JPH09319440A - 高周波電源回路における短絡回路 - Google Patents
高周波電源回路における短絡回路Info
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- JPH09319440A JPH09319440A JP8135263A JP13526396A JPH09319440A JP H09319440 A JPH09319440 A JP H09319440A JP 8135263 A JP8135263 A JP 8135263A JP 13526396 A JP13526396 A JP 13526396A JP H09319440 A JPH09319440 A JP H09319440A
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- coil
- capacitor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で、他の電源からの干渉を防ぐこ
とができる高周波電源回路における短絡回路を実現す
る。 【解決手段】 ＲＦ電源６からの高周波電力を負荷に供
給する場合、制御回路６からの直流電流の供給は停止さ
れている。この場合、コンデンサ３とコイル５のインダ
クタンスは大きいため、ＲＦ電源１からのＲＦ出力に影
響を与えることはない。次に、ＲＦ電源６からの高周波
出力を停止し、端子２に接続された他のＲＦ電源から高
周波出力を発生させる場合、制御回路６から直流電流が
コンデンサ３とコイル５との間に供給される。その結
果、コイル５に電流が流され、コア４は磁気飽和を起こ
してインダクタンスは大幅に減少する。したがって、Ｒ
Ｆ電源１の出力ラインは短絡されることになり、端子２
からＲＦ電源１に向かう外部からの高周波電力の侵入は
阻止される。
とができる高周波電源回路における短絡回路を実現す
る。 【解決手段】 ＲＦ電源６からの高周波電力を負荷に供
給する場合、制御回路６からの直流電流の供給は停止さ
れている。この場合、コンデンサ３とコイル５のインダ
クタンスは大きいため、ＲＦ電源１からのＲＦ出力に影
響を与えることはない。次に、ＲＦ電源６からの高周波
出力を停止し、端子２に接続された他のＲＦ電源から高
周波出力を発生させる場合、制御回路６から直流電流が
コンデンサ３とコイル５との間に供給される。その結
果、コイル５に電流が流され、コア４は磁気飽和を起こ
してインダクタンスは大幅に減少する。したがって、Ｒ
Ｆ電源１の出力ラインは短絡されることになり、端子２
からＲＦ電源１に向かう外部からの高周波電力の侵入は
阻止される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマプロセス
装置などに使用して最適な高周波電源回路における短絡
回路に関する。
装置などに使用して最適な高周波電源回路における短絡
回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラズマを使用してチャンバー内のガス
をイオン化するようにしたプラズマプロセス機器は、年
々構造が複雑になってきている。例えば、異なった周波
数の高周波を発生するＲＦ電源を複数用意し、負荷に異
なった周波数の高周波を供給することが行われている。
をイオン化するようにしたプラズマプロセス機器は、年
々構造が複雑になってきている。例えば、異なった周波
数の高周波を発生するＲＦ電源を複数用意し、負荷に異
なった周波数の高周波を供給することが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記したプラズマプロ
セスの機器では、異なったＲＦ電源の間の干渉が問題と
なる。異なったＲＦ電源を同時運転する場合では、２種
の高周波の位相を揃えることで干渉の問題を回避するこ
とができる。しかしながら、一方のＲＦ電源からの高周
波を負荷に供給するときに、他方のＲＦ電源からの高周
波の発生を停止する場合には、位相を揃える手法を用い
ることができない。その結果、一方のＲＦ電源を停止し
た際、他方のＲＦ電源からの高周波電力により一方のＲ
Ｆ電源中のパワートランジスタ等が破壊される恐れが生
じる。
セスの機器では、異なったＲＦ電源の間の干渉が問題と
なる。異なったＲＦ電源を同時運転する場合では、２種
の高周波の位相を揃えることで干渉の問題を回避するこ
とができる。しかしながら、一方のＲＦ電源からの高周
波を負荷に供給するときに、他方のＲＦ電源からの高周
波の発生を停止する場合には、位相を揃える手法を用い
ることができない。その結果、一方のＲＦ電源を停止し
た際、他方のＲＦ電源からの高周波電力により一方のＲ
Ｆ電源中のパワートランジスタ等が破壊される恐れが生
じる。
【０００４】その場合、ＲＦ電源の交互運転がゆっくり
した動きであれば、リレー等で使用しないＲＦ電源の出
力ラインをシャントすることで干渉を防ぐことができる
