulsed manner, the pulse control circuit 11 is used. 2 from the pulse generator 9 of the pulse control circuit 11.
The pulse signal shown in (a) is generated. On the other hand, the output setting device 7 outputs the negative setting signal shown in FIG. FIG. 2C shows the output signal from the comparison circuit 6, and the difference signal between the signal from the coupler 4 and the signal from the output setting device 7 is obtained. Note that the level of this output signal decreases with time because of the time constants of C and R.
【０００６】図２（ｄ）は、自動ゲイン制御回路２に供
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図２（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図２
（ｅ）のようにパルス的に動作する。なお、この図２の
信号波形図で説明したケースは、パルス動作が高周期
（速い周期）で行われる場合であり、例えば、パルス周
期は１０ｓｅｃ程度である。FIG. 2D shows a gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2. This control signal is applied to the output of the pulse generator 9 when the output of the pulse generator 9 of FIG. 2A is on, the transistor 10 is in a conductive state, and the output signal from the comparison circuit 6 flows into the transistor 10. According to the pulse. As a result, the output of the high frequency power by the automatic gain control circuit 2 is
It operates like a pulse as in (e). The case described with reference to the signal waveform diagram of FIG. 2 is a case where the pulse operation is performed in a high cycle (fast cycle), and the pulse cycle is, for example, about 10 sec.
【０００７】図３に示した波形図は、図１の電源によっ
て低周期のパルス動作をさせた場合を示している。図３
で、（ａ）はパルス発生器９の出力、（ｂ）は出力設定
器７の出力、（ｃ）は比較回路６の出力、（ｄ）は自動
ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、（ｅ）
は高周波出力をそれぞれ示している。この場合、パルス
周期が遅い（例えば１０００ｓｅｃ）ので、図３（ｃ）
に示すように、比較回路６の出力信号波形は、パルス発
生器９からのパルスがオフの際には、ＣＲの時定数に応
じて立ち下がる。The waveform diagram shown in FIG. 3 shows a case where a pulse operation with a low cycle is performed by the power supply shown in FIG. FIG.
Where (a) is the output of the pulse generator 9, (b) is the output of the output setting device 7, (c) is the output of the comparison circuit 6, and (d) is the gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2. , (E)
Indicates high-frequency output, respectively. In this case, since the pulse cycle is slow (for example, 1000 sec), FIG.
As shown in, the output signal waveform of the comparison circuit 6 falls according to the time constant of CR when the pulse from the pulse generator 9 is off.
【０００８】この立下がりの際、最初カプラ４からの出
力が０であるので、図３（ｄ）に示すように、電力をも
っと流すように自動ゲイン制御回路２へ供給される制御
信号は高くなる。この結果、高周波出力信号は、図３
（ｅ）に示すように、パルスの立下がり時にオーバーシ
ュートが発生する。At the time of this fall, since the output from the coupler 4 is 0 at first, the control signal supplied to the automatic gain control circuit 2 so as to flow more power is high as shown in FIG. 3 (d). Become. As a result, the high frequency output signal is
As shown in (e), overshoot occurs when the pulse falls.
【０００９】図４は低い（遅い）周期の高周波電力を得
るに適した電源を示しており、図１の電源と同一部分に
は同一番号を付してある。この図４では、比較回路６に
供給される基準出力を、直流の設定器７からパルス発生
器１２によって発生させるようにしている。また、図１
のパルス制御回路１１は除かれており、比較回路６から
の信号が自動ゲイン制御回路２に直接供給される。FIG. 4 shows a power supply suitable for obtaining a high frequency power of a low (slow) cycle, and the same parts as those of FIG. 1 are designated by the same reference numerals. In FIG. 4, the reference output supplied to the comparison circuit 6 is generated by the pulse generator 12 from the DC setting device 7. Also, FIG.
The pulse control circuit 11 is removed and the signal from the comparison circuit 6 is directly supplied to the automatic gain control circuit 2.
