JPH09280848A - 複層材料の表層厚さ判定方法およびその装置 - Google Patents

複層材料の表層厚さ判定方法およびその装置

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JPH09280848A
JPH09280848A JP8087752A JP8775296A JPH09280848A JP H09280848 A JPH09280848 A JP H09280848A JP 8087752 A JP8087752 A JP 8087752A JP 8775296 A JP8775296 A JP 8775296A JP H09280848 A JPH09280848 A JP H09280848A
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surface layer
ultrasonic wave
propagation
ultrasonic
thickness
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Kenji Kato
賢治 加藤
Hiroshi Kamata
弘志 鎌田
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SHIZUOKA OKI DENKI KK
Oki Electric Industry Co Ltd
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SHIZUOKA OKI DENKI KK
Oki Electric Industry Co Ltd
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    • G01N29/04Analysing solids
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複層材料の表層厚さを超音波を用いて簡単な
構成で容易に判定することのできる判定方法およびその
装置を提供する。 【解決手段】 超音波送信器1から超音波を複層材料の
表層12に入射しかつ内層11で全反射する入射角度θ
で表層12側から送信して表層12内を伝搬した超音波
を送信器1から所定の距離d1に設置した受信器5で受
信し、超音波の送信時刻および受信時刻を測定して両測
定時刻より超音波の総合伝搬時間t1を算出し、この総
合伝搬時間t1および所定距離d1により超音波の仮伝
搬音速を算出して表層12内以外の超音波の伝搬時間t
T,tRを算出し、総合伝搬時間t1、所定距離d1お
よび表層12内以外の超音波の伝搬時間tT,tRによ
り超音波の伝搬音速を算出し、この伝搬音速とあらかじ
め求められている表層の厚さに対応した伝搬音速とに基
いて表層12の厚さを判定する方法およびその装置であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複層材料の表層、
例えばコンクリート壁に密着しているモルタル層の厚さ
を判定する判定方法およびその装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、コンクリート壁の厚さ自体を測定
する方法としては超音波を用いて行う方法があり、その
方法および装置の一例として、「超音波テクノ」6巻2
号(1994年(平成6年)2月15日、日本工業出版
株式会社発行、以下、「文献1」という)の表紙、第1
9頁〜第23頁および裏表紙に記述されたものがある。
文献1の第22頁、第23頁および裏表紙に記述された
方法およびその装置は、送受信両探触子をコンクリート
の表面に並べて当て、超音波パルスを送波探触子から片
面コンクリートより送波して反対面からの微弱な反射信
号を受波探触子で受波し、その伝搬時間に基いてコンク
リート壁の厚さを求めるいわゆるパルスエコー法の原理
を用いたものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のコ
ンクリート壁の厚さの測定方法は、文献1の第19頁に
記述されているように縦波超音波を用いている。しかし
ながら、文献1の第23頁に「厚さの対抗面で反射して
戻る超音波は、残存波振動の早い時期に戻って来る。求
める反射波は、受信される直接波の振幅と比較し非常に
小さい。」と記述されているように、反対面からの反射
信号は微弱である。これは、コンクリートの反対面すな
わち空気に接している面での超音波の反射はほとんど完
全反射であるものの、送受波器の変換効率やコンクリー
