JPH09320458A - Manufacture of plasma display panel - Google Patents

Manufacture of plasma display panel

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JPH09320458A
JPH09320458A JP15620896A JP15620896A JPH09320458A JP H09320458 A JPH09320458 A JP H09320458A JP 15620896 A JP15620896 A JP 15620896A JP 15620896 A JP15620896 A JP 15620896A JP H09320458 A JPH09320458 A JP H09320458A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
glass paste
layer
dry glass
display panel
Prior art date
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Pending
Application number
JP15620896A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazumasa Ono
和正 大野
Masaaki Nakamura
雅明 中村
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Pioneer Corp
Original Assignee
Pioneer Electronic Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Pioneer Electronic Corp filed Critical Pioneer Electronic Corp
Priority to JP15620896A priority Critical patent/JPH09320458A/en
Publication of JPH09320458A publication Critical patent/JPH09320458A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the manufacture of a plasma display panel, which forms the aforesaid panel excellent in surface smoothness, forms a dielectric layer free of scatter in film thickness, and to stabilize display operations. SOLUTION: This invention is concerned with the manufacture of a plasma display panel equipped with a dielectric layer sheathing an electrode layer formed over a glass substrate with respect to a discharge space, the manufacture includes firstly a process which heats and presses dry glass paste films 23 and 26 as thin as 15 to 50μm in an uncured condition laid in such a way as to cover the electrode layer so as to laminate them, and secondly a process which sinters the laminated dry glass paste films 23 and 26 so as to form them into the dielecric layer. Besides, the dry glass paste films 23 and 26 includes low melting point glass in an alkaline system the dielectric constant of which is less than 8, the electrode layer is formed out of a transparent conductive film, and of the laminated film of metallic films. Prior to the laminating process of the dry glass paste films 23 and 26, a process is also included, in which after the dry glass paste films 23 and 26 including low melting point glass in a non-alkaline system, have been heated, pressed and sheathes, and the aforesaid films are sintered, so that the electrode layer is thereby turned out to be a dielectric protection layer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【0001】[0001]

【0002】[0002]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造方法、特に電極層を覆う誘電体層を形
成する方法の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improved method for manufacturing a plasma display panel, and more particularly to an improved method for forming a dielectric layer covering an electrode layer.

【0003】[0003]

【0002】[0002]

【0004】[0004]

【従来の技術】ドットマトリックス型の平面表示装置と
して、例えばプラズマディスプレイパネル(PDP)が
知られている。PDPは、パソコン、ワープロ等の表示
装置としても多用されており、また高速の表示が可能で
あり且つ大型画面の実現が容易であることから、特に2
0インチ以上の大型フラット型表示手段として期待され
ている。
2. Description of the Related Art As a dot matrix type flat display device, for example, a plasma display panel (PDP) is known. PDPs are widely used as display devices for personal computers, word processors, etc., and are capable of high-speed display and easy realization of large screens.
It is expected as a large flat display device of 0 inches or more.

【0005】[0005]

【0003】図2は、AC駆動方式の3電極構造を有す
る面放電型PDPを示し、放電空間7を介して対向配置
された一対のガラス基板1、2の表示面側のガラス基板
1の内面に互いに平行に隣接配置された一対のサスティ
ン電極(維持電極)X、Y、サスティン電極X、Yを覆
う誘電体層5、誘電体層5を覆うMgOからなる保護層
6が設けられている。尚、サスティン電極X、Yは、そ
れぞれ幅の広い帯状の透明導電膜4とその導電性を補う
ために重ねられた金属膜3とから構成されている。
FIG. 2 shows a surface discharge type PDP having an AC drive type three-electrode structure, and the inner surface of the glass substrate 1 on the display surface side of a pair of glass substrates 1 and 2 facing each other through a discharge space 7. Is provided with a pair of sustain electrodes (sustain electrodes) X and Y arranged adjacent to each other in parallel with each other, a dielectric layer 5 that covers the sustain electrodes X and Y, and a protective layer 6 made of MgO that covers the dielectric layer 5. Each of the sustain electrodes X and Y is composed of a wide strip-shaped transparent conductive film 4 and a metal film 3 stacked to supplement the conductivity thereof.

