JPH0938481A - 真空室用点検窓 - Google Patents
真空室用点検窓Info
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- JPH0938481A JPH0938481A JP19171195A JP19171195A JPH0938481A JP H0938481 A JPH0938481 A JP H0938481A JP 19171195 A JP19171195 A JP 19171195A JP 19171195 A JP19171195 A JP 19171195A JP H0938481 A JPH0938481 A JP H0938481A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空室の水平壁面に限らず垂直壁面にも取付
け可能で、任意のリリーフ圧を設定することが可能な真
空室用点検窓を提供する。 【解決手段】 点検窓ガラス２と保護カバー５との間に
は、一方端が収容ケース３に取付けられ、他方端が点検
窓ガラス２の上面中央部に接触した板バネ７が介在して
いる。
け可能で、任意のリリーフ圧を設定することが可能な真
空室用点検窓を提供する。 【解決手段】 点検窓ガラス２と保護カバー５との間に
は、一方端が収容ケース３に取付けられ、他方端が点検
窓ガラス２の上面中央部に接触した板バネ７が介在して
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、正圧（大気圧以
上）状態と負圧（真空圧）状態を繰り返す真空室の内部
を点検するための真空室用点検窓に関し、特に、真空室
に垂直に取り付けることが可能な真空室用点検窓に関す
る。
上）状態と負圧（真空圧）状態を繰り返す真空室の内部
を点検するための真空室用点検窓に関し、特に、真空室
に垂直に取り付けることが可能な真空室用点検窓に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図９にリリーフ機能を有した従来の真空
室用点検窓ＷＤの断面図を示す。図９において、真空室
１の壁面の開口部Ｈ１の周囲にＯリング溝ＯＧ１が設け
られ、Ｏリング溝ＯＧ１内に真空シールのためのＯリン
グＯＲ１がはめ込まれている。そして、ＯリングＯＲ１
の上部には開口部Ｈ１を覆うように点検窓ガラス２が載
置され、点検窓ガラス２の周囲には点検窓ガラス２を収
容する収容ケース３が設けられている。
室用点検窓ＷＤの断面図を示す。図９において、真空室
１の壁面の開口部Ｈ１の周囲にＯリング溝ＯＧ１が設け
られ、Ｏリング溝ＯＧ１内に真空シールのためのＯリン
グＯＲ１がはめ込まれている。そして、ＯリングＯＲ１
の上部には開口部Ｈ１を覆うように点検窓ガラス２が載
置され、点検窓ガラス２の周囲には点検窓ガラス２を収
容する収容ケース３が設けられている。
【０００３】収容ケース３には真空室１内部が負圧状態
から正圧状態に移行する際に、真空室１内部の圧力を大
気圧に保つためのリリーフポート４を有している。ま
た、収容ケース３の上部には、真空室１内部が負圧状態
から正圧状態に移行する際に、点検窓ガラス２が飛び出
すのを防ぐための樹脂性（透明）の保護カバー５が一定
の隙間を保って配置され、保護カバー５の上には保護カ
バー５を固定するための安全板６が設けられている。な
お、収容ケース３は図示しないボルトによって真空室１
の壁面に固定され、安全板６は図示しないボルトによっ
て収容ケース３に固定されている。
から正圧状態に移行する際に、真空室１内部の圧力を大
気圧に保つためのリリーフポート４を有している。ま
た、収容ケース３の上部には、真空室１内部が負圧状態
から正圧状態に移行する際に、点検窓ガラス２が飛び出
すのを防ぐための樹脂性（透明）の保護カバー５が一定
の隙間を保って配置され、保護カバー５の上には保護カ
バー５を固定するための安全板６が設けられている。な
お、収容ケース３は図示しないボルトによって真空室１
の壁面に固定され、安全板６は図示しないボルトによっ
て収容ケース３に固定されている。
【０００４】従来の真空室用点検窓ＷＤの動作について
説明する。真空室１内部に加圧用ガスを導入して真空室
１内部を負圧状態から正圧状態にする際に、真空室１内
部の圧力が大気圧を越えると、点検窓ガラス２には図９
に示す矢印Ａの方向に力が加わることになる。従って、
点検窓ガラス２は矢印Ｂの方向に持上げられ、加圧用ガ
スは点検窓ガラス２と真空室１の壁面との間に生じた隙
間からリリーフポート４に抜けるため、真空室１内部の
圧力が必要以上に高まることが防止される。
説明する。真空室１内部に加圧用ガスを導入して真空室
１内部を負圧状態から正圧状態にする際に、真空室１内
部の圧力が大気圧を越えると、点検窓ガラス２には図９
に示す矢印Ａの方向に力が加わることになる。従って、
点検窓ガラス２は矢印Ｂの方向に持上げられ、加圧用ガ
スは点検窓ガラス２と真空室１の壁面との間に生じた隙
間からリリーフポート４に抜けるため、真空室１内部の
圧力が必要以上に高まることが防止される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したようにリ
リーフ機能を有した従来の真空室用点検窓ＷＤは、点検
窓ガラス２が自重のみによってＯリングＯＲ１を押し付
ける構成となっており、真空室１が正圧状態から負圧状
態に移行する際、すなわち真空引きの際には点検窓ガラ
ス２が自重でＯリングＯＲ１を押し付けるように真空室
用点検窓ＷＤを水平に配置する必要があった。また、矢
印Ａの方向に加わる力が自重によってＯリングＯＲ１を
押し付ける力よりも大きくなった場合に点検窓ガラス２
が持ち上がり真空室１内部の圧力をリリーフしていた。
リーフ機能を有した従来の真空室用点検窓ＷＤは、点検
窓ガラス２が自重のみによってＯリングＯＲ１を押し付
