JPH0949725A - Method and apparatus for measuring thickness of resin film sheet and roll with tapered part - Google Patents
Method and apparatus for measuring thickness of resin film sheet and roll with tapered partInfo
- Publication number
- JPH0949725A JPH0949725A JP20693395A JP20693395A JPH0949725A JP H0949725 A JPH0949725 A JP H0949725A JP 20693395 A JP20693395 A JP 20693395A JP 20693395 A JP20693395 A JP 20693395A JP H0949725 A JPH0949725 A JP H0949725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin film
- distance
- film sheet
- touch roll
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、樹脂フィルムシ
ートの厚さ測定方法および測定装置およびテーパ部付き
ロールに関し、更に詳しくは、樹脂フィルムシートの厚
さを容易かつ正確に測定できる樹脂フィルムシートの厚
さ測定方法および測定装置およびテーパ部付きロールに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring a thickness of a resin film sheet, a measuring device, and a roll with a tapered portion, and more specifically, to a resin film sheet capable of easily and accurately measuring the thickness of the resin film sheet. The present invention relates to a thickness measuring method, a measuring device, and a roll having a tapered portion.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の樹脂フィルムシートの厚さ測定装
置の一例としては、「フィルム包材の厚み測定検査技術
について；宇野正裕，ＰＡＣＫＳ，１９８２／４，１３
７頁」に記載のものが挙げられる。図９に、上記樹脂フ
ィルムシートの厚さ測定装置の構成を簡略化した一例を
示す。この樹脂フィルムシートの厚さ測定装置５００で
は、樹脂フィルムシートＳの一方側に光源５０２を配置
し、この光源５０２の光軸上に光線を平行にするレンズ
５０３と、測定波長選択用フィルタ５０４とを配置して
いる。また、樹脂フィルムシートＳの他方側には、樹脂
フィルムシートＳの表面側から裏面側へ透過した透過光
を集束するレンズ５０８と、その集束した光を受光し電
圧に変換する受光素子５０９とが配置されている。この
受光素子５０９の出力する電圧は、増幅器５１０で増幅
され、表示設定器５１５に入力される。2. Description of the Related Art As an example of a conventional resin film sheet thickness measuring apparatus, "Technique for measuring thickness of film packaging material; Masahiro Uno, PACKS, 1982/4, 13"
Those described in "Page 7". FIG. 9 shows an example of a simplified configuration of the resin film sheet thickness measuring device. In this resin film sheet thickness measuring device 500, a light source 502 is arranged on one side of the resin film sheet S, a lens 503 for collimating light rays on the optical axis of the light source 502, and a measurement wavelength selection filter 504. Are arranged. Further, on the other side of the resin film sheet S, there are provided a lens 508 which focuses the transmitted light transmitted from the front surface side to the back surface side of the resin film sheet S, and a light receiving element 509 which receives the focused light and converts it into a voltage. It is arranged. The voltage output from the light receiving element 509 is amplified by the amplifier 510 and input to the display setting device 515.
【０００３】この樹脂フィルムシートの厚さ測定装置５
００の測定原理は、次の通りである。一般に有機化合物
からなる樹脂フィルムシートＳは、２μｍ〜１５μｍの
赤外線波長領域に吸収帯を有している。ここで、樹脂フ
ィルムシートＳへの入射光の強さをＩ0 ，測定波長λに
おける吸収係数をＫ，樹脂フィルムシートＳの厚さをＸ
とするとき、Lambert-Beerの法則より、樹脂フィルムシ
ートＳからの透過光の強さＩは、 Ｉ＝Ｉ0・exp｛−Ｋ・Ｘ｝ で表される。Ｉ0 およびＫは既知であるから、透過光の
強さＩを測定すれば、樹脂フィルムシートＳの厚さＸを
求めることが出来る。This resin film sheet thickness measuring device 5
The measurement principle of 00 is as follows. Generally, the resin film sheet S made of an organic compound has an absorption band in the infrared wavelength region of 2 μm to 15 μm. Here, the intensity of light incident on the resin film sheet S is I 0 , the absorption coefficient at the measurement wavelength λ is K, and the thickness of the resin film sheet S is X.
Then, according to Lambert-Beer's law, the intensity I of the transmitted light from the resin film sheet S is expressed by I = I 0 · exp {−K · X}. Since I 0 and K are known, the thickness X of the resin film sheet S can be obtained by measuring the intensity I of transmitted light.
【０００４】上記と同様に、樹脂フィルムシートＳを透
過した透過光の強さＩを測定して樹脂フィルムシートＳ
の厚さＸを求める透過光方式の他の従来技術としては、
特開平２−２９７００７号公報に記載のものが挙げられ
る。Similarly to the above, the intensity I of the transmitted light transmitted through the resin film sheet S is measured to measure the resin film sheet S.
As another conventional technique of the transmitted light method for obtaining the thickness X of
Those described in JP-A-2-297007 can be mentioned.
【０００５】一方、透過光方式でない従来の樹脂フィル
ムシートの厚さ測定装置の一例としては、特開昭６２−
３６５０７号公報に記載のものが挙げられる。図１０に
示すように、この樹脂フィルムシートの厚さ測定装置６
００は、タッチロール６０１の上方に距離Ｇだけ離し
て、スリット６０３を有する基準しゃ光板６０２を配置
し、この基準しゃ光板６０２の一方側にレーザ光源６０
４および走査機構６０５を配置し、他方側にスリット用
受光器６０６および間隙用受光器６０７を配置し、前記
タッチロール６０１の外周面に密着させて樹脂フィルム
シートＳを走行させる構成である。On the other hand, as an example of a conventional resin film sheet thickness measuring device which does not use a transmitted light system, Japanese Patent Laid-Open No.
Examples thereof include those described in Japanese Patent No. 36507. As shown in FIG. 10, this resin film sheet thickness measuring device 6
The reference numeral 00 designates a reference light shielding plate 602 having a slit 603 above the touch roll 601 by a distance G, and the laser light source 60 is provided on one side of the reference light shielding plate 602.
4 and the scanning mechanism 605 are arranged, and the slit light receiver 606 and the gap light receiver 607 are arranged on the other side, and the resin film sheet S is made to run in close contact with the outer peripheral surface of the touch roll 601.
【０００６】図１１に示すように、スリット６０３の上
部からタッチロール６０１にかかる走査ラインＬでレー
ザ光を走査すると、スリット６０３を通過したレーザ光
はスリット用受光器６０６で受光され、基準しゃ光板６
０２と樹脂フィルムシートＳの間の間隙６０４を通過し
たレーザ光は間隙用受光器６０７で受光される。そこ
で、スリット用受光器６０６で受光したレーザ光の波形
のパルス幅をカウントすれば、レーザ光がスリット６０
３を通過した時間ＴE が判る。また、間隙用受光器６０
７で受光したレーザ光の波形のパルス幅をカウントすれ
ば、間隙６０４を通過した時間ＴF が判る。スリット幅
をＥとし、間隙長をＦとし、走査速度をＶとすると、 ＴE＝Ｅ／Ｖ ＴF＝Ｆ／Ｖ で表される。これら２式より、 Ｆ＝Ｅ・ＴF／ＴE が導かれる。すると、樹脂フィルムシートＳの厚さＸ
は、 Ｘ＝Ｇ−Ｆ＝Ｇ−Ｅ・ＴF／ＴE となる。ここで、タッチロール６０１と基準しゃ光板６
０２の距離Ｇおよびスリット幅Ｅは既知であるから、時
間ＴE，時間ＴFを計測すれば、樹脂フィルムシートＳの
厚さＸを求めることが出来る。As shown in FIG. 11, when the laser beam is scanned from the upper part of the slit 603 by the scanning line L applied to the touch roll 601, the laser beam passing through the slit 603 is received by the slit light receiver 606 and the reference light shield plate. 6
02 passing through the gap 604 between the resin film sheet S and the resin film sheet S is received by the gap light receiver 607. Therefore, if the pulse width of the waveform of the laser light received by the slit light receiver 606 is counted, the laser light is detected by the slit 60.
The time T E of passing 3 is known. Also, the gap light receiver 60
If the pulse width of the waveform of the laser light received in 7 is counted, the time T F passing through the gap 604 can be known. When the slit width is E, the gap length is F, and the scanning speed is V, T E = E / V T F = F / V From these two equations, F = E · TF / TE is derived. Then, the thickness X of the resin film sheet S
Is X = G−F = G−E · T F / T E. Here, the touch roll 601 and the reference light shield plate 6
Since the distance G of 02 and the slit width E are known, the thickness X of the resin film sheet S can be obtained by measuring the time T E and the time T F.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の樹脂フィル
ムシートの厚さ測定装置５００では、吸収係数Ｋが、樹
脂フィルムシートＳの材質や着色用の染料や顔料などの
影響を受けるため、製造する樹脂フィルムシートＳの種
類毎に補正や測定波長選択用フィルタ５０４の交換や再
校正が必要となる。このため、測定に手間がかかる問題
点がある。また、交換用の測定波長選択用フィルタ５０
４を揃える必要があり、装置が高価になる問題点があ
る。さらに、樹脂フィルムシートＳが光を透過しない場
合、測定を行えない問題点がある。また、特開平２−２
９７００７号公報に記載の従来技術も、透過光方式であ
るため、上記と同じ問題点がある。The conventional resin film sheet thickness measuring apparatus 500 is manufactured because the absorption coefficient K is influenced by the material of the resin film sheet S and the dyes and pigments for coloring. Correction, replacement of the measurement wavelength selection filter 504, and recalibration are required for each type of resin film sheet S. For this reason, there is a problem that measurement is troublesome. In addition, a replacement measurement wavelength selection filter 50
4 is required to be prepared, and there is a problem that the device becomes expensive. Further, if the resin film sheet S does not transmit light, there is a problem that measurement cannot be performed. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2-2
The conventional technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 97007 has the same problem as the above because it is a transmitted light system.
【０００８】一方、上記従来の樹脂フィルムシートの厚
さ測定装置６００では、タッチロール６０１と基準しゃ
光板６０２の距離Ｇが常に一定であることを前提にして
いる。しかし、タッチロール６０１に偏心や撓みがある
と距離Ｇが変動し、樹脂フィルムシートＳの厚さＸを正
確に測定できない問題点がある。また、走査機構６０５
が必要であり、装置が高価になる問題点がある。さら
に、レーザ光は指向性が強いので、樹脂フィルムシート
Ｓの表面が粗いとレーザ光が散乱してしまい、測定精度
が悪化する問題点がある。On the other hand, in the above-mentioned conventional resin film sheet thickness measuring device 600, it is premised that the distance G between the touch roll 601 and the reference light shielding plate 602 is always constant. However, if the touch roll 601 has eccentricity or bending, the distance G varies, and there is a problem that the thickness X of the resin film sheet S cannot be accurately measured. Also, the scanning mechanism 605
Is required and the device becomes expensive. Furthermore, since the laser light has a strong directivity, if the surface of the resin film sheet S is rough, the laser light will be scattered and the measurement accuracy will deteriorate.
