JPH09320020A - Magnetic head, method for manufacturing and reproducing magnetic head, and magnetic reproducing apparatus - Google Patents

Magnetic head, method for manufacturing and reproducing magnetic head, and magnetic reproducing apparatus

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JPH09320020A
JPH09320020A JP14140596A JP14140596A JPH09320020A JP H09320020 A JPH09320020 A JP H09320020A JP 14140596 A JP14140596 A JP 14140596A JP 14140596 A JP14140596 A JP 14140596A JP H09320020 A JPH09320020 A JP H09320020A
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Japan
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magnetic
conductor
layer
insulating layer
forming
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JP14140596A
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Japanese (ja)
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Sayuri Muramatsu
小百合 村松
Akio Murata
明夫 村田
Akio Kuroe
章郎 黒江
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Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable reproduction by a magnetic impedance effect of high sensitivity, and simplify the structure, by arranging a conductor penetrating a magnetic core in an insulated manner. SOLUTION: A conductor line 3 is set to penetrate a magnetic core 10 consisting of magnetic layers 1 and 2 at four points, which is capacitive-coupled via an insulating layer 4. An insulating film 7 is formed between the conductor line 3 and the magnetic layers 1, 2 so as to electrically insulate the conductor line 3 from the magnetic layers 1, 2. Electrode terminals 5, 6 are provided at both ends of the conductor line 3. When a constant a.c is fed to the conductor line 3 from the electrode terminals, a voltage value inversely proportional to the amount of an entering magnetic flux is output from a reproduction voltage output circuit. A magnetic head is accordingly reproduced in a manner responsive to the magnetic flux.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高密度に記録され
た情報を再生する磁気ヘッドとその製造方法、及び当該
磁気ヘッドを用いた磁気再生装置、磁気再生手段に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for reproducing information recorded at high density, a method for manufacturing the same, a magnetic reproducing apparatus using the magnetic head, and a magnetic reproducing means.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、大容量の磁気記録装置の需要が拡
大し、そのため、より高密度に情報を磁気記録媒体に記
録し、また情報を再生できる磁気ヘッドが要求されつつ
ある。このような要求に応じて、広く用いられている誘
導型ヘッド、特に薄膜ヘッドより、より再生感度の高い
再生専用ヘッドであるMRヘッドを用いた複合型MRヘ
ッドが実用化されている。この複合型MRヘッドは、M
Rヘッドと従来の誘導型薄膜ヘッドとを備えたヘッドで
あり、再生時には、より再生感度のよいMRヘッドを用
い、記録時には、従来の誘導型薄膜ヘッドを用いる。こ
こで、MRヘッドとは、磁気抵抗効果素子(MR:Ma
gneteto−Resistance)を用いたヘッ
ドである。
2. Description of the Related Art In recent years, the demand for a large-capacity magnetic recording device has expanded, and therefore, a magnetic head capable of recording information on a magnetic recording medium at a higher density and reproducing the information has been demanded. In response to such demands, a composite MR head using an MR head which is a read-only head having higher reproduction sensitivity than a widely used induction type head, particularly a thin film head, has been put into practical use. This composite MR head is
This is a head including an R head and a conventional inductive thin film head, and an MR head having a higher reproducing sensitivity is used during reproduction, and a conventional inductive thin film head is used during recording. Here, the MR head is a magnetoresistive effect element (MR: Ma).
It is a head using a gneteto-Resistance).

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、MR素子を
用いた複合型MRヘッドは、ヘッド構造が従来の誘導型
ヘッドと比べかなり複雑である。
However, a composite MR head using an MR element has a considerably more complicated head structure than a conventional inductive head.

【0004】具体的には、MR素子の回りには再生用の
磁気ギャップやシールド層が必要であったり、MR膜を
単磁区化するための磁石を設けるなどの構成が必要であ
り、また線形な再生を行うためにバイアス磁界を印加す
る独自の構成が必要である。
Specifically, a magnetic gap for reproduction and a shield layer are required around the MR element, and a structure for providing a magnet for making the MR film into a single magnetic domain is required. A unique structure for applying a bias magnetic field is required to achieve proper reproduction.

【0005】そのため、当該複合型MRヘッドの製造に
は、それだけ高度な製造技術が要求され、高い歩留まり
を確保することが難しくなるという問題点があった。
Therefore, the production of the composite MR head requires a high degree of production technology, and there is a problem that it is difficult to secure a high yield.

【0006】そこで、本願発明は、上記問題点を解決す
るため、比較的簡単な構造でかつ再生感度が従来の誘導
型ヘッドよりも優れた磁気ヘッドとその磁気ヘッドの製
造方法とその磁気ヘッドを用いた再生方法及び磁気再生
装置を提供することを目的とする。
In order to solve the above problems, the present invention provides a magnetic head having a relatively simple structure and a reproducing sensitivity superior to that of a conventional induction type head, a method of manufacturing the magnetic head, and a magnetic head thereof. It is an object to provide a reproducing method and a magnetic reproducing device used.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1における発明では、第1及び第2の軟磁性
層からなる磁気コアと前記磁気コア中に絶縁配置した導
体とからなり、前記導体の両端に電極を備え、前記導体
が前記磁気コア中の少なくとも複数ヵ所において絶縁配
置されることを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 comprises a magnetic core composed of first and second soft magnetic layers and a conductor insulated in the magnetic core. Electrodes are provided at both ends of the conductor, and the conductor is insulated and arranged at at least a plurality of locations in the magnetic core.

【0008】請求項2における発明では、前記導体は導
体中に所望厚からなる絶縁層を挟むことで容量結合され
ることを特徴とする。
According to the second aspect of the present invention, the conductor is capacitively coupled by sandwiching an insulating layer having a desired thickness in the conductor.

【0009】請求項3における発明では、前記磁気コア
は第1及び第2の軟磁性層からなり、前記導体は前記第
1及び第2の軟磁性層との間に絶縁配置された導体層で
あり、前記導体に設けられた前記容量結合部分は前記磁
気コアの外部に位置することを特徴とする。
According to another aspect of the invention, the magnetic core is composed of first and second soft magnetic layers, and the conductor is a conductor layer which is disposed so as to be insulated from the first and second soft magnetic layers. And the capacitive coupling portion provided on the conductor is located outside the magnetic core.

【0010】請求項4における発明では、前記容量結合
を構成する絶縁層は鉛、ランタン、亜鉛、及びチタンを
主成分とする酸化物である事を特徴とする。
The invention according to claim 4 is characterized in that the insulating layer forming the capacitive coupling is an oxide containing lead, lanthanum, zinc, and titanium as main components.