ける構成となっており、真空室１が正圧状態から負圧状
態に移行する際、すなわち真空引きの際には点検窓ガラ
ス２が自重でＯリングＯＲ１を押し付けるように真空室
用点検窓ＷＤを水平に配置する必要があった。また、矢
印Ａの方向に加わる力が自重によってＯリングＯＲ１を
押し付ける力よりも大きくなった場合に点検窓ガラス２
が持ち上がり真空室１内部の圧力をリリーフしていた。
【０００６】従って、従来の真空室用点検窓ＷＤは真空
室１の水平壁面にしか適用できず、またリリーフ圧が点
検窓ガラス２の自重で規定され、リリーフ圧を調節でき
ないという問題点があった。
室１の水平壁面にしか適用できず、またリリーフ圧が点
検窓ガラス２の自重で規定され、リリーフ圧を調節でき
ないという問題点があった。
【０００７】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、真空室の水平壁面に限らず垂直壁
面にも取付け可能で、任意のリリーフ圧を設定すること
が可能な真空室用点検窓を提供する。
めになされたもので、真空室の水平壁面に限らず垂直壁
面にも取付け可能で、任意のリリーフ圧を設定すること
が可能な真空室用点検窓を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１記
載の真空室用点検窓は、真空室の壁面に設けられた開口
部を外側からシール部を介して覆うように配置された窓
材と、前記窓材の外面との間に所定の隙間を形成するよ
うに前記窓材を覆って配置された窓材収容体とを備え、
前記窓材収容体は、前記窓材が前記真空室内の圧力を受
けて浮き上がった場合に、前記真空室内の気体を外部に
逃がすリリーフポートを有する真空室用点検窓におい
て、前記窓材収容体と前記窓材との間に、前記窓材を所
定の圧力で前記真空室の方向に押付ける窓材押付け手段
を備えている。
載の真空室用点検窓は、真空室の壁面に設けられた開口
部を外側からシール部を介して覆うように配置された窓
材と、前記窓材の外面との間に所定の隙間を形成するよ
うに前記窓材を覆って配置された窓材収容体とを備え、
前記窓材収容体は、前記窓材が前記真空室内の圧力を受
けて浮き上がった場合に、前記真空室内の気体を外部に
逃がすリリーフポートを有する真空室用点検窓におい
て、前記窓材収容体と前記窓材との間に、前記窓材を所
定の圧力で前記真空室の方向に押付ける窓材押付け手段
を備えている。
【０００９】本発明に係る請求項２記載の真空室用点検
窓は、前記窓材押付け手段が板バネを備え、前記板バネ
の少なくとも一端が前記窓材収容体に固定され、前記板
バネの平面部が前記窓材の外面に接触するように配置さ
れ、前記板バネの弾性で前記窓材を前記真空室の方向に
押付ける。
窓は、前記窓材押付け手段が板バネを備え、前記板バネ
の少なくとも一端が前記窓材収容体に固定され、前記板
バネの平面部が前記窓材の外面に接触するように配置さ
れ、前記板バネの弾性で前記窓材を前記真空室の方向に
押付ける。
【００１０】本発明に係る請求項３記載の真空室用点検
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体の内面に
形成された少なくとも１以上の凹部と、前記凹部内に一
方端が位置し、他方端が前記窓材の外面に接触するよう
に前記凹部内に挿入されたコイルバネと、前記窓材収容
体の外面から前記凹部まで貫通して形成された貫通ねじ
孔と、ねじ端部が前記コイルバネの一方端に接触するよ
うに前記貫通ねじ孔にねじ込まれたボルトとを備え、前
記コイルバネの弾性で前記窓材を前記真空室の方向に押
付ける。
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体の内面に
形成された少なくとも１以上の凹部と、前記凹部内に一
方端が位置し、他方端が前記窓材の外面に接触するよう
に前記凹部内に挿入されたコイルバネと、前記窓材収容
体の外面から前記凹部まで貫通して形成された貫通ねじ
孔と、ねじ端部が前記コイルバネの一方端に接触するよ
うに前記貫通ねじ孔にねじ込まれたボルトとを備え、前
記コイルバネの弾性で前記窓材を前記真空室の方向に押
付ける。
【００１１】本発明に係る請求項４記載の真空室用点検
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体に設けら
れ該窓材収容体の外部から内部へ加圧気体を導入する気
体導入手段と、前記窓材収容体の内面と前記窓材の外面
との間に挟まれ、前記気体導入手段を囲むように配置さ
れた弾力性を有するパッキン材とを備え、前記パッキン
材と前記窓材収容体の内面と前記窓材の外面とによって
規定される領域内に前記気体導入手段から導入される前
記加圧気体の圧力で前記窓材を前記真空室の方向に押付
ける。
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体に設けら
れ該窓材収容体の外部から内部へ加圧気体を導入する気
体導入手段と、前記窓材収容体の内面と前記窓材の外面
との間に挟まれ、前記気体導入手段を囲むように配置さ
れた弾力性を有するパッキン材とを備え、前記パッキン
材と前記窓材収容体の内面と前記窓材の外面とによって
規定される領域内に前記気体導入手段から導入される前
記加圧気体の圧力で前記窓材を前記真空室の方向に押付
ける。
【００１２】本発明に係る請求項５記載の真空室用点検
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体の外面か
ら内面にかけて形成された少なくとも１以上の貫通ねじ
孔と、先端のボールが前記窓材の外面に接触するように
前記貫通ねじ孔にねじ込まれたボールプランジャとを備
え、前記ボールプランジャの圧力で前記窓材を前記真空
室の方向に押付ける。
