JPH09288144A - 高周波ｉｃ試験装置 - Google Patents
高周波ｉｃ試験装置Info
- Publication number
- JPH09288144A JPH09288144A JP8127879A JP12787996A JPH09288144A JP H09288144 A JPH09288144 A JP H09288144A JP 8127879 A JP8127879 A JP 8127879A JP 12787996 A JP12787996 A JP 12787996A JP H09288144 A JPH09288144 A JP H09288144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- dut
- test
- time
- current generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、バイアス電圧をパルス状に印加し
て、高速で精度よく試験ができる高周波ＩＣ試験装置を
提供する。 【解決手段】 測定ポイントごとに同期した信号を出力
し、外部機器との同期測定をする機能を持ったネットワ
ークアナライザを設け、前記同期信号をうけて、同期し
てパルス状の電圧を発生する電圧電流発生器を設け、該
電圧電流発生器が発生するパルス状の電圧を被測定デバ
イスのバイアス電圧として与えて画面に表示させて試験
する解決手段。
て、高速で精度よく試験ができる高周波ＩＣ試験装置を
提供する。 【解決手段】 測定ポイントごとに同期した信号を出力
し、外部機器との同期測定をする機能を持ったネットワ
ークアナライザを設け、前記同期信号をうけて、同期し
てパルス状の電圧を発生する電圧電流発生器を設け、該
電圧電流発生器が発生するパルス状の電圧を被測定デバ
イスのバイアス電圧として与えて画面に表示させて試験
する解決手段。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波ＩＣのバイ
アスを変えて、出力電力、ゲイン、消費電流等の試験を
行う高周波ＩＣ試験装置に関する。
アスを変えて、出力電力、ゲイン、消費電流等の試験を
行う高周波ＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の例について、図４と、図５、
図６とを参照して説明する。図５に示すように、従来装
置の構成は、ネットワークアナライザ１０と、電圧電流
発生器３０と、パソコン４０とで構成している。そし
て、パソコン４０とネットワークアナライザ１０と、電
圧電流発生器３０とはプログラムによりＧＰ−ＩＢで制
御をして被測定デバイスのＤＵＴ２０を試験している。
図６とを参照して説明する。図５に示すように、従来装
置の構成は、ネットワークアナライザ１０と、電圧電流
発生器３０と、パソコン４０とで構成している。そし
て、パソコン４０とネットワークアナライザ１０と、電
圧電流発生器３０とはプログラムによりＧＰ−ＩＢで制
御をして被測定デバイスのＤＵＴ２０を試験している。
【０００３】被測定デバイスのＤＵＴ２０として高周波
ＩＣを試験する従来の方法は、上記構成による試験方法
が提案されている（例えば実開平０６−５３９８２を参
照）。
ＩＣを試験する従来の方法は、上記構成による試験方法
が提案されている（例えば実開平０６−５３９８２を参
照）。
【０００４】この方法は図４に示すように、掃引する測
定ポイントごとに同期信号をネットワークアナライザ１
０から電圧電流発生器３０に与えて、バイアス電圧を同
期信号ごとに順次変化させることにより、横軸をバイア
ス電圧の変化に対して、縦軸がＤＵＴ２０の出力電力等
の特性をネットワークアナライザ１０の画面に表示す
る。
定ポイントごとに同期信号をネットワークアナライザ１
０から電圧電流発生器３０に与えて、バイアス電圧を同
期信号ごとに順次変化させることにより、横軸をバイア
ス電圧の変化に対して、縦軸がＤＵＴ２０の出力電力等
の特性をネットワークアナライザ１０の画面に表示す
