JPH09274876A - Ｘ線イメージ管およびその製造方法 - Google Patents
Ｘ線イメージ管およびその製造方法Info
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- JPH09274876A JPH09274876A JP8274396A JP8274396A JPH09274876A JP H09274876 A JPH09274876 A JP H09274876A JP 8274396 A JP8274396 A JP 8274396A JP 8274396 A JP8274396 A JP 8274396A JP H09274876 A JPH09274876 A JP H09274876A
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- Japan
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- ray image
- image tube
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 精度よく電極を配置できるＸ線イメージ管お
よびその製造方法を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線イメージ管を構成する少なくとも１
つの電極４１の径が小さい方の端部開口部分４２のＸ線
イメージ管の中心軸方向の厚さｌを３ｍｍ以上にしてい
る。
よびその製造方法を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線イメージ管を構成する少なくとも１
つの電極４１の径が小さい方の端部開口部分４２のＸ線
イメージ管の中心軸方向の厚さｌを３ｍｍ以上にしてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線像を可視像に
変換するＸ線イメージ管およびその製造方法に関する。
変換するＸ線イメージ管およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線イメージ管は、真空外囲器内に入力
部や出力部を配置し、外部から入射するＸ線像を入力部
において光電子に変換し、この光電子を出力部で可視像
に変換して外部に取り出している。そして、入力部と出
力部間には、複数の集束電極や陽極によって光電子を加
速集束する電子レンズが形成されている。
部や出力部を配置し、外部から入射するＸ線像を入力部
において光電子に変換し、この光電子を出力部で可視像
に変換して外部に取り出している。そして、入力部と出
力部間には、複数の集束電極や陽極によって光電子を加
速集束する電子レンズが形成されている。
【０００３】ところで、光電子を加速集束する電子レン
ズは、Ｘ線イメージ管の中心軸部分における電子レンズ
の非点収差を小さくするために、中心軸に対して対称に
形成している。このような電子レンズを実現するために
は、集束電極や陽極の各電極をＸ線イメージ管の中心軸
に対し対称に配置することが必要となる。また、電子レ
ンズを形成する集束電極や陽極などの各電極には、通
常、３種類以上の異なった電位が与えられるため、各電
極は、真空外囲器を構成するガラスやセラミックなどの
絶縁体のそれぞれ異なる場所に固定されている。そし
て、これら各電極を組み立てる場合、各電極が正確な位
置関係になるように位置出し用検査部品が用いられる。
ズは、Ｘ線イメージ管の中心軸部分における電子レンズ
の非点収差を小さくするために、中心軸に対して対称に
形成している。このような電子レンズを実現するために
は、集束電極や陽極の各電極をＸ線イメージ管の中心軸
に対し対称に配置することが必要となる。また、電子レ
ンズを形成する集束電極や陽極などの各電極には、通
常、３種類以上の異なった電位が与えられるため、各電
極は、真空外囲器を構成するガラスやセラミックなどの
絶縁体のそれぞれ異なる場所に固定されている。そし
て、これら各電極を組み立てる場合、各電極が正確な位
置関係になるように位置出し用検査部品が用いられる。
【０００４】なお、Ｘ線イメージ管に使用される電極部
品は、製造原価を低く抑えるためにへら絞り加工やプレ
ス加工で構成される。これらの加工は金属板材を成形す
る方法であるため、電極部品の肉厚は加工後も加工前と
ほとんど差がない（実開昭６１−１４６８６号公報参