【０００９】そこで、この発明の目的は、測定が容易で
あること、樹脂フィルムシートが光を透過しない場合で
も測定可能であること、タッチロールに偏心や撓みがあ
っても正確に測定できること、樹脂フィルムシートの表
面状態の影響を受けずに正確に測定できること、およ
び、装置が安価であること、の５条件を満たす樹脂フィ
ルムシートの厚さ測定方法および測定装置およびテーパ
部付きロールを提供することにある。Therefore, an object of the present invention is that measurement is easy, measurement is possible even when the resin film sheet does not transmit light, that the touch roll can be accurately measured even if it has eccentricity or bending, To provide a method for measuring the thickness of a resin film sheet, a measuring device and a roll with a tapered portion, which can satisfy the five requirements of being able to perform accurate measurement without being affected by the surface condition of the film sheet and being inexpensive. It is in.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】第１の観点では、この発
明は、金属製タッチロール（１）の外周面に樹脂フィル
ムシート（Ｓ）の裏面を接した状態で、基準位置（２
１）から前記金属製タッチロール（１）の外周面までの
第１の距離（Ａ）を電磁気的に測定すると共に、前記基
準位置（２１）から前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の表
面までの第２の距離（Ｂ）を光学的に測定し、前記第１
の距離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）との差に基づいて
前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ（Ｘ）を算出する
ことを特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測定方法を
提供する。上記第１の観点による樹脂フィルムシートの
厚さ測定方法では、基準位置（２１）から金属製タッチ
ロール（１）の外周面までの第１の距離（Ａ）を電磁気
的に測定する。すなわち、光を使わないため、樹脂フィ
ルムシート（Ｓ）の色や光の透過性や表面状態などに関
係なく、第１の距離（Ａ）を正確に測定できる。次に、
基準位置（２１）から樹脂フィルムシート（Ｓ）の表面
までの第２の距離（Ｂ）を光学的に測定する。ここで
は、光を使うが、間隙に光を通すため、樹脂フィルムシ
ート（Ｓ）の色や光の透過性や表面状態などに関係な
く、第２の距離（Ｂ）を正確に測定できる。さらに、前
記第１の距離（Ａ）を常に測定しているから、金属製タ
ッチロール（１）に偏芯や撓みがあっても、その影響を
除去できる。従って、樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ
を容易かつ正確に測定できる。さらに、交換用の測定波
長選択用フィルタやレーザ光の走査機構などが不要であ
り、装置が安価になる。According to a first aspect of the present invention, the present invention is directed to a reference position (2) in a state where a back surface of a resin film sheet (S) is in contact with an outer peripheral surface of a metal touch roll (1).
The first distance (A) from 1) to the outer peripheral surface of the metal touch roll (1) is measured electromagnetically, and at the same time from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S). The distance (B) of 2 is optically measured and the first
Of the resin film sheet (S) based on the difference between the distance (A) and the second distance (B). provide. In the method of measuring the thickness of the resin film sheet according to the first aspect, the first distance (A) from the reference position (21) to the outer peripheral surface of the metal touch roll (1) is electromagnetically measured. That is, since the light is not used, the first distance (A) can be accurately measured regardless of the color of the resin film sheet (S), the light transmittance, the surface state, and the like. next,
The second distance (B) from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S) is optically measured. Although light is used here, since light passes through the gap, the second distance (B) can be accurately measured regardless of the color of the resin film sheet (S), the light transmittance, the surface state, and the like. Furthermore, since the first distance (A) is constantly measured, even if the metal touch roll (1) has eccentricity or bending, the influence can be removed. Therefore, the thickness of the resin film sheet (S) can be measured easily and accurately. Furthermore, a replacement measurement wavelength selection filter, a laser beam scanning mechanism, and the like are not required, and the apparatus is inexpensive.
【００１１】第２の観点では、この発明は、樹脂フィル
ムシート（Ｓ）の裏面と接する外周面をもつ金属製タッ
チロール（１）と、その金属製タッチロール（１）の外
周部分に流れる渦電流を利用して基準位置（２１）から
前記金属製タッチロール（１）の外周面までの第１の距
離（Ａ）に応じたデジタル値を出力する渦電流式センサ
手段（２，３）と、前記デジタル値を第１の距離（Ａ）
に変換する変換手段（１０）と、前記基準位置（２１）
から前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の表面までの間隙を
通過する光を利用して前記基準位置（２１）から前記樹
脂フィルムシート（Ｓ）の表面までの第２の距離（Ｂ）
を測定する光学的距離測定手段（４，５，６，７，１
０）と、前記第１の距離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）
との差に基づいて前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ
（Ｘ）を算出する演算手段（１０）とを具備したことを
特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１０
０）を提供する。上記第２の観点による樹脂フィルムシ
ートの厚さ測定装置（１００）では、金属製タッチロー
ル（１）の外周部分に流れる渦電流を利用して基準位置
（２１）から金属製タッチロール（１）の外周面までの
第１の距離（Ａ）を測定する。すなわち、光を使わない
ため、樹脂フィルムシート（Ｓ）の色や光の透過性や表
面状態などに関係なく、第１の距離（Ａ）を正確に測定
できる。次に、基準位置（２１）から樹脂フィルムシー
ト（Ｓ）の表面までの第２の距離（Ｂ）を光学的に測定
する。ここでは、光を使うが、間隙に光を通すため、樹
脂フィルムシート（Ｓ）の色や光の透過性や表面状態な
どに関係なく、第２の距離（Ｂ）を正確に測定できる。
さらに、前記第１の距離（Ａ）を常に測定しているか
ら、金属製タッチロール（１）に偏芯や撓みがあって
も、その影響を除去できる。従って、樹脂フィルムシー
ト（Ｓ）の厚さを容易かつ正確に測定できる。さらに、
交換用の測定波長選択用フィルタやレーザ光の走査機構
などが不要であり、装置（１００）が安価になる。In a second aspect, the present invention relates to a metal touch roll (1) having an outer peripheral surface in contact with the back surface of a resin film sheet (S), and a vortex flowing on the outer peripheral portion of the metal touch roll (1). Eddy current sensor means (2, 3) for outputting a digital value corresponding to a first distance (A) from the reference position (21) to the outer peripheral surface of the metal touch roll (1) by using an electric current. , The digital value at a first distance (A)
Converting means (10) for converting into the reference position (21)
A second distance (B) from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S) using light passing through a gap from the surface of the resin film sheet (S) to the surface of the resin film sheet (S).
Optical distance measuring means (4, 5, 6, 7, 1) for measuring
0), the first distance (A) and the second distance (B)
And a calculation means (10) for calculating the thickness (X) of the resin film sheet (S) based on the difference between the thickness and the thickness of the resin film sheet (S).
0). In the thickness measuring device (100) for a resin film sheet according to the second aspect, the metal touch roll (1) is moved from the reference position (21) using the eddy current flowing in the outer peripheral portion of the metal touch roll (1). The first distance (A) to the outer peripheral surface of is measured. That is, since the light is not used, the first distance (A) can be accurately measured regardless of the color of the resin film sheet (S), the light transmittance, the surface state, and the like. Next, the second distance (B) from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S) is optically measured. Although light is used here, since light passes through the gap, the second distance (B) can be accurately measured regardless of the color of the resin film sheet (S), the light transmittance, the surface state, and the like.
Furthermore, since the first distance (A) is constantly measured, even if the metal touch roll (1) has eccentricity or bending, the influence can be removed. Therefore, the thickness of the resin film sheet (S) can be measured easily and accurately. further,
A replacement measurement wavelength selection filter, a laser beam scanning mechanism, and the like are unnecessary, and the apparatus (100) becomes inexpensive.
【００１２】第３の観点では、この発明は、上記構成の
樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）におい
て、前記第１の距離（Ａ）を測定する測定点が前記金属
製タッチロール（１）の外周面上のどの位置にあるかを
判定する測定点位置判定手段（８，１０）と、前記金属
製タッチロール（１）の外周面上の位置（Ｌ0,Ｌ1,Ｌ2,
…，Ｌ12）と対応した変換式または変換テーブルを記憶
する第１の記憶手段（１１）とをさらに具備すると共
に、変換手段（１０）は、前記測定点位置判定手段
（８，１０）により判定した測定点の位置に対応した変
換式または変換テーブルを前記第１の記憶手段（１１）
から取り出してデジタル値を第１の距離（Ａ）に変換す
ることを特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測定装置
（１００）を提供する。樹脂フィルムシートの厚さを測
定するとき、金属製タッチロール（１）を回転すると、
第１の距離（Ａ）を測定する測定点の位置が、金属製タ
ッチロール（１）の外周面上を周方向に移動することに
なる。また、前記測定点を樹脂フィルムシートの幅方向
に移動すると、測定点の位置が、金属製タッチロール
（１）の外周面上を軸方向に移動することになる。とこ
ろが、金属製タッチロール（１）の製造上のバラツキに
より、金属製タッチロール（１）の外周面上の位置によ
って、例えばメッキ層の厚さが異なる。このため、第１
の距離（Ａ）が同じでも、渦電流が同じとは限らない。
そこで、上記第３の観点の樹脂フィルムシートの厚さ測
定装置（１００）では、デジタル値を第１の距離（Ａ）
に変換するための変換式または変換テーブルを、金属製
タッチロール（１）の外周面上の位置（Ｌ0,Ｌ1,Ｌ2,
…，Ｌ12）毎に作成して記憶しておく。そして、第１の
距離（Ａ）を測定する測定点が金属製タッチロール
（１）の外周面上のどの位置にあるかを判定し、その判
定した測定点の位置に対応した変換式または変換テーブ
ルを取り出して、デジタル値を第１の距離（Ａ）に変換
する。これにより、高い測定精度を維持できる。According to a third aspect of the present invention, in the present invention, in the resin film sheet thickness measuring device (100), the measuring point for measuring the first distance (A) is the metal touch roll (1). ) Measuring point position determining means (8, 10) for determining the position on the outer peripheral surface, and the position (L 0 , L 1 , L 2,
, L 12 ) and a first storage means (11) for storing the corresponding conversion formula or conversion table, and the conversion means (10) uses the measurement point position determination means (8, 10). A conversion formula or conversion table corresponding to the determined position of the measurement point is stored in the first storage means (11).
There is provided a thickness measuring device (100) for a resin film sheet, which is characterized in that the digital value is extracted from the digital value and converted into a first distance (A). When measuring the thickness of the resin film sheet, when the metal touch roll (1) is rotated,
The position of the measurement point for measuring the first distance (A) moves in the circumferential direction on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1). Further, when the measurement point is moved in the width direction of the resin film sheet, the position of the measurement point is moved in the axial direction on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1). However, due to variations in manufacturing the metal touch roll (1), for example, the thickness of the plating layer varies depending on the position on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1). Therefore, the first
Even if the distance (A) is the same, the eddy currents are not always the same.
Therefore, in the resin film sheet thickness measuring device (100) according to the third aspect, the digital value is set to the first distance (A).
The conversion formula or the conversion table for converting into the position (L 0 , L 1 , L 2 ,
, L 12 ) and create and store each. Then, it is determined which position on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1) the measurement point for measuring the first distance (A) is, and a conversion formula or conversion corresponding to the determined position of the measurement point. The table is taken out and the digital value is converted into the first distance (A). Thereby, high measurement accuracy can be maintained.