る。
【０００５】例えば、ＤＵＴ２０として高周波ＩＣを試
験する場合に、印加するバイアス電圧を５Ｖから１０Ｖ
まで０．５Ｖステップで変化させるときは、ネットワー
クアナライザ１０から同期信号としてトリガ信号を電圧
電流発生器３０に与えて電圧５Ｖを発生させて、ＤＵＴ
２０にバイアス電圧を印加して、そのバイアス電圧にお
けるＤＵＴ２０の出力を最初の測定ポイントとしてネッ
トワークアナライザ１０の入力に受けてデータを取り込
み、その出力のレベルを演算処理して測定している。
験する場合に、印加するバイアス電圧を５Ｖから１０Ｖ
まで０．５Ｖステップで変化させるときは、ネットワー
クアナライザ１０から同期信号としてトリガ信号を電圧
電流発生器３０に与えて電圧５Ｖを発生させて、ＤＵＴ
２０にバイアス電圧を印加して、そのバイアス電圧にお
けるＤＵＴ２０の出力を最初の測定ポイントとしてネッ
トワークアナライザ１０の入力に受けてデータを取り込
み、その出力のレベルを演算処理して測定している。
【０００６】同様にして、次のトリガ信号で電圧電流発
生器３０から電圧５．５Ｖを発生させて、２つ目の測定
ポイントを測定して求め、順次トリガ信号に対して電圧
を上昇させて測定し、１掃引分の結果のレベルをプロッ
トして、画面上にバイアス電圧変化に対するレベル特性
を一度に表示をしている。
生器３０から電圧５．５Ｖを発生させて、２つ目の測定
ポイントを測定して求め、順次トリガ信号に対して電圧
を上昇させて測定し、１掃引分の結果のレベルをプロッ
トして、画面上にバイアス電圧変化に対するレベル特性
を一度に表示をしている。
【０００７】この場合、ネットワークアナライザ１０の
測定データの取り込み時間と演算処理時間は、トリガと
トリガ間の時間、すなわちバイアス電圧が一定となって
いる測定ポイントと測定ポイント間で処理されればよ
い。例えば、図６に示すように測定ポイント間が５ｍｓ
であれば、ネットワークアナライザ１０の測定データの
取り込み時間と演算処理時間はトリガが発生してＤＵＴ
２０が信号を受けて応答して出力したあとから次のトリ
ガが出力されるまでの間でよい。
測定データの取り込み時間と演算処理時間は、トリガと
トリガ間の時間、すなわちバイアス電圧が一定となって
いる測定ポイントと測定ポイント間で処理されればよ
い。例えば、図６に示すように測定ポイント間が５ｍｓ
であれば、ネットワークアナライザ１０の測定データの
取り込み時間と演算処理時間はトリガが発生してＤＵＴ
２０が信号を受けて応答して出力したあとから次のトリ
ガが出力されるまでの間でよい。
【０００８】ＤＵＴ２０の測定項目、例えば出力電力特
性は各出力電力の結果のプロット間を補完して連続的に
画面に表示している。また、バイアス電圧を変化させて
試験する項目としては、出力電力、ゲイン、消費電流等
のネットワークアナライザ１０と電圧電流発生器３０が
有する機能の試験ができる。
性は各出力電力の結果のプロット間を補完して連続的に
画面に表示している。また、バイアス電圧を変化させて
試験する項目としては、出力電力、ゲイン、消費電流等
のネットワークアナライザ１０と電圧電流発生器３０が
有する機能の試験ができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、Ｄ
ＵＴ２０に印加するバイアス電圧を順次階段状に増加し
て変化させた場合、ＤＵＴ２０は連続して消費電力が増
加することになり、最近の小型化された高周波ＩＣ、と
くに間欠的にバイアス電圧を印加して使用される携帯用
電話機用の高周波ＩＣは熱容量が小さいので、高周波Ｉ
Ｃ自身から発生する発熱のために特性が変化して正確な
測定が出来ない場合が多く実用上の不便があった。
ＵＴ２０に印加するバイアス電圧を順次階段状に増加し
て変化させた場合、ＤＵＴ２０は連続して消費電力が増
加することになり、最近の小型化された高周波ＩＣ、と
くに間欠的にバイアス電圧を印加して使用される携帯用
電話機用の高周波ＩＣは熱容量が小さいので、高周波Ｉ
Ｃ自身から発生する発熱のために特性が変化して正確な