【００１０】この電源で、パルス発生器１２のパルスを
低周期にして低周期動作をさせると、図５の動作波形が
得られる。図５（ａ）はパルス発生器１２からの低周期
のパルスであり、（ｂ）は比較回路６に供給される設定
出力、（ｃ）は比較回路６からの制御信号、（ｄ）は自
動ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号（この
場合は（ｃ）の波形と同じである）、（ｅ）は高周波出
力をそれぞれ示している。When the pulse of the pulse generator 12 is set to a low cycle and a low cycle operation is performed with this power supply, the operation waveform of FIG. 5 is obtained. FIG. 5A is a low-cycle pulse from the pulse generator 12, FIG. 5B is a setting output supplied to the comparison circuit 6, FIG. 5C is a control signal from the comparison circuit 6, and FIG. The gain control signal (in this case, the waveform is the same as that of (c)) supplied to the gain control circuit 2 and (e) are high-frequency outputs, respectively.
【００１１】一方、図４の電源において高周期動作をさ
せる場合、パルス発生器１２は高周波パルスを発生す
る。この場合、図６の動作波形が得られる。図６（ａ）
はパルス発生器１２からの高周期のパルスであり、
（ｂ）は比較回路６に供給される設定出力、（ｃ）は比
較回路６からの制御信号、（ｄ）は自動ゲイン制御回路
２に供給されるゲイン制御回路（この場合は（ｃ）の波
形と同じである）、（ｅ）は高周波出力をそれぞれ示し
ている。On the other hand, when the power supply of FIG. 4 is operated in a high cycle, the pulse generator 12 generates high frequency pulses. In this case, the operation waveform of FIG. 6 is obtained. FIG. 6 (a)
Is a high frequency pulse from the pulse generator 12,
(B) is a setting output supplied to the comparison circuit 6, (c) is a control signal from the comparison circuit 6, and (d) is a gain control circuit supplied to the automatic gain control circuit 2 (in this case, (c) (Same as waveform), (e) shows high-frequency output, respectively.
【００１２】この図４の電源でパルス動作をさせると、
比較回路６からの信号は、比較回路６のＣ，Ｒの時定数
により、立上がりと立ち下がりでなまった波形となる。
このなまりは１ｓｅｃ程度であり、１０００ｓｅｃ低周
期のパルス動作の場合には、問題とならないが、１０ｓ
ｅｃの高い周期でパルス動作をさせる場合には、図６
（ｅ）に示すように、パルス高周波出力の立上がりと立
ち下がりでのなまりは目だって大きいものとなり、無視
し得ない。When the pulse operation is performed by the power supply of FIG. 4,
The signal from the comparison circuit 6 has a waveform blunted at the rising and falling edges due to the time constants of C and R of the comparison circuit 6.
This rounding is about 1 sec, which is not a problem in the case of pulse operation with a low cycle of 1000 sec, but 10s
When the pulse operation is performed at a high cycle of ec, as shown in FIG.
As shown in (e), the rise and fall of the pulse high-frequency output becomes noticeably large and cannot be ignored.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】上記したように、図１
に示した高周期に適した電源で低周期動作をさせるとオ
ーバーシュートが発生し、また、図４に示した低周期に
適した電源で高周期動作をさせると高周波出力パルスの
立上がりと立ち下がりがなまってしまう。As described above, FIG.
When a low cycle operation is performed with a power supply suitable for the high cycle shown in Fig. 4, an overshoot occurs, and when a high cycle operation is performed with a power supply suitable for the low cycle shown in Fig. 4, the high frequency output pulse rises and falls. Will get angry.
【００１４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、高周期と低周期動作をさせても、
オーバーシュートが発生せず、また、パルスの立上がり
と立ち下がりのなまりが発生しないパルス高周波電源を
実現するにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to perform high cycle and low cycle operations.
It is to realize a pulse high frequency power supply in which overshoot does not occur and rounding and rising of a pulse do not occur.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
高周波電源は、高周波発振器と、高周波発振器からの出
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号をパルス的にオンオフするように
構成したことを特徴としている。A high frequency power source according to the present invention comprises a high frequency oscillator, a means for controlling a gain of an output from the high frequency oscillator, and a means for monitoring a high frequency output signal supplied to a load. A comparing means for comparing the signal from the monitor means with the reference output signal; and a high-frequency power source configured to supply the signal from the comparing means to the gain control means, while turning on / off the signal from the comparing means in a pulsed manner. The reference output signal is turned on and off in a pulsed manner in synchronism with turning on and off of the signal from the comparing means.
