JPH0933902A - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

プラズマアドレス表示装置の製造方法

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JPH0933902A
JPH0933902A JP8063326A JP6332696A JPH0933902A JP H0933902 A JPH0933902 A JP H0933902A JP 8063326 A JP8063326 A JP 8063326A JP 6332696 A JP6332696 A JP 6332696A JP H0933902 A JPH0933902 A JP H0933902A
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JP
Japan
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glass substrate
display device
manufacturing
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plasma
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JP8063326A
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Atsushi Seki
敦司 関
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Sony Corp
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Sony Corp
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    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 バリアリブ等を印刷後の焼成においてガラス
基板に反りが生じることを抑制できるプラズマアドレス
表示装置の製造方法を提供する。 【構成】 表面に印刷物38aが印刷されたガラス基板
31aを炉体10a内において焼成し、この焼成によっ
て反りが生じたガラス基板31bを、その4隅を支持具
1a〜1dによって支持した状態で、炉体10bにおい
て再度焼成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマアドレス表示
装置の製造方法に関し、特に、電極やバリアリブなどを
印刷したガラス基板の焼成方法に特徴を有するプラズマ
アドレス表示装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電気光学セルとして液晶セルを用
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。
【0003】しかしながら、この場合、薄膜トランジス
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。
【0004】このプラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板の上に複数のバリアリブおよびプラズマ電極が相互
に平行なストライプ状のパターンで形成してあり、プラ
ズマ電極に印加される電圧に応じて、バリアリブ相互間
に設けられたプラズマ室内に放電を発生させて誘電体シ
ートを略アノード電位とし、誘電体シートとデータ電極
との間の電位差によって液晶層を駆動する。ガラス基板
の周辺部には、ガラス基板と誘電体シートとの気密性を
確保するフリットシールが、低融点ガラスなどを用いて
形成してある。
【0005】以下、プラズマアドレス表示装置の製造方
法について説明する。図5は、プラズマアドレス表示装
置の製造過程を説明するための図である。先ず、図5
(A)に示すように、スクリーン印刷によって、ガラス
基板31の表面にストライプ状のプラズマ電極32を形
成した後、図5(B)に示すようにストライプ状のバリ
アリブ33をプラズマ電極32に積層させて形成する。
そして、プラズマ電極32およびバリアリブ33が形成
されたガラス基板31を搬送ベルトに載せて炉体内に搬
送し、炉体内において焼成する。
【0006】次に、図5(C)に示すように、ガラス基
板31の周辺部に、低融点ガラスなどを用いてリング状
のフリットシール35を形成した後、ガラス製の誘電体
シート4をフリットシール35およびバリアリブ32に
堆積させる。その後、プラズマ室34を真空引きして誘
電体シート4をフリットシール35およびバリアリブ3
2の表面に密着させると共に、プラズマ室34内にガス
を注入する。
【0007】次に、ガラス基板31を真空吸着して固定
した状態で液晶の配向処理(ラビング処理)を行った
後、図5(D)に示すように、液晶層を均一の厚さにす
るためのスペーサ24を散布する共に液晶シール材22
を形成する。
【0008】次に、図5(E)に示すように、液晶シー
ル材22を介してカラーフィルタ21を誘電体シート4
に接合し、これによって形成された液晶室に液晶を注入
する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述したプラズマアド
レス表示装置の製造過程において、スクリーン印刷を行
った後にガラス基板を焼成したときに、バリアリブなど
の印刷物のペーストに含まれるガラスおよび金属などの
固形成分が焼結して印刷物が収縮する。また、焼成後の
冷却時において、搬送用ベルトに載置されたガラス基板
に比べて外気に表面が露出した印刷物の方が冷えやす
く、また、印刷物の方がガラス基板に比べて熱膨張係数
が高い。そのため、焼成時および焼成後の冷却時に、図
6に示すように、ガラス基板31bに反りが生じて、ガ
ラス基板31bのの4隅がめくれ上がることがある。
【0010】このように、ガラス基板31bおよび印刷
物38bに反りが生じると、焼成後に行われる液晶配向
処理において図5(C)に示すガラス基板31を真空吸
着して固定する際に、引張応力によって誘電体シート4
が割れることがあるという問題がある。また、ガラス基
板31の反りを矯正した状態で、ガラス基板31とカラ
ーフィルタ21とを張り合わせた後に、ガラス基板31
が反った状態に戻ろうとする応力によって、液晶シール
22が剥がれてしまうことがあるという問題がある。
【0011】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされ、プラズマアドレス表示装置の製造過程にお
いて、ガラス基板に反りが生じることを適切に抑制でき
るプラズマアドレス表示装置の製造方法を提供すること
を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上述した従来技術の問題
点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の
プラズマアドレス表示装置の製造方法は、ガラス基板の
表面に所定の印刷を行う印刷工程と、前記印刷が行われ
たガラス基板を焼成する第1の焼成工程と、前記第1の
焼成工程によって4隅が前記表面側に向かって反れた前
記ガラス基板の表面を所定の面に向けながら前記4隅を
前記面に載置した状態で、前記ガラス基板を焼成する第
2の焼成工程とを有する。
【0013】また、本発明のプラズマアドレス表示装置
の製造方法は、好ましくは、前記第2の焼成工程は、前
記反りが生じた前記ガラス基板の4隅を対応する4個の
支持部材の表面にそれぞれ載置して支持した状態で、前
記第1のガラス基板を焼成する。
【0014】さらに、本発明のプラズマアドレス表示装
置の製造方法は、好ましくは、前記焼成は、前記ガラス
基板にフリットシールを形成する前に行われる。
【0015】