【0011】請求項5における発明では、前記第1の磁
性層を形成する工程と、第1の絶縁層を形成する第1の
絶縁層形成工程と、前記第1の絶縁層の上に前記導体層
の一部をパターン形成する第1の導体層形成工程と、第
2の絶縁層を形成する第2の絶縁層形成工程と容量結合
の誘電体部分である絶縁層の形成工程と前記導体層の残
りの部分をパターン形成する第2の導体層形成工程と、
前記導体層の上に第3の絶縁層を形成する第3の絶縁層
形成工程と、前記第3の絶縁層の上に第2の磁性層を形
成する第2の磁性層形成工程とを有することを特徴とす
る。
In the invention according to claim 5, the step of forming the first magnetic layer, the step of forming the first insulating layer, and the step of forming the first insulating layer, and the conductor on the first insulating layer A first conductor layer forming step of pattern-forming a part of the layer, a second insulating layer forming step of forming a second insulating layer, an insulating layer forming step which is a dielectric portion of capacitive coupling, and the conductor layer A second conductor layer forming step of patterning the remaining part of
It has a third insulating layer forming step of forming a third insulating layer on the conductor layer, and a second magnetic layer forming step of forming a second magnetic layer on the third insulating layer. It is characterized by

【0012】請求項6における発明では、請求項2記載
のヘッドを用いた再生方法であって、前記ヘッドの導体
のインダクタンス成分による位相の遅れとキャパシタン
ス成分による位相の進みが相殺されるように前記容量結
合部分の絶縁層の厚さを決定し、全ての導体のインピー
ダンス成分の単純和として出力を検出する事を特徴とす
る。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a reproducing method using the head according to the second aspect, wherein the phase delay due to the inductance component of the conductor of the head and the phase advance due to the capacitance component are canceled. It is characterized in that the thickness of the insulating layer in the capacitive coupling portion is determined and the output is detected as a simple sum of impedance components of all conductors.

【0013】請求項7における発明では、前記導体の両
端の電極に定電流の高周波信号を印加するキャリア信号
発生器と、前記磁気コアにバイアス磁界を発生させるバ
イアス磁界発生手段とを有し、請求項2記載の磁気ヘッ
ドを用いたことを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a carrier signal generator for applying a constant-current high-frequency signal to the electrodes on both ends of the conductor, and bias magnetic field generating means for generating a bias magnetic field in the magnetic core. The magnetic head according to item 2 is used.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】上記請求項1における発明の磁気
インピーダンス素子は、外部磁界によって磁気コアが磁
化され、その磁気コアの透磁率が変化することにより高
周波信号が印加されている導体の両端間のインピーダン
ス値が変化する。その導体のインピーダンス値の変化に
基づいて導体の両端の電圧が変化する。導体が磁気コア
の複数カ所において絶縁配置されることで検出感度が高
くなる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the magneto-impedance element according to the first aspect of the present invention, the magnetic core is magnetized by an external magnetic field, and the magnetic permeability of the magnetic core is changed, so that a high-frequency signal is applied between both ends of the conductor. The impedance value of changes. The voltage across the conductor changes based on the change in the impedance value of the conductor. Since the conductors are arranged in an insulating manner at a plurality of locations on the magnetic core, the detection sensitivity is increased.

【0015】請求項2及び、請求項3における発明で
は、導体を容量結合することでインピーダンス成分の遅
れをキャパシタンス成分の進みで相殺することが可能と
なる。
According to the second and third aspects of the present invention, the delay of the impedance component can be canceled by the advance of the capacitance component by capacitively coupling the conductors.

【0016】請求項4における発明では、鉛、ランタ
ン、亜鉛、及びチタンを主成分とする酸化物は比誘電率
が高いため、本発明の磁気ヘッドにおいて絶縁層の厚さ
が制御可能となる。
In the invention according to claim 4, since the oxides containing lead, lanthanum, zinc, and titanium as the main components have a high relative dielectric constant, the thickness of the insulating layer can be controlled in the magnetic head of the present invention.

【0017】請求項5における発明では、前記第1の磁
性層を形成した後第1の絶縁層を形成し、前記第1の絶
縁層の上に前記導体層の一部をパターン形成し、第2の
絶縁層を形成し、容量結合の誘電体部分である絶縁層の
形成工程と前記導体層の残りの部分をパターン形成し、
その後前記導体層の上に第3の絶縁層を形成し、前記第
3の絶縁層の上に第2の磁性層を形成する。
According to a fifth aspect of the invention, after forming the first magnetic layer, a first insulating layer is formed, and a part of the conductor layer is patterned on the first insulating layer, A second insulating layer is formed, a step of forming an insulating layer which is a dielectric portion for capacitive coupling and the remaining portion of the conductor layer are patterned.
Then, a third insulating layer is formed on the conductor layer, and a second magnetic layer is formed on the third insulating layer.

【0018】請求項6における発明では、前記ヘッドの
導体のインダクタンス成分による位相の遅れとキャパシ
タンス成分による位相の進みが相殺されるように前記容
量結合部分の絶縁層の厚さを決定することで、全ての導
体のインピーダンス成分の単純和として出力を検出す
る。
According to the invention of claim 6, the thickness of the insulating layer of the capacitive coupling portion is determined so that the phase delay due to the inductance component of the conductor of the head and the phase advance due to the capacitance component are canceled. The output is detected as the simple sum of the impedance components of all conductors.

【0019】請求項7における発明では、請求項4記載
の磁気ヘッドを登載することで磁気インピーダンス効果
により、高感度再生が可能な磁気再生装置を提供でき
る。
According to the invention of claim 7, it is possible to provide a magnetic reproducing apparatus capable of high-sensitivity reproduction by mounting the magnetic head according to claim 4 by the magnetic impedance effect.

【0020】本発明の磁気ヘッドに関する第1の実施例
と、本発明の磁気ヘッドの製造方法に関する第2の実施
例と、本発明の再生方法に関する第3の実施例と、本発
明の磁気再生装置に関する第4の実施例について説明す
る。
The first embodiment relating to the magnetic head of the present invention, the second embodiment relating to the method of manufacturing the magnetic head of the present invention, the third embodiment relating to the reproducing method of the present invention, and the magnetic reproducing of the present invention. A fourth example of the apparatus will be described.

【0021】先ず、本発明の磁気ヘッドに関する第1の
実施例について説明する。図1と図2は、本発明の磁気
ヘッドの第1の実施例を示す図である。当該磁気ヘッド
は、第1の磁性層1と、第2の磁性層2と導体線3と電
極5、6とから構成される。導体線は絶縁層4を挟んで
容量結合されている。
First, a first embodiment relating to the magnetic head of the present invention will be described. 1 and 2 are views showing a first embodiment of a magnetic head of the present invention. The magnetic head comprises a first magnetic layer 1, a second magnetic layer 2, a conductor wire 3 and electrodes 5 and 6. The conductor lines are capacitively coupled with the insulating layer 4 in between.

【0022】磁性層1、及び2は、コバルト、ジルコ
ン、ニオブ、及びタンタルからなるアモルファス(Coー
ZrーNbーTa)薄膜である。膜厚は第1および第2の磁性
層ともに1μmである。
The magnetic layers 1 and 2 are amorphous (Co--Co) composed of cobalt, zircon, niobium, and tantalum.
Zr-Nb-Ta) thin film. The film thickness of both the first and second magnetic layers is 1 μm.