測定が出来ない場合が多く実用上の不便があった。
【００１０】そこで、本発明は、こうした問題に鑑みな
されたもので、その目的は、バイアス電圧をパルス状に
印加して、高速で精度よく試験ができる高周波ＩＣ試験
装置を提供することを目的としている。
されたもので、その目的は、バイアス電圧をパルス状に
印加して、高速で精度よく試験ができる高周波ＩＣ試験
装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決する為の手段】即ち、上記目的を達成する
ためになされた請求項１に記載の発明は、測定ポイント
ごとに同期した信号を出力し、外部機器との同期測定を
する機能を持ったネットワークアナライザ１１を設け、
前記同期信号をうけて、同期信号に同期してパルス状の
電圧を発生する電圧電流発生器３１を設け、該電圧電流
発生器３１が発生するパルス状の電圧をＤＵＴ２０のバ
イアス電圧として与えて試験することを特徴とした高周
波ＩＣ試験装置を要旨としている。
ためになされた請求項１に記載の発明は、測定ポイント
ごとに同期した信号を出力し、外部機器との同期測定を
する機能を持ったネットワークアナライザ１１を設け、
前記同期信号をうけて、同期信号に同期してパルス状の
電圧を発生する電圧電流発生器３１を設け、該電圧電流
発生器３１が発生するパルス状の電圧をＤＵＴ２０のバ
イアス電圧として与えて試験することを特徴とした高周
波ＩＣ試験装置を要旨としている。
【００１２】また、上記目的を達成するためになされた
請求項２に記載の発明は、パルス状の電圧を周期的にバ
イアス電圧としてＤＵＴ２０に与えて、該ＤＵＴ２０に
各バイアス電圧を与えているときの特性を演算して、画
面に連続表示させる請求項１記載の高周波ＩＣ試験装置
を要旨としている。
請求項２に記載の発明は、パルス状の電圧を周期的にバ
イアス電圧としてＤＵＴ２０に与えて、該ＤＵＴ２０に
各バイアス電圧を与えているときの特性を演算して、画
面に連続表示させる請求項１記載の高周波ＩＣ試験装置
を要旨としている。
【００１３】さらに、上記目的を達成するためになされ
た請求項３に記載の発明は、同期信号ごとに電圧電流発
生器３１が発生するパルス状の電圧の振幅を発生するパ
ルスごとに変化させて試験する請求項１又は、２記載の
高周波ＩＣ試験装置を要旨としている。
た請求項３に記載の発明は、同期信号ごとに電圧電流発
生器３１が発生するパルス状の電圧の振幅を発生するパ
ルスごとに変化させて試験する請求項１又は、２記載の
高周波ＩＣ試験装置を要旨としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、下記の実
施例において説明する。
施例において説明する。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例について、図１と、図２と、
図３とを参照して説明する。図３に示すように、本発明
の構成は、コントローラ内蔵のネットワークアナライザ
１１と、電圧電流発生器３１とで構成している。
図３とを参照して説明する。図３に示すように、本発明
の構成は、コントローラ内蔵のネットワークアナライザ
１１と、電圧電流発生器３１とで構成している。
【００１６】ここで、ネットワークアナライザ１１は内
蔵コントローラにより、ＧＰ−ＩＢで接続された電圧電
流発生器３１をプログラムにより制御して、例えば高周
波ＩＣをＤＵＴ２０として自動化試験をする。但し、コ
ントローラを内蔵していないネットワークアナライザで
も外部にパソコン等のコントローラを使用して同様に自
動化試験を実施することができる。また、電圧電流発生
器３１は同期信号により測定ポイントごとにパルス状の
出力電圧が発生できる機能を有し、ＧＰ−ＩＢによる外
部制御可能なユニットを使用する。
蔵コントローラにより、ＧＰ−ＩＢで接続された電圧電
流発生器３１をプログラムにより制御して、例えば高周
波ＩＣをＤＵＴ２０として自動化試験をする。但し、コ
ントローラを内蔵していないネットワークアナライザで
も外部にパソコン等のコントローラを使用して同様に自