【００１６】請求項１の発明においては、高周波出力信
号をモニタする手段と基準出力信号とを比較する比較手
段から、ゲイン制御手段に供給される信号をパルス的に
オンオフすると共に、この信号のオンオフに同期して基
準出力信号をオンオフし、高周期のパルス動作でも低周
期のパルス動作でもきれいな波形のパルス高周波出力を
得る。According to the first aspect of the invention, the signal supplied to the gain control means from the comparison means for comparing the high frequency output signal with the reference output signal is turned on and off in a pulsed manner, and the signal is turned on and off. The reference output signal is turned on and off in synchronism with the pulse output to obtain a high-frequency pulse high-frequency output with a clean waveform in both high-cycle pulse operation and low-cycle pulse operation.
【００１７】請求項２の発明に基づく高周波電源は、高
周波発振器と、高周波発振器からの出力のゲインを制御
する手段と、負荷に供給される高周波出力信号をモニタ
する手段と、モニタ手段からの信号と基準出力信号とを
比較する比較手段と、比較手段からの信号をゲイン制御
手段に供給するように構成した高周波電源において、比
較手段からの信号をパルス的にオンオフすると共に、こ
の比較手段からの信号のオンオフに同期して、基準出力
信号とモニタ手段からの信号をパルス的にオンオフする
ように構成したことを特徴としている。A high frequency power source according to the present invention is a high frequency oscillator, a means for controlling a gain of an output from the high frequency oscillator, a means for monitoring a high frequency output signal supplied to a load, and a signal from the monitoring means. In the high-frequency power source configured to supply the signal from the comparison means to the gain control means, the signal from the comparison means is turned on and off in a pulsed manner, and the comparison means compares the reference output signal with the reference output signal. It is characterized in that the reference output signal and the signal from the monitor means are turned on and off in a pulsed manner in synchronization with the turning on and off of the signal.
【００１８】請求項２の発明においては、高周波出力信
号をモニタする手段と基準出力信号とを比較する比較手
段から、ゲイン制御手段に供給される信号をパルス的に
オンオフすると共に、この信号のオンオフに同期して基
準出力信号とモニタ手段からの信号をオンオフし、高周
期のパルス動作でも低周期のパルス動作でもきれいな波
形のパルス高周波出力を得る。In a second aspect of the invention, the signal supplied to the gain control means from the comparison means for comparing the high frequency output signal with the reference output signal is turned on / off in a pulsed manner, and the signal is turned on / off. The reference output signal and the signal from the monitor means are turned on and off in synchronism with, to obtain a pulsed high frequency output having a clean waveform in both the high-cycle pulse operation and the low-cycle pulse operation.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図７は本発明に基づくパルス高周
波電源の一例を示しており、図１の従来の電源と同一部
分には同一番号を付してその詳細な説明は省略する。こ
の図７の電源と図１の電源と相違する点は、出力設定器
７から比較回路８に供給する基準出力信号をパルス制御
回路１３によってオンオフするようにした点である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 7 shows an example of a pulsed high frequency power supply according to the present invention. The same parts as those of the conventional power supply of FIG. 1 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted. The power supply shown in FIG. 7 differs from the power supply shown in FIG. 1 in that the pulse control circuit 13 turns on and off the reference output signal supplied from the output setting device 7 to the comparison circuit 8.
【００２０】パルス制御回路１３は、パルス発生器１
４、反転器１５、トランジスタ１６とから構成されてお
り、パルス発生器１４は、パルス制御回路１０のパルス
発生器８と同期して同一のパルスを発生する。このよう
な構成の動作を次に説明する。The pulse control circuit 13 includes a pulse generator 1
4, pulse inverter 14, and transistor 16, and pulse generator 14 generates the same pulse in synchronization with pulse generator 8 of pulse control circuit 10. The operation of such a configuration will now be described.
【００２１】まず、低周期動作をさせる場合、パルス制
御回路１１のパルス発生器９からは、図８（ａ）に示す
パルス信号が発生する。一方、パルス制御回路１３のパ
ルス発生器１４からは、図８（ａ）に示すパルス信号と
同期したパルス信号が発生されることから、出力設定器
７の出力信号はオンオフされ、比較回路６には、図８
（ｂ）に示す負のパルス設定信号が出力される。図８
（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示しており、カ
プラ４からの信号とオンオフされた基準出力信号の差信
号が得られる。First, when the low cycle operation is performed, the pulse generator 9 of the pulse control circuit 11 generates the pulse signal shown in FIG. 8 (a). On the other hand, since the pulse signal synchronized with the pulse signal shown in FIG. 8A is generated from the pulse generator 14 of the pulse control circuit 13, the output signal of the output setting device 7 is turned on and off, and the comparison circuit 6 Is shown in FIG.