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体の外面か
ら内面にかけて形成された少なくとも１以上の貫通ねじ
孔と、先端のボールが前記窓材の外面に接触するように
前記貫通ねじ孔にねじ込まれたボールプランジャとを備
え、前記ボールプランジャの圧力で前記窓材を前記真空
室の方向に押付ける。
【００１３】本発明に係る請求項６記載の真空室用点検
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体の外面か
ら内面にかけて形成された少なくとも１以上の貫通ねじ
孔と、可動軸の先端が前記窓材の外面に接触するように
前記貫通ねじ孔にねじ込まれたショックアブソーバーと
を備え、前記ショックアブソーバーの圧力で前記窓材を
前記真空室の方向に押付ける。
窓は、前記窓材押付け手段が、前記窓材収容体の外面か
ら内面にかけて形成された少なくとも１以上の貫通ねじ
孔と、可動軸の先端が前記窓材の外面に接触するように
前記貫通ねじ孔にねじ込まれたショックアブソーバーと
を備え、前記ショックアブソーバーの圧力で前記窓材を
前記真空室の方向に押付ける。
【００１４】
実施の形態１、 図１を用いて本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態
１を説明する。
１を説明する。
【００１５】図１は真空室用点検窓ＷＤ１の構成を示す
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
【００１６】図１において、点検窓ガラス２と保護カバ
ー５との間には、一方端が収容ケース３に取付けられ、
他方端が点検窓ガラス２の上面中央部に接触した板バネ
７が介在している。
ー５との間には、一方端が収容ケース３に取付けられ、
他方端が点検窓ガラス２の上面中央部に接触した板バネ
７が介在している。
【００１７】次に真空室用点検窓ＷＤ１の動作について
説明する。真空室１内部に加圧用ガスを導入して真空室
１内部を負圧状態から正圧状態にする際には、従来と同
様に矢印Ａ方向に圧力が加わる。Ａ方向に加わる力をＦ
1とし、板バネ７の押え圧力をＦ2とし、点検窓ガラス２
の自重をＧとすると、Ｆ1が大気圧以上になり、Ｇ＋Ｆ2
＜Ｆ1の関係（式１と呼称）になると、点検窓ガラス２
は、矢印Ｂ方向に持ち上げられ、加圧用ガスは点検窓ガ
ラス２と真空室１の壁面との間に生じた隙間からリリー
フポート４に抜けるリリーフ機能により、真空室１内部
の圧力が必要以上に高まることが防止される。
説明する。真空室１内部に加圧用ガスを導入して真空室
１内部を負圧状態から正圧状態にする際には、従来と同
様に矢印Ａ方向に圧力が加わる。Ａ方向に加わる力をＦ
1とし、板バネ７の押え圧力をＦ2とし、点検窓ガラス２
の自重をＧとすると、Ｆ1が大気圧以上になり、Ｇ＋Ｆ2
＜Ｆ1の関係（式１と呼称）になると、点検窓ガラス２
は、矢印Ｂ方向に持ち上げられ、加圧用ガスは点検窓ガ
ラス２と真空室１の壁面との間に生じた隙間からリリー
フポート４に抜けるリリーフ機能により、真空室１内部
の圧力が必要以上に高まることが防止される。
【００１８】ここで、Ｆ1がいわゆるリリーフ圧とな
り、任意のリリーフ圧Ｆ1を設定する場合、式１の関係
にてＦ2を算出し、Ｆ2の力で点検窓ガラス２を付勢でき
るようにバネ定数を選定して板バネ７を構成する。
り、任意のリリーフ圧Ｆ1を設定する場合、式１の関係
にてＦ2を算出し、Ｆ2の力で点検窓ガラス２を付勢でき
るようにバネ定数を選定して板バネ７を構成する。
【００１９】このような構成にすることにより、点検窓
ガラス２には常時板バネ７による押え圧力が加わるの
で、真空室用点検窓ＷＤ１を真空室１の垂直壁面に取り
付けた場合にも点検窓ガラス２が板バネ７による押え圧
力でＯリングＯＲ１に押し付けられ、点検窓ガラス２が
ＯリングＯＲ１からずれることが防止される。従って、
点検窓ガラス２がＯリングＯＲ１からずれることで、真
空室１の真空引きが達成できないという不都合は発生し
なくなる。また、板バネ７のバネ定数を変更することで
リリーフ圧を変更することが可能となる。
ガラス２には常時板バネ７による押え圧力が加わるの
で、真空室用点検窓ＷＤ１を真空室１の垂直壁面に取り
付けた場合にも点検窓ガラス２が板バネ７による押え圧
力でＯリングＯＲ１に押し付けられ、点検窓ガラス２が
ＯリングＯＲ１からずれることが防止される。従って、
点検窓ガラス２がＯリングＯＲ１からずれることで、真
空室１の真空引きが達成できないという不都合は発生し
なくなる。また、板バネ７のバネ定数を変更することで
リリーフ圧を変更することが可能となる。
【００２０】なお、板バネの形状としては図１に示した
形状以外に、図２に示すような形状で合っても良い。す
なわち、図２において、板バネ７Ａの両端部は収容ケー
ス３に取付けられ、平面部中央が点検窓ガラス２の上面
中央部に接触するように撓みを有して配置されている。
形状以外に、図２に示すような形状で合っても良い。す
なわち、図２において、板バネ７Ａの両端部は収容ケー
ス３に取付けられ、平面部中央が点検窓ガラス２の上面
中央部に接触するように撓みを有して配置されている。
【００２１】また、板バネの形状としてはこれ以外でも
良く、要するに点検窓ガラス２をバランス良く真空室方
向に押し付けることができる形状であれば良い。
良く、要するに点検窓ガラス２をバランス良く真空室方
向に押し付けることができる形状であれば良い。
【００２２】また、板バネ７の変わりに、ゴムパッキ
ン、スパイラルリング等の弾性材料を用いても同様の効
果が得られる。
ン、スパイラルリング等の弾性材料を用いても同様の効
果が得られる。
【００２３】実施の形態２、 図３を用いて本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態
２を説明する。
２を説明する。