ト自体の超音波内部損失のためである。
【0004】モルタル層はセメントまたは石灰と砂とを
一定の割合に混ぜ、水を加えて練ったものであり、コン
クリートはセメント、砂および砂利または砕石とを一定
の割合に混ぜ、水を加えて練ったものであるから、コン
クリートとモルタル層の材質はほとんど同質であり、そ
の境界面でも超音波の反射はほとんどない。したがっ
て、モルタル層の厚さを測定しようとしてもコンクリー
トとの境界面からの反射信号はほとんどなく信号として
検出できないため、従来の縦波のパルスエコー法でコン
クリート表面に塗布したモルタル層の厚さを測定するこ
とは困難であった。
【0005】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたもので、複層材料の表層厚さを超音波を用
いて簡単な構成で容易に判定することのできる判定方法
およびその装置を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る複層材料の
表層厚さの判定方法は、超音波送信器から超音波を複層
材料の表層に入射しかつ内層で全反射する入射角度で表
層側から送信して表層内を伝搬した超音波を送信器から
所定の距離に設置した受信器で受信し、超音波の送信時
刻および受信時刻を測定して両測定時刻より超音波の総
合伝搬時間を算出し、この総合伝搬時間および所定距離
により超音波の仮伝搬音速を算出して表層内以外の超音
波の伝搬時間を算出し、総合伝搬時間、所定距離および
表層内以外の超音波の伝搬時間により超音波の伝搬音速
を算出し、この伝搬音速とあらかじめ求められている表
層の厚さに対応した伝搬音速とに基いて表層の厚さを判
定する方法である。これにより、表層内を伝搬する超音
波の伝搬時間および伝搬音速が容易に求められ、求めら
れた結果およびあらかじめ求められている表層の厚さに
対応した伝搬音速に基いて簡単に表層の厚さが判定され
る。
【0007】また、本発明に係る複層材料の表層厚さの
判定装置は、超音波が複層材料の表層に入射されかつ内
層で全反射する入射角度に対応した傾斜面を有する取付
部材を備え、取付部材の傾斜面に設けられた吸着層を介
して複層材料の表層表面上に設置された超音波送信手段
と、入射角度に対応した傾斜面を有する取付部材を備
え、取付部材の傾斜面に設けられた吸着層を介して複層
材料の表層表面上に超音波送信手段に対向するように所
定距離をおいて設置された超音波受信手段と、超音波送
信手段に接続されパルス信号を送信するパルス送信手段
と、超音波受信手段に接続されパルス信号を受信するパ
ルス受信手段と、パルス送信手段およびパルス受信手段
のパルス信号に基いて超音波の総合伝搬時間を算出し、
総合伝搬時間および所定距離により超音波の仮伝搬音速
を算出して表層内以外の超音波の伝搬時間を算出すると
ともに、総合伝搬時間、所定距離および表層内以外の超
音波の伝搬時間により超音波の伝搬音速を算出する算出
手段と、あらかじめ求められている表層の厚さに対応し
た基準の伝搬音速が記憶され、算出手段により算出され
た伝搬音速と基準の伝搬音速とに基いて表層の厚さを判
定する判定手段とを備えたものである。これにより、簡
単な構成でかつ容易に表層の厚さが判定でき、使用範囲
の広い判定装置が得られる。
【0008】さらに、超音波の入射角度を、30゜以上
50゜以下とし、好ましくは40゜としたものである。
これにより、超音波は表層内のみを確実に伝搬し、表層
内を伝搬する超音波の正確な伝搬速度が得られる。
【0009】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施形態の構成図
である。図において、1は超音波の入射角度θ、例えば
40゜に対応した傾斜面2aを有する楔状のゴムキャッ
プ2を備えた超音波送波器で、パルス送信器3に接続さ
れており、ゴムキャップ2の傾斜面2aにはグリースま
たは吸盤などの吸着層4が設けられている。5は超音波
送波器のゴムキャップ2の傾斜面2aと同じ角度の傾斜
面6aを有する楔状のゴムキャップ6を備えた超音波受
波器で、パルス受信器7に接続されており、ゴムキャッ
プ6の傾斜面6aにはグリースまたは吸盤などの吸着層
8が設けられている。9はパルス送信器3およびパルス
受信器7が接続されている時間計測回路、10は時間計
測回路9が接続されている厚さ判定回路である。11は
コンクリート、12はコンクリート11の上に塗布され
たモルタル層である。なお、この実施形態では超音波の
入射角度θを40゜としている。これは、超音波がモル
タル層12の表面で鏡面反射せずに確実に入射し、かつ
モルタル層12より若干硬い材質で僅かに超音波音速の
