JPH0969338A - Method of making fluorescent face of color image pickup device, and its exposure device - Google Patents

Method of making fluorescent face of color image pickup device, and its exposure device

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JPH0969338A
JPH0969338A JP22320295A JP22320295A JPH0969338A JP H0969338 A JPH0969338 A JP H0969338A JP 22320295 A JP22320295 A JP 22320295A JP 22320295 A JP22320295 A JP 22320295A JP H0969338 A JPH0969338 A JP H0969338A
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JP
Japan
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light source
panel
lamp house
light
picture tube
Prior art date
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Application number
JP22320295A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naohisa Takano
猶久 高野
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH0969338A publication Critical patent/JPH0969338A/en
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To land a three-electron beam arranged in one row correctly on a three-color phosphor layer, by tilting the a light source and a lamp house so that the side of the axis of a panel may come to the panel more than the opposite side, and baking a pattern corresponding to the opening of the shadow mask on a photosensitive fluorescent face forming film. SOLUTION: An inline type of three-color phosphor layer is made by arranging a light source 13 and a lamp house 17 in the positions of a center beam and a pair of side beams for the photosensitive fluorescent face forming film 18 at the inner face of a panel 7, and baking the film 18 on the opening pattern of a shadow mask 6. The light source 13 and the house 17 are arranged, being shifted by S1 horizontally from the center axis zp of the panel 7 so that it may correspond to the side beam. Each correction lens 14 and 15 and a filter 30 are shifted by S2. The light source 13 and the house 17 are rotated and are inclined so that the side of the axis zp may come close to the panel 7 and that the opposite side may go away. The three-color phosphor layer being made this way improves the landing property of an electron beam.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、カラー受像管の
蛍光面形成方法およびその露光装置に係り、特にインラ
イン型カラー受像管の3色蛍光体層に対する電子ビーム
のランディング特性を良好にするカラー受像管の蛍光面
形成方法およびその露光装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a fluorescent screen of a color picture tube and an exposure apparatus therefor, and more particularly to a color picture receiving apparatus for improving the landing characteristics of an electron beam on a three-color phosphor layer of an in-line type picture tube. The present invention relates to a fluorescent screen forming method for a tube and an exposure apparatus for the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にインライン型カラー受像管は、図
7に示すように、外囲器1のネック2内に、同一水平面
上を通るセンタービーム3G および一対のサイドビーム
3B ,3R からなる一列配置の3電子ビーム3B ,3G
,3R を放出する電子銃4が設けられ、この電子銃4
から放出される3電子ビーム3B ,3G ,3R を外囲器
1の外側に装着された偏向装置5の発生する磁界により
偏向し、シャドウマスク6に対向してパネル7の内面に
形成された蛍光面8を、水平、垂直走査することによ
り、カラー画像を表示する構造に形成されている。現在
このようなインライン型カラー受像管では、電子銃4お
よび偏向装置5の発生する磁界を適切に設定して、画面
の全面にわたり3電子ビーム3B ,3G ,3R が一点に
集中するようにしたセルフコンバーゼンスが実現してい
る。
2. Description of the Related Art Generally, as shown in FIG. 7, an in-line type color picture tube has, in a neck 2 of an envelope 1, a row of a center beam 3G and a pair of side beams 3B and 3R which pass on the same horizontal plane. 3 electron beams 3B and 3G
, 3R emitting electron gun 4 is provided.
The three electron beams 3B, 3G and 3R emitted from the device are deflected by the magnetic field generated by the deflecting device 5 mounted outside the envelope 1, and the fluorescent light formed on the inner surface of the panel 7 is opposed to the shadow mask 6. By scanning the surface 8 horizontally and vertically, a structure for displaying a color image is formed. At present, in such an in-line type color picture tube, the magnetic field generated by the electron gun 4 and the deflecting device 5 is appropriately set so that the three electron beams 3B, 3G and 3R are concentrated at one point over the entire screen. Convergence is realized.

【0003】上記インライン型カラー受像管の蛍光面8
は、通常のTV用の受像管では、垂直方向に細長いスト
ライプ状の光吸収層と、この光吸収層の隙間に埋込むよ
うに設けられた垂直方向に細長いストライプ状の3色蛍
光体層とからなるが、特に情報処理の端末機に用いられ
る高精細インライン型カラー受像管では、図8に示すよ
うに、マトリックスホールを円形とするマトリックス状
光吸収層10と、そのマトリックスホールに埋込むよう
に設けられた円形ドット状の3色蛍光体層11B ,11
G ,11R とからなるブラックマトリックス型蛍光面と
なっている。
Phosphor screen 8 of the in-line type color picture tube
In a typical TV picture tube, a vertically elongated striped light absorption layer and a vertically elongated striped three-color phosphor layer provided so as to be embedded in a gap between the light absorption layers. In particular, in a high-definition inline type color picture tube used for a terminal for information processing, as shown in FIG. 8, a matrix-shaped light absorption layer 10 having a circular matrix hole and a matrix-shaped light absorption layer 10 are embedded. Circular dot-shaped three-color phosphor layers 11B, 11 provided on the
It is a black matrix type phosphor screen consisting of G and 11R.