【0006】[0006]

【0004】一方、背面側のガラス基板2の内面上にサ
スティン電極X、Yと直交する方向に設けられ、放電空
間7を単位発光領域毎に区画する障壁10、各障壁10
間のガラス基板上にサスティン電極X、Yと直交する方
向に設けられたアドレス電極A、及び所定の発光色の蛍
光体層8が設けられている。ここで、放電空間7には、
ネオンに少量のキセノンを混合した放電ガスが封入され
ている。
On the other hand, the barrier 10 is provided on the inner surface of the glass substrate 2 on the back side in a direction orthogonal to the sustain electrodes X and Y, and divides the discharge space 7 into unit light emitting regions.
An address electrode A provided in a direction orthogonal to the sustain electrodes X and Y, and a phosphor layer 8 of a predetermined emission color are provided on the glass substrate between them. Here, in the discharge space 7,
A discharge gas in which a small amount of xenon is mixed with neon is sealed.

【0007】[0007]

【0005】このようなPDPの表示に際しては、例え
ば、サスティン電極X、Yに放電開始電圧を越える駆動
電圧を加える。これにより、誘電体層5の表面方向に面
放電が生じ、誘電体層の表面に所定の壁電荷が蓄積し、
放電が停止する。その後、壁電荷と反対の極性のサステ
ィンパルスをサスティン電極X、Yに交互に加える毎に
面放電が生じ、このとき発生する紫外線によって蛍光体
層8が励起されて発光する。
In displaying such a PDP, for example, a drive voltage exceeding a discharge starting voltage is applied to the sustain electrodes X and Y. As a result, surface discharge is generated in the surface direction of the dielectric layer 5, and predetermined wall charges are accumulated on the surface of the dielectric layer,
Discharge stops. After that, every time a sustain pulse having a polarity opposite to the wall charges is applied to the sustain electrodes X and Y alternately, surface discharge occurs, and the ultraviolet rays generated at this time excite the phosphor layer 8 to emit light.

【0008】[0008]

【0006】[0006]

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、誘電体層5
は、一般的にスクリーン印刷法によって形成される。こ
の場合、所定の厚さの誘電体層を得るためには低融点ガ
ラスペーストを塗布し、焼成する工程を数回繰り返して
行う必要がある。従って、膜厚にバラツキが生じやすく
表示ムラが発生する。また、スクリーンメッシュ跡が誘
電体層の表面に残るために、例えば2層の印刷を行った
場合に第1層と第2層との間にスクリーンメッシュ跡の
干渉縞が生じ、それが発光ムラとなる。
By the way, the dielectric layer 5
Are generally formed by a screen printing method. In this case, in order to obtain a dielectric layer having a predetermined thickness, it is necessary to repeat the steps of applying a low melting point glass paste and firing it several times. Therefore, variations in film thickness are likely to occur and display unevenness occurs. Further, since the screen mesh mark remains on the surface of the dielectric layer, interference fringes of the screen mesh mark are generated between the first layer and the second layer when, for example, two-layer printing is performed, which causes uneven light emission. Becomes

【0010】本発明は、上述の問題に鑑み、表面平滑性
に優れ、膜厚ムラのない誘電体層を形成し、表示動作の
安定化を図ることを目的としている。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to form a dielectric layer having excellent surface smoothness and uniform thickness to stabilize the display operation.

【0011】[0011]

【0007】[0007]

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、ガラ
ス基板上に形成された電極層を放電空間に対して被覆す
る誘電体層を備えたプラズマディスプレイパネルの製造
方法であって、電極層を覆うようにガラス基板上に未硬
化状態の厚さが15〜50μmであるドライガラスペー
ストフィルムを加熱・加圧して積層する工程と、積層さ
れたドライガラスペーストフィルムを焼成して誘電体層
を形成する工程とを含むことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel including a dielectric layer that covers an electrode space formed on a glass substrate with respect to a discharge space. A step of stacking a dry glass paste film having an uncured thickness of 15 to 50 μm on a glass substrate so as to cover the layer by heating and pressurizing, and firing the stacked dry glass paste film to form a dielectric layer And a step of forming.

【0013】[0013]

【0008】請求項2の発明は、請求項1記載の製造方
法であって、ドライガラスペーストフィルムは、比誘電
率が8以下のアルカリ系低融点ガラスを含むことを特徴
とする。
The invention of claim 2 is the manufacturing method according to claim 1, characterized in that the dry glass paste film contains an alkaline low melting point glass having a relative dielectric constant of 8 or less.

