JPH0979999A - 円形容器内面検査装置 - Google Patents
円形容器内面検査装置Info
- Publication number
- JPH0979999A JPH0979999A JP7236410A JP23641095A JPH0979999A JP H0979999 A JPH0979999 A JP H0979999A JP 7236410 A JP7236410 A JP 7236410A JP 23641095 A JP23641095 A JP 23641095A JP H0979999 A JPH0979999 A JP H0979999A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- circular container
- image
- circuit
- pixel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
内面の画像から、容器下方の画像濃度変化が大きく複雑
な領域に発生する凹みを高精度に検出する。 【解決手段】図は容器中心Oを通る放射状の走査線上の
画像濃度の分布を示す。中心Oから所定距離d1隔てた
点より所定区間d2内を探索し(A)、濃度最小の基準
画素Pkを見付け(B)、Pk点より所定距離d3離れ
た点から所定巾の第1計測区間d4内の各画素について
(C)、Pk点の画素濃度との濃度差の総和としての画
像濃淡積分値S1を求める(D)。同様にPk点より所
定距離d5離れた点から所定巾の第2計測区間d6の各
画素について(E)、画像濃淡積分値S2を求め
(F)、|S1−S2|が所定許容値を上回る時、凹み
欠陥有と判定する。
Description
どで搬送されるビール缶などの円形容器内面を検査し、
容器の変形・異物・ゴミ・傷などを検出する画像処理装
置としての円形容器内面検査装置に関する。なお、以下
各図において同一の符号は同一もしくは相当部分を示
す。
器を上面より観測した場合の高輝度部の説明図で、同図
(A)は缶容器の上面(画像)図、同図(B)は側断面
図である。そして102は容器、101はこの容器10
2を上方から照らすリング状の照明器、103は口部の
高輝度部、104は底部の高輝度部である。このように
リング照明器101を用いて容器102の内面に光線を
照射することにより、容器内面の口部と底部に夫々10
3,104のような高輝度部が発生する。特に缶などの
ように容器内面に金属光沢のある場合は顕著である。
(A))に対する走査線Q−Q1上の濃度変化を示した
ものであるが、濃度変化の特徴よりW1〜W5の5つの
領域に分類される。第1の領域W1は口部高輝度部10
3であり、第2の領域W2は濃度変化が比較的小さい容
器側面上中部であり、第3の領域W3は図2で述べた照
明101による光線があまり届かないため、他の領域よ
り暗い容器側面下部であり、第4の領域W4は底部高輝
度部104であり、第5の領域W5は底部である。
ンドウを設け、領域の光学的な特性に応じて黒汚れ(黒
点)や白汚れ(白点)の不良を検出するためのしきい値
を設定していた。このような微小の欠陥を検出する方法
としては、例えば対象画像の走査によって得られたアナ
ログのビデオ信号(アナログ濃淡画像信号)をA/D変
換してなる8ビットなどの多値の濃淡画像信号を所定の
しきい値で2値化する方法や、前記のビデオ信号を微分
して欠陥信号を抽出する微分法などが知られている。こ
の微分法の場合、対象物の外形の輪郭部でも微分信号が
出るが輪郭部では微分によって正方向パルス,負方向パ
ルスのいずれか一方が発生するのに対し、微小欠陥部で
は正方向パルスと負方向パルスが同時に発生することを
利用して欠陥部を抽出することができる。
信号を微分してなる信号P(X,Y)についての着目点
(座標値X=i,Y=j)における値P(i,j)と、
この着目点よりX方向走査線上の前,後に夫々所定の微
小の画素数α,βだけ離れた点における値P(i−α,
j),P(i+β,j)との間に、
(1)及び(2)の関係があれば、この着目点における
不良検出のための2値化関数値PD(i,j)=1とし
てこの着目点を黒レベル不良の点とし、それ以外の場合
はPD(i,j)=0としてこの着目点を正常の点とす
るものである。
ついて説明する。図3(C)は容器102の上面画像
(図3(A))に示すように容器側面に凹み105が発
生した場合における、この凹み105の部分を通る走査
線Q′−Q1′上の濃度変化を示す。図4は図3(B)
の各ウインドウ領域(W1〜W5)に対応して、判定し
きい値THP1〜THP4を割付けしたものである。な
お、しきい値THP3はウインドウW3及びW4に共通
としてあるため、図4では4領域となっている。
を表したものである。凹み105はしきい値THP2よ
り、差分により生じる濃度変化量が大きくなるため、欠
