JPH0973661A - Optical information recording medium and optical recording method - Google Patents

Optical information recording medium and optical recording method

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JPH0973661A
JPH0973661A JP7231133A JP23113395A JPH0973661A JP H0973661 A JPH0973661 A JP H0973661A JP 7231133 A JP7231133 A JP 7231133A JP 23113395 A JP23113395 A JP 23113395A JP H0973661 A JPH0973661 A JP H0973661A
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recording
recording medium
optical information
optical
layer
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Takashi Ono
孝志 大野
Michikazu Horie
通和 堀江
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Mitsubishi Chemical Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical information recording medium with which the recording taking advantage of a current compact disk technique as far as possible or the erasure of the record is possible. SOLUTION: This optical information recording medium is constituted by forming a recording layer for recording the information modulated in mark length by detecting optical changes on a substrate provided with concentric or spiral grooves and is so constituted as to record the information in these grooves. At this time, the reflectivity of the parts where there are no grooves is 15 to 40%. The push-pull intensity PP after the recording defined by the following equation (1) is 0.12 to 0.25. PP=111-121/Itop (where value at the time of an offset of 0.1μm in a radial direction)...(1) equation. In the equation, 111-121 is the difference of the light quantity of the bisected photodetectors, Itop is the top level at the time of reproducing the longest mark signal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、現行のコンパクトディ
スク技術をできるだけ活かした記録または記録消去可能
な光学的情報記録用媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recordable or recordable optical information recording medium which makes the best use of the current compact disc technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスクには再生専用型、光記録可能
型、書換可能型があり、再生専用型はビデオディスク、
オーディオディスク、さらには大容量コンピューター用
ディスクメモリーとしてすでに実用化している。これら
の内で音楽等のオーディオ再生用、コンピューター用デ
ィスクメモリーとして、コンパクトディスク(CD)が
広く普及している。
2. Description of the Related Art Optical discs include a read-only type, an optical recordable type, and a rewritable type.
It has already been put to practical use as an audio disk, and even as a large-capacity computer disk memory. Among them, compact discs (CDs) are widely used as disc memories for audio reproduction of music and the like and computers.

【0003】コンパクトディスク(CD)は、CDフォ
ーマット化されたEFM(Eight to Four
teen Modulation)信号の孔(ピット)
をプラスチックからなる基板に転写し、その上にアルミ
ニウム等の金属からなる反射膜および保護層を設けてい
る。CDからの情報の読みとりは、半導体レーザービー
ムを基板側から入射させて光ディスクに照射することに
より行われ、ピットの有無による反射率変化によってC
Dフォーマット信号等が読み取られる。
A compact disc (CD) is a CD-formatted EFM (Eight to Four).
(Teen Modulation) signal hole (pit)
Is transferred to a substrate made of plastic, and a reflective film and a protective layer made of metal such as aluminum are provided thereon. The reading of information from a CD is performed by irradiating a semiconductor laser beam from the substrate side and irradiating the optical disc, and by changing the reflectance depending on the presence or absence of pits, C
The D format signal or the like is read.

【0004】また、使用レーザーの短波長化、高NA
化、基板厚減少等を用いてさらなる高容量化も検討され
ている。しかし、これらの再生専用ディスクは情報の記
録・編集、あるいは書換等はできない。ソフトウェア、
データファイル、静止画像等のファイルにおいてもCD
−ROM(Read only memory)または
CD−I(interactive)用の光記録・消去
可能な光ディスクが望まれている。
Further, the wavelength of the laser used is shortened and the NA is increased.
It is being studied to further increase the capacity by increasing the capacity and reducing the substrate thickness. However, these reproduction-only discs cannot record / edit or rewrite information. software,
CD for data files, files such as still images
Optical recording / erasable optical discs for ROM (Read only memory) or CD-I (interactive) are desired.

【0005】一方、光記録可能型の代表的なものには孔
あけ・変形型、光磁気型と相変化型がある。孔あけ・変
形型としてはTe等の低融点金属または染料等の記録層
が用いられ、レーザー光照射により局所的に加熱され、
孔もしくは凹部が形成される。光磁気型は記録層の磁化
の向きにより記録や消去を行い、磁気光学効果によって
再生を行うため、反射率の差を利用するCD用ドライブ
とは再生原理が異なる。
On the other hand, typical examples of the optical recordable type are the hole punching / deforming type, the magneto-optical type and the phase change type. A recording layer made of a low melting point metal such as Te or a dye is used as the perforation / deformation type, and is locally heated by laser light irradiation,
Holes or recesses are formed. The magneto-optical type performs recording and erasing according to the direction of magnetization of the recording layer and reproduces by the magneto-optical effect, and therefore has a reproducing principle different from that of a CD drive that utilizes the difference in reflectance.