動化試験を実施することができる。また、電圧電流発生
器３１は同期信号により測定ポイントごとにパルス状の
出力電圧が発生できる機能を有し、ＧＰ−ＩＢによる外
部制御可能なユニットを使用する。
【００１７】本発明においては、電圧電流発生器３１の
出力電圧は図１に示すように、同期信号により測定ポイ
ントごとにパルス状に発生させてＤＵＴ２０にバイアス
電圧として印加している。ここでパルス状の出力とは、
定常状態から振幅が遷移し、ある時間振幅を持続しても
との状態にもどる波形のことをいう。このパルス状に印
加している電圧のタイムチャートを図２に拡大して表示
している。図２において、同期信号としては例えばトリ
ガ信号が使用されるが、このトリガ信号は測定ポイント
ごとに出力される。
出力電圧は図１に示すように、同期信号により測定ポイ
ントごとにパルス状に発生させてＤＵＴ２０にバイアス
電圧として印加している。ここでパルス状の出力とは、
定常状態から振幅が遷移し、ある時間振幅を持続しても
との状態にもどる波形のことをいう。このパルス状に印
加している電圧のタイムチャートを図２に拡大して表示
している。図２において、同期信号としては例えばトリ
ガ信号が使用されるが、このトリガ信号は測定ポイント
ごとに出力される。
【００１８】次に、ネットワークアナライザ１１の測定
動作について以下詳細に説明する。図３に示すように、
ネットワークアナライザ１１の出力信号はＯＵＴ端子か
らＤＵＴ２０の入力に入射波として信号が与えられる。
ＤＵＴ２０の出力信号は伝送波としてネットワークアナ
ライザ１１の入力に与えられる。この場合に、ＤＵＴ２
０の伝送特性は下式となる。伝送特性＝伝送波／入射波
この関係から、ネットワークアナライザ１１はＤＵＴ２
０のゲイン特性、出力電力特性等の試験ができる。
動作について以下詳細に説明する。図３に示すように、
ネットワークアナライザ１１の出力信号はＯＵＴ端子か
らＤＵＴ２０の入力に入射波として信号が与えられる。
ＤＵＴ２０の出力信号は伝送波としてネットワークアナ
ライザ１１の入力に与えられる。この場合に、ＤＵＴ２
０の伝送特性は下式となる。伝送特性＝伝送波／入射波
この関係から、ネットワークアナライザ１１はＤＵＴ２
０のゲイン特性、出力電力特性等の試験ができる。
【００１９】また、ネットワークアナライザ１１は、ゆ
っくりした信号の変化に対して掃引時間を０以外に設定
し、周波数スパンをゼロに設定することで横軸を時間と
して特性表示ができる。この場合、中心周波数は伝送周
波数に設定し、分解能帯域幅ＢＷは十分広く設定する必
要がある。例えば、測定ポイントごとに発生する同期信
号により、掃引動作に対応して横軸のバイアス電圧を変
化させて、縦軸が各バイアス電圧に対する出力電力の特
性を画面に一度に表示することができる。
っくりした信号の変化に対して掃引時間を０以外に設定
し、周波数スパンをゼロに設定することで横軸を時間と
して特性表示ができる。この場合、中心周波数は伝送周
波数に設定し、分解能帯域幅ＢＷは十分広く設定する必
要がある。例えば、測定ポイントごとに発生する同期信
号により、掃引動作に対応して横軸のバイアス電圧を変
化させて、縦軸が各バイアス電圧に対する出力電力の特
性を画面に一度に表示することができる。
【００２０】そこで、ネットワークアナライザ１１から
出力される同期信号をトリガとして、電圧電流発生器３
１の出力電圧を測定ポイントごとにパルス状に発生させ
てＤＵＴ２０に与え、該ＤＵＴ２０の出力電力を測定
し、さらに電圧電流発生器３１の出力電圧を変化させ、
そのＤＵＴ２０の出力電力特性を演算処理により順次プ
ロットして画面に表示している。
出力される同期信号をトリガとして、電圧電流発生器３
１の出力電圧を測定ポイントごとにパルス状に発生させ
てＤＵＴ２０に与え、該ＤＵＴ２０の出力電力を測定
し、さらに電圧電流発生器３１の出力電圧を変化させ、
そのＤＵＴ２０の出力電力特性を演算処理により順次プ
ロットして画面に表示している。
【００２１】ところで、ネットワークアナライザ１１の