【００１３】第４の観点では、この発明は、上記構成の
樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）におい
て、前記金属製タッチロール（１）は、芯ロール（１
ａ）の表面に、クロム，ニッケル，アルミニウムなどの
良導電性金属のメッキ層（１ｂ）を設けた構造であるこ
とを特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１
００）を提供する。上記第４の観点の樹脂フィルムシー
トの厚さ測定装置（１００）では、芯ロール（１ａ）の
表面にクロム，ニッケル，アルミニウムなどの良導電性
金属のメッキ層（１ｂ）を設けた構造の金属製タッチロ
ール（１）を用いている。この構造により、渦電流がメ
ッキ層（１ｂ）を流れるため、芯ロール（１ａ）の素材
には制限がなくなる。例えば、芯ロール（１ａ）の素材
に鉄を用いて、安価に強度を高められる。According to a fourth aspect of the present invention, in the resin film sheet thickness measuring device (100) having the above structure, the metal touch roll (1) is a core roll (1).
A resin film sheet thickness measuring device (1) having a structure in which a plating layer (1b) of a highly conductive metal such as chromium, nickel, or aluminum is provided on the surface of (a).
00) is provided. In the resin film sheet thickness measuring device (100) according to the fourth aspect, a metal having a structure in which a plating layer (1b) of a good conductive metal such as chromium, nickel or aluminum is provided on the surface of the core roll (1a). A touch roll (1) made by is used. With this structure, since the eddy current flows through the plating layer (1b), there is no limitation on the material of the core roll (1a). For example, by using iron as the material of the core roll (1a), it is possible to inexpensively increase the strength.
【００１４】第５の観点では、この発明は、上記構成の
樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）におい
て、前記金属製タッチロール（１）の端部の前記樹脂フ
ィルムシート（Ｓ）のない部分で取得した前記第１の距
離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）の差（Δ）を演算する
演算手段（１０）と、前記差（Δ）を記憶する第２の記
憶手段（１２）とをさらに具備すると共に、前記変換手
段（１０）は、前記金属製タッチロール（１）の中間部
の前記樹脂フィルムシート（Ｓ）のある部分で取得した
第１の距離（Ａ）を前記差（Δ）によりオフセット補正
することを特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測定装
置（１００）を提供する。樹脂フィルムシートの厚さを
測定するとき、周囲温度により渦電流が変動したり，回
路の特性が変動し、デジタル値が変動することがある。
そこで、上記第５の観点の樹脂フィルムシートの厚さ測
定装置（１００）では、金属製タッチロール（１）の端
部の樹脂フィルムシート（Ｓ）のない部分で第１の距離
（Ａ）および第２の距離（Ｂ）を取得し、金属製タッチ
ロール（１）の中間部の樹脂フィルムシート（Ｓ）のあ
る部分で取得した第１の距離（Ａ）から前記差（Δ）を
オフセット補正する。樹脂フィルムシート（Ｓ）のない
部分では、樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さが“０”で
あるから、第１の距離（Ａ）と第２の距離（Ｂ）とが一
致するはずであり、もし差（Δ）があれば、それは温度
変動に起因するドリフトと考えられる。従って、これを
オフセット補正することで、正しい樹脂フィルムシート
（Ｓ）の厚さを得ることが出来る。According to a fifth aspect of the present invention, in the resin film sheet thickness measuring device (100) having the above structure, the resin film sheet (S) at the end of the metal touch roll (1) is not provided. A calculation means (10) for calculating a difference (Δ) between the first distance (A) and the second distance (B) acquired in the portion, and a second storage means (for storing the difference (Δ). 12) and the conversion means (10) further includes a first distance (A) obtained at a portion of the resin film sheet (S) at an intermediate portion of the metal touch roll (1). An apparatus (100) for measuring a thickness of a resin film sheet, which is characterized by performing offset correction based on the difference (Δ). When measuring the thickness of the resin film sheet, the eddy current may fluctuate due to the ambient temperature, the characteristics of the circuit may fluctuate, and the digital value may fluctuate.
Therefore, in the resin film sheet thickness measuring device (100) according to the fifth aspect, the first distance (A) and the distance (A) at the end of the metal touch roll (1) where the resin film sheet (S) does not exist. The second distance (B) is acquired, and the difference (Δ) is offset-corrected from the first distance (A) acquired at a portion of the resin film sheet (S) in the middle part of the metal touch roll (1). To do. Since the thickness of the resin film sheet (S) is “0” in the portion where the resin film sheet (S) is not present, the first distance (A) and the second distance (B) should match. If there is a difference (Δ), it is considered to be a drift due to temperature fluctuation. Therefore, by correcting this offset, the correct thickness of the resin film sheet (S) can be obtained.
【００１５】第６の観点では、この発明は、中央部（１
ｄ）を均一な直径とし少なくとも一方の端部をテーパ状
に縮径するか又は拡径するか又は第１の端部（１ｅ）を
テーパ状に縮径し第２の端部（１ｆ）をテーパ状に拡径
した金属製タッチロール（１Ｃ）の外周面に樹脂フィル
ムシートを被せない状態で、基準位置（２１）から前記
金属製タッチロール（１Ｃ）の外周面までの第１の距離
（Ａ）を前記第１の端部（１ｅ）から前記第２の端部
（１ｆ）に渡って電磁気的に測定すると共に光学的に測
定し、前記電磁気的に測定した値を前記光学的に測定し
た値で校正しておき、前記金属製タッチロール（１Ｃ）
の外周面に樹脂フィルムシート（Ｓ）の裏面を接した状
態で、前記第１の距離（Ａ）を電磁気的に測定すると共
に、前記基準位置（２１）から前記樹脂フィルムシート
（Ｓ）の表面までの第２の距離（Ｂ）を光学的に測定
し、前記第１の距離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）との
差に基づいて前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ
（Ｘ）を算出することを特徴とする樹脂フィルムシート
の厚さ測定方法を提供する。樹脂フィルムシート（Ｓ）
の厚さを測定する時、樹脂フィルムシート（Ｓ）の熱や
テンションによって金属製タッチロール（１Ｃ）が大き
く変形する場合がある。一方、電磁気的に測定した値を
光学的に測定した値で校正する時には、金属製タッチロ
ール（１Ｃ）の外周面に樹脂フィルムシートを被せない
状態で行うので、樹脂フィルムシート（Ｓ）の熱やテン
ションによる金属製タッチロール（１Ｃ）の変形がな
い。このため、一端から他端まで均一な直径の金属製タ
ッチロールを用いていると、樹脂フィルムシート（Ｓ）
の厚さを測定する時の電磁気的な測定値が、校正範囲を
逸脱してしまうことがある。校正範囲を逸脱すると、測
定不能となるか、測定精度が低下してしまう。そこで、
上記第６の観点の樹脂フィルムシートの厚さ測定方法で
は、中央部（１ｄ）を均一な直径とし、少なくとも一方
の端部をテーパ状に縮径するか，又は，拡径するか，又
は，第１の端部（１ｅ）をテーパ状に縮径し第２の端部
（１ｆ）をテーパ状に拡径した金属製タッチロール（１
Ｃ）を用いるようにした。中央部（１ｄ）に樹脂フィル
ムシート（Ｓ）の熱やテンションがかかった時の変形範
囲をカバーするように縮径または拡径しておくことによ
り、校正範囲が広がり、樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚
さを測定する時の電磁気的な測定値が校正範囲に必ず入
るようになる。従って、測定可能となり、測定精度も低
下しない。上記以外の構成と作用については、先に説明
した第１の観点の樹脂フィルムシートの厚さ測定方法と
同様である。In a sixth aspect, the present invention provides a central portion (1
d) has a uniform diameter, and at least one end is tapered or expanded, or the first end (1e) is tapered and the second end (1f) is reduced. A first distance from the reference position (21) to the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) in a state where the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) having a tapered diameter is not covered with the resin film sheet ( A) is electromagnetically measured and optically measured from the first end (1e) to the second end (1f), and the electromagnetically measured value is optically measured. The metal touch roll (1C)
The first distance (A) is electromagnetically measured while the back surface of the resin film sheet (S) is in contact with the outer peripheral surface of the surface of the resin film sheet (S) from the reference position (21). The second distance (B) is measured optically, and based on the difference between the first distance (A) and the second distance (B), the thickness of the resin film sheet (S) ( A method for measuring the thickness of a resin film sheet, which comprises calculating X). Resin film sheet (S)
The metal touch roll (1C) may be largely deformed by heat or tension of the resin film sheet (S) when the thickness of the metal touch roll (1C) is measured. On the other hand, when calibrating the electromagnetically measured value with the optically measured value, it is performed without covering the resin film sheet on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C). There is no deformation of the metal touch roll (1C) due to pressure or tension. Therefore, when a metal touch roll having a uniform diameter from one end to the other end is used, the resin film sheet (S)
The electromagnetically-measured value when measuring the thickness of the may deviate from the calibration range. If it deviates from the calibration range, the measurement becomes impossible or the measurement accuracy deteriorates. Therefore,
In the method of measuring the thickness of a resin film sheet according to the sixth aspect, the central portion (1d) has a uniform diameter, and at least one end is tapered or expanded, or A metal touch roll (1) in which the first end portion (1e) has a tapered diameter and the second end portion (1f) has a tapered diameter.
C) was used. By reducing or expanding the diameter of the central portion (1d) so as to cover the deformation range when heat or tension is applied to the resin film sheet (S), the calibration range is expanded and the resin film sheet (S) is expanded. The electromagnetic measurement value when measuring the thickness of will always fall within the calibration range. Therefore, measurement becomes possible and measurement accuracy does not decrease. The configuration and operation other than the above are the same as those of the method for measuring the thickness of the resin film sheet according to the first aspect described above.
【００１６】第７の観点では、この発明は、中央部（１
ｄ）を均一な直径とし少なくとも一方の端部をテーパ状
に縮径するか又は拡径するか又は第１の端部（１ｅ）を
テーパ状に縮径し第２の端部（１ｆ）をテーパ状に拡径
した金属製タッチロール（１Ｃ）と、その金属製タッチ
ロール（１Ｃ）の外周部分に流れる渦電流を利用して基
準位置（２１）から前記金属製タッチロール（１Ｃ）の
外周面までの第１の距離（Ａ）に応じたデジタル値を出
力する渦電流式センサ手段（２，３）と、前記基準位置
（２１）から前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の表面まで
の間隙を通過する光を利用して前記基準位置（２１）か
ら前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の表面までの第２の距
離（Ｂ）を測定する光学的距離測定手段（４，５，６，
７，１０）と、前記第１の距離（Ａ）を測定する測定点
が前記金属製タッチロール（１Ｃ）の外周面上のどの位
置にあるかを判定する測定点位置判定手段（８，１０）
と、前記金属製タッチロール（１Ｃ）の外周面に樹脂フ
ィルムシートを被せない状態で前記第１の距離（Ａ）を
前記第１の端部（１ｅ）から前記第２の端部（１ｆ）に
渡って前記渦電流式センサ手段（２，３）で測定してデ
ジタル値を取得すると共に前記光学的距離測定手段
（４，５，６，７，１０）で測定し前記デジタル値を前
記光学的に測定した値で校正して前記金属製タッチロー
ル（１Ｃ）の外周面上の位置（Ｌ0,Ｌ1,Ｌ2,…，Ｌ12）
と対応した変換式または変換テーブルを生成する校正手
段（１０）と、前記変換式または変換テーブルを記憶す
る第１の記憶手段（１１）と、前記測定点位置判定手段
（８，１０）により判定した測定点の位置に対応した変
換式または変換テーブルを前記第１の記憶手段（１１）
から取り出してデジタル値を第１の距離（Ａ）に変換す
る変換手段（１０）と、前記第１の距離（Ａ）と前記第
２の距離（Ｂ）との差に基づいて前記樹脂フィルムシー
ト（Ｓ）の厚さ（Ｘ）を算出する演算手段（１０）とを
具備したことを特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測
定装置（１００）を提供する。上記第７の観点の樹脂フ
ィルムシートの厚さ測定装置（１００）では、中央部
（１ｄ）を均一な直径とし、少なくとも一方の端部をテ
ーパ状に縮径するか，又は，拡径するか，又は，第１の
端部（１ｅ）をテーパ状に縮径し第２の端部（１ｆ）を
テーパ状に拡径した金属製タッチロール（１Ｃ）を用い
ている。このため、上記第６の観点の樹脂フィルムシー
トの厚さ測定方法と同様の作用により、測定可能とな
り、測定精度も低下しなくなる。上記以外の構成と作用
については、先に説明した第２の観点の樹脂フィルムシ
ートの厚さ測定装置と同様である。According to a seventh aspect, the present invention provides a central portion (1
d) has a uniform diameter, and at least one end is tapered or expanded, or the first end (1e) is tapered and the second end (1f) is reduced. An outer circumference of the metal touch roll (1C) from a reference position (21) by utilizing a tapered metal touch roll (1C) and an eddy current flowing in the outer circumference of the metal touch roll (1C). An eddy current sensor means (2, 3) that outputs a digital value corresponding to the first distance (A) to the surface, and a gap from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S). Optical distance measuring means (4, 5, 6,) for measuring the second distance (B) from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S) using the passing light.