照）。そして、加工の容易さから２ｍｍ以下の肉厚の材
料が使用されているが、通常、１ｍｍ±０．５ｍｍの肉
厚のものが使用される。また、位置出し用検査部品を用
いて電極を組み立てる場合、必要な加工精度は１００μ
ｍ以下となっている。なお、電極部品を製造する場合、
金属板材の加工でなくブロック状にする方法もある（実
開昭５３−１１２３６５号公報参照）。この方法の場
合、加工精度は片側で最大０．１ｍｍ以下となってい
る。
品は、製造原価を低く抑えるためにへら絞り加工やプレ
ス加工で構成される。これらの加工は金属板材を成形す
る方法であるため、電極部品の肉厚は加工後も加工前と
ほとんど差がない（実開昭６１−１４６８６号公報参
照）。そして、加工の容易さから２ｍｍ以下の肉厚の材
料が使用されているが、通常、１ｍｍ±０．５ｍｍの肉
厚のものが使用される。また、位置出し用検査部品を用
いて電極を組み立てる場合、必要な加工精度は１００μ
ｍ以下となっている。なお、電極部品を製造する場合、
金属板材の加工でなくブロック状にする方法もある（実
開昭５３−１１２３６５号公報参照）。この方法の場
合、加工精度は片側で最大０．１ｍｍ以下となってい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、Ｘ線
イメージ管の電極部品の加工には高い精度が必要とされ
る。このため、電極の加工費が増加し、これがＸ線イメ
ージ管の製造原価を増大させる１つの原因になってい
る。また、これと同時に、Ｘ線イメージ管の電極の組み
立てに使用される位置出し用検査部品にも高い加工精度
が要求される。
イメージ管の電極部品の加工には高い精度が必要とされ
る。このため、電極の加工費が増加し、これがＸ線イメ
ージ管の製造原価を増大させる１つの原因になってい
る。また、これと同時に、Ｘ線イメージ管の電極の組み
立てに使用される位置出し用検査部品にも高い加工精度
が要求される。
【０００６】本発明は、精度よく電極を配置できるＸ線
イメージ管およびその製造方法を提供することを目的と
する。
イメージ管およびその製造方法を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、一端に入力窓
が、他端に出力窓が設けられた真空外囲器と、この真空
外囲器内の入力窓の側に設けられた入力部と、前記真空
外囲器内の出力窓の側に設けられた出力部と、前記入力
部と前記出力部間に電子レンズを形成する複数の電極と
を具備したＸ線イメージ管において、前記複数の電極の
少なくとも１つの電極の径が小さい方の端部開口部分が
前記Ｘ線イメージ管の中心軸方向に３ｍｍ以上の厚さに
形成されたことを特徴とするＸ線イメージ管。
が、他端に出力窓が設けられた真空外囲器と、この真空
外囲器内の入力窓の側に設けられた入力部と、前記真空
外囲器内の出力窓の側に設けられた出力部と、前記入力
部と前記出力部間に電子レンズを形成する複数の電極と
を具備したＸ線イメージ管において、前記複数の電極の
少なくとも１つの電極の径が小さい方の端部開口部分が
前記Ｘ線イメージ管の中心軸方向に３ｍｍ以上の厚さに
形成されたことを特徴とするＸ線イメージ管。
【０００８】また、本発明のＸ線イメージ管の製造方法
は、径が小さい方の端部開口部分がＸ線イメージ管の中
心軸方向に３ｍｍ以上の厚さとなるように電極を加工す
る工程と、位置出し用検査部品の円筒状外面に前記電極
の前記端部開口部分が接するように配置する工程と、前
記位置出し用検査部品の円筒状外面と前記電極の前記端
部開口部分が接した状態で、前記Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器部分に前記電極を固定する工程とからな
っている。
は、径が小さい方の端部開口部分がＸ線イメージ管の中
心軸方向に３ｍｍ以上の厚さとなるように電極を加工す
る工程と、位置出し用検査部品の円筒状外面に前記電極
の前記端部開口部分が接するように配置する工程と、前
記位置出し用検査部品の円筒状外面と前記電極の前記端
部開口部分が接した状態で、前記Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器部分に前記電極を固定する工程とからな
っている。
【０００９】上記した構成によれば、電子レンズを構成
する複数の電極のうち、少なくとも１つの電極の径が小
さい方の端部開口部分がＸ線イメージ管の中心軸方向に
３ｍｍ以上の厚さに形成されている。したがって、電極
の端部開口部分の内面が位置出し用検査部品の外面に接
