JPH0951111A

JPH0951111A - 真空ラミネート装置

Info

Publication number: JPH0951111A
Application number: JP7204193A
Authority: JP
Inventors: Seiki Itoyama; 誠紀糸山; Yuji Inoue; 裕二井上; Kimitoshi Fukae; 公俊深江
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-08-10
Filing date: 1995-08-10
Publication date: 1997-02-18
Anticipated expiration: 2015-08-10
Also published as: JP3176264B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】生産性の高い太陽電池モジュールの製造装置
として適用される真空ラミネート装置を得る。【解決手段】筒管１０２が環状体とされこの環状体の
内周側の壁に複数の脱気孔が形成される。この環状体は
板状の基材１０１上へ据付け固定される。環状体を蓋部
材が覆い空間部を構成する。この空間部を構成する筒管
１０２の内側に沿い緩衝材１１１が設置される。空間部
をラミネート処理のために真空引きする際、蓋部材が環
状体および基材１０１へ吸引されるが、この緩衝材１１
１の介在のために蓋部材の急峻な角度構成が緩慢化され
る。蓋部材の極端な鋭角での折曲げ部の発生を防止する
ことにより、亀裂の発生が抑制され、真空引きが確実に
行え、生産性を向上させることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空ラミネート装置に
係わり、特に、太陽電池モジュールの製造装置に適用さ
れる真空ラミネート装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空ラミネート装置は、半導体関
連、特に太陽電池等の外気に晒して用いられる素子を被
覆する目的で最終的な製造装置として適用される。これ
は、素子を温湿度・外圧等に対し耐久性を向上させるた
めである。

【０００３】真空ラミネート装置を製造装置として最も
好適に適用される太陽電池は、近年需要が急速に拡大し
ている。これは、ポータブル機器における電源用と、ク
リーンエネルギー源としての需要の増大に伴う。例え
ば、地球環境汚染の拡大につれ、環境問題に対する意識
の高まりが世界的な広がりを見せている。中でも、ＣＯ
₂排出に伴う地球の温暖化現象に対する危惧感は深刻で
あり、クリーンなエネルギーへの希求は益々強まってい
る。この様な状況において、太陽電池は、現在のところ
その安全性と扱い易さから、安全なエネルギー源として
期待される主要なものである。これらの要求に対し信頼
性および経済性の高い太陽電池を供給するために、上記
の真空ラミネート装置は重要な役割を果たすこととな
る。

【０００４】なお、太陽電池には様々な型式および形態
の物がある。代表的なものを以下に列挙する。

【０００５】（１）結晶シリコン太陽電池、（２）多結
晶シリコン太陽電池、（３）アモルファスシリコン太陽
電池、（４）銅インジウムセレナイド太陽電池、（５）
化合物半導体太陽電池、この中で、薄膜結晶シリコン太
陽電池、化合物半導体太陽電池及びアモルファスシリコ
ン太陽電池は、比較的低コストであり、しかも大面積化
が可能なため最近では各方面で活発に研究開発が進めら
れている。

【０００６】図１０および図１１は太陽電池モジュール
の材料構成を示しており、図１０は材料積層時の構成、
図１１は太陽電池モジュールとして完成した状態での材
料構成を表わしている。これらの図において、５０１は
表面被覆材、５０２は充填材、５０３は太陽電池素子、
５０４は裏面被覆材である。

【０００７】太陽電池モジュールの一作製手順として、
先ず真空装置内に太陽電池モジュールを構成する材料を
配置し積層し、真空引きを行い各材料間の空気を取り除
く。いわゆる、脱気する。次にこの真空引きした状態で
加熱する。加熱により昇温し、充填材が架橋あるいは硬
化するための温度に達し、充填材が十分硬化するまでこ
の温度を所定の時間保持する。その後冷却し真空引きを
停止し大気圧に戻す。この手順により図１１に示した構
成の太陽電池が完成する。

【０００８】図１２〜図１４は、従来の太陽電池モジュ
ールの製造装置に適用される真空ラミネート装置の構成
を説明するための図である。図１２は全体図、図１３は
図１２のＦ−Ｆ方向の断面構造図、図１４は太陽電池モ
ジュールを作製する時の断面構造図を示す。これらの図
において、６０１は板状の基材、６０２は筒管、６０３
はバルブ、６０４は真空ポンプ、６０５は脱気孔、６０
６は固定部材、６０７は蓋部材、６０８は太陽電池モジ
ュール構成材料、６０９は網、６１０は開口部である。