7 and 10) and a measurement point position determination means (8, 10) for determining which position on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) the measurement point for measuring the first distance (A) is located. )
And the first distance (A) from the first end portion (1e) to the second end portion (1f) without covering the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) with the resin film sheet. To obtain a digital value by measuring with the eddy current type sensor means (2, 3) and to measure the digital value with the optical distance measuring means (4,5, 6, 7, 10). Position (L 0 , L 1 , L 2 , ..., L 12 ) on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) after being calibrated with the values measured
Judgment by a calibration means (10) for generating a conversion formula or conversion table corresponding to the above, a first storage means (11) for storing the conversion formula or conversion table, and the measurement point position judgment means (8, 10). The conversion formula or conversion table corresponding to the position of the measured point is stored in the first storage means (11).
A conversion means (10) for extracting the digital value into a first distance (A), and the resin film sheet based on the difference between the first distance (A) and the second distance (B). There is provided a thickness measuring device (100) for a resin film sheet, which is provided with a calculation means (10) for calculating the thickness (X) of (S). In the thickness measuring device (100) for a resin film sheet according to the seventh aspect, whether the central portion (1d) has a uniform diameter and at least one end portion is tapered or expanded. Alternatively, a metal touch roll (1C) is used in which the first end portion (1e) is tapered and the second end portion (1f) is tapered in diameter. For this reason, the same operation as the method for measuring the thickness of the resin film sheet according to the sixth aspect enables measurement, and the measurement accuracy does not decrease. The configuration and operation other than the above are the same as those of the thickness measuring apparatus for resin film sheet according to the second aspect described above.
【００１７】第８の観点では、この発明は、ロール（１
Ｃ）の中央部（１ｄ）を均一な直径とし、少なくとも一
方の端部をテーパ状に縮径するか又は拡径するか又は第
１の端部（１ｅ）をテーパ状に縮径し第２の端部（１
ｆ）をテーパ状に拡径したことを特徴とするテーパ部付
きロール（１Ｃ）を提供する。このテーパ部付きロール
（１Ｃ）を用いることにより、上記第６の観点の樹脂フ
ィルムシートの厚さ測定方法を好適に実施できる。ま
た、上記第７の観点の樹脂フィルムシートの厚さ測定装
置を好適に構成できる。In an eighth aspect, the present invention provides a roll (1
The central portion (1d) of C) has a uniform diameter, and at least one end portion is tapered or expanded, or the first end portion (1e) is tapered and second End of (1
Provided is a roll (1C) having a tapered portion, characterized in that f) is expanded in a tapered shape. By using this roll with a taper portion (1C), the method for measuring the thickness of the resin film sheet according to the sixth aspect can be suitably implemented. Further, the thickness measuring device for a resin film sheet according to the seventh aspect can be suitably configured.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、図に示す実施形態によりこ
の発明をさらに詳細に説明する。なお、これによりこの
発明が限定されるものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to an embodiment shown in the drawings. It should be noted that the present invention is not limited by this.
【００１９】−第１の実施形態− 図１は、この発明の第１の実施形態にかかる樹脂フィル
ムシートの厚さ測定装置１００を示す構成図である。金
属製タッチロール１は、鉄製の均一な直径の芯ロール１
ａの表面に、クロムのメッキ層１ｂを設けた構造であ
る。樹脂フィルムシートＳはその裏面を金属製タッチロ
ール１の外周面と接して走行し、それに合せて金属製タ
ッチロール１は回転する。First Embodiment FIG. 1 is a configuration diagram showing a resin film sheet thickness measuring apparatus 100 according to a first embodiment of the present invention. The metal touch roll 1 is an iron core roll 1 with a uniform diameter.
This is a structure in which a chromium plating layer 1b is provided on the surface of a. The resin film sheet S runs with its back surface in contact with the outer peripheral surface of the metal touch roll 1, and the metal touch roll 1 rotates accordingly.
【００２０】渦電流式距離センサ２は、前記金属製タッ
チロール１の垂直上方に設置されており、前記メッキ層
１ｂに流れる渦電流を利用して、基準位置２１から金属
製タッチロール１の外周面までの第１の距離（Ａ）に応
じたアナログ量を出力する。そのアナログ量は、Ａ／Ｄ
変換器３によりデジタル値に変換され、ＣＰＵ１０に入
力される。The eddy current type distance sensor 2 is installed vertically above the metal touch roll 1 and utilizes the eddy current flowing in the plating layer 1b from the reference position 21 to the outer periphery of the metal touch roll 1. The analog amount according to the first distance (A) to the surface is output. The analog amount is A / D
It is converted into a digital value by the converter 3 and input to the CPU 10.
【００２１】前記金属製タッチロール１のメッキ層１ｂ
の厚さは、メッキ層１ｂの良導電性金属材料の電気伝導
率および透磁率と，前記渦電流式距離センサ２の発振周
波数とに基づいて求めた表皮効果の深さよりも大きくす
る。例えば、電気伝導率が１／（１２．９×１０-8），
透磁率が２．５×４π×１０-7，発振周波数が４．３Ｍ
Ｈｚのとき、メッキ層１ｂの厚さは１７１μｍ以上であ
る。Plating layer 1b of the metal touch roll 1
Is thicker than the depth of the skin effect obtained based on the electrical conductivity and magnetic permeability of the highly conductive metal material of the plated layer 1b and the oscillation frequency of the eddy current distance sensor 2. For example, the electric conductivity is 1 / (12.9 × 10 −8 ),
Permeability is 2.5 × 4π × 10 -7 , oscillation frequency is 4.3M
At Hz, the thickness of the plated layer 1b is 171 μm or more.
【００２２】光源４およびレンズ５は、前記金属製タッ
チロール１と前記渦電流式距離センサ２の間の間隙に、
一方側から水平に且つ前記金属製タッチロール１の軸と
直角に平行光線を与える。ＣＣＤカメラ６は、前記間隙
を通過して他方側に出てきた光を検出し、画像信号を出
力する。その画像信号は、ＣＣＤカメラ用インタフェー
ス基板７を介して、ＣＰＵ１０に入力される。The light source 4 and the lens 5 are provided in the gap between the metal touch roll 1 and the eddy current distance sensor 2,
Parallel rays are applied from one side horizontally and at right angles to the axis of the metal touch roll 1. The CCD camera 6 detects the light that has passed through the gap and has exited to the other side, and outputs an image signal. The image signal is input to the CPU 10 via the CCD camera interface board 7.
【００２３】前記渦電流式距離センサ２，光源４，レン
ズ５およびＣＣＤカメラ６は、図示せぬ送り装置によ
り、金属製タッチロール１の軸方向に往復移動される。
これは、樹脂フィルムシートＳの幅方向の異なる位置で
厚さを測定するためである。The eddy current type distance sensor 2, the light source 4, the lens 5 and the CCD camera 6 are reciprocally moved in the axial direction of the metal touch roll 1 by a feeding device (not shown).
This is to measure the thickness of the resin film sheet S at different positions in the width direction.
【００２４】ロータリエンコーダ８は、前記金属製タッ
チロール１の回転位置を検出し、ＣＰＵ１０に入力す
る。ＣＰＵ１０に接続されている第１のメモリ１１は、
前記金属製タッチロール１の外周上の位置と対応した変
換式または変換テーブルを記憶している。また、ＣＰＵ
１０に接続されている第２のメモリ１２は、前記金属製
タッチロール１の端部の樹脂フィルムシートＳのない部
分で取得した第１の距離（Ａ）と第２の距離（Ｂ）の差
（Δ）を記憶している。The rotary encoder 8 detects the rotational position of the metal touch roll 1 and inputs it to the CPU 10. The first memory 11 connected to the CPU 10 is
A conversion formula or conversion table corresponding to the position on the outer circumference of the metal touch roll 1 is stored. Also, CPU
The second memory 12 connected to 10 is the difference between the first distance (A) and the second distance (B) obtained at the end of the metal touch roll 1 where the resin film sheet S is not present. It stores (Δ).
【００２５】ＣＰＵ１０は、前記回転位置より前記第１
の距離（Ａ）を測定する測定点が前記金属製タッチロー
ル（１）の外周上のどの位置にあるかを判定する。次
に、判定した測定点の位置に対応した変換式または変換
テーブルを前記第１の記憶手段１１から取り出してデジ
タル値を第１の距離（Ａ）に変換する。次に、前記第２
の記憶手段１２から前記差（Δ）を取り出して、前記第
１の距離（Ａ）をオフセット補正する。また、前記画像
信号から第２の距離（Ｂ）を取得する。そして、前記オ
フセット補正した第１の距離（Ａ）から前記第２の距離
（Ｂ）を減算し、樹脂フィルムシートＳの厚さ（Ｘ）を
算出する。算出された厚さ（Ｘ）は、操作卓１３の表示
器に表示される。The CPU 10 controls the first position from the rotational position.
Which position on the outer circumference of the metal touch roll (1) the measurement point for measuring the distance (A) is determined. Next, the conversion formula or conversion table corresponding to the determined position of the measurement point is taken out from the first storage means 11 and the digital value is converted into the first distance (A). Next, the second
The difference (Δ) is taken out from the storage means 12 and the first distance (A) is offset-corrected. Further, the second distance (B) is acquired from the image signal. Then, the second distance (B) is subtracted from the offset-corrected first distance (A) to calculate the thickness (X) of the resin film sheet S. The calculated thickness (X) is displayed on the display of the console 13.
【００２６】図２は、第１の距離（Ａ）と第２の距離
（Ｂ）の説明図である。第１の距離（Ａ）は、基準位置
２１から金属製タッチロール１の外周面までの距離であ
り、渦電流式距離センサ２により検出される。FIG. 2 is an explanatory diagram of the first distance (A) and the second distance (B). The first distance (A) is a distance from the reference position 21 to the outer peripheral surface of the metal touch roll 1, and is detected by the eddy current distance sensor 2.