異なるコンクリート11に透過せずにコンクリート11
との境目であるコンクリート11表面で全反射する角度
であり、その範囲は30゜以上50゜以下であり、好ま
しくは40゜である。
【0010】このように構成されたこの実施形態におい
て、コンクリート11上に塗布された厚さが不明なモル
タル層12のモルタル層厚さを判定する場合、まず、図
1に示すように、超音波送波器1および超音波受波器5
のゴムキャップ2,6を、モルタル層12の同一表面上
に所定距離(ここでは超音波送波器1と超音波受波器5
の器間距離d1)をおいて対向するように設置し、それ
ぞれの吸着層4,8を介して密着させる。なお、器間距
離d1は後述する基準となる導波伝搬音速Cが求められ
た際の器間距離と同様である。ついで、パルス送信器3
からパルス信号を送信すると、パルス信号は超音波送波
器1で超音波信号に変換され、図1の一点鎖線に示すよ
うに、超音波信号13がゴムキャップ2および吸着層4
を経由してモルタル層12に入射される。この時の超音
波信号13の入射角度θは、ゴムキャップ2の傾斜面2
aに対応していて超音波信号13がモルタル層12内の
みで伝搬する角度である。
【0011】入射された超音波信号13は、コンクリー
ト11に透過せずにコンクリート11の表面で鏡面反射
して表面波に変換され、モルタル層12内部を導波路と
して伝搬し、吸着層8およびゴムキャップ6を経由して
再度縦波に変換され、超音波受波器5で受波されてパル
ス受信器7で電気受信信号に変換される。そして、時間
計測回路9は、パルス送信器3からの送信タイミング同
期信号とパルス受信器7からの受信信号の相互の時間差
をもとに超音波信号13の送受総合の導波伝搬時間を算
出するとともに、算出した総合の導波伝搬時間、超音波
送波器1と超音波受波器5の器間距離d1、およびあら
かじめ算出されているモルタル層12以外での超音波の
伝搬時間をもとに導波伝搬音速を算出して厚さ判定回路
10に送る。
【0012】ここで、図1に示すように、超音波送波器
1からモルタル層12に至るまでの超音波伝搬時間をt
T、モルタル層12から超音波受波器5に至るまでの超
音波伝搬時間をtRとし、超音波送波器1と超音波受波
器5の器間距離をd1とした場合のモルタル層12内部
での超音波伝搬時間をtd1とすると、送受総合の導波伝
搬時間t1は、 t1=tT+td1+tR となり、超音波送波器1と超音波受波器5の器間距離を
d2とし、この場合のモルタル層12内部での超音波伝
搬時間をtd2とすると、送受総合の導波伝搬時間t2
は、 t2=tT+td2+tR となる。
【0013】そして、モルタル層12内部を伝搬する超
音波信号13の導波伝搬時間は器間距離d2の場合から
器間距離d1の場合を差し引くことによって求めること
ができるので、t2−t1=td2−td1となる。モルタ
ル層12内部を伝搬する超音波信号13は器間距離が変
わっても導波伝搬音速は変わらないので、両器間距離d
1,d2の場合の仮の導波伝搬音速C1は、 C1=(d2−d1)/(td2−td1) C1=(d2−d1)/(t2−t1)………(1) となり、時間計測回路9において、異なる器間距離d
1,d2での送受総合の導波伝搬時間t1,t2はパル
ス送信器3からの送信タイミング同期信号とパルス受信
器7からの受信信号の相互の時間差から求められるとと
もに、式(1)によって超音波信号13の仮の導波伝搬
音速C1が求められる。
【0014】また、例えば器間距離d1の場合のモルタ
ル層12内部での超音波信号13の導波伝搬時間td1
は、 td1=d1/C1………(2) により求められ、導波伝搬時間td1の確定によってモル
タル層12以外での超音波伝搬時間tT,tRは、 tT+tR=t1−td1………(3) により求められる。このモルタル層12以外での超音波
伝搬時間tT,tRは測定装置において一定であるの
で、一度測定して求め、その値を時間計測回路9に記憶
させておけば良い。したがって、超音波信号13の導波
伝搬音速Cは、 C=d1/(t1−(tT+tR))………(4) ((tT+tR)は一定の値) となる。
【0015】そして、厚さが異なる各種の標準試験片に
おいて異なる器間距離d1,d2での送受総合の導波伝
搬時間t1,t2を求めるとともに、式(1)において
超音波信号13の仮の導波伝搬音速C1を求め、この仮
の導波伝搬音速C1と式(2),(3)によりモルタル
層12以外での超音波伝搬時間tT+tRを求めて、モ
ルタル層12の厚さに対応した基準となる超音波信号1
3の導波伝搬音速Cを求める。導波伝搬音速Cはモルタ
ル層12の厚さによってその依存性が変わるので、標準
試験片を用いて図2に示すような導波伝搬音速Cのモル