【００２４】図３は真空室用点検窓ＷＤ２の構成を示す
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
【００２５】図３において、保護カバー５Ａの中央部に
は凹部Ｄ１が設けられ、凹部Ｄ１内には圧縮コイルバネ
８が挿入されている。圧縮コイルバネ８の一方端側は点
検窓ガラス２の上面に接触し、他方端側は凹部Ｄ１内を
自在に移動できる押え板９に取付けられている。ここ
で、凹部Ｄ１は有底の孔であっても良いし、貫通孔であ
っても良い。
は凹部Ｄ１が設けられ、凹部Ｄ１内には圧縮コイルバネ
８が挿入されている。圧縮コイルバネ８の一方端側は点
検窓ガラス２の上面に接触し、他方端側は凹部Ｄ１内を
自在に移動できる押え板９に取付けられている。ここ
で、凹部Ｄ１は有底の孔であっても良いし、貫通孔であ
っても良い。
【００２６】そして、安全板６Ａの中央部には凹部Ｄ１
に対応する位置に貫通ネジ孔ＳＨ１が設けられ、当該ネ
ジ孔ＳＨ１には調節ボルト１０がねじ込まれ、先端は押
え板９に達している。
に対応する位置に貫通ネジ孔ＳＨ１が設けられ、当該ネ
ジ孔ＳＨ１には調節ボルト１０がねじ込まれ、先端は押
え板９に達している。
【００２７】図４に安全板６Ａを調節ボルト１０側から
見た場合の平面図を示す。図４において、安全板６Ａは
金属板で形成され格子状に開口孔ＯＨが設けられた構成
となっている。貫通ネジ孔ＳＨ１は安全板６Ａの中央に
位置する格子部ＬＴに形成されている。ここで、開口孔
ＯＨは真空室１内部を点検するためのものである。な
お、安全板６Ａを収容ケース３に固定するボルト等は図
示を省略している。
見た場合の平面図を示す。図４において、安全板６Ａは
金属板で形成され格子状に開口孔ＯＨが設けられた構成
となっている。貫通ネジ孔ＳＨ１は安全板６Ａの中央に
位置する格子部ＬＴに形成されている。ここで、開口孔
ＯＨは真空室１内部を点検するためのものである。な
お、安全板６Ａを収容ケース３に固定するボルト等は図
示を省略している。
【００２８】このような構成にすることにより、点検窓
ガラス２には常時圧縮コイルバネ８による押え圧力が加
わるので、真空室用点検窓ＷＤ２を真空室１の垂直壁面
に取り付けることが可能となる。また、調節ボルト１０
の安全板５Ａへのねじ込み量を調整することで点検窓ガ
ラス２の押え圧力を変更できるので、圧縮コイルバネ８
を交換することなく、リリーフ圧を調節することが可能
となる。
ガラス２には常時圧縮コイルバネ８による押え圧力が加
わるので、真空室用点検窓ＷＤ２を真空室１の垂直壁面
に取り付けることが可能となる。また、調節ボルト１０
の安全板５Ａへのねじ込み量を調整することで点検窓ガ
ラス２の押え圧力を変更できるので、圧縮コイルバネ８
を交換することなく、リリーフ圧を調節することが可能
となる。
【００２９】なお、凹部Ｄ１を設ける位置は保護カバー
５Ａの中央部だけに限られず、点検窓ガラス２周辺に沿
って均等に複数個設け、それぞれに圧縮コイルバネ８、
押え板９を挿入し、それぞれが調節ボルト１０により点
検窓ガラス２の押え圧力を変更できる構成としても良
い。
５Ａの中央部だけに限られず、点検窓ガラス２周辺に沿
って均等に複数個設け、それぞれに圧縮コイルバネ８、
押え板９を挿入し、それぞれが調節ボルト１０により点
検窓ガラス２の押え圧力を変更できる構成としても良
い。
【００３０】また、凹部Ｄ１に圧縮コイルバネ８だけを
挿入する構成とし、点検窓ガラス２の押え圧力は一定と
しても良い。
挿入する構成とし、点検窓ガラス２の押え圧力は一定と
しても良い。
【００３１】また、保護カバー５Ａを透明な樹脂製とし
安全板６Ａを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔ＳＨ１を形成できるのであれば保
護カバーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良
い。その場合凹部Ｄ１は有底の孔となる。
安全板６Ａを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔ＳＨ１を形成できるのであれば保
護カバーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良
い。その場合凹部Ｄ１は有底の孔となる。
【００３２】実施の形態３、 図５を用いて本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態
３を説明する。
３を説明する。
【００３３】図５は真空室用点検窓ＷＤ３の構成を示す
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
【００３４】図５において、保護カバー５Ｂの中央部に
は貫通孔ＴＨ１が設けられ、安全板６Ｂの中央部には貫
通孔ＴＨ１に対応する位置に、図示しない気体圧縮手段
を介して圧縮された空気、窒素などの気体を導入する気
体導入継手１１が、安全板６Ｂを貫通して貫通孔ＴＨ１
に達するように設けられている。なお、安全板６Ｂの基
本的な構成は図４を用いて説明した安全板６Ａと同様で
ある。
は貫通孔ＴＨ１が設けられ、安全板６Ｂの中央部には貫
通孔ＴＨ１に対応する位置に、図示しない気体圧縮手段
を介して圧縮された空気、窒素などの気体を導入する気
体導入継手１１が、安全板６Ｂを貫通して貫通孔ＴＨ１
に達するように設けられている。なお、安全板６Ｂの基
本的な構成は図４を用いて説明した安全板６Ａと同様で
ある。
【００３５】そして保護カバー５Ｂと安全板６Ｂとの間
には気体導入継手１１から導入された圧縮空気がリリー
フポート４から抜けるのを防いで、保護カバー５Ｂと安
全板６Ｂとの間の圧力を導入された圧縮空気の圧力を保
つためのパッキンリング１２が配置されている。
には気体導入継手１１から導入された圧縮空気がリリー