【0023】導体線3は、磁性層1と2とからなる磁気
コア10を4カ所で貫通する位置に設けられており、そ
れぞれが絶縁層4を挟んで容量結合されている。材質は
Cu薄膜等を用いる。絶縁層4は誘電率の高い薄膜が望
ましく実施例1では鉛、ランタン、亜鉛、及びチタンを
主成分とする酸化物(PLZT)を用いた。また、当該
導体線3は、磁性層1、2と電気的に絶縁されるように
当該導体線3と磁性層1、2との間には絶縁膜7が形成
されている。絶縁膜7としては主としてSiO2膜を用
いた。
The conductor wire 3 is provided at a position penetrating the magnetic core 10 composed of the magnetic layers 1 and 2 at four places, and each of them is capacitively coupled with the insulating layer 4 interposed therebetween. A Cu thin film or the like is used as the material. The insulating layer 4 is preferably a thin film having a high dielectric constant, and in Example 1, an oxide (PLZT) containing lead, lanthanum, zinc, and titanium as main components was used. In addition, the conductor wire 3 has an insulating film 7 formed between the conductor wire 3 and the magnetic layers 1 and 2 so as to be electrically insulated from the magnetic layers 1 and 2. As the insulating film 7, a SiO2 film was mainly used.

【0024】電極端子5及び電極端子6は、前記導体線
3の両端に設けられた電極である。当該電極端子5及び
電極端子6は、導体線3に後述する交流の定電流を流す
ための端子である。
The electrode terminals 5 and 6 are electrodes provided at both ends of the conductor wire 3. The electrode terminal 5 and the electrode terminal 6 are terminals for flowing an alternating constant current, which will be described later, in the conductor wire 3.

【0025】図3は、図1及び図2の磁気ヘッドを含む
磁気再生装置の等価回路図である。本図は、インピーダ
ンス素子21と、キャリヤ信号発生器22と、再生電圧
出力回路25とからなる。
FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of a magnetic reproducing apparatus including the magnetic head of FIGS. This figure comprises an impedance element 21, a carrier signal generator 22, and a reproduction voltage output circuit 25.

【0026】インピーダンス素子21は、図1で示した
磁気ヘッドの導体線3を等価的にインピーダンス素子と
して示したものである。端子23と端子24は、それぞ
れ図1に示す電極端子5、6に相当する。
The impedance element 21 is equivalent to the conductor wire 3 of the magnetic head shown in FIG. 1 as an impedance element. The terminal 23 and the terminal 24 correspond to the electrode terminals 5 and 6 shown in FIG. 1, respectively.

【0027】キャリヤ信号発生器22は、インピーダン
ス素子21に交流の定電流であるキャリア信号を発生す
る。
The carrier signal generator 22 generates a carrier signal which is a constant alternating current in the impedance element 21.

【0028】再生電圧出力回路25は、端子23と端子
24間に生じる電圧を測定して端子26から出力する。
The reproduction voltage output circuit 25 measures the voltage generated between the terminals 23 and 24 and outputs it from the terminal 26.

【0029】次に、図1及び図3を用いて磁気情報の再
生動作を説明する。図1に示す磁気ヘッドにおける磁性
層1及び2からなる磁気コア10が磁気記録媒体の磁気
情報の磁化上にある時、磁気コアには磁束が通る。この
とき、該磁気コアはその磁束によって磁化され、透磁率
が低下している。つまり、図3におけるインピーダンス
素子21のインピーダンスが低下しているのと等価な状
態になる。このとき導体線3に交流の定電流を流してい
るので、端子23と24間にはそのインピーダンスに比
例した逆起電圧が発生する。結局、再生電圧出力回路2
5から出力される電圧値は、インピーダンス値すなわち
透磁率に比例している。
Next, the reproducing operation of magnetic information will be described with reference to FIGS. When the magnetic core 10 including the magnetic layers 1 and 2 in the magnetic head shown in FIG. 1 is on the magnetization of magnetic information of the magnetic recording medium, a magnetic flux passes through the magnetic core. At this time, the magnetic core is magnetized by the magnetic flux, and the magnetic permeability is lowered. That is, the state is equivalent to that the impedance of the impedance element 21 in FIG. 3 is lowered. At this time, since an alternating constant current is applied to the conductor line 3, a counter electromotive voltage proportional to its impedance is generated between the terminals 23 and 24. After all, the reproduction voltage output circuit 2
The voltage value output from 5 is proportional to the impedance value, that is, the magnetic permeability.

【0030】さらに言えば、流入した磁束の量、すなわ
ち磁化の強さに逆比例した電圧値が、再生電圧出力回路
25から出力されることとなり、いわゆる磁束応答型の
再生が行われることが分かる。出力される電圧値を大き
くするには、インピーダンスが大きいことが好ましく、
またその磁界応答性が高いことが望まれる。従って、磁
気コアの透磁率が高い範囲内で、できるだけ周波数は高
いほうが良い。
Furthermore, it can be seen that the amount of inflowing magnetic flux, that is, a voltage value inversely proportional to the strength of magnetization is output from the reproduction voltage output circuit 25, and so-called magnetic flux response type reproduction is performed. . To increase the output voltage value, it is preferable that the impedance is high,
Further, it is desired that the magnetic field response is high. Therefore, the frequency should be as high as possible within the range where the magnetic permeability of the magnetic core is high.

【0031】以上説明してきたように、本発明の磁気ヘ
ッドは、従来の複合型MRヘッドのように再生用に特に
磁気ギャップを設ける必要がなく、さらにシールド層も
必要がない比較的簡単な構成で、再生感度が従来の誘導
型ヘッドよりも優れた磁束応答型の再生ヘッドが得られ
る。
As described above, the magnetic head of the present invention does not need to be provided with a magnetic gap for reproduction like the conventional composite MR head, and does not require a shield layer, which is a relatively simple structure. Thus, a magnetic flux response type reproducing head having a reproducing sensitivity superior to that of the conventional induction type head can be obtained.

【0032】次に、本発明の磁気ヘッドの製造方法に関
する第2の実施例について説明する。
Next, a second embodiment of the method of manufacturing the magnetic head of the present invention will be described.

【0033】図4及び図5は、第2の実施例を説明する
ものであり、本発明の磁気ヘッドの第1の実施例の製造
方法を示すための、磁気ヘッドの断面概略図である。図
4は図2に示した第1の実施例の磁気ヘッドを線Aにて
切断した場合、図5は線Bにて切断した場合の断面概略
図である。
FIGS. 4 and 5 are schematic cross-sectional views of the magnetic head for explaining the second embodiment and showing the manufacturing method of the first embodiment of the magnetic head of the present invention. FIG. 4 is a schematic sectional view when the magnetic head of the first embodiment shown in FIG. 2 is cut along line A, and FIG. 5 is a schematic sectional view when cut along line B.

【0034】図4(a)及び図5(a)に示した基板3
1は、アルミナ・チタンカーバイド(AlTiC)基板
上に鏡面加工されたアルミナ膜が被着されている。第1
の磁性層32は、CoーZrーNbーTaからなるアモルファス
合金をスパッタ形成したものである。
The substrate 3 shown in FIGS. 4 (a) and 5 (a)
In No. 1, a mirror-finished alumina film is deposited on an alumina / titanium carbide (AlTiC) substrate. First
The magnetic layer 32 is formed by sputtering an amorphous alloy of Co-Zr-Nb-Ta.

【0035】図4(b)及び図5(b)は第1の磁性層
がイオンミリング処理されたものである。
4 (b) and 5 (b) show the first magnetic layer subjected to ion milling treatment.

