JPH09318497A - 試料容器、超純水製造管理システムおよび超純水分析方法 - Google Patents

試料容器、超純水製造管理システムおよび超純水分析方法

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JPH09318497A
JPH09318497A JP13725796A JP13725796A JPH09318497A JP H09318497 A JPH09318497 A JP H09318497A JP 13725796 A JP13725796 A JP 13725796A JP 13725796 A JP13725796 A JP 13725796A JP H09318497 A JPH09318497 A JP H09318497A
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atmosphere
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JP13725796A
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Kazuhiko Suda
一彦 須田
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Nomura Micro Science Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超純水の水質分析等に際して雰囲気からの超
純水等の試料の汚染をほぼ防止可能とした試料容器、こ
の試料容器を用いることにより水質管理のいきとどいた
超純水を供給可能な超純水製造管理システムおよび水質
分析時に雰囲気からの超純水の汚染をほぼ防止した超純
水分析方法を提供すること。 【解決手段】 密閉容器と、前記密閉容器の一部に具設
された試料導入管と、前記密閉容器の他の一部に具設さ
れた試料排出管とを具備したことを特徴とする試料容
器、この試料容器と超純水製造装置および超純水測定装
置を具備した超純水製造管理システムおよび超純水製造
装置により製造された超純水を雰囲気から非接触に試料
容器内へ採取する工程と、前記試料容器内へ採取された
超純水を雰囲気から非接触に超純水測定装置へ導入する
工程と、前記超純水測定装置へ導入された超純水を測定
する工程とを具備した超純水分析方法による。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超純水の汚染防止
技術に関し、特に、超純水の水質分析に際して超純水の
汚染をほぼ防止した試料容器、この試料容器を用いた超
純水製造管理システムおよび水質分析時の超純水の汚染
をほぼ防止した超純水分析方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶や半導体素子(LSI)の集
積度の向上にともない、シリコンウエハ等の基板表面上
への極微量物質による汚染の影響が大きな問題となって
おり、これらの製造プロセスで使用される超純水の清浄
度向上に対する要求は益々高まっている。
【0003】すなわち、製造工程中の半導体洗浄等に使
用される洗浄水は、製造された半導体の製品収率および
性能に重大な影響を与えることから、水以外の物質がほ
とんど含まれない超高純度な水、すなわち超純水を用い
ることが必須であり、その品質管理は極めて重要なので
ある。
【0004】一般に、超純水の品質管理は、超純水製造
装置により生産される超純水を採取し、この超純水中の
イオン、金属、微粒子、生菌、シリカおよび全有機炭素
(TOC)等を各種分析装置等で測定することにより行
われている。そして、この測定方法については、日本工
業規格(JIS)において規定されており、例えばイオ
ン分析についてはJIS K 0556−1995に記
載されている。
【0005】ところで、JIS K 0556−199
5に記載の分析方法では、分析用の超純水(試料)を採
取する試料容器として蓋付密閉容器が採用されている。
【0006】この蓋付密閉容器を用いて試料を分析する
にあたっては、超純水製造装置の超純水通水配管に取り
付けられた採取用弁を十分に洗浄した後、採取用弁に滅
菌された試料導入管を取り付け、直前に蓋をはずした試
料容器の底に試料導入管の先端部が接触するように挿入
して超純水を導入する。なお、試料容器は、測定しよう
とする超純水と同等の超純水を用いて、予め十分に洗浄
されている。
【0007】次いで、所定の時間、試料容器から超純水
を溢れさせ、試料導人管を試料容器から取り出し、蓋を
試料で十分に洗浄した後、密栓する。こうして、試料の
採取が行われる。
【0008】次に、イオン分析装置に付随した試料導入
装置専用の容器内に試料容器から再び試料を導入する
か、あるいは試料容器の蓋をあけた状態で試料移送ポン
プの試料導人管を挿入した後、試料をイオン分析装置に
送液し、イオン分析装置により試料容器に採取された試
料の水質測定を行っていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、JIS
K 0556−1995に基づく試料分析方法は、試
料中のイオン濃度が概ね0.05μg/l以上のときに
規定された定量分析方法であるため、この濃度範囲にお
いては十分信頼性の高い測定が可能であるが、水以外の
物質を極限まで除去した高純度な超純水、例えば、イオ
ン濃度がlng/lのレベルにまで達する超純水を試料
として分析する場合には、試料採取時および試料測定時
の汚染の影響が顕著に現れてしまい、測定の信頼性が著
しく低下するという問題があった。
【0010】すなわち、JIS K 0556−199
5に規定された試料分析方法では、試料採取時に試料容
器の蓋を密栓する際、試料は環境中の雰囲気と接触する
ため雰囲気中に含まれる気体状または粒子状のフッ化物
等のハロゲン化物、窒素化合物、硫黄化合物、燐化合
物、有機酸、アンモアやその化合物、塩化ナトリウム等
のアルカリ金属化合物およびアルカリ土類金属化合物等
の浮遊塵等が汚染物質として試料中に混入し試料を汚染
してしまう。また、試料の測定に際しては、イオン分析
装置に付随した試料導入装置専用の容器内に試料容器か
ら再び試料を導入するか、あるいは試料容器の蓋をあけ
た状態で試料移送ポンプの試料導人管を挿入した後、試
料をイオン分析装置に送液するため、やはり上述したよ
うな雰囲気中に存在する不純物が混入し試料を汚染して
しまう。
【0011】したがって、イオン濃度がlng/lのレ
ベルにまで達する超純水を試料として分析する場合に
は、混入した不純物により試料が汚染されてしまうた
め、試料の正確な水質を測定することが困難であるとい
う問題があった。
【0012】本発明は、上記従来の問題を解消すべくな
されたもので、超純水の水質分析等に際して雰囲気から
の超純水等の試料の汚染をほぼ防止可能とした試料容
器、この試料容器を用いることにより水質管理のいきと