【0006】CDフォーマット信号の記録をおこなうデ
ィスクとしては、基板上に色素または色素を含むポリマ
ー等からなる記録層を有する光ディスク、および該光デ
ィスクを用いる光情報記録方法が提案されている(特開
昭61ー237239号、61ー233943号各号公
報)がこれらの光ディスクは書換可能にはなりえない。
As a disc for recording a CD format signal, an optical disc having a recording layer made of a dye or a polymer containing the dye on a substrate, and an optical information recording method using the optical disc have been proposed (Japanese Patent Laid-Open Publication No. Sho. No. 61-237239, 61-233943), these optical disks cannot be rewritable.

【0007】これに対し、相変化型は相変化前後で反射
率が変化することを利用するものであり、外部磁界を必
要とせず反射率の違いで再生を行うという点でCDと共
通している。さらに、レーザー光のパワーを変調するだ
けで、記録・消去が可能であり、消去と再記録を単一ビ
ームで同時に行う、1ビームオーバーライトも可能であ
るという利点を有する。
On the other hand, the phase-change type utilizes the fact that the reflectance changes before and after the phase change, and is common to the CD in that the reproduction is performed by the difference in reflectance without the need for an external magnetic field. There is. Further, there is an advantage that recording / erasing can be performed only by modulating the power of laser light, and one-beam overwriting in which erasing and re-recording are simultaneously performed with a single beam is also possible.

【0008】したがってCDの書換可能媒体としては相
変化型が好ましく、相変化媒体に有利な条件でプッシュ
プル信号等を定めることが好ましい。1ビームオーバー
ライト可能な相変化記録方式では、記録膜を非晶質化さ
せることによって記録ビットを形成し、結晶化させるこ
とによって消去を行う場合が一般的である。
Therefore, the rewritable medium of the CD is preferably a phase change type, and it is preferable to determine the push-pull signal or the like under conditions advantageous for the phase change medium. In the one-beam overwritable phase change recording method, it is general that the recording film is made amorphous to form a recording bit and is crystallized to erase.

【0009】このような、相変化記録方式に用いられる
記録層材料としては、カルコゲン系合金薄膜を用いるこ
とが多い。例えば、Ge−Te系、Ge−Te−Sb
系、In−Sb−Te系、Ge−Sn−Te系、Ag−
In−Sb−Te系合金薄膜等が挙げられる。相変化媒
体を書換可能なCDとして使用するにはCDの規格であ
る、Recordable Compact Disk
Systems Part II:CD−WO Ve
rsion2.0の規格(編集者:Sony Cor
p.&N.V.Philips、1994年1月)に沿
った媒体設計が好ましい。
As a recording layer material used in such a phase change recording system, a chalcogen alloy thin film is often used. For example, Ge-Te system, Ge-Te-Sb
System, In-Sb-Te system, Ge-Sn-Te system, Ag-
In-Sb-Te type alloy thin film etc. are mentioned. In order to use the phase change medium as a rewritable CD, it is a standard of CD, which is a recordable compact disk.
Systems Part II: CD-WO Ve
Standards for version 2.0 (Editor: Sony Cor
p. & N.K. V. A media design according to Philips, January 1994) is preferred.

【0010】ただし相変化媒体媒体は反射率の低い場合
が多いため、従来のCDドライブより再生レーザーパワ
ーを大きくする等の対策の必要がある。反射率以外の信
号特性、すなわち変調度、プッシュプル信号、ラジアル
コントラスト等の値はオレンジブック規格に適合させる
ことが可能である。
However, since the phase change medium has a low reflectance in many cases, it is necessary to take measures such as increasing the reproducing laser power as compared with the conventional CD drive. Signal characteristics other than reflectance, that is, values such as modulation, push-pull signal, and radial contrast can be adapted to the Orange Book standard.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、相変化
媒体の反射率以外の信号特性をオレンジブック規格に適
合させた場合、不都合が生じることが明らかとなった。
特にプッシュプル信号強度を規格値に合わせた場合、繰
り返し記録による信号劣化が激しい。
However, it has become clear that inconvenience occurs when the signal characteristics other than the reflectance of the phase change medium are adapted to the Orange Book standard.
In particular, when the push-pull signal strength is adjusted to the standard value, signal deterioration due to repeated recording is severe.

【0012】即ち、繰り返し記録によりジッタが増加す
る、反射率が低下する等の劣化現象がプッシュプル信号
強度と関係があることが実験的に明らかとなった。繰り
返し記録による信号劣化を小さくするためにはプッシュ
プル信号強度を規格値より大きくする必要がある。これ
らの信号特性には基板の溝形状が大きく影響する。
That is, it was experimentally clarified that deterioration phenomena such as increase in jitter and decrease in reflectance due to repeated recording are related to the push-pull signal strength. In order to reduce signal deterioration due to repeated recording, it is necessary to make the push-pull signal strength larger than the standard value. The groove shape of the substrate greatly affects these signal characteristics.