【0004】この蛍光面は、写真印刷法により形成さ
れ、最初にマトリックス状光吸収層10を形成し、つい
でこの光吸収層10のマトリックスホールに蛍光体層1
1B ,11G ,11R を形成する方法により形成されて
いる。その光吸収層10の形成は、パネルの内面に感光
剤の被膜を形成し、この感光剤の被膜にシャドウマスク
の開孔に対応するパターンを焼付け、現像して、シャド
ウマスクの開孔に対応するパターンからなるレジストを
形成したのち、このレジストの形成されたパネルの内面
に光吸収層形成用塗料を塗布し、レジストとともにその
上に形成された光吸収層形成用塗料の被膜を剥離除去す
ることにより形成される。この場合、レジストの剥離除
去された部分がマトリックスホールとなる。また蛍光体
層11B ,11G ,11R の形成は、上記光吸収層10
の形成されたパネルの内面に、感光剤と蛍光体を主成分
とする蛍光体スラリの被膜を形成し、この蛍光体スラリ
の被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼
付け、現像して、所定のマトリックスホールに任意1色
のドット状蛍光体層を形成する。そしてこの蛍光体層形
成方法を3色蛍光体について繰返すことにより形成され
ている。
This phosphor screen is formed by a photographic printing method, first a matrix light absorbing layer 10 is formed, and then the phosphor layer 1 is formed in the matrix hole of this light absorbing layer 10.
It is formed by the method of forming 1B, 11G and 11R. The light absorbing layer 10 is formed by forming a film of a photosensitizer on the inner surface of the panel, baking a pattern corresponding to the openings of the shadow mask on the film of the photosensitizer, and developing the pattern to correspond to the openings of the shadow mask. After forming the resist consisting of the pattern, the light absorbing layer forming paint is applied to the inner surface of the panel on which the resist is formed, and the film of the light absorbing layer forming paint formed on the resist is peeled off. It is formed by In this case, the portion where the resist is peeled off is a matrix hole. Further, the phosphor layers 11B, 11G, and 11R are formed by using the light absorption layer 10 described above.
On the inner surface of the formed panel, a film of a phosphor slurry containing a photosensitizer and a phosphor as a main component is formed, and a pattern corresponding to the opening of the shadow mask is baked on the film of the phosphor slurry and developed. , A dot-shaped phosphor layer of any one color is formed in a predetermined matrix hole. Then, the phosphor layer forming method is repeated for three-color phosphors.

【0005】従来より上記感光剤被膜や蛍光体スラリ被
膜などの感光性蛍光面形成被膜へのパターン焼付けに
は、露光装置を用いられている。この露光装置は、内面
に上記感光性蛍光面形成被膜が形成されかつこの感光性
蛍光面形成被膜に対向してシャドウマスクが装着された
パネルを位置決め支持する支持台の下部にインライン型
カラー受像管の電子銃から放出される一列配置の3電子
ビームに対応する位置に光源がこの光源を収容するラン
プハウスごと移動可能に配置されている。そのランプハ
ウスには、光源から放射される光を透過するスリット状
開孔が設けられている。さらに上記光源から支持台に位
置決め支持されたパネル方向に、光源からの放射光を電
子ビームの軌道に近似させる一対のサイドビーム対応の
ΔS補正レンズ、偏向中心の移動にともなう補正をおこ
なうγ−ΔP補正レンズ、パネル内面に対する光量分布
を補正する補正フィルタなどが配置されている。これら
ΔS補正レンズ、γ−ΔP補正レンズおよび補正フィル
タは、光源とともに移動するものとなっている。
Conventionally, an exposure apparatus has been used for pattern printing on a photosensitive fluorescent screen forming coating such as the above-mentioned photosensitive coating or fluorescent slurry coating. This exposure apparatus includes an in-line type color picture tube under a support table for positioning and supporting a panel having the above-mentioned photosensitive phosphor screen forming film formed on its inner surface and facing the photosensitive phosphor screen forming film and having a shadow mask mounted thereon. A light source is arranged so as to be movable together with a lamp house that houses the light source at a position corresponding to a row of three electron beams emitted from the electron gun. The lamp house is provided with slit-shaped openings that transmit the light emitted from the light source. Further, a pair of side beam-corresponding ΔS correction lenses for approximating the emitted light from the light source to the trajectory of the electron beam in the direction of the panel positioned and supported by the support from the light source, and γ-ΔP for correcting with the movement of the deflection center. A correction lens, a correction filter for correcting the light amount distribution on the inner surface of the panel, and the like are arranged. The ΔS correction lens, the γ-ΔP correction lens and the correction filter move together with the light source.

【0006】この露光装置によりマトリックス状光吸収
層を形成するときは、支持台に位置決め支持されたパネ
ルに対して、光源をランプハウスごと、電子銃から放出
されるセンタービームおよび一対のサイドビームからな
る一列配置の3電子ビームに対応する位置に逐次移動
し、それぞれの移動位置において、上記パネルの内面に
塗布形成された感光剤被膜にシャドウマスクの開孔に対
応するパターンを連続的に焼付ける(3回)ことにより
おこなわれる。また3色蛍光体層を形成するときは、光
源をランプハウスごと、一列配置の3電子ビームのいず
れかの電子ビームに対応する位置に移動して、パネルの
内面に塗布形成された蛍光体スラリ被膜に、シャドウマ
スクの開孔に対応するパターンを焼付けることによりお
こなわれる。
When the matrix-shaped light absorbing layer is formed by this exposure apparatus, the light source is provided for each lamp house, the center beam emitted from the electron gun, and the pair of side beams to the panel positioned and supported by the support table. Sequentially moving to positions corresponding to the three electron beams arranged in a line, and at each moving position, a pattern corresponding to the opening of the shadow mask is continuously printed on the photosensitive agent coating formed on the inner surface of the panel. (3 times). When forming the three-color phosphor layer, the light source is moved to the position corresponding to any one of the three electron beams arranged in a row for each lamp house, and the phosphor slurry applied and formed on the inner surface of the panel. This is done by baking a pattern on the coating that corresponds to the openings in the shadow mask.