１回の掃引による掃引時間のスピードは、１ポイントあ
たりの掃引時間と、測定ポイント数との積で求められ
る。従って、測定ポイント数が少ないほど測定のスルー
プットが向上する。
１回の掃引による掃引時間のスピードは、１ポイントあ
たりの掃引時間と、測定ポイント数との積で求められ
る。従って、測定ポイント数が少ないほど測定のスルー
プットが向上する。
【００２２】しかし、ネットワークアナライザ１１の掃
引速度は、ＤＵＴ２０の応答時間と、分解能帯域幅ＢＷ
を決めている内部のＩＦフィルタの時定数により制限さ
れている。即ち、ＤＵＴ２０の応答時間が十分速く無視
できるとすれば、入力信号レベルの変化に対して、応答
するための過度的時間、すなわちＩＦフィルタの時定数
に依存する時間が必要である。一般に、分解能帯域幅Ｂ
Ｗは狭くすると時定数は大きくなり、分解能帯域幅ＢＷ
は広くすると時定数は小さくなる。
引速度は、ＤＵＴ２０の応答時間と、分解能帯域幅ＢＷ
を決めている内部のＩＦフィルタの時定数により制限さ
れている。即ち、ＤＵＴ２０の応答時間が十分速く無視
できるとすれば、入力信号レベルの変化に対して、応答
するための過度的時間、すなわちＩＦフィルタの時定数
に依存する時間が必要である。一般に、分解能帯域幅Ｂ
Ｗは狭くすると時定数は大きくなり、分解能帯域幅ＢＷ
は広くすると時定数は小さくなる。
【００２３】従って、高速に測定をおこなう場合の１回
の掃引時間は、分解能帯域幅ＢＷと、１ポイント当たり
の最小掃引時間とで制限される。もし、掃引時間をこの
制限される時間よりも速くすると、フィルタの応答が間
に合わなくて測定の誤差を発生することとなる。また、
この１ポイント当たりの最小掃引時間は同期掃引時間と
もいい、測定ポイントと測定ポイントの最小時間ともな
る時間で、例えば、１ｍｓ／１ポイントのネットワーク
アナライザがある。
の掃引時間は、分解能帯域幅ＢＷと、１ポイント当たり
の最小掃引時間とで制限される。もし、掃引時間をこの
制限される時間よりも速くすると、フィルタの応答が間
に合わなくて測定の誤差を発生することとなる。また、
この１ポイント当たりの最小掃引時間は同期掃引時間と
もいい、測定ポイントと測定ポイントの最小時間ともな
る時間で、例えば、１ｍｓ／１ポイントのネットワーク
アナライザがある。
【００２４】そして、ネットワークアナライザ１１では
測定ポイント数と掃引時間との関係は下式に示すように
なる。 掃引時間＝１ポイントの測定時間（ｓ／１ポイント）×
測定ポイント 一方、ネットワークアナライザ１１が測定するデータ取
り込み時間と分解能帯域幅ＢＷとは下式（１）で制限さ
れる。 データ取り込みに必要な時間（ｍｓ）＝１／ＢＷ ・・・・（１） ここでＢＷは分解能帯域幅とする（単位：ｋＨｚ）。
測定ポイント数と掃引時間との関係は下式に示すように
なる。 掃引時間＝１ポイントの測定時間（ｓ／１ポイント）×
測定ポイント 一方、ネットワークアナライザ１１が測定するデータ取
り込み時間と分解能帯域幅ＢＷとは下式（１）で制限さ
れる。 データ取り込みに必要な時間（ｍｓ）＝１／ＢＷ ・・・・（１） ここでＢＷは分解能帯域幅とする（単位：ｋＨｚ）。
【００２５】例えば、下記の条件で測定する場合、デー
タ取り込み必要時間は約３３０μｓ（１／３ｋＨｚ）と
なる。 ＢＷ＝３ｋＨｚ ポイント数＝１００ 同期掃引時間：５ｍｓ／１ポイント この場合の掃引時間＝（５ｍｓ／１ポイント）×１００
ポイント＝０．５ｓ
タ取り込み必要時間は約３３０μｓ（１／３ｋＨｚ）と
なる。 ＢＷ＝３ｋＨｚ ポイント数＝１００ 同期掃引時間：５ｍｓ／１ポイント この場合の掃引時間＝（５ｍｓ／１ポイント）×１００
ポイント＝０．５ｓ
【００２６】次に、分解能帯域幅ＢＷを変えた下記の条
件で測定する場合、データ取り込み必要時間は１０００
μｓ（１／１ｋＨｚ）となる。 ＢＷ＝１ｋＨｚ ポイント数＝１００ 同期掃引時間：５ｍｓ／１ポイント この場合の掃引時間＝（５ｍｓ／１ポイント）×１００
ポイント＝０．５ｓ
件で測定する場合、データ取り込み必要時間は１０００