【0036】図4(c)及び図5(c)はSiO2をス
パッタリングする事で第1の絶縁膜33を形成し、その
上に第1の導体層34としてCu薄膜等をスパッタ形成
したものである。
FIGS. 4 (c) and 5 (c) show a case where a first insulating film 33 is formed by sputtering SiO2, and a Cu thin film or the like is sputtered thereon as a first conductor layer 34. is there.

【0037】図4(d)及び図5(d)はイオンミリン
グ処理してパターン化した後に、第2の絶縁膜35とし
てSiO2をスパッタ形成したものである。第2の絶縁
膜35は第1の絶縁膜33と同じSiO2である。
4 (d) and 5 (d) show that SiO 2 is sputtered as the second insulating film 35 after being patterned by ion milling. The second insulating film 35 is the same SiO2 as the first insulating film 33.

【0038】図4(e)及び図5(e)は第2の絶縁膜
35をイオンミリング処理によりパターン化した後に、
PLZT等の誘電体をスパッタリングして絶縁層36を
形成し、その上に第2の導体層37をスパッタ形成した
ものである。第2の導体層37は第1の導体層34と同
じ材質である。
4 (e) and 5 (e) show that after patterning the second insulating film 35 by ion milling,
A dielectric such as PLZT is sputtered to form an insulating layer 36, and a second conductor layer 37 is sputtered thereon. The second conductor layer 37 is made of the same material as the first conductor layer 34.

【0039】図4(f)及び図5(f)のイオンミリン
グ処理により、パターン化したものである。図5(f)
から分かるように導体の容量結合部分38が構成されて
いる。
It is patterned by the ion milling treatment of FIGS. 4 (f) and 5 (f). Figure 5 (f)
As can be seen, the capacitive coupling portion 38 of the conductor is constructed.

【0040】図4(g)及び図5(g)は第3の絶縁膜
39をスパッタリング形成した後イオンミリング処理に
よりパターン化し、その後第2の磁性層30をスパッタ
リング形成し、ドライまたはケミカルエッチングにより
パターン化したものである。
4 (g) and 5 (g), the third insulating film 39 is formed by sputtering and then patterned by ion milling, and then the second magnetic layer 30 is formed by sputtering, and then dry or chemical etching is performed. It is a pattern.

【0041】ここで重要なのは、絶縁膜33、35、3
9の大きさが第1の磁性層32及び第2の磁性層30の
パターンよりも小さいことである。その理由は、磁気コ
アに絶縁層33、35、39による磁気ギャップが形成
されないようにするためである。もし、ここでギャップ
が形成されてしまうと、再生時に、磁気記録媒体からの
漏洩磁束が第1及び第2の磁性層を磁化する際に磁束が
漏れ、損失が生じ再生効率が下がる。また、再生時に導
体層34、37に流れているキャリア信号電流によって
生じる磁性層32、30内部の磁束が、磁気コア表面に
おいて形成された前記ギャップから漏れてしまい、その
磁束によって磁気記録媒体が磁化されてしまう可能性が
あるからである。
Here, it is important that the insulating films 33, 35, 3 are
9 is smaller than the patterns of the first magnetic layer 32 and the second magnetic layer 30. The reason is to prevent the formation of a magnetic gap by the insulating layers 33, 35, 39 in the magnetic core. If a gap is formed here, the magnetic flux leaks from the magnetic recording medium at the time of reproduction, and the magnetic flux leaks when magnetizing the first and second magnetic layers, resulting in a loss and a reduction in reproduction efficiency. Further, the magnetic flux inside the magnetic layers 32 and 30 generated by the carrier signal current flowing through the conductor layers 34 and 37 during reproduction leaks from the gap formed on the surface of the magnetic core, and the magnetic flux magnetizes the magnetic recording medium. This is because there is a possibility that it will be done.

【0042】なお、各層の製法および材質は、ここに記
載したものに限られるものではない。磁性層の材質とし
ては、例えばNiFe合金、Co系の他のアモルファス
膜でも良いし、Fe系の膜でも良い。また製法も、蒸着
やスパッター、メッキ等様々な薄膜製法を用いてもよ
い。第1の磁性層と第2の磁性層は違う材質でもよい。
The manufacturing method and material of each layer are not limited to those described here. The material of the magnetic layer may be, for example, a NiFe alloy, a Co-based amorphous film, or a Fe-based film. As the manufacturing method, various thin film manufacturing methods such as vapor deposition, sputtering and plating may be used. The first magnetic layer and the second magnetic layer may be made of different materials.

【0043】また、高周波での透磁率を高めるための、
磁気コアの多層化なども、有効である。
In order to increase the magnetic permeability at high frequencies,
Multi-layering of the magnetic core is also effective.

【0044】さらに、基板の材質や保護膜の材質及び製
法も本実施例に限定されるものではない。
Furthermore, the material of the substrate, the material of the protective film, and the manufacturing method are not limited to those in this embodiment.

【0045】次に、磁気再生方法及び磁気再生装置に関
する第3の実施例について、図6及び図7を用いて説明
する。図6は、本発明の磁気再生装置を示す概念図であ
り、図7は本発明の磁気再生装置に特に必要な記録再生
回路について示した図である。
Next, a third embodiment of the magnetic reproducing method and the magnetic reproducing apparatus will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is a conceptual diagram showing a magnetic reproducing apparatus of the present invention, and FIG. 7 is a diagram showing a recording / reproducing circuit particularly necessary for the magnetic reproducing apparatus of the present invention.

【0046】図6において、磁気ヘッド400は第1の
実施例で述べた本発明の磁気ヘッドと同じものである。
この磁気ヘッド400は、図示していない浮上型スライ
ダー上に設置されている。第1の磁性層41と第2の磁
性層42とからなる磁気コア46を貫通するように絶縁
配置された導体線45の両端に電極端子43、44が設
けられている。導体線45には磁性層41、42を一方
向にバイアス磁化するために微小レベルの直流電流が流
れる。
In FIG. 6, a magnetic head 400 is the same as the magnetic head of the present invention described in the first embodiment.
The magnetic head 400 is installed on a flying slider (not shown). Electrode terminals 43 and 44 are provided at both ends of a conductor wire 45 that is insulated and arranged so as to penetrate a magnetic core 46 composed of the first magnetic layer 41 and the second magnetic layer 42. A minute level DC current flows through the conductor wire 45 in order to bias magnetize the magnetic layers 41 and 42 in one direction.