【0007】この露光装置において、光源をセンタービ
ームに対応する位置に配置して露光するときは、図9
(a)に示すように、光源13とΔS補正レンズ14、
γ−ΔP補正レンズ15および補正フィルタ(図示せ
ず)は、支持台16に位置決め支持されたパネル7の中
心軸zp 上に配置されるが、光源13を一対のサイドビ
ームに対応する位置に配置して露光するときは、同
(b)および(c)に示すように、光源13およびラン
プハウス17の水平方向の移動距離S1 に対して、補正
レンズ14,15および補正フィルタ(図示せず)を水
平方向にS2 移動しておこなわれる。この光源13の移
動距離S1 および各補正レンズ14,15および補正フ
ィルタの移動距離S2 は、電子銃の3個の構成電子銃の
間隔Sg により異なるが、一般に S1 >S2 である。なお、図9において、18は、パネル7内面に
形成された感光剤被膜や蛍光体スラリ被膜などの感光性
蛍光面形成被膜である。
In this exposure apparatus, when the light source is arranged at a position corresponding to the center beam to perform exposure,
As shown in (a), the light source 13 and the ΔS correction lens 14,
The γ-ΔP correction lens 15 and the correction filter (not shown) are arranged on the central axis zp of the panel 7 which is positioned and supported by the support 16, but the light source 13 is arranged at a position corresponding to the pair of side beams. When performing exposure, as shown in (b) and (c), the correction lenses 14 and 15 and the correction filter (not shown) with respect to the horizontal movement distance S1 of the light source 13 and the lamp house 17. Is performed by moving S2 in the horizontal direction. The moving distance S1 of the light source 13 and the moving distances S2 of the correction lenses 14 and 15 and the correction filter differ depending on the distance Sg between the three constituent electron guns of the electron gun, but are generally S1> S2. In FIG. 9, reference numeral 18 denotes a photosensitive phosphor screen forming film such as a photosensitizer film and a phosphor slurry film formed on the inner surface of the panel 7.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、情報処
理の端末機に用いられる高精細インライン型カラー受像
管の蛍光面は、マトリックス状光吸収層の円形マトリッ
クスホールに埋込まれるように円形ドット状の3色蛍光
体層が設けられたブラックマトリックス型に形成されて
いる。このようなカラー受像管において、画面全面にお
けるホワイトユニフォーミティやブライトネスユニフォ
ーミティなどの画像特性を良好にするためには、3色蛍
光体層が設けられているマトリックス状光吸収層の各マ
トリックスホールに設けられた3色蛍光体層に対して、
3電子ビームが正しくランディングするようにすること
が必要である。そのためには、光源からランプハウスの
スリット状開孔を介して放射される光を精度よく電子銃
から放出される電子ビームの軌道に近似させるように、
蛍光面形成に用いられる露光装置のγ−ΔP補正レンズ
やΔS補正レンズを設計製作しなければならない。
As described above, the fluorescent screen of the high-definition in-line color picture tube used in the terminal for information processing has a circular shape so as to be embedded in the circular matrix hole of the matrix light absorbing layer. It is formed in a black matrix type in which a dot-shaped three-color phosphor layer is provided. In such a color picture tube, in order to improve the image characteristics such as white uniformity and brightness uniformity on the entire screen, each matrix hole of the matrix light absorption layer provided with the three-color phosphor layer is provided. For the provided three-color phosphor layer,
It is necessary to ensure that the three electron beams land correctly. For that purpose, the light emitted from the light source through the slit-shaped opening of the lamp house is accurately approximated to the trajectory of the electron beam emitted from the electron gun,
It is necessary to design and manufacture the γ-ΔP correction lens and the ΔS correction lens of the exposure device used for forming the fluorescent screen.

【0009】しかしながらγ−ΔP補正レンズは、複雑
な曲面からなる非球面レンズであり、センタービームお
よび一対のサイドビームのランディング特性をそれぞれ
満足するようにするためには、3種類の補正レンズが必
要である。しかしこのような3種類の補正レンズを設計
製作することは、コスト的にも、また設計製作の精度上
問題があり、一般にはセンタービームのランディング特
性を満足するように設計された補正レンズを、一対のサ
イドビームに対応する位置に光源を配置して露光する場
合にも使用している。そのため、センタービームのラン
ディング特性に対しては、十分に補正できても、一対の
サイドビームのランディング特性に対しては、十分な補
正が得られない。この一対のサイドビームのランディン
グ特性は、ΔS補正レンズの傾斜面の角度を適宜選択す
ることにより、ある程度補正可能である。しかしこのΔ
S補正レンズで補正しても、なお図10に示すように、
3電子ビームのスポット19B ,19G ,19 Rに対し
て、センタービーム対応の光吸収層のマトリックスホー
ルおよび蛍光体層11G は、ほぼ同心に形成できるが、
一対のサイドビーム対応のマトリックスホールおよび蛍
光体層11B ,11R は、3電子ビームのスポット19
B ,19G ,19 Rの配列軸に対して垂直方向かつ互い
に反対方向にずれる。
However, the γ-ΔP correction lens is an aspherical lens having a complicated curved surface, and three types of correction lenses are required to satisfy the landing characteristics of the center beam and the pair of side beams. Is. However, designing and manufacturing such three types of correction lenses has problems in terms of cost and accuracy of design and manufacture, and in general, a correction lens designed to satisfy the landing characteristics of the center beam is It is also used when exposing by arranging a light source at a position corresponding to a pair of side beams. Therefore, although the landing characteristics of the center beam can be sufficiently corrected, the landing characteristics of the pair of side beams cannot be sufficiently corrected. The landing characteristics of the pair of side beams can be corrected to some extent by appropriately selecting the angle of the inclined surface of the ΔS correction lens. But this Δ
Even if it is corrected by the S correction lens, as shown in FIG.
The matrix holes of the light absorption layer corresponding to the center beam and the phosphor layer 11G can be formed substantially concentrically with respect to the spots 19B, 19G, and 19R of the three electron beams.
The matrix holes and the phosphor layers 11B and 11R corresponding to the pair of side beams are spots 19 of three electron beams.
The axes B, 19G, and 19R are displaced in the directions perpendicular to each other and opposite to each other.

【0010】これは、電子ビームを偏向する偏向装置の
垂直偏向磁界がバレル型、水平偏向磁界がピンクッショ
ン型であり、この偏向磁界の3電子ビーム及ぼす力が、
センタービームと一対のサイドビームとで異なることが
大きな原因である。
This is because the vertical deflection magnetic field of the deflection device for deflecting the electron beam is a barrel type and the horizontal deflection magnetic field is a pincushion type, and the force exerted by the three electron beams of this deflection magnetic field is
The main cause is that the center beam and the pair of side beams are different.

【0011】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、インライン型カラー受像管の一列
配置の3電子ビームがそれぞれ3色蛍光体層に正しくラ
ンディングする蛍光面形成方法およびその露光装置を得
ることを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a method for forming a phosphor screen in which three electron beams arranged in a row in an in-line type color picture tube land correctly on a phosphor layer of three colors and a method of forming the same. The purpose is to obtain an exposure apparatus.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】インライン型カラー受像
管の電子銃から放出される同一平面上を通るセンタービ
ームおよび一対のサイドビームからなる一列配置の3電
子ビームに対応する位置に光源を配置し、この光源から
この光源を収容するランプハウスに設けられたスリット
状開孔を介して放射される光によりパネル内面に形成さ
れた感光性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対
応するパターンを焼付けるカラー受像管の蛍光面形成方
法において、光源をサイドビーム放出位置に対応する位
置に配置してパターンを焼付けるとき、光源およびラン
プハウスをこれら光源およびランプハウスのパネル中心
軸側が反対側よりもパネルに近づくように傾けて感光性
蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパタ
ーンを焼付けるようにした。
A light source is arranged at a position corresponding to one row of three electron beams consisting of a center beam and a pair of side beams emitted from an electron gun of an in-line type color picture tube. , A pattern corresponding to the opening of the shadow mask is formed on the photosensitive phosphor screen forming film formed on the inner surface of the panel by the light emitted from this light source through the slit-shaped opening provided in the lamp house housing this light source. In the method of forming a phosphor screen of a color picture tube to be baked, when the pattern is printed by arranging the light source at the position corresponding to the side beam emission position, the panel center axis side of the light source and the lamp house is from the opposite side. Also, incline it so that it approaches the panel, and print the pattern corresponding to the aperture of the shadow mask on the photosensitive phosphor screen forming film. It was.

【0013】また、インライン型カラー受像管の電子銃
から放出される同一平面上を通るセンタービームおよび
一対のサイドビームからなる一列配置の3電子ビームに
対応する位置に配置され、パネル内面に形成された感光
性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパ
ターンを焼付ける光を放射する光源を有し、この光源が
スリット状開孔の設けられたランプハウスに収容されて
なるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置において、光
源およびランプハウスを一列配置の3電子ビームに対応
する光源の配置方向に傾斜可能に形成した。
Further, the in-line type color picture tube is arranged on the inner surface of the panel at a position corresponding to the three electron beams emitted from the electron gun in the same plane and passing through the same plane and consisting of a pair of side beams. A color picture tube having a light source for emitting light for printing a pattern corresponding to the opening of the shadow mask on the photosensitive fluorescent surface forming coating, and the light source is housed in a lamp house provided with slit-shaped openings. In the exposure apparatus for forming a fluorescent screen, the light source and the lamp house are formed to be tiltable in the arrangement direction of the light source corresponding to the three electron beams arranged in a line.

【0014】ここで、光源の配置位置として記した同一
平面上を通るセンタービームおよび一対のサイドビーム
からなる一列配置の3電子ビームに対応する位置とは、
インライン型カラー陰極線管の電子銃の蛍光面側端部に
近い位置におけるセンタービームおよび一対のサイドビ
ームの通過位置を指している。
Here, the position corresponding to the three electron beams arranged in a line consisting of a center beam and a pair of side beams passing on the same plane, which is described as the position of the light source, is
It indicates the passage position of the center beam and the pair of side beams at a position near the end of the electron gun of the in-line type color cathode ray tube on the side of the fluorescent screen.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】図1に、マトリックス状光吸収層の円形マ
トリックスホールに円形ドット状の3色蛍光体層を設け
るブラックマトリックス型蛍光面形成方法の主要工程を
示す。
FIG. 1 shows the main steps of a black matrix type phosphor screen forming method in which a circular dot-shaped three-color phosphor layer is provided in a circular matrix hole of a matrix light absorption layer.

【0017】このブラックマトリックス型蛍光面の形成
は、図1(a)に示すように、まずパネル7の内面に、
ポリビニルアルコール(PVA)と重クロム酸アンモニ
ウム(ADC)を主成分とする感光剤を塗布し、乾燥し
て感光剤の被膜20を形成する。ついで、この感光剤被
膜20の形成されたパネル7の内側にシヤドウマスク6
を装着し、後述する露光装置により、感光剤被膜20に
シヤドウマスク6の円形の開孔21に対応するパターン
を焼付ける。このパターン焼付けは、露光装置の光源
を、インライン型カラー受像管の電子銃から放出される
センタービームおよび一対のサイドビームからなる一列
配置の3電子ビームに対応する位置に逐次配置して3回
露光することによりおこなわれる。つぎに、上記パター
ンの焼付けられた感光剤被膜20を現像して、未感光部
分を除去し、同(b)に示すように、シヤドウマスクの
開孔に対応するパターンからなるレジスト22を形成す
る。つぎに、このレジスト22の形成されたパネル7の
内面に光吸収層形成用塗料を塗布し、乾燥して、同
(c)に示すように、光吸収塗料層23を形成する。つ
ぎに、剥離剤により、上記レジスト22とともに、その
上に塗布された光吸収塗料層23を剥離して、同(d)
に示すように、マトリックスホール24を円形とするマ
トリックス状光吸収層10を形成する。
As shown in FIG. 1A, the black matrix type phosphor screen is first formed on the inner surface of the panel 7.
A photosensitizer containing polyvinyl alcohol (PVA) and ammonium dichromate (ADC) as main components is applied and dried to form a film 20 of the photosensitizer. Then, a shadow mask 6 is formed on the inside of the panel 7 on which the photosensitive film 20 is formed.
And a pattern corresponding to the circular opening 21 of the shadow mask 6 is printed on the photosensitive film 20 by the exposure device described later. This pattern printing is performed three times by sequentially arranging the light source of the exposure apparatus at a position corresponding to the three electron beams arranged in a line consisting of the center beam and a pair of side beams emitted from the electron gun of the in-line type color picture tube. It is done by doing. Next, the photosensitizer film 20 having the above pattern baked is developed to remove the unexposed portion, and a resist 22 having a pattern corresponding to the opening of the shadow mask is formed as shown in FIG. Next, the light absorbing layer forming paint is applied to the inner surface of the panel 7 on which the resist 22 is formed and dried to form a light absorbing paint layer 23 as shown in FIG. Next, with the release agent, the resist 22 and the light absorbing paint layer 23 applied thereon are peeled off.
As shown in, the matrix-shaped light absorption layer 10 having the circular matrix holes 24 is formed.

【0018】その後、上記光吸収層10の形成されたパ
ネル7の内面に、PVA、ADCおよびたとえば青蛍光
体を主成分とする蛍光体スラリを塗布し、乾燥して、同
(e)に示すように、蛍光体スラリの被膜26を形成す
る。ついで、この蛍光体スラリ被膜26の形成されたパ
ネル7の内側にシヤドウマスク6を装着し、後述する露
光装置により、蛍光体スラリ被膜26にシヤドウマスク
6の開孔21に対応するパターンを焼付ける。このパタ
ーン焼付けは、露光装置の光源を、インライン型カラー
受像管の電子銃から放出される一列配置の3電子ビーム
のうち、一方のサイドビームに対応する位置に配置して
おこなわれる。つぎに、上記パターンの焼付けられた蛍
光体スラリ被膜26を現像して、未感光部分を除去し、
同(f)に示すように、光吸収層10の所定のマトリッ
クスホールに円形ドット状の青蛍光体層11B を形成す
る。さらに、この青蛍光体層11B の形成工程を順次緑
および赤蛍光体について繰返し、同(g)に示すよう
に、それぞれ所定のマトリックスホールに円形ドット状
の緑蛍光体層11G および赤蛍光体層11R を形成す
る。
Thereafter, a phosphor slurry containing PVA, ADC and, for example, a blue phosphor as a main component is applied to the inner surface of the panel 7 on which the light absorption layer 10 is formed, dried and then shown in (e). Thus, the coating 26 of the phosphor slurry is formed. Then, the shadow mask 6 is attached to the inside of the panel 7 on which the phosphor slurry coating 26 is formed, and a pattern corresponding to the openings 21 of the shadow mask 6 is printed on the phosphor slurry coating 26 by an exposure device described later. This pattern printing is performed by arranging the light source of the exposure apparatus at a position corresponding to one side beam of the three electron beams arranged in a row and emitted from the electron gun of the in-line type color picture tube. Next, the baked phosphor slurry coating 26 having the above pattern is developed to remove an unexposed portion,
As shown in (f), a circular dot-shaped blue phosphor layer 11B is formed in a predetermined matrix hole of the light absorption layer 10. Further, the steps of forming the blue phosphor layer 11B are sequentially repeated for the green phosphor and the red phosphor, and as shown in (g), circular dot-shaped green phosphor layer 11G and red phosphor layer are formed in predetermined matrix holes, respectively. 11R is formed.

【0019】上記マトリックス状光吸収層10および3
色蛍光体層11B ,11G ,11Rの形成には、図2に
示す露光装置が用いられる。この露光装置は、パネル7
を位置決め支持する支持台16を有し、この支持台16
の下部にインライン型カラー受像管の電子銃から放出さ
れるセンタービームおよび一対のサイドビームからなる
一列配置の3電子ビームに対応する位置に、光源13が
この光源13を収容するランプハウス17ごと移動かつ
傾斜可能に配置されている。このランプハウス17に
は、光源13から放射される光を上記支持台16に位置
決め支持されたパネル7方向に透過するスリット状開孔
28が設けられている。さらに上記光源13から支持台
16に位置決め支持されたパネル7方向に、光源13か
らランプハウス17のスリット状開孔28を介して放射
される光29を電子ビームの軌道に近似させる一対のサ
イドビーム対応のΔS補正レンズ14、偏向中心の移動
にともなう補正をおこなうγ−ΔP補正レンズ15、パ
ネル7内面に対する光量分布を補正する補正フィルタ3
0などが配置されている。その補正レンズ14,15お
よび補正フィルタ30は、水平に配置され、光源13と
ともに同方向に移動するものとなっている。なお、図2
において、18は、パネル7内面に形成された感光剤被
膜や蛍光体スラリ被膜などの感光性蛍光面形成被膜であ
る。
The matrix light absorbing layers 10 and 3
The exposure apparatus shown in FIG. 2 is used to form the color phosphor layers 11B, 11G, and 11R. This exposure apparatus has a panel 7
Has a support base 16 for positioning and supporting
The light source 13 is moved together with the lamp house 17 housing this light source 13 to a position corresponding to the three electron beams arranged in a line consisting of the center beam and a pair of side beams emitted from the electron gun of the in-line type color picture tube at the bottom of the And it is arranged so that it can be tilted. The lamp house 17 is provided with a slit-shaped opening 28 that transmits the light emitted from the light source 13 toward the panel 7 positioned and supported by the support table 16. Further, a pair of side beams that makes the light 29 emitted from the light source 13 through the slit-shaped opening 28 of the lamp house 17 in the direction of the panel 7 positioned and supported by the support 16 approximate the trajectory of the electron beam. A corresponding ΔS correction lens 14, a γ-ΔP correction lens 15 that performs correction accompanying the movement of the deflection center, and a correction filter 3 that corrects the light amount distribution on the inner surface of the panel 7.
0 and the like are arranged. The correction lenses 14 and 15 and the correction filter 30 are arranged horizontally and move together with the light source 13 in the same direction. Note that FIG.
Reference numeral 18 denotes a photosensitive phosphor screen forming film such as a photosensitizer film and a phosphor slurry film formed on the inner surface of the panel 7.

【0020】図3に光吸収層および3色蛍光体層を形成
するときの上記露光装置の光源およびランプハウスの配
置状態を示す。光源13およびランプハウス17をセン
タービームに対応する位置に配置して露光するときは、
図3(a)に示すように、光源13およびランプハウス
17は、支持台16に位置決め支持されたパネル7の中
心軸zp 上に水平に配置され、この光源13およびラン
プハウス17に対して、ΔS補正レンズ14、γ−ΔP
補正レンズ15および補正フィルタ30は、それぞれこ
の光源13と同軸にパネル7の中心軸zp 上に位置す
る。これに対し、光源13およびランプハウス17を一
対のサイドビームに対応する位置に配置して露光すると
きは、同(b)および(c)に示すように、光源13お
よびランプハウス17は、支持台16に位置決め支持さ
れたパネル7の中心軸zp に対して水平方向にS1 移動
した位置に配置され、この光源13に対して、ΔS補正
レンズ14、γ−ΔP補正レンズ15および補正フィル
タ30は、それぞれ光源13と同方向にパネル7の中心
軸zp に対してS2 移動される。その移動距離は、 S1 >S2 である。しかもこの場合、光源13およびランプハウス
17は、センタービームおよび一対のサイドビームに対
応する光源13の配置方向と直交する光源13の中心を
通る軸を回転軸とする回転により、パネル7の中心軸z
p 側が支持台16に位置決め支持されたパネル7に近づ
き、反対側が遠ざかるように傾けられる。この光源13
およびランプハウス17の傾斜角度は、管種によって異
なる。
FIG. 3 shows the arrangement of the light source and the lamp house of the above exposure apparatus when forming the light absorption layer and the three-color phosphor layer. When arranging the light source 13 and the lamp house 17 at positions corresponding to the center beam for exposure,
As shown in FIG. 3 (a), the light source 13 and the lamp house 17 are horizontally arranged on the central axis zp of the panel 7 which is positioned and supported by the support base 16. With respect to the light source 13 and the lamp house 17, ΔS correction lens 14, γ-ΔP
The correction lens 15 and the correction filter 30 are located coaxially with the light source 13 on the central axis zp of the panel 7. On the other hand, when the light source 13 and the lamp house 17 are arranged at positions corresponding to the pair of side beams for exposure, the light source 13 and the lamp house 17 are supported as shown in (b) and (c). The panel 7 positioned and supported by the table 16 is arranged at a position moved by S1 in the horizontal direction with respect to the central axis zp of the panel 7, and the .DELTA.S correction lens 14, .gamma. , S2 are moved in the same direction as the light source 13 with respect to the central axis zp of the panel 7. The moving distance is S1> S2. Moreover, in this case, the light source 13 and the lamp house 17 are rotated about the central axis of the panel 7 by rotating the axis of light passing through the center of the light source 13 orthogonal to the arrangement direction of the light source 13 corresponding to the center beam and the pair of side beams. z
The p side approaches the panel 7 positioned and supported by the support 16 and the opposite side tilts away. This light source 13
The inclination angle of the lamp house 17 differs depending on the tube type.

【0021】ところで、上記のようにマトリックス状の
光吸収層およびこの光吸収層のマトリックスホールに蛍
光体層を形成するとき、一対のサイドビームに対応する
位置に配置された光源13およびこの光源13からの放
射光を透過するスリット状開孔28が形成されたランプ
ハウス17を傾けると、パネル7の中心軸zp に対して
光源13の配置側の周辺部を露光する光源13の発光中
心と反対側を露光する光源13の発光中心とが大きく異
なるようになる。すなわち、図3(a)に示したよう
に、光源13およびランプハウス17をセンタービーム
に対応するパネル7の中心軸zp 上に水平配置して露光
するときは、光源13の発光中心は、スリット状開孔の
中心軸上に位置する光源13の中心が発光中心となる
が、光源13およびランプハウス17を一対のサイドビ
ームに対応する位置に配置して傾けると、図4に示すよ
うに、パネルの中心軸に対して光源13の配置側の周辺
部を露光する光源13の発光中心32a は、上記光源1
3の中心33よりもパネル側に上昇し、反対側の周辺部
を露光する光源13の発光中心32b は、逆にパネルの
反対側に下降する。
By the way, when the phosphor layer is formed in the matrix-shaped light absorbing layer and the matrix hole of the light absorbing layer as described above, the light source 13 and the light source 13 arranged at positions corresponding to the pair of side beams. When the lamp house 17 in which the slit-shaped opening 28 that transmits the radiant light from is transmitted is tilted, the light emission center of the light source 13 that exposes the peripheral portion on the arrangement side of the light source 13 with respect to the central axis zp of the panel 7 is opposite. The light emission center of the light source 13 that exposes the side becomes largely different. That is, as shown in FIG. 3A, when the light source 13 and the lamp house 17 are horizontally arranged on the central axis zp of the panel 7 corresponding to the center beam for exposure, the light emission center of the light source 13 becomes a slit. The center of the light source 13 located on the central axis of the circular aperture is the emission center, but when the light source 13 and the lamp house 17 are arranged and tilted at the positions corresponding to the pair of side beams, as shown in FIG. The light emitting center 32a of the light source 13 that exposes the peripheral portion on the side where the light source 13 is arranged with respect to the central axis of the panel
The light emitting center 32b of the light source 13 that rises to the panel side from the center 33 of 3 and exposes the peripheral portion on the opposite side descends to the opposite side of the panel.

【0022】その結果、図5に示すように、パネル7側
に上昇した発光中心32a からシャドウマスク6の開孔
21を通ってパネル7内面の周辺部に達する光29a
は、従来のように光源およびランプハウスを水平に配置
して、光源の中心を発光中心とする場合よりも垂直方向
(y軸方向)外側になる。逆にパネル7の反対側に下降
した発光中心32b からシャドウマスク6の開孔21を
通ってパネル7内面の周辺部に達する光29b は、光源
13の中心33を発光中心とする場合よりも垂直方向内
側になる。したがって上記のように一対のサイドビーム
に対応する位置に光源13およびランプハウス17を配
置するとき、これら光源13およびランプハウス17を
傾けると、従来の蛍光面形成方法で生じた一対のサイド
ビームのスポットに対する一対のサイドビーム対応のマ
トリックスホールおよび蛍光体層の垂直方向のずれを補
正して、図6に示すように、一対のサイドビームのスポ
ット19B ,19R に対して、一対のサイドビーム対応
のマトリックスホールおよび蛍光体層の11B ,11R
を適正位置に同心状に形成することができる。なお、セ
ンタービーム対応のマトリックスホールおよび蛍光体層
11G については、従来と同様に同心に形成される。
As a result, as shown in FIG. 5, the light 29a reaching the peripheral portion of the inner surface of the panel 7 from the light emission center 32a that has risen to the panel 7 side, through the opening 21 of the shadow mask 6.
Is more outward in the vertical direction (y-axis direction) than in the case where the light source and the lamp house are horizontally arranged as in the conventional case and the center of the light source is the emission center. On the contrary, the light 29b reaching the peripheral portion of the inner surface of the panel 7 from the emission center 32b descending to the opposite side of the panel 7 through the opening 21 of the shadow mask 6 is more vertical than when the center 33 of the light source 13 is the emission center. It becomes the direction inside. Therefore, when the light source 13 and the lamp house 17 are arranged at the positions corresponding to the pair of side beams as described above, if the light source 13 and the lamp house 17 are tilted, a pair of side beams generated by the conventional phosphor screen forming method will be generated. By correcting the vertical shifts of the matrix holes and the phosphor layer corresponding to the pair of side beams with respect to the spots, as shown in FIG. 6, the spots 19B and 19R of the pair of side beams are paired with the side beams corresponding to the pair of side beams. 11B and 11R of matrix hole and phosphor layer
Can be concentrically formed at appropriate positions. The matrix hole corresponding to the center beam and the phosphor layer 11G are formed concentrically as in the conventional case.

【0023】たとえば光源13およびランプハウス17
を数度傾ける程度でも、従来発生した一対のサイドビー
ムの垂直方向のランディングずれ(数μm 〜20μm )
を十分に補正することができる。その結果、画面全面に
わたり、3色蛍光体層11B,11G ,11R に対する
電子ビームのランディング特性が向上し、良好な画像を
表示するカラー受像管とすることができる。
For example, the light source 13 and the lamp house 17
Even if the beam is tilted a few degrees, the vertical landing displacement of a pair of side beams (several .mu.m to 20 .mu.m) that occurred in the past
Can be sufficiently corrected. As a result, the landing characteristics of the electron beam on the three-color phosphor layers 11B, 11G, and 11R are improved over the entire screen, and a color picture tube that displays a good image can be obtained.

【0024】なお、上記のように光源13を一対のサイ
ドビームに対応する位置に配置して露光するとき、光源
13およびランプハウス17を傾けると、一対のサイド
ビームのビームスポット19B ,19R に対して、一対
のサイドビーム対応のマトリックスホールおよび蛍光体
層11B ,11R は、水平方向にもずれるが、この水平
方向のずれは、ΔS補正レンズ14の傾斜面の角度およ
び移動量S2 を適宜調整することにより、十分に補正で
きる。
When the light source 13 and the lamp house 17 are tilted when the light source 13 is arranged at a position corresponding to the pair of side beams as described above and the lamp house 17 is tilted, the beam spots 19B and 19R of the pair of side beams are tilted. The pair of side-beam-compatible matrix holes and the phosphor layers 11B and 11R are also displaced in the horizontal direction, and the displacement in the horizontal direction adjusts the angle of the inclined surface of the ΔS correction lens 14 and the movement amount S2 as appropriate. By doing so, it can be sufficiently corrected.

【0025】[0025]

【発明の効果】インライン型カラー受像管の蛍光面形成
に際し、光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に
配置して、パネルの内面に形成された感光性蛍光面形成
被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターンを焼付
けるとき、光源およびランプハウスをパネルの中心軸側
がパネルに近づき、反対側がパネルから遠ざかるように
傾けると、一対のサイドビームに対して、マトリックス
状光吸収層のマトリックスホールおよびドット状蛍光体
層を適正位置に同心状に形成することができる。その結
果、画面全面にわたり、3色蛍光体層に対する電子ビー
ムのランディング特性が向上し、良好な画像を表示する
カラー受像管とすることができる。
When the fluorescent screen of the in-line type color picture tube is formed, the light source is arranged at the position corresponding to the side beam emission position, and the opening of the shadow mask is formed in the photosensitive fluorescent screen forming film formed on the inner surface of the panel. When burning the pattern corresponding to, when the light source and the lamp house are tilted so that the central axis side of the panel approaches the panel and the opposite side moves away from the panel, the matrix holes of the matrix-shaped light absorption layer and The dot-shaped phosphor layer can be formed concentrically at an appropriate position. As a result, the landing characteristics of the electron beam on the three-color phosphor layer are improved over the entire screen, and a color picture tube that displays a good image can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1(a)ないし(g)はそれぞれこの発明の
一実施の形態である蛍光面形成方法の主要工程を示す図
である。
1A to 1G are diagrams showing main steps of a phosphor screen forming method according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記蛍光面形成に用いられる露光装置の構成を
示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an exposure apparatus used for forming the fluorescent screen.

【図3】図3(a)ないし(c)はそれぞれ上記露光装
置の光源およびランプハウスの配置状態を示す図であ
る。
3 (a) to 3 (c) are diagrams showing arrangement states of a light source and a lamp house of the exposure apparatus, respectively.

【図4】上記光源の傾斜による発光中心の移動を説明す
るための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining movement of a light emission center due to inclination of the light source.

【図5】上記光源の傾斜によるパネル内面の周辺部に達
する光の位置変化を説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining a positional change of light reaching the peripheral portion of the inner surface of the panel due to the inclination of the light source.

【図6】上記方法により形成された蛍光面のランディン
グ特性を説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining landing characteristics of a phosphor screen formed by the above method.

【図7】インライン型カラー受像管の構成を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of an in-line type color picture tube.

【図8】図8(a)は上記カラー受像管の蛍光面の構成
を示す平面図、図8(b)はその断面図である。
FIG. 8 (a) is a plan view showing the structure of the fluorescent screen of the color picture tube, and FIG. 8 (b) is a sectional view thereof.

【図9】図9(a)ないし(c)はそれぞれ従来の露光
装置の光源およびランプハウスの配置状態を示す図であ
る。
9 (a) to 9 (c) are views showing arrangement states of a light source and a lamp house of a conventional exposure apparatus, respectively.

【図10】上記従来の露光装置に形成された蛍光面のラ
ンディング特性を説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining landing characteristics of a fluorescent screen formed in the conventional exposure apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6…シャドウマスク 7…パネル 10…光吸収層 11B ,11G .1 R…3色蛍光体層 13…光源 14…ΔS補正レンズ 15…γ−ΔP補正レンズ 16…支持台 17…ランプハウス 18…感光性蛍光面形成被膜 20…感光剤の被膜 24…マトリックスホール 26…蛍光体スラリの被膜 28…スリット状開孔 30…補正フィルタ 6 ... Shadow mask 7 ... Panel 10 ... Light absorption layer 11B, 11G. 1 R ... Three-color phosphor layer 13 ... Light source 14 ... .DELTA.S correction lens 15 ... .gamma .-. DELTA.P correction lens 16 ... Support stand 17 ... Lamp house 18 ... Photosensitive phosphor screen forming film 20 ... Photosensitive agent film 24 ... Matrix hole 26 ... Coating of phosphor slurry 28 ... Slit-shaped openings 30 ... Correction filter

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インライン型カラー受像管の電子銃から
放出される同一平面上を通るセンタービームおよび一対
のサイドビームからなる一列配置の3電子ビームに対応
する位置に光源を配置し、上記光源からこの光源を収容
するランプハウスに設けられたスリット状開孔を介して
放射される光によりパネル内面に形成された感光性蛍光
面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパターン
を焼付けるカラー受像管の蛍光面形成方法において、 上記光源をサイドビーム放出位置に対応する位置に配置
して上記パターンを焼付けるとき、上記光源およびラン
プハウスをこれら光源およびランプハウスのパネル中心
軸側が反対側よりも上記パネルに近づくように傾けて上
記感光性蛍光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応
するパターンを焼付けること特徴とするカラー受像管の
蛍光面形成方法。
1. A light source is arranged at a position corresponding to a row of three electron beams consisting of a center beam and a pair of side beams which are emitted from an electron gun of an in-line type color picture tube and are arranged from the light source. A color image in which a pattern corresponding to the opening of the shadow mask is printed on the photosensitive phosphor screen forming film formed on the inner surface of the panel by the light emitted through the slit-like opening provided in the lamp house containing this light source. In the method for forming a fluorescent screen of a tube, when the light source is arranged at a position corresponding to a side beam emission position and the pattern is baked, the light source and the lamp house are arranged on the panel center axis side of the light source and the lamp house more than the opposite side. The pattern corresponding to the aperture of the shadow mask is printed on the photosensitive phosphor screen forming film by inclining it so that it approaches the panel. A phosphor screen forming method of the color picture tube according to Rukoto features.
【請求項2】 インライン型カラー受像管の電子銃から
放出される同一平面上を通るセンタービームおよび一対
のサイドビームからなる一列配置の3電子ビームに対応
する位置に配置され、パネル内面に形成された感光性蛍
光面形成被膜にシャドウマスクの開孔に対応するパター
ンを焼付ける光を放射する光源を有し、この光源がスリ
ット状開孔の設けられたランプハウスに収容されてなる
カラー受像管の蛍光面形成用露光装置において、 上記光源およびランプハウスは上記一列配置の3電子ビ
ームに対応する光源の配置方向に傾斜可能に形成されて
いること特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光装
置。
2. An in-line type color picture tube is provided at a position corresponding to a row of three electron beams consisting of a center beam and a pair of side beams emitted from an electron gun of the in-line color picture tube, and is formed on the inner surface of the panel. A color picture tube having a light source for emitting light for printing a pattern corresponding to the opening of the shadow mask on the photosensitive fluorescent surface forming coating, and the light source is housed in a lamp house provided with slit-shaped openings. In the exposure apparatus for forming a fluorescent screen, the light source and the lamp house are formed to be tiltable in the arrangement direction of the light sources corresponding to the three electron beams arranged in a row. apparatus.
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