【００２７】第２の距離（Ｂ）は、基準位置２１から樹
脂フィルムシートＳの表面までの距離である。画像信号
を垂直方向に沿って見たとき、基準位置２１と樹脂フィ
ルムシートＳの表面の間の間隙に対応するＣＣＤカメラ
６の画素では光強度が強くなり、渦電流式距離センサ２
や樹脂フィルムシートＳの陰になったＣＣＤカメラ６の
画素では弱くなっている。そこで、ＣＰＵ１０は、例え
ば最大光強度の約１／２に閾値を設定し、その閾値を越
える光強度をもつ画素数ＮB を求める。そして、ＣＣＤ
カメラ６の画素間の距離をＰとし、ＣＣＤカメラ５の倍
率をｋとするとき、 Ｂ＝ＮB ×Ｐ／ｋ により第２の距離（Ｂ）を算出する。The second distance (B) is the distance from the reference position 21 to the surface of the resin film sheet S. When the image signal is viewed in the vertical direction, the light intensity becomes strong at the pixel of the CCD camera 6 corresponding to the gap between the reference position 21 and the surface of the resin film sheet S, and the eddy current distance sensor 2
The pixels of the CCD camera 6 behind the resin film sheet S are weak. Therefore, the CPU 10 sets a threshold value to, for example, about 1/2 of the maximum light intensity, and obtains the number N B of pixels having a light intensity exceeding the threshold value. And CCD
The distance between the pixels of the camera 6 is P, when the magnification of the CCD camera 5 and k, calculates a second distance (B) by B = N B × P / k .
【００２８】また、ＣＰＵ１０は、第１の距離（Ａ）か
ら第２の距離（Ｂ）を減算して、樹脂フィルムシートＳ
の厚さ（Ｘ）を算出する。Further, the CPU 10 subtracts the second distance (B) from the first distance (A) to obtain the resin film sheet S.
The thickness (X) is calculated.
【００２９】図３は、樹脂フィルムシートＳと測定点の
分布の説明図である。樹脂フィルムシートＳの走行に合
せて金属製タッチロール１が回転しているが、その１回
転に例えば１２回の測定を行うとする。すると、金属製
タッチロール１の外周面を周方向に１２等分するライン
Ｌ0，Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌ12 に各測定点を対応させること
が出来る。また、樹脂フィルムシートＳの走行と同時
に、渦電流式距離センサ２，光源４，レンズ５およびＣ
ＣＤカメラ６が金属製タッチロール１の軸方向に往復移
動されるため、測定点は金属製タッチロール１の軸方向
に移動する。この結果、図３中の■で示すように、樹脂
フィルムシートＳの幅方向の異なる位置に測定点が分布
し、樹脂フィルムシートＳの厚さを満遍なく測定するこ
とが出来る。FIG. 3 is an explanatory diagram of the distribution of the resin film sheet S and the measurement points. The metal touch roll 1 is rotated in accordance with the traveling of the resin film sheet S, and it is assumed that the measurement is performed 12 times for each rotation. Then, each measurement point can be associated with lines L 0 , L 1 , L 2 , ..., L 12 that divide the outer peripheral surface of the metal touch roll 1 into 12 equal parts in the circumferential direction. At the same time as the resin film sheet S is running, the eddy current type distance sensor 2, the light source 4, the lens 5 and the C
Since the CD camera 6 is reciprocally moved in the axial direction of the metal touch roll 1, the measurement point moves in the axial direction of the metal touch roll 1. As a result, the measurement points are distributed at different positions in the width direction of the resin film sheet S, as indicated by 3 in FIG. 3, and the thickness of the resin film sheet S can be measured evenly.
【００３０】図３中の▲で示す測定点では、金属製タッ
チロール１の端部のため、樹脂フィルムシートＳがな
い。従って、第１の距離（Ａ）と第２の距離（Ｂ）とが
一致するはずである。もし、第１の距離（Ａ）と第２の
距離（Ｂ）とに差（Δ）があれば、それは温度変動に起
因するドリフトと考えられる。そこで、ＣＰＵ１０は、
図３中の▲で示す測定点ごとに、第１の距離（Ａ）から
第２の距離（Ｂ）を減算し、得られた差（Δ）を前記第
２のメモリ１２に記憶（更新）する。そして、この差
（Δ）を用いて先述したオフセット補正を行うため、周
囲温度の影響を排除して、正しい樹脂フィルムシート
（Ｓ）の厚さを得ることが出来る。At the measuring point indicated by ▲ in FIG. 3, the resin film sheet S is not present because of the end of the metal touch roll 1. Therefore, the first distance (A) and the second distance (B) should match. If there is a difference (Δ) between the first distance (A) and the second distance (B), it is considered that the difference is due to temperature fluctuation. Therefore, the CPU 10
The second distance (B) is subtracted from the first distance (A) for each measurement point indicated by ▲ in FIG. 3, and the obtained difference (Δ) is stored (updated) in the second memory 12. To do. Since the offset correction described above is performed using this difference (Δ), the influence of the ambient temperature can be eliminated and the correct thickness of the resin film sheet (S) can be obtained.
【００３１】図４は、前記ラインＬ0,Ｌ1,Ｌ2,…，Ｌ12
と対応した変換式または変換テーブルを得るための校正
点の説明図である。樹脂フィルムシートＳがない状態で
且つ金属製タッチロール１を回転させずに、渦電流式距
離センサ２，光源４，レンズ５およびＣＣＤカメラ６を
金属製タッチロール１の軸方向に移動して、ラインＬ0
上の複数の校正点Ｐ0,Ｐ1,Ｐ2,…，Ｐ7 でデジタル値
（Ｄ）と第２の距離（Ｂ）のデータ対を多数取得する。
次に、取得した多数のデータ対に最小２乗法を適用し、
デジタル値（Ｄ）から第２の距離（Ｂ）を算出する多項
式を求める。次に、その多項式における第２の距離
（Ｂ）を第１の距離（Ａ）に置き換えて、それをデジタ
ル値（Ｄ）を第１の距離（Ａ）に変換する変換式であっ
て且つラインＬ0 に対応した変換式とする。そして、そ
の変換式またはその変換式から作成した変換テーブルを
前記第１のメモリ１１に記憶する。FIG. 4 shows the lines L 0 , L 1 , L 2 , ..., L 12
It is explanatory drawing of the calibration point for obtaining the conversion formula or conversion table corresponding to. Without the resin film sheet S and without rotating the metal touch roll 1, the eddy current type distance sensor 2, the light source 4, the lens 5 and the CCD camera 6 are moved in the axial direction of the metal touch roll 1. Line L 0
A large number of data pairs of the digital value (D) and the second distance (B) are acquired at the above plurality of calibration points P 0 , P 1 , P 2 , ..., P 7.
Next, we apply the least squares method to a large number of acquired data pairs,
A polynomial for calculating the second distance (B) is calculated from the digital value (D). Next, a conversion formula for replacing the second distance (B) in the polynomial with the first distance (A) and converting the digital value (D) into the first distance (A) It is a conversion formula corresponding to L 0 . Then, the conversion formula or the conversion table created from the conversion formula is stored in the first memory 11.
【００３２】次に、金属製タッチロール１を少しだけ回
転させる。そして、金属製タッチロール１の回転を止め
て、渦電流式距離センサ２，光源４，レンズ５およびＣ
ＣＤカメラ６を金属製タッチロール１の軸方向に移動し
て、ラインＬ1 上の複数の校正点Ｐ0,Ｐ1,Ｐ2,…，Ｐ7
でデジタル値（Ｄ）と第２の距離（Ｂ）のデータ対を多
数取得する。次に、取得した多数のデータ対に最小２乗
法を適用し、デジタル値（Ｄ）から第２の距離（Ｂ）を
算出する多項式を求める。次に、その多項式における第
２の距離（Ｂ）を第１の距離（Ａ）に置き換えて、それ
をデジタル値（Ｄ）を第１の距離（Ａ）に変換する変換
式であって且つラインＬ1 に対応した変換式とする。そ
して、その変換式またはその変換式から作成した変換テ
ーブルを前記第１のメモリ１１に記憶する。同様にし
て、ラインＬ2,…，Ｌ12と対応した変換式を求めて、そ
れらの変換式またはそれらの変換式から作成した変換テ
ーブルを前記第１のメモリ１１に記憶する。Next, the metal touch roll 1 is slightly rotated. Then, the rotation of the metal touch roll 1 is stopped, and the eddy current type distance sensor 2, light source 4, lens 5 and C
By moving the CD camera 6 in the axial direction of the metal touch roll 1, a plurality of calibration points P 0 , P 1 , P 2 , ..., P 7 on the line L 1 are obtained.
At, many data pairs of the digital value (D) and the second distance (B) are acquired. Next, the least squares method is applied to the obtained many data pairs to obtain a polynomial for calculating the second distance (B) from the digital value (D). Next, a conversion formula for replacing the second distance (B) in the polynomial with the first distance (A) and converting the digital value (D) into the first distance (A) A conversion formula corresponding to L 1 . Then, the conversion formula or the conversion table created from the conversion formula is stored in the first memory 11. Similarly, the conversion formulas corresponding to the lines L 2 , ..., L 12 are obtained, and the conversion formulas or the conversion table created from the conversion formulas are stored in the first memory 11.
【００３３】測定前に上記校正を行っておき、測定時に
は、測定点のラインに対応する変換テーブルを用いてデ
ジタル値（Ｄ）を第１の距離（Ａ）に換算すれば、金属
製タッチロール１の製造上のバラツキや若干の変形や偏
心を除去でき、測定精度を向上することが出来る。The above-mentioned calibration is performed before the measurement, and at the time of measurement, the conversion table corresponding to the line of the measurement point is used to convert the digital value (D) into the first distance (A). It is possible to eliminate the manufacturing variation, slight deformation and eccentricity of No. 1, and improve the measurement accuracy.
【００３４】図５に示すように、前記ラインＬ0 上の複
数の校正点Ｐ0,Ｐ1,Ｐ2,…，Ｐ7 で取得したデジタル値
（Ｄ）と第２の距離（Ｂ）多数のデータ対をグラフ上に
プロットすると、前記多項式は、それらプロットした多
数の点を通り抜ける曲線ＡL0（Ｄ）を表している。な
お、実測されたデジタル値（Ｄ）の最小値をＤ１とし、
最大値をＤ２とする。As shown in FIG. 5, the digital values (D) acquired at the plurality of calibration points P 0 , P 1 , P 2 , ..., P 7 on the line L 0 and a large number of second distances (B). When the data pair of is plotted on a graph, the polynomial represents a curve A L0 (D) that passes through the many points plotted. The minimum value of the actually measured digital value (D) is D1,
The maximum value is D2.