するように配置して電極の位置決めを行う場合、位置出
し用検査部品の外面に接する電極の端部開口部分の長さ
が３ｍｍ以上と長いため、位置出し用検査部品のずれが
小さくなり、電極を精度よく配置できる。
する複数の電極のうち、少なくとも１つの電極の径が小
さい方の端部開口部分がＸ線イメージ管の中心軸方向に
３ｍｍ以上の厚さに形成されている。したがって、電極
の端部開口部分の内面が位置出し用検査部品の外面に接
するように配置して電極の位置決めを行う場合、位置出
し用検査部品の外面に接する電極の端部開口部分の長さ
が３ｍｍ以上と長いため、位置出し用検査部品のずれが
小さくなり、電極を精度よく配置できる。
【００１０】また、電極の端部開口部分が厚い場合は、
電極の位置決め精度がよくなる。したがって、その分、
位置出し用検査部品に対する精度を低くでき、位置出し
用検査部品の加工が容易になる。
電極の位置決め精度がよくなる。したがって、その分、
位置出し用検査部品に対する精度を低くでき、位置出し
用検査部品の加工が容易になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。符号１１は、Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器で、真空外囲器１１の一端には入力窓１
２が設けられ、他端には出力窓１３が設けられている。
入力窓１２の内側には入力部１４が形成されている。入
力部１４は、Ｘ線像を光に変換する蛍光面１４１と、光
を光電子に変換する光電面１４２から構成されている。
入力部１４から出力された光電子は、複数の集束電極１
５や陽極１６で形成された電子レンズで加速集束され、
出力窓１３の内側に設けられた出力部１７に入射する。
なお、出力部１７に入射した光電子は可視像に変換さ
れ、外部に取り出される。
参照して説明する。符号１１は、Ｘ線イメージ管を構成
する真空外囲器で、真空外囲器１１の一端には入力窓１
２が設けられ、他端には出力窓１３が設けられている。
入力窓１２の内側には入力部１４が形成されている。入
力部１４は、Ｘ線像を光に変換する蛍光面１４１と、光
を光電子に変換する光電面１４２から構成されている。
入力部１４から出力された光電子は、複数の集束電極１
５や陽極１６で形成された電子レンズで加速集束され、
出力窓１３の内側に設けられた出力部１７に入射する。
なお、出力部１７に入射した光電子は可視像に変換さ
れ、外部に取り出される。
【００１２】ここで、電子レンズを形成する集束電極１
５や陽極１６を位置出し用検査部品を用いて組み立てる
方法について、図２を参照して説明する。図２では、上
側がＸ線イメージ管の入力側、また、下側が出力側とな
っている。
５や陽極１６を位置出し用検査部品を用いて組み立てる
方法について、図２を参照して説明する。図２では、上
側がＸ線イメージ管の入力側、また、下側が出力側とな
っている。
【００１３】符号Ａ、Ｂは、Ｘ線イメージ管に使用され
る２つの電極部品で、全体の形状がほぼ筒状に構成さ
れ、通常、入力側と出力側の両方に円形の開口が形成さ
れている。通常、入力側と出力側で開口の大きさが相違
し、ここでは、電極部品Ａは入力側開口の径が、また電
極部品Ｂは出力側開口の径が小さくなっている。そし
て、電極部品Ａ、Ｂの径が小さい方の端部開口の厚さｌ
ａ、ｌｂは、Ｘ線イメージ管の中心軸方向に３ｍｍ以上
となるように加工されている。
る２つの電極部品で、全体の形状がほぼ筒状に構成さ
れ、通常、入力側と出力側の両方に円形の開口が形成さ
れている。通常、入力側と出力側で開口の大きさが相違
し、ここでは、電極部品Ａは入力側開口の径が、また電
極部品Ｂは出力側開口の径が小さくなっている。そし
て、電極部品Ａ、Ｂの径が小さい方の端部開口の厚さｌ
ａ、ｌｂは、Ｘ線イメージ管の中心軸方向に３ｍｍ以上
となるように加工されている。
【００１４】また、電極部品Ａ、Ｂの組み立てに使用さ
れる位置出し用検査部品Ｊは、２つの電極部品Ａ、Ｂそ
れぞれの開口に等しい外径の円筒部Ｊａ、Ｊｂが形成さ
れている。
れる位置出し用検査部品Ｊは、２つの電極部品Ａ、Ｂそ
れぞれの開口に等しい外径の円筒部Ｊａ、Ｊｂが形成さ
れている。
【００１５】そして、電極部品Ａの開口部分に位置出し
用検査部品Ｊの円筒部Ｊａが接するように位置出し用検
査部品Ｊを配置し、その後、位置出し用検査部品Ｊの円
筒部Ｊｂに接するようにして電極部品Ｂを位置決めして
いる。そして、この状態で電極部品Ａ、Ｂを真空外囲器
