JPH09278487A - Production of conductive particle, production of color filter using the particle, and color filter, display panel and electronic device using the particle - Google Patents

Production of conductive particle, production of color filter using the particle, and color filter, display panel and electronic device using the particle

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JPH09278487A
JPH09278487A JP8845496A JP8845496A JPH09278487A JP H09278487 A JPH09278487 A JP H09278487A JP 8845496 A JP8845496 A JP 8845496A JP 8845496 A JP8845496 A JP 8845496A JP H09278487 A JPH09278487 A JP H09278487A
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JP
Japan
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conductive particles
reaction
pigment
particles
film
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Seiichi Tanabe
誠一 田辺
Fumiaki Matsushima
文明 松島
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain conductive particles showing stable disperslbility with time which does not cause mixing of foreign matter when the conductive particles and pigments are precipitated by micelle electrolysis, by making hydrophilic surfaces of conductive particles into hydrophobic in a specified process. SOLUTION: In the production process of conductive particles, hydrophobic groups are introduced into hydrophilic surfaces of the conductive particles by hydrophobic treatment, and the following means is used. (1) Conductive particles are pulverized in an org. solvent. (2) Hydrophobic reaction is carried out at 110 to 130 deg.C. (3) The conductive particles after the reaction are dried in a reduced pressure. In the pulverizing process (1), the conductive particles are pulverized and dispersed preferably by an ultrasonic device or a high rotation type dispersing machine. In the processes (1) and (2), the solvent used for pulverization and the reaction is an aromatic material, and a single or mixture of two or more aromatic compds. are preferably used. The drying process (3) is preferably carried out in a reduced pressure at <=120 deg.C. The diameter of the conductive particles having hydrophobic surfaces is preferably between >=25Å and <=1000Å.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導電粒子の製造方
法、それを用いたカラーフィルタ、及びそれを用いたカ
ラーフィルタの製造方法、そのカラーフィルタを有する
アクティブおよびパッシブのカラーのディスプレイパネ
ル、そのディスプレイパネルを有する例えば液晶テレビ
・パソコン等の電子機器に関している。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing conductive particles, a color filter using the same, a method for producing a color filter using the same, an active and passive color display panel having the color filter, and a method for producing the same. The present invention relates to an electronic device having a display panel, such as a liquid crystal television or a personal computer.

【0002】[0002]

【従来の技術】レドックス反応性を有する界面活性剤の
ミセル水溶液中に顔料粒子をコロイド分散した後、ミセ
ル水溶液を電解することにより基板上に顔料膜を形成す
る手法を用いたカラーフィルタ(以下CFとする)の製
造方法について、また、このCFに疎水化した導電粒子
を共析させることについて、本出願人は発明した(特開
平2−267298号公報)。また、無機粒子表面が親
水性の物質を疎水化処理して無機膜を形成する方法につ
いても発明し、出願済みである。
2. Description of the Related Art A color filter (hereinafter referred to as CF) using a method of forming a pigment film on a substrate by colloidally dispersing pigment particles in a micelle aqueous solution of a redox-reactive surfactant and then electrolyzing the micelle aqueous solution. The present inventor has invented a method for producing the same) and co-depositing the electrically conductive particles hydrophobized on the CF (JP-A-2-267298). Further, a method for forming an inorganic film by hydrophobizing a substance whose surface of inorganic particles is hydrophilic has been invented and filed.

【0003】ここで、導電粒子の疎水化処理は次のよう
に行っている。あらかじめボールミルで微粉砕した導電
ITO粒子(平均一次粒径300〜400オングストロ
ーム)に、過酸化ベンゾイル・イソプロピルアルコール
を加え50時間還流反応させる。クロロホルムで粒子を
ソックスレー抽出し、未反応の過酸化ベンゾイルを除去
した後粒子を乾燥させた。このようにして得られたアル
コール性の水酸基を導入した導電ITO粒子を、チタネ
ート系カップリング剤のトルエン溶液に入れ、室温にて
1時間攪拌しながらカップリング処理を行う。反応後の
粒子をメタノールで洗浄した後、乾燥させて目的の疎水
化処理導電ITO粒子を得る。
Here, the hydrophobic treatment of the conductive particles is performed as follows. Benzoyl peroxide / isopropyl alcohol is added to conductive ITO particles (average primary particle size of 300 to 400 angstroms) finely pulverized in advance with a ball mill, and the mixture is refluxed for 50 hours. The particles were Soxhlet extracted with chloroform to remove unreacted benzoyl peroxide, and then the particles were dried. The thus obtained conductive ITO particles having an alcoholic hydroxyl group introduced therein are placed in a toluene solution of a titanate coupling agent, and a coupling treatment is carried out at room temperature for 1 hour with stirring. After the reaction, the particles are washed with methanol and then dried to obtain the target hydrophobic conductive ITO particles.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記特開平2−267
298号公報で提案されているのは、ミセル電解法で作
られたCF(以下これをミセルCFとする)層に、疎水
化した導電粒子を分散させることにより導電性を発現さ
せようというものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned JP-A-2-267
The proposal in Japanese Patent Publication No. 298 is to develop conductivity by dispersing hydrophobicized conductive particles in a CF (hereinafter referred to as micelle CF) layer produced by a micelle electrolysis method. is there.

【0005】その疎水化方法も既に特許出願されている
が、従来の技術で述べた方法により得られた導電ITO
粒子を用いてミセルコロイド水溶液を作製したところ、
疎水化を行っていない導電ITO粒子に比べ安定に分散
でき導電性のCFを作ることができた。しかし、その導
電率は1×107.8 Ωcmであり、パソコンやワープロ
用に一般に用いられる1/240DUTYでの駆動で必
要と考えられる1×107.0 Ωcmにまでは達していな
い。また、コロイド溶液の分散安定性も、この程度の特
性を維持できるのが3日程度であり、ライフの非常に短
いコロイド溶液である。
A patent has already been filed for the method of hydrophobizing, but the conductive ITO obtained by the method described in the prior art.
When an aqueous micellar colloid solution was prepared using particles,
It was possible to disperse more stably than conductive ITO particles that were not hydrophobized, and to make conductive CF. However, its conductivity is 1 × 10 7.8 Ωcm, which is less than 1 × 10 7.0 Ωcm which is considered necessary for driving with 1/240 DUTY which is generally used for personal computers and word processors. Further, the dispersion stability of the colloidal solution can maintain such characteristics for about 3 days, and the colloidal solution has a very short life.

【0006】また、この疎水化方法で得られた導電IT
O粒子を用いてミセルコロイド溶液を作製すると、液中
に顔料やITO粒子とは異なる膜状の異物が存在するこ
とがわかった。さらに、このミセル液を用いてCF層を
作り膜面を顕微鏡で観察したところ、1ミクロンから1
00ミクロン程度の液中に存在する物と同様の異物の付
着や混入あるいはその抜け跡が発見された。これは液晶
パネルにした場合、次のような致命的な欠陥になる。
1)異物の付着は異物を介しての電極間ショートや基板
間のショート・表面荒さの不均一による液晶の配向不良
等が発生し、2)異物の抜け跡はパネルを点灯した際に
点欠陥となる。
Further, the conductive IT obtained by this hydrophobizing method
It was found that when a micellar colloidal solution was prepared using O particles, a film-like foreign substance different from the pigment or ITO particles was present in the liquid. Furthermore, a CF layer was formed using this micelle solution and the film surface was observed with a microscope.
It was found that the foreign matter adhered to or mixed with the foreign matter, or the traces of the foreign matter, similar to those existing in the liquid of about 00 microns. This is the following fatal defect in the case of a liquid crystal panel.
1) Adhesion of foreign matter causes a short circuit between electrodes through the foreign matter, a short circuit between substrates, a liquid crystal alignment defect due to uneven surface roughness, etc. 2) A trace of the foreign matter is a point defect when the panel is turned on. Becomes

【0007】すなわち、従来の方法でもCF層の形成、
ある程度の導電化はできるものの、異物の混入がなく分
散安定性の優れた目的の導電性を有するような導電IT
O粒子を作製する手段はなかった。
That is, the CF layer is formed by the conventional method,
Conductive IT that can be made conductive to some extent but has the desired conductivity with excellent dispersion stability without the inclusion of foreign matter
There was no means to make O particles.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記課題は、以下の手段
で解決される。
The above-mentioned problems can be solved by the following means.

【0009】本発明の導電粒子の製造方法は、 (1)導電粒子の親水性表面に、疎水化処理により疎水
基を導入する導電粒子の製造方法において、有機溶媒中
で導電粒子を粉砕させる工程、110℃から130℃の
間で疎水化反応を行う工程、反応後導電粒子を減圧状態
で乾燥を行う工程からなることを特徴とする。
The method for producing conductive particles of the present invention comprises (1) a step of pulverizing conductive particles in an organic solvent in the method for producing conductive particles in which a hydrophobic group is introduced into the hydrophilic surface of the conductive particles by a hydrophobic treatment. It is characterized in that it comprises a step of performing a hydrophobizing reaction between 110 ° C. and 130 ° C., and a step of drying the conductive particles after the reaction under reduced pressure.

【0010】(2)前記手段1の反応前粉砕処理工程に
おいて、その方法が超音波系の装置あるいは高速回転型
の分散機で分散粉砕させることを特徴とする。
(2) In the pre-reaction pulverization treatment step of the above-mentioned means 1, the method is characterized in that it is dispersed and pulverized by an ultrasonic system device or a high speed rotation type disperser.

【0011】(3)前記手段1または2の粉砕工程・疎
水化反応を行う工程において、粉砕・反応中に用いられ
る溶媒が芳香族系であり、それらを単一あるいは2種類
以上混合して用いることを特徴とする。
(3) In the crushing step and the step of carrying out the hydrophobizing reaction of the means 1 or 2, the solvent used during the crushing / reaction is an aromatic system, and these are used alone or in combination of two or more kinds. It is characterized by

【0012】(4)前記手段3の疎水化反応を行う工程
において、芳香族系の溶媒がトルエンまたはキシレンま
たはスチレンのいずれか単溶媒、あるいは混合した溶媒
で疎水化反応を行うことを特徴とする。
(4) In the step of carrying out the hydrophobizing reaction of the above-mentioned means 3, the hydrophobizing reaction is carried out in a single solvent of an aromatic solvent such as toluene, xylene or styrene, or in a mixed solvent. .