フポート４から抜けるのを防いで、保護カバー５Ｂと安
全板６Ｂとの間の圧力を導入された圧縮空気の圧力を保
つためのパッキンリング１２が配置されている。
【００３６】ここでパッキンリング１２は、真空室１内
部が負圧状態から正圧状態に移行するに伴って、点検窓
ガラス２が矢印Ｂ方向に持ち上げられる場合に、その動
作を妨げないように自らはつぶれる必要がある。従っ
て、パッキンリング１２は断面形状がＣ型であるもの
や、Ｘ型であるもの、あるいは一般的なＯリング、角型
ガスケットなどが使用される。
部が負圧状態から正圧状態に移行するに伴って、点検窓
ガラス２が矢印Ｂ方向に持ち上げられる場合に、その動
作を妨げないように自らはつぶれる必要がある。従っ
て、パッキンリング１２は断面形状がＣ型であるもの
や、Ｘ型であるもの、あるいは一般的なＯリング、角型
ガスケットなどが使用される。
【００３７】このような構成にすることにより、点検窓
ガラス２には常時圧縮空気の圧力による押え圧力が加わ
るので、真空室用点検窓ＷＤ３を真空室１の垂直壁面に
取り付けることが可能となる。また、気体導入継手１１
から導入する気体（空気）の圧力を調整することで点検
窓ガラス２の押え圧力を変更できるので、圧縮コイルバ
ネ８を交換することなく、リリーフ圧を調節することが
可能となる。
ガラス２には常時圧縮空気の圧力による押え圧力が加わ
るので、真空室用点検窓ＷＤ３を真空室１の垂直壁面に
取り付けることが可能となる。また、気体導入継手１１
から導入する気体（空気）の圧力を調整することで点検
窓ガラス２の押え圧力を変更できるので、圧縮コイルバ
ネ８を交換することなく、リリーフ圧を調節することが
可能となる。
【００３８】また、保護カバー５Ｂを透明な樹脂製とし
安全板６Ｂを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔を形成できるのであれば保護カバ
ーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良い。そ
の場合、保護カバー５Ｂおよび安全板６Ｂに相当する部
分を貫通する貫通ネジ孔を形成し、気体導入継手１１を
ねじ込んでも良い。
安全板６Ｂを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔を形成できるのであれば保護カバ
ーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良い。そ
の場合、保護カバー５Ｂおよび安全板６Ｂに相当する部
分を貫通する貫通ネジ孔を形成し、気体導入継手１１を
ねじ込んでも良い。
【００３９】なお、気体導入継手段１１は、ねじ込みの
ためのネジ部を有し、目的物にねじ込みによって取り付
けるものや、ネジ部を有さず溶接やロウ付けによって取
り付けるものがある。
ためのネジ部を有し、目的物にねじ込みによって取り付
けるものや、ネジ部を有さず溶接やロウ付けによって取
り付けるものがある。
【００４０】実施の形態４、 図６を用いて本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態
４を説明する。
４を説明する。
【００４１】図６は真空室用点検窓ＷＤ４の構成を示す
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
【００４２】図６において、保護カバー５Ｃの中央部に
は貫通孔ＴＨ２が設けられ、安全板６Ｃの中央部には貫
通孔ＴＨ２に対応する位置に貫通ネジ孔ＳＨ２が設けら
れ、当該貫通ネジ孔ＳＨ２にはボールプランジャー１３
がねじ込まれ、先端のボール１３１は点検窓ガラス２に
接触している。なお、安全板６Ｃの基本的な構成は図４
を用いて説明した安全板６Ａと同様である。
は貫通孔ＴＨ２が設けられ、安全板６Ｃの中央部には貫
通孔ＴＨ２に対応する位置に貫通ネジ孔ＳＨ２が設けら
れ、当該貫通ネジ孔ＳＨ２にはボールプランジャー１３
がねじ込まれ、先端のボール１３１は点検窓ガラス２に
接触している。なお、安全板６Ｃの基本的な構成は図４
を用いて説明した安全板６Ａと同様である。
【００４３】図７にボールプランジャー１３の概略断面
図を示す。図６に示すように、ボールプランジャー１３
は、ボール１３１とボール１３１を付勢するコイルバネ
１３２と、ボール１３１およびコイルバネ１３２を収容
する本体ケース１３３とで構成されている。
図を示す。図６に示すように、ボールプランジャー１３
は、ボール１３１とボール１３１を付勢するコイルバネ
１３２と、ボール１３１およびコイルバネ１３２を収容
する本体ケース１３３とで構成されている。
【００４４】このような構成にすることにより、点検窓
ガラス２にはボールプランジャー１３のコイルバネ１３
２よって付勢されたボール１３１により常時押え圧力が
加わるので、真空室用点検窓ＷＤ４を真空室１の垂直壁
面に取り付けることが可能となる。また、ボールプラン
ジャー１３の安全板５Ｃへのねじ込み量を調整すること
で点検窓ガラス２の押え圧力を変更できるので、リリー
フ圧を調節することが可能となる。ボールプランジャー
１３は既製品として市販されており、これを使用するこ
とで真空室用点検窓の製造コストを削減することができ
る。
ガラス２にはボールプランジャー１３のコイルバネ１３
２よって付勢されたボール１３１により常時押え圧力が
加わるので、真空室用点検窓ＷＤ４を真空室１の垂直壁
面に取り付けることが可能となる。また、ボールプラン
ジャー１３の安全板５Ｃへのねじ込み量を調整すること
で点検窓ガラス２の押え圧力を変更できるので、リリー
フ圧を調節することが可能となる。ボールプランジャー
１３は既製品として市販されており、これを使用するこ
とで真空室用点検窓の製造コストを削減することができ
る。
【００４５】なお、ボールプランジャー１３を設ける位
置は保護カバー５Ｃの中央部だけに限られず、点検窓ガ