１１（図１）の絶縁体部分に固定している。この場合、
本発明では、位置出し用検査部品Ｊに接する電極部品
Ａ、Ｂの開口部分の厚さが３ｍｍ以上と長いため、電極
部品Ａ、Ｂの位置決めが正確に行える。
用検査部品Ｊの円筒部Ｊａが接するように位置出し用検
査部品Ｊを配置し、その後、位置出し用検査部品Ｊの円
筒部Ｊｂに接するようにして電極部品Ｂを位置決めして
いる。そして、この状態で電極部品Ａ、Ｂを真空外囲器
１１（図１）の絶縁体部分に固定している。この場合、
本発明では、位置出し用検査部品Ｊに接する電極部品
Ａ、Ｂの開口部分の厚さが３ｍｍ以上と長いため、電極
部品Ａ、Ｂの位置決めが正確に行える。
【００１６】ここで、位置出し用検査部品に接する電極
部品の開口部分の厚さと、電極部品の配置精度との関係
について図３で説明する。符号Ｊは位置出し用検査部品
で、位置出し用検査部品は、径が小さい半径ｒａの円筒
部Ｊａと、径が大きい半径ｒｂの円筒部Ｊｂで構成され
ている。また、電極部品Ａの入力側開口部分の内径をＲ
Ａ、電極部品Ｂの出力側開口部分の内径をＲＢとする。
そして、電極部品Ａの入力側の面ＡＩと電極部品Ｂの開
口部分の入力側の面ＢＩとの距離をＬとし、また、電極
部品Ａ、Ｂの開口部分の中心軸方向の厚さをそれぞれＬ
Ａ、ＬＢとする。
部品の開口部分の厚さと、電極部品の配置精度との関係
について図３で説明する。符号Ｊは位置出し用検査部品
で、位置出し用検査部品は、径が小さい半径ｒａの円筒
部Ｊａと、径が大きい半径ｒｂの円筒部Ｊｂで構成され
ている。また、電極部品Ａの入力側開口部分の内径をＲ
Ａ、電極部品Ｂの出力側開口部分の内径をＲＢとする。
そして、電極部品Ａの入力側の面ＡＩと電極部品Ｂの開
口部分の入力側の面ＢＩとの距離をＬとし、また、電極
部品Ａ、Ｂの開口部分の中心軸方向の厚さをそれぞれＬ
Ａ、ＬＢとする。
【００１７】この場合、例えば、電極部品Ａにおいて、
電極部品Ａの内径ＲＡと位置出し用検査部品Ｊの円筒部
Ｊａの半径ｒａの寸法が相違すると、電極部品Ａと位置
出し用検査部品Ｊは、例えば、開口部分の出力側の面Ａ
Ｏでは位置出し用検査部品Ｊの右側が接触し、また、開
口部分の入力側の面ＡＩでは位置出し用検査部品Ｊの左
側が接触し、位置出し用検査部品Ｊの軸ＪｃはＸ線イメ
ージ管の中心軸Ｃに対し角αだけ傾いてしまう。
電極部品Ａの内径ＲＡと位置出し用検査部品Ｊの円筒部
Ｊａの半径ｒａの寸法が相違すると、電極部品Ａと位置
出し用検査部品Ｊは、例えば、開口部分の出力側の面Ａ
Ｏでは位置出し用検査部品Ｊの右側が接触し、また、開
口部分の入力側の面ＡＩでは位置出し用検査部品Ｊの左
側が接触し、位置出し用検査部品Ｊの軸ＪｃはＸ線イメ
ージ管の中心軸Ｃに対し角αだけ傾いてしまう。
【００１８】例えば、（ＲＡ−ｒａ）の値が開口部分の
入力側の面ＡＩで最大で、０．０７５ｍｍとする。この
とき、電極部品Ａの開口部分の厚さＬＡが１ｍｍである
と、位置出し用検査部品Ｊは電極部品Ａに対しｔａｎ-1
（０．０７５／１）＝４．３゜の傾きとなる。したがっ
て、電極部品ＡからＬ＝１５ｍｍ離れた電極部品Ｂの入
力側の面ＢＩでのずれは１５ｔａｎ（０．０７５／１）
＝１．１ｍｍとなり、中心軸Ｃから大きくずれる。この
状態で、２つの電極部品Ａ、Ｂ間に例えば１０ｋＶ以上
の電位差を与え電子レンズを形成すると、大きな収差が
発生しＸ線イメージ管の性能が低下する。
入力側の面ＡＩで最大で、０．０７５ｍｍとする。この
とき、電極部品Ａの開口部分の厚さＬＡが１ｍｍである
と、位置出し用検査部品Ｊは電極部品Ａに対しｔａｎ-1
（０．０７５／１）＝４．３゜の傾きとなる。したがっ
て、電極部品ＡからＬ＝１５ｍｍ離れた電極部品Ｂの入
力側の面ＢＩでのずれは１５ｔａｎ（０．０７５／１）
＝１．１ｍｍとなり、中心軸Ｃから大きくずれる。この
状態で、２つの電極部品Ａ、Ｂ間に例えば１０ｋＶ以上
の電位差を与え電子レンズを形成すると、大きな収差が
発生しＸ線イメージ管の性能が低下する。
【００１９】本発明の場合、開口部分の中心軸方向の厚
さは３ｍｍ以上となっている。したがって、開口部分の
厚さＬＡ＝５ｍｍの場合、（ＲＡ−ｒａ）の値が開口部
分の入力側の面で０．０７５ｍｍであっても、位置出し
用検査部品Ｊの傾きはｔａｎ-1（０．０７５／５）＝
０．８６゜となり、電極部品Ｂの中心軸からのずれは
０．２ｍｍと小さくなる。
さは３ｍｍ以上となっている。したがって、開口部分の
厚さＬＡ＝５ｍｍの場合、（ＲＡ−ｒａ）の値が開口部
分の入力側の面で０．０７５ｍｍであっても、位置出し
用検査部品Ｊの傾きはｔａｎ-1（０．０７５／５）＝