【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
では、第1の焼成工程において表面に印刷が行われたガ
ラス基板を焼成すると、印刷物に含まれるペーストの焼
結や印刷物とガラス基板との熱膨張係数の相違などによ
って、ガラス基板が表面側に向かって反れる。その後、
第2の焼成工程において、記第1の焼成工程によって4
隅が前記表面側に向かって反れた前記ガラス基板の表面
を所定の面に向けながら前記4隅を前記面に載置した状
態で前記ガラス基板を焼成すると、印刷物が溶解すると
共に、前記ガラス基板には自重によって反りを矯正する
方向に力が働くことから、前記ガラス基板の反りが低減
される。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例に係わるプラズマアド
レス表示装置の製造方法について説明する。本実施例に
係わるプラズマアドレス表示装置の製造方法では、前述
した図5(A),(B)に示すように、スクリーン印刷
によって、ガラス基板31の表面にストライプ状のプラ
ズマ電極32を形成した後、ストライプ状のバリアリブ
33をプラズマ電極32に積層させて形成する。そし
て、プラズマ電極32およびバリアリブ33などの印刷
物が形成されたガラス基板31をフリットシールを形成
する前に以下に示す方法によって焼成する。
【0017】図1は本実施例に係わるプラズマアドレス
表示装置の製造方法において、炉体にガラス基板31を
搬送する際の搬送態様を説明するための外観斜視図であ
る。図1に示すように、本実施例に係わるプラズマアド
レス表示装置の製造方法では、図中矢印の方向に移動す
る搬送ベルト2と搬送ベルト2の所定箇所に設けられた
炉体10a,10bとを用いて、印刷物38aが形成さ
れたガラス基板31aを焼成する。ここで、印刷物38
aは、図5(B)に示すプラズマ電極32およびバリア
リブ33などで構成される。また、ガラス基板31aと
しては、軟化点が比較的高く、熱による塑性変形を起こ
しにくいホウケイ酸ガラスなどが用いられる。炉体10
a,10bは、例えば最高温度570〜600℃の雰囲
気中で焼成を行う。
【0018】本実施例に係わるプラズマアドレス表示装
置の製造方法では、図2に示すようにバリアリブやプラ
ズマ電極などの印刷物38aが形成されたガラス基板3
1aを搬送ベルト2の表面に載置し、搬送ベルト2の移
動に連動させて、ガラス基板31aを図1に示す炉体1
0aの内部に搬送し、炉体10aの内部において焼成す
る。印刷物38aが形成されたガラス基板31aは、炉
体10a内部において焼成されると、印刷物38aに含
まれるガラスや金属などが焼結して、印刷物38aが収
縮する。その後、印刷物38aが形成されたガラス基板
31aが炉体10aの外部に搬出されて冷却される。こ
のとき、搬送用ベルト2に載置されたガラス基板31a
に比べて外気に表面が露出した印刷物38aの方が冷え
やすく、また、印刷物38aの方がホウケイ酸ガラス基
板31aに比べて熱膨張係数が高い。そのため、図1,
図6に示すように、炉体10aから搬出されたときに、
印刷物38bが形成されたガラス基板31bは表面側に
向かって反れた状態になっており、その4隅がめくり上
がる。
【0019】次に、自動あるいは手動によって、図1,
図3に示すように、搬送ベルト2の表面の所定の4箇所
に例えば立方体の支持具1a,1b,1c,1dが載置
され、この支持具1a〜1dの表面に、反りが生じたガ
ラス基板31bの4隅31b1〜31b4がそれぞれ載
置される。このとき、ガラス基板31bは、印刷物38
bが搬送ベルト2の表面と向かい合うように裏返して置
かれる。支持具1a〜1dは、縦×横×高さが、例えば
20mm×20mm×5〜10mmの立方体である。支
持具1a〜1dの材質としては、例えば、石英ガラス、
ニクロム、インコネルあるいはSUS316などが用い
られる。
【0020】次に、図1,図3に示すように支持具1a
〜1dに載置されたガラス基板31bが、搬送ベルト2
の移動に連動して、炉体10bの内部に搬送されて焼成
される。ガラス基板31bは、炉体10bの内部におい
て焼成されると、焼結していた印刷物38bが融解し、
印刷物38bを反らせていた力が弱められる。このと
き、ガラス基板31bは、図3に示す姿勢で焼成されて
いることから、自重によって反りを矯正する方向に力が
加わり、この力によって反りが低減される。
【0021】そのため、炉体10bから搬出されたと
き、印刷物38cが形成されたガラス基板31cは、図
1,図4に示すように、炉体10bにおいて、炉体10
aによる焼成によって生じた反りが低減された状態にな
っている。
【0022】上述したように、本実施例のプラズマアド
レス表示装置の製造方法によれば、焼成後において、図
4に示すように、ガラス基板31cおよび印刷物38c
には殆ど反りが生じていない。
【0023】その結果、焼成後の液晶配向処理において
図5(C)に示すガラス基板31を真空吸着して固定す
る際に、引張応力によって誘電体シート4が割れること
を効果的に回避できる。また、ガラス基板31の反りの
影響で、液晶シール22が剥がれてしまうことを効果的
に回避できる。
【0024】本発明は上述した実施例には限定されな
い。例えば、上述した実施例では、支持具1a〜1dと
して立方体のものを限定したが、支持具1a〜1dの形
状は特に限定されず例えば円柱形などでもよい。また、
支持具1a〜1dのサイズは、反りが生じたガラス基板
31bの4隅31b1〜31b4を載置可能なものであ
れば特に限定されない。
【0025】また、上述した実施例では、ガラス基板3
1としてホウケイ酸ガラスを用いる場合について例示し
たが、ガラス基板31としてソーダライムガラス基板を
用いてもよい、この場合には、炉体10a,10bにお
ける焼成温度を、ソーダライムガラスの軟化点を考慮し
て低目に設定することが望ましい。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラズマ
アドレス表示装置の製造方法によれば、焼成後のガラス
基板および印刷物に反りが生じることを効果的に抑制で
きる。そのため、焼成後の液晶配向処理においてガラス
基板を真空吸着して固定する際に、引張応力によって誘
電体シートが割れることを効果的に回避できる。また、
ガラス基板の反りの影響で、液晶シールが剥がれてしま
うことを効果的に回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係わるプラズマアドレス表示
装置の製造方法におけるガラス基板の焼成過程を説明す
るための外観斜視図である。
【図2】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
における焼成を行う前のガラス基板を搬送ベルトに載置
したときの外観斜視図である。
【図3】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
における第1の焼成が行われて反りが生じたガラス基板
を4個の支持具に載置した状態を説明するための外観斜
視図である。
【図4】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
における第2の焼成が行われたガラス基板を説明するた
めの外観斜視図である。
【図5】プラズマアドレス表示装置の製造工程を説明す
るための図である。
【図6】プラズマアドレス表示装置の製造工程におい
て、焼成された後のガラス基板を説明するための外観斜
視図である。
【符号の説明】
1a〜1c… 支持具 2… ベルト 10a,10b… 炉体 31a〜31c… ガラス基板 32… プラズマ電極 33… バリアリブ 35… フリットシール 38a〜38c… 印刷物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G09F 9/00 338 7426−5H G09F 9/00 338