【００３５】以上の樹脂フィルムシートの厚さ測定装置
１００によれば、樹脂フィルムシートＳの材質や着色用
の染料や顔料などの影響を受けないため、製造する樹脂
フィルムシートＳの種類に合せた補正や測定波長選択用
フィルタの交換や再校正が必要でなく、測定が容易にな
る。また、樹脂フィルムシートＳが光を透過しない場合
でも測定を行うことが出来る。また、金属製タッチロー
ル１に偏心や撓みがあっても、樹脂フィルムシートＳの
厚さを正確に測定できる。さらに、樹脂フィルムシート
Ｓの表面が粗い場合でも、正確に測定できる。また、交
換用の測定波長選択用フィルタやレーザ光の走査機構が
必要でなく、装置が安価になる。但し、これは、交換用
の測定波長選択用フィルタやレーザ光の走査機構がなく
ても本発明を実施可能ということであり、交換用の測定
波長選択用フィルタやレーザ光の走査機構があっても本
発明を実施可能であるから、交換用の測定波長選択用フ
ィルタやレーザ光の走査機構があっても本発明の範囲に
含まれる。According to the resin film sheet thickness measuring apparatus 100 described above, the resin film sheet S is not affected by the material of the resin film sheet S and the coloring dyes and pigments. No correction or replacement of the filter for measurement wavelength selection or recalibration is required, which facilitates measurement. Further, the measurement can be performed even when the resin film sheet S does not transmit light. Moreover, even if the metal touch roll 1 is eccentric or bent, the thickness of the resin film sheet S can be accurately measured. Furthermore, even if the surface of the resin film sheet S is rough, it can be accurately measured. Further, since the replacement measurement wavelength selection filter and the laser beam scanning mechanism are not required, the apparatus becomes inexpensive. However, this means that the present invention can be implemented without a replacement measurement wavelength selection filter or a laser beam scanning mechanism, and there is a replacement measurement wavelength selection filter or a laser beam scanning mechanism. Since the present invention can also be implemented in the present invention, a replacement for a measurement wavelength selection filter and a laser beam scanning mechanism are included in the scope of the present invention.
【００３６】さらに、上記樹脂フィルムシートの厚さ測
定装置１００によれば、渦電流に基づくデジタル値を第
１の距離（Ａ）に変換する変換式または変換テーブルを
金属製タッチロール１の周方向の位置ごとに求めて記憶
しておき、現在の測定点の周方向の位置に対応した変換
式を取り出して用いるため、金属製タッチロール１のメ
ッキ層１２の厚さのバラツキに起因する測定精度の低下
を防止できる。なお、渦電流に基づくデジタル値を第１
の距離（Ａ）に変換する変換式または変換テーブルを金
属製タッチロール１の軸方向の位置ごとに求めて記憶し
ておき、現在の測定点の軸方向の位置に対応した変換式
を取り出して用いるようにしてもよい。この場合、樹脂
フィルムシートＳがない状態で且つ渦電流式距離センサ
２，光源４，レンズ５およびＣＣＤカメラ６を金属製タ
ッチロール１の軸方向に移動させず、金属製タッチロー
ル１を回転させて、ある軸方向の位置の周方向の複数の
校正点でデジタル値（Ｄ）と第２の距離（Ｂ）のデータ
対を多数取得し、それら多数のデータ対に最小２乗法を
適用し、デジタル値（Ｄ）から第２の距離（Ｂ）を算出
する多項式を求め、その多項式における第２の距離
（Ｂ）を第１の距離（Ａ）に置き換えて、それをデジタ
ル値（Ｄ）を第１の距離（Ａ）に変換する変換式であっ
て且つ前記軸方向の位置に対応した変換式とする。そし
て、その変換式またはその変換式から作成した変換テー
ブルを前記第１のメモリ１１に記憶する。次に、渦電流
式距離センサ２，光源４，レンズ５およびＣＣＤカメラ
６を金属製タッチロール１の軸方向に少しだけ移動し、
上記と同様にして変換式を求めて、それらの変換式また
はそれらの変換式から作成した変換テーブルを前記第１
のメモリ１１に記憶する。これを繰り返せばよい。Further, according to the thickness measuring apparatus 100 for the resin film sheet, a conversion formula or a conversion table for converting the digital value based on the eddy current into the first distance (A) is provided in the circumferential direction of the metal touch roll 1. Since the conversion formula corresponding to the position of the current measurement point in the circumferential direction is extracted and used for each position, the measurement accuracy due to the variation in the thickness of the plating layer 12 of the metal touch roll 1 is measured. Can be prevented. The digital value based on the eddy current is the first
The conversion formula or conversion table for converting to the distance (A) is obtained and stored for each axial position of the metal touch roll 1, and the conversion formula corresponding to the axial position of the current measurement point is taken out. You may use it. In this case, the metal touch roll 1 is rotated without moving the eddy current type distance sensor 2, the light source 4, the lens 5 and the CCD camera 6 in the axial direction of the metal touch roll 1 without the resin film sheet S. Then, a large number of data pairs of the digital value (D) and the second distance (B) are acquired at a plurality of circumferential calibration points at a certain axial position, and the least squares method is applied to the large number of data pairs, Obtain a polynomial for calculating the second distance (B) from the digital value (D), replace the second distance (B) in the polynomial with the first distance (A), and replace it with the digital value (D). A conversion formula for converting into the first distance (A) and corresponding to the position in the axial direction. Then, the conversion formula or the conversion table created from the conversion formula is stored in the first memory 11. Next, the eddy current type distance sensor 2, the light source 4, the lens 5 and the CCD camera 6 are slightly moved in the axial direction of the metal touch roll 1,
The conversion formulas are obtained in the same manner as described above, and the conversion formulas or the conversion table created from the conversion formulas are used as the first
Stored in the memory 11. You just have to repeat this.
【００３７】さらに、上記樹脂フィルムシートの厚さ測
定装置１００によれば、樹脂フィルムシートＳのないと
ころで取得した第１の距離（Ａ）および第２の距離
（Ｂ）の差を用いてオフセット補正するようにしたた
め、温度変動により渦電流が変化しても、樹脂フィルム
シートＳの厚さＸを正確に測定できるようになる。Further, according to the resin film sheet thickness measuring apparatus 100, the offset correction is performed by using the difference between the first distance (A) and the second distance (B) obtained in the absence of the resin film sheet S. Therefore, the thickness X of the resin film sheet S can be accurately measured even if the eddy current changes due to the temperature change.
【００３８】なお、発明者らは、この樹脂フィルムシー
トの厚さ測定方法および測定装置が被測定フィルムの材
質や色の影響を受けないことを実験した。実験条件例と
して、ＰＰ（ポリプロピレン），ＰＥ（ポリエチレ
ン），ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート），ＰＶＣ
（塩化ビニール）の４種類の材料について、それぞれ透
明，赤色，青色，緑色，白色，黒色の樹脂フィルムシー
トを製作し、この樹脂フィルムシートの厚さを測定し
た。この結果、樹脂フィルムシートの厚さを高精度に測
定できることが確認された。The inventors have conducted experiments to make sure that the method and apparatus for measuring the thickness of the resin film sheet are not affected by the material and color of the film to be measured. Examples of experimental conditions are PP (polypropylene), PE (polyethylene), PET (polyethylene terephthalate), PVC
Transparent, red, blue, green, white, and black resin film sheets were produced for four types of (vinyl chloride) materials, and the thickness of the resin film sheets was measured. As a result, it was confirmed that the thickness of the resin film sheet can be measured with high accuracy.
【００３９】−第２の実施形態− 図６の（ａ）は、均一な直径の金属製タッチロール１に
樹脂フィルムシートの熱やテンションがかからない状態
での直径のバラツキを示している。Ｄ１は、第１の距離
（Ａ）を測定して得られたデジタル値（Ｄ）の最小値で
ある。また、Ｄ２は、最大値である。図５で説明したよ
うに、Ｄ１からＤ２の範囲が校正範囲になる。図６の
（ｂ）（ｃ）は、均一な直径の金属製タッチロール１に
樹脂フィルムシート（Ｓ）の熱やテンションがかかった
時の変形を示している。Ｄ３は、第１の距離（Ａ）を測
定して得られたデジタル値（Ｄ）の最小値である。Ｄ４
は、最大値である。Ｄ１≦Ｄ３かつＤ４≦Ｄ２であれ
ば、熱やテンションにより変形しても、変形範囲が校正
範囲内に入っており、測定可能であり、測定精度も低下
しない。しかし、Ｄ３＜Ｄ１またはＤ２＜Ｄ４であれ
ば、熱やテンションにより変形したときのデジタル値
（Ｄ）が校正範囲を逸脱し、測定不能となるか、測定精
度が低下してしまう。-Second Embodiment- (a) of FIG. 6 shows the variation in the diameter of a metal touch roll 1 having a uniform diameter when heat or tension is not applied to the resin film sheet. D1 is the minimum value of the digital value (D) obtained by measuring the first distance (A). D2 is the maximum value. As described in FIG. 5, the range from D1 to D2 is the calibration range. 6 (b) and 6 (c) show the deformation of the metal touch roll 1 having a uniform diameter when the resin film sheet (S) is subjected to heat or tension. D3 is the minimum value of the digital value (D) obtained by measuring the first distance (A). D4
Is the maximum value. If D1 ≤ D3 and D4 ≤ D2, even if deformed by heat or tension, the deformation range is within the calibration range, measurement is possible, and measurement accuracy does not decrease. However, if D3 <D1 or D2 <D4, the digital value (D) when deformed by heat or tension deviates from the calibration range, and measurement becomes impossible or the measurement accuracy deteriorates.
【００４０】そこで、第２の実施形態では、図７に示す
ように、中央部１ｄを均一な直径とし、第１の端部１ｅ
をテーパ状に縮径し、第２の端部１ｆをテーパ状に拡径
した金属製タッチロール１Ｃを用いる。ここで、熱やテ
ンションにより中央部１ｄが変形した時のデジタル値
（Ｄ）の最小値よりも小さいデジタル値Ｄ５が得られる
ように前記縮径を行い、熱やテンションにより中央部１
ｄが変形した時のデジタル値（Ｄ）の最大値よりも大き
いデジタル値Ｄ６が得られるように前記拡径を行う。そ
して、第１の端部１ｅから第２の端部１ｆに渡る範囲α
について前記校正（図４参照）を行っておく。また、樹
脂フィルムシート（Ｓ）が中央部１ｄの範囲βに接する
ように金属製タッチロール１Ｃを使用する。Therefore, in the second embodiment, as shown in FIG. 7, the central portion 1d has a uniform diameter and the first end portion 1e is formed.
Is used, and a metal touch roll 1C in which the second end portion 1f is tapered in diameter is used. Here, the diameter reduction is performed so that a digital value D5 smaller than the minimum value of the digital value (D) when the central portion 1d is deformed by heat or tension is obtained, and the central portion 1d is changed by heat or tension.
The diameter expansion is performed so that a digital value D6 larger than the maximum value of the digital value (D) when d is deformed is obtained. Then, the range α extending from the first end 1e to the second end 1f
The above calibration (see FIG. 4) is performed. Further, the metal touch roll 1C is used so that the resin film sheet (S) is in contact with the range β of the central portion 1d.
【００４１】そうすると、図８に示すように、中央部１
ｄの直径のバラツキの範囲［Ｄ１，Ｄ２］だけでなく、
熱やテンションによる中央部１ｄの直径の変形の範囲
［Ｄ３，Ｄ４］も校正範囲［Ｄ５，Ｄ６］に入ることと
なり、熱やテンションにより変形しても、測定可能とな
り、測定精度も低下しなくなる。Then, as shown in FIG. 8, the central portion 1
Not only the range [D1, D2] of the variation of the diameter of d,
The range [D3, D4] of the deformation of the diameter of the central portion 1d due to heat or tension also falls within the calibration range [D5, D6], and even if it is deformed due to heat or tension, measurement becomes possible and the measurement accuracy does not deteriorate. .