【0014】[0014]

【0009】請求項3の発明は、請求項2記載の製造方
法であって、電極層は透明導電膜と金属膜の積層膜から
なり、ドライガラスペーストフィルムの積層工程の前に
電極層を非アルカリ系の低融点ガラスを含むドライガラ
スペーストフィルムを加熱・加圧して被覆した後焼成し
て電極保護層を形成する工程を含むことを特徴とする。
A third aspect of the present invention is the manufacturing method according to the second aspect, wherein the electrode layer comprises a laminated film of a transparent conductive film and a metal film, and the electrode layer is not formed before the step of laminating the dry glass paste film. The method is characterized by including a step of forming an electrode protective layer by heating, pressing and coating a dry glass paste film containing an alkaline low melting point glass, and then baking the dry glass paste film.

【0015】[0015]

【0010】[0010]

【0016】[0016]

【作用】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方
法では、電極層を覆うようにガラス基板上に未硬化状態
の厚さが15〜50μmであるドライガラスペーストフ
ィルムを加熱・加圧して積層する工程と、積層されたド
ライガラスペーストフィルムを焼成して誘電体層を形成
する工程とを含むように構成したので、短時間で生産が
可能で表面平滑性に優れた誘電体層が得られる。また、
ドライガラスペーストフィルムは、比誘電率が8以下の
アルカリ系低融点ガラスを含み、ドライガラスペースト
フィルムの積層工程の前に電極層を非アルカリ系の低融
点ガラスを含むドライガラスペーストフィルムを加熱・
加圧して被覆した後焼成して電極保護層を形成する工程
を含むように構成したので、電極の腐食を防止できる。
In the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a step of heating and pressing a dry glass paste film having an uncured thickness of 15 to 50 μm on a glass substrate so as to cover the electrode layer, and laminating the dry glass paste film. Since the laminated dry glass paste film is fired to form the dielectric layer, the dielectric layer can be produced in a short time and has excellent surface smoothness. Also,
The dry glass paste film contains an alkali low melting point glass having a relative dielectric constant of 8 or less, and the electrode layer is heated to a dry glass paste film containing a non-alkali low melting point glass before the step of laminating the dry glass paste film.
Since it is configured to include a step of forming the electrode protective layer by applying pressure and coating and then baking, it is possible to prevent corrosion of the electrode.

【0017】[0017]

【0011】[0011]

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
プラズマディスプレイパネルの製造方法を図1に基づい
て説明する。図1は表示面側のガラス基板の製造工程を
示す。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 shows a manufacturing process of a glass substrate on the display surface side.

【0019】まず、サスティン電極形成工程(図1
(a)、(b))で前面ガラス基板20上に酸化錫、I
TOなどの透明導電膜を蒸着又はスパッタ法により形成
し、この上にフォトレジスト層を形成し電極パターン用
マスクを介して露光・現像し、露光・現像されたフォト
レジスト層をマスクとして透明導電膜をエッチングする
ことにより透明電極21が形成される。透明電極21上
にアルミニウム−銅合金又はアルミニウム/クロムの2
層からなる金属膜を蒸着又はスパッタ法により形成し、
その上にフォトレジスト層を形成し、電極パターン用マ
スクを介して露光・現像し、露光・現像されたフォトレ
ジスト層をマスクとして金属膜をエッチングすることに
よりバス電極22が形成される。このようにして透明電
極21とバス電極22が積層されたサスティン電極が設
けられる。
First, the sustain electrode forming step (see FIG. 1)
(A), (b)), tin oxide, I
A transparent conductive film such as TO is formed by vapor deposition or sputtering, a photoresist layer is formed on the transparent conductive film, exposed and developed through an electrode pattern mask, and the exposed and developed photoresist layer is used as a mask to form a transparent conductive film. The transparent electrode 21 is formed by etching. 2 of aluminum-copper alloy or aluminum / chromium on the transparent electrode 21
Forming a metal film consisting of layers by vapor deposition or sputtering,
A bus electrode 22 is formed by forming a photoresist layer thereon, exposing and developing it through an electrode pattern mask, and etching the metal film using the exposed and developed photoresist layer as a mask. In this way, the sustain electrode in which the transparent electrode 21 and the bus electrode 22 are laminated is provided.

