JPH09312431A - レーザダイオード励起固体レーザ発振器 - Google Patents

レーザダイオード励起固体レーザ発振器

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JPH09312431A
JPH09312431A JP12811496A JP12811496A JPH09312431A JP H09312431 A JPH09312431 A JP H09312431A JP 12811496 A JP12811496 A JP 12811496A JP 12811496 A JP12811496 A JP 12811496A JP H09312431 A JPH09312431 A JP H09312431A
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Yoshikazu Suzuki
良和 鈴木
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ出力の変動および発振効率の低下を防
ぎ、レーザ出力を増大させる。 【解決手段】 Nd:YAG結晶により形成されたレー
ザ結晶1の一端面に、Ndを含まないYAG結晶により
形成されたプリズム2が光学的に接着して配置される。
全反射ミラー12および出力ミラー14の内部にレーザ
結晶1およびプリズム2を配置して共振器が構成され
る。レーザダイオード3からの励起光は、レーザ結晶1
のプリズム2が接着されていない端面に照射され、レー
ザダイオード4からの励起光は、プリズム2に形成され
たブリュースタ面11で反射してレーザ結晶1のプリズ
ム2が接着している端面に照射される。レーザ結晶1
は、両端面から入射された励起光により発振し、光を増
幅し、出力ミラー14からレーザ光を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザダイオード
(LD)励起固体レーザ発振器に関し、特に、発振波長
が1μm〜3μm帯である赤外光を発振する各種固体レ
ーザ発振器、例えば、ネオジウム:ヤグ(Nd:YA
G)レーザ発振器(発振波長1.06μm)、ホロミウ
ム:ヤグ(Ho:YAG)レーザ発振器(発振波長2.
1μm)あるいはエルビウム:ヤグ(Er:YAG)レ
ーザ発振器(発振波長2.9μm)等、または、0.7
μm〜1μm帯に発振波長を有する固体レーザ発振器、
例えば、アレキサンドライトレーザ発振器やCr:Li
SAFレーザ発振器等に関する。
【0001】
【従来の技術】従来、この種のLD励起固体レーザ発振
器では、特公平7−28072号公報に開示されている
ように、棒状のNd:YAG結晶(レーザロッド)の両
端面側に、全反射ミラーおよび出力ミラーが、その結晶
を挟むようにして配置されている。そして、Nd:YA
G結晶の一端面にレーザダイオードから出力される励起
光を照射する。励起光の照射によって励起されたNdイ
オンの発光を、全反射ミラーおよび出力ミラーとの間で
往復させることによって増幅する。増幅された発光は、
出力ミラー側からレーザ発振光として出力される。
【0002】このレーザ発振器は、一般的に、端面励起
方式のレーザ発振器と呼ばれるものであり、レーザダイ
オードからの励起光の光軸とレーザ発振光の光軸とが同
軸状となるため、励起効率を向上させ、所望のレーザ発
振光を得ることができる。
【0003】一方、端面励起方式のLD励起固体レーザ
発振器において、レーザ発振出力を増大させる方法が、
実公平6−21261号公報やUSP4,710,94
0に開示されている。
【0004】この従来のレーザ発振器は、複数のレーザ
ロッドを直列に配置し、これらを単一のレーザロッドと
して作用させるとともに、複数の励起用レーザダイオー
ドからの励起光を用いてレーザロッドを励起させること
によって、レーザ発振光の出力を増大させるものであ
る。そのために、従来のレーザ発振器では、レーザロッ
ドの端面側に、レーザ発振光に対して45度の傾斜角度
を有する折り返しミラーが設置されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のレーザ発振器では、折り返しミラーの設置角度が周
囲の温度やレーザダイオードからの発熱によって変動
し、レーザ光の光軸を変化させてしまうため、レーザ光
の出力が不安定になるという問題点がある。
【0006】さらに、レーザ光を折り返しミラーで反射