μｓ（１／１ｋＨｚ）となる。 ＢＷ＝１ｋＨｚ ポイント数＝１００ 同期掃引時間：５ｍｓ／１ポイント この場合の掃引時間＝（５ｍｓ／１ポイント）×１００
ポイント＝０．５ｓ
【００２７】ところで、図２に示すように、ＤＵＴ２０
として例えば携帯電話に使用する高周波ＩＣのＰＨＳ規
格は、通信のチャンネルＣＨ１の送信時間６２５μｓを
５ｍｓ間隔で時分割で動作させて送信している。このよ
うに、間欠的に動作させている高周波ＩＣの動作条件に
合わせたタイミングで高周波ＩＣの試験をおこなうこと
により、実際に使用する動作に近い試験とすることがで
きる。
として例えば携帯電話に使用する高周波ＩＣのＰＨＳ規
格は、通信のチャンネルＣＨ１の送信時間６２５μｓを
５ｍｓ間隔で時分割で動作させて送信している。このよ
うに、間欠的に動作させている高周波ＩＣの動作条件に
合わせたタイミングで高周波ＩＣの試験をおこなうこと
により、実際に使用する動作に近い試験とすることがで
きる。
【００２８】そこで、電圧電流発生器３１の出力させる
パルス状のバイアス電圧のタイミングをＰＨＳの規格と
同じに設定したときは、バイアス印加時間が６２５μｓ
で、発生周期が５ｍｓの場合、データ取り込みは、取り
込みの開始が同期信号を受けてからすぐにできるように
して、かつバイアス印加時間が６２５μｓの範囲でおこ
なう必要がある。尚、電圧電流発生器３１の出力するバ
イアス電圧をパルス状で印加するときは、そのパルス幅
がＤＵＴ２０のデバイスが動作している時間であり、ま
たデータ取り込みのできる時間の範囲となる。
パルス状のバイアス電圧のタイミングをＰＨＳの規格と
同じに設定したときは、バイアス印加時間が６２５μｓ
で、発生周期が５ｍｓの場合、データ取り込みは、取り
込みの開始が同期信号を受けてからすぐにできるように
して、かつバイアス印加時間が６２５μｓの範囲でおこ
なう必要がある。尚、電圧電流発生器３１の出力するバ
イアス電圧をパルス状で印加するときは、そのパルス幅
がＤＵＴ２０のデバイスが動作している時間であり、ま
たデータ取り込みのできる時間の範囲となる。
【００２９】この場合の分解能帯域幅ＢＷは、式（１）
から下記式（２）が得られる。 分解能帯域幅ＢＷ＝１／データ取り込みに必要な時間（ｍｓ）・・・・（２） 従って、データ取り込み時間を６２５μｓとすると、式
（２）から分解能帯域幅ＢＷは１．６ｋＨｚ以上に設定
すればよい。そこで、分解能帯域幅ＢＷを前記に示した
設定条件のＢＷ＝３ｋＨｚとすれば、そのときのデータ
取り込みに必要な時間は３３０μｓなので、ＤＵＴ２０
にバイアス電圧を印加している時間が６２５μｓあれば
データの取り込みが可能となる。
から下記式（２）が得られる。 分解能帯域幅ＢＷ＝１／データ取り込みに必要な時間（ｍｓ）・・・・（２） 従って、データ取り込み時間を６２５μｓとすると、式
（２）から分解能帯域幅ＢＷは１．６ｋＨｚ以上に設定
すればよい。そこで、分解能帯域幅ＢＷを前記に示した
設定条件のＢＷ＝３ｋＨｚとすれば、そのときのデータ
取り込みに必要な時間は３３０μｓなので、ＤＵＴ２０
にバイアス電圧を印加している時間が６２５μｓあれば
データの取り込みが可能となる。
【００３０】従って、本発明においては、ＤＵＴ２０に
印加するバイアス電圧をパルス状に印加して、かつ試験
データの取り込み時間を速くして、かつパルスの発生時
間内にできるように分解能帯域幅ＢＷを設定することに
より、パルスが発生していない時間はＤＵＴ２０が温度
上昇しないので、測定に影響を与えないで試験ができる
高周波ＩＣ試験装置を得ることができる。
印加するバイアス電圧をパルス状に印加して、かつ試験
データの取り込み時間を速くして、かつパルスの発生時
間内にできるように分解能帯域幅ＢＷを設定することに
より、パルスが発生していない時間はＤＵＴ２０が温度
上昇しないので、測定に影響を与えないで試験ができる
高周波ＩＣ試験装置を得ることができる。
【００３１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。ＤＵＴ