【0020】[0020]

【0012】次に、電極保護層形成工程(図1(c))
で、非アルカリ系の低融点ガラス(例えば、酸化鉛を含
む低融点ガラス)を含むドライガラスペーストフィルム
23をローラ25により加熱・加圧して熱圧着した後
(ローラ、ガラス基板の表面温度は120℃程度)、所
定の温度(500〜600℃程度)で焼成する。ここ
で、ドライガラスペーストフィルム23は、平均粒径が
3μm程度のガラス粒、アルミナなどのセラミック粒、
アクリル系などの樹脂バインダー及びトルエンなどの溶
剤などからなる混合スリップをドクターブレード法又は
カレンダー法などで離型材を塗布したベースフィルム
(PETなどからなるフィルム)24上にフィルム状に
したものである。
Next, an electrode protective layer forming step (FIG. 1 (c))
Then, after the dry glass paste film 23 containing the non-alkali low melting point glass (for example, low melting point glass containing lead oxide) is heated and pressed by the roller 25 and thermocompression bonded (the surface temperature of the roller and the glass substrate is 120). Baking at a predetermined temperature (about 500 to 600 ° C.). Here, the dry glass paste film 23 includes glass particles having an average particle size of about 3 μm, ceramic particles such as alumina,
A mixed slip made of an acrylic resin binder and a solvent such as toluene is formed into a film on a base film (a film made of PET) 24 coated with a release material by a doctor blade method or a calendar method.

【0021】[0021]

【0013】次に、誘電体層形成工程(図1(d))
で、比誘電率が8以下のアルカリ系の低融点ガラス(例
えば、酸化ナトリウム及び酸化ホウ素を含む低融点ガラ
ス)を含むドライガラスペーストフィルム26をローラ
により加熱(ローラ、ガラス基板の表面温度は120℃
程度)・加圧して熱圧着した後、所定の温度(500〜
600℃程度)で焼成する。ここで、ドライガラスペー
ストフィルム26は、平均粒径が3μm程度のガラス
粒、アルミナなどのセラミック粒、アクリル系などの樹
脂バインダー及びトルエンなどの溶剤などからなる混合
スリップをドクターブレード法又はカレンダー法などで
離型材を塗布したベースフィルム24上にフィルム状に
したものである。また、次に、保護層27形成工程(図
1(e))で誘電体層上にMgOをスパッタ法により被
着する。
Next, a dielectric layer forming step (FIG. 1 (d))
Then, the dry glass paste film 26 containing an alkaline low melting glass (for example, low melting glass containing sodium oxide and boron oxide) having a relative dielectric constant of 8 or less is heated by a roller (the surface temperature of the roller and the glass substrate is 120). ℃
・ Pressurized and thermocompressed, and then at a predetermined temperature (500-
Baking at about 600 ° C. Here, the dry glass paste film 26 includes a doctor blade method, a calendar method, or the like in which a mixed slip made of glass particles having an average particle diameter of about 3 μm, ceramic particles such as alumina, a resin binder such as an acrylic resin, and a solvent such as toluene is used. The film is formed on the base film 24 coated with the release material. Further, next, in the protective layer 27 forming step (FIG. 1E), MgO is deposited on the dielectric layer by sputtering.

【0022】[0022]

【0014】[0014]

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によるプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法によれば、離型材を塗布したベースフィル
ム上に誘電体層を加熱・加圧して積層した後、焼成して
誘電体層を形成するようにしたので、短時間でPDP多
数枚分の生産を可能とし、印刷に比較し、高い生産性を
得られる。また、膜厚の調整幅も大きい。さらに、印刷
によって形成した誘電体層よりも表面平滑性が優れ、面
内・面間の膜厚の差異が少なくなることにより、PDP
の発光ムラを抑制できる。
According to the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a dielectric layer is formed by heating and pressurizing a dielectric layer on a base film coated with a release material, and then firing to form the dielectric layer. Since it is possible to produce a large number of PDPs in a short time, it is possible to obtain high productivity as compared with printing. Moreover, the adjustment range of the film thickness is large. Furthermore, the surface smoothness is superior to that of the dielectric layer formed by printing, and the difference in the in-plane and in-plane film thickness is reduced.
It is possible to suppress the uneven light emission.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態によるプラズマディスプレ
イパネルの製造方法を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のAC駆動方式の3電極構造を有する面放
電型PDPを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a conventional surface-discharge type PDP having an AC drive type three-electrode structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2 ・・・・・ ガラス基板 3 ・・・・・ 金属膜 4 ・・・・・ 透明導電膜 5 ・・・・・ 誘電体層 6 ・・・・・ 保護層 7 ・・・・・ 放電空間 8 ・・・・・ 蛍光体層 10 ・・・・・ 障壁 20 ・・・・・ 前面ガラス基板 21 ・・・・・ 透明電極 22 ・・・・・ バス電極 25 ・・・・・ ローラ 23 ・・・・・ ドライガラスペーストフィルム 26 ・・・・・ ドライガラスペーストフィルム 24 ・・・・・ ベースフィルム 27 ・・・・・ 保護層 1, 2 ・ ・ ・ Glass substrate 3 ・ ・ ・ Metal film 4 ・ ・ ・ Transparent conductive film 5 ・ ・ ・ Dielectric layer 6 ・ ・ ・ Protective layer 7 ・ ・ ・ ・ ・Discharge space 8 ・ ・ ・ Phosphor layer 10 ・ ・ ・ Barrier 20 ・ ・ ・ ・ ・ Front glass substrate 21 ・ ・ ・ Transparent electrode 22 ・ ・ ・ ・ ・ Bus electrode 25 ・ ・ ・ ・ ・ Roller 23 ・ ・ ・ ・ ・ Dry glass paste film 26 ・ ・ ・ ・ ・ Dry glass paste film 24 ・ ・ ・ Base film 27 ・ ・ ・ ・ ・ Protective layer