【０００９】太陽電池モジュールの作製方法は、まず図
１４のように板状の基材６０１と筒管６０２の環状体と
に挟まれた空間に網６０９を敷き、太陽電池モジュール
作製材料６０８と蓋部材６０７とを配置する。つぎに真
空ポンプ６０４を起動し上記の太陽電池モジュール作製
用の各部材、即ち、板状の基材６０１と環状の筒管６０
２と蓋部材６０７とにより形成した空間部を真空引きし
て、空間部の空気と、太陽電池モジュール作製材料（６
０８）間の空気を排出または脱気する。そして真空ポン
プ６０４を作動させたままで、上記の装置を不図示の高
温のオーブンに投入し、太陽電池モジュール中の充填材
が硬化する温度に昇温させ、硬化が終了するまでそのま
ま保持する。充填材の硬化後にオーブンから装置を取り
出し冷却後、真空ポンプ６０４を止めて空間部を大気圧
に戻し、太陽電池モジュールの作製が完了する。

【００１０】上記従来の真空ラミネート装置は、構造が
簡単で軽量なため、太陽電池モジュールの大面積化に伴
い装置の大型化が容易である。また、装置の熱容量が小
さいため太陽電池モジュールを構成する材料の昇降温が
早く、製造上の処理時間を短縮できる等の特徴を有して
いる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
状態で真空引きを実行した場合、蓋部材６０７の筒管６
０２に接する部分が鋭角度に折れ曲がった状態となる。
図１５は、従来の真空ラミネート装置を太陽電池モジュ
ールの製造に適用した場合の、上述の関係を表す真空引
き中の端部の詳細図である。上記の鋭角度に折れ曲がっ
た部分は、図１５の点線円で示した部位Ｇである。この
部位Ｇは、急に立ち上がった状態、即ち極端に折れ曲が
った状態で使用されることになる。このままの状態で使
用し続けると、長期間の度重なる温度ストレスのため鋭
角度の屈曲部分に亀裂が生じ易い。その結果、リークが
発生して太陽電池構成材料間の脱気不良が生じ、太陽電
池モジュール内に気泡が残り外観上不良となる問題を伴
う。

【００１２】このように、従来の真空ラミネート装置を
用いると、蓋部材６０７に亀裂が発生し生産性が不安定
になるという問題を伴う。

【００１３】本発明は、生産性の高い太陽電池モジュー
ルの製造装置として適用される真空ラミネート装置を提
供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の真空ラミネート装置は、筒管が環状体とさ
れこの環状体の内周側の壁に複数の脱気孔を有する環状
体と、環状体が据付け固定された基材と、環状体を覆う
蓋部材とで空間部を構成し、空間部を真空引きする真空
ラミネート装置であり、筒管の内側に沿い設置された緩
衝材を有して構成され、真空引きによる蓋部材の急峻な
角度構成を緩慢化させることを特徴としている。

【００１５】また、上記の真空ラミネート装置を太陽電
池モジュールの製作用に用いるとよい。さらに、緩衝材
の断面形状をＬ字状とするとよい。

【００１６】

【作用】したがって、本発明の真空ラミネート装置によ
れば、筒管の内側に沿い緩衝材を設置し、筒管を環状体
とし環状体の内周側の壁に複数の脱気孔を有する環状体
と、基材と、環状体を覆う蓋部材とで構成される空間部
を真空引きする。この真空引きにおいて、緩衝材の存在
により、蓋部材の急峻な角度構成が緩慢化される。よっ
て、蓋部材の極端な鋭角での折曲げ部が生じ難い。

【００１７】

【実施例】次に添付図面を参照して本発明による真空ラ
ミネート装置の実施例を詳細に説明する。図１〜図３を
参照すると本発明の真空ラミネート装置の実施例が示さ
れている。これらの図の図１は実施例の真空ラミネート
装置の上斜視図である。また図２は図１のＡ−Ａ断面図
である。図３は、図２の部分拡大図である。

【００１８】図１〜図４において、１０１は板状の基
材、１０２は筒管、１０３はバルブ、１０４は真空ポン
プ、１０５は脱気孔、１０６は固定部材、１０７は蓋部
材、１０８は太陽電池モジュール構成材料、１０９は
網、１１０は開口部、１１１は緩衝材である。