２０に印加するバイアス電圧をパルス状に印加するの
で、ＤＵＴ２０として間欠的に動作させる携帯電話やＰ
ＨＳ用に使用される高周波用ＩＣの実動作と同じバイア
ス印加条件で試験ができることになり、デバイスが温度
上昇して特性の変化を起こさないので、高速に精度よく
試験をおこなうことができる効果がある。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。ＤＵＴ
２０に印加するバイアス電圧をパルス状に印加するの
で、ＤＵＴ２０として間欠的に動作させる携帯電話やＰ
ＨＳ用に使用される高周波用ＩＣの実動作と同じバイア
ス印加条件で試験ができることになり、デバイスが温度
上昇して特性の変化を起こさないので、高速に精度よく
試験をおこなうことができる効果がある。
【図１】本発明の高周波ＩＣ試験装置の試験方法を示す
図である。
図である。
【図２】本発明の高周波ＩＣ試験装置のタイムチャート
である。
である。
【図３】本発明の高周波ＩＣ試験装置のブロック図であ
る。
る。
【図４】従来の高周波ＩＣ試験装置の試験方法を示す図
である。
である。
【図５】従来の高周波ＩＣ試験装置のブロック図であ
る。
る。
【図６】従来の高周波ＩＣ試験装置のタイムチャートで
ある。
ある。
１０、１１ ネットワークアナライザ ２０ ＤＵＴ ３０、３１ 電圧電流発生器 ４０ パソコン
Claims (3)
- 【請求項１】 測定ポイントごとに同期した信号を出力
し、外部機器との同期測定をする機能を持ったネットワ
ークアナライザ（１１）を設け、 前記同期信号をうけて、同期信号に同期してパルス状の
電圧を発生する電圧電流発生器（３１）を設け、 該電圧電流発生器（３１）が発生するパルス状の電圧を
ＤＵＴ（２０）のバイアス電圧として与えて試験するこ
とを特徴とした高周波ＩＣ試験装置。 - 【請求項２】 パルス状の電圧を周期的にバイアス電圧
としてＤＵＴ（２０）に与えて、該ＤＵＴ（２０）に各
バイアス電圧を与えているときの特性を演算して、画面
に連続表示させる請求項１記載の高周波ＩＣ試験装置。 - 【請求項３】 同期信号ごとに電圧電流発生器（３１）
が発生するパルス状の電圧の振幅を発生するパルスごと
に変化させて試験する請求項１又は、２記載の高周波Ｉ
Ｃ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8127879A JPH09288144A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 高周波ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8127879A JPH09288144A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 高周波ｉｃ試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09288144A true JPH09288144A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=14970906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8127879A Pending JPH09288144A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 高周波ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09288144A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008523361A (ja) * | 2004-12-07 | 2008-07-03 | テレフオンアクチーボラゲット エル エム エリクソン（パブル） | Ｓパラメータの測定 |
| CN116735980A (zh) * | 2023-08-14 | 2023-09-12 | 西安图为电气技术有限公司 | 一种采用双脉冲测试电感偏置感量的方法及装置 |