ラス２周辺に沿って均等に複数個設けても良い。
置は保護カバー５Ｃの中央部だけに限られず、点検窓ガ
ラス２周辺に沿って均等に複数個設けても良い。
【００４６】また、保護カバー５Ｃを透明な樹脂製とし
安全板６Ｃを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔を形成できるのであれば保護カバ
ーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良い。そ
の場合、保護カバー５Ｃおよび安全板６Ｃに相当する部
分を貫通する貫通ネジ孔を形成し、ボールプランジャー
１３をねじ込んでも良い。
安全板６Ｃを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔を形成できるのであれば保護カバ
ーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良い。そ
の場合、保護カバー５Ｃおよび安全板６Ｃに相当する部
分を貫通する貫通ネジ孔を形成し、ボールプランジャー
１３をねじ込んでも良い。
【００４７】実施の形態５、 図８を用いて本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態
５を説明する。
５を説明する。
【００４８】図８は真空室用点検窓ＷＤ５の構成を示す
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
断面図であり、図９を用いて説明した従来の真空室用点
検窓ＷＤと同一の構成については同一の符号を付し、重
複する説明は省略する。
【００４９】図８において、保護カバー５Ｄの中央部に
は貫通孔ＴＨ３が設けられ、安全板６Ｄの中央部には貫
通孔ＴＨ３に対応する位置に貫通ネジ孔ＳＨ３が設けら
れ、当該貫通ネジ孔ＳＨ３にはショックアブソーバー１
４がねじ込まれ、その先端は点検窓ガラス２に接触して
いる。なお、安全板６Ｄの基本的な構成は図４を用いて
説明した安全板６Ａと同様である。
は貫通孔ＴＨ３が設けられ、安全板６Ｄの中央部には貫
通孔ＴＨ３に対応する位置に貫通ネジ孔ＳＨ３が設けら
れ、当該貫通ネジ孔ＳＨ３にはショックアブソーバー１
４がねじ込まれ、その先端は点検窓ガラス２に接触して
いる。なお、安全板６Ｄの基本的な構成は図４を用いて
説明した安全板６Ａと同様である。
【００５０】ショックアブソーバー１４は伸縮自在の可
動ロッド１４１と、可動ロッド１４１に加わる圧力を吸
収する緩衝材を収容ケース内に備えた構成を有し、可動
ロッド１４１に圧力が加わると可動ロッドが縮むことに
なる。緩衝材としてはオイルやバネを使用し、圧力の吸
収能力を調整機構を備えたものもある。
動ロッド１４１と、可動ロッド１４１に加わる圧力を吸
収する緩衝材を収容ケース内に備えた構成を有し、可動
ロッド１４１に圧力が加わると可動ロッドが縮むことに
なる。緩衝材としてはオイルやバネを使用し、圧力の吸
収能力を調整機構を備えたものもある。
【００５１】このような構成にすることにより、点検窓
ガラス２にはショックアブソーバー１４により常時押え
圧力が加わるので、真空室用点検窓ＷＤ５を真空室１の
垂直壁面に取り付けることが可能となる。また、圧力の
吸収能力を調整することで点検窓ガラス２の押え圧力を
変更できるので、リリーフ圧を調節することが可能とな
る。ショックアブソーバー１４は既製品として市販され
ており、これを使用することで真空室用点検窓の製造コ
ストを削減することができる。
ガラス２にはショックアブソーバー１４により常時押え
圧力が加わるので、真空室用点検窓ＷＤ５を真空室１の
垂直壁面に取り付けることが可能となる。また、圧力の
吸収能力を調整することで点検窓ガラス２の押え圧力を
変更できるので、リリーフ圧を調節することが可能とな
る。ショックアブソーバー１４は既製品として市販され
ており、これを使用することで真空室用点検窓の製造コ
ストを削減することができる。
【００５２】なお、ショックアブソーバー１４を設ける
位置は保護カバー５Ｄの中央部だけに限られず、点検窓
ガラス２周辺に沿って均等に複数個設けても良い。
位置は保護カバー５Ｄの中央部だけに限られず、点検窓
ガラス２周辺に沿って均等に複数個設けても良い。
【００５３】また、保護カバー５Ｄを透明な樹脂製とし
安全板６Ｄを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔を形成できるのであれば保護カバ
ーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良い。そ
の場合、保護カバー５Ｄおよび安全板６Ｄに相当する部
分を貫通する貫通ネジ孔を形成し、ショックアブソーバ
ー１４をねじ込んでも良い。
安全板６Ｄを格子状に開口孔を有した金属製とした例を
示したが、貫通ネジ孔を形成できるのであれば保護カバ
ーと安全板を一体とし透明な樹脂で形成しても良い。そ
の場合、保護カバー５Ｄおよび安全板６Ｄに相当する部
分を貫通する貫通ネジ孔を形成し、ショックアブソーバ
ー１４をねじ込んでも良い。
【００５４】変形例、 以上説明した本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態
１〜５では、真空室１内部を点検するために点検窓ガラ
ス２を設けた例を示したが、真空室１内部を点検する必
要がない場合、例えばリリーフ機能だけを活用したい場
合には、点検窓ガラス２の代わり金属板を用いても良
い。その場合、保護カバーと安全板を金属で一体に形成
しても良い。
１〜５では、真空室１内部を点検するために点検窓ガラ
ス２を設けた例を示したが、真空室１内部を点検する必
要がない場合、例えばリリーフ機能だけを活用したい場
合には、点検窓ガラス２の代わり金属板を用いても良
い。その場合、保護カバーと安全板を金属で一体に形成