どいた超純水を供給可能な超純水製造管理システムおよ
び水質分析時に雰囲気からの超純水の汚染をほぼ防止し
た超純水分析方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本願第1の発明による試
料容器は、密閉容器と、前記密閉容器の一部に具設され
た試料導入管と、前記密閉容器の他の一部に具設された
試料排出管とを具備したことを特徴としている。
【0014】本願第1の発明による試料容器において、
試料は密閉容器の一部に具設された試料導入管により外
部雰囲気とは非接触に密閉容器中へ導入される。そし
て、密閉容器中へ導入された試料は、必要に応じて外部
雰囲気とは非接触に試料排出管により密閉容器外へ排出
される。
【0015】また、本願第2の発明による試料容器は、
密閉容器と、4つの接続部を有する4方弁と、2つの独
立した通路を有し、少なくともある1つの静止位置にお
いて前記4つの接続部に対してすべての前記通路の端点
が同時に1対1に対応するように前記4方弁の内部に形
成された回転部と、一端が前記密閉容器の一部に具設さ
れるとともに他端が前記4方弁の任意の接続部に接続さ
れた試料導入管と、一端が前記密閉容器の他の一部に具
設されるとともに、他端は前記4つの接続部に対し前記
通路のすべての端点が同時に1対1に対応したとき前記
任意の接続部に対応した通路とは異なる通路に対応する
前記接続部に接続された試料排出管とを具備したことを
特徴としている。
【0016】本願第2の発明による試料容器において、
試料は4方弁の内部に形成された回転部が有する通路の
1つを介して密閉容器の一部に具設された試料導入管に
より外部雰囲気とは非接触に密閉容器中へ導入される。
そして、密閉容器中へ導入された試料は、必要に応じて
外部雰囲気とは非接触に試料排出管を介し、4方弁の内
部に形成された回転部が有する通路を通じて密閉容器外
へ排出される。
【0017】本願第1および第2の発明による試料容器
において、密閉容器としては、試料中に不純物の溶出が
ないものであれば特に限定されず、任意の形態(形状)
のものが用いられるが、生産性等にも鑑みれば、ポリエ
チレンあるいはPFA(四フッ化エチレンパーフロロア
ルキルビニルエーテル共重合樹脂)からなるボトル型の
密閉容器あるいは表面にアルミニウムをコーティングし
たポリエチレンあるいはPFAからなるバッグ型の密閉
容器を用いるとよい。特に、バッグ型の密閉容器におい
ては、バッグの製造時に周囲を適当にヒートシールする
ことで、密閉容器内で試料の流れが滞留し容器内の洗浄
が不十分になるのを防止するための流路を最適に形成す
ることができるとともに、試料の移送に際して、移送さ
れる試料の容積に相当する分が大気圧により密閉容器を
変形させるため、密閉容器の内圧保持が必要なくなると
いう利点をも有することからより好ましい構成である。
【0018】また、本願第1および第2の発明による試
料容器において、試料導入管および試料排出管として
は、試料中に不純物の溶出がなく、配管の自由度を高め
ることから可撓製を有するPFA等の材質のものを用い
るとより好ましい。なお、試料導入管および試料排出管
に試料の通水を制御するための調節弁を設けるとより好
ましく、また、試料導入管および試料排出管は任意の場
所に設定可能である。
【0019】さらに、本願第1および第2の発明による
試料容器において、密閉容器に対して試料導入管および
試料排出管を具設する場所は、密閉容器内で試料の流れ
が滞留せず、試料の汚染をより防止できる位置であるな
らば、特に限定はされない。一例として、バッグ型の密
閉容器においては、具設場所をバッグの対角線上のなる
べく離れた位置とすることで上記目的を達成することが
できる。
【0020】また、本願第1および第2の発明による試
料容器において、試料容器と試料導入管および試料排出
管とを具設するに際しては、試料容器に直接接続する構
成にしてもよいし、予め試料容器に継ぎ手を接続してお
き、これに試料導入管および試料排出管を接続する構成
にしてもよい、このとき、試料の通水を制御するための
調節弁は、この継ぎ手に配設するように構成することも
できる。
【0021】さらに、本願第1および第2の発明による
試料容器において、密閉容器としてボトル型の容器を用
いた場合には、容器は容器本体と蓋部とが一体となった
形態をとることが好ましく、これらは別途製造された
後、一体化されてもよいし、予め一体成型されていても
よい。このとき、蓋部は標準液が注入できるように口径
30mm以下とし、蓋部には上記継ぎ手に対応する、調
節弁を有した容器本体の底部にまで達する連通管と蓋部
の下端にまで達する連通管の2つの連通管を有するよう
に構成し、これに試料導入管および試料排出管を接続す
ると好ましい。これは、試料の採取および供給時に容器
本体の底部にまで達する連通管を使用することで、試料
の汚染をさらに防止できるからである。なお、ボトル型
の容器を用いた場合には、使用前にはその内部に高純度
の窒素あるいはヘリウム等のガスを封入しておくことが
望ましい。
【0022】また、密閉容器としてバッグ型の容器を用
いた場合には、上述したように、密閉容器内で試料の流
れが滞留せず、試料の汚染をより防止できる位置に調節
弁を有する継ぎ手等の接続部を設け、これに試料導入管
および試料排出管を接続すると好ましい。
【0023】本願第2の発明による試料容器において、
4つの接続部を有する4方弁を用いているが、その理由
は、採取容器への試料の採取あるいは採取容器からの試
料の取り出しに際し、エアの混入等による試料および試
料導入管等の試料移送系の汚染を防止するためである。
【0024】4方弁の材質は、試料への不純物の溶出が
なく、不純物の付着が少ないことから、PTFE(四フ
ッ化エチレン樹脂)あるいはPFA等を一般的に用いる
とよい。
【0025】また、4方弁は、筐体に4つの接続部を有
するとともに、その内部には筐体内を回転可能な回転部
を有している。回転部の材質も試料への不純物の溶出が
なく、不純物の付着が少ないことから、PTFEあるい
はPFA等を一般的に用いるとよい。この回転部には、
試料を通水するための独立した2つの通路が形成されて
いるが、この通路は試料の滞留を発生しない形状が好ま
しく、また、少なくとも1つのある静止位置において4
つの接続部に対し2つの通路のすべての端点(4つの端
点)が同時に1対1に対応するようになっている。筐体
および接続部の形状や接続部の位置は2つの通路が上述
の対応関係を保持するならば特に限定はされないが、筐
体および筐体内部の回転部としては円盤型が一般的であ
る。なお、回転部は、その中心部に回転軸あるいはボー
ルベアリングを設け、筐体外部に回転つまみ等を突出さ
せることにより、回転つまみを通じ、軸を中心として回
転させることができるが、回転可能であるならば、試料
を汚染しない範囲内でどのような構成をもとることがで
きる。
【0026】また、試料容器に具設された試料導入管お
よび試料排出管の一端は4方弁に接続されるが、この接