陥画素として検出される。このときの欠陥の判定は次式
(3)によって行われる。
=j)における画素濃度、 P(i−α,j): 着目点よりX方向走査線上の手前
に微小の画素数αだけ離れた点における画素濃度、 THPn: 着目点の領域(番号をnとする)の判定し
きい値。
ためのハードウェアブロック図であり、放射アドレス発
生器4より、放射状にフレームメモリ1内の検査画像を
読出し、FIFO21にて上式での画素数αに相当する
量だけ画像データを遅延させ、減算器24にて、P
(i,j)とP(i−α,j)との差分値を求め、絶対
値変換回路25により差分値を絶対値として、比較器2
6にてしきい値と比較し、欠陥画素を2値化出力として
出力する。カウンタ27は、容器中心からの走査方向に
対する距離を表現し、しきい値テーブル23によって各
ウインドウ領域の判定しきい値THPnを比較器26へ
供給する。
5は、容器内面でも濃度変化の比較的小さい領域に発生
したものであって、図5のこの凹み105の部分の判定
しきい値THP2も、他の領域の比べ小さい値を設定す
ることができる。しかしながら、容器凹み105がこの
位置よりも下の位置に発生した場合には、判定しきい値
がTHP3の領域となって、もともと濃度変化の大きい
領域となってしまうため、凹み検出の感度が相当に低下
してしまうという問題があった。
の内面の高輝度部の例を示すが、この図7(B)のよう
に容器底面に突出部102aのような成形加工が行われ
ている場合は、容器底面部の反射が容器底面の加工が単
純なものに比べて複雑となり、複数の底部高輝度部10
4−1,104−2が出現して、濃度変化がより複雑と
なって、THP3として設定できるしきい値がより低感
度とならざるを得ないという問題がある。
が困難であった高さが容器底面より中程までに発生す
る、つまり容器側面下部の凹みを高精度に検出する円形
容器内面検査装置を提供することを課題とする。
めに、請求項1の円形容器内面検査装置は、軸対称の円
形容器(102)と同軸のリング型照明手段(リング照
明器101)を介しこの円形容器の内面側を照明したう
え、TVカメラを介しこの軸方向からこの円形容器の照
明面を撮像し、この撮像された円形容器の同心円状の画
像を含む撮像画面の走査によって得られる濃淡画像信号
のA/D変換信号としての多値濃淡画像信号(PO)を
前記撮像画面に対応する画面上の画像データとしてフレ
ームメモリ(301)に記憶すると共に、(画像エッジ
検出回路314,位置ズレ量決定回路315を介し)こ
のフレームメモリの画像データの画面上における円形容
器の中心位置(O)を検出し、(放射アドレス発生器3
04を介し)この円形容器の中心を通る放射状の走査線
に沿って複数回、そのつど放射状走査線の角度を変えて
この画面の画像データを走査し、円形容器の欠陥を検出
する円形容器内面検査装置であって、この放射状走査線
上の円形容器の中心位置から画素数で数えて予め定めた
距離(d1)にある予め定めた巾の区間(基準画素探索
区間d2)内で濃度値の最小の画素を検出して基準画素
(Pk)とし、同じくこの放射状走査線上の、この基準
画素から画素数で数えて夫々予め定めた距離(d3,d
5など)にあって予め定めた巾(d4,d6など)を持
つ複数の計測区間(第1,第2計測区間など)の各々に
ついて、当該計測区間内の各画素の濃度値の前記基準画
素の濃度値からの差を総和した画像濃淡積分値(S1,
S2など)を求め、隣接する計測区間同士のこの画像濃
淡積分値の差(|S1−S2|)が予め定めた許容量を
上回るとき、当該容器に凹み欠陥が有ると判定する手段
(不良検出回路312,不良検出判定回路313)を備
えたものとする。
記載の検査装置において、前記許容量は前記放射状走査
線の角度に応じて可変選択できるものであるようにす
る。また請求項3の検査装置では、請求項1又は2に記
載の検査装置において、前記放射状走査線上の判定に用
いられる各画素の円形容器の中心位置からの画素数で数
えた距離は、この放射状走査線の角度に応じて補正され
るものであるようにする。
発明の原理を示す図である。図1は図7のような底部形
状の容器についての、図4の拡大部Mに相当する画像の
濃淡変化を示した図で、(A)〜(F)は本発明に基づ
く処理の順序を示す。即ち(A)においては、算出され
た容器中心Oからの距離d1により、区間d2の位置決
め(基準画素探索区間の設定)を行い、(B)において
は、区間d2での最低濃度値の画素(基準画素という)
Pkを算出する。次に(C)においては、基準画素Pk
からの距離d3により、第1計測区間d4を設定し、
(D)においては、第1計測区間d4内の各画素の濃度
値の基準画素Pkの濃度値からの差をこの計測区間内で
積分して、第1計測区間の画像濃淡積分値S1を算出す
る。次に(E)においては、基準画素Pkからの距離d
5により、第1計測区間d4に隣接する第2計測区間d