タル層12の厚さに対する依存性を示す線図を作成す
る。なお、図2の線図は、入射角度θが40゜、器間距
離が80mm、周波数が77kHzの場合である。そし
て、例えば各種のモルタル層/コンクリートの配合構成
におけるモルタル層12の厚さと導波伝搬音速Cの関係
を厚さ判定回路10のROMなどでテーブルとして記憶
させる。
【0016】次に、時間計測回路9において算出された
超音波信号13の送受総合の導波伝搬時間t1と、式
(4)によって算出された超音波信号13の導波伝搬音
速Cと、モルタル層/コンクリートの配合構成とに基い
て、厚さ判定回路10はあらかじめ記憶されている基準
の導波伝搬音速Cのテーブル、例えば図2に示すような
線図等からモルタル層12のモルタル層厚さを判定す
る。
【0017】
【実施例】入射角度θを40゜、超音波送波器1と超音
波受波器5の器間距離d1を80mm、周波数を77k
Hz、モルタル層12以外での超音波伝搬時間(tT+
tR)を0.0001secとし、厚さの不明なモルタ
ル層12において上述したように超音波の片道伝搬計測
を行うと、時間計測回路9によって超音波の送信信号お
よび受信信号の相互の時間差から送受総合の導波伝搬時
間t1 は0.00015secと算出され、式(4)に
より導波伝搬音速Cは1600m/secと算出され
る。この算出された導波伝搬音速C、1600m/se
cを厚さ判定回路10に記憶されている基準の導波伝搬
音速C、つまり図2の線図に対応させると、測定したモ
ルタル層12のモルタル層厚さは23.5mmと判定さ
れる。
【0018】このように、あらかじめモルタル層12の
厚さに対応した基準の導波伝搬音速Cを記憶させてお
き、パルスエコー法とは異なる超音波の片道伝搬計測法
により超音波の送信時刻および自信時刻を測定して総合
伝搬時間および導波伝搬音速Cを算出し、算出結果に基
づいてモルタル層12のみの厚さを簡単な構成で容易に
判定することができるので、例えば既存のビルや橋梁な
どでモルタル塗装をしているコンクリートのモルタル層
厚さの塗布状況を点検することができたり、モルタル層
12が部分的に薄いまたはコンクリートから浮き上がっ
ているなどを導波伝搬音速Cからその異常状態を検出
し、モルタル工事の正確性や疲労状態などを検査するこ
とができ、使用範囲の広い判定装置を得ることができ
る。また、厚さ分解能はパルスエコー法と違ってパルス
幅に無関係であるので、長いパルスや低周波の超音波を
用いることができ、伝搬減衰が小さく受信信号レベルの
高いより正確な測定および判定を行うことができる。
【0019】
【発明の効果】以上のように本発明に係る複層材料の表
層厚さの判定方法は、超音波送信器から超音波を複層材
料の表層に入射しかつ内層で全反射する入射角度で表層
側から送信して表層内を伝搬した超音波を送信器から所
定の距離に設置した受信器で受信し、超音波の送信時刻
および受信時刻を測定して両測定時刻より超音波の総合
伝搬時間を算出し、この総合伝搬時間および所定距離に
より超音波の仮伝搬音速を算出して表層内以外の超音波
の伝搬時間を算出し、総合伝搬時間、所定距離および表
層内以外の超音波の伝搬時間により超音波の伝搬音速を
算出し、伝搬音速とあらかじめ求められている表層の厚
さに対応した伝搬音速とに基いて表層の厚さを判定する
方法であるので、伝搬減衰が小さく受信信号レベルの高
い超音波を用いて今まで難しかった表層のみの厚さを簡
単かつ容易に知ることができ、表層厚さ判定技術の向上
を図ることができる。
【0020】また、本発明に係る複層材料の表層厚さの
判定装置は、超音波が複層材料の表層に入射されかつ内
層で全反射する入射角度に対応した傾斜面を有する取付
部材を備え、取付部材の傾斜面に設けられた吸着層を介
して複層材料の表層表面上に設置された超音波送信手段
と、入射角度に対応した傾斜面を有する取付部材を備
え、取付部材の傾斜面に設けられた吸着層を介して複層
材料の表層表面上に超音波送信手段に対向するように所
定距離をおいて設置された超音波受信手段と、超音波送
信手段に接続されパルス信号を送信するパルス送信手段
と、超音波受信手段に接続されパルス信号を受信するパ
ルス受信手段と、パルス送信手段およびパルス受信手段
のパルス信号に基いて超音波の総合伝搬時間を算出し、
総合伝搬時間および所定距離により超音波の仮伝搬音速
を算出して表層内以外の超音波の伝搬時間を算出すると
ともに、総合伝搬時間、所定距離および表層内以外の超
音波の伝搬時間により超音波の伝搬音速を算出する算出
手段と、あらかじめ求められている表層の厚さに対応し
た基準の伝搬音速が記憶され、算出手段により算出され
た伝搬音速と基準の伝搬音速とに基いて表層の厚さを判