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】プラズマアドレス表示装置の製造方法にお
    いて、 ガラス基板の表面に所定の印刷を行う印刷工程と、 前記印刷が行われたガラス基板を焼成する第1の焼成工
    程と、 前記第1の焼成工程によって4隅が前記表面側に向かっ
    て反れた前記ガラス基板の表面を所定の面に向けながら
    前記4隅を前記面に載置した状態で、前記ガラス基板を
    焼成する第2の焼成工程とを有するプラズマアドレス表
    示装置の製造方法。
  2. 【請求項2】前記第2の焼成工程は、前記反りが生じた
    前記ガラス基板の4隅を対応する4個の支持部材の表面
    にそれぞれ載置して支持した状態で、前記第1のガラス
    基板を焼成する請求項1に記載のプラズマアドレス表示
    装置の製造方法。
  3. 【請求項3】前記焼成は、前記ガラス基板にフリットシ
    ールを形成する前に行われる請求項1または2に記載の
    プラズマアドレス表示装置の製造方法。
JP8063326A 1995-05-12 1996-03-19 プラズマアドレス表示装置の製造方法 Pending JPH0933902A (ja)

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JP7-114924 1995-05-12
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2017185420A1 (zh) * 2016-04-26 2017-11-02 深圳市华星光电技术有限公司 背板结构及曲面显示器

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WO2017185420A1 (zh) * 2016-04-26 2017-11-02 深圳市华星光电技术有限公司 背板结构及曲面显示器
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