6を設定し、(F)においては、第2計測区間d6内の
各画素の濃度値の基準画素Pkの濃度値からの差を積分
して画像濃淡積分値S2を算出する。
順次隣接する計測区間の設定と画像濃淡積分値の算出を
行う(ここで第(n−1)計測区間と第n計測区間の夫
々の画像濃淡積分値をSn-1 ,Sn とする)。その後、
隣接する計測区間同士の前記画像濃淡積分値の差異量|
S1−S2|,・・・,|Sn-1 −Sn |を算出して、
差異許容量と比較し、欠陥の有無を判定する。
間を設定するパラメータについては、隣接する計測区間
同士で通常、前記画像濃淡積分値がほぼ等しくなるよう
に設定する必要がある。
明する。図8は、本発明による円形容器内面検査装置の
要部の構成を示すブロック図である。同図においてPO
は図外のTVカメラの画面をラスタ走査して得られるビ
デオ信号をA/D変換してなる(例えば8bit)の濃
淡画像信号、301はこの多値濃淡画像信号POを入力
し、多値画面データとして記憶するフレームメモリ、3
03はこのフレームメモリに対するラスタアドレスを発
生するラスタアドレス発生器である。
レームメモリ301に対してアドレス発生を行う放射ア
ドレス発生器、302は図3(B)に示したようなリン
グ状のウインドウ別のマスクパターンが格納されている
ウインドウメモリ、305はこのウインドウメモリ30
2に対し発生器303と同様にラスタアドレスを発生す
るラスタアドレス発生器、306は同じくこのウインド
ウメモリ302に対し発生器304と同様に放射状走査
のためのアドレス発生を行う放射アドレス発生器であ
る。そしてこれら発生器303,305,304,30
6との切替によるラスタアドレスと放射アドレスの発生
切替が可能である。
値濃淡信号PO又はフレームメモリ301より読出され
た画像信号301aをウインドウメモリ302からのマ
スクパターンデータでマスクし、指定されたウインドウ
領域のみの画像信号PO又はフレームメモリ301から
読出された画像信号301aを通過させる回路である。
画像のエッジ、具体的にはリング状の高輝度部の外端
(外周点)と内端(内周点)を検出する機能を持ち、こ
の場合、入力した画像信号を対象画像の位置検出や円形
性検査のための所定のしきい値で2値化したうえ、画像
エッジとしてこの2値化信号の立上り点の座標と立下り
点の座標とを自身内のメモリに格納する。309はこの
画像エッジ検出回路308によって検出された外周点又
は内周点の座標値に対し円形性検査を行う回路である。
インドウが発生するように、画像エッジ検出回路314
が最新の多値濃淡画像信号POを入力して検出した現実
の対象画像の中心の位置と、予め設定されているウイン
ドウの中心の位置とのズレを検出する回路である。31
0はフレームメモリ301のラスタ走査によってフレー
ムメモリ301から読出された画像信号301aをウイ
ンドウゲート回路307を介して入力し、黒点などの汚
れ不良画素を検出するための不良検出回路、311はこ
の検出された不良画素を集計して不良の判定を行う不良
検出判定回路である。
1の放射状の走査によってフレームメモリ301から読
出された画像信号301aをウインドウゲート回路30
7を介して入力し、凹み不良画素を検出するための不良
検出回路、313はこの検出された不良画素を集計して
不良の判定を行う不良検出判定回路である。また、31
9は円形度判定回路309,不良検出判定回路311及
び313の判定結果を入力し総合的な判定を行う回路、
320はこの総合判定回路319出力判定信号によって
良否の出力を行う出力回路である。
号POより入力されフレームメモリ301に記憶される
と共に、ウインドウゲート回路307にて画像の着目領
域外はマスクされて画像エッジ検出回路314に供給さ
れる。なお、画像の着目領域のパターンは、ウインドウ
メモリ302に予め設定されている。画像エッジ検出回
路314は、入力された多値濃淡画像信号POを固定2
値化し、その2値化信号の1走査線での0→1又は1→
0の変化点座標(画像エッジ点という)を検出し、記憶
し、同様に各走査ラインについても画像エッジ点を検出
し、記憶する。この画像エッジ点情報は位置ズレ量決定
回路315に送られ、ここで検査対象である円形容器の
画面内での位置ズレを演算する。
方法を示したもので、同図では上端エッジ検査領域21
1及び左端エッジ検査領域212が円形容器の口部高輝
度部(図2の103)相当の部分に設定されている。な
お、この口部高輝度部が2値化された画像が、図9の容
器の固定2値画像210に相当する。前記検査領域21
1及び212においては、画像エッジが図9の点線の如
く検出され、それらの交点である位置基準点213が決
定されて、この容器の処理座標系が決定される。これに
より容器の画面内での位置が決定され、容器の中心の座
標は、前記位置基準点213からの固定オフセット量を