が、早い繰り返しの交互運転では、リレーを使用するこ
とはできない。
した動きであれば、リレー等で使用しないＲＦ電源の出
力ラインをシャントすることで干渉を防ぐことができる
が、早い繰り返しの交互運転では、リレーを使用するこ
とはできない。
【０００５】他の干渉を防ぐ対策としては、ＰＩＮダイ
オードを使用することが考えられる。しかし、プラズマ
プロセスで使用される周波数は高く（例えば、１３．５
６ＭＨｚ）、ハイパワーで使用できるＰＩＮダイオード
は、入手が難しい。そして、このようなダイオードが入
手できたとしても、高価であり、コストダウンが要求さ
れるプラズマプロセス機器での使用は困難である。
オードを使用することが考えられる。しかし、プラズマ
プロセスで使用される周波数は高く（例えば、１３．５
６ＭＨｚ）、ハイパワーで使用できるＰＩＮダイオード
は、入手が難しい。そして、このようなダイオードが入
手できたとしても、高価であり、コストダウンが要求さ
れるプラズマプロセス機器での使用は困難である。
【０００６】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、簡単な構成で、他の電源からの干
渉を防ぐことができる高周波電源回路における短絡回路
を実現するにある。
もので、その目的は、簡単な構成で、他の電源からの干
渉を防ぐことができる高周波電源回路における短絡回路
を実現するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
高周波電源回路における短絡回路は、高周波電源の出力
ラインに並列に、コンデンサとコアに巻かれたコイルと
の直列回路を接続し、コンデンサとコイルとの間に直流
電流を供給するようにしたことを特徴としている。
高周波電源回路における短絡回路は、高周波電源の出力
ラインに並列に、コンデンサとコアに巻かれたコイルと
の直列回路を接続し、コンデンサとコイルとの間に直流
電流を供給するようにしたことを特徴としている。
【０００８】請求項１の発明では、コンデンサとコアに
巻かれたコイルとの直列回路の、コンデンサとコイルと
の間に直流電流を供給し、高周波出力ラインを短絡す
る。請求項２の発明に基づく高周波電源回路における短
絡回路は、直流電流は、コンデンサとコアに巻かれたコ
イルとの直列回路が直列共振するような値としたことを
特徴としている。
巻かれたコイルとの直列回路の、コンデンサとコイルと
の間に直流電流を供給し、高周波出力ラインを短絡す
る。請求項２の発明に基づく高周波電源回路における短
絡回路は、直流電流は、コンデンサとコアに巻かれたコ
イルとの直列回路が直列共振するような値としたことを
特徴としている。
【０００９】請求項２の発明では、コンデンサとコアに
巻かれたコイルとの直列回路の、コンデンサとコイルと
の間に、直列回路が直列共振するような直流電流を供給
し、高周波出力ラインを短絡する。
巻かれたコイルとの直列回路の、コンデンサとコイルと
の間に、直列回路が直列共振するような直流電流を供給
し、高周波出力ラインを短絡する。
【００１０】請求項３の発明に基づく高周波電源回路に
おける短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列に、
コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を複数
接続したことを特徴としている。
おける短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列に、
コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を複数
接続したことを特徴としている。
【００１１】請求項３の発明では、高周波電源の出力ラ
インに並列に、コンデンサとコアに巻かれたコイルとの
直列回路を複数接続する。
インに並列に、コンデンサとコアに巻かれたコイルとの
直列回路を複数接続する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく短絡
回路の基本構成を示す図であり、１はＲＦ電源である。
ＲＦ電源１からの高周波出力は、出力端子２から図示し
ていない負荷に供給される。また、出力端子２には、図
示していないが他のＲＦ電源が接続されている。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく短絡
回路の基本構成を示す図であり、１はＲＦ電源である。
ＲＦ電源１からの高周波出力は、出力端子２から図示し
ていない負荷に供給される。また、出力端子２には、図
示していないが他のＲＦ電源が接続されている。
【００１３】ＲＦ電源１の出力ラインに並列に、コンデ
ンサ３と直列に接続されたコア４に巻かれたコイル５が
設けられている。コンデンサ３とコイル５との間には、
制御回路６からコイル７を介して直流電流が供給され
る。このような構成の動作を次に説明する。
ンサ３と直列に接続されたコア４に巻かれたコイル５が