【0013】(5)前記手段1ないし4のいずれかの反
応後の乾燥工程において、120℃以下の減圧状態で行
うことを特徴とする導電粒子の製造方法。
(5) A method for producing electrically conductive particles, which is characterized in that the drying step after the reaction according to any one of the means 1 to 4 is carried out at a reduced pressure of 120 ° C. or less.

【0014】(6)前記手段1ないし5のいずれかの疎
水性表面を有する導電粒子の直径が、25オングストロ
ーム以上かつ1000オングストローム以下であること
を特徴とする。
(6) The conductive particles having a hydrophobic surface according to any one of the means 1 to 5 have a diameter of 25 angstroms or more and 1000 angstroms or less.

【0015】(7)前記手段1ないし6のいずれかの疎
水化反応において R1 O−Ti−(O−X−R23 X:カルボキシル基、スルホニル基またはリン酸エステ
ル基 R1、R2:側鎖および酸素、リン、硫黄を含有してもよ
いアルキルおよびアルケニル、シクロヘキシルまたはフ
ェニル で表わされるカップリング剤を用いることを特徴とす
る。
(7) R 1 O--Ti-(O--X--R 2 ) 3 X: a carboxyl group, a sulfonyl group or a phosphoric acid ester group R 1 , R 2 : A coupling agent represented by alkyl and alkenyl which may contain a side chain and oxygen, phosphorus, sulfur, cyclohexyl or phenyl is used.

【0016】また、本発明によるカラーフィルタは、 (8)透明基板上に形成した所定のパターンをもった透
明電極上に、前記手段1ないし7のいずれかの方法によ
り製造された導電粒子と、顔料粒子を混在した着色層を
形成したことを特徴とする。
Further, the color filter according to the present invention includes (8) conductive particles produced by any one of the means 1 to 7 on a transparent electrode having a predetermined pattern formed on a transparent substrate, It is characterized in that a colored layer in which pigment particles are mixed is formed.

【0017】また、本発明によるカラーフィルタの製造
方法は、 (9)透明基板上に透明電極を形成し、該透明電極を所
定のパターンに加工後、湿式電解法により該透明電極を
アノードとして該透明電極上に顔料膜を形成するカラー
フィルタの製造方法において、水に水溶性もしくは難溶
性の顔料粒子と、前記手段1ないし7のいずれかの方法
により製造された導電粒子を、レドックス反応性を有す
る界面活性剤及び支持塩を基本成分とし、該顔料粒子と
該導電粒子を該界面活性剤で取り囲んだ顔料のミセルコ
ロイド水溶液を調整し、該ミセルを電解により破壊し、
透明電極上に顔料粒子と導電粒子を析出させることを特
徴とする。
Further, the method of manufacturing a color filter according to the present invention comprises: (9) forming a transparent electrode on a transparent substrate, processing the transparent electrode into a predetermined pattern, and then using the transparent electrode as an anode by a wet electrolysis method. In a method for producing a color filter in which a pigment film is formed on a transparent electrode, water-soluble or sparingly soluble pigment particles in water and conductive particles produced by any one of the means 1 to 7 are redox-reactive. Having a surfactant and a supporting salt as a basic component, preparing a micellar colloid aqueous solution of a pigment in which the pigment particles and the conductive particles are surrounded by the surfactant, and destroying the micelle by electrolysis,
It is characterized in that pigment particles and conductive particles are deposited on the transparent electrode.

【0018】更に、本発明のディスプレイパネルは、 (10)上記(8)に記載されたカラーフィルタを有す
ることを特徴とする。
Furthermore, the display panel of the present invention is (10) characterized by having the color filter described in (8) above.

【0019】(11)上記(9)に記載された製造方法
により得られたカラーフィルタを有することを特徴とす
る。
(11) The present invention is characterized by having a color filter obtained by the manufacturing method described in (9) above.

【0020】加えて、本発明の電子機器は、上記(1
0)または(11)に記載されたディスプレイパネルを
有することを特徴とする。
In addition, the electronic device of the present invention has the above (1)
It is characterized by having the display panel described in 0) or (11).

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例により詳細
に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments.

【0022】(実施例1)導電粒子である住友金属鉱山
製ITO粒子(平均一次粒子径300〜400オングス
トローム)100gを500ml、3口、セパラブルフ
ラスコにとり、120℃で3時間真空乾燥する。これに
イソプロピルトリス(ジオクチルパイロフォスフェー
ト)チタネート1.0gをキシレン200mlに溶かし
た溶液を入れ、高速ホモジナイザーを用いて6000r
pmの速度で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中
のITO粒子の平均粒子径を測定したところ815オン
グストロームであった。測定は、レーザー粒度分布計
(大塚電子(株)製LP−3100)で行った。フラス
コにテフロン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オ
イルバス中で反応を行う。反応液は250rpmの回転
数で113±2℃になるようにオイルバスの温度を制御
しながら3時間保持する。反応終了後なす型フラスコに
取り出してエバポレーターでキシレンを留去した後、I
TOを100℃で3時間真空乾燥し、めのう乳鉢ですり
つぶす。この時点でITO粒子をタブレット状にした時
の純水に対する接触角は、θ=48゜であった。接触角
は約0.2gのITO粒子を200kg/cm2 で直径
1cm、厚さ約1mmのタブレット状に圧縮して、その
鏡面上に直径2mmの純水を滴下したときの30秒後の
接触角を接触角計により測定した。
(Example 1) 100 g of Sumitomo Metal Mining's ITO particles (average primary particle diameter of 300 to 400 angstroms), which are conductive particles, are placed in a separable flask (500 ml, 3 necks) and vacuum dried at 120 ° C for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and the mixture was mixed with a high-speed homogenizer at 6000 r.
Grind with stirring at a speed of pm for 90 minutes. After grinding, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 815 Å. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is held for 3 hours while controlling the temperature of the oil bath so that the rotation speed is 250 rpm and 113 ± 2 ° C. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Vacuum-dry the TO at 100 ° C for 3 hours and mash it in an agate mortar. At this point, the contact angle of pure water when the ITO particles were formed into a tablet was θ = 48 °. The contact angle is about 0.2g ITO particles are compressed at 200kg / cm2 into a tablet with a diameter of 1cm and a thickness of about 1mm, and the contact angle after 30 seconds when pure water with a diameter of 2mm is dropped on the mirror surface. Was measured by a contact angle meter.

【0023】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the thus obtained ITO particles and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0024】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、4700オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4700 angstroms.

【0025】ここで、ミセルコロイド溶液中に存在する
膜状の異物の量を数えた。異物はミセルコロイド液を強
く攪拌すると多く発生することがわかっている。そこで
異物量測定は、ミセルコロイド液をサンプル管に少量入
れ1分間振り混ぜた後行った。準備したミセルコロイド
液約1mlをプレパラート上に2×2cm程度に広げ、
顕微鏡(×200)で端から端まで走査したときに存在
する異物を数える。
Here, the amount of film-like foreign substances existing in the micelle colloid solution was counted. It is known that many foreign substances are generated when the micelle colloid liquid is strongly stirred. Therefore, the amount of foreign matter was measured after a small amount of micellar colloid solution was placed in a sample tube and shaken for 1 minute. Spread about 1 ml of the prepared micellar colloid solution on the slide to about 2 × 2 cm,
Count the foreign material present when scanning end-to-end with a microscope (x200).

【0026】比較例として、108℃(トルエン溶媒)
で5時間疎水化処理したITOを用いて同様の方法でミ
セルコロイド液を作製し、異物量を比較した。その特性
データを表1に示す。
As a comparative example, 108 ° C. (toluene solvent)
A micelle colloid solution was prepared in the same manner using ITO that had been hydrophobized for 5 hours, and the amounts of foreign substances were compared. The characteristic data are shown in Table 1.

【0027】[0027]

【表1】 [Table 1]

【0028】表1からわかるように、本発明のITO粒
子を用いてミセルコロイド液を作製した場合、異物量が
激減する。
As can be seen from Table 1, when a micelle colloidal solution is prepared using the ITO particles of the present invention, the amount of foreign matter is drastically reduced.

【0029】このミセル水溶液中に、アノードとして前
記電極パターンを持ったガラス基板と、カソードとして
ステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電位で15
分電解を行った。このガラス基板は、電源と導通をとる
ための電極上に銀ペーストを塗布してから電源に接続
し、カラーフィルタ層となる電極、アノードとしての対
向電極が完全に液につかる水位まで浸漬した。この結
果、ITO電極上に赤色の顔料膜が形成された。
A glass substrate having the above-mentioned electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelles, and a constant potential of +0.8 V was applied for 15 minutes.
Electrolysis was performed. This glass substrate was applied with a silver paste on an electrode for establishing electrical continuity with a power source, connected to the power source, and immersed to a water level at which the electrode to be the color filter layer and the counter electrode as the anode were completely submerged in the liquid. As a result, a red pigment film was formed on the ITO electrode.

【0030】この基板を水洗後、180℃で30分焼成
した。赤色顔料膜厚を測定したところ、電極周辺部と中
心部の膜厚差はなく、基板面内の膜厚は均一で1.05
ミクロンであった。また、膜面に異物等の付着はなくム
ラのない均一な膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色
調は、ITO粒子が含まれていないときと同様であっ
た。
After washing this substrate with water, it was baked at 180 ° C. for 30 minutes. When the thickness of the red pigment was measured, there was no difference in thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the thickness within the substrate surface was 1.05.
Micron. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0031】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ、1×105.5 オー
ムcmであり目的の値まで導電化されていた。またこの
液を1週間放置した後、同様の方法でCF層をつくり特
性を測定した結果、膜厚は0.92ミクロン、導電率は
1×105.8 オームcmとなり経時的に安定している。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.5 ohm cm, and it was electrically conductive to a desired value. After leaving this solution for 1 week, a CF layer was formed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.92 μm and the conductivity was 1 × 10 5.8 ohm cm, which was stable over time.