しても良い。
【００５５】また、以上説明した本発明に係る真空室用
点検窓の実施の形態１〜５では、真空室１の開口部Ｈ１
の周囲にＯリング溝ＯＧ１が設けられ、Ｏリング溝ＯＧ
１内に真空シールのためのＯリングＯＲ１がはめ込まれ
た構成を示したが、点検窓ガラス２に開口部Ｈ１の周囲
に対応させたＯリング溝を設けた構成としても良い。
点検窓の実施の形態１〜５では、真空室１の開口部Ｈ１
の周囲にＯリング溝ＯＧ１が設けられ、Ｏリング溝ＯＧ
１内に真空シールのためのＯリングＯＲ１がはめ込まれ
た構成を示したが、点検窓ガラス２に開口部Ｈ１の周囲
に対応させたＯリング溝を設けた構成としても良い。
【図１】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態１
を説明する図である。
を説明する図である。
【図２】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態１
を説明する図である。
を説明する図である。
【図３】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態２
を説明する図である。
を説明する図である。
【図４】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態２
を説明する図である。
を説明する図である。
【図５】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態３
を説明する図である。
を説明する図である。
【図６】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態４
を説明する図である。
を説明する図である。
【図７】 ボールプランジャの構成を示す断面図であ
る。
る。
【図８】 本発明に係る真空室用点検窓の実施の形態５
を説明する図である。
を説明する図である。
【図９】 従来の真空室用点検窓を説明する図である。
７，７Ａ 板バネ、８ 圧縮コイルバネ、９ 押え板、
１０ 調節ボルト、１１ 気体導入継手、１２ パッキ
ンリング、１３ ボールプランジャ、１４ ショックア
ブソーバー、１４１ 可動ロッド、Ｄ１ 凹部、ＳＨ
１，ＳＨ２ 貫通ネジ孔、ＴＨ１，ＴＨ２ 貫通孔。
１０ 調節ボルト、１１ 気体導入継手、１２ パッキ
ンリング、１３ ボールプランジャ、１４ ショックア
ブソーバー、１４１ 可動ロッド、Ｄ１ 凹部、ＳＨ
１，ＳＨ２ 貫通ネジ孔、ＴＨ１，ＴＨ２ 貫通孔。
Claims (6)
- 【請求項１】 真空室の壁面に設けられた開口部を外側
からシール部を介して覆うように配置された窓材と、前
記窓材の外面との間に所定の隙間を形成するように前記
窓材を覆って配置された窓材収容体とを備え、前記窓材
収容体は、前記窓材が前記真空室内の圧力を受けて浮き
上がった場合に、前記真空室内の気体を外部に逃がすリ
リーフポートを有する真空室用点検窓において、 前記窓材収容体と前記窓材との間に、前記窓材を所定の
圧力で前記真空室の方向に押付ける窓材押付け手段を備
える真空室用点検窓。 - 【請求項２】 前記窓材押付け手段は板バネを備え、前
記板バネの少なくとも一端が前記窓材収容体に固定さ
れ、前記板バネの平面部が前記窓材の外面に接触するよ
うに配置され、前記板バネの弾性で前記窓材を前記真空
室の方向に押付けることを特徴とする請求項１記載の真
空室用点検窓。 - 【請求項３】 前記窓材押付け手段は、前記窓材収容体
の内面に形成された少なくとも１以上の凹部と、 前記凹部内に一方端が位置し、他方端が前記窓材の外面
に接触するように前記凹部内に挿入されたコイルバネ
と、 前記窓材収容体の外面から前記凹部まで貫通して形成さ
れた貫通ねじ孔と、 ねじ端部が前記コイルバネの一方端に接触するように前
記貫通ねじ孔にねじ込まれたボルトとを備え、 前記コイルバネの弾性で前記窓材を前記真空室の方向に
押付けることを特徴とする請求項１記載の真空室用点検
窓。 - 【請求項４】 前記窓材押付け手段は、前記窓材収容体
に設けられ該窓材収容体の外部から内部へ加圧気体を導
入する気体導入手段と、 前記窓材収容体の内面と前記窓材の外面との間に挟ま
れ、前記気体導入手段を囲むように配置された弾力性を
有するパッキン材とを備え、 前記パッキン材と前記窓材収容体の内面と前記窓材の外
面とによって規定される領域内に前記気体導入手段から
導入される前記加圧気体の圧力で前記窓材を前記真空室
の方向に押付けることを特徴とする請求項１記載の真空
室用点検窓。 - 【請求項５】 前記窓材押付け手段は、前記窓材収容体
の外面から内面にかけて形成された少なくとも１以上の
貫通ねじ孔と、 先端のボールが前記窓材の外面に接触するように前記貫
通ねじ孔にねじ込まれたボールプランジャとを備え、 前記ボールプランジャの圧力で前記窓材を前記真空室の
方向に押付けることを特徴とする請求項１記載の真空室
用点検窓。 - 【請求項６】 前記窓材押付け手段は、前記窓材収容体
の外面から内面にかけて形成された少なくとも１以上の
貫通ねじ孔と、 可動軸の先端が前記窓材の外面に接触するように前記貫
通ねじ孔にねじ込まれたショックアブソーバーとを備
え、 前記ショックアブソーバーの圧力で前記窓材を前記真空
室の方向に押付けることを特徴とする請求項１記載の真