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成9年3月17日[Submission date] March 17, 1997

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】発明の詳細な説明[Correction target item name] Detailed description of the invention

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造方法、特に電極層を覆う誘電体層を形
成する方法の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improved method for manufacturing a plasma display panel, and more particularly to an improved method for forming a dielectric layer covering an electrode layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】ドットマトリックス型の平面表示装置と
して、例えばプラズマディスプレイパネル(PDP)が
知られている。PDPは、パソコン、ワープロ等の表示
装置としても多用されており、また高速の表示が可能で
あり且つ大型画面の実現が容易であることから、特に2
0インチ以上の大型フラット型表示手段として期待され
ている。
2. Description of the Related Art As a dot matrix type flat display device, for example, a plasma display panel (PDP) is known. PDPs are widely used as display devices for personal computers, word processors, etc., and are capable of high-speed display and easy realization of large screens.
It is expected as a large flat display device of 0 inches or more.

【0003】図2は、AC駆動方式の3電極構造を有す
る面放電型PDPを示し、放電空間7を介して対向配置
された一対のガラス基板1、2の表示面側のガラス基板
1の内面に互いに平行に隣接配置された一対のサスティ
ン電極(維持電極)X、Y、サスティン電極X、Yを覆
う誘電体層5、誘電体層5を覆うMgOからなる保護層
6が設けられている。尚、サスティン電極X、Yは、そ
れぞれ幅の広い帯状の透明導電膜4とその導電性を補う
ために重ねられた金属膜3とから構成されている。
FIG. 2 shows a surface discharge type PDP having an AC drive type three-electrode structure, and the inner surface of the glass substrate 1 on the display surface side of a pair of glass substrates 1 and 2 facing each other through a discharge space 7. Is provided with a pair of sustain electrodes (sustain electrodes) X and Y arranged adjacent to each other in parallel with each other, a dielectric layer 5 that covers the sustain electrodes X and Y, and a protective layer 6 made of MgO that covers the dielectric layer 5. Each of the sustain electrodes X and Y is composed of a wide strip-shaped transparent conductive film 4 and a metal film 3 stacked to supplement the conductivity thereof.

【0004】一方、背面側のガラス基板2の内面上にサ
スティン電極X、Yと直交する方向に設けられ、放電空
間7を単位発光領域毎に区画する障壁10、各障壁10
間のガラス基板上にサスティン電極X、Yと直交する方
向に設けられたアドレス電極A、及び所定の発光色の蛍
光体層8が設けられている。ここで、放電空間7には、
ネオンに少量のキセノンを混合した放電ガスが封入され
ている。
On the other hand, the barrier 10 is provided on the inner surface of the glass substrate 2 on the back side in a direction orthogonal to the sustain electrodes X and Y, and divides the discharge space 7 into unit light emitting regions.
An address electrode A provided in a direction orthogonal to the sustain electrodes X and Y, and a phosphor layer 8 of a predetermined emission color are provided on the glass substrate between them. Here, in the discharge space 7,
A discharge gas in which a small amount of xenon is mixed with neon is sealed.