【0032】ここで好ましい導電率の範囲は、パネルに
した時のしきい値電圧Vth(光の透過率が10%の時の
電圧)のばらつきにより判断する。その結果、1×10
7 オームcmを越えると色毎の顔料の誘電率が少し異な
るのでパネルの色間のVthのばらつきが出る(約1×1
8 オームcmのとき0.12V)ため、パソコンやワ
ープロ用に一般に用いられる1/240DUTYでの駆
動は難しい。1×107 オームcm以下になると色間の
Vthがそろってくるので、実用的には上限は1×107
オームcmがよいと考えられる。
Here, the preferable range of the conductivity is judged by the variation of the threshold voltage Vth (voltage when the light transmittance is 10%) when the panel is formed. As a result, 1 × 10
If it exceeds 7 ohm cm, the dielectric constant of the pigment for each color will be slightly different, and the Vth will vary among the colors of the panel (about 1 × 1).
0 8 ohm 0.12V at cm) for 1 / driving is difficult in 240DUTY commonly used for personal computers and word processors. If it is less than 1 × 10 7 ohm cm, the Vths between the colors will be uniform, so the upper limit is 1 × 10 7 for practical use.
Ohms cm are considered good.

【0033】導電率の測定は次のような方法で行った。
ITO付きガラス基板(2×3cm)にCF層を形成
し、180℃で30分焼成した後平坦化膜として0.2
μmのアクリルオーバーコートを塗布して再び180℃
で60分焼成する。銀ペースト(グレースジャパン製)
を直径5mmの面積で塗布し、リード線で接続する。I
TOとリード線の間にLCRメーターを接続して、CF
層と平坦化膜の抵抗を測定する。基板ITOの抵抗値分
を差し引いてCF層と平坦化膜の抵抗をCFの抵抗とし
て導電率を算出する。ここで、同様の方法で作ったCF
層を用いた液晶パネルを以下の工程で作成した。コーニ
ング社製7059ガラスに、スパッタによりITOを1
000オングストローム形成した。これを、フォトリソ
エッチングプロセスを用いて、目的の形状にパターンニ
ングした。
The conductivity was measured by the following method.
A CF layer was formed on a glass substrate with ITO (2 × 3 cm), and baked at 180 ° C. for 30 minutes, and then 0.2 as a flattening film.
Apply an acrylic overcoat of μm and re-apply 180 ℃
Bake for 60 minutes. Silver paste (made by Grace Japan)
Is applied in an area having a diameter of 5 mm and connected with a lead wire. I
Connect LCR meter between TO and lead wire
Measure the resistance of the layer and the planarization film. The conductivity is calculated by subtracting the resistance value of the substrate ITO and using the resistance of the CF layer and the planarization film as the resistance of CF. Here, CF made by the same method
A liquid crystal panel using the layers was prepared by the following steps. 1 ITO film is sputtered on Corning 7059 glass.
000 angstroms. This was patterned into a target shape using a photolithography etching process.

【0034】このパターンつきガラス基板に、上記の様
なミセル電解法により1ミクロンの厚さで形成された物
をCF基板とした。CF層は顔料、ITOの粒子が多く
含まれているため表面に凹凸があり、液晶の配向を安定
させるためにはこれを平滑化する必要がある。このた
め、CF層上0.1ミクロンの平坦化層を形成した。
A CF substrate was formed on the patterned glass substrate by the micelle electrolysis method as described above to have a thickness of 1 micron. Since the CF layer contains a large amount of pigment and ITO particles, the surface of the CF layer has irregularities, and it is necessary to smooth this in order to stabilize the alignment of the liquid crystal. Therefore, a 0.1-micron planarization layer was formed on the CF layer.

【0035】平坦化膜としては、日本合成ゴム社製JS
S−8をスピンコートした。所定のプロセスで平坦化膜
を硬化した後、配向膜としてポリイミド(東レ社製 S
P740)を400オングストロームの厚さでスピンコ
ートした後、180℃で1時間焼成した。
As the flattening film, JS manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.
S-8 was spin coated. After the flattening film is cured by a predetermined process, polyimide (Toray Co. S
P740) was spin-coated to a thickness of 400 Å and then baked at 180 ° C. for 1 hour.

【0036】この基板を所定の配向処理として、ラビン
グを行った。また、対向基板として同様に所定のITO
パターンを持ち、所定の配向処理を行い、これをCF基
板とセルギャップ10ミクロンとなるようにギャップ材
をシール材の中に入れ貼り合わせた。さらにこのパネル
の中に、液晶(ロディック社製 LCR01)を封入し
て偏光板を貼り合わせ目的の液晶パネルとした。
Rubbing was performed on the substrate as a predetermined alignment treatment. In addition, a predetermined ITO is similarly used as the counter substrate.
After having a pattern and performing a predetermined alignment treatment, a gap material was put in a sealing material so as to have a cell gap of 10 μm and bonded to the CF substrate. Further, a liquid crystal (LCR01 manufactured by Rodick Co., Ltd.) was enclosed in this panel, and a polarizing plate was attached to the liquid crystal panel for the purpose.

【0037】さらに比較例として、同様のプロセスで導
電化されていないCFを用いたCF付き液晶パネルと、
CFのない液晶パネルを作成し、駆動特性を比較した。
この駆動特性の比較をしたのが図1である。CFのない
液晶パネルの駆動特性101、導電化されていないCF
を用いたCF付き液晶パネルの駆動特性102、本発明
の処理方法で作製したITO粒子を用いたCFをもつ液
晶パネルの駆動特性103が示してある。またその特性
データを表2に示す。
Further, as a comparative example, a CF-equipped liquid crystal panel using CF which is not made conductive by the same process,
A liquid crystal panel without CF was prepared and the driving characteristics were compared.
FIG. 1 shows a comparison of the driving characteristics. Driving characteristics 101 of liquid crystal panel without CF, CF not electrically conductive
The driving characteristics 102 of the liquid crystal panel with CF using the above and the driving characteristics 103 of the liquid crystal panel with CF using the ITO particles produced by the processing method of the present invention are shown. The characteristic data are shown in Table 2.

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】図1、表2からわかるように、本発明のI
TO粒子を用いてCF層を形成した液晶パネルは、CF
のない液晶パネルと同じ駆動特性を持っている。
As can be seen from FIG. 1 and Table 2, I of the present invention
A liquid crystal panel in which a CF layer is formed using TO particles has a CF
It has the same drive characteristics as a liquid crystal panel without.

【0040】尚、このときの駆動はデューティーを1分
の1とするスタティック駆動で行った。
The drive at this time was static drive with a duty of one-half.

【0041】次に、同様の方法で得られたITO粒子と
CF用のGreen顔料を用いて、以下の組成の顔料コ
ロイド水溶液を調整した。
Next, using the ITO particles obtained by the same method and the green pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0042】 フタロシアニングリーン6Y 9.0g/l ジスアゾイエローAAMX 2.2g/l フェロセニルPEG 3.9g/l LiBr(支持塩) 1.04g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、4030オングストロームであっ
た。
Phthalocyanine Green 6Y 9.0 g / l Disazo Yellow AAMX 2.2 g / l Ferrocenyl PEG 3.9 g / l LiBr (supporting salt) 1.04 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigment colloid Use an ultrasonic dispersion device to
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4030 angstroms.

【0043】赤ミセルコロイド液と同様の方法で異物量
を測定した。表1のように赤ミセルコロイド液と同様、
本発明のITOを用いることにより異物量が減った。
The amount of foreign matter was measured by the same method as for the red micelle colloid solution. Similar to the red micelle colloid solution as shown in Table 1,
The amount of foreign matter was reduced by using the ITO of the present invention.

【0044】このミセル水溶液中に、アノードとして前
記電極パターンを持ったガラス基板と、カソードとして
ステンレス基板を浸漬させ、+0.6Vの定電位で20
分電解を行った。このガラス基板は、電源と導通をとる
ための電極上に銀ペーストを塗布してから電源に接続
し、カラーフィルタ層となる電極、アノードとしての対
向電極が完全に液につかる水位まで浸漬した。この結
果、ITO電極上に緑色の顔料膜が形成された。
A glass substrate having the above-mentioned electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelles, and a constant potential of +0.6 V was applied to the glass substrate.
Electrolysis was performed. This glass substrate was applied with a silver paste on an electrode for establishing electrical continuity with a power source, connected to the power source, and immersed to a water level at which the electrode to be the color filter layer and the counter electrode as the anode were completely submerged in the liquid. As a result, a green pigment film was formed on the ITO electrode.

【0045】この基板を水洗後、180℃で30分焼成
した。緑色顔料膜厚を測定したところ、電極周辺部と中
心部の膜厚差はなく基板面内の膜厚は均一で0.91ミ
クロンであった。また、膜面に異物等の付着はなくムラ
のない均一な膜面であった。さらに、緑色顔料膜の色調
は、ITO粒子が含まれていないときと同様であった。
After washing this substrate with water, it was baked at 180 ° C. for 30 minutes. When the green pigment film thickness was measured, there was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and was 0.91 micron. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the green pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0046】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.4 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法でCF層をつくり特性
を測定した結果、膜厚は0.82ミクロン、導電率は1
×105.9 オームcmとなり経時的に安定している。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.4 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this liquid for 1 week, a CF layer was formed by the same method and the properties were measured. As a result, the film thickness was 0.82 μm and the conductivity was 1
× 10 5.9 ohm cm and stable over time.

【0047】ここで、赤顔料膜と同様の方法で液晶パネ
ルを作製したところ、表1からもわかるように赤顔料膜
とほぼ同じ駆動特性を有している。
Here, when a liquid crystal panel was manufactured by the same method as that for the red pigment film, as shown in Table 1, it has almost the same driving characteristics as the red pigment film.

【0048】尚、このときの駆動はデューティーを1分
の1とするスタティック駆動で行った。
The drive at this time was static drive with a duty of one-half.

【0049】さらに、同様の方法で得られたITO粒子
とCF用のBlue顔料を用いて、以下の組成の顔料コ
ロイド水溶液を調整した。
Further, using the ITO particles obtained by the same method and the Blue pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0050】 フタロシアニンブルーR 5.2g/l ジオキサジンバイオレット 0.9g/l フェロセニルPEG 3.7g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、3480オングストロームであっ
た。
Phthalocyanine blue R 5.2 g / l Dioxazine violet 0.9 g / l Ferrocenyl PEG 3.7 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigment colloid Use an ultrasonic dispersion device to
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloid average particle size of this solution was 3480 angstroms.