続は少なくとも1つのある静止位置において4つの接続
部に対し2つの通路のすべての端点(4つの端点)が同
時に1対1に対応したとき、試料導入管および試料排出
管の各々が異なる通路の端点に接続するようになされて
いればよい。さらに、試料導入管および試料排出管の接
続された4方弁の接続部は汚染防止の観点から通常は樹
脂等で封止することが好ましく、一方、残る2つの接続
部には、使用前には汚染防止用のキャップを取り付けて
おいたり、汚染防止用の管を接続するのが好ましい。な
お、使用に際しては、通路を介して試料導入管と対応す
る接続部を超純水供給配管と直結するように構成するこ
ともできる。しかしながら、特に、残る2つの接続部に
汚染防止用の管を接続した場合には、この汚染防止用の
管を接続部からはずし、この管を破棄して新たな管を残
る接続部に接続することもでき、あるいは一方の接続部
のみをとりはずし、試料を試料導入管に供給したり、試
料排出管からの試料を排出するための管として用いるこ
とも可能である。この場合には、試料を導入する側の接
続部に対して汚染防止用の管を封止しておくことが汚染
防止の点から好ましい。
【0027】本願第1および第2の発明による試料容器
を製造するに際しては、成型装置等を用いた通常の製造
方法を用いることができ、試料容器は製造の後、超純水
等を用いて十分に洗浄され使用時まで滅菌的に梱包され
る。特に、ボトル型の試料容器の場合には、内部に高純
度の窒素あるいはヘリウム等のガスを封入し、内圧の保
持を行った後、使用時まで滅菌的に梱包される。
【0028】なお、本願第1および第2の発明による試
料容器は、試料として超純水を用いることが最も好適で
はあるが、試料を雰囲気から非接触に試料容器内へ採取
し、試料容器内へ採取された試料を必要に応じて雰囲気
から非接触に取り出すことを目的とするのであれば、各
種の液体あるいは気体を試料として用いることも可能で
ある。
【0029】本願発明による超純水製造管理システム
は、超純水製造装置と、前記超純水製造装置により製造
された超純水を雰囲気から非接触に採取するとともに、
採取された前記超純水を雰囲気から非接触に超純水測定
装置へ導入する試料容器と、前記試料容器より導入され
た超純水を測定する超純水測定装置とを具備したことを
特徴としている。
【0030】本願発明による超純水製造管理システムに
おいては、超純水が超純水製造装置により製造される。
製造された超純水は、試料容器内に雰囲気から非接触に
採取され、次いで、採取された超純水は試料容器から雰
囲気に非接触に超純水測定装置へ導入される。そして、
超純水測定装置へ導入された超純水は、超純水測定装置
において所定の測定を施行される。
【0031】本願発明による超純水製造管理システムに
おいて、超純水製造装置は、要求された所定の水質を満
たす超純水を確実に供給できるという要件をみたす限り
どのような構成をも取りうるものであるが、通常、市水
等を源水として超純水を製造する場合には、超純水製造
装置は原水中の濁質成分を除去する前処理システム、イ
オン状物質、微粒子、有機物、溶存ガスおよび生菌等を
除去する一次系システムおよび一次系システムより得ら
れた一次純水の精密仕上げを目的とした二次系システム
とが組み合わされることが好ましく、さらに、製造され
た超純水は、ユースポイントに供給されて必要量が消費
されるとともに、過剰量の超純水は二次系システムに還
流され、再度処理されるような構成をとることが好まし
い。
【0032】また、本願発明による超純水製造管理シス
テムにおいて、試料容器としては、超純水製造装置によ
り製造された超純水を雰囲気から非接触に採取できると
ともに、採取した超純水を雰囲気から非接触に超純水測
定装置へ導入することが可能であれば、その形態等は特
に限定はされないが、試料を確実に雰囲気から遮断し試
料の汚染を防止する観点から、上述した試料容器を用い
ることが好ましい。
【0033】さらに、本願発明による超純水製造管理シ
ステムにおいて、超純水測定装置としては、超純水に要
求された水質を確認するための各種装置を任意に用いる
ことができ、例えば、イオン分析装置、質量分析計等を
挙げることができる。
【0034】このように、超純水製造装置、試料容器お
よび超純水測定装置を有機的に結合し、超純水を製造す
るとともにその水質を汚染のないまま直接的にかつ一貫
して監視することにより、所定の水質をみたす超純水を
提供可能な超純水製造管理システムを提供することがで
きる。
【0035】本願発明による超純水分析方法は、超純水
製造装置により製造された超純水を雰囲気から非接触に
試料容器内へ採取する工程と、前記試料容器内へ採取さ
れた超純水を雰囲気から非接触に超純水測定装置へ導入
する工程と、前記超純水測定装置へ導入された超純水を
測定する工程とを具備したことを特徴としている。
【0036】本願発明による超純水分析方法において
は、超純水製造装置により製造された超純水は、試料容
器内に雰囲気から非接触に採取され、次いで、採取され
た超純水は試料容器から雰囲気に非接触に超純水測定装
置へ導入される。そして、超純水測定装置へ導入された
超純水は、超純水測定装置において所定の測定を施行さ
れる。
【0037】本願発明による超純水分析方法において、
超純水製造装置は上述したように各種の構成を取りうる
ものであり、また、超純水製造装置により製造された超
純水を雰囲気から非接触に試料容器内へ採取し、かつ試
料容器内へ採取された超純水を雰囲気から非接触に超純
水測定装置へ導入する工程で用いられる試料容器は、試
料である超純水を確実に雰囲気から遮断し、試料の汚染
を防止する観点から、上述した試料容器を用いることが
好ましい。
【0038】また、超純水測定装置による超純水の測定
は、要求された超純水の仕様に応じて適当な要件をパラ
メータとして行われるものであり、例えば、超純水中の
イオン濃度、イオンの組成、TOC濃度等について行わ
れる。
【0039】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施例について詳細に説明する。なお、各図面におい
て、同一の構成には同一符号を付し、詳細な説明は省略
する。また、本発明は、その要旨を逸脱しないならば、
本発明に限定されるものではない。
【0040】図1および図2は、本願第1および第2の
発明である試料容器の一実施例である、ボトル型試料容
器の側面図である。
【0041】図1において、ボトル型試料容器100
は、ポリエチレンあるいはPFA等からなる容器部10
1と蓋部102とから構成された密閉容器103、蓋部
102を貫通し、一端が容器部101のほぼ底部にまで
達するとともに他端側に弁104aおよび異径継ぎ手1
05aを有したポリエチレンあるいはPFA等からなる
連通管106、蓋部102を貫通し、一端が蓋部102
のほぼ下端にまで達するとともに他端側に弁104bお
よび異径継ぎ手105bを有したポリエチレンあるいは
PFA等からなる連通管107、一端が異径継ぎ手10
5aに接続された口径約6mm、PFA製の試料導入管