０．８６゜となり、電極部品Ｂの中心軸からのずれは
０．２ｍｍと小さくなる。
【００２０】なお、ＬＡ＝１ｍｍの場合、ＬＡ＝５ｍｍ
の場合と同じ組立精度を達成するためには、（ＲＡ−ｒ
ａ）の値は０．０１５以下にしなければならず、電極部
品Ａ、Ｂや位置出し用検査部品Ｊに対し高い加工精度が
要求され、部品単価増加の原因になる。
の場合と同じ組立精度を達成するためには、（ＲＡ−ｒ
ａ）の値は０．０１５以下にしなければならず、電極部
品Ａ、Ｂや位置出し用検査部品Ｊに対し高い加工精度が
要求され、部品単価増加の原因になる。
【００２１】次に、電極の開口部分の中心軸方向の厚さ
を３ｍｍ以上に構成する例について、図４以下の図面で
説明する。図４は、電極４１をすべて切削加工して構成
した例で、開口部分４２の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ
以上になっている。図５は、絞り加工またはプレス加工
で電極５１を形成した後、位置出し用検査部品に接する
開口部分５２を切削仕上げ加工した例である。この場合
も、開口部分の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ以上にして
いる。また、図６は、使用する材料が薄い場合に、絞り
加工またはプレス加工で電極６１を形成した後、端部を
１８０度中側に折り曲げ肉厚の開口部分６２を形成した
例で、開口部分６２の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ以上
にしている。また、図７は、絞り加工またはプレス加工
で電極７１を形成した後、端部を１８０度外側に折り曲
げて肉厚の開口部分７２を形成した例で、開口部分７２
の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ以上になっている。な
お、図６や図７の場合、端部を折り重ねた後、開口部分
６２、７２の内側の面を切削加工し、精度を上げること
もできる。電子レンズの特性の面から見た場合、図４の
ように内側に曲がった開口部分４２の厚さが厚いもの、
また、端部を折り重ねる場合は、図７のように外側に折
り曲げた方がすぐれている。
を３ｍｍ以上に構成する例について、図４以下の図面で
説明する。図４は、電極４１をすべて切削加工して構成
した例で、開口部分４２の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ
以上になっている。図５は、絞り加工またはプレス加工
で電極５１を形成した後、位置出し用検査部品に接する
開口部分５２を切削仕上げ加工した例である。この場合
も、開口部分の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ以上にして
いる。また、図６は、使用する材料が薄い場合に、絞り
加工またはプレス加工で電極６１を形成した後、端部を
１８０度中側に折り曲げ肉厚の開口部分６２を形成した
例で、開口部分６２の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ以上
にしている。また、図７は、絞り加工またはプレス加工
で電極７１を形成した後、端部を１８０度外側に折り曲
げて肉厚の開口部分７２を形成した例で、開口部分７２
の中心軸方向の厚さｌは３ｍｍ以上になっている。な
お、図６や図７の場合、端部を折り重ねた後、開口部分
６２、７２の内側の面を切削加工し、精度を上げること
もできる。電子レンズの特性の面から見た場合、図４の
ように内側に曲がった開口部分４２の厚さが厚いもの、
また、端部を折り重ねる場合は、図７のように外側に折
り曲げた方がすぐれている。
【００２２】なお、上記した実施形態では、一方の例え
ば電極部品Ａの開口部分を位置出し用検査部品Ｊの外面
に接するようにしている。しかし、Ｘ線イメージ管の中
心軸に平行となる部分が電極部品Ａと電極部品Ｂの双方
に設けられている場合は、組み立て精度はさらに向上で
きる。例えば、図３において、前述した条件に加え、電
極部品Ｂの開口部分ＬＢ＝５ｍｍとすると、位置出し用
検査部品Ｊの傾きはｔａｎ-1（０．０７５／５×２）＝
０．４３゜となり、電極部品Ｂの中心軸Ｃからのずれは
先の０．２ｍｍからその１／２の０．１ｍｍになる。な
お、図５のような電極構造の場合、開口部分５２の厚さ
ｌを５ｍｍ以上すると、肉厚の薄い（例えば１ｍｍ以
下）材料が長く延びた形になり、ホーニング等による機