【0051】赤ミセルコロイド液と同様の方法で異物量
を測定した。表1のように赤ミセルコロイド液、緑ミセ
ルコロイド液と同様、本発明のITOを用いることによ
り異物量が減った。
The amount of foreign matter was measured by the same method as for the red micelle colloid solution. As shown in Table 1, as with the red micelle colloidal liquid and the green micelle colloidal liquid, the use of the ITO of the present invention reduced the amount of foreign matter.

【0052】このミセル水溶液中にアノードとして前記
電極パターンを持ったガラス基板と、カソードとしてス
テンレス基板を浸漬させ、+0.6Vの定電位で15分
電解を行った。このガラス基板は、電源と導通をとるた
めの電極上に銀ペーストを塗布してから電源に接続し、
カラーフィルタ層となる電極、アノードとしての対向電
極が完全に液につかる水位まで浸漬した。この結果IT
O電極上に青色の顔料膜が形成された。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous micelle solution, and electrolysis was performed at a constant potential of +0.6 V for 15 minutes. This glass substrate is coated with silver paste on the electrodes for electrical continuity and then connected to the power source,
The electrode to be the color filter layer and the counter electrode as the anode were soaked to the water level that they were completely immersed in the liquid. This results in IT
A blue pigment film was formed on the O electrode.

【0053】この基板を水洗後、180℃で30分焼成
した。青色顔料膜厚を測定したところ、電極周辺部と中
心部の膜厚差はなく基板面内の膜厚は均一で0.98ミ
クロンであった。また、膜面に異物等の付着はなくムラ
のない均一な膜面であった。さらに、青色顔料膜の色調
は、ITO粒子が含まれていないときと同様であった。
After washing this substrate with water, it was baked at 180 ° C. for 30 minutes. When the blue pigment film thickness was measured, there was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the uniform film thickness within the substrate surface was 0.98 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the blue pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0054】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.4 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法でCF層をつくり特性
を測定した結果、膜厚は0.85ミクロン、導電率は1
×105.8 オームcmとなり経時的に安定している。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.4 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this liquid for 1 week, a CF layer was formed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.85 μm and the conductivity was 1
× 10 5.8 ohm cm and stable over time.

【0055】ここで、赤顔料膜と同様の方法で液晶パネ
ルを作製したところ、表1からもわかるように赤顔料膜
とほぼ同じ駆動特性を有している。
Here, when a liquid crystal panel was manufactured by the same method as that for the red pigment film, as shown in Table 1, it has substantially the same driving characteristics as the red pigment film.

【0056】尚、このときの駆動はデューティーを1分
の1とするスタティック駆動で行った。
The drive at this time was static drive with a duty of one-half.

【0057】(実施例2)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ840オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で113
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら1
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥し、めのう乳鉢ですりつぶす。こ
の時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角
は、θ=76゜であった。
(Example 2) ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After pulverization, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 840 Å. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 113 at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath to be ± 2 ° C, 1
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Vacuum dry at 0 ° C for 3 hours and mash in agate mortar. At this point, the contact angle when the ITO particles were formed into a tablet was θ = 76 °.

【0058】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0059】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、4750オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4750 angstroms.

【0060】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ7
0個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 7
There were zero.

【0061】このミセルコロイド水溶液中にアノードと
して前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソード
としてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電位
で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差は
なく基板面内の膜厚は均一で1.10ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着は少なく、顕微鏡(×2
00)で2cm程度走査しながら異物の数を数えたとこ
ろ5個存在した。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO
粒子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and was 1.10 μm. In addition, there is little adhesion of foreign matter to the film surface, and the microscope (× 2
When the number of foreign matters was counted while scanning about 2 cm in (00), there were 5 foreign matters. Furthermore, the color tone of the red pigment film is ITO
It was similar to when no particles were included.

【0062】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.4 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.98ミクロン、導電率は1
×105.8 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.4 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.98 μm and the conductivity was 1
× 10 It became 5.8 ohm cm.

【0063】(実施例3)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ820オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で113
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら2
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥し、めのう乳鉢ですりつぶす。こ
の時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角
は、θ=60゜であった。
Example 3 ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle diameter 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After crushing, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 820 angstroms. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 113 at 250 rpm.
2 while controlling the temperature of the oil bath so that it becomes ± 2 ° C.
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Vacuum dry at 0 ° C for 3 hours and mash in agate mortar. At this point, the contact angle when the ITO particles were formed into a tablet was θ = 60 °.

【0064】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0065】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、4600オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4600 angstroms.

【0066】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ3
7個であった。
The amount of the film-like foreign matter existing in the micellar colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 3
It was seven.

【0067】このミセルコロイド水溶液中にアノードと
して前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソード
としてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電位
で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差は
なく基板面内の膜厚は均一で1.10ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着は少なく、顕微鏡(×2
00)で2cm程度走査しながら異物の数を数えたとこ
ろ2個存在するだけであった。さらに、赤色顔料膜の色
調は、ITO粒子が含まれていないときと同様であっ
た。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and was 1.10 μm. In addition, there is little adhesion of foreign matter to the film surface, and the microscope (× 2
When the number of foreign matters was counted while scanning about 2 cm in (00), there were only two. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0068】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.4 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.96ミクロン、導電率は1
×105.9 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.4 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.96 μm and the conductivity was 1
× 10 5.9 ohm cm It became.

【0069】(実施例4)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ805オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で113
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら5
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=31゜であった。
Example 4 ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After pulverization, the average particle diameter of the ITO particles in the solution was measured and found to be 805 angstroms. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 113 at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath so that it becomes ± 2 ° C, 5
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 31 °.

【0070】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0071】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、4950オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4950 angstroms.

【0072】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ5
個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micellar colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 5
Was individual.

【0073】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で1.00ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was performed at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral part and the central part of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and 1.00 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0074】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ、1×105.6 オー
ムcmであり目的の値まで導電化されていた。またこの
液を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特
性を測定した結果、膜厚は0.85ミクロン、導電率は
1×106.0 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.6 ohm cm, and it was electrically conductive to a desired value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was carried out by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.85 μm and the conductivity was 1 × 10 6.0 ohm cm.

【0075】(実施例5)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ820オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で120
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら1
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=42゜であった。
Example 5 ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After crushing, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 820 angstroms. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 120 rpm at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath to be ± 2 ° C, 1
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 42 °.

【0076】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0077】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、4750オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4750 angstroms.

【0078】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ6
0個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 6
There were zero.

【0079】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で1.03ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and 1.03 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0080】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ、1×105.4 オー
ムcmであり目的の値まで導電化されていた。またこの
液を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特
性を測定した結果、膜厚は0.93ミクロン、導電率は
1×105.8 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.4 ohm cm, and it was made conductive to a target value. Further, after leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was carried out by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.93 μm and the conductivity was 1 × 10 5.8 ohm cm.

【0081】(実施例6)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ850オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で120
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら3
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=28゜であった。
(Example 6) ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After pulverization, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 850 Å. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 120 rpm at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath to be ± 2 ° C, 3
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 28 °.

【0082】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the thus obtained ITO particles and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0083】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、5050オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 5050 angstroms.

【0084】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ1
0個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1, and it was 1
There were zero.

【0085】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で1.00ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was performed at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral part and the central part of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and 1.00 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0086】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.6 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.84ミクロン、導電率は1
×106.1 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.6 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.84 μm and the conductivity was 1
× 10 It became 6.1 ohm cm.

【0087】(実施例7)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ860オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で120
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら5
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=14゜であった。
Example 7 ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After grinding, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 860 angstroms. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 120 rpm at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath so that it becomes ± 2 ° C, 5
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 14 °.

【0088】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0089】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、5200オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloid average particle size of this solution was 5200 angstroms.

【0090】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ4
個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 4
Was individual.

【0091】このミセルコロイド水溶液中にアノードと
して前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソード
としてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電位
で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差は
なく基板面内の膜厚は均一で0.82ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the uniform film thickness within the substrate surface was 0.82 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0092】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ、1×105.6 オー
ムcmであり目的の値まで導電化されていた。またこの
液を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特
性を測定した結果、膜厚は0.69ミクロン、導電率は
1×106.2 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.6 ohm cm, and it was conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was carried out by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.69 μm and the conductivity was 1 × 10 6.2 ohm cm.

【0093】(実施例8)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ830オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で128
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら1
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=29゜であった。
(Example 8) ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After crushing, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 830 Å. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 128 at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath to be ± 2 ° C, 1
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 29 °.

【0094】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0095】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、5000オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl Red 8.0 g / l Disazo Yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 5000 Å.

【0096】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ1
5個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micellar colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 1
There were five.

【0097】このミセルコロイド水溶液中にアノードと
して前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソード
としてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電位
で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差は
なく基板面内の膜厚は均一で1.00ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was performed at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral part and the central part of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and 1.00 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0098】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.5 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.86ミクロン、導電率は1
×106.0 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.5 ohm cm, and it was electrically conductive to a desired value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.86 μm and the conductivity was 1
× 10 6.0 ohm cm.

【0099】(実施例9)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ825オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で128
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら3
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=17゜であった。
(Example 9) ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle diameter 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After pulverization, the average particle diameter of the ITO particles in the solution was measured and found to be 825 Å. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 128 at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath to be ± 2 ° C, 3
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 17 °.

【0100】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0101】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、5050オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 5050 angstroms.

【0102】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ5
個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 5
Was individual.

【0103】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で0.84ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the uniform film thickness within the substrate surface was 0.84 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0104】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.5 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.67ミクロン、導電率は1
×106.1 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.5 ohm cm, and it was electrically conductive to a desired value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.67 μm and the conductivity was 1
× 10 It became 6.1 ohm cm.