108、一端が異径継ぎ手105bに接続された口径約
6mm、PFA製の試料排出管109から構成されてお
り、試料導入管108と試料排出管109とは連接継ぎ
手110により接続されている。上述した蓋部102付
近の構造は、図3に示された通りであり、容器部101
と蓋部102とは容器部101および蓋部102に切ら
れた不図示の雄ネジと雌ネジによって接続され、スクリ
ュウネジ300により完全に封止されている。なお、ボ
トル型試料容器100の使用時には連接継ぎ手110が
はずされ、試料導入管108と試料排出管109とは独
立して機能する。また、密閉容器103の内部の容量は
約500〜1000mlであり、製造時には試料との接
触部を完全に洗浄した後、試料の汚染を極力排するため
高純度のヘリウムガスを充填している。また、図2に示
されたボトル型試料容器200においては、試料導入管
108および試料排出管109の一端は4方弁201に
設けられたポート202aおよびポート202bに接続
され、ポート202cおよびポート202dには汚染防
止管203が接続されている。また、汚染防止管203
は、ポート202cについては封止され、ポート202
dについては取り外し可能に構成されている。さらに、
4方弁201の内部には、突起部204により操作可能
な回転部205が形成されており、回転部205には独
立した2つの通路206aおよび206bが形成されて
いる。なお、図2においては、ポート202aおよびポ
ート202bに通路206aの両端が対応し、ポート2
02cおよびポート202dに通路206bの両端が対
応するように示されているが、ボトル型試料容器200
においては、突起部204を通じて回転部205を回転
させることにより、ポート202aおよびポート202
cに通路206aあるいは通路206bの両端が対応
し、ポート202bおよびポート202dに通路206
bあるいは通路206aの両端が対応するように構成さ
れている。なお、ボトル型試料容器200の使用時に
は、突起部204を通じて回転部205を所定の位置ま
で回転させるとともに、汚染防止管203はポート20
2dから取り外される。また、密閉容器103の内部の
容量は約500〜1000mlであり、製造時には試料
との接触部を完全に洗浄した後、密閉容器103の内部
に高純度の窒素あるいはヘリウム等のガスを充填してい
る。
【0042】また、図4、図5、図6および図7は、本
願第2の発明である試料容器の一実施例である、バッグ
型試料容器の側面図である。
【0043】図4に示されたように、バッグ型試料容器
400は、アルミニウムラミネート式ポリエチレンある
いはPFAからなるバッグ型の密閉容器401に接続さ
れたポリエチレンあるいはPFA等からなる接続ジョイ
ント402aおよび402bを有しており、接続ジョイ
ント402aおよび402bには弁403aおよび40
3bがそれぞれ取り付けられている。また、接続ジョイ
ント402aに接続された試料導入管108および接続
ジョイント402bに接続された試料排出管109の一
端は4方弁201に設けられたポート202aおよびポ
ート202bに接続され、ポート202cおよびポート
202dには汚染防止管203が接続されている。ま
た、4方弁201の内部には、突起部204により操作
可能な回転部205が形成されており、回転部205に
は独立した2つの通路206aおよび206bが形成さ
れている。なお、図2においては、ポート202aおよ
びポート202bに通路206aの両端が対応し、ポー
ト202cおよびポート202dに通路206bの両端
が対応するように示されているが、バッグ型試料容器4
00においては、突起部204を通じて回転部205を
回転させることによりポート202aおよびポート20
2cに通路206aあるいは通路206bの両端が対応
し、ポート202bおよびポート202dに通路206
bあるいは通路206aの両端が対応するように構成さ
れている。なお、バッグ型試料容器400の使用時に
は、突起部204を通じて回転部205を所定の位置ま
で回転させるとともに、汚染防止管203はポート20
2dから取り外される。また、密閉容器401の内部の
容量は約500〜1000mlであり、製造時には試料
との接触部を完全に洗浄している。なお、バッグ部のヒ
ートシール部404により試料は滞留することなく矢印
で示したように密閉容器401の内部を通過できる。ま
た、図5、図6および図7は、本願第2の発明である試
料容器の他の実施例であるが、図4に示したバッグ型の
試料容器400との違いは、バッグ型の試料容器50
0、600および700に取り付けられた接続ジョイン
ト402aおよび接続ジョイント402bの接続位置
と、密閉容器501、601および701に施されたヒ
ートシール部502、602および702の領域であ
り、さらに、バッグ型試料容器600においては、密閉
容器601の内部に接続ジョイント402aと接続され
たインナーチューブ603を有する点である。しかしな
がら、いずれにしても試料は滞留することなく矢印で示
したように密閉容器401の内部を通過でき、特に、バ
ッグ型試料容器700においては、図8に模式的に示し
たように、接続ジョイント402aと接続ジョイント4
02bとがねじれの位置にあるために、試料は滞留する
ことなくより効果的に矢印で示したように密閉容器70
1の内部を通過する。
【0044】図9は、本願発明における超純水製造管理
システムの一実施例を模式的に示した図である。
【0045】図9において、超純水製造管理システム
は、超純水製造装置900、試料容器912および超純
水測定装置913とから構成されている。
【0046】図9の超純水製造管理システムを構成する
超純水製造装置900において、原水は、前処理装置9
01に導入され、原水中の懸濁物質等が分離、除去され
る。次いで、前処理装置901で処理された被処理水
は、カチオン交換樹脂塔、脱炭酸塔およびアニオン交換
樹脂塔からなる2床3塔902によりイオン成分が除去
された後、逆浸透装置903に導入されて微粒子および
コロイド状物質等の除去が行われる。
【0047】次に、被処理水は、逆浸透装置903から
低圧紫外線ランプ酸化装置904に導入されて溶存有機
物が分解され、混床式イオン交換装置905により被処
理水中のイオン成分が除去される。続いて、被処理水
は、窒素ガス添加方式の真空脱気装置906に導入され
て溶存酸素等の溶存気体が除去されて、再び、低圧紫外
線ランプ酸化装置907に導入されて溶存有機物が分解
され、混床式イオン交換装置908により被処理水中の
イオン成分が除去される。最後に、被処理水は限外濾過
膜装置909に導入され、極微量の微粒子等が除去され
る。
【0048】こうして製造された超純水は、超純水配管
910を介してユースポイント911に供給されるとと
もに、過剰量の超純水は真空脱気装置906の前段に還
流される構成となっている。また、真空脱気装置906
は、窒素ガスと被処理水との体積比率を0.03:1と
されており、真空度は25torrに保たれている。な