The negative pulse setting signal shown in (b) is output. FIG.
(C) shows an output signal from the comparison circuit 6, and a difference signal between the signal from the coupler 4 and the reference output signal which is turned on / off is obtained.
【００２２】図８（ｄ）は、自動ゲイン制御回路２に供
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図８（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図８
（ｅ）のようにパルス的に動作する。FIG. 8D shows the gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2. This control signal is applied to the output of the pulse generator 9 when the output of the pulse generator 9 of FIG. 8A is on, the transistor 10 is in a conductive state, and the output signal from the comparison circuit 6 flows into the transistor 10. According to the pulse. As a result, the output of the high frequency power by the automatic gain control circuit 2 is as shown in FIG.
It operates like a pulse as in (e).
【００２３】このように、図７に示した電源では、パル
ス発生器９からのパルスがオフの時、カプラ４からの出
力が０であり、また、比較回路６に供給される基準出力
信号も０となるため、図８（ｅ）に示すように、高周波
出力パルスの立上がりの際にオーバーシュートは発生し
ない。Thus, in the power supply shown in FIG. 7, when the pulse from the pulse generator 9 is off, the output from the coupler 4 is 0, and the reference output signal supplied to the comparison circuit 6 is also Since it becomes 0, as shown in FIG. 8 (e), no overshoot occurs when the high frequency output pulse rises.
【００２４】一方、図７の電源で高周期動作をさせる場
合、パルス制御回路１１のパルス発生器９からは、図９
（ａ）に示すパルス信号が発生し、また、パルス制御回
路１３のパルス発生器１４からは、図９（ａ）に示すパ
ルス信号と同期したパルス信号が発生されることから、
出力設定器７の出力信号はオンオフされ、比較回路６に
は、図９（ｂ）に示す負のパルス設定信号が出力され
る。図９（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示して
おり、カプラ４からの信号とパルス制御回路１３からの
信号の差信号が得られる。なお、この出力信号が時間と
共にレベルが下がっているのは、Ｃ，Ｒの時定数による
ためである。On the other hand, when the power source of FIG. 7 is used to perform a high cycle operation, the pulse generator 9 of the pulse control circuit 11 operates as shown in FIG.
Since the pulse signal shown in (a) is generated and the pulse signal synchronized with the pulse signal shown in FIG. 9 (a) is generated from the pulse generator 14 of the pulse control circuit 13,
The output signal of the output setter 7 is turned on and off, and the negative pulse setting signal shown in FIG. 9B is output to the comparison circuit 6. FIG. 9C shows the output signal from the comparison circuit 6, and the difference signal between the signal from the coupler 4 and the signal from the pulse control circuit 13 is obtained. Note that the level of this output signal decreases with time because of the time constants of C and R.
【００２５】図９（ｄ）は、自動ゲイン制御回路２に供
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図９（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図９
（ｅ）のようにパルス的にきれいな波形で動作する。FIG. 9D shows a gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2. This control signal is applied to the output of the pulse generator 9 when the output of the pulse generator 9 of FIG. 9A is on, the transistor 10 is in a conductive state, and the output signal from the comparison circuit 6 flows into the transistor 10. According to the pulse. As a result, the output of the high frequency power by the automatic gain control circuit 2 is
As in (e), it operates with a pulse-like waveform.
【００２６】上記した図７の電源では、高周波動作させ
た場合でも低周期動作をさせた場合でも、きれいな波形
のパルス高周波出力が得られる。しかしながら、カプラ
４内の抵抗とコンデンサにより、比較的時定数が長い
と、カプラ４からのＰｆ信号がなまってしまう。With the power supply shown in FIG. 7, a pulsed high frequency output having a clean waveform can be obtained regardless of whether the high frequency operation or the low cycle operation is performed. However, if the time constant is relatively long due to the resistance and the capacitor in the coupler 4, the Pf signal from the coupler 4 becomes blunt.
【００２７】この様子を図１０の波形図を用いて説明す
る。図１０で、（ａ）はパルス制御回路９の出力、
（ｂ）はオンオフされた基準出力信号、（ｃ）はカプラ
４の出力、（ｄ）は比較回路６の出力、（ｅ）は自動ゲ
イン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、（ｆ）は
高周波出力をそれぞれ示している。This state will be described with reference to the waveform chart of FIG. In FIG. 10, (a) is the output of the pulse control circuit 9,
(B) is a reference output signal which is turned on and off, (c) is an output of the coupler 4, (d) is an output of the comparison circuit 6, (e) is a gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2, (f) Indicates high-frequency output, respectively.