【0105】(実施例10)住友金属鉱山製ITO粒子
(平均一次粒子径300〜400オングストローム)1
00gを500ml、3口、セパラブルフラスコにと
り、120℃で3時間真空乾燥する。これにイソプロピ
ルトリス(ジオクチルパイロフォスフェート)チタネー
ト1.0gをキシレン200mlに溶かした溶液を入
れ、高速ホモジナイザーを用いて6000rpmの速度
で90分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のITO粒
子の平均粒子径を測定したところ845オングストロー
ムであった。測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子
(株)製LP−3100)で行った。フラスコにテフロ
ン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オイルバス中
で反応を行う。反応液は250rpmの回転数で128
±2℃になるようにオイルバスの温度を制御しながら5
時間保持する。反応終了後なす型フラスコに取り出して
エバポレーターでキシレンを留去した後、ITOを10
0℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この
時点でITO粒子をタブレット状にした時の接触角は、
θ=15゜であった。
(Example 10) Sumitomo Metal Mining's ITO particles (average primary particle diameter 300 to 400 angstrom) 1
500 g of 500 ml is placed in a 3-neck separable flask and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After pulverization, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 845 Å. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is 128 at 250 rpm.
While controlling the temperature of the oil bath so that it becomes ± 2 ° C, 5
Hold for hours. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Grind in an agate mortar vacuum dried at 0 ° C for 3 hours. At this point, the contact angle when the ITO particles are made into a tablet shape is
θ was 15 °.

【0106】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0107】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し、顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液の
コロイド平均粒径は、5250オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. This supernatant liquid was collected and used as a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 5250 angstroms.

【0108】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ5
個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 5
Was individual.

【0109】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で0.81ミクロンであっ
た。また、膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な
膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調は、ITO粒
子が含まれていないときと同様であった。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the uniform film thickness within the substrate surface was 0.81 μm. Further, there was no foreign matter attached to the film surface, and the film surface was uniform and uniform. Furthermore, the color tone of the red pigment film was similar to that when the ITO particles were not included.

【0110】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.6 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.67ミクロン、導電率は1
×106.0 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.6 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.67 μm and the conductivity was 1
× 10 6.0 ohm cm.

【0111】(比較例1)比較例1として、疎水化処理
を以下のようにして行った。
(Comparative Example 1) As Comparative Example 1, a hydrophobizing treatment was performed as follows.

【0112】住友金属鉱山製ITO粒子(平均一次粒子
径300〜400オングストローム)100gを500
ml、3口、セパラブルフラスコにとり、120℃で3
時間真空乾燥する。これにイソプロピルトリス(ジオク
チルパイロフォスフェート)チタネート1.0gをキシ
レン200mlに溶かした溶液を入れ、高速ホモジナイ
ザーを用いて6000rpmの速度で90分間攪拌粉砕
を行う。粉砕後、溶液中のITO粒子の平均粒子径を測
定したところ830オングストロームであった。測定
は、レーザー粒度分布計(大塚電子(株)製LP−31
00)で行った。攪拌粉砕後、実施例1〜実施例10の
ように加温反応は行わずそのまま次の工程に移る。溶液
をなす型フラスコに取り出してエバポレーターでキシレ
ンを留去した後、ITOを100℃で3時間真空乾燥
し、めのう乳鉢ですりつぶす。この時点でITO粒子を
タブレット状にした時の接触角は、θ=91゜であっ
た。
500 g of 100 g of ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size: 300 to 400 angstrom)
ml, 3 necks, place in a separable flask and mix at 120 ° C for 3
Vacuum dry for hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 90 minutes. After crushing, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 830 Å. Laser particle size distribution meter (LP-31 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.)
00). After the pulverization with stirring, the heating reaction is not performed as in Examples 1 to 10, and the process directly proceeds to the next step. After taking out the solution into a flask and distilling off xylene with an evaporator, ITO is vacuum dried at 100 ° C. for 3 hours and mashed with an agate mortar. At this point, the contact angle when the ITO particles were tableted was θ = 91 °.

【0113】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0114】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、4700オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4700 angstroms.

【0115】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ5
50個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 5
It was 50 pieces.

【0116】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で1.12ミクロンであっ
た。
A glass substrate having the above-mentioned electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous micelle colloid solution, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the film thickness within the substrate surface was uniform and 1.12 μm.

【0117】ここで膜面を観察したところ、10〜10
0ミクロン程度の異物が表面に付着し、さらに異物の抜
け跡が多量に発生した。顕微鏡(×200)で2cm程
度走査しながら異物の数を数えたところ、45個あっ
た。これは液晶パネルにした場合、異物を介しての電極
間ショートや基板間のショート、表面荒さの不均一によ
る液晶の配向不良等が発生し、異物の抜け跡はパネルを
点灯した際に点欠陥となる。
When the film surface was observed here, 10 to 10
Foreign matter of about 0 micron adhered to the surface, and a lot of traces of the foreign matter were generated. When the number of foreign matters was counted while scanning for about 2 cm with a microscope (× 200), it was found to be 45. This is because when a liquid crystal panel is used, electrode shorts and substrate shorts may occur due to foreign matter, and liquid crystal alignment defects may occur due to uneven surface roughness. Becomes

【0118】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.4 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は1.00ミクロン、導電率は1
×105.8 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.4 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 1.00 μm and the conductivity was 1
× 10 It became 5.8 ohm cm.

【0119】(比較例2)比較例2として、疎水化処理
を以下のようにして行った。
(Comparative Example 2) As Comparative Example 2, a hydrophobizing treatment was performed as follows.

【0120】住友金属鉱山製ITO粒子(平均一次粒子
径300〜400オングストローム)100gを500
ml、3口、セパラブルフラスコにとり、120℃で3
時間真空乾燥する。これにイソプロピルトリス(ジオク
チルパイロフォスフェート)チタネート1.0gをトル
エン200mlに溶かした溶液を入れ、高速ホモジナイ
ザーを用いて6000rpmの速度で90分間攪拌粉砕
を行う。粉砕後、溶液中のITO粒子の平均粒子径を測
定したところ810オングストロームであった。測定
は、レーザー粒度分布計(大塚電子(株)製LP−31
00)で行った。フラスコにテフロン製攪拌棒、還流
管、温度計を取り付け、オイルバス中で反応を行う。反
応液は250rpmの回転数で還流状態を5時間保持す
る。このときの反応液の温度は約108℃に保たれてい
る。反応終了後なす型フラスコに取り出してエバポレー
ターでトルエンを留去した後、ITOを100℃で3時
間真空乾燥し、めのう乳鉢ですりつぶす。この時点でI
TO粒子をタブレット状にした時の接触角は、θ=91
゜であった。
500 g of 100 g of ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle size: 300 to 400 angstrom)
ml, 3 necks, place in a separable flask and mix at 120 ° C for 3
Vacuum dry for hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of toluene was added to this, and the mixture was stirred and pulverized for 90 minutes at a speed of 6000 rpm using a high-speed homogenizer. After grinding, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 810 angstroms. Laser particle size distribution meter (LP-31 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.)
00). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is kept under reflux at a rotation speed of 250 rpm for 5 hours. At this time, the temperature of the reaction liquid is kept at about 108 ° C. After completion of the reaction, the product is taken out into an eggplant-shaped flask, toluene is distilled off with an evaporator, ITO is vacuum dried at 100 ° C. for 3 hours, and then mashed in an agate mortar. I at this point
The contact angle when tableting TO particles is θ = 91
Was ゜.

【0121】こうして得られたITO粒子とCF用の顔
料を用いて、以下の組成の顔料コロイド水溶液を調整し
た。
Using the ITO particles thus obtained and the pigment for CF, a pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared.

【0122】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。この液のコ
ロイド平均粒径は、4650オングストロームであっ
た。
Dianthraquinonyl red 8.0 g / l Disazo yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l The above pigments The colloidal aqueous solution was ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected to obtain a pigment micelle colloid aqueous solution. The colloidal mean particle size of this solution was 4650 angstroms.

【0123】ここで実施例1と同様の方法でミセルコロ
イド溶液中に存在する膜状の異物の量を数えたところ2
50個であった。
Here, the amount of the film-like foreign matter existing in the micelle colloid solution was counted by the same method as in Example 1 and found to be 2
It was 50 pieces.

【0124】このミセルコロイド水溶液中に、アノード
として前記電極パターンを持ったガラス基板と、カソー
ドとしてステンレス基板を浸漬させ、+0.8Vの定電
位で15分電解を行った。電極周辺部と中心部の膜厚差
はなく基板面内の膜厚は均一で1.11ミクロンであっ
た。
A glass substrate having the above electrode pattern as an anode and a stainless steel substrate as a cathode were immersed in this aqueous solution of micelle colloid, and electrolysis was carried out at a constant potential of +0.8 V for 15 minutes. There was no difference in film thickness between the peripheral portion and the central portion of the electrode, and the uniform film thickness within the substrate surface was 1.11 μm.

【0125】ここで膜面を観察したところ、10〜10
0ミクロン程度の異物が表面に付着し、さらに異物の抜
け跡が多量に発生した。顕微鏡(×200)で2cm程
度走査しながら異物の数を数えたところ、20個あっ
た。これは液晶パネルにした場合、異物を介しての電極
間ショートや基板間のショート、表面荒さの不均一によ
る液晶の配向不良等が発生し、異物の抜け跡はパネルを
点灯した際に点欠陥となる。
When the film surface was observed here, 10 to 10
Foreign matter of about 0 micron adhered to the surface, and a lot of traces of the foreign matter were generated. When the number of foreign matters was counted while scanning with a microscope (× 200) for about 2 cm, there were 20 foreign matters. This is because when a liquid crystal panel is used, electrode shorts and substrate shorts may occur due to foreign matter, and liquid crystal alignment defects may occur due to uneven surface roughness. Becomes

【0126】以上の工程で得られた顔料膜(以下CF層
という)の導電率を測定したところ1×105.5 オーム
cmであり目的の値まで導電化されていた。またこの液
を1週間放置した後、同様の方法で電解成膜を行い特性
を測定した結果、膜厚は0.96ミクロン、導電率は1
×105.8 オームcmとなった。
When the conductivity of the pigment film (hereinafter referred to as CF layer) obtained in the above steps was measured, it was 1 × 10 5.5 ohm cm, and it was made conductive to a target value. After leaving this solution for 1 week, electrolytic film formation was performed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.96 μm and the conductivity was 1
× 10 It became 5.8 ohm cm.