お、ここでは膜前処理装置901が前処理システム、2
床3塔902から真空脱気装置906までが一次系シス
テム、低圧紫外線ランプ酸化装置907から限外濾過膜
装置909までが二次系システムと区分される。
【0049】さて、超純水製造装置900により製造さ
れた超純水は、雰囲気と非接触に試料容器912に採取
され、試料容器912に採取された試料は雰囲気と非接
触に超純水測定装置に導入されて、イオン濃度やTOC
濃度が測定される。そして、この測定結果により超純水
の水質を判定することで、超純水の水質が要求された仕
様に達していない場合には、速やかにユースポイントへ
の超純水の供給を停止し、超純水製造装置の迅速な復旧
を行うことができる。
【0050】次に、超純水製造装置により製造された超
純水を雰囲気と非接触に試料容器に採取する形態と、試
料容器に採取された試料を雰囲気と非接触に超純水測定
装置に導入する形態について、図1、図2および図4に
示した試料容器を用いて説明する。
【0051】図10は、図1に示したボトル型試料容器
100を用いて、試料である超純水を採取する工程を示
した図である。
【0052】試料を採取するにあたり、はじめに試料導
入管108と試料排出管109とを接続した連接継ぎ手
110を取り外し、試料導入管108側の連接継ぎ手1
10を超純水配管1000に接続された試料採取弁10
01に装着する。なお、試料採取弁1001は超純水を
少なくとも一晩放流し続けることにより十分洗浄されて
いる。続いて、試料採取弁1001、弁104aおよび
弁104bを順次開いてボトル型試料容器100内に超
純水を導入する。ボトル型試料容器100内に試料であ
る超純水が導入されるにつれて、その体積に相当する量
の、予めボトル型試料容器100内(試料導入管108
および試料排出管109の内部も含む)に封入されてい
た窒素あるいはヘリウムガスが試料排出管109を介し
て外部に排出される。次に、試料がボトル型試料容器1
00内に十分いきわたると、過剰量の試料は試料排出管
109を介して外部に排出される。そして、過剰量の試
料が試料排出管109を介して外部に排出されている状
態を、試料の通過体積がボトル型試料容器100内の体
積の少なくとも5倍に相当する量に達するまで維持した
後、弁104b、弁104aおよび試料採取弁1001
を順次閉じてゆく。最後に、試料導入管108を試料採
取弁1001から取り外し、再び、試料導入管108と
試料排出管109とを連接継ぎ手110により接続す
る。こうして、試料である超純水はボトル型試料容器1
00内に採取される。
【0053】次に、図11を用いて、図1に示したボト
ル型試料容器100から試料である超純水を超純水測定
装置に導入する工程を説明する。
【0054】はじめに、試料導入管108と試料排出管
109とを接続した連接継ぎ手110を取り外し、試料
導入管108側の連接継ぎ手110を、6ないし8つの
接続部を有する切り替えバルブ1100(ジーエルサイ
エンス社製自動溶媒切り替えバルブ:SV−5006A
あるいはSV−5008A)の口径3mm、PTFE製
チューブ1101に異径継ぎ手1102を介して接続す
る。なお、切り替えバルブ1100に付随した、試料と
接触する部分は十分洗浄されている。続いて試料移送ポ
ンプ1103(DIONEX社製:タイプDQPポン
プ)が駆動され、弁104aおよび弁104bを順次開
いて、ボトル型試料容器100内から試料が排出され
る。このとき、排出された試料の体積に相当する超高純
度の窒素またはヘリウムガスが約0.07 Kg/cm2 程度
の圧力で試料排出管109を通じてボトル型試料容器1
00内に供給されている。ボトル型試料容器100内か
ら排出された試料は、PTFE製チューブ1101、1
104(口径3mm)および1105(口径1/16イ
ンチ)を通じてイオン分析装置1106(DIONEX
社製:タイプDX500)に導入される。次に、所定量
の試料がイオン分析装置1106に十分いきわたると、
試料移送ポンプ1103が停止され、弁104aおよび
弁104bが順次閉じられる。こうして導入された試料
は、イオン分析装置1106によって分析され、分析結
果は製造された超純水の水質を検定する試料として付さ
れる。なお、ボトル型試料容器100内に試料が残って
いる場合には、異径継ぎ手1102を介してPTFE製
チューブ1101に接続された連接継ぎ手110を異径
継ぎ手1102より切り離し、再び試料導入管108と
試料排出管109とを連接継ぎ手110により接続し
て、上述したようにボトル型試料容器100から試料で
ある超純水を超純水測定装置に導入する工程を繰り返す
ことにより、複数の異なる種類の測定を行うことも可能
である。
【0055】図12は、図2に示したボトル型試料容器
200を用いて、試料である超純水を採取する工程を示
した図である。
【0056】試料を採取するにあたり、はじめに汚染防
止管203をポート202dより取り外し、この汚染防
止管203を連接継ぎ手1200を介して試料導入管1
201に接続する。なお、試料導入管1201の他端は
超純水配管1000に接続された試料採取弁1001に
装着されており、試料採取弁1001および試料導入管
1201は超純水を少なくとも一晩放流し続けることに
より十分洗浄されている。また、ポート203dには、
試料排出管1202が接続される。次に、試料採取弁1
001、弁104aおよび弁104bを順次開いて、試
料導入管1201、汚染防止管203、通路206bお
よび試料排出管1202等の試料導入系を少なくとも1
5分の間洗浄する。
【0057】洗浄の後、突起部204により4方弁20
1の回転部205が回転され、回転部205は通路20
6aがポート202aと202cとを接続し、通路20
6bがポート202bと202dとを接続する位置に固
定される。次に、試料採取弁1001、弁104aおよ
び弁104bを順次開いてボトル型試料容器200内に
超純水を導入する。ボトル型試料容器200内に試料で
ある超純水が導入されるにつれて、その体積に相当する
量の、予めボトル型試料容器100内(試料導入管10
8および試料排出管109の内部も含む)に封入されて
いた窒素あるいはヘリウムガスが、試料排出管109、
1202を介して外部に排出される。次に、試料がボト
ル型試料容器200内に十分いきわたると、過剰量の試
料は試料排出管109、1202を介して外部に排出さ
れる。そして、過剰量の試料が試料排出管109、12
02を介して外部に排出されている状態を、試料の通過
体積がボトル型試料容器200内の体積の少なくとも5
倍に相当する量に達するまで維持した後、突起部204
により4方弁201の回転部205が回転され、回転部
205は通路206aがポート202aと202bとを
接続し、通路206bがポート202cと202dとを
接続する位置に固定される。次いで、弁104b、弁1
04aおよび試料採取弁1001を順次閉じ、汚染防止
管203と試料導入管1201との接続を解除し、試料