させているために、その都度、レーザ光の出力が反射損
失により低減され、結果として、レーザ発振効率が悪化
するという問題点もある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明のレーザダイオード励起固体レーザ発振器
は、レーザ発振作用を有するイオンを含む結晶により形
成されるレーザ結晶と、前述のイオンを含まない結晶あ
るいはガラス材料のいずれか一方により形成され、レー
ザ結晶の第1の端面に光学的に接着して配置されるプリ
ズムと、レーザ結晶およびプリズムとを内部に配置して
共振器を形成する全反射ミラーおよび出力ミラーとを備
える。さらに、レーザ結晶の第1の端面と対向する第2
の端面に励起光を照射する第1の光源と、プリズムを介
してレーザ結晶の第1の端面に励起光を照射する第2の
光源とを備える。
【0008】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施形態に
ついて図面を参照して詳細に説明する。
【0009】図1は、本発明の第1の実施形態の構成を
示す水平断面図であり、図2は、図1で示された構成を
簡略化して示した図であり、図3は、本実施形態の構成
の主要部分を拡大して示した図である。
【0010】図1および図2を参照すると、1μm×数
100μmの長方形の発光領域を有するレーザダイオー
ド3および4から出力された励起光は、コリメートレン
ズ5および6により平行光にコリメートされる。コリメ
ートレンズ5および6を通過した励起光は、ビームの断
面形状が楕円形状であるため、固体レーザ結晶の励起に
用いるには好ましくない。したがって、励起光をビーム
エキスパンダ7および8に通過させることによって、そ
のビーム形状を円形に整形する。そして、ビームエキス
パンダ7によりビーム形状が円形に整形され、さらに、
集光レンズ9を通過した励起光は、レーザ結晶1の一端
面に入射する。一方、ビームエキスパンダ8によりビー
ム形状が円形に整形され、さらに、集光レンズ10を通
過した励起光は、プリズム2に入射する。なお、図2で
は、コリメートレンズ5および6、ビームエキスパンダ
7および8、及び集光レンズ9および10が、図面の簡
略化のために、単に、レンズ21として示されている。
【0011】ここで、図3を参照し、レーザ結晶および
プリズムについて説明をすると、レーザ結晶1とプリズ
ム2は、レーザ結晶1の励起光が入射される端面に対向
する端面とプリズム2の励起光が入射されない端面と
が、光学的に接着されている。レーザ結晶1の励起光が
入射される端面には、励起光を透過させ、レーザ発振光
を全反射するように全反射ミラー12が備えられてい
る。一方、プリズム2は、レーザ結晶1と光学的に接着
されている端面に対向する位置に、励起光の波長のみ全
反射するようにコーティングが施され、ブリュースタ角
度だけ傾斜しているブリュースタ面11を有する。レー
ザ結晶1は、Nd:YAG結晶であり、プリズム2は、
Ndが添加されていないYAG結晶である。レーザ結晶
1としては、Nd:YAG結晶に限らず、結晶の中央部
にレーザ発振作用を有するイオンを含む結晶、例えば、
HO:YAG結晶、Er:YAG結晶あるいはCr:L
iSAF結晶等を採用してもよく、また、プリズム2と
しては、前述のレーザ発振作用を有するイオンを含まな
い結晶あるいは溶融石英等のガラス材料等を採用しても
よい。
【0012】図1および図2に戻り説明を続けると、プ
リズム2に入射した励起光は、ブリュースタ面11で反
射された後、レーザ結晶1に入射する。レーザダイオー
ド3からの励起光およびプリズム2のブリュースタ面1
1で反射した励起光がレーザ結晶1に入射すると、レー
ザ結晶1の端面に備えられた全反射ミラー12および出
力ミラー14により構成されるレーザ共振器の作用によ
りレーザ結晶1が発振して光が増幅され、レーザ発振光
が出力ミラー14より外部に出力される。
【0013】なお、レーザダイオード3および4には、
放熱フィン15が配置されており、レーザダイオード3
および4の加熱によるレーザ出力の変動を防いでいる。
【0014】さらに、図3を参照して、レーザ結晶およ
びプリズムの作用について説明する。
【0015】レーザ結晶1として、発振波長1.06μ
mを有するNd:YAG結晶を用い、プリズム2として
Ndを含まない屈折率1.83のYAG結晶を用い、さ
らに、励起用レーザダイオードにNd:YAG結晶の吸
収波長に合わせた809nmの励起波長を有するレーザ