【００２８】この場合、図１０（ｃ）のカプラ４の出力
は、カプラのコンデンサ，抵抗による時定数のため、波
形がなまっている。この結果、比較回路６の出力、自動
ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、高周波
出力は、それぞれ立上がりで波形がなまってしまう。In this case, the output of the coupler 4 in FIG. 10C has a blunted waveform because of the time constant due to the condenser and resistance of the coupler. As a result, the output of the comparison circuit 6, the gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2, and the high-frequency output each have a rising waveform.
【００２９】図１１の実施の形態は、このカプラの時定
数による影響をなくしたもので、図７の電源と比べ、カ
プラ４の出力側に、パルス制御回路１７を設けている。
パルス制御回路１７はパルス発生器１８、トランジスタ
１９より構成されており、パルス発生器１８はパルス発
生器９とパルス発生器１４と同期してパルスを発生す
る。The embodiment of FIG. 11 eliminates the influence of the time constant of this coupler, and a pulse control circuit 17 is provided on the output side of the coupler 4 as compared with the power source of FIG.
The pulse control circuit 17 includes a pulse generator 18 and a transistor 19, and the pulse generator 18 generates a pulse in synchronization with the pulse generator 9 and the pulse generator 14.
【００３０】このような構成の動作波形を図１２に示
す。図１２で、（ａ）はパルス制御回路９の出力、
（ｂ）はパルス制御回路１３によりパルス的にオンオフ
された基準出力信号、（ｃ）はカプラ４の出力、（ｄ）
は比較回路６の出力、（ｅ）は自動ゲイン制御回路２に
供給されるゲイン制御信号、（ｆ）は高周波出力をそれ
ぞれ示している。The operation waveforms of such a configuration are shown in FIG. In FIG. 12, (a) is the output of the pulse control circuit 9,
(B) is a reference output signal which is pulsed on and off by the pulse control circuit 13, (c) is an output of the coupler 4, (d)
Shows the output of the comparison circuit 6, (e) shows the gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2, and (f) shows the high frequency output.
【００３１】この図１２の波形が明らかなように、カプ
ラ４の出力は、図１２（ｃ）に示すように、電源のパル
ス動作に同期してオンオフされることから、比較回路６
の出力、自動ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御
信号、高周波出力は、それぞれ立上がりで波形がなまる
ことはない。As is clear from the waveform of FIG. 12, the output of the coupler 4 is turned on / off in synchronization with the pulse operation of the power source, as shown in FIG. 12 (c).
The output, the gain control signal supplied to the automatic gain control circuit 2, and the high frequency output do not become blunted at the rising edge.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
おいては、高周波出力信号をモニタする手段と基準出力
信号とを比較する比較手段から、ゲイン制御手段に供給
される信号をパルス的にオンオフすると共に、この信号
のオンオフに同期して基準出力信号をオンオフするよう
に構成したので、高周期のパルス動作でも低周期のパル
ス動作でもきれいな波形のパルス高周波出力を得ること
ができる。特に低周期のパルス動作をさせた際に、オー
バーシュートを防ぐことができる。As described above, according to the first aspect of the invention, the signal supplied to the gain control means from the comparison means for comparing the high frequency output signal with the reference output signal in a pulsed manner. Since the reference output signal is turned on and off in synchronism with the turning on and off of this signal, a pulse high frequency output having a clean waveform can be obtained in both high cycle pulse operation and low cycle pulse operation. In particular, overshoot can be prevented when a pulse operation with a low cycle is performed.
【００３３】また、高周波出力信号をモニタする手段と
基準出力信号とを比較する比較手段から、ゲイン制御手
段に供給される信号をパルス的にオンオフすると共に、
この信号のオンオフに同期して基準出力信号とモニタ手
段からの信号をオンオフするように構成したので、モニ
タ手段からの信号がなまっていても、高周期のパルス動
作でも低周期のパルス動作でもきれいな波形のパルス高
周波出力を得ることができる。Further, the signal supplied to the gain control means from the comparison means for comparing the high frequency output signal with the reference output signal is turned on and off in a pulsed manner.