設けられている。コンデンサ３とコイル５との間には、
制御回路６からコイル７を介して直流電流が供給され
る。このような構成の動作を次に説明する。
【００１４】ＲＦ電源１からの高周波電力を負荷に供給
する場合、制御回路６からの直流電流の供給は停止され
ている。この場合、コンデンサ３とコイル５のインダク
タンスは大きいため、ＲＦ電源１からのＲＦ出力に影響
を与えることはない。
する場合、制御回路６からの直流電流の供給は停止され
ている。この場合、コンデンサ３とコイル５のインダク
タンスは大きいため、ＲＦ電源１からのＲＦ出力に影響
を与えることはない。
【００１５】次に、ＲＦ電源１からの高周波出力を停止
し、端子２に接続された他のＲＦ電源から高周波出力を
発生させる場合、制御回路６から直流電流がコンデンサ
３とコイル５との間に供給される。その結果、コイル５
に電流が流され、コア４は磁気飽和を起こしてインダク
タンスは大幅に減少する。したがって、ＲＦ電源１の出
力ラインは短絡されることになり、端子２からＲＦ電源
１に向かう外部からの高周波電力の侵入は阻止される。
し、端子２に接続された他のＲＦ電源から高周波出力を
発生させる場合、制御回路６から直流電流がコンデンサ
３とコイル５との間に供給される。その結果、コイル５
に電流が流され、コア４は磁気飽和を起こしてインダク
タンスは大幅に減少する。したがって、ＲＦ電源１の出
力ラインは短絡されることになり、端子２からＲＦ電源
１に向かう外部からの高周波電力の侵入は阻止される。
【００１６】ここで、磁気飽和によるインダクタンスの
減少が充分でない場合で、外部から侵入する高周波電力
の周波数が単一の場合、コンデンサ３との直列共振の現
象を利用することで、短絡状態を達成することができ
る。
減少が充分でない場合で、外部から侵入する高周波電力
の周波数が単一の場合、コンデンサ３との直列共振の現
象を利用することで、短絡状態を達成することができ
る。
【００１７】すなわち、直流電流が０の時、直列回路の
インピーダンスＺは、Ｃをコンデンサ３の容量、Ｌをコ
イル５のインピーダンスとすると、次のようになる。 Ｚ＝１／（ｊωＣ）＋ｊωＬ このインピーダンスＺの値は、通常はｊωＬにほぼ等し
く、十分大きいものとなる。ここで、制御回路６からω
Ｌ≒１／（ωＣ）となるように直流電流を流すと、イン
ピーダンスＺはＺ＝ｊ｛ωＬ−１／（ωＣ）｝≒０とな
り、インピーダンスＺをほぼ０とすることができる。
インピーダンスＺは、Ｃをコンデンサ３の容量、Ｌをコ
イル５のインピーダンスとすると、次のようになる。 Ｚ＝１／（ｊωＣ）＋ｊωＬ このインピーダンスＺの値は、通常はｊωＬにほぼ等し
く、十分大きいものとなる。ここで、制御回路６からω
Ｌ≒１／（ωＣ）となるように直流電流を流すと、イン
ピーダンスＺはＺ＝ｊ｛ωＬ−１／（ωＣ）｝≒０とな
り、インピーダンスＺをほぼ０とすることができる。
【００１８】図２は上記回路を用いた一実験例を示して
いる。この実験例では、１３．５６ＭＨｚの高周波電力
を発生するＲＦ電源１に端子２から１ｋＷの外部ＲＦ電
力（１３．５６ＭＨｚ）を直接投入している。図２
（ａ）はＲＦ電源１の内部の増幅器のトランジスタコレ
クタ電圧の波形であり、図２（ｂ）は制御回路６からの
直流電流波形である。
いる。この実験例では、１３．５６ＭＨｚの高周波電力
を発生するＲＦ電源１に端子２から１ｋＷの外部ＲＦ電
力（１３．５６ＭＨｚ）を直接投入している。図２
（ａ）はＲＦ電源１の内部の増幅器のトランジスタコレ
クタ電圧の波形であり、図２（ｂ）は制御回路６からの
直流電流波形である。
【００１９】最初に制御回路６からの直流電流が０の
時、トランジスタコレクタには約１０ＶｐｐのＲＦ波形
が表れている。次に制御回路６から１０Ａの直流電流を
流すと、その間はコレクタ電圧はほぼ０になり、外部Ｒ
Ｆ電力が阻止されていることが分かる。また、制御回路
６からの直流電流の供給を停止すると、再びトランジス
タコレクタにはＲＦ波形が表れる。
時、トランジスタコレクタには約１０ＶｐｐのＲＦ波形
が表れている。次に制御回路６から１０Ａの直流電流を
流すと、その間はコレクタ電圧はほぼ０になり、外部Ｒ
Ｆ電力が阻止されていることが分かる。また、制御回路
６からの直流電流の供給を停止すると、再びトランジス
タコレクタにはＲＦ波形が表れる。
【００２０】図３は本発明の短絡回路を用いたプラズマ
プロセスシステムの一例を示しており、図１の回路と同
一ないしは類似の構成には同一番号を付しその詳細な説
明は省略する。
プロセスシステムの一例を示しており、図１の回路と同
一ないしは類似の構成には同一番号を付しその詳細な説
明は省略する。
【００２１】第１のＲＦ電源１は周波数ｆ１の高周波電
力を発生し、この電力はインピーダンス整合回路８を介
して出力端子２に供給される。出力端子２は負荷に接続
されている。また、第２のＲＦ電源９は周波数ｆ２の高
周波電力を発生し、この電力はインピーダンス整合回路
１０を介して出力端子２に供給される。