【００４２】なお、熱やテンションにより変形した時に
デジタル値（Ｄ）が減少するだけなら、一方または両方
の端部をテーパ状に縮径した金属製タッチロールを用い
てもよい。また、熱やテンションにより変形した時にデ
ジタル値（Ｄ）が増大するだけなら、一方または両方の
端部をテーパ状に拡径した金属製タッチロールを用いて
もよい。If the digital value (D) only decreases when deformed by heat or tension, one or both ends of the metal touch roll may be tapered to reduce the diameter. Further, if the digital value (D) only increases when deformed by heat or tension, a metal touch roll having one or both ends tapered in diameter may be used.
【００４３】以上の第２の実施形態によれば、先述した
第１の実施形態における効果に加えて、熱やテンション
により金属製タッチロール１Ｃが変形しても、測定精度
の低下なく測定できるようになる。According to the second embodiment described above, in addition to the effect of the first embodiment described above, even if the metal touch roll 1C is deformed by heat or tension, the measurement accuracy can be measured without deterioration. become.
【００４４】[0044]
【発明の効果】この発明の樹脂フィルムシートの厚さ測
定方法および測定装置およびテーパ部付きロールによれ
ば、次の効果が得られる。 (1) 測定が容易である。 (2) 樹脂フィルムシートが光を透過しない場合でも測定
可能である。 (3) タッチロールに偏心や撓みがあっても正確に測定で
きる。 (4) 樹脂フィルムシートの表面状態の影響を受けずに正
確に測定できる。 (5) 装置が安価である。 (6) 熱やテンションにより金属製タッチロールが変形し
ても、測定精度の低下なく測定できる。According to the method and apparatus for measuring the thickness of a resin film sheet and the roll with a tapered portion of the present invention, the following effects can be obtained. (1) Measurement is easy. (2) It can be measured even when the resin film sheet does not transmit light. (3) Accurate measurement is possible even if the touch roll has eccentricity or bending. (4) Accurate measurement is possible without being affected by the surface condition of the resin film sheet. (5) The device is inexpensive. (6) Even if the metal touch roll is deformed by heat or tension, measurement can be performed without lowering the measurement accuracy.
【図１】この発明の第１の実施形態にかかる樹脂フィル
ムシートの厚さ測定装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a resin film sheet thickness measuring device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】第１の距離（Ａ）と第２の距離（Ｂ）の説明図
である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a first distance (A) and a second distance (B).
【図３】測定点の分布の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of distribution of measurement points.
【図４】校正点の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of calibration points.
【図５】変換式に対応する曲線の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a curve corresponding to a conversion formula.
【図６】金属製タッチロールの直径のバラツキと熱やテ
ンションによる変形の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of variation in diameter of a metal touch roll and deformation due to heat and tension.
【図７】この発明の第２の実施形態にかかる金属製タッ
チロールの構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a metal touch roll according to a second embodiment of the present invention.
【図８】図７の金属製タッチロールにおける校正範囲と
熱やテンションによる変形範囲とバラツキの範囲の説明
図である。8 is an explanatory diagram of a calibration range, a deformation range due to heat and tension, and a range of variation in the metal touch roll of FIG.
【図９】従来の樹脂フィルムシートの厚さ測定装置の一
例の簡略構成図である。FIG. 9 is a simplified configuration diagram of an example of a conventional resin film sheet thickness measuring device.
【図１０】従来の樹脂フィルムシートの厚さ測定装置の
他の一例の簡略構成図である。FIG. 10 is a simplified configuration diagram of another example of a conventional resin film sheet thickness measuring device.
【図１１】図７の樹脂フィルムシートの厚さ測定装置の
動作原理の説明図である。11 is an explanatory diagram of the operating principle of the thickness measuring device for resin film sheet of FIG. 7. FIG.
１，１Ｃ 金属製タッチロール １ａ 鉄製芯ロール １ｂ メッキ層 １ｄ 中央部 １ｅ 第１の端部 １ｆ 第２の端部 ２ 渦電流式距離センサ（渦電流式センサ手
段） ３ Ａ／Ｄ変換器（渦電流式センサ手段） ４ 光源（光学的距離測定手段） ５ レンズ（光学的距離測定手段） ６ ＣＣＤカメラ（光学的距離測定手段） ７ ＣＣＤカメラ用インターフェース基板
（光学的距離測定手段） ８ ロータリエンコーダ（測定点位置判定手
段） １０ ＣＰＵ（渦電流式センサ手段，変換手
段，光学的距離測定手段，演算手段，測定点位置判定手
段） １１ 第１の記憶手段 １２ 第２の記憶手段 １３ 操作卓 １００ 樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（本
発明） ５００ 樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（従
来） ５０２ 光源 ５０９ 受光素子 ５０４ 測定波長選択用フィルタ ５１０ 増幅器 ５１５ 表示設定器 ６００ 樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（従
来） ６０１ タッチロール ６０２ 基準しゃ光板 ６０３ スリット ６０４ 間隙 ６０５ 走査機構 ６０６ スリット用受光器 ６０７ 間隙用受光器 Ｓ 樹脂フィルムシート1, 1C Metal touch roll 1a Iron core roll 1b Plating layer 1d Central part 1e First end part 1f Second end part 2 Eddy current type distance sensor (eddy current type sensor means) 3 A / D converter (eddy Current type sensor means) 4 Light source (optical distance measuring means) 5 Lens (optical distance measuring means) 6 CCD camera (optical distance measuring means) 7 CCD camera interface board (optical distance measuring means) 8 Rotary encoder ( Measurement point position determination means) 10 CPU (eddy current type sensor means, conversion means, optical distance measurement means, calculation means, measurement point position determination means) 11 First storage means 12 Second storage means 13 Console 100 Resin Film sheet thickness measuring device (present invention) 500 Resin film sheet thickness measuring device (conventional) 502 Light source 509 Light receiving element 504 Measurement wavelength selection Filter 510 Amplifier 515 Display setting device 600 Resin film sheet thickness measuring device (conventional) 601 Touch roll 602 Reference light shield plate 603 Slit 604 Gap 605 Scanning mechanism 606 Slit light receiver 607 Gap light receiver S Resin film sheet
Claims (8)
脂フィルムシート（Ｓ）の裏面を接した状態で、基準位
置（２１）から前記金属製タッチロール（１）の外周面
までの第１の距離（Ａ）を電磁気的に測定すると共に、
前記基準位置（２１）から前記樹脂フィルムシート
（Ｓ）の表面までの第２の距離（Ｂ）を光学的に測定
し、前記第１の距離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）との
差に基づいて前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ
（Ｘ）を算出することを特徴とする樹脂フィルムシート
の厚さ測定方法。1. A first part from a reference position (21) to an outer peripheral surface of the metal touch roll (1) in a state where a rear surface of the resin film sheet (S) is in contact with an outer peripheral surface of the metal touch roll (1). While measuring the distance (A) of 1 electromagnetically,
A second distance (B) from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S) is optically measured to obtain the first distance (A) and the second distance (B). A method for measuring the thickness of a resin film sheet, wherein the thickness (X) of the resin film sheet (S) is calculated based on the difference between
る外周面をもつ金属製タッチロール（１）と、その金属
製タッチロール（１）の外周部分に流れる渦電流を利用
して基準位置（２１）から前記金属製タッチロール
（１）の外周面までの第１の距離（Ａ）に応じたデジタ
ル値を出力する渦電流式センサ手段（２，３）と、前記
デジタル値を第１の距離（Ａ）に変換する変換手段（１
０）と、前記基準位置（２１）から前記樹脂フィルムシ
ート（Ｓ）の表面までの間隙を通過する光を利用して前
記基準位置（２１）から前記樹脂フィルムシート（Ｓ）
の表面までの第２の距離（Ｂ）を測定する光学的距離測
定手段（４，５，６，７，１０）と、前記第１の距離
（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）との差に基づいて前記樹
脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ（Ｘ）を算出する演算手
段（１０）とを具備したことを特徴とする樹脂フィルム
シートの厚さ測定装置（１００）。2. A metal touch roll (1) having an outer peripheral surface in contact with the back surface of the resin film sheet (S), and a reference position () using the eddy current flowing in the outer peripheral portion of the metal touch roll (1). 21) to an eddy current type sensor means (2, 3) for outputting a digital value according to a first distance (A) from the outer peripheral surface of the metal touch roll (1), and the digital value as a first value. Converting means for converting to distance (A) (1
0) and light passing through the gap from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S), the resin film sheet (S) is moved from the reference position (21).
Optical distance measuring means (4,5,6,7,10) for measuring a second distance (B) to the surface of, and the first distance (A) and the second distance (B). And a calculating means (10) for calculating the thickness (X) of the resin film sheet (S) based on the difference between
厚さ測定装置（１００）において、前記第１の距離
（Ａ）を測定する測定点が前記金属製タッチロール
（１）の外周面上のどの位置にあるかを判定する測定点
位置判定手段（８，１０）と、前記金属製タッチロール
（１）の外周面上の位置（Ｌ0,Ｌ1,Ｌ2,…，Ｌ12）と対
応した変換式または変換テーブルを記憶する第１の記憶
手段（１１）とをさらに具備すると共に、前記変換手段
（１０）は、前記測定点位置判定手段（８，１０）によ
り判定した測定点の位置に対応した変換式または変換テ
ーブルを前記第１の記憶手段（１１）から取り出してデ
ジタル値を第１の距離（Ａ）に変換することを特徴とす
る樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）。3. The resin film sheet thickness measuring device (100) according to claim 2, wherein a measuring point for measuring the first distance (A) is on an outer peripheral surface of the metal touch roll (1). Of the measurement point position determining means (8, 10) for determining which position is on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1) (L 0 , L 1 , L 2 , ..., L 1 2 ) And a first storage means (11) for storing a corresponding conversion formula or conversion table, and the conversion means (10) is configured to measure the measurement point by the measurement point position determination means (8, 10). A conversion formula or conversion table corresponding to the position of (1) is taken out from the first storage means (11) and the digital value is converted into the first distance (A). 100).
ィルムシートの厚さ測定装置（１００）において、前記
金属製タッチロール（１）は、芯ロール（１ａ）の表面
に、クロム，ニッケル，アルミニウムなどの良導電性金
属のメッキ層（１ｂ）を設けた構造であることを特徴と
する樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）。4. The thickness measuring device (100) for a resin film sheet according to claim 2 or 3, wherein the metallic touch roll (1) has chromium or nickel on the surface of the core roll (1a). An apparatus (100) for measuring a thickness of a resin film sheet, which has a structure in which a plated layer (1b) of a metal having good conductivity such as aluminum is provided.
の樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）におい
て、前記金属製タッチロール（１）の端部の前記樹脂フ
ィルムシート（Ｓ）のない部分で取得した前記第１の距
離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）の差（Δ）を演算する
演算手段（１０）と、前記差（Δ）を記憶する第２の記
憶手段（１２）とをさらに具備すると共に、前記変換手
段（１０）は、前記金属製タッチロール（１）の中間部
の前記樹脂フィルムシート（Ｓ）のある部分で取得した
第１の距離（Ａ）を前記差（Δ）によりオフセット補正
することを特徴とする樹脂フィルムシートの厚さ測定装
置（１００）。5. The resin film sheet thickness measuring device (100) according to any one of claims 2 to 4, wherein the resin film sheet (S) at an end of the metal touch roll (1). Calculating means (10) for calculating a difference (Δ) between the first distance (A) and the second distance (B) acquired in a non-existing portion, and a second memory for storing the difference (Δ). The conversion means (10) further comprises means (12), and the conversion means (10) obtains the first distance (A) obtained at a portion of the resin film sheet (S) in an intermediate portion of the metal touch roll (1). ) Is offset-corrected by the difference (Δ), and a thickness measuring device (100) for a resin film sheet.