【0013】たとえば溝深さがλ/(8n)(nは基板
屈折率)より小さい場合はプッシュプル信号は溝深さが
深くなれば大きくなる。溝幅に関してもプッシュプル信
号強度が大きくなる溝幅の値がある。溝幅、溝深さは同
様にラジアルコントラスト、反射率等に影響を与える。
繰り返し記録により反射率が徐々に低下する現象等にも
溝幅、溝深さは関係する。
For example, when the groove depth is smaller than λ / (8n) (n is the substrate refractive index), the push-pull signal increases as the groove depth increases. As for the groove width, there is a groove width value at which the push-pull signal strength increases. The groove width and the groove depth similarly affect the radial contrast, the reflectance and the like.
The groove width and the groove depth are also related to the phenomenon that the reflectance gradually decreases due to repeated recording.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、同心円または
螺旋状の溝を設けた基板上に、少なくとも、光学的変化
を検出して情報の記録を行なう記録層を設けてなり、該
溝内に情報を記録する光学的情報記録用媒体において、
溝のない部分での反射率が15〜40%であり、下記の
(1)式で定義された記録後のプッシュプル強度PP
が、0.12〜0.25であることを特徴とする光学的
情報記録用媒体である。
According to the present invention, at least a recording layer for recording information by detecting an optical change is provided on a substrate provided with concentric circles or spiral grooves. In an optical information recording medium for recording information on
The reflectivity at the non-groove portion is 15 to 40%, and the push-pull strength PP after recording defined by the following formula (1)
Is 0.12 to 0.25, which is an optical information recording medium.

【0015】 PP=|I1−I2|/Itop (ただし半径方向に0.1μmオフセット 時の値)・・・(1) ここで|I1−I2|は2分割された光検出器の光量の
差分、Itopは長ビット信号再生時のトップレベルと
する。
PP = | I1−I2 | / Itop (however, value at offset of 0.1 μm in radial direction) (1) where | I1−I2 | is the difference between the light amounts of the two photodetectors. , Itop are at the top level at the time of reproducing a long bit signal.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】光学溝の読みとりはヘッド又はピ
ックアップと一体的に移動する光スポットの反射光を受
光する光ディスクの半径方向に2分割されたサーボ用光
検出器により行われ、その第一の光検出部の出力I1と
第2の光検出部の出力I2とが信号処理回路において演
算処理される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Reading of an optical groove is carried out by a servo photodetector divided into two in the radial direction of an optical disc which receives the reflected light of a light spot which moves integrally with a head or a pickup. The output I1 of the photodetector and the output I2 of the second photodetector are processed in the signal processing circuit.

【0017】ビームの焦点位置がトラッキング中心から
ずれるとプッシュプル信号出力ははそれに対応した曲線
を示す。Itopは長ビット信号再生時のトップレベル
である。Recordable Compact Di
sk Systems Part II:CD−WO
Version2.0の規格(編集者:Sony Co
rp.&N.V.Philips、1994年1月)で
はプッシュプル信号強度は0.04〜0.09の範囲と
なっている。
When the focus position of the beam deviates from the tracking center, the push-pull signal output shows a corresponding curve. Itop is the top level when reproducing a long bit signal. Recordable Compact Di
sk Systems Part II: CD-WO
Version 2.0 Standards (Editor: Sony Co
rp. & N.K. V. Philips, January 1994), the push-pull signal strength ranges from 0.04 to 0.09.

【0018】しかしプッシュプル信号強度がこの範囲に
なるようなディスクでは繰り返し記録によるジッタの悪
化や反射率の低下が激しい。この理由は必ずしも明らか
ではないが、溝形状によりプッシュプル信号強度は大き
く影響を受けるので、おそらく溝形状と関係があるので
あろう。溝深さが比較的浅い場合は溝が浅くなるとプッ
シュプル信号強度は小さくなる。
However, in a disk in which the push-pull signal strength falls within this range, deterioration of jitter and reduction of reflectance due to repetitive recording are severe. The reason for this is not always clear, but the push-pull signal strength is greatly affected by the groove shape, and is probably related to the groove shape. When the groove depth is relatively shallow, the push-pull signal strength decreases as the groove depth decreases.

【0019】溝が浅すぎると繰り返し記録によるジッタ
の増加が激しい。溝幅については、幅が広すぎるとやは
り繰り返し記録によるジッタの増加が激しく、溝幅が狭
すぎると繰り返し記録により反射率低下が激しくなる。
その結果プッシュプル信号強度は規格値より大きい値の
場合のみ総合的に優れた繰り返し記録特性が得られた。
If the groove is too shallow, the jitter will increase remarkably due to repeated recording. Regarding the groove width, if the width is too wide, the jitter will increase remarkably due to repetitive recording, and if the groove width is too narrow, the reflectance will decrease remarkably due to repetitive recording.
As a result, only when the push-pull signal strength was larger than the standard value, a comprehensively excellent repeated recording characteristic was obtained.