排出管1202の取り外されたポート202dに汚染防
止管203を接続する。こうして、試料である超純水は
ボトル型試料容器200内に採取される。
【0058】次に、図13を用いて、図2に示したボト
ル型試料容器200から試料である超純水を超純水測定
装置に導入する工程を説明する。
【0059】はじめに、汚染防止管203をポート20
2dより取り外し、この汚染防止管203を、6ないし
8つの接続部を有する切り替えバルブ1100(ジーエ
ルサイエンス社製自動溶媒切り替えバルブ:SV−50
06AあるいはSV−5008A)の口径3mm、PT
FE製チューブ1101に異径継ぎ手1300を介して
接続する。なお、切り替えバルブ1100に付随した、
試料と接触する部分は十分洗浄されている。また、ポー
ト203dには、試料排出管1202が接続される。続
いて、突起部204により4方弁201の回転部205
が回転され、回転部205は通路206aがポート20
2aと202cとを接続し、通路206bがポート20
2bと202dとを接続する位置に固定される。次に、
試料移送ポンプ1103(DIONEX社製:タイプD
QPポンプ)が駆動され、弁104aおよび弁104b
を順次開いて、ボトル型試料容器200内から試料が排
出される。このとき、排出された試料の体積に相当する
超高純度の窒素またはヘリウムガスが約0.07 Kg/cm
2 程度の圧力で試料排出管1202、109を通じてボ
トル型試料容器200内に供給されている。ボトル型試
料容器200内から排出された試料は、PTFE製チュ
ーブ1101、1104(口径3mm)および1105
(口径1/16インチ)を通じてイオン分析装置110
6(DIONEX社製:タイプDX500)に導入され
る。次に、所定量の試料がイオン分析装置1106に十
分いきわたると、試料移送ポンプ1103が停止され、
弁104aおよび弁104bが順次閉じられる。こうし
て導入された試料は、イオン分析装置1106によって
分析され、分析結果は製造された超純水の水質を検定す
る試料として付される。なお、ボトル型試料容器200
内に試料が残っている場合には、突起部204により4
方弁201の回転部205を回転し、通路206aがポ
ート202aと202bとを接続し、通路206bがポ
ート202cと202dとを接続する位置に固定した
後、汚染防止管203と試料導入管1201との接続を
解除し、試料排出管1202の取り外されたポート20
2dに汚染防止管203を接続する。そして、上述した
ようにボトル型試料容器200から試料である超純水を
超純水測定装置に導入する工程を繰り返すことにより、
複数の異なる種類の測定を行うことも可能である。
【0060】図14は、図4に示したバッグ型試料容器
400を用いて、試料である超純水を採取する工程を示
した図である。
【0061】試料を採取するにあたり、はじめに汚染防
止管203をポート202dより取り外し、この汚染防
止管203を連接継ぎ手1200を介して試料導入管1
201に接続する。なお、試料導入管1201の他端は
超純水配管1000に接続された試料採取弁1001に
装着されており、試料採取弁1001および試料導入管
1201は超純水を少なくとも一晩放流し続けることに
より十分洗浄されている。また、ポート203dには、
試料排出管1202が接続される。次に、試料採取弁1
001、弁403aおよび弁403bを順次開いて、試
料導入管1201、汚染防止管203、通路206bお
よび試料排出管1202等の試料導入系を少なくとも1
5分の間洗浄する。
【0062】洗浄の後、突起部204により4方弁20
1の回転部205が回転され、回転部205は通路20
6aがポート202aと202cとを接続し、通路20
6bがポート202bと202dとを接続する位置に固
定される。次に、試料採取弁1001、弁403aおよ
び弁403bを順次開いて、バッグ型試料容器400内
に超純水を導入する。バッグ型試料容器400内に試料
である超純水が導入されるにつれて、その体積に相当す
る分、バッグ型試料容器400は膨脹する。次に、試料
がバッグ型試料容器400内に十分いきわたると、過剰
量の試料は試料排出管109、1202を介して外部に
排出される。そして、過剰量の試料が試料排出管10
9、1202を介して外部に排出されている状態を、試
料の通過体積がバッグ型試料容器400内の体積の少な
くとも5倍に相当する量に達するまで維持した後、突起
部204により4方弁201の回転部205が回転さ
れ、回転部205は通路206aがポート202aと2
02bとを接続し、通路206bがポート202cと2
02dとを接続する位置に固定される。次いで、弁40
3b、弁403aおよび試料採取弁1001を順次閉
じ、汚染防止管203と試料導入管1201との接続を
解除し、試料排出管1202の取り外されたポート20
2dに汚染防止管203を接続する。こうして、試料で
ある超純水はバッグ型試料容器400内に採取される。
【0063】次に、図15を用いて、図4に示したバッ
グ型試料容器400から試料である超純水を超純水測定
装置に導入する工程を説明する。
【0064】はじめに、汚染防止管203をポート20
2dより取り外し、この汚染防止管203を、6ないし
8つの接続部を有する切り替えバルブ1100(ジーエ
ルサイエンス社製自動溶媒切り替えバルブ:SV−50
06AあるいはSV−5008A)の口径3mm、PT
FE製チューブ1101に異径継ぎ手1300を介して
接続する。なお、切り替えバルブ1100に付随した、
試料と接触する部分は十分洗浄されている。また、ポー
ト203dは、不図示のプラグによって完全に密閉され
る。続いて、突起部204により4方弁201の回転部
205が回転され、回転部205は通路206aがポー
ト202aと202cとを接続し、通路206bがポー
ト202bと202dとを接続する位置に固定される。
次に、試料移送ポンプ1103(DIONEX社製:タ
イプDQPポンプ)が駆動され、弁403aおよび弁4
03bを順次開いて、バッグ型試料容器400内から試
料が排出される。このとき、バッグ型試料容器400の
密閉容器401は、排出された試料に相当する体積分だ
け大気圧でつぶれるので、容器内の内圧保持は不用であ
る。バッグ型試料容器400内から排出された試料は、
PTFE製チューブ1101、1104(口径3mm)
および1105(口径1/16インチ)を通じてイオン
分析装置1106(DIONEX社製:タイプDX50
0)に導入される。次に、所定量の試料がイオン分析装
置1106に十分いきわたると、試料移送ポンプ110
3が停止され弁403aおよび弁403bが順次閉じら
れる。こうして導入された試料はイオン分析装置110
6によって分析され、分析結果は製造された超純水の水
質を検定する試料として付される。なお、バッグ型試料
容器400内に試料が残っている場合には、突起部20
4により4方弁201の回転部205を回転し、通路2
06aがポート202aと202bとを接続し、通路2