【0047】ディスク状磁気記録媒体40は、面内に磁
気容易軸を有するいわゆる面内記録用の記録媒体であ
る。当該ディスク状磁気記録憶媒体40は、非常に平滑
な表面を持つガラスディスク上に記録層として膜厚0.
03μmのCoNiCr膜が被着形成されており、その
直径は25mmである。本実施例の磁気情報再生装置
は、スピンドルモーター等によってディスク状磁気記録
媒体40が図4中の矢印Aの方向に回転し、磁気ヘッド
400が前記ディスク状媒体の上を浮上しながら記録再
生を行う。49は、ディスク状磁気記録媒体40に記録
された磁気情報の磁化ベクトルを示している。
The disk-shaped magnetic recording medium 40 is a so-called in-plane recording medium having a magnetic easy axis in the plane. The disk-shaped magnetic recording medium 40 has a film thickness of 0..0 as a recording layer on a glass disk having a very smooth surface.
A CoNiCr film having a thickness of 03 μm is deposited and has a diameter of 25 mm. In the magnetic information reproducing apparatus of this embodiment, the disk-shaped magnetic recording medium 40 is rotated in the direction of arrow A in FIG. 4 by a spindle motor or the like, and the magnetic head 400 floats above the disk-shaped medium to perform recording / reproduction. To do. Reference numeral 49 indicates a magnetization vector of magnetic information recorded on the disk-shaped magnetic recording medium 40.

【0048】図7は、本実施例の再生回路のブロック図
である。当該再生装置は、磁気ヘッド500と、キャリ
ア信号発生器55と、再生信号検出回路56と、再生ア
ンプ57と、再生信号処理回路58とから構成される。
FIG. 7 is a block diagram of the reproducing circuit of this embodiment. The reproducing apparatus includes a magnetic head 500, a carrier signal generator 55, a reproducing signal detecting circuit 56, a reproducing amplifier 57, and a reproducing signal processing circuit 58.

【0049】磁気ヘッド500は、本発明の磁気ヘッド
400を等価回路的に示したものである。当該磁気ヘッ
ド500は、インピーダンス素子51を有する。インピ
ーダンス素子51は、再生時において、磁気コアに設け
られた導体線45をインピーダンス素子として等価的に
示したものである。図6の電極端子43と44に相当す
る電極端子52、53が接続されている。
The magnetic head 500 is the equivalent circuit of the magnetic head 400 of the present invention. The magnetic head 500 has an impedance element 51. The impedance element 51 is an equivalent element of the conductor wire 45 provided on the magnetic core during reproduction. Electrode terminals 52 and 53 corresponding to the electrode terminals 43 and 44 of FIG. 6 are connected.

【0050】キャリア信号発生器55は、再生時に電極
端子52と53を介してインピーダンス素子51にキャ
リア信号である交流の定電流を流す。また、図示してい
ないがバイヤス磁界を発生させるため導体線45に微小
電流を流す。当該キャリア信号発生器55は、キャリア
信号の発振回路と定電流ドライブ回路と導体線に直流電
流を流す回路とからなる。キャリア信号の周波数は例え
ば500MHzである。
The carrier signal generator 55 supplies an alternating constant current, which is a carrier signal, to the impedance element 51 via the electrode terminals 52 and 53 during reproduction. Although not shown, a minute current is passed through the conductor wire 45 to generate a bias magnetic field. The carrier signal generator 55 includes a carrier signal oscillating circuit, a constant current drive circuit, and a circuit for supplying a direct current to the conductor wire. The frequency of the carrier signal is, for example, 500 MHz.

【0051】再生信号検出回路56は、AM検波回路
(不図示)及びAM復調回路(不図示)とから構成され
る。AM検波回路は、電極端子52と電極端子53との
間の信号を検出する。AM復調回路は、前記AM検波回
路で検出されたAM波を復調して、本来再生すべき信号
を出力する。
The reproduction signal detection circuit 56 is composed of an AM detection circuit (not shown) and an AM demodulation circuit (not shown). The AM detection circuit detects a signal between the electrode terminal 52 and the electrode terminal 53. The AM demodulation circuit demodulates the AM wave detected by the AM detection circuit and outputs a signal to be originally reproduced.

【0052】再生アンプ57は、再生信号検出回路56
で復調された再生信号を増幅する。再生信号処理回路5
8は、再生アンプ57で増幅された再生信号を、出力す
るに適した信号に変換する。例えば符号復調などを行
う。変換された信号は、出力端子59から出力される。
The reproduction amplifier 57 includes a reproduction signal detection circuit 56.
The reproduced signal demodulated by is amplified. Reproduction signal processing circuit 5
Reference numeral 8 converts the reproduction signal amplified by the reproduction amplifier 57 into a signal suitable for output. For example, code demodulation is performed. The converted signal is output from the output terminal 59.

【0053】次に、本実施例の磁気再生装置の再生動作
を図6及び図7を用いて説明する。先ず、図6に示す磁
気ヘッド400がディスク状磁気記録媒体40上の記録
磁化49上を走査する。記録磁化49の上を走査する
と、磁性層41、42からなる磁気コア46に記録磁化
49からの漏洩磁束が通る。磁気コア46は、前記磁束
によって磁化され、透磁率は低下する。
Next, the reproducing operation of the magnetic reproducing apparatus of this embodiment will be described with reference to FIGS. 6 and 7. First, the magnetic head 400 shown in FIG. 6 scans the recording magnetization 49 on the disk-shaped magnetic recording medium 40. When the recording magnetization 49 is scanned, the leakage magnetic flux from the recording magnetization 49 passes through the magnetic core 46 composed of the magnetic layers 41 and 42. The magnetic core 46 is magnetized by the magnetic flux, and its magnetic permeability decreases.

【0054】一方、電極端子43、44間には、図7に
示すキャリア信号発生器55により2MHzのキャリア
信号電流が流されており、その電流により変化する電極
端子43、44間の信号電圧Vは、V=ZI(但しI
は、一定)の関係式より電極端子間のインピーダンスZ
により決定される。このインピーダンスZは、磁気コア
46の透磁率が低下すると、インピーダンスZも低下す
る関係にある。即ち、磁気記録媒体からの漏れ磁界が大
きいとインピーダンスZが小さくなり、漏れ磁界が小さ
いとインピーダンスZが大きくなる関係にある。例え
ば、図8に示すように、磁気ヘッドが読み取った磁気記
録媒体のもれ磁界が、−a〜+aの範囲で変動している
とする。ここで、−+の極性は、磁界の向きを示す。す
ると、図9に示すように、インピーダンスZの値は、磁
気記録媒体からの漏れ磁界である外部磁界Hextが0の
ときは、インピーダンス値は、大きな値b2をとり、漏
れ磁界が、−a又は+aのときは、小さい値b2をと
る。
On the other hand, a carrier signal current of 2 MHz is made to flow between the electrode terminals 43 and 44 by the carrier signal generator 55 shown in FIG. 7, and the signal voltage V between the electrode terminals 43 and 44 which changes depending on the current. Is V = ZI (where I
Is a constant), the impedance Z between the electrode terminals is
Is determined by The impedance Z has a relationship in which the impedance Z decreases as the magnetic permeability of the magnetic core 46 decreases. That is, the impedance Z decreases when the leakage magnetic field from the magnetic recording medium is large, and the impedance Z increases when the leakage magnetic field is small. For example, as shown in FIG. 8, it is assumed that the stray magnetic field of the magnetic recording medium read by the magnetic head fluctuates in the range of −a to + a. Here, the polarity of − + indicates the direction of the magnetic field. Then, as shown in FIG. 9, when the external magnetic field Hext which is the leakage magnetic field from the magnetic recording medium is 0, the impedance Z takes a large value b2 and the leakage magnetic field is -a or When it is + a, it takes a small value b2.