【００１９】これらの構成部品の板状の基材１０１は、
真空ラミネート装置の底部を構成する部材である。本適
用例の太陽電池モジュールの製造装置に使用される板状
の基材１０１には、耐熱性、剛性、軽量性、表面接着性
等の特性が要求される。本部材に用いられる材料は、主
に鉄やアルミニウム等の金属である。軽量化を図るため
には薄くしなければならないが、過度に薄くすると剛性
がとれなくなる。好適には略１．５〜２．０ｍｍ厚さの
鉄板を使用する。また、場合によっては筒管をシーラン
ト材等により接着することがある。故に、接着性を向上
するために好ましくは表面をリン酸塩等の化学処理す
る。

【００２０】筒管１０２は、真空引きを行う管であり、
環状に構成された環状体である。また、網１０９と蓋部
材１０７とにより真空引きをするための空間部を構成す
る。この筒管１０２に要求される特性は、耐熱性、剛
性、軽量性等が挙げられる。材料としては主にステンレ
スが使用される。筒管１０２の内周側の側面部に設けら
れる真空引きのための脱気孔１０５は、真空ラミネート
装置を組み上げる前に開けられていることが望ましい。
また、場合によっては筒管１０２を板状の基材１０１の
上に接着することがある。この場合筒管１０２は、接着
前に脱脂処理されていることが好ましい。大きさは、環
状体の外枠が板状の基材１０１内に収まるものを使用す
る。真空引きを行う真空ポンプ１０４を接続するための
開口部１１０とバルブ１０３が設けられる。

【００２１】脱気孔１０５は、真空引き時の脱気用の孔
として使用され、筒管１０２の真空引きする空間側、つ
まり環状体の内側に設けられる。筒管１０２の真空引き
する空間側全域、即ち、略四辺形に構成された環状体の
４辺に、好ましくは等間隔に、板状の基材１０１上に固
定される前に設けられる。

【００２２】固定部材１０６は、筒管１０２の固定に際
し、筒管１０２と板状の基材１０１間に隙間が生じない
ように固定するための部材である。本装置は、太陽電池
モジュールの製造工程において真空状態を維持しつつ高
温に晒されるため、固定部材１０６にそれなりの耐熱性
が要求される。固定方法としては、溶接による固定の
他、筒管１０２と板状の基材１０１との隙間を埋めるよ
うにしてシーラントにより固定する方法もある。例え
ば、ＲＴＶ硬化型シリコンシーラントが使用できる。

【００２３】蓋部材１０７は、筒管と板状の基材とによ
り真空引きするための空間部を造る目的で使用される。
また真空引きした状態で、太陽電池モジュールの構成材
料１０８を押さえつけて、構成材料間の脱気を促す目的
で使用される。蓋部材１０７は、環状体の外枠よりも十
分に大きいものを使用する。蓋部材１０７に要求される
特性は、耐熱性、柔軟性、軽量および真空引きした時の
気密性等である。使用材料は主にシリコン樹脂であり、
形状はシート状である。

【００２４】網１０９は、製造時に真空引きして太陽電
池モジュールの構成材料１０８間の脱気を行う際の、空
気の流れを確保するために使用される。即ち、真空引き
する空間部の板状の基材１０１と蓋部材１０７の間に位
置し、板状の基材１０１と蓋部材１０７が接触して空気
の流れを遮断するのを防ぐために使用する。サイズは、
筒管１０２より形成される環状体の内寸法と同じ形状お
よび大きさのものを使用する。要求される特性は、耐熱
性、柔軟性、軽量性等である。材料は、ステンレスやア
ルミニウム等の金網、ポリエステル等の耐熱性樹脂繊維
を網状にしたものを使用する。

【００２５】緩衝材１１１は、筒管１０２と蓋部材１０
７との接触部を緩やかな造形とする当て部材である。本
緩衝材１１１は、筒管１０２の環状体の内側に接するよ
うに配置され、蓋部材１０７が筒管１０２に接する部分
で極端な鋭角に折れ曲がるのを防止するために使用され
る。緩衝材１１１に要求される特性として耐熱性、軽量
性等がある。

【００２６】図１６〜図１９は、緩衝材１１１の例を示
している。図１６、図１７は、板状のものをＬ字状に折
り曲げ加工したものであり、これを筒管１０２に沿って
配置することで蓋部材１０７が鋭角度に立ち上がるのを
防いでいる。また、図１８、図１９は、網を折り曲げて
加工して厚みをもたせたものであり、これを筒管１０２
に沿って配置することで蓋部材１０７が鋭角度に立ち上
がるのを防いでいる。図１８、図１９のように、網で折
り曲げ加工して作製した緩衝材の場合、脱気の為の空気
の流路を十分に確保することができ、コンダクタンスが
極端に小さくならないという利点をも有している。な
お、図１６、図１８の緩衝材の厚さおよび形状は、筒管
の径に対して蓋部材が緩やかに立ち上がるように加工さ
れていることが望ましい。

【００２７】上記の部材で構成される真空ラミネート装
置の作製方法は、まず筒管１０２を、板状の基材１０１
上に、環状体（環状体の外枠）がはみ出さないように置
く。次に、筒管１０２と板状基材１０１の隙間を埋める
ように外側（真空引きする空間とは反対側）より固定部
材１０６を流し込む。ここで板状の基材１０１は９００
×１５００ｍｍのサイズの耐候性鋼板（例えば、商標
「ボンデ鋼板」；新日本製鉄社製、表面リン酸塩処理
済、１．６ｔ）、筒管１０２は環状体の外寸が８００×
１４００ｍｍのサイズのステンレス管（ステンレス３１
６ＢＡ、管径は１／２ンチ）、脱気孔１０５は孔径は３
ｍｍで間隔は５０ｍｍピッチで４辺に設けてあるもの、
そして固定部材はＲＴＶシリコン系シーラント（商標
「ＫＥ３４７」；信越シリコーン社製）を使用した。そ
して室内雰囲気に２４時間放置して、ＲＴＶシリコン系
シーラントを硬化させて、筒管１０２を板状の基材１０
１上に固定した。

【００２８】次に、緩衝材１１１を、重さ０．８ｔの鋼
板（商品名；タイマカラーＧＬ；大同鋼板社製）を折り
曲げ加工（断面Ｌ字状）し、帯状の部材とした。この部
材を７５０ｍｍ長さを２本、１３５０ｍｍ長さを２本準
備し、筒管の内側（真空引きする側）に沿うようにして
配置した。

【００２９】上記の構成による真空ラミネート装置で
は、板状の管１０１と筒管１０２と蓋部材１０７とで形
成される空間部を真空吸引した場合、筒管１０２に接す
る部分で緩衝材１１１が蓋部材１０７を持ち上げ、蓋部
材１０７が緩やかに筒管１０２に接するようにすること
ができる。

【００３０】（適用例１）図４〜図７は、上記実施例の
真空ラミネート装置を太陽電池モジュールの製造装置へ
適用した場合の構成例を示す図である。これらの図にお
いて、図４は真空ラミネート装置の斜視図、図５は図４
のＢ−Ｂ断面図、図６は図４のＣ−Ｄ断面図、図７は図
４のＣ−Ｄ−Ｅ断面図である。

【００３１】本適用例の太陽電池モジュール製造装置に
おいて、板状の基材１０１、筒管１０２、バルブ１０
３、真空ポンプ１０４、脱気孔１０５、固定部材１０
６、蓋部材１０７、網１０９、開口部１１０、緩衝材１
１１の各部は、上記の真空ラミネート装置と同様であ
り、重複する説明を回避する。その他の部材において、
２０８は太陽電池モジュールを構成する太陽電池モジュ
ール構成材料であり、２１０は太陽電池モジュール構成
材２０８の周囲へ充填される充填材の漏れ出しを防止す
るための充填材流れ防止材である。

【００３２】実施例のラミネート装置を用いて太陽電池
モジュールを作成する手順を以下に説明する。ラミネー
ト装置の真空引きする空間部に充填材流れ防止材２１０
を置き、その上に太陽電池モジュール構成材料２０８を
配置し、さらにその上に充填材流れ防止材２１０を置
く。緩衝材１１１を筒管１０２の内側の全体に沿うよう
にして配置する。この時、緩衝材２１０は筒管１０２に
接するように配置するとよい。これらの配置後、筒管１
０２の環状体全体を覆うように蓋部材１０７をかぶせ
る。

【００３３】ここにおいて、充填材流れ防止材２１０と
してＰＴＦＥフィルム（旭ガラス社製）を使用した。ま
た蓋部材１０７として１０００×１６００ｍｍサイズの
シリコンラバー（厚さ；２ｔ、硬度；５０、シリコン樹
脂汎用タイプ、タイガースポリマー製）を使用した。

【００３４】上記の各部材の配置完了後、真空ポンプ１
０４を起動し空間部を真空引きして、太陽電池モジュー
ル構成材料２０８の間にある空気を排出・脱気する。真
空ポンプ１０４で脱気している状態で、真空ラミネート
装置を不図示の高温のオーブンへ投入し、太陽電池モジ
ュールを構成している材料中の充填材が硬化する温度
（略１５０℃）にまで昇温し、硬化が終了するまで３０
分間保持した。その後オーブンから装置を取り出して冷
却させ、真空ポンプ１０４を止めて空間部を大気圧に戻
す。この手順により太陽電池モジュールを作製した。

【００３５】次に太陽電池モジュールの構成材料につい
て説明する。図８は本適用例で使用した太陽電池モジュ
ールの構成材料を示す図である。図８において３０１は
表面被覆材、３０２は充填材、３０３は太陽電池素子、
３０４は裏面被覆材である。表面被覆材３０１は５００
×１４００ｍｍの大きさのフッ素樹脂フィルム（商標
「無延伸テフゼル」；デュポン社製、厚さ；５０μ
ｍ）、充填材３０２は５００×１４００ｍｍの大きさの
ＥＶＡ（商標「耐候性グレード」；ハイシート工業社
製、厚さ；４６０μｍ）裏面被覆材３０４は５００×１
４００ｍｍの大きさの耐候性塗装鋼板（商標「タイマカ
ラーＧＬ」；大同鋼板社製、０．４ｔ）を使用した。以
下に太陽電池素子３０３の作製方法を説明する。

【００３６】図９は太陽電池素子の概略構成図である。
図９において４０１はステンレス基板、４０２は裏面反
射層、４０３は半導体光活性層、４０４は透明導電層、
４０５は集電電極である。洗浄したステンレス基板４０
１上に、スパッタ法で裏面反射層４０２としてＡｌ層
（膜厚５００ｎｍ）とＺｎＯ層（膜厚５００ｎｍ）を順
次形成する。ついで、プラズマＣＶＤ法により、ＳｉＨ
₄とＰＨ₃とＨ₂の混合ガスからｎ型ａ−Ｓｉ層を、Ｓｉ
Ｈ₄とＨ₂の混合ガスからｉ型ａ−Ｓｉ層を、ＳｉＨ₄と
ＢＦ₃とＨ₂の混合ガスからｐ型微結晶μｃ−Ｓｉ層を形
成し、ｎ層膜厚１５ｎｍ／ｉ層膜厚４００ｎｍ／ｐ層膜
厚１０ｎｍ／ｎ層膜厚１０ｎｍ／ｉ層膜厚８０ｎｍ／ｐ
層膜厚１０ｎｍの層構成のタンデム型ａ−Ｓｉ系半導体
光活性層４０３を形成した。

【００３７】次に、透明導電層４０４として、Ｉｎ₂Ｏ₃
薄膜（膜厚７０ｎｍ）を、Ｏ₂雰囲気下でＩｎを抵抗加
熱法で蒸着する事によって形成した。この上に、集電電
極４０５を、銀ペーストをスクリーン印刷機によりパタ
ーン印刷し、乾燥を行うことにより形成した。

【００３８】以上の手順により、本実施例の真空ラミネ
ート装置および上記の太陽電池素子を用いて、５００×
１４００ｍｍの大きさの太陽電池モジュールを作製し
た。

【００３９】（変化例）本変化例は、上記の適用例にお
いて板状の基材１０１、筒管１０２、網１０９、緩衝材
１１１、蓋部材１０７のサイズを大きくしたものであ
る。板状の基材１０１は１２００×５７００ｍｍ、筒管
１０２は環状体の外寸が１１５０×５６５０ｍｍ、網１
０９は外寸が１１５０×５６５０ｍｍ、緩衝材１１１は
筒管１０２の内寸に合う長さのもの、蓋部材１０７は１
３００×５８００ｍｍのものを使用し、環状体の筒管１
０２は管径を３／４インチとし、脱気孔１０５は直径が
３ｍｍで間隔は５０ｍｍピッチで設けた。また太陽電池
構成材料の大きさは、表面被覆材、充填材、裏面被覆材
は８００×５４００ｍｍのものを使用した。以上の変更
点以外は、上記の適用例と同様にして行い、８００×５
４００ｍｍの大面積太陽電池モジュールを作製した。

【００４０】上記により製作された太陽電池は、緩衝材
１１１により蓋部材１０７が極端に折り曲げられること
なく、緩やかに筒管１０２に接することができる。よっ
て、蓋部材に亀裂が生じ難くなり製品の生産性と信頼性
を向上させる。

【００４１】尚、上述の実施例は本発明の好適な実施の
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。

【００４２】

【発明の効果】以上の説明より明かなように、本発明の
真空ラミネート装置は、筒管の内側に沿い緩衝材を設置
し、筒管を環状体とし環状体の内周側の壁に複数の脱気
孔を有する環状体と、基材と、環状体を覆う蓋部材とで
構成される空間部を真空引きする。この真空引きにおい
て、基材と蓋部材は相互に吸引されるが、緩衝材の存在
により蓋部材の急峻な角度構成が緩慢化される。蓋部材
の極端な鋭角での折曲げ部の発生を防止することによ
り、亀裂の発生が抑制され、真空引きが確実に行え、生
産性を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空ラミネート装置の実施例を示す外
観斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図１を使用し、ラミネートを行うときのＡ−Ａ
断面図である。

【図４】図１の真空ラミネート装置を太陽電池モジュー
ル製造装置に適用した場合の外観斜視図である。

【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。

【図６】図４のＣ−Ｄ断面斜視図である。

【図７】図４のＣ−Ｄ−Ｅ断面斜視図である。

【図８】適用例で使用した太陽電池モジュールの構成材
料を説明するための図であり、太陽電池モジュールの断
面図である。

【図９】図８で用いた太陽電池モジュールの太陽電池素
子の構成を示す断面図である。

【図１０】従来の太陽電池モジュールの材料積層時の構
成例を示す概念図である。

【図１１】図１０により構成された太陽電池モジュール
の完成状態での材料構成を表わした断面図である。

【図１２】従来例の太陽電池モジュール製造装置の外観
斜視図である。

【図１３】図１２のＦ−Ｆ断面図である。

【図１４】図１２の太陽電池モジュール製造中のＦ−Ｆ
断面概念図である。

【図１５】図１４の部分拡大図である。

【図１６】緩衝材の例を表す図である。

【図１７】図１６の緩衝材を用いて真空引きを行った時
の断面図を表す図である。

【図１８】緩衝材の例を表す図である。

【図１９】図１８の緩衝材を用いて真空引きを行った時
の断面図を表す図である。

【符号の説明】

１０１、６０１板状の基材、１０２、６０２筒管、１０３、６０３バルブ、１０４、６０４真空ポンプ、１０５、６０５脱気孔、１０６、６０６固定部材、１０７、６０７蓋部材、１０８、２０８、６０８太陽電池モジュール構成材
料、１０９、６０９網、１１０、６１０開口部、１１１緩衝材、２１０充填材流れ防止材、３０１、５０１表面被覆材、３０２、５０２充填材、３０３、５０３太陽電子素子、３０４、５０４裏面被覆材、４０１ステンレス基板、４０２裏面反射層、４０３半導体光活性層、４０４透明導体層、４０５集電電極。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】筒管が環状体とされ該環状体の内周側の
壁に複数の脱気孔を有する環状体と、該環状体が据付け
固定された基材と、前記環状体を覆う蓋部材とで空間部
を構成し、該空間部を真空引きする真空ラミネート装置
において、前記筒管の内側に沿い設置された緩衝材を有して構成さ
れ、前記真空引きによる前記蓋部材の急峻な角度構成を
緩慢化させることを特徴とする真空ラミネート装置。
【請求項２】前記真空ラミネート装置を太陽電池モジ
ュールの製作用に用いることを特徴とする請求項１記載
の真空ラミネート装置。
【請求項３】前記緩衝材の断面形状がＬ字状であるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の真空ラミネート
装置。