06bがポート202cと202dとを接続する位置に
固定した後、汚染防止管203と試料導入管1201と
の接続を解除し、プラグの取り外されたポート202d
に汚染防止管203を接続する。そして、上述したよう
にバッグ型試料容器400から試料である超純水を超純
水測定装置に導入する工程を繰り返すことにより、複数
の異なる種類の測定を行うことも可能である。
【0065】(実施例1および比較例1、比較例2)図
1に示したボトル型試料容器100を用いて、図9に示
された超純水製造装置900が設置されている機械室内
で超純水製造装置900により製造された超純水を採取
し、この超純水をイオン分析装置1106に導入してイ
オン分析を行った(実施例1)。なお、超純水の採取お
よびイオン分析装置1106への超純水の導入は、上述
した方法によるものとした。イオン分析装置1106
は、イオンクロマトグラフによりイオンの定量を行う装
置である。
【0066】また、図9に示された超純水製造装置90
0の超純水配管901とイオン分析装置1106とを接
続配管により直結し、超純水を雰囲気と完全に非接触に
して超純水をイオン分析装置1106に導入してイオン
分析を行った(比較例1)。比較例1は、採水点に1台
の分析装置を設置して測定するが、全ての超純水製造装
置ないしはその採水点を測定することは実用上、分析装
置が高価なため極めて困難である。
【0067】さらに、JIS K 0556−1995
に記載の分析方法に基づき、図9に示された超純水製造
装置900が設置されている機械室内で超純水製造装置
900により製造された超純水を採取し、この超純水を
イオン分析装置1106に導入してイオン分析を行った
(比較例2)。
【0068】これらの分析結果を、表1に示す。なお、
分析結果は(実施例1、比較例1、比較例2)による分
析を1セットとし、連続して3セット測定した結果の平
均として表されている。
【0069】
【表1】 表1から明らかなように、実施例1の分析結果と比較例
1の分析結果とは同等であった。すなわち、実施例1に
おいては、超純水を雰囲気と完全に非接触とするために
超純水製造装置900の超純水配管901とイオン分析
装置1106とを接続配管により直結した比較例1と比
較して、同等の分析精度を達成することができた。
【0070】一方、JIS K 0556−1995に
記載の分析方法による比較例2の分析結果は、実施例1
および比較例1と比較してイオン濃度が高くなってお
り、分析結果に著しい相違を示した。これは、試料であ
る超純水が雰囲気と接触した結果、試料中に雰囲気中の
不純物が混入し、イオン分析の精度を著しく低下させた
ためと推測される。
【0071】(実施例2および比較例3、比較例4)図
2に示したボトル型試料容器200を用いて、図9に示
された超純水製造装置900が設置されている機械室内
で超純水製造装置900により製造された超純水を採取
し、この超純水をイオン分析装置1106に導入してイ
オン分析を行った(実施例2)。なお、超純水の採取お
よびイオン分析装置1106への超純水の導入は、上述
した方法によるものとした。
【0072】また、図9に示された超純水製造装置90
0の超純水配管901とイオン分析装置1106とを接
続配管により直結し、超純水を雰囲気と完全に非接触に
して超純水をイオン分析装置1106に導入してイオン
分析を行った(比較例2)。さらに、JIS K 05
56−1995に記載の分析方法に基づき、図9に示さ
れた超純水製造装置900が設置されている機械室内で
超純水製造装置900により製造された超純水を採取
し、この超純水をイオン分析装置1106に導入してイ
オン分析を行った(比較例3)。
【0073】これらの分析結果を、表2に示す。なお、
分析結果は(実施例2、比較例3、比較例4)による分
析を1セットとし、連続して3セット測定した結果の平
均として表されている。
【0074】
【表2】 表2から明らかなように、実施例2の分析結果と比較例
3の分析結果とは同等であった。すなわち、実施例2に
おいては、超純水を雰囲気と完全に非接触とするために
超純水製造装置900の超純水配管901とイオン分析
装置1106とを接続配管により直結した比較例3と比
較して、同等の分析精度を達成することができた。
【0075】一方、JIS K 0556−1995に
記載の分析方法による比較例4の分析結果は、実施例2
および比較例3と比較してイオン濃度が高くなってお
り、分析結果に著しい相違を示した。これは、試料であ
る超純水が雰囲気と接触した結果、試料中に雰囲気中の
不純物が混入し、イオン分析の精度を著しく低下させた
ためと推測される。
【0076】(実施例3および比較例5、比較例6)図
4に示したバッグ型試料容器400を用いて、図9に示
された超純水製造装置900が設置されている機械室内
で超純水製造装置900により製造された超純水を採取
し、この超純水をイオン分析装置1106に導入してイ
オン分析を行った(実施例3)。なお、超純水の採取お
よびイオン分析装置1106への超純水の導入は、上述
した方法によるものとした。
【0077】また、図9に示された超純水製造装置90
0の超純水配管901とイオン分析装置1106とを接
続配管により直結し、超純水を雰囲気と完全に非接触に
して超純水をイオン分析装置1106に導入してイオン
分析を行った(比較例5)。さらに、JIS K 05
56−1995に記載の分析方法に基づき、図9に示さ
れた超純水製造装置900が設置されている機械室内で
超純水製造装置900により製造された超純水を採取
し、この超純水をイオン分析装置1106に導入してイ
オン分析を行った(比較例6)。
【0078】これらの分析結果を、表3に示す。なお、
分析結果は(実施例3、比較例5、比較例6)による分
析を1セットとし、連続して3セット測定した結果の平
均として表されている。
【0079】
【表3】 表3から明らかなように、実施例3の分析結果と比較例
5の分析結果とは同等であった。すなわち、実施例3に
おいては、超純水を雰囲気と完全に非接触とするために
超純水製造装置900の超純水配管901とイオン分析
装置1106とを接続配管により直結した比較例5と比
較して、同等の分析精度を達成することができた。
【0080】一方、JIS K 0556−1995に
記載の分析方法による比較例6の分析結果は、実施例3
および比較例6と比較してイオン濃度が高くなってお
り、分析結果に著しい相違を示した。これは、試料であ
る超純水が雰囲気と接触した結果、試料中に雰囲気中の
不純物が混入し、イオン分析の精度を著しく低下させた
ためと推測される。
【0081】
【発明の効果】本願第1および第2の発明による試料容
器によれば、超純水等の試料を雰囲気とは非接触に試料
容器内に採取できるとともに、試料容器内に採取された
試料を雰囲気とは非接触に他の容器あるいは装置等に導
入できるので、試料の移動に際して、雰囲気中に含まれ
る不純物等による試料の汚染を防止することができる。
また、本発明の超純水製造管理システムによれば、製造