ダイオードを用いる場合、レーザダイオード4からの励
起光は、励起光軸23に沿って、プリズム2の励起光入
射面24へ入射角約35.7度で入射する。励起入射面
24は、波長809nmの光に対する無反射コーティン
グが施されている。プリズム2に入射し、ブリュースタ
面11で全反射した励起光は、その光軸がレーザ光軸2
2と一致し、レーザダイオード3からの励起光に対して
反対方向からNd:YAG結晶を励起する。すなわち、
レーザ結晶1は、対向する2つの端面から入射される励
起光により励起される。レーザ光軸25は、プリズム2
に形成されたブリュースタ面11に対して約61度のブ
リュースタ角の傾斜を有している。出力ミラー14で反
射された光をブリュースタ角でブリュースタ面11に入
射させることによって、入射角に対して平行な偏光方向
(P偏光)の成分を有する光の反射損失を最小とするこ
とができる。
【0016】次に、本発明の第2の実施形態について図
4を参照して説明する。
【0017】図4を参照すると、本実施形態の構成は、
前述の第1の実施形態の構成に対して、両端面にプリズ
ム42および43が光学的に接着されたレーザ結晶41
およびそのレーザ結晶41を励起するための2つのレー
ザダイオード44および45が付加されている。ここ
で、レーザダイオード44および45、プリズム42お
および43およびレーザ結晶41は、図1におけるレー
ザダイオード3および4、プリズム2およびレーザ結晶
1と同等のものである。励起用レーザダイオード44か
らの励起光は、集光レンズ21を介して、プリズム42
に入射し、プリズムに設けられたブリュースタ面で反射
して、レーザ結晶41に入射する。一方、励起用レーザ
ダイオード45からの励起光は、集光レンズ21を介し
て、プリズム43に入射し、プリズムに設けられたブリ
ュースタ面で反射して、レーザ結晶41に入射する。レ
ーザ結晶41は、対向する2つの端面から入射された励
起光により発振し、光を増幅する。
【0018】本実施形態では、レーザ結晶を増設してい
るため、より大きなレーザ出力を得ることが可能とな
る。さらに、レーザ光路がジグザグ状ではなく、直線上
に配置されるため、構造が簡略化され、製造が容易とな
る。
【0019】なお、本実施形態では、2つのレーザ結晶
を直列に配置した構成を説明したが、用いるレーザ結晶
の数は、2つに限られるものではなく、装置の規模およ
び所望のレーザ出力との関係を考慮して、最適な数のレ
ーザ結晶を配置することが好ましい。また、レーザ結晶
の数を増加させるのに伴って、励起用レーザダイオード
およびプリズムも増加することになる。
【0020】次に、本発明の第3の実施形態について図
5を参照して説明する。
【0021】図5を参照すると、本実施形態では、前述
の第1の実施形態の構成に対し、レーザ発振を行う共振
器内部にレーザ発振波長を1/2に変換する非線形光学
結晶、例えば、SHG(Second Harmoni
c Generation)結晶51が配置されてい
る。さらに、出力ミラーとして、レーザ光とSHG結晶
により波長が1/2に変換された光(SHG光)の両波
長ともに100%の反射率を有する2波長全反射ミラー
52が配置される。SHG結晶51は、レーザ結晶の一
端面に設けられる全反射ミラーと2波長全反射ミラーと
の間に配置され、共振器内部のレーザ光をSHG光に変
換する。変換された光は、SHG結晶の両方向、すなわ
ち、プリズム方向および2波長全反射ミラー方向へ出力
される。一方の光は、2波長全反射ミラーで反射して折
り返され、結果として、双方の光ともに、プリズムのブ
リュースタ面11に入射する。プリズム2に入射した光
は、ブリュースタ面11で反射し、レーザ光出力として
矢印53の方向へ取り出される。すなわち、本実施形態
では、プリズムの端面(ブリュースタ面)からレーザ光
を出力させることができる。
【0022】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明のレーザダ
イオード励起固体レーザ発振器では、レーザ出力を増大
するための構成として、折り返しミラーを設ける必要が
ないために、折り返しミラーが構造的、熱的な要因で変
形し、レーザ発振の光路が変動することを防ぐことがで
きる。その結果、安定したレーザ出力を得ることができ
る。
【0023】さらに、折り返しミラーを用いる場合と比
べて、レーザ光が通過する光学面の数が大幅に低減する
ために、レーザ発振の効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の構成を示す模式図で