械研磨を行った場合に逆に変形する恐れがある。したが
って、この場合は、開口部分の厚さは３ｍｍ程度にする
のが有効である。
ば電極部品Ａの開口部分を位置出し用検査部品Ｊの外面
に接するようにしている。しかし、Ｘ線イメージ管の中
心軸に平行となる部分が電極部品Ａと電極部品Ｂの双方
に設けられている場合は、組み立て精度はさらに向上で
きる。例えば、図３において、前述した条件に加え、電
極部品Ｂの開口部分ＬＢ＝５ｍｍとすると、位置出し用
検査部品Ｊの傾きはｔａｎ-1（０．０７５／５×２）＝
０．４３゜となり、電極部品Ｂの中心軸Ｃからのずれは
先の０．２ｍｍからその１／２の０．１ｍｍになる。な
お、図５のような電極構造の場合、開口部分５２の厚さ
ｌを５ｍｍ以上すると、肉厚の薄い（例えば１ｍｍ以
下）材料が長く延びた形になり、ホーニング等による機
械研磨を行った場合に逆に変形する恐れがある。したが
って、この場合は、開口部分の厚さは３ｍｍ程度にする
のが有効である。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、精度よく電極を配置で
きるＸ線イメージ管およびその製造方法を実現できる。
きるＸ線イメージ管およびその製造方法を実現できる。
【図１】本発明の実施形態を示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施形態を説明する概略断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施形態を説明する概略断面図であ
る。
る。
【図４】本発明に使用される電極を説明する概略断面図
である。
である。
【図５】本発明に使用される他の電極を説明する概略断
面図である。
面図である。
【図６】本発明に使用される他の電極を説明する概略断
面図である。
面図である。
【図７】本発明に使用される他の電極を説明する概略断
面図である。
面図である。
１１…真空外囲器１１ １２…入力窓 １３…出力窓 １４…入力部 １５…集束電極 １６…陽極 １７…出力部 ４１…電極 ４２…開口部分 ｌ…開口部分の厚さ
Claims (2)
- 【請求項１】 一端に入力窓が、他端に出力窓が設けら
れた真空外囲器と、この真空外囲器内の入力窓の側に設
けられた入力部と、前記真空外囲器内の出力窓の側に設
けられた出力部と、前記入力部と前記出力部間に電子レ
ンズを形成する複数の電極とを具備したＸ線イメージ管
において、前記複数の電極の少なくとも１つの電極の径
が小さい方の端部開口部分が前記Ｘ線イメージ管の中心
軸方向に３ｍｍ以上の厚さに形成されたことを特徴とす
るＸ線イメージ管。 - 【請求項２】 径が小さい方の端部開口部分がＸ線イメ
ージ管の中心軸方向に３ｍｍ以上の厚さとなるように電
極を加工する工程と、位置出し用検査部品の円筒状外面
に前記電極の前記端部開口部分が接するように配置する
工程と、前記位置出し用検査部品の円筒状外面と前記電
極の前記端部開口部分が接した状態で、前記Ｘ線イメー
ジ管を構成する真空外囲器部分に前記電極を固定する工
程とからなるＸ線イメージ管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8274396A JPH09274876A (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8274396A JPH09274876A (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09274876A true JPH09274876A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=13782912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8274396A Pending JPH09274876A (ja) | 1996-04-04 | 1996-04-04 | Ｘ線イメージ管およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09274876A (ja) |
-
1996
- 1996-04-04 JP JP8274396A patent/JPH09274876A/ja active Pending
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