力を発生し、この電力はインピーダンス整合回路８を介
して出力端子２に供給される。出力端子２は負荷に接続
されている。また、第２のＲＦ電源９は周波数ｆ２の高
周波電力を発生し、この電力はインピーダンス整合回路
１０を介して出力端子２に供給される。
【００２２】第１のＲＦ電源１には、並列に、コンデン
サ３と直列に接続されたコア４に巻かれたコイル５が設
けられている。コンデンサ３とコイル５との間には、制
御回路６からコイル７を介して直流電流が供給される。
また、第２のＲＦ電源９には、並列に、コンデンサ１１
と直列に接続されたコア１２に巻かれたコイル１３が設
けられている。コンデンサ１１とコイル１３との間に
は、制御回路６からコイル１４を介して直流電流が供給
される。
サ３と直列に接続されたコア４に巻かれたコイル５が設
けられている。コンデンサ３とコイル５との間には、制
御回路６からコイル７を介して直流電流が供給される。
また、第２のＲＦ電源９には、並列に、コンデンサ１１
と直列に接続されたコア１２に巻かれたコイル１３が設
けられている。コンデンサ１１とコイル１３との間に
は、制御回路６からコイル１４を介して直流電流が供給
される。
【００２３】なお、コンデンサ３と直列に接続されたコ
ア４に巻かれたコイル５よりなる短絡回路は、周波数ｆ
２に共振するように構成されている。また、コンデンサ
１１と直列に接続されたコア１２に巻かれたコイル１３
よりなる短絡回路は、周波数ｆ１に共振するように構成
されている。
ア４に巻かれたコイル５よりなる短絡回路は、周波数ｆ
２に共振するように構成されている。また、コンデンサ
１１と直列に接続されたコア１２に巻かれたコイル１３
よりなる短絡回路は、周波数ｆ１に共振するように構成
されている。
【００２４】このような構成の動作を図４の波形図を参
照して説明する。図４（ａ）は第１のＲＦ電源１の出力
を示しており、また、図４（ｃ）は第２のＲＦ電源９の
出力を示している。この図に示すように、第１のＲＦ電
源１と第２のＲＦ電源９は交互に運転されている。
照して説明する。図４（ａ）は第１のＲＦ電源１の出力
を示しており、また、図４（ｃ）は第２のＲＦ電源９の
出力を示している。この図に示すように、第１のＲＦ電
源１と第２のＲＦ電源９は交互に運転されている。
【００２５】図４（ｂ）は、制御回路６からコンデンサ
３とコイル５等より成る第１の短絡回路に供給される直
流電流を示しており、また、図４（ｄ）は、制御回路６
からコンデンサ１１とコイル１３等より成る第２の短絡
回路に供給される直流電流を示している。
３とコイル５等より成る第１の短絡回路に供給される直
流電流を示しており、また、図４（ｄ）は、制御回路６
からコンデンサ１１とコイル１３等より成る第２の短絡
回路に供給される直流電流を示している。
【００２６】今、第１のＲＦ電源１が運転される場合、
第２のＲＦ電源９からの高周波電力の発生は停止され、
制御回路６からコンデンサ１１とコイル１３等より成る
第２の短絡回路には直流電流が供給され、この第２の短
絡回路により第２のＲＦ電源９の出力ラインは短絡され
る。したがって、第２のＲＦ電源９が第１のＲＦ電源１
からの高周波電力により破壊されるようなことは防止さ
れる。
第２のＲＦ電源９からの高周波電力の発生は停止され、
制御回路６からコンデンサ１１とコイル１３等より成る
第２の短絡回路には直流電流が供給され、この第２の短
絡回路により第２のＲＦ電源９の出力ラインは短絡され
る。したがって、第２のＲＦ電源９が第１のＲＦ電源１
からの高周波電力により破壊されるようなことは防止さ
れる。
【００２７】また、第２のＲＦ電源９が運転される場
合、第１のＲＦ電源１からの高周波電力の発生は停止さ
れ、制御回路６からコンデンサ３とコイル５等より成る
第１の短絡回路には直流電流が供給され、この第１の短
絡回路により第１のＲＦ電源１の出力ラインは短絡され
る。したがって、第１のＲＦ電源１が第２のＲＦ電源９
からの高周波電力により破壊されるようなことは防止さ
れる。
合、第１のＲＦ電源１からの高周波電力の発生は停止さ
れ、制御回路６からコンデンサ３とコイル５等より成る
第１の短絡回路には直流電流が供給され、この第１の短
絡回路により第１のＲＦ電源１の出力ラインは短絡され
る。したがって、第１のＲＦ電源１が第２のＲＦ電源９
からの高周波電力により破壊されるようなことは防止さ
れる。
【００２８】なお、前記したように、コンデンサ３とコ
イル５等より成る第１の短絡回路は、周波数ｆ２に共振
するように構成され、また、コンデンサ１１とコイル１
３等より成る第２の短絡回路は、周波数ｆ１に共振する
ように構成されており、完全な短絡状態を作り出すよう
にしている。
イル５等より成る第１の短絡回路は、周波数ｆ２に共振
するように構成され、また、コンデンサ１１とコイル１
３等より成る第２の短絡回路は、周波数ｆ１に共振する
ように構成されており、完全な短絡状態を作り出すよう
にしている。
【００２９】図５は、図３のシステムの他の動作例を示