ある。
【図2】図1の構成を簡略化した図である。
【図3】図1の主要部分の構成を示した図である。
【図4】本発明の第2の実施形態の構成を示す模式図で
ある。
【図5】本発明の第3の実施形態の構成を示す模式図で
ある。
【符号の説明】
1、41 レーザ結晶 2、42、43 プリズム 3、4、44、45 レーザダイオード 5、6 コリメートレンズ 7、8 ビームエキスパンダ 9、10 集光レンズ 11 ブリュースタ面 12 全反射ミラー 14 出力ミラー 15 放熱フィン 21 集光レンズ 51 SHG結晶 52 2波長全反射ミラー

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ発振作用を有するイオンを含む第
    1の結晶により形成される第1のレーザ結晶と、 前記イオンを含まない第2の結晶あるいはガラス材料の
    いずれか一方により形成され、前記第1のレーザ結晶の
    第1の端面に光学的に接着して配置される第1のプリズ
    ムと、 前記第1のレーザ結晶および前記第1のプリズムとを内
    部に配置して共振器を形成する全反射ミラーおよび出力
    ミラーと、 前記第1のレーザ結晶の前記第1の端面と対向する第2
    の端面に励起光を照射する第1の光源と、 前記第1のプリズムを介して前記第1のレーザ結晶の前
    記第1の端面に励起光を照射する第2の光源とを備える
    ことを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ発振
    器。
  2. 【請求項2】 前記イオンは、ネオジウムイオン、ホロ
    ミウムイオンあるいはエルビウムイオンの中から選ばれ
    たイオンであることを特徴とする前記請求項1に記載の
    レーザダイオード励起固体レーザ発振器。
  3. 【請求項3】 前記第1のプリズムは、前記レーザ結晶
    と光学的に接着された端面に対向する位置に、ブリュー
    スタ角度を有するブリュースタ面を有し、 前記第2の光源から出力される励起光は、前記第1のプ
    リズムに入射した後、前記ブリュースタ面で反射して、
    前記第1のレーザ結晶の前記第1の端面に照射されるこ
    とを特徴とする前記請求項1に記載のレーザダイオード
    励起固体レーザ発振器。
  4. 【請求項4】 前記第1の結晶により形成され、前記第
    1のレーザ結晶に対し同一の光軸を形成するように配置
    される第2のレーザ結晶と、 前記第2の結晶あるいは前記ガラス材料のいずれか一方
    により形成され、前記第2のレーザ結晶の互いに対向す
    る2つの端面に光学的に接着される第2および第3のプ
    リズムと、 前記第2のプリズムを介して前記第2のレーザ結晶の一
    端面に励起光を照射する第3の光源と、 前記第3のプリズムを介して前記第2のレーザ結晶の他
    の端面に励起光を照射する第4の光源とをさらに備える
    ことを特徴とする前記請求項1に記載のレーザダイオー
    ド励起固体レーザ発振器。
  5. 【請求項5】 レーザ発振作用を有するイオンを含む第
    1の結晶により形成される第1のレーザ結晶と、 前記イオンを含まない第2の結晶あるいはガラス材料の
    いずれか一方により形成され、前記第1のレーザ結晶の
    第1の端面に光学的に接着して配置される第1のプリズ
    ムと、 前記第1のレーザ結晶および前記第1のプリズムとを内
    部に配置して共振器を形成する全反射ミラーおよび出力
    ミラーと、 前記第1のレーザ結晶の前記第1の端面と対向する第2
    の端面に励起光を照射する第1の光源と、 前記第1のプリズムを介して前記第1のレーザ結晶の前
    記第1の端面に励起光を照射する第2の光源とを備える
    レーザダイオード励起固体レーザ発振器であって、 前記共振器内部のレーザ光の光軸上に配置され、前記レ
    ーザ光の発振波長を1/2に変換する非線形光学結晶を
    さらに備え、 前記出力ミラーが、前記レーザ光および前記非線形光学
    結晶により波長変換された光の双方を全反射することを
    特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ発振器。
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