【0055】ただし、このインピーダンス値の高低は、
記録磁化49からの漏れ磁界の強さに反比例するもの
の、記録磁化49の極性には無関係である。コアを通過
する磁束量が同じであれば、電極端子43、44間の信
号電圧は同じになる。
However, the level of this impedance value is
Although it is inversely proportional to the strength of the leakage magnetic field from the recording magnetization 49, it has nothing to do with the polarity of the recording magnetization 49. If the amount of magnetic flux passing through the core is the same, the signal voltage between the electrode terminals 43 and 44 will be the same.

【0056】そこで、このままではいかなる信号処理を
行っても記録磁化を再現することができないので、記録
磁化の極性によってインピーダンス値が変化するように
するため磁気コアを一方向に直流バイアス磁化してい
る。具体的には、例えば、図6に示す導体線45に直流
の微小電流(図7に示すキャリア信号発生器55から流
される。)を流すことにより磁気コアを一方向に直流バ
イアス磁化する。その結果、記録磁化49の極性に応じ
て信号電圧が変化するようになる。図10は、大きさd
で極性が−のバイアス磁界をかけたときの、インピーダ
ンスZと外部磁界Hextの関係を示した図である。図9
と対比してみると、バイアス磁界dの分だけ、曲線が右
に移動していることが分かる。インピーダンスZの値
は、磁気記録媒体からの漏れ磁界が−aのときは、イン
ピーダンス値は最小値c3をとり、漏れ磁界が0のとき
は、インピーダンスZの値は中間値c2をとり、漏れ磁
界が+aのときは、最大値c1をとっていることから分
かるように、外部磁界の極性を反映したインピーダンス
値をとる。
Therefore, since the recording magnetization cannot be reproduced by any signal processing as it is, the magnetic core is DC bias magnetized in one direction in order to change the impedance value depending on the polarity of the recording magnetization. . Specifically, for example, a small amount of direct current (flown from the carrier signal generator 55 shown in FIG. 7) is passed through the conductor wire 45 shown in FIG. 6 to direct-bias magnetize the magnetic core in one direction. As a result, the signal voltage changes according to the polarity of the recording magnetization 49. FIG. 10 shows the size d
6 is a diagram showing the relationship between the impedance Z and the external magnetic field Hext when a bias magnetic field of negative polarity is applied in FIG. FIG.
It can be seen that the curve moves to the right by the bias magnetic field d. Regarding the value of the impedance Z, when the leakage magnetic field from the magnetic recording medium is −a, the impedance value takes the minimum value c3, and when the leakage magnetic field is 0, the value of the impedance Z takes the intermediate value c2, and the leakage magnetic field When is + a, the impedance value reflects the polarity of the external magnetic field, as can be seen from the maximum value c1.

【0057】このように、外部磁界及びキャリア信号電
流に基づいて変化するインピーダンス値に基づいて変化
する電圧が、電極端子52、53に現れる。
In this way, the voltage that changes based on the impedance value that changes based on the external magnetic field and the carrier signal current appears at the electrode terminals 52 and 53.

【0058】ここで、磁気ヘッド400は、次々に極性
やその長さの異なる記録磁化上を走査するので、電極端
子52、53間の電圧の変化は、キャリア信号電流をキ
ャリアーとするAM波となる。このAM波は、再生信号
検出回路56において再生信号として復調され、再生ア
ンプ57に出力される。再生アンプ57は、復調された
再生信号を増幅し、再生信号処理回路58に出力する。
再生信号処理回路58は、再生信号を出力するに適した
信号に変換し、出力端子59から出力する。
Here, since the magnetic head 400 scans the recording magnetizations having different polarities and different lengths one after another, the voltage change between the electrode terminals 52 and 53 causes an AM wave whose carrier is the carrier signal current. Become. This AM wave is demodulated as a reproduction signal in the reproduction signal detection circuit 56 and output to the reproduction amplifier 57. The reproduction amplifier 57 amplifies the demodulated reproduction signal and outputs it to the reproduction signal processing circuit 58.
The reproduction signal processing circuit 58 converts the reproduction signal into a signal suitable for output, and outputs the signal from an output terminal 59.

【0059】ここでインピーダンスZの絶対値は(数
1)で表わされる。
Here, the absolute value of the impedance Z is expressed by (Equation 1).

【0060】[0060]

【数1】 [Equation 1]

【0061】前述したように出力はZに比例するため、
高出力を得るには磁気コアを貫通した各導体のZIが単
純に加算されれば良い。ところが磁気コアを4カ所で貫
通した本発明の磁気ヘッド400の導体45のインピー
ダンスZは、その位相がインダクタンス(L)成分によ
り遅れ、キャパシタンス(C)成分により進むため各導
体間で位相のずれが生じる。そこでL成分による位相の
遅れとC成分による位相の進みが相殺されるように、す
なわち(数2)に示す如く磁気ヘッド400の容量結合
部分47の絶縁層48の厚さを決定した。
Since the output is proportional to Z as described above,
To obtain a high output, ZI of each conductor penetrating the magnetic core may simply be added. However, since the impedance Z of the conductor 45 of the magnetic head 400 of the present invention penetrating the magnetic core at four places is delayed by the inductance (L) component and advanced by the capacitance (C) component, there is a phase shift between the conductors. Occurs. Therefore, the thickness of the insulating layer 48 of the capacitive coupling portion 47 of the magnetic head 400 is determined so as to cancel the phase delay due to the L component and the phase advance due to the C component, as shown in (Equation 2).

【0062】[0062]

【数2】 [Equation 2]

【0063】このような処理をする事でZIは4カ所で
貫通した導体のそれぞれのZI(1〜4)の和、即ち、 ZI=ZI(1)+ZI(2)+ZI(3)+ZI
(4)となる。
By performing such processing, ZI is the sum of ZI (1-4) of the conductors penetrating at four places, that is, ZI = ZI (1) + ZI (2) + ZI (3) + ZI.
It becomes (4).

【0064】(数2)から絶縁層48の厚さの求め方に
ついて説明する。(数3)はキャパシタンスを示す。
A method of obtaining the thickness of the insulating layer 48 from (Equation 2) will be described. (Equation 3) shows capacitance.

【0065】[0065]

【数3】 (Equation 3)

【0066】インピーダンスについては(数4)に示す
如く仮定した。
The impedance is assumed as shown in (Equation 4).

【0067】[0067]

【数4】 (Equation 4)

【0068】式中の代理数については図11に示す。こ
こで導体45は銅であるから比透磁率は1である。絶縁
層PLZTの比誘電率は2300である。絶縁面の面積
Sは50μm×25μmとした。導体45の断面積は2
5μm×1ミクロンとした。従ってr2は2ミクロンで
ある。r1は100μmとした。キャリア周波数は50
0MHzである。(数2)に(数3)及び、(数4)を
代入する事で絶縁層48の厚さは7nmとした。実施例
においてはスパッタリングによりPLZTを製膜した後
膜厚を測定し、7nmのものを選択することで絶縁層4
8の厚さを制御した。
The number of surrogates in the equation is shown in FIG. Here, since the conductor 45 is copper, the relative magnetic permeability is 1. The relative dielectric constant of the insulating layer PLZT is 2300. The area S of the insulating surface was 50 μm × 25 μm. The cross-sectional area of the conductor 45 is 2
The size was 5 μm × 1 micron. Therefore r2 is 2 microns. r1 was 100 μm. Carrier frequency is 50
0 MHz. The thickness of the insulating layer 48 was set to 7 nm by substituting (Equation 3) and (Equation 4) into (Equation 2). In the examples, the insulating layer 4 is formed by measuring the film thickness after forming PLZT by sputtering and selecting the film thickness of 7 nm.
The thickness of 8 was controlled.