す波形図であり、図５（ａ）は第１のＲＦ電源１の出力
を示しており、また、図５（ｃ）は第２のＲＦ電源９の
出力を示している。この図に示すように、第１のＲＦ電
源１からはパルス状の高周波出力が得られ、第２のＲＦ
電源９からは連続的な高周波出力が得られる。
す波形図であり、図５（ａ）は第１のＲＦ電源１の出力
を示しており、また、図５（ｃ）は第２のＲＦ電源９の
出力を示している。この図に示すように、第１のＲＦ電
源１からはパルス状の高周波出力が得られ、第２のＲＦ
電源９からは連続的な高周波出力が得られる。
【００３０】図５（ｂ）は、制御回路６からコンデンサ
３とコイル５等より成る第１の短絡回路に供給される直
流電流を示しており、また、図５（ｄ）は、制御回路６
からコンデンサ１１とコイル１３等より成る第２の短絡
回路に供給される直流電流を示している。この動作例で
も、第４図に示した動作例と同様に、２種のＲＦ電源が
干渉することは防止される。
３とコイル５等より成る第１の短絡回路に供給される直
流電流を示しており、また、図５（ｄ）は、制御回路６
からコンデンサ１１とコイル１３等より成る第２の短絡
回路に供給される直流電流を示している。この動作例で
も、第４図に示した動作例と同様に、２種のＲＦ電源が
干渉することは防止される。
【００３１】図６は本発明の他の実施の形態を示してい
るが、この実施の形態では、第１のＲＦ電源１が２種の
外部電源からの干渉を阻止される例を示している。第１
のＲＦ電源１の出力ラインには、並列に、コンデンサ３
とコイル５等より成る第１の短絡回路と、コンデンサ１
５とコア１６に巻かれたコイル１７より成る第２の短絡
回路とが接続されている。コンデンサ１５とコイル１７
との間には、制御回路６より直流電流が供給される。
るが、この実施の形態では、第１のＲＦ電源１が２種の
外部電源からの干渉を阻止される例を示している。第１
のＲＦ電源１の出力ラインには、並列に、コンデンサ３
とコイル５等より成る第１の短絡回路と、コンデンサ１
５とコア１６に巻かれたコイル１７より成る第２の短絡
回路とが接続されている。コンデンサ１５とコイル１７
との間には、制御回路６より直流電流が供給される。
【００３２】この例は、出力端子２から２種のＲＦ電力
（周波数がｆ２，ｆ３）が侵入する場合であり、第１の
短絡回路は周波数ｆ２に共振するように構成され、第２
の短絡回路は周波数ｆ３に共振するように構成されてい
る。出力端子２から周波数ｆ２のＲＦ電力が侵入する場
合には、制御回路６から第１の短絡回路に直流電流が供
給され、出力端子２から周波数ｆ３のＲＦ電力が侵入す
る場合には、制御回路６から第２の短絡回路に直流電流
が供給される。
（周波数がｆ２，ｆ３）が侵入する場合であり、第１の
短絡回路は周波数ｆ２に共振するように構成され、第２
の短絡回路は周波数ｆ３に共振するように構成されてい
る。出力端子２から周波数ｆ２のＲＦ電力が侵入する場
合には、制御回路６から第１の短絡回路に直流電流が供
給され、出力端子２から周波数ｆ３のＲＦ電力が侵入す
る場合には、制御回路６から第２の短絡回路に直流電流
が供給される。
【００３３】
【発明の効果】請求項１の発明に基づく高周波電源回路
における短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列
に、コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を
接続し、コンデンサとコイルとの間に直流電流を供給す
るようにしたので、簡単な構成により高周波電源への外
部高周波電力の侵入を防止できる。
における短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列
に、コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を
接続し、コンデンサとコイルとの間に直流電流を供給す
るようにしたので、簡単な構成により高周波電源への外
部高周波電力の侵入を防止できる。
【００３４】請求項２の発明に基づく高周波電源回路に
おける短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列に、
コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を接続
し、コンデンサとコイルとの間に直列回路が直列共振す
るような直流電流を供給するようにしたので、簡単な構
成により高周波電源への外部高周波電力の侵入を完全に
防止できる。
おける短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列に、
コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を接続
し、コンデンサとコイルとの間に直列回路が直列共振す
るような直流電流を供給するようにしたので、簡単な構
成により高周波電源への外部高周波電力の侵入を完全に
防止できる。