-
1996
- 1996-04-24 JP JP8127879A patent/JPH09288144A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008523361A (ja) * | 2004-12-07 | 2008-07-03 | テレフオンアクチーボラゲット エル エム エリクソン（パブル） | Ｓパラメータの測定 |
| CN116735980A (zh) * | 2023-08-14 | 2023-09-12 | 西安图为电气技术有限公司 | 一种采用双脉冲测试电感偏置感量的方法及装置 |
| CN116735980B (zh) * | 2023-08-14 | 2023-10-24 | 西安图为电气技术有限公司 | 一种采用双脉冲测试电感偏置感量的方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6545460B2 (en) | Power source current measurement unit for semiconductor test system | |
| WO1994002861A1 (en) | Apparatus for automatic testing of complex devices | |
| JPH09288144A (ja) | 高周波ｉｃ試験装置 | |
| CN213637693U (zh) | 时钟自测fpga | |
| CN114236383A (zh) | 扫频特性曲线的生成方法、设备及存储介质 | |
| US6099161A (en) | Asynchronous analog or digital frequency measurement on digital test equipment | |
| JPH03128422A (ja) | 超音波音速測定法 | |
| US7424406B2 (en) | Filter characteristic measuring method and system | |
| JPH06258356A (ja) | 信号波形の最大，最小値測定装置 | |
| JP3393187B2 (ja) | 半導体デバイス測定装置 | |
| US6795787B2 (en) | Method and apparatus for calibrating a sampling circuit | |
| JP3765389B2 (ja) | スペクトラム測定方法、スペクトラムアナライザおよびスペクトラム測定システム | |
| JP2849787B2 (ja) | 受信装置及びその自動校正方法。 | |
| JP2004286511A (ja) | 光サンプリング装置および光波形観測システム | |
| JP2508226B2 (ja) | 信号発生装置 | |
| JP2002340951A (ja) | 半導体デバイステストシステム | |
| JP2002090393A (ja) | 測定器の入力回路 | |
| JPH03214079A (ja) | Ｉｃの入力スレショルド測定装置 | |
| CN112117995A (zh) | Fpga片内时钟占空比测试方法和时钟自测fpga | |
| JPH02109500A (ja) | スピーカの周波数特性測定装置 | |
| JP2002340949A (ja) | 半導体デバイステストシステム | |
| JPH081454B2 (ja) | 特性測定方法 | |
| JPS63141435A (ja) | ボイス・スイツチの動作時間の測定方式 | |
| JPS5940263A (ja) | 直視装置へのプログラマブル波形表示方式 | |
| JP2006148407A (ja) | チューナの特性を測定する装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021112 |