【0069】このようにL成分による位相の遅れとC成
分による位相の進みが相殺されるようにすることで、全
ての導体のインピーダンス成分の単純和として出力を検
出することができ、精度を上げることができる。
By thus canceling the phase delay due to the L component and the phase advance due to the C component, the output can be detected as a simple sum of the impedance components of all conductors, and the accuracy is improved. be able to.

【0070】以上説明してきたように、本発明の磁気イ
ンピーダンス素子を用い、記録は従来の方法で行ない、
再生を磁気インピーダンス素子により行なうことで、従
来の複合型MRヘッドのように再生用に特に磁気ギャッ
プを設ける必要がなく、さらにシールド層も必要がない
比較的簡単な構成で、再生感度が従来の誘導型ヘッドよ
りも優れた磁束応答型の磁気記録再生ヘッドが得られ
る。
As described above, recording is performed by the conventional method using the magneto-impedance element of the present invention,
Since the reproduction is performed by the magnetic impedance element, it is not necessary to provide a magnetic gap for reproduction like a conventional composite MR head, and a shield layer is not necessary. A magnetic flux response type magnetic recording / reproducing head superior to the induction type head can be obtained.

【0071】なお、磁気コア等の材質は、ここに記載し
たものに限られるものではない。材質としては、例え
ば、Co系の他のアモルファス膜でも良いし、Fe系の
膜でも良い。磁気ヘッドの磁気コアと磁気インピーダン
ス素子の磁気コアとは同じ材質でもよい。
The materials for the magnetic core and the like are not limited to those described here. The material may be, for example, a Co-based amorphous film or a Fe-based film. The magnetic core of the magnetic head and the magnetic core of the magnetic impedance element may be made of the same material.

【0072】また、高周波での透磁率を高めるための、
磁気インピーダンス素子の磁気コアの多層化なども、有
効である。
In order to increase the magnetic permeability at high frequencies,
Multi-layering of the magnetic core of the magneto-impedance element is also effective.

【0073】さらに、磁気ヘッドの形状も本実施例に示
された形状に限定されるものではない。磁気インピーダ
ンス素子は磁気コアの磁化容易軸が磁気ヘッドの磁気コ
ア中の磁束に平行であれば本実施例以外の磁気コア中の
他の部分に配置されてもよい。
Further, the shape of the magnetic head is not limited to the shape shown in this embodiment. The magneto-impedance element may be arranged in another portion of the magnetic core other than this embodiment as long as the easy axis of magnetization of the magnetic core is parallel to the magnetic flux in the magnetic core of the magnetic head.

【0074】[0074]

【発明の効果】請求項1の発明の磁気ヘッドは、磁気コ
アを貫通する導体が絶縁配置された構成であり、MRヘ
ッドと比較し、より単純な構造であるので、その製造工
程もより単純であって、比較的高い歩留まりを確保しや
すく、量産性に優れている。さらに、従来よりも感度の
高い磁気インピーダンス効果による再生が可能になる。
また、磁気コアの複数カ所において導体が貫通絶縁配置
されることから更に高感度が達成できる。さらに従来の
MRヘッド同様に磁束応答型なので、記録再生装置の小
型化による低速度化にも対応できる。
The magnetic head according to the first aspect of the present invention has a structure in which the conductors penetrating the magnetic core are arranged in an insulating manner, and has a simpler structure than the MR head, so the manufacturing process is also simpler. In addition, it is easy to secure a relatively high yield and is excellent in mass productivity. Further, it becomes possible to reproduce by the magneto-impedance effect having higher sensitivity than before.
Further, since the conductors are arranged in a through insulation manner at a plurality of positions of the magnetic core, higher sensitivity can be achieved. Further, since it is a magnetic flux response type like the conventional MR head, it is possible to cope with the speed reduction due to the miniaturization of the recording / reproducing apparatus.

【0075】請求項2及び請求項3の発明は、導体を容
量結合することでインピーダンス成分の遅れをキャパシ
タンス成分の進みで相殺することが可能となり、感度の
高いヘッドを提供できる。
According to the second and third aspects of the present invention, by capacitively coupling the conductors, the delay of the impedance component can be canceled by the advance of the capacitance component, and a highly sensitive head can be provided.

【0076】請求項4における発明では、鉛、ランタ
ン、亜鉛、及びチタンを主成分とする酸化物は比誘電率
が高いため、本発明の磁気ヘッドにおいて絶縁層の厚さ
が制御可能となる。
According to the fourth aspect of the invention, since the oxide containing lead, lanthanum, zinc, and titanium as the main components has a high relative dielectric constant, the thickness of the insulating layer can be controlled in the magnetic head of the present invention.

【0077】請求項5の発明では、導体を2回に分けて
形成することで、容量結合を精度良く行なうことが出来
る。
According to the fifth aspect of the present invention, the capacitive coupling can be performed accurately by forming the conductor in two steps.

【0078】請求項6の発明では、ヘッドの導体のイン
ダクタンス成分による位相の遅れとキャパシタンス成分
による位相の進みが相殺されるように容量結合部分の絶
縁層の厚さを決定することで、全ての導体のインピーダ
ンス成分の単純和として出力を検出することができ、簡
単に高感度を達成できる。
According to the sixth aspect of the invention, the thickness of the insulating layer in the capacitive coupling portion is determined so that the phase delay due to the inductance component of the head conductor and the phase lead due to the capacitance component cancel each other. The output can be detected as a simple sum of the impedance components of the conductors, and high sensitivity can be easily achieved.

【0079】請求項7の発明は、本発明の磁気ヘッドを
登載することで磁気インピーダンス効果による再生が可
能となり、再生感度が従来の誘導型ヘッドよりも優れて
いる。さらに従来のMRヘッド同様に磁束応答型なの
で、記録再生装置の小型化による低速度化にも対応でき
る磁気再生装置を提供できる。
According to the seventh aspect of the present invention, by mounting the magnetic head of the present invention, reproduction by the magnetic impedance effect is possible, and the reproduction sensitivity is superior to that of the conventional inductive head. Further, since it is of the magnetic flux response type like the conventional MR head, it is possible to provide a magnetic reproducing apparatus which can cope with a reduction in speed due to downsizing of the recording and reproducing apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドの外観図FIG. 1 is an external view of a magnetic head of the present invention.

【図2】本発明の磁気ヘッドの外観図FIG. 2 is an external view of a magnetic head of the present invention.

【図3】本発明の磁気ヘッドの等価回路図FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the magnetic head of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施例の製造方法を説明するた
めの断面図
FIG. 4 is a sectional view for explaining the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施例の製造方法を説明するた
めの断面図
FIG. 5 is a sectional view for explaining the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の磁気再生装置の概念図FIG. 6 is a conceptual diagram of a magnetic reproducing apparatus of the present invention.