【0005】このようなPDPの表示に際しては、例え
ば、サスティン電極X、Yに放電開始電圧を越える駆動
電圧を加える。これにより、誘電体層5の表面方向に面
放電が生じ、誘電体層の表面に所定の壁電荷が蓄積し、
放電が停止する。その後、壁電荷と反対の極性のサステ
ィンパルスをサスティン電極X、Yに交互に加える毎に
面放電が生じ、このとき発生する紫外線によって蛍光体
層8が励起されて発光する。
In displaying such a PDP, for example, a drive voltage exceeding a discharge starting voltage is applied to the sustain electrodes X and Y. As a result, surface discharge is generated in the surface direction of the dielectric layer 5, and predetermined wall charges are accumulated on the surface of the dielectric layer,
Discharge stops. After that, every time a sustain pulse having a polarity opposite to the wall charges is applied to the sustain electrodes X and Y alternately, surface discharge occurs, and the ultraviolet rays generated at this time excite the phosphor layer 8 to emit light.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、誘電体層5
は、一般的にスクリーン印刷法によって形成される。こ
の場合、所定の厚さの誘電体層を得るためには低融点ガ
ラスペーストを塗布し、焼成する工程を数回繰り返して
行う必要がある。従って、膜厚にバラツキが生じやすく
表示ムラが発生する。また、スクリーンメッシュ跡が誘
電体層の表面に残るために、例えば2層の印刷を行った
場合に第1層と第2層との間にスクリーンメッシュ跡の
干渉縞が生じ、それが発光ムラとなる。本発明は、上述
の問題に鑑み、表面平滑性に優れ、膜厚ムラのない誘電
体層を形成し、表示動作の安定化を図ることを目的とし
ている。
By the way, the dielectric layer 5
Are generally formed by a screen printing method. In this case, in order to obtain a dielectric layer having a predetermined thickness, it is necessary to repeat the steps of applying a low melting point glass paste and firing it several times. Therefore, variations in film thickness are likely to occur and display unevenness occurs. Further, since the screen mesh mark remains on the surface of the dielectric layer, interference fringes of the screen mesh mark are generated between the first layer and the second layer when, for example, two-layer printing is performed, which causes uneven light emission. Becomes In view of the above problems, it is an object of the present invention to form a dielectric layer that is excellent in surface smoothness and has no unevenness in film thickness to stabilize the display operation.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、ガラ
ス基板上に形成された電極層を放電空間に対して被覆す
る誘電体層を備えたプラズマディスプレイパネルの製造
方法であって、電極層を覆うようにガラス基板上に未硬
化状態の厚さが15〜50μmであるドライガラスペー
ストフィルムを加熱・加圧して積層する工程と、積層さ
れたドライガラスペーストフィルムを焼成して誘電体層
を形成する工程とを含むことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel including a dielectric layer that covers an electrode space formed on a glass substrate with respect to a discharge space. A step of stacking a dry glass paste film having an uncured thickness of 15 to 50 μm on a glass substrate so as to cover the layer by heating and pressurizing, and firing the stacked dry glass paste film to form a dielectric layer And a step of forming.

【0008】請求項2の発明は、請求項1記載の製造方
法であって、ドライガラスペーストフィルムは、比誘電
率が8以下のアルカリ系低融点ガラスを含むことを特徴
とする。
The invention of claim 2 is the manufacturing method according to claim 1, characterized in that the dry glass paste film contains an alkaline low melting point glass having a relative dielectric constant of 8 or less.

【0009】請求項3の発明は、請求項2記載の製造方
法であって、電極層は透明導電膜と金属膜の積層膜から
なり、ドライガラスペーストフィルムの積層工程の前に
電極層を非アルカリ系の低融点ガラスを含むドライガラ
スペーストフィルムを加熱・加圧して被覆した後焼成し
て電極保護層を形成する工程を含むことを特徴とする。
A third aspect of the present invention is the manufacturing method according to the second aspect, wherein the electrode layer comprises a laminated film of a transparent conductive film and a metal film, and the electrode layer is not formed before the step of laminating the dry glass paste film. The method is characterized by including a step of forming an electrode protective layer by heating, pressing and coating a dry glass paste film containing an alkaline low melting point glass, and then baking the dry glass paste film.

【0010】[0010]