加えた座標とすることができる。
した図であって、同図(A)のように、底部高輝度部1
04周辺に夫々上端エッジ検査領域112及び左端エッ
ジ検査領域113を設定し、同図(B)に示すように位
置基準点114を算出して、容器中心Oを位置基準点1
14に固定オフセット量を加えた座標として、算出する
ことができる。
レームメモリ301に対して、ラスタアドレス発生器3
03より走査座標が送られ、その座標に対応した多値濃
淡画像信号がウインドウゲート回路307にて、着目領
域のみに制限されて画像エッジ検出回路308に送ら
れ、ここでは画像エッジ検出回路314と同様な処理に
よって、画像エッジ点座標を円形度判定回路309に出
力する。ここで、画像エッジ検出回路308と314で
は、着目する画像の濃淡が異なるため画像を2値化する
際のしきい値が異なるのはいうまでもない。
ッジ点座標より、その円形容器がどの程度真円に近いか
を判定し、主に容器口部の変形や凹みを検査し、その判
定結果は総合判定回路319へ出力される。不良検出回
路310は、円形容器内面をラスタ走査した際の従来の
差分2値化手法による2値画像データを欠陥画素信号と
して不良検出判定回路311に出力し、この不良検出判
定回路311は、入力される2値画像データの画素数を
カウントして、その画素数が予め設定される許容量を越
える場合には、不良信号を総合判定回路319へ出力す
る。
8のフレームメモリ301に対して、容器中心を走査中
心とする放射アドレスを放射アドレス発生器304によ
って発生させ、その座標に対応する画素の多値濃淡画像
信号がウインドウゲート回路307に送られ、一方、必
要に応じてウインドウメモリ302内のパターンによっ
て、着目領域のみの画像信号に制限され、不良検出回路
312へ出力される。
とそれに対応する画像データを逐一記憶する。図11は
このようなある1走査に基づく画像データの例を示し、
同図(A)はこの走査線上の画像の濃度断面を示し、同
図(B)は同図(A)の斜線部の放射アドレスXと画像
データとの関係を示すテーブルであり、不良検出回路3
12には画像データがこのようなテーブルとして記憶さ
れる。以下では濃度断面は容器中心に対して対称である
ため、図11(A)の斜線部のみの処理について説明す
るが、本発明ではこの図11(A)の残り半分(非斜線
部)についても同様に検査を行うことはいうまでもな
い。
図11(B)のテーブルより本発明による判定を行うの
であるが、本実施例においては画像濃淡積分値を算出す
る計測区間を2区間とし、計測区間を決定する図1のd
1〜d6までのパラメータは、すでに与えられているも
のとする。前記CPUは次の手順によって判定を行う。
(つまり容器中心Oから基準画素探索区間の開始点まで
の画素数で数えた距離)の指し示すところまで、処理の
ポインタを進める。 アドレスd1の位置よりd2だけカウントするまでの
間(つまり基準画素探索区間)の最低濃度点の画素(基
準画素)Pkのアドレスとその濃度値を記憶する。
いた後、d3だけポインタを進め、その点よりd4だけ
カウントする期間(つまり第1計測区間)の各画素の濃
度値から基準画素Pkの濃度値を減じた結果を加算し、
その総和を求め、第1計測区間の画像濃淡積分値S1と
する。 基準画素Pk部に一旦ポインタを置いた後、d5だけ
ポインタを進め、その点よりd6だけカウントする期間
(つまり第2計測区間)の各画素の濃度値から基準画素
Pkの濃度値を減じた結果を加算し、その総和を求め、
第2計測区間の画像濃淡積分値S2とする。
それ以外の場合を不良とする。 の良否を不良検出判定回路313に出力する。 図12の105は容器の凹みの例であって、図13はそ
の濃度断面を示したものである。良品時は、第1計測区
間と第2計測区間の画像濃淡積分値S1とS2の値はほ
ぼ等しいが、容器に凹み105がある場合はS1,S2
は夫々図13のS1′,S2′のようになり、図12に
示すように底部高輝度部の光線の反射具合が変わり、底
部高輝度部104を含むS1′領域は濃度が低下する傾
向となり、最低濃度点Pkを基準として領域設定される
ため最低濃度点付近がS1′領域となり、このためS
2′領域においては濃度が変わらぬか、又は反射により
上昇する傾向となるため、前記第1計測区間と第2計測
区間の画像濃淡積分値の差ΔSが大きくなり不良とな
る。
は、各放射状走査による不良検出回数を不良検出回路3
12より受けて、その検出回数が予め設定される許容量
を越える場合に不良として、総合判定回路319へ出力
する。総合判定回路319では、前段の各判定回路30
9,311,313の判定結果が全て良である場合には
良信号を、それ以外の場合には不良信号を出力回路32
0を経由して、装置外部へ出力する。
次第n区間まで設けた場合、第3,第4,・・・,第
(n−1),第nの夫々の計測区間の画像濃淡積分値を