された超純水の水質分析に際し、試料である超純水は雰
囲気に接触することがないので、超純水の汚染を防止す
ることができ、高純度の超純水に対しても精度の高い分
析結果を供することができる。したがって、水質管理の
いきとどいた超純水を供給することができる。
【0082】さらに、本発明の超純水分析方法によれ
ば、超純水を雰囲気とは非接触に試料容器内に採取し、
試料容器内に採取された試料を雰囲気とは非接触に他の
容器あるいは装置等に導入するので、試料の移動に際し
て、雰囲気中に含まれる不純物等による試料の汚染を防
止することができ、高純度の超純水に対しても精度の高
い水質測定を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願第1の発明である試料容器の一実施例であ
る、ボトル型試料容器の側面図である。
【図2】本願第2の発明である試料容器の一実施例であ
る、ボトル型試料容器の側面図である。
【図3】蓋部102付近の構造を示した図である。
【図4】本願第2の発明である試料容器の一実施例であ
る、バッグ型試料容器の側面図である。
【図5】本願第2の発明である試料容器の一実施例であ
る、バッグ型試料容器の側面図である。
【図6】本願第2の発明である試料容器の一実施例であ
る、バッグ型試料容器の側面図である。
【図7】本願第2の発明である試料容器の一実施例であ
る、バッグ型試料容器の側面図である。
【図8】バッグ型試料容器700における、接続ジョイ
ント402aと接続ジョイント402bとの位置関係を
模式的に示した図である。
【図9】本願発明における超純水製造管理システムの一
実施例を模式的に示した図である。
【図10】図1に示したボトル型試料容器100を用い
て、試料である超純水を採取する工程を示した図であ
る。
【図11】図1に示したボトル型試料容器100から試
料である超純水を超純水測定装置に導入する工程を示し
た図である。
【図12】図2に示したボトル型試料容器200を用い
て、試料である超純水を採取する工程を示した図であ
る。
【図13】図2に示したボトル型試料容器200から試
料である超純水を超純水測定装置に導入する工程を示し
た図である。
【図14】図4に示したバッグ型試料容器400を用い
て、試料である超純水を採取する工程を示した図であ
る。
【図15】図4に示したバッグ型試料容器400から試
料である超純水を超純水測定装置に導入する工程を示し
た図である。
【符号の説明】
100………ボトル型試料容器 101………容器部
102………蓋部 103………密閉容器 104a、104b………弁 105a、105b………異径継ぎ手 106、107
………連通管 108………試料導入管 109………試料排出管 1
10………連接継ぎ手 200………ボトル型試料容器 201………4方弁 202a、202b、202c、202d………ポート 203………汚染防止管 204………突起部 205
………回転部 206a、206b………通路 300………スクリュ
ウネジ 400………バッグ型試料容器 401………密閉容器 402a、402b………接続ジョイント 403
a、403b………弁 404、502、602、702………ヒートシール部 501、601、701………密閉容器 603………
インナーチューブ 900………超純水製造装置 901………前処理装置 902………2床3塔 90
3………逆浸透装置 904………低圧紫外線ランプ酸化装置 905………
混床式イオン交換装置 906………真空脱気装置 907………低圧紫外線ラ
ンプ酸化装置 908………混床式イオン交換装置 909………限外
濾過膜装置 910………超純水配管 911………ユースポイント 912………試料容器 913………超純水測定装置 1000………超純水配管 1001………試料採取弁 1100………切り替えバルブ 1101、1104、1105………PTFE製チュー
ブ 1102………異径継ぎ手 1103………試料移送ポ
ンプ 1106………イオン分析装置 1200………連接継
ぎ手 1201………試料導入管 1202………試料排出管 1300………異径継ぎ手

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 密閉容器と、 前記密閉容器の一部に具設された試料導入管と、 前記密閉容器の他の一部に具設された試料排出管と、 を具備したことを特徴とする試料容器。
  2. 【請求項2】 密閉容器と、 4つの接続部を有する4方弁と、 2つの独立した通路を有し、少なくともある1つの静止
    位置において前記4つの接続部に対してすべての前記通
    路の端点が同時に1対1に対応するように前記4方弁の
    内部に形成された回転部と、 一端が前記密閉容器の一部に具設されるとともに他端が
    前記4方弁の任意の接続部に接続された試料導入管と、 一端が前記密閉容器の他の一部に具設されるとともに、
    他端は前記4つの接続部に対し前記通路のすべての端点
    が同時に1対1に対応したとき前記任意の接続部に対応
    した通路とは異なる通路に対応する前記接続部に接続さ
    れた試料排出管とを具備したことを特徴とする試料容
    器。
  3. 【請求項3】 超純水製造装置と、 前記超純水製造装置により製造された超純水を雰囲気か
    ら非接触に採取するとともに、採取された前記超純水を
    雰囲気から非接触に超純水測定装置へ導入する試料容器
    と、 前記試料容器より導入された超純水を測定する超純水測
    定装置とを具備したことを特徴とする超純水製造管理シ
    ステム。
  4. 【請求項4】 超純水製造装置により製造された超純水
    を雰囲気から非接触に試料容器内へ採取する工程と、 前記試料容器内へ採取された超純水を雰囲気から非接触
    に超純水測定装置へ導入する工程と、 前記超純水測定装置へ導入された超純水を測定する工程
    とを具備したことを特徴とする超純水分析方法。
JP13725796A 1996-05-30 1996-05-30 試料容器、超純水製造管理システムおよび超純水分析方法 Pending JPH09318497A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011122941A (ja) * 2009-12-10 2011-06-23 Central Res Inst Of Electric Power Ind 自動採水装置
JP2011209179A (ja) * 2010-03-30 2011-10-20 Kurita Water Ind Ltd 採水器
US10358263B2 (en) 2012-08-09 2019-07-23 Entegris, Inc. Ultra-high purity storage and dispensing of liquid reagents

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