【図7】本発明の磁気再生装置のブロック図FIG. 7 is a block diagram of a magnetic reproducing apparatus of the present invention.

【図8】媒体からの漏れ磁界の経時変化を示す図FIG. 8 is a diagram showing changes over time in the leakage magnetic field from the medium.

【図9】バイアス磁界がかけられていない場合の、外部
磁界とインピーダンスとの関係を示す図
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between an external magnetic field and impedance when a bias magnetic field is not applied.

【図10】バイアス磁界がかけられている場合の、外部
磁界とインピーダンスとの関係を示す図
FIG. 10 is a diagram showing a relationship between an external magnetic field and impedance when a bias magnetic field is applied.

【図11】本発明の磁気ヘッドを示す概略図FIG. 11 is a schematic view showing a magnetic head of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の磁性層 2 第2の磁性層 3 導体線 4 絶縁層 5,6 電極端子 7 絶縁膜 21 インピーダンス素子 22 キャリヤ信号発生器 23,24 電極端子 25 再生電圧出力回路 26 端子 31 基板 32 第1の磁性層 33 第1の絶縁膜 34 導体層 35 第2の絶縁膜 36 絶縁層 37 第2の磁性層 38 容量結合部分 39 第3の絶縁膜 30 第2の磁性層 400 磁気ヘッド 40 ディスク状磁気記録媒体 41 第1の磁性層 42 第2の磁性層 43 電極端子 44 電極端子 45 導体線 46 磁気コア 47 容量結合部分 48 絶縁層 49 磁気情報の磁化ベクトル 500 磁気ヘッド 51 インピーダンス素子 52,53 電極端子 55 キャリア信号発生器 56 再生信号検出回路 57 再生アンプ 58 再生信号処理回路 59 出力端子 1 1st magnetic layer 2 2nd magnetic layer 3 Conductor wire 4 Insulating layer 5,6 Electrode terminal 7 Insulating film 21 Impedance element 22 Carrier signal generator 23, 24 Electrode terminal 25 Reproduction voltage output circuit 26 Terminal 31 Substrate 32th First magnetic layer 33 First insulating film 34 Conductor layer 35 Second insulating film 36 Insulating layer 37 Second magnetic layer 38 Capacitive coupling portion 39 Third insulating film 30 Second magnetic layer 400 Magnetic head 40 Disk shape Magnetic recording medium 41 First magnetic layer 42 Second magnetic layer 43 Electrode terminal 44 Electrode terminal 45 Conductor wire 46 Magnetic core 47 Capacitive coupling portion 48 Insulating layer 49 Magnetic information magnetization vector 500 Magnetic head 51 Impedance element 52, 53 Electrode Terminal 55 Carrier signal generator 56 Reproduction signal detection circuit 57 Reproduction amplifier 58 Reproduction signal processing circuit 59 Output terminal

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1及び第2の軟磁性層からなる磁気コ
アと前記磁気コア中に絶縁配置した導体とからなり、前
記導体の両端に電極を備え、前記導体が前記磁気コア中
の少なくとも複数ヵ所において絶縁配置されることを特
徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic core composed of first and second soft magnetic layers and a conductor insulated in the magnetic core, and electrodes are provided at both ends of the conductor, wherein the conductor is at least in the magnetic core. A magnetic head characterized by being insulatedly arranged at a plurality of locations.
【請求項2】 前記導体は導体中に所望厚からなる絶縁
層を挟むことで容量結合されることを特徴とする請求項
1記載の磁気ヘッド。
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the conductor is capacitively coupled by sandwiching an insulating layer having a desired thickness in the conductor.
【請求項3】 前記磁気コアは第1及び第2の軟磁性層
からなり、前記導体は前記第1及び第2の軟磁性層との
間に絶縁配置された導体層であり、前記導体に設けられ
た前記容量結合部分は前記磁気コアの外部に位置するこ
とを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド。
3. The magnetic core is composed of first and second soft magnetic layers, and the conductor is a conductor layer which is disposed so as to be insulated from the first and second soft magnetic layers. 3. The magnetic head according to claim 2, wherein the provided capacitive coupling portion is located outside the magnetic core.
【請求項4】 前記容量結合を構成する絶縁層は鉛、ラ
ンタン、亜鉛、及びチタンを主成分とする酸化物である
事を特徴とする請求項3記載の磁気ヘッド。
4. The magnetic head according to claim 3, wherein the insulating layer forming the capacitive coupling is an oxide containing lead, lanthanum, zinc, and titanium as main components.
【請求項5】 前記第1の磁性層を形成する工程と、第
1の絶縁層を形成する第1の絶縁層形成工程と、前記第
1の絶縁層の上に前記導体層の一部をパターン形成する
第1の導体層形成工程と、第2の絶縁層を形成する第2
の絶縁層形成工程と容量結合の誘電体部分である絶縁層
の形成工程と前記導体層の残りの部分をパターン形成す
る第2の導体層形成工程と、前記導体層の上に第3の絶
縁層を形成する第3の絶縁層形成工程と、前記第3の絶
縁層の上に第2の磁性層を形成する第2の磁性層形成工
程とを有することを特徴とする請求項3記載の磁気ヘッ
ドの製造方法。
5. A step of forming the first magnetic layer, a step of forming a first insulating layer, and a step of forming a part of the conductor layer on the first insulating layer. A first conductor layer forming step of forming a pattern, and a second forming of a second insulating layer
Of the insulating layer, the step of forming an insulating layer which is a dielectric portion for capacitive coupling, the step of forming a second conductor layer for patterning the remaining portion of the conductor layer, and the third insulating layer on the conductor layer. 4. A third insulating layer forming step of forming a layer, and a second magnetic layer forming step of forming a second magnetic layer on the third insulating layer. Magnetic head manufacturing method.
【請求項6】 請求項2記載のヘッドを用いた再生方法
であって、前記ヘッドの導体のインダクタンス成分によ
る位相の遅れとキャパシタンス成分による位相の進みが
相殺されるように前記容量結合部分の絶縁層の厚さを決
定し、全ての導体のインピーダンス成分の単純和として
出力を検出することを特徴とする再生方法。
6. A reproducing method using a head according to claim 2, wherein insulation of the capacitive coupling portion is performed so that a phase delay due to an inductance component of the conductor of the head and a phase advance due to a capacitance component cancel each other out. A reproducing method characterized by determining the layer thickness and detecting the output as a simple sum of impedance components of all conductors.
【請求項7】 前記導体の両端の電極に定電流の高周波
信号を印加するキャリア信号発生器と、前記磁気コアに
バイアス磁界を発生させるバイアス磁界発生手段とを有
し、請求項2記載の磁気ヘッドを用いたことを特徴とす
る磁気再生装置。
7. A magnetic field generator according to claim 2, further comprising a carrier signal generator for applying a constant-current high-frequency signal to electrodes on both ends of the conductor, and bias magnetic field generating means for generating a bias magnetic field in the magnetic core. A magnetic reproducing device characterized by using a head.
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