夫々S3,S4,・・・,Sn-1 ,Sn とすると、本発
明では隣接する計測区間同士の画像濃淡積分値の差、即
ち|S2−S3|,|S3−S4|,・・・,|Sn-1
−Sn |を夫々ΔSとしてこのΔSと設定許容値を比較
し、ΔSが設定許容値を越えなければ良とし、それ以外
の場合は不良とする。
走査の角度によって、放射状アドレスの画素分解能が変
わってくるのであって、例えば45°方向に走査する場
合は、水平又は垂直に走査する場合に比べ√2倍とな
る。従って走査角度により、適宜ΔSに対するしきい値
やd1〜d6の各区間決定のためのパラメータを正規化
すれば、さらに高精度の欠陥検出が可能となる。
円形容器の中心から放射状に走査し、容器中心からの距
離で指定された区間内で濃度値の最小の画素を検出して
基準画素とし、基準画素からの距離で指定される複数の
計測区間の夫々の画素濃度の基準画素の濃度との濃度差
の総和としての画像濃淡積分値を求め、隣接する計測区
間同士の画像濃淡積分値の差が予め定めた許容値を上回
るか否かで、当該容器に凹み欠陥が有るか否かを判定す
るようにしたので、容器底面の濃度変化が大であった
り、底面に複雑な成形が施されていても容器下部の凹み
欠陥を高精度で判定することができる。
インドウ分割の説明図
設定例を示す図
との対比の例を示す図
の例を示す図
を示すブロック図
像データのテーブルを示す図
例を示す図
による違いの例を示す図
Claims (3)
- 【請求項1】軸対称の円形容器と同軸のリング型照明手
段を介しこの円形容器の内面側を照明したうえ、TVカ
メラを介しこの軸方向からこの円形容器の照明面を撮像
し、この撮像された円形容器の同心円状の画像を含む撮
像画面の走査によって得られる濃淡画像信号のA/D変
換信号としての多値濃淡画像信号を前記撮像画面に対応
する画面上の画像データとしてフレームメモリに記憶す
ると共に、このフレームメモリの画像データの画面上に
おける円形容器の中心位置を検出し、この円形容器の中
心を通る放射状の走査線に沿って複数回、そのつど放射
状走査線の角度を変えてこの画面の画像データを走査
し、円形容器の欠陥を検出する円形容器内面検査装置で
あって、 この放射状走査線上の円形容器の中心位置から画素数で
数えて予め定めた距離にある予め定めた巾の区間内で濃
度値の最小の画素を検出して基準画素とし、 同じくこの放射状走査線上の、この基準画素から画素数
で数えて夫々予め定めた距離にあって予め定めた巾を持
つ複数の計測区間の各々について、当該計測区間内の各
画素の濃度値の前記基準画素の濃度値からの差を総和し
た画像濃淡積分値を求め、隣接する計測区間同士のこの
画像濃淡積分値の差が予め定めた許容量を上回るとき、
当該容器に凹み欠陥が有ると判定する手段を備えたこと
を特徴とする円形容器内面検査装置。 - 【請求項2】請求項1に記載の検査装置において、 前記許容量は前記放射状走査線の角度に応じて可変選択
できるものであることを特徴とする円形容器内面検査装
置。 - 【請求項3】請求項1又は2に記載の検査装置におい
て、 前記放射状走査線上の判定に用いられる各画素の円形容
器の中心位置からの画素数で数えた距離は、この放射状
走査線の角度に応じて補正されるものであることを特徴
とする円形容器内面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23641095A JP3391163B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 円形容器内面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23641095A JP3391163B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 円形容器内面検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0979999A true JPH0979999A (ja) | 1997-03-28 |
JP3391163B2 JP3391163B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=17000350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23641095A Expired - Fee Related JP3391163B2 (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 円形容器内面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3391163B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101505738B1 (ko) * | 2013-08-22 | 2015-03-30 | 김용민 | 불량 검사 장치 및 방법 |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23641095A patent/JP3391163B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101505738B1 (ko) * | 2013-08-22 | 2015-03-30 | 김용민 | 불량 검사 장치 및 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3391163B2 (ja) | 2003-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2053176C (en) | Method of and apparatus for inspecting bottle or the like | |
US7330248B2 (en) | Method and apparatus for inspecting defects | |
KR100954703B1 (ko) | 결함을 검출하는 방법 및 시스템 | |
JP3566470B2 (ja) | パターン検査方法及びその装置 | |
EP1560017A1 (en) | Glass bottle inspection device | |
EP1560018A1 (en) | Method and device for preparing reference image in glass bottle inspection device | |
JPH11132959A (ja) | 欠陥検査方法および装置 | |
JPH0160767B2 (ja) | ||
KR960013357B1 (ko) | 화상데이타 검사방법 및 장치 | |
EP0791822A2 (en) | A cylindrical Containers inner surface tester | |
JP3391163B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JPH10135287A (ja) | ウエーハ検査装置および検査方法 | |
JPH08272078A (ja) | パターンの検査方法及び検査装置 | |
JP3878340B2 (ja) | パターンの欠陥検査方法およびその装置 | |
EP0540018A2 (en) | A cylindrical container inner surface tester based on an image processing technology | |
JP3216439B2 (ja) | 円形容器の内面検査装置 | |
JPH03175343A (ja) | 外観検査による欠陥抽出方法 | |
JP3044961B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP3055322B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP3055323B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JPH06160289A (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JPH109835A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2874402B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JPH0572141A (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP2988059B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080124 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090124 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110124 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110124 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130124 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |