JPH095202A - Vacuum leakage testing apparatus - Google Patents

Vacuum leakage testing apparatus

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JPH095202A
JPH095202A JP15297995A JP15297995A JPH095202A JP H095202 A JPH095202 A JP H095202A JP 15297995 A JP15297995 A JP 15297995A JP 15297995 A JP15297995 A JP 15297995A JP H095202 A JPH095202 A JP H095202A
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JP
Japan
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vacuum
vacuum box
sheet
defect
inspected
Prior art date
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Pending
Application number
JP15297995A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masashi Inoue
正史 井上
Sumio Kogure
澄夫 木暮
Tadashi Majima
正 真島
Kenichi Kawai
賢一 河合
Yoji Yoshida
洋司 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Engineering Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Engineering Co Ltd
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Publication of JPH095202A publication Critical patent/JPH095202A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

PURPOSE: To easily conduct an accurate inspection. CONSTITUTION: A reference position marking unit 40 is so provided as to collate with a leakage position distribution diagram formed by processing a signal by a vacuum leakage testing apparatus in which a plurality of small-sized acoustic sensors 6 for quantifying leakage are arranged in a lattice state in a vacuum box 10 and a conical sound collecting plate 70 is disposed at the front surfaces of the sensors 6, and outputs a sheet showing a fault position in an actual size. The sheet is provided for a material 20 to be inspected with the marking as a reference and a fault hole 21 is recognized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、車両等の平面状(曲面
を含む。)構造物の試験品の試験法の一つである漏れ試
験に係り、漏れ音により漏れ箇所を特定する真空漏れ試
験装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak test, which is one of the test methods for test products of flat structures (including curved surfaces) of vehicles and the like. Regarding test equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】検査面の一方を加圧又は真空にし、検査
面と反対側との差圧によって生じる気体の漏れを、検査
面に塗布した発泡液の泡の形成を観察する発泡漏れ試験
方法が使用されているが、壁面のように試験面とその裏
側面共に開放状態で加圧することが困難な場合には、真
空箱を試験面に押しつけてその内部を局部的に排気する
方法が採られている。音響センサで漏れ音を検出する方
法は従来から行なわれているが、何れも容器や配管の内
部を加圧したときに外部に漏れる音を検出しており真空
法と組み合わせる構造となっていない。( )
2. Description of the Related Art A foam leakage test method for observing the formation of bubbles of a foaming liquid applied to an inspection surface, by applying pressure or vacuum to one of the inspection surfaces and observing gas leakage caused by a pressure difference between the inspection surface and the opposite side. However, if it is difficult to pressurize both the test surface and the back surface in an open state like a wall surface, the method of pressing the vacuum box against the test surface and exhausting the inside locally is adopted. Has been. Although a method of detecting a leaking sound with an acoustic sensor has been conventionally performed, none of them detects a sound leaking to the outside when the inside of a container or a pipe is pressurized, and is not structured to be combined with the vacuum method. ()

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】発泡漏れ試験により検
査面からの漏れ個所を見つけることは可能であるが、発
泡を検査員が目視によって検出するため作業の自動化が
困難で、且つ漏れ位置の記録性が乏しく、又漏れ量を定
量化することが困難であった。特に大きな漏れに対して
は、一度発泡すると発泡液が除去されて発泡が停止して
しまい瞬間的にしか観察ができないという問題がある。
Although it is possible to find the leaked portion from the inspection surface by the foam leakage test, it is difficult to automate the work because the inspector visually detects the foaming, and the leakage position is recorded. However, it was difficult to quantify the leakage amount. Especially for a large leak, there is a problem that once foaming, the foaming liquid is removed and the foaming stops, so that it can be observed only momentarily.

【0004】本発明の目的は手軽に精度の良い検査を行
えるようにすることに有る。
An object of the present invention is to enable easy and accurate inspection.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的は、真空箱内に
設けた複数の音響センサと、該音響センサが集音した音
を判定して前記真空箱内の欠陥の位置をシートに図示し
て出力する出力装置と、からなり、該出力装置は、前記
欠陥位置を前記シートに前記真空箱内の大きさに対して
一対一の関係で図示するものであるように、構成するこ
とによって、達成できる。
The above-mentioned object is to show a plurality of acoustic sensors provided in a vacuum box and the sound collected by the acoustic sensors to determine the position of a defect in the vacuum box on a sheet. And an output device for outputting, and the output device is configured to show the defect position on the sheet in a one-to-one relationship with the size in the vacuum box. Can be achieved.

【0006】[0006]

【作用】真空箱を被検査体に当てて真空発生装置を作動
させると、真空箱と被検査体で囲まれる空間は真空状態
となる。この状態において、被検査体に貫通欠陥が存在
すると、空間の真空の度合いに応じて、被検査体の内部
気体が吸出される。貫通欠陥内を空気等の気体が通過す
ると、通過速度や欠陥の形状、大きさに応じて、非常に
微弱な擦過音が発生する。これを真空箱の音響センサに
よって捕え、貫通欠陥の位置をシートに図示する。この
場合、前記欠陥位置を前記シートに前記真空箱内の大き
さに対して一対一の関係で図示するようにする。欠陥が
ある場合は、前記シートを被検査体にかぶせ、シートに
表示された欠陥位置から実際の欠陥の位置を認識する。
そして、この発見した欠陥位置を補修する等の作業を行
うものである。このように被検査体の大きさに対して1
対1の大きさに図示されたシートを用いて実際の欠陥位
置を認識しているので、容易に実際の欠陥位置を認識で
きるものである。
When the vacuum box is applied to the object to be inspected and the vacuum generator is operated, the space surrounded by the vacuum box and the object to be inspected is in a vacuum state. In this state, if the inspection object has a penetration defect, the internal gas of the inspection object is sucked out according to the degree of vacuum in the space. When a gas such as air passes through the penetrating defect, a very weak rubbing sound is generated depending on the passing speed and the shape and size of the defect. This is captured by the acoustic sensor of the vacuum box, and the position of the penetration defect is shown on the sheet. In this case, the defect position is shown on the sheet in a one-to-one relationship with the size in the vacuum box. If there is a defect, the sheet is covered with the inspection object, and the actual position of the defect is recognized from the defect position displayed on the sheet.
Then, work such as repairing the found defect position is performed. Thus, the size of the inspected object is 1
Since the actual defect position is recognized using the sheet shown in the size of pair 1, the actual defect position can be easily recognized.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1から図3によ
り説明する。被検査体20に真空箱10を配置し、真空
発生装置12で内部を負圧にして使用する。真空箱10
の開口部にはパッキン11を配置している。真空箱10
の内部には複数の円錐状の集音穴71を有する集音板7
0があり、それぞれの集音穴71に音響センサ6を配置
している。音響センサ6は、集音穴71の拡大方向すな
わち、真空箱10の開口方向に向けて配置している。集
音板70は真空箱20の比較的開口部側にある。真空発
生装置12は集音板70よりも上方に接続している。集
音板70よりも上方の方が比較的容積が大きい。複数の
音響センサ6は格子状に配置している。真空箱10には
真空箱10の現在位置、すなわち、複数の音響センサー
6の原点位置を被検査体に表示するための基準マーキン
グ装置40を設けている。マーキング装置40はL状の
マークを符すものである。L状のマークはL状のの2片
がなす直角の方向に真空箱10があることを示す。ま
た、マーキング装置40は検査番号も被検査体20に印
字する。複数の音響センサ6はそれぞれ信号線32を経
て信号処理表示装置30に接続されている。信号処理表
示装置30には出力装置31を備えている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The vacuum box 10 is placed on the object 20 to be inspected, and the inside of the vacuum generator 12 is used as a negative pressure for use. Vacuum box 10
A packing 11 is arranged in the opening of the. Vacuum box 10
Sound collecting plate 7 having a plurality of conical sound collecting holes 71 inside
0, and the acoustic sensor 6 is arranged in each sound collection hole 71. The acoustic sensor 6 is arranged in the expanding direction of the sound collecting hole 71, that is, in the opening direction of the vacuum box 10. The sound collector 70 is located relatively close to the opening of the vacuum box 20. The vacuum generator 12 is connected above the sound collecting plate 70. The volume above the sound collecting plate 70 is relatively large. The plurality of acoustic sensors 6 are arranged in a grid. The vacuum box 10 is provided with a reference marking device 40 for displaying the current position of the vacuum box 10, that is, the origin positions of the plurality of acoustic sensors 6 on the object to be inspected. The marking device 40 marks an L-shaped mark. The L-shaped mark indicates that the vacuum box 10 is located in the direction perpendicular to the two L-shaped pieces. The marking device 40 also prints the inspection number on the inspection object 20. The plurality of acoustic sensors 6 are connected to the signal processing display device 30 via signal lines 32, respectively. The signal processing display device 30 includes an output device 31.

【0008】欠陥の穴2を含んだ被検査体20に真空箱
10を乗せて、真空発生装置12で真空箱10の内部を
排気して負圧にすると、欠陥穴21から真空箱10内に
大気が漏れ込むようになる。このとき発生する漏れ音2
2を音響センサ6が検知して、電気信号に変換される。
電気信号は信号線32で真空箱10の外に導かれ、信号
処理表示装置30に入力される。信号処理表示装置31
は個々の音響センサ毎に信号を増幅して必要な処理を行
い、信号処理表示装置31の画面50に表示を行うと共
に、その内容を出力装置31に出力する。複数の音響セ
ンサ6の中で、漏れ板にもっとも近いセンサがもっとも
強い漏れ音を検出する。欠陥穴の有無は信号強度から判
定する。音響センサ6ごとに円錐状の集音穴70を設け
ているので、センサ6とセンサ6との間の感度低下を小
さく抑えることが出来ると同時に、一定の被検査体積を
カバーするのに必要なセンサの数を削減することが出来
る。
When the vacuum box 10 is placed on the object 20 including the defect hole 2 and the inside of the vacuum box 10 is evacuated to a negative pressure by the vacuum generator 12, the vacuum hole 10 enters the vacuum box 10 through the defect hole 21. Atmosphere begins to leak. Leak sound 2 generated at this time
2 is detected by the acoustic sensor 6 and converted into an electric signal.
The electric signal is guided to the outside of the vacuum box 10 by the signal line 32 and input to the signal processing display device 30. Signal processing display device 31
Amplifies the signal for each acoustic sensor, performs necessary processing, displays it on the screen 50 of the signal processing display device 31, and outputs the content to the output device 31. Among the plurality of acoustic sensors 6, the sensor closest to the leak plate detects the strongest leak sound. The presence or absence of a defective hole is determined from the signal strength. Since the conical sound collecting hole 70 is provided for each acoustic sensor 6, it is possible to suppress a decrease in sensitivity between the sensors 6 to a small level, and at the same time, to cover a certain volume to be inspected. The number of sensors can be reduced.

【0009】信号表示装置31および出力装置31の表
示内容は種々できるが、その主なものは、音響センサ6
の位置と欠陥穴の位置を図示することである。また、こ
れらは欠陥穴の大きさを色または大きさによって表示す
る。また、検査番号を表示する。出力装置31は、マー
キング装置40、L状のマーク、真空箱10、複数の音
響センサ6の位置、欠陥の位置を原寸大で表示する。マ
ーキング装置40および真空箱10は細線でその位置を
示す。音響センサ6の位置は丸印、点、や+で示す。欠
陥を検出した音響センサ6は大きな丸印や色で示す。こ
れは欠陥穴の大きさに比例して示してもよい。出力装置
31はこれを透明な紙等のシート51に印刷する。この
シート51は検査番号毎、すなわち、真空箱10を置き
換える毎に切断できる。
Although the display contents of the signal display device 31 and the output device 31 can be various, the main one is the acoustic sensor 6.
And the position of the defective hole. Also, these indicate the size of the defective hole by color or size. Also, the inspection number is displayed. The output device 31 displays the marking device 40, the L-shaped mark, the position of the vacuum box 10, the positions of the plurality of acoustic sensors 6, and the position of the defect in the actual size. The marking device 40 and the vacuum box 10 indicate their positions by thin lines. The position of the acoustic sensor 6 is indicated by a circle, a dot, or +. The acoustic sensor 6 that has detected the defect is indicated by a large circle or a color. This may be indicated in proportion to the size of the defective hole. The output device 31 prints this on a sheet 51 such as transparent paper. The sheet 51 can be cut for each inspection number, that is, each time the vacuum box 10 is replaced.

【0010】検査が終了し、欠陥が表示された場合に
は、シート51を切断し、被検査体20にあてがい、シ
ート51に表示された欠陥マークから、実際の欠陥位置
を認識する。シート51は透明であるので、容易に欠陥
穴を認識できる。被検査体20には検査番号とL状のマ
ークが伏されているので、シート51を容易にあてがう
ことができるものである。図3の(b)端ーと51を切
断した状態を示し、図3の(c)は被検査体(溶接線2
3)にあてがった状態を示している。52は欠陥マーク
である。なお、図3の原点位置のマーク42は三角形状
であり、シート51のマーク43も三角形状であり、頂
点で対抗するようにしている。
When the inspection is completed and a defect is displayed, the sheet 51 is cut, applied to the object 20 to be inspected, and the actual defect position is recognized from the defect mark displayed on the sheet 51. Since the sheet 51 is transparent, the defective hole can be easily recognized. Since the inspection number and the L-shaped mark are provided on the inspected body 20, the sheet 51 can be easily applied. 3B shows a state in which the ends 51 and 51 are cut, and FIG. 3C shows an object to be inspected (welding line 2).
The state applied to 3) is shown. 52 is a defect mark. It should be noted that the mark 42 at the origin position in FIG. 3 has a triangular shape, and the mark 43 on the sheet 51 also has a triangular shape so that they are opposed to each other at the apexes.

【0011】かかる方法によれば、従来の発泡試験のよ
うに検査員が被検査体を連続注視することなしに試験を
行なうことができる。
According to this method, the inspector can carry out the test without continuously gazing at the object to be inspected as in the conventional foaming test.

【0012】真空箱10はシールパッキン11によって
気密が保たれるようになっている。しかしながら、被検
査体の平坦度がよくないとシール部の気密が、完全には
保たれず、わずかの漏れを生ずることがある。漏れ量が
小さければ、この漏れは通常の漏れ試験では障害になら
ないが、漏れ音をセンサで検知するこの実施例では、被
検査体の漏れとシール部の漏れを区別しにくい場合があ
る。そこで、図4に示すように、二つのシールパッキン
111と112を設けて二重構造のシールとし、且つ、
二つのシールパッキンの間の空間も排気するようにす
る。このような構造にすることによって、内側のシール
パッキン112と被検査体の漏れは、その両側の圧力差
が小さいため、小さく押さえられ、且つ、外側のパッキ
ン111部の漏れ音は、内側のパッキン112によって
遮蔽されてセンサ6に到達しない。
The vacuum box 10 is kept airtight by a seal packing 11. However, if the flatness of the object to be inspected is not good, the airtightness of the seal portion may not be completely maintained, and a slight leak may occur. If the leak amount is small, this leak will not be an obstacle in a normal leak test, but in this embodiment in which leak noise is detected by a sensor, it may be difficult to distinguish between the leak of the DUT and the leak of the seal portion. Therefore, as shown in FIG. 4, two seal packings 111 and 112 are provided to form a double structure seal, and
Make sure that the space between the two seal packings is also evacuated. With such a structure, the leakage between the inner seal packing 112 and the object to be inspected is suppressed to a small level because the pressure difference between the two sides is small, and the leakage sound of the outer packing 111 is reduced by the inner packing. It is blocked by 112 and does not reach the sensor 6.

【0013】真空発生装置12及び121は、通常回転
式真空ポンプやエアエゼクタが使用されているが、いず
れの場合も、排気音が発生して漏れ試験の雑音になる。
この雑音を軽減するために真空ホース14及び141の
長さを10メートル以上にして、排気音の到達を阻止す
る。
As the vacuum generators 12 and 121, a rotary vacuum pump or an air ejector is usually used. In either case, exhaust noise is generated and becomes noise in the leak test.
In order to reduce this noise, the length of the vacuum hoses 14 and 141 is set to 10 meters or more to prevent the exhaust noise from reaching.

【0014】音響センサの配置は千鳥でもよい。The arrangement of the acoustic sensors may be staggered.

【0015】[0015]

【発明の効果】本発明によれば、欠陥の位置を原寸大で
表示したシートを出力するので、実際の欠陥位置を容易
に認識できるものである。
According to the present invention, since a sheet in which the position of a defect is displayed in full scale is output, the actual position of the defect can be easily recognized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の真空漏れ試験装置の構成図
である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a vacuum leak test apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の真空漏れ試験装置の集音板の斜視図であ
る。
FIG. 2 is a perspective view of a sound collector plate of the vacuum leak test apparatus of FIG.

【図3】図1の真空漏れ試験装置による欠陥穴を認識す
るステップを示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing steps for recognizing a defective hole by the vacuum leakage test apparatus of FIG.

【図4】本発明の他の実施例の要部の真空箱の縦断面図
である。
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of a vacuum box of a main part of another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6…音響センサ、10…真空箱、11…パッキン、12
…真空発生装置、13…真空計、14…真空ホース、2
0…被検査体、21…欠陥穴、22…漏れ音、23…溶
接線、24…パッキンの漏れ、30…信号処理表示装
置、31…出力装置、40…基準位置マーキング装置、
41…マーキング信号、42…基準マーク、43…合せ
マーク、50…表示部、51…シート、52…欠陥マー
ク、70…集音板、71…集音穴、111…外側パッキ
ン、112…内側パッキン。
6 ... Acoustic sensor, 10 ... Vacuum box, 11 ... Packing, 12
... vacuum generator, 13 ... vacuum gauge, 14 ... vacuum hose, 2
0 ... Inspected object, 21 ... Defect hole, 22 ... Leakage sound, 23 ... Welding line, 24 ... Packing leak, 30 ... Signal processing display device, 31 ... Output device, 40 ... Reference position marking device,
41 ... Marking signal, 42 ... Reference mark, 43 ... Alignment mark, 50 ... Display section, 51 ... Sheet, 52 ... Defect mark, 70 ... Sound collecting plate, 71 ... Sound collecting hole, 111 ... Outer packing, 112 ... Inner packing .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 真島 正 茨城県日立市幸町三丁目2番1号 日立エ ンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 河合 賢一 茨城県日立市幸町三丁目2番1号 日立エ ンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 吉田 洋司 茨城県日立市幸町三丁目2番1号 日立エ ンジニアリング 株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Tadashi Majima 3-2-1, Saiwai-cho, Hitachi-shi, Ibaraki Hitachi Engineering Co., Ltd. (72) Kenichi Kawai 3--2, Saiwai-cho, Hitachi, Ibaraki No. 1 in Hitachi Engineering Co., Ltd. (72) Inventor, Yoji Yoshida 32-1, Sachimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Engineering Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】真空箱内に設けた複数の音響センサと、該
音響センサが集音した音を判定して前記真空箱内の欠陥
の位置をシートに図示して出力する出力装置と、からな
り、 該出力装置は、前記欠陥位置を原寸大で前記シートに図
示すること、 を特徴とする真空漏れ試験装置。
1. A plurality of acoustic sensors provided in a vacuum box, and an output device for determining the sound collected by the acoustic sensors and outputting the position of the defect in the vacuum box by showing it on a sheet. The vacuum leak test apparatus is characterized in that the output device shows the defect position on the sheet in a full scale.
【請求項2】請求項1の真空漏れ試験装置において、前
記シートは透明であること、を特徴とする真空漏れ試験
装置。
2. The vacuum leak test apparatus according to claim 1, wherein the sheet is transparent.
【請求項3】請求項1の真空漏れ試験装置において、前
記出力装置は、前記シートに、前記音響センサの位置と
前記欠陥位置を原寸大で図示すること、を特徴とする真
空漏れ試験装置。
3. The vacuum leak test apparatus according to claim 1, wherein the output device shows the position of the acoustic sensor and the defect position on the sheet in a full scale.
【請求項4】請求項1の真空漏れ試験装置において、 該真空漏れ試験装置は前記音響センサの原点位置を被検
査体にマーキングする装置を備え、 前記出力装置は、前記シートに、前記原点位置を前記原
寸大の関係で図示すること、 を特徴とする真空漏れ試験装置。
4. The vacuum leak test apparatus according to claim 1, wherein the vacuum leak test apparatus includes a device that marks an origin position of the acoustic sensor on an object to be inspected, and the output device includes the origin position on the sheet. Is shown in the above-mentioned full-scale relationship.
【請求項5】真空箱内に設けた複数の音響センサと、該
音響センサが集音した音を判定して前記真空箱内の欠陥
の位置を出力する出力装置と、前記音響センサの原点位
置を被検査体にマーキングする装置と、からなる真空漏
れ試験装置。
5. A plurality of acoustic sensors provided in a vacuum box, an output device for determining a sound collected by the acoustic sensors and outputting a position of a defect in the vacuum box, and an origin position of the acoustic sensor. A vacuum leak tester consisting of a device for marking the object to be inspected.
【請求項6】真空箱内に該真空箱の開口部に向けて設け
た複数の円錐状の集音穴と、該集音穴にそれぞれ配置し
た音響センサと、からなる真空漏れ試験装置。
6. A vacuum leak test apparatus comprising a plurality of conical sound collecting holes provided in the vacuum box toward the opening of the vacuum box, and acoustic sensors respectively arranged in the sound collecting holes.
【請求項7】真空箱内に設けた複数の音響センサと、前
記真空箱の被検査体の接触部に沿って設置した2重のパ
ッキンと、該2重のパッキンの間と前記真空箱内にそれ
ぞれ接続する真空発生装置との接続口と、からなる真空
漏れ試験装置。
7. A plurality of acoustic sensors provided in a vacuum box, a double packing installed along a contact portion of an object to be inspected of the vacuum box, a space between the double packings, and an inside of the vacuum box. A vacuum leak tester consisting of a connection port with a vacuum generator that is connected to each.
JP15297995A 1995-06-20 1995-06-20 Vacuum leakage testing apparatus Pending JPH095202A (en)

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JP (1) JPH095202A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101524888B1 (en) * 2007-11-09 2015-06-01 콤비 웨어 파츠 아베 Self-sharpening, auto-signalling wearing part
JP2019074456A (en) * 2017-10-18 2019-05-16 中国電力株式会社 Hole detector

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101524888B1 (en) * 2007-11-09 2015-06-01 콤비 웨어 파츠 아베 Self-sharpening, auto-signalling wearing part
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