Since the reference output signal and the signal from the monitor means are turned on / off in synchronization with the turning on / off of this signal, even if the signal from the monitor means is blunt, it is possible to perform high-frequency pulse operation and low-cycle pulse operation. It is possible to obtain a pulsed high frequency output of a waveform.
【図１】従来の高周期動作に適したパルス高周波電源を
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a conventional pulsed high frequency power supply suitable for high cycle operation.
【図２】図１の電源で高周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing operation waveforms when a high cycle operation is performed by the power supply of FIG.
【図３】図１の電源で低周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing operation waveforms when a low cycle operation is performed by the power supply of FIG.
【図４】従来の低周期動作に適したパルス高周波電源を
示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional pulsed high frequency power supply suitable for low cycle operation.
【図５】図４の電源で低周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。5 is a diagram showing operation waveforms when a low cycle operation is performed by the power supply of FIG.
【図６】図４の電源で高周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing operation waveforms when a high cycle operation is performed by the power supply of FIG.
【図７】本発明に基づくパルス高周波電源を示す図であ
る。FIG. 7 shows a pulsed high frequency power supply according to the present invention.
【図８】図７の電源で低周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。8 is a diagram showing operation waveforms when a low cycle operation is performed by the power supply of FIG.
【図９】図７の電源で高周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。9 is a diagram showing operation waveforms when a high cycle operation is performed by the power supply of FIG.
【図１０】図７の電源の問題点を説明するための波形図
である。10 is a waveform diagram for explaining a problem of the power supply of FIG.
【図１１】本発明に基づくパルス高周波電源を示す図で
ある。FIG. 11 is a diagram showing a pulsed high frequency power supply according to the present invention.
【図１２】図１１の電源でパルス動作をさせた際の動作
波形を示す図である。12 is a diagram showing operation waveforms when a pulse operation is performed by the power supply of FIG.
１ 高周波発振器 ２ 自動ゲイン制御回路 ３ 電力増幅器 ４ カプラ ５ 出力端子 ６ 比較回路 ７ 出力設定器 ８ 演算増幅器 ９，１４，１８ パルス発生器 １１，１３，１７ パルス制御回路 1 High-frequency oscillator 2 Automatic gain control circuit 3 Power amplifier 4 Coupler 5 Output terminal 6 Comparison circuit 7 Output setting device 8 Operational amplifier 9, 14, 18 Pulse generator 11, 13, 17 Pulse control circuit
Claims (2)
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号をパルス的にオンオフするように
構成したことを特徴とする高周波電源。1. A high frequency oscillator, a means for controlling a gain of an output from the high frequency oscillator, a means for monitoring a high frequency output signal supplied to a load, and a comparison for comparing a signal from the monitoring means with a reference output signal. And a high-frequency power source configured to supply the signal from the comparison means to the gain control means, the signal from the comparison means is turned on and off in a pulsed manner, and the reference signal is synchronized with the on / off of the signal from the comparison means. A high frequency power supply characterized in that it is configured to turn on and off the output signal in a pulsed manner.
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号とモニタ手段からの信号をパルス
的にオンオフするように構成したことを特徴とする高周
波電源。2. A high frequency oscillator, a means for controlling a gain of an output from the high frequency oscillator, a means for monitoring a high frequency output signal supplied to a load, and a comparison for comparing a signal from the monitoring means with a reference output signal. And a high-frequency power source configured to supply the signal from the comparison means to the gain control means, the signal from the comparison means is turned on and off in a pulsed manner, and the reference signal is synchronized with the on / off of the signal from the comparison means. A high-frequency power supply characterized in that the output signal and the signal from the monitor means are turned on and off in a pulsed manner.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07233775A JP3088640B2 (en) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | High frequency power supply |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07233775A JP3088640B2 (en) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | High frequency power supply |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0981249A true JPH0981249A (en) | 1997-03-28 |
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ID=16960383
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| JP (1) | JP3088640B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256900A (en) * | 2003-05-28 | 2012-12-27 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for plasma nitridation of gate dielectrics using amplitude modulated radio-frequency energy |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP07233775A patent/JP3088640B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256900A (en) * | 2003-05-28 | 2012-12-27 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for plasma nitridation of gate dielectrics using amplitude modulated radio-frequency energy |
| JP2015043421A (en) * | 2003-05-28 | 2015-03-05 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | Method and apparatus for plasma nitridation of gate dielectrics using amplitude modulated radio-frequency energy |
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