【0127】ここで、実施例1〜10および比較例1、
2における接触角、赤ミセルコロイド液内の強攪拌後の
異物数、成膜後膜内に存在する異物数、赤顔料膜の膜厚
についてまとめたものを表3に示した。
Here, Examples 1 to 10 and Comparative Example 1,
Table 3 shows the contact angle in No. 2, the number of foreign substances in the red micelle colloid solution after strong stirring, the number of foreign substances present in the film after film formation, and the film thickness of the red pigment film.

【0128】[0128]

【表3】 [Table 3]

【0129】表からわかるように反応時に加熱すること
で、ミセルコロイド液中および成膜後膜内に存在する異
物数は半減する。さらに加熱温度を110℃以上にする
ことによりさらに異物数は減少し、適当な反応温度と時
間を選択すれば膜内の異物をなくすことができる。ただ
し、接触角が20°以下になると成膜速度が遅くなる傾
向が現れるため、20°以上にした方が工程管理上望ま
しい。
As can be seen from the table, the number of foreign matters existing in the micelle colloidal solution and in the film after film formation is halved by heating during the reaction. Further, by setting the heating temperature to 110 ° C. or higher, the number of foreign matters is further reduced, and the foreign matters in the film can be eliminated by selecting an appropriate reaction temperature and time. However, when the contact angle is 20 ° or less, the film forming rate tends to be slow, and therefore it is preferable to set the contact angle to 20 ° or more for process control.

【0130】(実施例11)ITO疎水化処理工程にお
いて、加温反応前の攪拌粉砕時間を変えて同様の実験を
行った。住友金属鉱山製ITO粒子(平均一次粒子径3
00〜400オングストローム)100gを500m
l、3口、セパラブルフラスコにとり、120℃で3時
間真空乾燥する。これにイソプロピルトリス(ジオクチ
ルパイロフォスフェート)チタネート1.0gをキシレ
ン200mlに溶かした溶液を入れ、高速ホモジナイザ
ーを用いて6000rpmの速度で60、120分間攪
拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のそれぞれのITO粒子
の平均粒子径を測定したところ1706、1017オン
グストロームであった。測定は、レーザー粒度分布計
(大塚電子(株)製LP−3100)で行った。フラス
コにテフロン製攪拌棒、還流管、温度計を取り付け、オ
イルバス中で反応を行う。反応液は250rpmの回転
数で113±2℃になるようにオイルバスの温度を制御
しながら3時間保持する。反応終了後なす型フラスコに
取り出してエバポレーターでキシレンを留去した後、I
TOを100℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢ですりつ
ぶす。この時点でITO粒子をタブレット状にした時の
接触角は、θ=44°、45゜であった。この値は、高
速ホモジナイザー90分の値とほぼ同じである。これら
のITOについて実施例1と同様にミセルコロイド液を
作製したところ、異物数は同じであった。また、顔料成
膜面に異物等の付着はなくムラのない均一な膜面であっ
た。さらに、赤色顔料膜の色調、比抵抗値、膜厚は、I
TO粒子が含まれていないときと同様であった。
(Example 11) In the ITO hydrophobic treatment step, the same experiment was conducted by changing the stirring and pulverizing time before the heating reaction. Sumitomo Metal Mining's ITO particles (average primary particle size 3
100 to 500 m
1, 3 necked, put in a separable flask, and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was added to this, and the mixture was pulverized with stirring using a high-speed homogenizer at a speed of 6000 rpm for 60 and 120 minutes. After pulverization, the average particle size of each ITO particle in the solution was measured and found to be 1706 and 1017 angstroms. The measurement was performed with a laser particle size distribution meter (LP-3100 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube, and a thermometer, and the reaction is performed in an oil bath. The reaction solution is held for 3 hours while controlling the temperature of the oil bath so that the rotation speed is 250 rpm and 113 ± 2 ° C. After completion of the reaction, the product was taken out into an eggplant-shaped flask and xylene was distilled off with an evaporator.
Vacuum dry TO at 100 ° C for 3 hours and mash in an agate mortar. At this time, the contact angles when the ITO particles were formed into a tablet were θ = 44 ° and 45 °. This value is almost the same as the value of 90 minutes for the high speed homogenizer. When a micelle colloidal solution was prepared from these ITOs in the same manner as in Example 1, the number of foreign matters was the same. In addition, the pigment film-forming surface was free from foreign matter and the like and had a uniform and uniform film surface. Further, the color tone, the specific resistance value and the film thickness of the red pigment film are I
It was the same as when TO particles were not included.

【0131】(実施例12)ITO疎水化処理工程にお
いて、加温反応前の攪拌粉砕方法を変えて同様の実験を
行った。住友金属鉱山製ITO粒子(平均一次粒子径3
00〜400オングストローム)100gを500m
l、3口、セパラブルフラスコにとり、120℃で3時
間真空乾燥する。これにイソプロピルトリス(ジオクチ
ルパイロフォスフェート)チタネート1.0gをキシレ
ン200mlに溶かした溶液を入れ、フラスコにテフロ
ン製攪拌棒を取り付け、超音波洗浄機中で60、90、
120分間攪拌粉砕を行う。粉砕後、溶液中のそれぞれ
のITO粒子の平均粒子径を測定したところ1354、
1168、1180オングストロームであった。測定
は、レーザー粒度分布計(大塚電子(株)製LP−31
00)で行った。フラスコに還流管、温度計を取り付
け、オイルパス中で反応を行う。反応液は250rpm
の回転数で113±2℃になるようにオイルバスの温度
を制御しながら3時間保持する。反応終了後なす型フラ
スコに取り出してエバポレーターでキシレンを留去した
後、ITOを100℃で3時間真空乾燥しめのう乳鉢で
すりつぶす。この時点でITO粒子をタブレット状にし
た時の接触角は、θ=44°、46°、46°であっ
た。この値は、高速ホモジナイザー90分の値とほぼ同
じである。これらのITOについて実施例1と同様にミ
セルコロイド液を作製したところ、異物数は同じであっ
た。また、顔料成膜面に異物等の付着はなくムラのない
均一な膜面であった。さらに、赤色顔料膜の色調、比抵
抗値、膜厚は、ITO粒子が含まれていないときと同様
であった。
(Example 12) In the ITO hydrophobic treatment step, the same experiment was conducted by changing the stirring and pulverizing method before the heating reaction. Sumitomo Metal Mining's ITO particles (average primary particle size 3
100 to 500 m
1, 3 necked, put in a separable flask, and vacuum dried at 120 ° C. for 3 hours. A solution prepared by dissolving 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate in 200 ml of xylene was put into this, a stirring rod made of Teflon was attached to the flask, and the mixture was placed in an ultrasonic cleaner at 60, 90,
Stir and grind for 120 minutes. After pulverization, the average particle diameter of each ITO particle in the solution was measured to be 1354,
1168 and 1180 angstroms. Laser particle size distribution meter (LP-31 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.)
00). Attach a reflux tube and a thermometer to the flask and carry out the reaction in an oil path. The reaction solution is 250 rpm
The temperature of the oil bath is kept for 3 hours while controlling the temperature of the oil bath to be 113 ± 2 ° C. After completion of the reaction, the product is taken out in an eggplant-shaped flask, xylene is distilled off by an evaporator, and then ITO is vacuum dried at 100 ° C. for 3 hours and mashed in an agate mortar. At this time, the contact angles when the ITO particles were formed into a tablet were θ = 44 °, 46 °, and 46 °. This value is almost the same as the value of 90 minutes for the high speed homogenizer. When a micelle colloidal solution was prepared from these ITOs in the same manner as in Example 1, the number of foreign matters was the same. In addition, the pigment film-forming surface was free from foreign matter and the like and had a uniform and uniform film surface. Furthermore, the color tone, specific resistance value, and film thickness of the red pigment film were the same as when the ITO particles were not included.

【0132】(比較例3)ITO疎水化反応前粉砕処理
工程において、粉砕処理を行わずに同様の実験を行っ
た。住友金属鉱山製ITO粒子(平均一次粒子径300
〜400オングストローム)100gを500ml、3
口、セパラブルフラスコにとり、120℃で3時間真空
乾燥する。これにイソプロピルトリス(ジオクチルパイ
ロフォスフェート)チタネート1.0gをキシレン20
0mlに溶かした溶液を入れ、テフロン製攪拌棒で攪拌
分散させる。攪拌後、溶液中のITO粒子の平均粒子径
を測定したところ2780オングストロームであった。
測定は、レーザー粒度分布計(大塚電子(株)製LP−
3100)で行った。フラスコにテフロン製攪拌棒、還
流管、温度計を取り付け、オイルパス中で反応を行う。
反応液は250rpmの回転数で113±2℃になるよ
うにオイルバスの温度を制御しながら3時間保持する。
反応終了後なす型フラスコに取り出してエバポレーター
でキシレンを留去した後、ITOを100℃で3時間真
空乾燥しめのう乳鉢ですりつぶす。この時点でITO粒
子をタブレット状にした時の接触角は、θ=40゜であ
った。このITOについて実施例1と同様にミセルコロ
イド液を作製したところ、平均粒子径は7590オング
ストロームであり、実施例1の1.5倍ほどになった。
また、液中に存在する異物数は150個あり、顔料成膜
面に異物等の付着については顕微鏡(×200)で2cm
程度走査したところ15個の異物が存在した。さらに、
赤色顔料膜の表面粗さが悪く通常の倍程度であった。
(Comparative Example 3) In the pulverization process before the ITO hydrophobization reaction, the same experiment was conducted without pulverization. ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining (average primary particle size 300
~ 400 angstrom) 100g 500ml 3
Place in a separable flask and vacuum dry at 120 ° C. for 3 hours. 1.0 g of isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate was added to 20 g of xylene.
The solution dissolved in 0 ml is put and stirred and dispersed with a Teflon stirring rod. After stirring, the average particle size of the ITO particles in the solution was measured and found to be 2780 angstroms.
Laser particle size distribution meter (LP-Otsuka Electronics Co., Ltd.)
3100). The flask is equipped with a Teflon stirring rod, a reflux tube and a thermometer, and the reaction is carried out in an oil path.
The reaction solution is held for 3 hours while controlling the temperature of the oil bath so that the rotation speed is 250 rpm and 113 ± 2 ° C.
After completion of the reaction, the product is taken out in an eggplant-shaped flask, xylene is distilled off by an evaporator, and then ITO is vacuum dried at 100 ° C. for 3 hours and mashed in an agate mortar. At this point, the contact angle when the ITO particles were formed into a tablet was θ = 40 °. When a micellar colloidal liquid was prepared from this ITO in the same manner as in Example 1, the average particle size was 7590 angstroms, which was about 1.5 times that in Example 1.
In addition, the number of foreign matters existing in the liquid is 150, and the adhesion of foreign matters to the pigment film surface is 2 cm with a microscope (× 200).
After scanning about 15 times, there were 15 foreign substances. further,
The surface roughness of the red pigment film was poor and was about twice as high as usual.