定する判定手段とを備えたので、簡単な構成で手軽に表
層厚さを判定することができ、既存のビルや橋梁などに
おいても表層塗布状況の検知等を容易に行えて使用範囲
の広い判定装置を得ることができる。
【0021】さらに、本発明に係る複層材料の表層厚さ
の判定方法およびその装置において、超音波の入射角度
を、30゜以上50゜以下とし、好ましくは40゜とし
たので、超音波を表層内のみに確実に伝搬して表層内を
伝搬する超音波の正確な伝搬速度を得ることができる。
これにより、表層厚さの判定の正確性を向上させること
ができ、信頼性の高い判定方法およびその装置を得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の構成図である。
【図2】導波伝搬音速のモルタル層の厚さに対する依存
性を示す線図である。
【符号の説明】
1 超音波送波器 2,6 ゴムキャップ 2a,6a 傾斜面 3 パルス送信器 4,8 吸着層 5 超音波受波器 7 パルス受信器 9 時間計測回路 10 厚さ判定回路 11 コンクリート 12 モルタル層 13 超音波信号 θ 入射角度

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波送信器から超音波を複層材料の表
    層に入射しかつ内層で全反射する入射角度で前記表層側
    から送信して該表層内を伝搬した超音波を前記送信器か
    ら所定の距離に設置した受信器で受信し、該超音波の送
    信時刻および受信時刻を測定して両測定時刻より超音波
    の総合伝搬時間を算出し、該総合伝搬時間および前記所
    定距離により超音波の仮伝搬音速を算出して前記表層内
    以外の超音波の伝搬時間を算出し、前記総合伝搬時間、
    所定距離および表層内以外の超音波の伝搬時間により超
    音波の伝搬音速を算出し、該伝搬音速とあらかじめ求め
    られている表層の厚さに対応した伝搬音速とに基いて前
    記表層の厚さを判定することを特徴とする複層材料の表
    層厚さ判定方法。
  2. 【請求項2】 超音波が複層材料の表層に入射されかつ
    内層で全反射する入射角度に対応した傾斜面を有する取
    付部材を備え、該取付部材の傾斜面に設けられた吸着層
    を介して複層材料の表層表面上に設置された超音波送信
    手段と、前記入射角度に対応した傾斜面を有する取付部
    材を備え、該取付部材の傾斜面に設けられた吸着層を介
    して複層材料の表層表面上に前記超音波送信手段に対向
    するように所定距離をおいて設置された超音波受信手段
    と、前記超音波送信手段に接続されパルス信号を送信す
    るパルス送信手段と、前記超音波受信手段に接続されパ
    ルス信号を受信するパルス受信手段と、前記パルス送信
    手段およびパルス受信手段のパルス信号に基いて超音波
    の総合伝搬時間を算出し、該総合伝搬時間および前記所
    定距離により超音波の仮伝搬音速を算出して前記表層内
    以外の超音波の伝搬時間を算出するとともに、前記総合
    伝搬時間、所定距離および表層内以外の超音波の伝搬時
    間により超音波の伝搬音速を算出する算出手段と、あら
    かじめ求められている表層の厚さに対応した基準の伝搬
    音速が記憶され、前記算出手段により算出された伝搬音
    速と基準の伝搬音速とに基いて前記表層の厚さを判定す
    る判定手段とを備えたことを特徴とする複層材料の表層
    厚さ判定装置。
  3. 【請求項3】 超音波の入射角度を、30゜以上50゜
    以下とし、好ましくは40゜としたことを特徴とする請
    求項1または2記載の複層材料の表層厚さ判定方法およ
    びその装置。
JP8087752A 1996-04-10 1996-04-10 複層材料の表層厚さ判定方法およびその装置 Pending JPH09280848A (ja)

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JP2010169494A (ja) * 2009-01-22 2010-08-05 Shimizu Corp 圧縮強度測定方法及びその方法を用いた圧縮強度測定装置
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CN112635349A (zh) * 2020-12-21 2021-04-09 长江存储科技有限责任公司 晶圆表面金属膜厚度测量方法
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