空室用点検窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19171195A JPH0938481A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 真空室用点検窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19171195A JPH0938481A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 真空室用点検窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938481A true JPH0938481A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16279214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19171195A Pending JPH0938481A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 真空室用点検窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0938481A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060653A1 (fr) * | 1999-03-30 | 2000-10-12 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement au plasma, procede de maintenance et procede d'installation dudit dispositif |
| WO2001088971A1 (fr) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement et procede d'entretien du dispositif, mecanisme et procede de montage d'une piece du dispositif de traitement, et mecanisme de verrouillage et procede de blocage du mecanisme de verrouillage |
| JP2008251960A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP19171195A patent/JPH0938481A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060653A1 (fr) * | 1999-03-30 | 2000-10-12 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement au plasma, procede de maintenance et procede d'installation dudit dispositif |
| US6700089B1 (en) | 1999-03-30 | 2004-03-02 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing device, its maintenance method, and its installation method |
| WO2001088971A1 (fr) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement et procede d'entretien du dispositif, mecanisme et procede de montage d'une piece du dispositif de traitement, et mecanisme de verrouillage et procede de blocage du mecanisme de verrouillage |
| US6899786B2 (en) * | 2000-05-17 | 2005-05-31 | Tokyo Electron Limited | Processing device and method of maintaining the device, mechanism and method for assembling processing device part, and lock mechanism and method for locking the lock mechanism |
| US7481903B2 (en) | 2000-05-17 | 2009-01-27 | Tokyo Electron Limited | Processing device and method of maintaining the device, mechanism and method for assembling processing device parts, and lock mechanism and method for locking the lock mechanism |
| JP4896337B2 (ja) * | 2000-05-17 | 2012-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置およびそのメンテナンス方法，処理装置部品の組立機構およびその組立方法，ロック機構およびそのロック方法 |
| JP2008251960A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JP4643605B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2011-03-02 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器 |
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