とも一方の端部をテーパ状に縮径するか又は拡径するか
又は第１の端部（１ｅ）をテーパ状に縮径し第２の端部
（１ｆ）をテーパ状に拡径した金属製タッチロール（１
Ｃ）の外周面に樹脂フィルムシートを被せない状態で、
基準位置（２１）から前記金属製タッチロール（１Ｃ）
の外周面までの第１の距離（Ａ）を前記第１の端部（１
ｅ）から前記第２の端部（１ｆ）に渡って電磁気的に測
定すると共に光学的に測定し、前記電磁気的に測定した
値を前記光学的に測定した値で校正しておき、前記金属
製タッチロール（１Ｃ）の外周面に樹脂フィルムシート
（Ｓ）の裏面を接した状態で、前記第１の距離（Ａ）を
電磁気的に測定すると共に、前記基準位置（２１）から
前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の表面までの第２の距離
（Ｂ）を光学的に測定し、前記第１の距離（Ａ）と前記
第２の距離（Ｂ）との差に基づいて前記樹脂フィルムシ
ート（Ｓ）の厚さ（Ｘ）を算出することを特徴とする樹
脂フィルムシートの厚さ測定方法。6. The central portion (1d) has a uniform diameter, and at least one end portion is tapered or expanded in diameter, or the first end portion (1e) is tapered in diameter. A metal touch roll (1
With the outer peripheral surface of C) not covered with the resin film sheet,
From the reference position (21) to the metal touch roll (1C)
The first distance (A) to the outer peripheral surface of the first end (1
From (e) to the second end (1f), electromagnetically and optically measured, the electromagnetically measured value is calibrated with the optically measured value, and the metal The first distance (A) is measured electromagnetically while the outer surface of the touch roll (1C) made of the resin is in contact with the back surface of the resin film sheet (S), and the resin film is measured from the reference position (21). The second distance (B) to the surface of the sheet (S) is optically measured, and the resin film sheet (based on the difference between the first distance (A) and the second distance (B) is A method for measuring the thickness of a resin film sheet, which comprises calculating the thickness (X) of S).
とも一方の端部をテーパ状に縮径するか又は拡径するか
又は第１の端部（１ｅ）をテーパ状に縮径し第２の端部
（１ｆ）をテーパ状に拡径した金属製タッチロール（１
Ｃ）と、その金属製タッチロール（１Ｃ）の外周部分に
流れる渦電流を利用して基準位置（２１）から前記金属
製タッチロール（１Ｃ）の外周面までの第１の距離
（Ａ）に応じたデジタル値を出力する渦電流式センサ手
段（２，３）と、前記基準位置（２１）から前記樹脂フ
ィルムシート（Ｓ）の表面までの間隙を通過する光を利
用して前記基準位置（２１）から前記樹脂フィルムシー
ト（Ｓ）の表面までの第２の距離（Ｂ）を測定する光学
的距離測定手段（４，５，６，７，１０）と、前記第１
の距離（Ａ）を測定する測定点が前記金属製タッチロー
ル（１Ｃ）の外周面上のどの位置にあるかを判定する測
定点位置判定手段（８，１０）と、前記金属製タッチロ
ール（１Ｃ）の外周面に樹脂フィルムシートを被せない
状態で前記第１の距離（Ａ）を前記第１の端部（１ｅ）
から前記第２の端部（１ｆ）に渡って前記渦電流式セン
サ手段（２，３）で測定してデジタル値を取得すると共
に前記光学的距離測定手段（４，５，６，７，１０）で
測定し前記デジタル値を前記光学的に測定した値で校正
して前記金属製タッチロール（１Ｃ）の外周面上の位置
（Ｌ0,Ｌ1,Ｌ2,…，Ｌ12）と対応した変換式または変換
テーブルを生成する校正手段（１０）と、前記変換式ま
たは変換テーブルを記憶する第１の記憶手段（１１）
と、前記測定点位置判定手段（８，１０）により判定し
た測定点の位置に対応した変換式または変換テーブルを
前記第１の記憶手段（１１）から取り出してデジタル値
を第１の距離（Ａ）に変換する変換手段（１０）と、前
記第１の距離（Ａ）と前記第２の距離（Ｂ）との差に基
づいて前記樹脂フィルムシート（Ｓ）の厚さ（Ｘ）を算
出する演算手段（１０）とを具備したことを特徴とする
樹脂フィルムシートの厚さ測定装置（１００）。7. The central portion (1d) has a uniform diameter, and at least one end portion is tapered or expanded in diameter, or the first end portion (1e) is tapered in diameter. A metal touch roll (1
C) and the first distance (A) from the reference position (21) to the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) by utilizing the eddy current flowing in the outer peripheral portion of the metal touch roll (1C). Using the eddy current type sensor means (2, 3) for outputting a corresponding digital value and the light passing through the gap from the reference position (21) to the surface of the resin film sheet (S), the reference position ( 21) to an optical distance measuring unit (4,5, 6, 7, 10) for measuring a second distance (B) from the surface of the resin film sheet (S), and the first distance.
Measuring point position determining means (8, 10) for determining which position on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C) the measurement point for measuring the distance (A) of the metal touch roll ( 1C) with the outer peripheral surface not covered with the resin film sheet, the first distance (A) is the first end (1e)
To the second end portion (1f) from the eddy current type sensor means (2, 3) to obtain a digital value and the optical distance measuring means (4, 5, 6, 7, 10). ) And calibrate the digital value with the optically measured value to correspond to the position (L 0 , L 1 , L 2 , ..., L 12 ) on the outer peripheral surface of the metal touch roll (1C). Calibration means (10) for generating the converted conversion formula or conversion table, and first storage means (11) for storing the conversion formula or conversion table.
And a conversion formula or conversion table corresponding to the position of the measurement point determined by the measurement point position determination means (8, 10) is fetched from the first storage means (11) and the digital value is converted into the first distance (A). ), And the thickness (X) of the resin film sheet (S) is calculated based on the difference between the first distance (A) and the second distance (B). An apparatus (100) for measuring the thickness of a resin film sheet, comprising: an arithmetic means (10).
な直径とし、少なくとも一方の端部をテーパ状に縮径す
るか又は拡径するか又は第１の端部（１ｅ）をテーパ状
に縮径し第２の端部（１ｆ）をテーパ状に拡径したこと
を特徴とするテーパ部付きロール（１Ｃ）。8. The roll (1C) has a central portion (1d) having a uniform diameter, and at least one end portion is tapered or expanded, or the first end portion (1e) is tapered. A roll with a tapered portion (1C), characterized in that the second end portion (1f) has a tapered diameter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20693395A JP3661015B2 (en) | 1995-05-26 | 1995-08-14 | Method and apparatus for measuring thickness of resin film sheet |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-127716 | 1995-05-26 | ||
| JP12771695 | 1995-05-26 | ||
| JP20693395A JP3661015B2 (en) | 1995-05-26 | 1995-08-14 | Method and apparatus for measuring thickness of resin film sheet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949725A true JPH0949725A (en) | 1997-02-18 |
| JP3661015B2 JP3661015B2 (en) | 2005-06-15 |
Family
ID=26463602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20693395A Expired - Fee Related JP3661015B2 (en) | 1995-05-26 | 1995-08-14 | Method and apparatus for measuring thickness of resin film sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3661015B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002257506A (en) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Toppan Printing Co Ltd | Non-contact coating thickness measuring device |
| KR100916340B1 (en) * | 2008-03-13 | 2009-09-11 | 주식회사 코웰테크 | Apparatus for automatically adjusting the thickness of the construction panel using image processing |
| WO2011018840A1 (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | トヨタ自動車株式会社 | Foreign material detecting device and foreign material detecting method |
| US20140028999A1 (en) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Web thickness measuring equipment and method |
-
1995
- 1995-08-14 JP JP20693395A patent/JP3661015B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002257506A (en) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Toppan Printing Co Ltd | Non-contact coating thickness measuring device |
| KR100916340B1 (en) * | 2008-03-13 | 2009-09-11 | 주식회사 코웰테크 | Apparatus for automatically adjusting the thickness of the construction panel using image processing |
| WO2011018840A1 (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | トヨタ自動車株式会社 | Foreign material detecting device and foreign material detecting method |
| JP5246525B2 (en) * | 2009-08-11 | 2013-07-24 | トヨタ自動車株式会社 | Foreign object detection device and foreign object detection method |
| US20140028999A1 (en) * | 2012-07-24 | 2014-01-30 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Web thickness measuring equipment and method |
| KR20140015765A (en) * | 2012-07-24 | 2014-02-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | Web thickness measuring equipment and method |
| US9115979B2 (en) | 2012-07-24 | 2015-08-25 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Web thickness measuring equipment and method of measuring thickness of a web |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3661015B2 (en) | 2005-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8983318B2 (en) | Image forming apparatus with a density sensor for detecting density fluctuations | |
| JP5190330B2 (en) | Chromatic point sensor operating method and chromatic point sensor | |
| JP2014081199A (en) | Displacement sensor, spectral characteristics measurement device, color measurement device, planar measurement object quality monitor, displacement measurement method, spectral characteristics measurement method, and color measurement method, using spectrometer | |
| EP3527968B1 (en) | Spectral characteristic acquiring apparatus, image forming apparatus, image forming system, image forming apparatus management system, and image forming apparatus management method | |
| CN107707783B (en) | Image formation system, image read-out and image forming apparatus | |
| JP2009008471A (en) | Optical spectrometer and optical apparatus using same | |
| JPH0949725A (en) | Method and apparatus for measuring thickness of resin film sheet and roll with tapered part | |
| JP2007248201A (en) | Radiation thermometer | |
| US5640015A (en) | Pyrometer electromagnetic radiation measuring device | |
| JPS5842904A (en) | Length measuring device | |
| KR20040010172A (en) | Emissivity distribution measuring method and apparatus | |
| JP2000081328A (en) | Measurement method for running sheet-shaped object | |
| JP5907364B2 (en) | Spectral characteristic measuring device, spectral characteristic measuring method, surface measurement object quality monitoring device | |
| JP6562254B2 (en) | Temperature detection apparatus and temperature detection method | |
| JP2002243415A (en) | Film thickness measuring method and sheet manufacturing method | |
| JPH04212861A (en) | Ink film thickness/moisture content measuring device | |
| JPH01250835A (en) | Wavelength measuring method | |
| JP4374119B2 (en) | Absolute encoder | |
| JP2005351790A (en) | Membrane thickness information acquiring device, membrane thickness arithmetic unit, membrane thickness measurement system and manufacturing method of film | |
| JP2782013B2 (en) | Position detection device | |
| JPH01209648A (en) | X-ray microanalyzer | |
| JPH09257589A (en) | Temperature drift correcting device for infrared ray heat image forming device | |
| JPH0510822A (en) | Radiation temperature measuring instrument | |
| JPH07107499B2 (en) | Continuous colorimeter | |
| JPH0198930A (en) | Radiation thermometer replaced with equivalent black body |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040901 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040921 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041112 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041224 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20050301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20050301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090401 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100401 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100401 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110401 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |