JPH09275171A - Semiconductor cooling equipment - Google Patents

Semiconductor cooling equipment

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Publication number
JPH09275171A
JPH09275171A JP8122496A JP8122496A JPH09275171A JP H09275171 A JPH09275171 A JP H09275171A JP 8122496 A JP8122496 A JP 8122496A JP 8122496 A JP8122496 A JP 8122496A JP H09275171 A JPH09275171 A JP H09275171A
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JP
Japan
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impeller
housing
base
fan
air
Prior art date
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Pending
Application number
JP8122496A
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Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Matsushima
松島  均
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPH09275171A publication Critical patent/JPH09275171A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the cooling effect of a high heating element put in a fine space, by forming the blade of an impeller in such a manner that air is discharged upward or obliquely upward or sideward by rotating the impeller. SOLUTION: A base 2 composed of material whose thermal conductivity is comparatively high is connected with the upper surface of a semiconductor module 1, and a motor 4 and an impeller 3 are installed on the base 2. In this case, for example, the gap between the impeller 3 and the base 2 is very small. In this constitution, the impeller 3 rotates synchronously with the rotation of the motor 4. The impeller 3 strips off a temperature boundary layer formed on the base 2, and discharges warm air upward. As a result, cool air in the peripheral part flows into the base 2, so that the heat conduction performance on the surface of the base 2 becomes very excellent. Since warm air is discharged upward, the cooling performance is not largely deteriorated as compared with the atmosphere, when the semiconductor module is used in a narrow space.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体冷却装置に関
する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a semiconductor cooling device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のパーソナルコンピュータの性能向
上に伴い、それに用いるCPUの発熱量が増大してき
た。このようなCPUの冷却には、例えば実開平6−552
66号公報に見られるようにファン付きのヒートシンクが
用いられている。しかし、これをノートブック型など狭
小空間を有する小型電子機器に適用する場合、下記のよ
うな問題が生じる。すなわち、 従来のファン付きヒートシンクはファンをヒートシ
ンクの上方に設ける構造であるため厚さを小さくするこ
とが難しい。
2. Description of the Related Art As the performance of personal computers has improved in recent years, the amount of heat generated by the CPUs used therein has increased. To cool such a CPU, for example, the actual Kaihei 6-552
A heat sink with a fan is used as seen in Japanese Patent Publication No. 66. However, when this is applied to a small electronic device having a small space such as a notebook type, the following problems occur. That is, it is difficult to reduce the thickness of the conventional heat sink with a fan because the fan is provided above the heat sink.

【0003】 従来のファン付きヒートシンクは上方
より吸気し、ヒートシンク側方より排気させる構造であ
るため、排気された空気が再びファンにより吸気される
冷却風のショートパスが起りやすい。この現象は、より
狭い空間内にファン付きヒートシンクが置かれた時ほど
顕著である。冷却風のショートパスが発生した場合、フ
ァン付きヒートシンクの冷却性能はカタログ値等のショ
ートパスが発生していない場合の測定値に比べて著しく
低下する。
Since the conventional heat sink with a fan has a structure in which air is taken in from above and exhausted from the side of the heat sink, a short path of cooling air in which the exhausted air is again taken in by the fan is likely to occur. This phenomenon is more remarkable when a heat sink with a fan is placed in a smaller space. When a short path of the cooling air is generated, the cooling performance of the heat sink with a fan is significantly lower than the measured value such as the catalog value when the short path is not generated.

【0004】 ファン付きヒートシンクでは風量を大
きくする必要上、ファンの回転数が高いものが多く、騒
音が大きい。この傾向は、直径の小さいファンを用いた
場合に顕著である。
Many heat sinks with a fan require a large amount of air flow, and therefore, the number of rotations of the fan is high and the noise is large. This tendency is remarkable when a fan having a small diameter is used.

【0005】なお、従来のファン付きヒートシンクで
は、冷却性能を向上させる手段は、冷却風量を大きく
し、それによりヒートシンクまわりでの風速を上げるこ
とによりそこでの境界層を薄くさせるとともに乱れを増
大させ、結果としてヒートシンクまわりの熱伝達を高く
する方法がとられている。しかし、ファンをヒートシン
クに近付けた場合そこでの冷却風の流動抵抗が大きく増
大するため、ファンの性能を十分に生かしきれない場合
が多く、騒音増大の原因にもなっている。
In the conventional heat sink with a fan, the means for improving the cooling performance is to increase the cooling air volume, thereby increasing the wind speed around the heat sink to thin the boundary layer and increase the turbulence. As a result, methods have been taken to increase the heat transfer around the heat sink. However, when the fan is brought close to the heat sink, the flow resistance of the cooling air there greatly increases, so that the performance of the fan cannot be fully utilized in many cases, which also causes an increase in noise.

【0006】また従来、筐体内をまんべんなく冷却する
ためには、図9に示すように排気側に冷却ファンが用い
られてきた。この場合、筐体8内をくまなく冷却風が流
れる半面、高発熱素子16のまわりの風速が十分に取れ
ないため、冷却上問題が生じることが多かった。さら
に、排気口部は、電磁放射ノイズが筐体外へもれること
を防止する都合上、開口部が微小スリットないし微小孔
で構成されているが、この場合、流動抵抗が大きく増大
し、ファンでの流量が十分に出ない。ファン騒音が
大きくなるなどの問題が生じていた。
Further, conventionally, a cooling fan has been used on the exhaust side as shown in FIG. 9 in order to uniformly cool the inside of the housing. In this case, although the cooling air flows all over the housing 8, the wind speed around the high heat generating element 16 cannot be sufficiently obtained, so that a cooling problem often occurs. Furthermore, the exhaust port has a micro slit or micro hole at the opening for the purpose of preventing electromagnetic radiation noise from leaking out of the housing. The flow rate of is not sufficient. There were problems such as loud fan noise.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、微小
空間に置かれた高発熱素子の冷却に有効であり、かつ低
騒音な半導体冷却装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a semiconductor cooling device which is effective for cooling a high heat generating element placed in a minute space and has low noise.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はヒートシンク表面近くで物体を移動させる
構造とした。また、筐体内の空気を振動させる構造とし
た。さらに、冷却ファン表面全体を金属性ないし金属メ
ッキとした。
To achieve the above object, the present invention has a structure for moving an object near the surface of a heat sink. Further, the structure is such that the air inside the housing is vibrated. Further, the entire surface of the cooling fan is made of metal or metal plating.

【0009】ヒートシンク表面近くで物体を移動させる
と、物体によりヒートシンク表面での境界層が破壊され
て、ヒートシンクまわりの緩まった空気の代りに冷たい
空気がヒートシンクのごく近傍まで流入するためにヒー
トシンク表面での熱伝達率が高くなる。また、筐体内の
空気が振動すると開口部を通して冷たい空気が間欠的に
流入しかつすばやく筐体内で拡散するために、筐体内部
の冷却性能が良好となる。さらに、開口部での電磁放射
ノイズのもれをファン自体で防ぐことができるために、
微小なスリットや穴が不要となり、ファンへの負荷を大
幅に低下させることができる。
When an object is moved near the heat sink surface, the object destroys the boundary layer at the heat sink surface, causing cool air to flow into the immediate vicinity of the heat sink instead of loose air around the heat sink. The heat transfer coefficient at is higher. Further, when the air in the housing vibrates, cold air intermittently flows in through the opening and quickly diffuses in the housing, so that the cooling performance inside the housing becomes good. Furthermore, since the fan itself can prevent leakage of electromagnetic radiation noise at the opening,
The need for minute slits and holes is eliminated, and the load on the fan can be greatly reduced.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図1,
図2により説明する。図1は本発明の一実施例の斜視図
であり、図2はその側面図である。半導体モジュール1
の上面には、比較的熱伝導性の良い材質でできたベース
2が接続されており、ベース2上にはモータ4,羽根車
3が設けられている。すなわち、この場合、ヒートシン
クはベース2,羽根車3,モータ4により構成されてい
る。なお、実施例では、羽根車3とベース2との間のす
き間はごくわずかである。このような構成で、モータ4
の回転に同期して羽根車3が回転する。この際、羽根車
3はベース2上に形成された温度境界層をはぎ取り、温
かい空気を上方に放出させる。それに連動する形で周囲
の冷たい空気がベース2に流入してくるため、ベース2
の表面での伝熱性能が大変良好となる。また、前述のよ
うに暖まった空気は上方に放出されるため、従来例で述
べた冷却風のショートパスは生じることがないため、狭
小空間で用いても冷却性能が大気中に比べて大きく低下
することはない。また、本実施例では、ファン付きヒー
トシンクのように風量を大きくする必要がないため、そ
の分羽根車3の回転数を低くすることができ、騒音の低
減に効果がある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will now be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view thereof. Semiconductor module 1
A base 2 made of a material having a relatively high thermal conductivity is connected to the upper surface of the motor 2, and the motor 4 and the impeller 3 are provided on the base 2. That is, in this case, the heat sink is composed of the base 2, the impeller 3, and the motor 4. In the embodiment, the gap between the impeller 3 and the base 2 is very small. With such a configuration, the motor 4
The impeller 3 rotates in synchronization with the rotation of. At this time, the impeller 3 strips off the temperature boundary layer formed on the base 2 and releases warm air upward. Since the cool air around the base 2 flows into the base 2 in a linked manner, the base 2
The heat transfer performance on the surface of is very good. In addition, as the warmed air is discharged upward as described above, the short path of the cooling air described in the conventional example does not occur, so even when used in a narrow space, the cooling performance is significantly lower than in the atmosphere. There is nothing to do. Further, in the present embodiment, since it is not necessary to increase the air volume unlike the heat sink with a fan, the rotation speed of the impeller 3 can be reduced correspondingly, which is effective in reducing noise.

【0011】図3は本発明の第2の実施例である。本実
施例では、羽根車3の羽根は移動方向に垂直になる様に
なっている。本実施例でも、モータ4の回転に同期して
羽根車3が回転する。ベース2の近くの境界層は羽根車
3により破壊され緩まった空気は周囲及び上方に放出さ
れ、代わりに冷たい空気が流入する。なお、羽根車の形
状を図4のように曲線的にしても同様な効果が得られ、
かつ羽根車3の回転抵抗が減少する利点がある。
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the blades of the impeller 3 are arranged to be perpendicular to the moving direction. Also in this embodiment, the impeller 3 rotates in synchronization with the rotation of the motor 4. The boundary layer near the base 2 is destroyed by the impeller 3 and the loosened air is expelled around and above, instead cold air flows in. In addition, even if the shape of the impeller is curved as shown in FIG. 4, the same effect can be obtained.
Moreover, there is an advantage that the rotational resistance of the impeller 3 is reduced.

【0012】なお、図3,図4の実施例では上方のみな
らず側方へも風を励起することができるので、半導体モ
ジュール1のまわりの素子の冷却にも若干の効果があ
る。また、図3,図4の実施例では図1,図2の実施例
に比べてトータルの厚さを小さくすることができる利点
がある。
In the embodiments shown in FIGS. 3 and 4, since the wind can be excited not only upward but also laterally, there is some effect in cooling the elements around the semiconductor module 1. Further, the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 has an advantage that the total thickness can be reduced as compared with the embodiments shown in FIGS.

【0013】図5は本発明の第3の実施例である。本実
施例では、半導体モジュール1の上方に、ベルト5と二
つの輪車7より構成される冷却装置が設けられている。
ベルト5には多数のリブ状の突起6が設けられている。
また、少なくとも一方の輪車7はモータなどの回転手段
に接続されている。本実施例でもリブ状の突起6と半導
体モジュール1とのすき間はごくわずかである。なお、
上述の冷却装置は半導体モジュール1と一体となる様に
接続されていても良く、別体でも良い。このような構成
では、輪車7の回転に伴い、ベルト5が回転し、それに
より突起6が半導体モジュール1上を図5の左から右に
向って移動する。これにより半導体モジュール1の近く
での境界層はかき削られる。緩まった空気は図5の右側
から排出され、冷たい空気は左側から流入する。
FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a cooling device including a belt 5 and two wheels 7 is provided above the semiconductor module 1.
The belt 5 is provided with a large number of rib-shaped projections 6.
At least one wheel 7 is connected to a rotating means such as a motor. Also in this embodiment, the gap between the rib-shaped protrusion 6 and the semiconductor module 1 is very small. In addition,
The cooling device described above may be connected so as to be integrated with the semiconductor module 1 or may be a separate body. In such a configuration, the belt 5 rotates as the wheeled vehicle 7 rotates, whereby the protrusions 6 move on the semiconductor module 1 from the left to the right in FIG. As a result, the boundary layer near the semiconductor module 1 is scraped. The loosened air is discharged from the right side of FIG. 5, and the cold air flows from the left side.

【0014】なお、図5の実施例で、ベルト5及び突起
6を金属性とすることで、冷却性能を更に向上させるこ
とができる。
In the embodiment shown in FIG. 5, the belt 5 and the protrusions 6 are made of metal so that the cooling performance can be further improved.

【0015】図6は本発明の別の実施例である。筐体8
中に基板13があり、多数の電子部品14が搭載されて
いる。筐体8は、第1の開口部11と第2の開口部12
の二つの開口部を有し、第1の開口部11の筐体8内側
には、弾性チャンバ9が第1の開口部11をふさぐよう
に取り付けられている。さらに弾性チャンバ9には可動
手段10が取り付けられている。本実施例の可動手段は
モータとカムで構成されているが、これに限ることはな
く、弾性チャンバ9を可動させるものであれば何でも良
い。
FIG. 6 shows another embodiment of the present invention. Case 8
There is a substrate 13 in which a large number of electronic components 14 are mounted. The housing 8 has a first opening 11 and a second opening 12.
The elastic chamber 9 is attached to the inside of the housing 8 of the first opening 11 so as to cover the first opening 11. Further, movable means 10 is attached to the elastic chamber 9. Although the moving means of this embodiment is composed of a motor and a cam, the moving means is not limited to this, and any means that moves the elastic chamber 9 may be used.

【0016】このような構成では、可動手段10のカム
の移動に伴い弾性チャンバ9が周期的に伸縮する。弾性
チャンバ9が縮む場合には弾性チャンバ9内の空気が第
1の開口部11から筐体8の外部に流出し、これを補う
ように第2の開口部12から周囲の冷たい空気が筐体8
内に流入する。逆に、弾性チャンバ9が伸びる場合に
は、第1の開口部11から空気が弾性チャンバ9内に流
入し、同時に第2の開口部12から筐体8内の緩まった
空気が筐体8の外部へ排出される。このような筐体8内
の空気の振動により、電子部品14で発生した熱は第2
の開口部12から効率良く筐体8の外部へ放出される。
さらに、筐体8内の空気の振動により、筐体8の内壁側
の熱伝達も大きく促進されるため、筐体8の壁面を通し
ての放熱も効率的に行われる利点がある。以上の説明で
は第1の開口部11と第2の開口部12を一つずつとし
ているが、本発明はそれぞれ複数の開口部を有する場合
にも適用可能である。
In such a structure, the elastic chamber 9 periodically expands and contracts as the cam of the movable means 10 moves. When the elastic chamber 9 contracts, the air in the elastic chamber 9 flows out of the housing 8 through the first opening 11, and the surrounding cool air is supplied through the second opening 12 so as to compensate for this. 8
Flows into. On the contrary, when the elastic chamber 9 extends, the air flows into the elastic chamber 9 through the first opening 11, and at the same time, the loose air in the housing 8 flows through the second opening 12 to the housing 8. Is discharged to the outside. Due to such vibration of the air in the housing 8, the heat generated in the electronic component 14 is
Is efficiently discharged to the outside of the housing 8 from the opening 12.
Further, the vibration of the air in the housing 8 greatly promotes the heat transfer on the inner wall side of the housing 8, so that there is an advantage that the heat is efficiently radiated through the wall surface of the housing 8. Although the first opening 11 and the second opening 12 are provided one by one in the above description, the present invention is also applicable to the case where each has a plurality of openings.

【0017】図7は、本発明のさらに別の実施例であ
る。本実施例では、筐体8の入気側である第1の開口部
11のところに首振り機構を有するファン15があり、
首振りファン15の付近には、高発熱素子16が、首振
りファン15から離れたところに低発熱素子17があ
る。排気側である第2の開口部12は、前記第1の開口
部と向い合う壁面に設けられている。
FIG. 7 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, there is a fan 15 having a swinging mechanism at the first opening 11 on the inlet side of the housing 8,
A high heat generating element 16 is provided near the swinging fan 15, and a low heat generating element 17 is provided apart from the swinging fan 15. The second opening 12 on the exhaust side is provided on the wall surface facing the first opening.

【0018】このような構成では、高発熱素子16は首
振りファン15からの高速かつ乱れの大きい流れにより
有効に冷却され、低発熱素子17も周期的に冷却風が当
るために適切に冷却される。
In such a structure, the high heat generating element 16 is effectively cooled by the high speed and large turbulent flow from the swinging fan 15, and the low heat generating element 17 is also appropriately cooled because the cooling air blows periodically. It

【0019】本実施例では、高発熱素子16に対する局
所的な集中冷却と低発熱素子17に示される筐体8内の
その他の素子に対する全体冷却を一つの冷却ファン15
で同時に行うことができる。
In the present embodiment, one centralized cooling fan 15 is used for local concentrated cooling for the high heat generating element 16 and overall cooling for the other elements in the housing 8 shown by the low heat generating element 17.
Can be done at the same time.

【0020】図8は本発明の他の実施例である。ファン
18は、表面全体が金属製ないし、金属メッキを施した
ものである。筐体8の側壁には、ファン18とほぼ同寸
大の第1の開口部11が設けられている。第1の開口部
には、指などが入らない程度の粗いメッシュ19が取り
付けられている。本実施例では、第1の開口部11に設
けられたメッシュ19に密接するように、ファン18が
取り付けられる。なお、本実施例では、第1の開口部1
1は入気側でも排気側でも良い。
FIG. 8 shows another embodiment of the present invention. The entire surface of the fan 18 is not made of metal or is metal-plated. The side wall of the housing 8 is provided with a first opening 11 having substantially the same size as the fan 18. The first opening is provided with a coarse mesh 19 that does not allow fingers to enter. In the present embodiment, the fan 18 is attached so as to be in close contact with the mesh 19 provided in the first opening 11. In this embodiment, the first opening 1
1 may be on the intake side or the exhaust side.

【0021】このような構成では、第1の開口部11に
取り付けられたメッシュ19での流動抵抗は大変小さい
ため、ファン18の性能を十分に引き出すことができ、
大きな冷却風量と低いファン騒音を実現できる。なお、
第1の開口部11での開口面積が大きいにも係わらず、
筐体8内の電子部品で発生する電磁放射ノイズは、ファ
ン18の部分でシールドされるため、筐体外へもれるこ
とはない。なお、本実施例では、筐体8の側壁とファン
18を密接させることができるため、筐体8内のスペー
スを有効に利用できる利点がある。
In such a structure, since the flow resistance of the mesh 19 attached to the first opening 11 is very small, the performance of the fan 18 can be sufficiently brought out,
A large cooling air volume and low fan noise can be realized. In addition,
Despite the large opening area in the first opening 11,
Electromagnetic radiation noise generated by the electronic components inside the housing 8 is shielded by the fan 18 and therefore does not leak outside the housing. In this embodiment, since the side wall of the housing 8 and the fan 18 can be brought into close contact with each other, there is an advantage that the space inside the housing 8 can be effectively used.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明によれば、騒音を大きくすること
なく伝熱性能を向上させることが可能なヒートシンク表
面近くで物体を移動させる構造および筐体内の空気を振
動させる構造、あるいは電磁シールド性を有する表面が
金属製ないし金属メッキされたファン構造とすること
で、狭小空間に置かれた高発熱素子の冷却に有効であ
り、かつ低騒音な半導体冷却装置を提供することができ
る。
According to the present invention, the structure for moving an object near the surface of a heat sink capable of improving the heat transfer performance without increasing noise and the structure for vibrating the air in the housing, or the electromagnetic shielding property. By using a fan structure having a surface made of metal or plated with metal, it is possible to provide a semiconductor cooling device which is effective for cooling a high heat generating element placed in a narrow space and has low noise.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例の側面図。FIG. 2 is a side view of the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施例の説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram of a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施例の上面図。FIG. 4 is a top view of a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施例の側面図。FIG. 5 is a side view of the third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の別の実施例の側断面図。FIG. 6 is a side sectional view of another embodiment of the present invention.

【図7】本発明のさらに別の実施例の上断面図。FIG. 7 is a top sectional view of still another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施例の斜視図。FIG. 8 is a perspective view of another embodiment of the present invention.

【図9】従来の電子機器筐体の上断面図。FIG. 9 is a top cross-sectional view of a conventional electronic device housing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…半導体モジュール、2…ベース、3…羽根車、4…
モータ。
1 ... Semiconductor module, 2 ... Base, 3 ... Impeller, 4 ...
motor.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】モータ,羽根車およびそれらを保持し、半
導体モジュールの上面に接続されるベース部より成る半
導体冷却装置において、前記羽根車は前記羽根車の底部
が前記ベース部にほぼ接するように保持され、前記羽根
車の羽根形状は、前記羽根車の回転により空気を上方お
よび斜め上方ないし側方に排出するように形成されてい
ることを特徴とする半導体冷却装置。
1. A semiconductor cooling device comprising a motor, an impeller, and a base portion that holds them and is connected to an upper surface of a semiconductor module, wherein the impeller has a bottom portion which is substantially in contact with the base portion. The semiconductor cooling device according to claim 1, wherein the blade shape of the impeller is formed so that air is discharged upward and obliquely upward or laterally by rotation of the impeller.
【請求項2】少なくとも一方が回転手段に接続された複
数の輪車と、前記輪車間にかかりかつ外側に複数の突起
を有するベルトより成る装置を半導体モジュール上方に
取り付けたことを特徴とする半導体冷却装置。
2. A semiconductor comprising a plurality of wheels, at least one of which is connected to a rotating means, and a belt, which is provided between the wheels and has a plurality of protrusions on the outside, mounted above a semiconductor module. Cooling system.
【請求項3】内部に電子部品を搭載した基板等を有する
筐体において、前記筐体の外壁に複数の開口部を設け、
一方の開口部群には可動手段を有する弾性チャンバが前
記開口部群をふさぐように前記筐体内部に取り付けられ
ていることを特徴とする半導体冷却装置。
3. A housing having a substrate and the like on which electronic components are mounted, wherein a plurality of openings are provided on an outer wall of the housing,
A semiconductor cooling device, wherein an elastic chamber having a movable means is attached to one of the opening groups inside the housing so as to cover the opening group.
【請求項4】内部に電子部品を搭載した基板等を有する
筐体において、前記筐体外壁に複数の開口部を設け、入
気側の開口部群に首振り機構を有するファンを取り付け
たことを特徴とする半導体冷却装置。
4. A housing having a substrate or the like on which electronic components are mounted, wherein a plurality of openings are provided on the outer wall of the housing, and a fan having a swinging mechanism is attached to the opening-side opening group. A semiconductor cooling device.
【請求項5】内部に電子部品を搭載した基板等を有する
筐体において、前記筐体外壁に複数の開口部を設けかつ
一方の開口部群に中に指が入らない程度の粗さのメッシ
ュを設け、前記開口部群に表面が金属性ないしメッキ製
のファンを密着させたことを特徴とする半導体冷却装
置。
5. A casing having a substrate or the like on which electronic components are mounted, wherein a plurality of openings are provided on the outer wall of the casing, and a mesh having a degree of roughness such that a finger cannot be inserted into one opening group. And a fan whose surface is metallic or plated is closely attached to the opening group.
JP8122496A 1996-04-03 1996-04-03 Semiconductor cooling equipment Pending JPH09275171A (en)

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JP8122496A JPH09275171A (en) 1996-04-03 1996-04-03 Semiconductor cooling equipment

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JP (1) JPH09275171A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012150313A (en) * 2011-01-20 2012-08-09 Kyocera Document Solutions Inc Air supply/exhaust device and image forming apparatus equipped therewith

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