【0133】(実施例13)疎水化反応後の乾燥工程に
おいて、乾燥方法を変えて同様の実験を行った。反応工
程までは実施例1と全く同様の方法をとった。反応後キ
シレンをエバポレーターで留去した後、ITO粒子を1
20℃で3時間減圧状態で乾燥した。めのう乳鉢ですり
つぶした後、このITO粒子をタブレット状にした時の
接触角を測定したところ、θ=45゜でありほぼ実施例
1と同様の結果が得られた。また、実施例1と同様に赤
ミセルコロイド液を作製し、ミセル液中の異物数を測定
したところ16個であった。さらに成膜後膜内に異物の
付着はなかった。以上の工程で得られた顔料膜の膜厚と
導電率を測定したところ1.02ミクロン、1×105.
4 オームcmであった。またこの液を1週間放置した
後、同様の方法でCF層をつくり特性を測定した結果、
膜厚は0.92ミクロン、導電率は1×105.9 オーム
cmとなり経時的に安定している。
Example 13 In the drying step after the hydrophobizing reaction, the same experiment was conducted by changing the drying method. Up to the reaction step, the same method as in Example 1 was used. After the reaction, xylene was distilled off by an evaporator, and then ITO particles were mixed with 1
It was dried under reduced pressure at 20 ° C. for 3 hours. After grinding with an agate mortar, the contact angle of the ITO particles in the form of tablets was measured. As a result, θ = 45 °, and almost the same results as in Example 1 were obtained. Further, a red micelle colloidal liquid was prepared in the same manner as in Example 1, and the number of foreign matters in the micelle liquid was measured and found to be 16. Furthermore, no foreign matter adhered to the inside of the film after the film formation. The thickness and conductivity of the pigment film obtained in the above steps were measured and found to be 1.02 μm, 1 × 10 5.
It was 4 ohm cm. Also, after leaving this liquid for 1 week, a CF layer was formed by the same method and the characteristics were measured.
The film thickness is 0.92 micron and the conductivity is 1 × 10 5.9 ohm cm, which is stable over time.

【0134】(比較例4)疎水化反応後の乾燥工程にお
いて、乾燥方法を変えて同様の実験を行った。反応工程
までは実施例1と全く同様の方法をとった。反応後キシ
レンをエバポレーターで留去した後、ITO粒子を12
0℃で3時間常圧で乾燥した。めのう乳鉢ですりつぶし
た後、このITO粒子をタブレット状にした時の接触角
を測定したところ、θ=0゜でありITO粒子の疎水性
は全くなくなっていた。また、実施例1と同様に赤ミセ
ルコロイド液を作製したところ、作製後5時間で赤顔料
のほとんどが沈殿してしまい安定な分散状態を得ること
ができなかった。
(Comparative Example 4) In the drying step after the hydrophobizing reaction, the same experiment was conducted by changing the drying method. Up to the reaction step, the same method as in Example 1 was used. After the reaction, xylene was distilled off with an evaporator, and then ITO particles were mixed with 12
It was dried at 0 ° C. for 3 hours under normal pressure. After grinding with an agate mortar, the contact angle of the ITO particles in the form of tablets was measured. As a result, θ = 0 °, and the ITO particles had no hydrophobicity. Further, when a red micelle colloidal liquid was prepared in the same manner as in Example 1, most of the red pigment was precipitated within 5 hours after preparation, and a stable dispersed state could not be obtained.

【0135】(比較例5)疎水化反応後の乾燥工程にお
いて、乾燥方法を変えて同様の実験を行った。反応工程
までは実施例1と全く同様の方法をとった。反応後キシ
レンをエバポレーターで留去した後、ITO粒子を14
0℃で3時間減圧状態で乾燥した。めのう乳鉢ですりつ
ぶした後、このITO粒子をタブレット状にした時の接
触角を測定したところ、θ=0゜でありITO粒子の疎
水性は全くなくなっていた。また、実施例1と同様に赤
ミセルコロイド液を作製したところ、作製後10時間で
赤顔料のほとんどが沈殿してしまい安定な分散状態を得
ることができなかった。
(Comparative Example 5) In the drying step after the hydrophobizing reaction, the same experiment was conducted by changing the drying method. Up to the reaction step, the same method as in Example 1 was used. After the reaction, xylene was distilled off with an evaporator, and then ITO particles were mixed with 14
It was dried under reduced pressure at 0 ° C. for 3 hours. After grinding with an agate mortar, the contact angle of the ITO particles in the form of tablets was measured. As a result, θ = 0 °, and the ITO particles had no hydrophobicity. Further, when a red micelle colloidal liquid was prepared in the same manner as in Example 1, most of the red pigment was precipitated within 10 hours after preparation, and a stable dispersed state could not be obtained.

【0136】(実施例14)疎水化反応工程において、
反応溶媒を変えて同様の実験を行った。反応溶媒以外は
実施例1と全く同様の方法をとった。溶媒はトルエンと
キシレンを1対1の割合で混合したものを使用した。反
応後混合溶媒をエバポレーターで留去した後、ITO粒
子を120℃で3時間減圧状態で乾燥した。めのう乳鉢
ですりつぶした後、このITO粒子をタブレット状にし
た時の接触角を測定したところ、θ=50゜でありほぼ
実施例1と同様の結果が得られた。また、実施例1と同
様に赤ミセルコロイド液を作製し、ミセル液中の異物数
を測定したところ16個であった。さらに成膜後膜内に
異物の付着はなかった。以上の工程で得られた顔料膜の
膜厚と導電率を測定したところ1.06ミクロン、1×
105.4 オームcmであった。またこの液を1週間放置
した後、同様の方法でCF層をつくり特性を測定した結
果、膜厚は0.93ミクロン、導電率は1×105.8
ームcmとなり経時的に安定している。
Example 14 In the hydrophobic reaction step,
The same experiment was conducted by changing the reaction solvent. Except for the reaction solvent, the same method as in Example 1 was used. The solvent used was a mixture of toluene and xylene at a ratio of 1: 1. After the reaction, the mixed solvent was distilled off with an evaporator, and then the ITO particles were dried at 120 ° C. for 3 hours under reduced pressure. After crushing with an agate mortar, the contact angle of the ITO particles in the form of tablets was measured. As a result, θ was 50 °, and almost the same results as in Example 1 were obtained. Further, a red micelle colloidal liquid was prepared in the same manner as in Example 1, and the number of foreign matters in the micelle liquid was measured and found to be 16. Furthermore, no foreign matter adhered to the inside of the film after the film formation. The thickness and conductivity of the pigment film obtained in the above steps were measured and found to be 1.06 μm, 1 ×
It was 10 5.4 ohm cm. After leaving this solution for 1 week, a CF layer was formed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.93 μm and the conductivity was 1 × 10 5.8 ohm cm, which was stable over time.

【0137】(実施例15)疎水化反応工程において、
反応溶媒を変えて同様の実験を行った。反応溶媒以外は
実施例1と全く同様の方法をとった。溶媒はトルエンと
スチレンを2対1の割合で混合したものを使用した。反
応後混合溶媒をエバポレーターで留去した後、ITO粒
子を120℃で3時間減圧状態で乾燥した。めのう乳鉢
ですりつぶした後、このITO粒子をタブレット状にし
た時の接触角を測定したところ、θ=46゜でありほぼ
実施例1と同様の結果が得られた。また、実施例1と同
様に赤ミセルコロイド液を作製し、ミセル液中の異物数
を測定したところ16個であった。さらに成膜後膜内に
異物の付着はなかった。以上の工程で得られた顔料膜の
膜厚と導電率を測定したところ1.02ミクロン、1×
105.3 オームcmであった。またこの液を1週間放置
した後、同様の方法でCF層をつくり特性を測定した結
果、膜厚は0.90ミクロン、導電率は1×105.8
ームcmとなり経時的に安定している。
(Example 15) In the hydrophobic reaction step,
The same experiment was conducted by changing the reaction solvent. Except for the reaction solvent, the same method as in Example 1 was used. The solvent used was a mixture of toluene and styrene in a ratio of 2: 1. After the reaction, the mixed solvent was distilled off with an evaporator, and then the ITO particles were dried at 120 ° C. for 3 hours under reduced pressure. After grinding with an agate mortar, the contact angle of the ITO particles in the form of tablets was measured. As a result, θ was 46 °, and almost the same results as in Example 1 were obtained. Further, a red micelle colloidal liquid was prepared in the same manner as in Example 1, and the number of foreign matters in the micelle liquid was measured and found to be 16. Furthermore, no foreign matter adhered to the inside of the film after the film formation. The thickness and conductivity of the pigment film obtained in the above steps were measured and found to be 1.02 μm, 1 ×
It was 10 5.3 ohm cm. After leaving this solution for one week, a CF layer was formed by the same method and the characteristics were measured. As a result, the film thickness was 0.90 micron and the conductivity was 1 × 10 5.8 ohm cm, which was stable over time.

【0138】(比較例6)ITO疎水化処理工程におい
て、ITO粒子の種類を変えて実施例1と同様の実験を
行った。ITO粒子は住友金属鉱山製ITO粒子(平均
一次粒子径約1000オングストローム)を用いた。
(Comparative Example 6) In the ITO hydrophobic treatment step, the same experiment as in Example 1 was conducted by changing the kind of ITO particles. As the ITO particles, ITO particles manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. (average primary particle diameter of about 1000 Å) were used.