【００３５】請求項３の発明に基づく高周波電源回路に
おける短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列に、
コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を複数
接続し、それぞれのコンデンサとコイルとの間に直流電
流を供給するようにしたので、簡単な構成により高周波
電源への複数の外部高周波電力の侵入を防止できる。
おける短絡回路は、高周波電源の出力ラインに並列に、
コンデンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を複数
接続し、それぞれのコンデンサとコイルとの間に直流電
流を供給するようにしたので、簡単な構成により高周波
電源への複数の外部高周波電力の侵入を防止できる。
【図１】本発明に基づく短絡回路の基本構成を示す図で
ある。
ある。
【図２】図１の短絡回路の一実験例の結果を示す波形図
である。
である。
【図３】本発明の実施の形態を示す図である。
【図４】図３のシステムの動作波形を示す図である。
【図５】図３のシステムの動作波形を示す図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す図である。
１ ＲＦ電源 ２ 出力端子 ３ コンデンサレンズ ４ コア ５ コイル ６ 制御回路
Claims (3)
- 【請求項１】 高周波電源の出力ラインに並列に、コン
デンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を接続し、
コンデンサとコイルとの間に直流電流を供給するように
した高周波電源回路における短絡回路。 - 【請求項２】 直流電流は、コンデンサとコアに巻かれ
たコイルとの直列回路が直列共振するような値とした請
求項１記載の高周波電源回路における短絡回路。 - 【請求項３】 高周波電源の出力ラインに並列に、コン
デンサとコアに巻かれたコイルとの直列回路を複数接続
した請求項１記載の高周波電源回路における短絡回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8135263A JPH09319440A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 高周波電源回路における短絡回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8135263A JPH09319440A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 高周波電源回路における短絡回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09319440A true JPH09319440A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15147621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8135263A Withdrawn JPH09319440A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 高周波電源回路における短絡回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09319440A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003026364A3 (en) * | 2001-09-14 | 2003-10-30 | Lam Res Corp | Plasma processor coil |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP8135263A patent/JPH09319440A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003026364A3 (en) * | 2001-09-14 | 2003-10-30 | Lam Res Corp | Plasma processor coil |
| US7571697B2 (en) | 2001-09-14 | 2009-08-11 | Lam Research Corporation | Plasma processor coil |
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Legal Events
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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