【作用】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方
法では、電極層を覆うようにガラス基板上に未硬化状態
の厚さが15〜50μmであるドライガラスペーストフ
ィルムを加熱・加圧して積層する工程と、積層されたド
ライガラスペーストフィルムを焼成して誘電体層を形成
する工程とを含むように構成したので、短時間で生産が
可能で表面平滑性に優れた誘電体層が得られる。また、
ドライガラスペーストフィルムは、比誘電率が8以下の
アルカリ系低融点ガラスを含み、ドライガラスペースト
フィルムの積層工程の前に電極層を非アルカリ系の低融
点ガラスを含むドライガラスペーストフィルムを加熱・
加圧して被覆した後焼成して電極保護層を形成する工程
を含むように構成したので、電極の腐食を防止できる。
In the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a step of heating and pressing a dry glass paste film having an uncured thickness of 15 to 50 μm on a glass substrate so as to cover the electrode layer, and laminating the dry glass paste film. Since the laminated dry glass paste film is fired to form the dielectric layer, the dielectric layer can be produced in a short time and has excellent surface smoothness. Also,
The dry glass paste film contains an alkali low melting point glass having a relative dielectric constant of 8 or less, and the electrode layer is heated to a dry glass paste film containing a non-alkali low melting point glass before the step of laminating the dry glass paste film.
Since it is configured to include a step of forming the electrode protective layer by applying pressure and coating and then baking, it is possible to prevent corrosion of the electrode.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
プラズマディスブレイパネルの製造方法を図1に基づい
て説明する。図1は表示面側のガラス基板の製造工程を
示す。まず、サスティン電極形成工程(図1(a)、
(b))で前面ガラス基板20上に酸化錫、ITOなど
の透明導電膜を蒸着又はスパッタ法により形成し、この
上にフォトレジスト層を形成し電極パターン用マスクを
介して露光・現像し、露光・現像されたフォトレジスト
層をマスクとして透明導電膜をエッチングすることによ
り透明電極21が形成される。透明電極21上にアルミ
ニウム−銅合金又はアルミニウム/クロムの2層からな
る金属膜を蒸着又はスパッタ法により形成し、その上に
フォトレジスト層を形成し、電極パターン用マスクを介
して露光・現像し、露光・現像されたフォトレジスト層
をマスクとして金属膜をエッチングすることによりバス
電極22が形成される。このようにして透明電極21と
バス電極22が積層されたサスティン電極が設けられ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 shows a manufacturing process of a glass substrate on the display surface side. First, the sustain electrode formation step (FIG. 1A)
In (b)), a transparent conductive film such as tin oxide or ITO is formed on the front glass substrate 20 by vapor deposition or a sputtering method, a photoresist layer is formed thereon, and exposure / development is performed through an electrode pattern mask, The transparent electrode 21 is formed by etching the transparent conductive film using the exposed and developed photoresist layer as a mask. A metal film consisting of two layers of aluminum-copper alloy or aluminum / chromium is formed on the transparent electrode 21 by vapor deposition or sputtering, a photoresist layer is formed thereon, and exposure / development is performed through an electrode pattern mask. The bus electrode 22 is formed by etching the metal film using the exposed and developed photoresist layer as a mask. In this way, the sustain electrode in which the transparent electrode 21 and the bus electrode 22 are laminated is provided.

【0012】次に、電極保護層形成工程(図1(c))
で、非アルカリ系の低融点ガラス(例えば、酸化鉛を含
む低融点ガラス)を含むドライガラスペーストフィルム
23をローラ25により加熱・加圧して熱圧着した後
(ローラ、ガラス基板の表面温度は120℃程度)、所
定の温度(500〜600℃程度)で焼成する。ここ
で、ドライガラスペーストフィルム23は、平均粒径が
3μm程度のガラス粒、アルミナなどのセラミック粒、
アクリル系などの樹脂バインダー及びトルエンなどの溶
剤などからなる混合スリップをドクターブレード法又は
カレンダー法などで離型材を塗布したベースフィルム
(PETなどからなるフィルム)24上にフィルム状に
したものである。
Next, an electrode protective layer forming step (FIG. 1 (c))
Then, after the dry glass paste film 23 containing the non-alkali low melting point glass (for example, low melting point glass containing lead oxide) is heated and pressed by the roller 25 and thermocompression bonded (the surface temperature of the roller and the glass substrate is 120). Baking at a predetermined temperature (about 500 to 600 ° C.). Here, the dry glass paste film 23 includes glass particles having an average particle size of about 3 μm, ceramic particles such as alumina,
A mixed slip made of an acrylic resin binder and a solvent such as toluene is formed into a film on a base film (a film made of PET) 24 coated with a release material by a doctor blade method or a calendar method.