【0139】疎水化処理後のITO粒子を用いて実施例
1と同様に赤ミセルコロイド液を作製したところ、1日
後にはITO粒子が多量に沈澱した。また、成膜後顔料
膜の膜厚と導電率を測定したところ0.72ミクロン、
1×107.6 オームcmとなり、実施例1と比較すると
膜厚で0.3ミクロン程度薄く、導電率は使用不可能な
レベルであった。
When a red micelle colloidal solution was prepared in the same manner as in Example 1 by using the ITO particles after the hydrophobizing treatment, a large amount of ITO particles were precipitated after 1 day. In addition, the film thickness and conductivity of the pigment film after film formation were measured to be 0.72 micron,
The film thickness was 1 × 10 7.6 ohm cm, which was thinner than that of Example 1 by about 0.3 μm, and the electric conductivity was at an unusable level.

【0140】[0140]

【発明の効果】以上記したように、本発明によれば、導
電粒子の親水性表面に、疎水化処理により疎水基を導入
する導電粒子の製造方法において、有機溶媒中で導電粒
子を粉砕させる工程、110℃から130℃の間で疎水
化反応を行う工程、反応後導電粒子を減圧状態で乾燥を
行う工程により得られた疎水性導電粒子は、ミセル液中
に発生する異物および成膜後膜中に存在する異物をなく
すことができる。また、経時的にも安定な分散状態を保
っている。これは反応時に加熱することで、ミセルコロ
イド液中および成膜後膜内に存在する異物数は半減する
ことからも明らかである。加熱温度を110℃以上にす
ることによりさらに異物数は減少し、適当な反応温度と
時間を選択すれば膜内の異物をなくすことができる。こ
れは、本発明のITO粒子を用いてミセルコロイド液を
作製すると、ミセル電解法により析出させたCF層に異
物の付着がなく、また導電率が経時的に低い値で安定し
ていることにより判断できる。
As described above, according to the present invention, in a method for producing conductive particles in which a hydrophobic group is introduced into the hydrophilic surface of the conductive particles by a hydrophobic treatment, the conductive particles are pulverized in an organic solvent. The hydrophobic conductive particles obtained by the step, the step of performing the hydrophobic reaction between 110 ° C. and 130 ° C., and the step of drying the conductive particles after the reaction under reduced pressure are the foreign substances generated in the micelle liquid and after the film formation. Foreign substances existing in the film can be eliminated. In addition, a stable dispersed state is maintained over time. This is also apparent from the fact that the number of foreign substances existing in the micelle colloid solution and in the film after film formation is reduced by half by heating during the reaction. By setting the heating temperature to 110 ° C. or higher, the number of foreign matters is further reduced, and the foreign matters in the film can be eliminated by selecting an appropriate reaction temperature and time. This is because when a micelle colloidal solution was prepared using the ITO particles of the present invention, no foreign matter was attached to the CF layer deposited by the micelle electrolysis method, and the conductivity was stable at a low value over time. I can judge.

【0141】また、この方法で作成したCFを用いて電
極下付けCFディスプレイ(液晶)パネルを作成したと
ころ、CFのないディスプレイ(液晶)パネルと同等の
駆動特性をもつディスプレイ(液晶)パネルができた。
Further, when a CF display (liquid crystal) panel with an electrode underlay is prepared by using the CF prepared by this method, a display (liquid crystal) panel having a driving characteristic equivalent to that of a display (liquid crystal) panel without CF is produced. It was

【0142】さらに本発明により、信頼性のあるカラー
ディスプレイパネルを作ることができ、加えて、その様
な信頼性あるカラーディスプレイパネルを有する優れた
電子機器が得られた。
Further, according to the present invention, a reliable color display panel can be manufactured, and in addition, an excellent electronic device having such a reliable color display panel can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のCFを用いた液晶パネルの駆動特性を
示す図。
FIG. 1 is a diagram showing driving characteristics of a liquid crystal panel using a CF of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 CFのない液晶パネルの駆動特性 102 電極下付けCFを用いた液晶パネルの駆動特
性 103 液晶パネルの駆動特性
101 driving characteristics of liquid crystal panel without CF 102 driving characteristics of liquid crystal panel using CF under electrode 103 driving characteristics of liquid crystal panel

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電粒子の親水性表面に、疎水化処理に
より疎水基を導入する導電粒子の製造方法において、有
機溶媒中で導電粒子を粉砕させる工程、110℃から1
30℃の間で疎水化反応を行う工程、反応後導電粒子を
減圧状態で乾燥を行う工程からなることを特徴とする導
電粒子の製造方法。
1. A method for producing a conductive particle in which a hydrophobic group is introduced into a hydrophilic surface of the conductive particle by a hydrophobic treatment, a step of pulverizing the conductive particle in an organic solvent, 110 ° C. to 1
A method for producing conductive particles, comprising a step of performing a hydrophobizing reaction at 30 ° C. and a step of drying the conductive particles after the reaction under reduced pressure.
【請求項2】 前記粉砕工程において、超音波系の装置
あるいは高速回転型の分散機で分散粉砕させることを特
徴とする請求項1記載の導電粒子の製造方法。
2. The method for producing conductive particles according to claim 1, wherein, in the pulverizing step, the particles are dispersed and pulverized by an ultrasonic system device or a high-speed rotating type disperser.
【請求項3】 前記粉砕工程および疎水化反応を行う工
程において、粉砕・反応中に用いられる溶媒が芳香族系
であり、それらを単一あるいは2種類以上混合して用い
ることを特徴とする請求項1または2記載の導電粒子の
製造方法。
3. In the pulverizing step and the step of carrying out the hydrophobizing reaction, the solvent used during the pulverizing / reaction is an aromatic system, and these are used alone or in combination of two or more kinds. Item 3. A method for producing conductive particles according to Item 1 or 2.
【請求項4】 前記疎水化反応を行う工程において、芳
香族系の溶媒がトルエンまたはキシレンまたはスチレン
のいずれか単溶媒、あるいは混合した溶媒で疎水化反応
を行うことを特徴とする請求項3記載の導電粒子の製造
方法。
4. The step of carrying out the hydrophobization reaction, wherein the hydrophobization reaction is carried out with a single solvent of toluene, xylene, or styrene as an aromatic solvent, or with a mixed solvent. The method for producing electrically conductive particles.
【請求項5】 前記反応後の乾燥工程において、120
℃以下の減圧状態で行うことを特徴とする請求項1ない
し4のいずれか記載の導電粒子の製造方法。
5. In the drying step after the reaction, 120
The method for producing conductive particles according to any one of claims 1 to 4, wherein the method is performed in a reduced pressure state of not higher than ° C.
【請求項6】 前記疎水性表面を有する導電粒子の直径
が、25オングストローム以上1000オングストロー
ム以下であることを特徴とする請求項1ないし5のいず
れか記載の導電粒子の製造方法。
6. The method for producing conductive particles according to claim 1, wherein the conductive particles having a hydrophobic surface have a diameter of 25 angstroms or more and 1000 angstroms or less.
【請求項7】 前記疎水化反応において R1 O−Ti−(O−X−R23 X:カルボキシル基、スルホニル基またはリン酸エステ
ル基 R1 、R2 :側鎖および酸素、リン、硫黄を含有しても
よいアルキルおよびアルケニル、シクロヘキシルまたは
フェニル で表わされるカップリング剤を用いることを特徴とする
請求項1ないし6のいずれか記載の導電粒子の製造方
法。
7. In the hydrophobization reaction, R 1 O—Ti— (O—X—R 2 ) 3 X: a carboxyl group, a sulfonyl group or a phosphoric acid ester group R 1 , R 2 : side chains and oxygen, phosphorus, 7. The method for producing electrically conductive particles according to claim 1, wherein a coupling agent represented by alkyl and alkenyl which may contain sulfur, cyclohexyl or phenyl is used.
【請求項8】 透明基板上に形成した所定のパターンを
もった透明電極上に、前記請求項1ないし7のいずれか
記載の方法により製造された導電粒子と、顔料粒子を混
在した着色層を形成したことを特徴とするカラーフィル
タ。
8. A colored layer in which conductive particles produced by the method according to any one of claims 1 to 7 and pigment particles are mixed is formed on a transparent electrode having a predetermined pattern formed on a transparent substrate. A color filter characterized by being formed.
【請求項9】 透明基板上に透明電極を形成し、該透明
電極を所定のパターンに加工後、湿式電解法により該透
明電極をアノードとして該透明電極上に顔料膜を形成す
るカラーフィルタの製造方法において、水に水溶性もし
くは難溶性の顔料粒子と、前記請求項1ないし7のいず
れか記載の方法により製造された導電粒子を、レドック
ス反応性を有する界面活性剤及び支持塩を基本成分と
し、該顔料粒子と該導電粒子を該界面活性剤で取り囲ん
だ顔料のミセルコロイド水溶液を調整し、該ミセルを電
解により破壊し、透明電極上に顔料粒子と導電粒子を析
出させることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
9. A color filter, which comprises forming a transparent electrode on a transparent substrate, processing the transparent electrode into a predetermined pattern, and then forming a pigment film on the transparent electrode by using the transparent electrode as an anode by a wet electrolysis method. In the method, water-soluble or sparingly water-soluble pigment particles and conductive particles produced by the method according to any one of claims 1 to 7 are prepared by using a surfactant having redox reactivity and a supporting salt as basic components. Characterized in that an aqueous micelle colloid solution of a pigment in which the pigment particles and the conductive particles are surrounded by the surfactant is prepared, the micelles are destroyed by electrolysis, and the pigment particles and the conductive particles are deposited on the transparent electrode. Color filter manufacturing method.
【請求項10】 請求項8記載のカラーフィルタを有す
ることを特徴とするディスプレイパネル。
10. A display panel comprising the color filter according to claim 8.
【請求項11】 請求項9記載の製造方法により得られ
たカラーフィルタを有することを特徴とするディスプレ
イパネル。
11. A display panel comprising a color filter obtained by the manufacturing method according to claim 9.
【請求項12】 請求項10又は11記載のディスプレ
イパネルを有することを特徴とする電子機器。
12. An electronic device comprising the display panel according to claim 10.
JP8845496A 1996-04-10 1996-04-10 Production of conductive particle, production of color filter using the particle, and color filter, display panel and electronic device using the particle Pending JPH09278487A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6856305B2 (en) * 2001-10-26 2005-02-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Plasma display panel and plasma display device
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