【0020】プッシュプル信号強度が0.12以上が良
く、0.19以上が特に好ましい。プッシュプル信号強
度に大きな差があるとドライブが対応できなくなるの
で、上限は0.25以下が好ましい。プッシュプル信号
強度が大きいとトラックピッチを狭めるなどの高密度化
を行うときにも有利になる。
The push-pull signal strength is preferably 0.12 or more, particularly preferably 0.19 or more. If there is a large difference in push-pull signal strength, the drive cannot support it, so the upper limit is preferably 0.25 or less. When the push-pull signal strength is large, it is advantageous when the density is increased, such as narrowing the track pitch.

【0021】トラックピッチを狭めると、ビームをトラ
ック中心から外していったときの|I1−I2|の最大
値がトラックピッチが広い時と比較して小さくなる。し
たがって本発明のようにプッシュプル信号強度を大きく
しておけば高密度化に対応することも容易になる。繰り
返し記録により媒体反射率が徐々に低下する現象も観察
される場合もある。
When the track pitch is narrowed, the maximum value of | I1-I2 | when the beam is removed from the track center becomes smaller than that when the track pitch is wide. Therefore, if the push-pull signal strength is increased as in the present invention, it becomes easy to deal with higher density. In some cases, a phenomenon in which the medium reflectance gradually decreases due to repeated recording may be observed.

【0022】ジッタの悪化とは対応せずこの現象の原因
は必ずしも明らかではないが、実験的には溝幅が狭い場
合に顕著になる。溝幅が0.5μm未満の時反射率低下
が著しくなりやすい。したがって繰り返し記録特性に加
えて反射率低下を考慮した場合は上記プッシュプル信号
の制限に溝幅は0.5μm以上という条件を付け加える
ことが最も好ましい。
The cause of this phenomenon is not always clear because it does not correspond to the deterioration of jitter, but it becomes remarkable when the groove width is narrow experimentally. When the groove width is less than 0.5 μm, the reflectance is likely to be significantly reduced. Therefore, in consideration of the decrease in reflectance in addition to the repeated recording characteristics, it is most preferable to add the condition that the groove width is 0.5 μm or more to the limitation of the push-pull signal.

【0023】溝幅と溝深さで表現すると、溝ピッチ1.
5〜1.7μmの場合は、溝深さ25〜60nm、溝幅
0.5〜0.8μmが好ましいということになる。ラジ
アルコントラストは規格値を必ずしも変える必要性はな
い。ラジアルコントラスト規格はグルーブ反射率とラン
ド部反射率の大きさの関係を規定する。
Expressed in terms of groove width and groove depth, the groove pitch is 1.
In the case of 5 to 1.7 μm, the groove depth is preferably 25 to 60 nm and the groove width is 0.5 to 0.8 μm. It is not always necessary to change the standard value for radial contrast. The radial contrast standard defines the relationship between the groove reflectance and the land reflectance.

【0024】規格ではグルーブの反射率がランド部の反
射率よりある程度小さい必要があり、上記の繰り返し記
録特性の優れるプッシュプル信号の値の範囲内でラジア
ルコントラストの規格を満たすことは十分に可能であ
る。CDの技術を活かすことを考えるとラジアルコント
ラストの規格は変更しない方が好ましい。
According to the standard, the reflectance of the groove must be smaller than the reflectance of the land to some extent, and it is sufficiently possible to meet the radial contrast standard within the value range of the push-pull signal having excellent repetitive recording characteristics. is there. Considering the utilization of the CD technology, it is preferable not to change the radial contrast standard.

【0025】反射率については、ディスクの溝のない部
分(鏡面部)の反射率が40%を越えると記録信号のコ
ントラストの大きなディスクを得ることが困難となる。
一方、反射率が小さいとすべての信号強度が小さくなる
ことを意味するので、反射率は小さすぎてもいけない。
したがって鏡面部反射率は15〜40%が好ましく、2
0〜35%が特に好ましい。
Regarding the reflectance, it becomes difficult to obtain a disk having a high contrast of recording signals when the reflectance of the groove-free portion (mirror surface portion) of the disk exceeds 40%.
On the other hand, if the reflectance is small, it means that all the signal intensities are small. Therefore, the reflectance must not be too small.
Therefore, the mirror surface reflectance is preferably 15 to 40%, and 2
0 to 35% is particularly preferable.