【0013】次に、誘電体層形成工程(図1(d))
で、比誘電率が8以下のアルカリ系の低融点ガラス(例
えば、酸化ナトリウム及び酸化ホウ素を含む低融点ガラ
ス)を含むドライガラスペーストフィルム26をローラ
により加熱(ローラ、ガラス基板の表面温度は120℃
程度)・加圧して熱圧着した後、所定の温度(500〜
600℃程度)で焼成する。ここで、ドライガラスペー
ストフィルム26は、平均粒径が3μm程度のガラス
粒、アルミナなどのセラミック粒、アクリル系などの樹
脂バインダー及びトルエンなどの溶剤などからなる混合
スリップをドクターブレード法又はカレンダー法などで
離型材を塗布したベースフィルム24上にフィルム状に
したものである。また、次に、保護層27形成工程(図
1(e))で誘電体層上にMgOをスパッタ法により被
着する。
Next, a dielectric layer forming step (FIG. 1 (d))
Then, the dry glass paste film 26 containing an alkaline low melting glass (for example, low melting glass containing sodium oxide and boron oxide) having a relative dielectric constant of 8 or less is heated by a roller (the surface temperature of the roller and the glass substrate is 120). ℃
・ Pressurized and thermocompressed, and then at a predetermined temperature (500-
Baking at about 600 ° C. Here, the dry glass paste film 26 includes a doctor blade method, a calendar method, or the like in which a mixed slip made of glass particles having an average particle diameter of about 3 μm, ceramic particles such as alumina, a resin binder such as an acrylic resin and a solvent such as toluene is used. The film is formed on the base film 24 coated with the release material. Further, next, in the protective layer 27 forming step (FIG. 1E), MgO is deposited on the dielectric layer by sputtering.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によるプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法によれば、離型材を塗布したベースフィル
ム上に誘電体層を加熱・加圧して積層した後、焼成して
誘電体層を形成するようにしたので、短時間でPDP多
数枚分の生産を可能とし、印刷に比較し、高い生産性を
得られる。また、膜厚の調整幅も大きい。さらに、印刷
によって形成した誘電体層よりも表面平滑性が優れ、面
内・面間の膜厚の差異が少なくなることにより、PDP
の発光ムラを抑制できる。
According to the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a dielectric layer is formed by heating and pressurizing a dielectric layer on a base film coated with a release material, and then firing to form the dielectric layer. Since it is possible to produce a large number of PDPs in a short time, it is possible to obtain high productivity as compared with printing. Moreover, the adjustment range of the film thickness is large. Furthermore, the surface smoothness is superior to that of the dielectric layer formed by printing, and the difference in the in-plane and in-plane film thickness is reduced.
It is possible to suppress the uneven light emission.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス基板上に形成された電極層を放電
空間に対して被覆する誘電体層を備えたプラズマディス
プレイパネルの製造方法であって、 前記電極層を覆うように前記ガラス基板上に未硬化状態
の厚さが15〜50μmであるドライガラスペーストフ
ィルムを加熱・加圧して積層する工程と、前記積層され
たドライガラスペーストフィルムを焼成して誘電体層を
形成する工程とを含むことを特徴とするプラズマディス
プレイパネルの製造方法。
1. A method of manufacturing a plasma display panel comprising a dielectric layer covering an electrode layer formed on a glass substrate with respect to a discharge space, the method comprising the steps of: forming a dielectric layer on the glass substrate so as to cover the electrode layer. The method includes the steps of heating and pressing to laminate a dry glass paste film having an uncured state thickness of 15 to 50 μm, and firing the laminated dry glass paste film to form a dielectric layer. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising:
【請求項2】 前記ドライガラスペーストフィルムは、
比誘電率が8以下のアルカリ系低融点ガラスを含むこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. The dry glass paste film comprises:
A method of manufacturing a plasma display panel, which comprises an alkali low melting point glass having a relative dielectric constant of 8 or less.
【請求項3】 前記電極層は透明導電膜と金属膜の積層
膜からなり、前記ドライガラスペーストフィルムの積層
工程の前に前記電極層を非アルカリ系の低融点ガラスを
含むドライガラスペーストフィルムを加熱・加圧して被
覆した後焼成して電極保護層を形成する工程を含むこと
を特徴とする請求項2記載の面放電型プラズマディスプ
レイパネルの製造方法。
3. The electrode layer is formed of a laminated film of a transparent conductive film and a metal film, and the electrode layer is formed of a dry glass paste film containing non-alkali low melting point glass before the step of laminating the dry glass paste film. 3. The method for manufacturing a surface discharge plasma display panel according to claim 2, further comprising a step of heating and pressurizing to cover the film, and then baking to form an electrode protective layer.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100316833B1 (en) * 1998-12-31 2002-01-12 구자홍 Form methode of paste layer for Color display panel
US7229519B2 (en) * 2004-01-27 2007-06-12 Lg Electronics, Inc. Burning equipment for green sheet of plasma display panel and method of burning the same
JP2008084840A (en) * 2006-08-31 2008-04-10 Toray Ind Inc Manufacturing method of member for plasma display and member for plasma display

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