【0026】記録層材料としては書換特性の面からはG
eSbTe系、AgInSbTe系が特に好ましい。こ
れらの材料は1ビームオーバーライトが可能なことが知
られている。たとえば、GeTe−Sb2Te3ライン上
組成にSbを数at.%加えたものが書き込み、消去特
性に優れている。
The material of the recording layer is G from the viewpoint of rewriting characteristics.
The eSbTe type and AgInSbTe type are particularly preferable. It is known that these materials can be overwritten by one beam. For example, Sb is added to the composition on the GeTe-Sb 2 Te 3 line in several at. % Added is excellent in writing and erasing characteristics.

【0027】光学的にはGeTeに近い組成のほうが信
号振幅が大きくとれる傾向にある。書換特性はSb2
3の含有率が増えたほうが良い。層構成としては、基
板上に誘電体保護層、相転移型光記録層、誘電体保護
層、反射層をこの順に積層する場合が一般的である。本
発明で用いる誘電体保護層材料は、屈折率、熱伝導率、
化学的安定性、機械的強度、密着性等に留意して決定さ
れる。
Optically, a composition closer to GeTe tends to have a larger signal amplitude. Rewriting characteristic is Sb 2 T
It is better to increase the content rate of e 3 . As a layer structure, it is general that a dielectric protective layer, a phase transition type optical recording layer, a dielectric protective layer, and a reflective layer are laminated in this order on a substrate. The dielectric protective layer material used in the present invention has a refractive index, a thermal conductivity,
It is determined by paying attention to chemical stability, mechanical strength, adhesion, etc.

【0028】一般的には透明性が高く高融点であるM
g,Ca,Sr,Y,La,Ce,Ho,Er,Yb,
Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Zn,Al,S
i,Ge,Pb等の酸化物、硫化物、窒化物やCa,M
g,Li等のフッ化物を用いることができる。これらの
酸化物、硫化物、窒化物、フッ化物は必ずしも化学量論
的組成をとる必要はなく、屈折率等の制御のために組成
を制御したり、混合して用いることも有効である。
Generally, M, which is highly transparent and has a high melting point,
g, Ca, Sr, Y, La, Ce, Ho, Er, Yb,
Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Zn, Al, S
oxides, sulfides, nitrides such as i, Ge, Pb, Ca, M
g, a fluoride such as Li can be used. These oxides, sulfides, nitrides, and fluorides do not always need to have a stoichiometric composition, and it is also effective to control the composition for controlling the refractive index and the like, or to use a mixture.

【0029】繰り返し記録特性を考慮すると高屈折率誘
電体はZnSをベースとした複数誘電体混合物がよい。
反射層は反射率の大きい物質が好ましく、Au、Ag、
Cu、Al等が用いられ、熱伝導度制御等のためTa、
Ti、Cr、Mo、Mg、V、Nb、Zr等を少量加え
てもよい。
Considering the repetitive recording characteristics, the high refractive index dielectric is preferably a mixture of a plurality of dielectrics based on ZnS.
The reflective layer is preferably made of a material having a high reflectance, such as Au, Ag,
Cu, Al, etc. are used, and Ta, for controlling thermal conductivity, etc.
A small amount of Ti, Cr, Mo, Mg, V, Nb, Zr or the like may be added.

【0030】本発明における記録媒体の基板としては、
ガラス、プラスチック、ガラス上に光硬化性樹脂を設け
たもの等のいずれであってもよいが、CD互換性の面で
はポリカーボネート樹脂が好ましい。CDの技術を活か
すことを考えると記録は溝部に行うことが好ましい。し
たがって記録部が平坦なU字型の溝形状が好ましい。
As the substrate of the recording medium in the present invention,
It may be any of glass, plastic, glass provided with a photocurable resin, etc., but a polycarbonate resin is preferable from the viewpoint of CD compatibility. Considering that the technology of CD is utilized, it is preferable to record in the groove. Therefore, a U-shaped groove having a flat recording portion is preferable.

【0031】記録層、誘電体層、反射層はスパッタリン
グ法などによって形成される。記録膜用ターゲット、保
護膜用ターゲット、必要な場合には反射層材料用ターゲ
ットを同一真空チャンバー内に設置したインライン装置
で膜形成を行うことが各層間の酸化や汚染を防ぐ点で望
ましい。また、生産性の面からもすぐれている。
The recording layer, the dielectric layer and the reflective layer are formed by a sputtering method or the like. It is desirable to form a film using an in-line apparatus in which a target for a recording film, a target for a protective film, and if necessary, a target for a reflective layer material are installed in the same vacuum chamber, from the viewpoint of preventing oxidation and contamination between layers. It is also excellent in terms of productivity.

【0032】[0032]

【実施例】以下実施例をもって本発明を詳細に説明する
が、本発明は、その要旨を越えない限り以下の実施例に
限定されるものではない。 実施例1 ディスク基板上に(ZnS)80(SiO220層を12
0nm、Ge12Sb36Te52(at.%)層を30n
m、(ZnS)80(SiO2)20層を20nm、Al
合金層を200nm、順次マグネトロンスパッタリング
法にて積層しディスクを作製した。
The present invention will be described in detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Example 1 12 (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layers were formed on a disk substrate.
0 nm, Ge 12 Sb 36 Te 52 (at.%) Layer 30n
m, (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layer 20 nm, Al
A disc was prepared by sequentially stacking alloy layers of 200 nm by magnetron sputtering.

【0033】このディスクを光ディスク評価装置(レー
ザー波長780nm、NA0.55)を用い記録後のプ
ッシュプル信号強度PPを測定したところ0.23であ
った。また、鏡面部反射率は31%、ラジアルコントラ
ストRCaは0.46であった。
The push-pull signal strength PP of this disk after recording was measured by an optical disk evaluation device (laser wavelength 780 nm, NA 0.55) and found to be 0.23. The reflectance of the mirror surface portion was 31%, and the radial contrast RCa was 0.46.

【0034】このディスクは1.4m/s、書き込みレ
ーザーパワー12mW、消去レーザーパワー6mWでE
FMランダム信号を1000回オーバーライトした後の
3T信号のマークジッタの増加は6nsであった。な
お、基板の溝幅と溝深さをHeNeレーザーの干渉光強
度を用い求めた結果は溝幅0.67μm、深さ57n
m、溝ピッチ1.6μmであった。
This disk was E at 1.4 m / s, a writing laser power of 12 mW and an erasing laser power of 6 mW.
The mark jitter increase of the 3T signal after overwriting the FM random signal 1000 times was 6 ns. The groove width and the groove depth of the substrate were obtained by using the interference light intensity of the HeNe laser. The result was that the groove width was 0.67 μm and the depth was 57 n.
m, and the groove pitch was 1.6 μm.

【0035】実施例2 ディスク基板上に(ZnS)80(SiO220層を12
0nm、Ge12Sb36Te52(at.%)層を30n
m、(ZnS)80(SiO220層を20nm、Al合
金層を200nm、順次マグネトロンスパッタリング法
にて積層しディスクを作製した。
Example 2 12 (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layers were formed on a disk substrate.
0 nm, Ge 12 Sb 36 Te 52 (at.%) Layer 30n
m, a (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layer having a thickness of 20 nm and an Al alloy layer having a thickness of 200 nm were sequentially laminated by a magnetron sputtering method to prepare a disk.

【0036】このディスクを光ディスク評価装置(レー
ザー波長780nm、NA0.55)を用い記録後のプ
ッシュプル信号強度PPを測定したところ0.15であ
った。また、鏡面部反射率は31%、ラジアルコントラ
ストRCaは0.36であった。
The push-pull signal strength PP of this disc after recording was measured using an optical disc evaluation apparatus (laser wavelength 780 nm, NA 0.55) and found to be 0.15. The specular reflectance was 31% and the radial contrast RCa was 0.36.

【0037】このディスクは1.4m/s、書き込みレ
ーザーパワー12mW、消去レーザーパワー6mWでE
FMランダム信号を1000回オーバーライトした後の
3T信号のマークジッタの増加は9nsであった。な
お、基板の溝幅と溝深さをHeNeレーザーの干渉光強
度を用い求めた結果は溝幅0.65μm、深さ30n
m、溝ピッチ1.6μmであった。
This disk was E at 1.4 m / s, a writing laser power of 12 mW and an erasing laser power of 6 mW.
The mark jitter increase of the 3T signal after overwriting the FM random signal 1000 times was 9 ns. The groove width and the groove depth of the substrate were obtained by using the interference light intensity of the HeNe laser, and the result was that the groove width was 0.65 μm and the depth was 30 n.
m, and the groove pitch was 1.6 μm.

【0038】実施例3 ディスク基板上に(ZnS)80(SiO220層を12
0nm、Ge12Sb36Te52(at.%)層を30n
m、(ZnS)80(SiO220層を20nm、Al合
金層を200nm、順次マグネトロンスパッタリング法
にて積層しディスクを作製した。
Example 3 12 (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layers were formed on a disk substrate.
0 nm, Ge 12 Sb 36 Te 52 (at.%) Layer 30n
m, a (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layer having a thickness of 20 nm and an Al alloy layer having a thickness of 200 nm were sequentially laminated by a magnetron sputtering method to prepare a disk.

【0039】このディスクを光ディスク評価装置(レー
ザー波長780nm、NA0.55)を用い記録後のプ
ッシュプル信号強度PPを測定したところ0.12であ
った。また、鏡面部反射率は31%、ラジアルコントラ
ストRCaは0.44であった。このディスクは1.4
m/s、書き込みレーザーパワー12mW、消去レーザ
ーパワー6mWでEFMランダム信号を1000回オー
バーライトした後の3T信号のマークジッタの増加は9
nsであった。なお、基板の溝幅と溝深さをHeNeレ
ーザーの干渉光強度を用い求めた結果は溝幅0.39μ
m、深さ30nm、溝ピッチ1.6μmであった。
The push-pull signal strength PP of this disc after recording was measured using an optical disc evaluation apparatus (laser wavelength 780 nm, NA 0.55) and found to be 0.12. The specular reflectance was 31% and the radial contrast RCa was 0.44. This disc is 1.4
The increase in mark jitter of the 3T signal after overwriting the EFM random signal 1000 times at m / s, writing laser power of 12 mW, and erasing laser power of 6 mW was 9
It was ns. The groove width and the groove depth of the substrate were obtained using the interference light intensity of the HeNe laser, and the result was a groove width of 0.39 μm.
m, depth 30 nm, and groove pitch 1.6 μm.

【0040】比較例1 ディスク基板上に(ZnS)80(SiO220層を12
0nm、Ge12Sb36Te52(at.%)層を30n
m、(ZnS)80(SiO220層を20nm、Al合
金層を200nm、順次マグネトロンスパッタリング法
にて積層しディスクを作製した。
Comparative Example 1 12 (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layers were formed on a disk substrate.
0 nm, Ge 12 Sb 36 Te 52 (at.%) Layer 30n
m, a (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layer having a thickness of 20 nm and an Al alloy layer having a thickness of 200 nm were sequentially laminated by a magnetron sputtering method to prepare a disk.

【0041】このディスクを光ディスク評価装置(レー
ザー波長780nm、NA0.55)を用い記録後のプ
ッシュプル信号強度PPを測定したところ0.11であ
った。また、鏡面部反射率は31%、ラジアルコントラ
ストRCaは0.23であった。
The push-pull signal strength PP of this disc after recording was measured by an optical disc evaluation apparatus (laser wavelength 780 nm, NA 0.55) and found to be 0.11. The reflectance of the mirror surface portion was 31% and the radial contrast RCa was 0.23.

【0042】このディスクは1.4m/s、書き込みレ
ーザーパワー12mW、消去レーザーパワー6mWでE
FMランダム信号を100回オーバーライトした後で3
T信号のマークジッタの増加は14nsと大きかった。
なお、基板の溝幅と溝深さをHeNeレーザーの干渉光
強度を用い求めた結果は溝幅1.12μm、深さ26n
m、溝ピッチ1.6μmであった。
This disk was E at 1.4 m / s, a writing laser power of 12 mW and an erasing laser power of 6 mW.
3 after overwriting the FM random signal 100 times
The increase in the mark jitter of the T signal was as large as 14 ns.
The groove width and the groove depth of the substrate were obtained by using the interference light intensity of the HeNe laser, and the result was that the groove width was 1.12 μm and the depth was 26 n.
m, and the groove pitch was 1.6 μm.

【0043】比較例2 ディスク基板上に(ZnS)80(SiO220層を12
0nm、Ge12Sb36Te52(at.%)層を30n
m、(ZnS)80(SiO220層を20nm、Al合
金層を200nm、順次マグネトロンスパッタリング法
にて積層しディスクを作製した。
Comparative Example 2 12 (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layers were formed on a disk substrate.
0 nm, Ge 12 Sb 36 Te 52 (at.%) Layer 30n
m, a (ZnS) 80 (SiO 2 ) 20 layer having a thickness of 20 nm and an Al alloy layer having a thickness of 200 nm were sequentially laminated by a magnetron sputtering method to prepare a disk.

【0044】このディスクを光ディスク評価装置(レー
ザー波長780nm、NA0.55)を用い記録後のプ
ッシュプル信号強度PPを測定したところ0.07であ
った。また、鏡面部反射率は31%、ラジアルコントラ
ストRCaは0.33であった。
The push-pull signal strength PP of this disc after recording was measured by an optical disc evaluation apparatus (laser wavelength 780 nm, NA 0.55) and found to be 0.07. The specular reflectance was 31% and the radial contrast RCa was 0.33.

【0045】このディスクは1.4m/s、書き込みレ
ーザーパワー12mW、消去レーザーパワー6mWでE
FMランダム信号を1000回オーバーライトした後の
3T信号のマークジッタの増加は13nsと大きかっ
た。なお、基板の溝幅と溝深さをHeNeレーザーの干
渉光強度を用い求めた結果は溝幅0.36μm、深さ1
7nm、溝ピッチ1.6μmであった。
This disk was E at 1.4 m / s, writing laser power of 12 mW and erasing laser power of 6 mW.
The increase in mark jitter of the 3T signal after overwriting the FM random signal 1000 times was as large as 13 ns. The groove width and the groove depth of the substrate were obtained by using the interference light intensity of the HeNe laser, and the result was a groove width of 0.36 μm and a depth of 1
It was 7 nm and the groove pitch was 1.6 μm.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明の光学的記録用媒体を用いること
により、現行のコンパクトディスク技術を活かした繰り
返し記録特性の優れた書換え可能な光学的情報記録用媒
体を得ることができる。したがって本発明の光学的情報
記録用媒体と合致する再生専用型の光ディスクとすれ
ば、再生専用型、書換可能型の両方の再生が可能なドラ
イブを作製し易くなる。さらに、高密度化を考慮した場
合、本発明の光学的情報記録用媒体は従来のCD規格よ
り有利となる。
By using the optical recording medium of the present invention, it is possible to obtain a rewritable optical information recording medium having excellent repetitive recording characteristics by utilizing the existing compact disc technology. Therefore, if a read-only type optical disc that matches the optical information recording medium of the present invention is used, it becomes easy to manufacture a drive capable of playing both a read-only type and a rewritable type. Further, in consideration of high density, the optical information recording medium of the present invention is more advantageous than the conventional CD standard.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】同心円または螺旋状の溝を設けた基板上
に、少なくとも、光学的変化を検出してマーク長変調さ
れた情報の記録を行なう記録層を設けてなり、該溝内に
情報を記録する光学的情報記録用媒体において、溝のな
い部分での反射率が15〜40%であり、下記の(1)
式で定義された記録後のプッシュプル強度PPが、0.
12〜0.25であることを特徴とする光学的情報記録
用媒体。 PP=|I1−I2|/Itop (ただし半径方向に0.1μmオフセット 時の値)・・・(1) ここで|I1−I2|は2分割された光検出器の光量の
差分、Itopは最長マーク信号再生時のトップレベル
とする。
1. A substrate provided with concentric circles or spiral grooves is provided with at least a recording layer for recording information whose mark length is modulated by detecting an optical change, and information is recorded in the grooves. The optical information recording medium to be recorded has a reflectance of 15 to 40% at a portion having no groove.
The push-pull strength PP after recording defined by the equation is 0.
An optical information recording medium characterized by having a size of 12 to 0.25. PP = | I1-I2 | / Itop (however, value at the time of 0.1 μm offset in the radial direction) (1) where | I1-I2 | is the difference between the light amounts of the photodetectors divided into two, and Itop is Set to the top level when playing the longest mark signal.
【請求項2】下記の(2)式で定義されたラジアルコン
トラストについてRCa>0.2であることを特徴とす
る請求項1に記載の光学的情報記録用媒体。 RCa=2*(Il−Ig)/(Il+Ig)・・・(2) ここでIlはランド部平均反射率、Igはグルーブ部平
均反射率で記録後の測定値とする。
2. The optical information recording medium according to claim 1, wherein RCa> 0.2 for the radial contrast defined by the following equation (2). RCa = 2 * (Il-Ig) / (Il + Ig) (2) Here, Il is the average reflectance of the land portion, and Ig is the average reflectance of the groove portion, which is a measured value after recording.
【請求項3】情報がEFM変調信号で記録されているこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の光学的情報記
録用媒体。
3. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the information is recorded by an EFM modulated signal.
【請求項4】上記記録層が相変化型記録層であることを
特徴とする請求項2に記載の光学的情報記録用媒体。
4. The optical information recording medium according to claim 2, wherein the recording layer is a phase change recording layer.
【請求項5】上記相変化型記録層がGe、Sb、Teの
3元素を主成分とする合金薄膜であるか、または、A
g、In、Sb、Teの4元素を主成分とする合金薄膜
であることを特徴とする請求項3に記載の光学的情報記
録用媒体。
5. The phase-change recording layer is an alloy thin film containing Ge, Sb, and Te as main components, or A
The optical information recording medium according to claim 3, which is an alloy thin film containing four elements of g, In, Sb, and Te as main components.
【請求項6】基板上に少なくとも保護層、記録層、保護
層、反射層をこの順に設けてなることを特徴とする請求
項5に記載の光学的情報記録用媒体。
6. The optical information recording medium according to claim 5, wherein at least a protective layer, a recording layer, a protective layer, and a reflective layer are provided in this order on the substrate.
【請求項7】上記溝形状が深さ25〜60nm、溝幅
0.5〜0.8μm、溝ピッチ1.5から1.7μmで
あることを特徴とする請求項6に記載の光学的情報記録
用媒体。
7. The optical information according to claim 6, wherein the groove shape has a depth of 25 to 60 nm, a groove width of 0.5 to 0.8 μm, and a groove pitch of 1.5 to 1.7 μm. Recording medium.
【請求項8】上記請求項6の光学的情報記録用媒体に線
速度1.2〜6.0m/sで記録再生を行うことを特徴
とする光記録方法。
8. An optical recording method, wherein recording / reproducing is performed on the optical information recording medium according to claim 6 at a linear velocity of 1.2 to 6.0 m / s.
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