JPH09270692A - 温度補償回路およびこれを含む半導体集積回路 - Google Patents

温度補償回路およびこれを含む半導体集積回路

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JPH09270692A
JPH09270692A JP8076431A JP7643196A JPH09270692A JP H09270692 A JPH09270692 A JP H09270692A JP 8076431 A JP8076431 A JP 8076431A JP 7643196 A JP7643196 A JP 7643196A JP H09270692 A JPH09270692 A JP H09270692A
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JP
Japan
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channel mosfet
temperature
circuit
gate
drain
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JP8076431A
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Inventor
Norifumi Kobayashi
林 憲 史 小
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用環境の変化や回路動作速度が変化しても
伝播遅延時間の変動を抑制することのできる温度補償回
路および半導体集積回路を提供する。 【解決手段】 温度依存性を有する能動素子(27,2
9,46,47,66,67,86,87)とこれと直
列接続された温度依存性のない受動素子(28,30,
45,47,65,68,85,88)からなり、温度
変化に対応する検出出力を得る温度検出回路と、この温
度検出回路の検出出力により温度変化を相殺するように
信号伝達の遅延時間を変化させる制御回路(21〜2
4、41〜42、71〜72、81〜82)とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は温度変動に起因する
遅延時間の変動を補正する温度補償回路およびこれを含
む半導体集積回路に関するもので、特に、回路の動作速
度や使用環境の変化によって消費電流が変動するCMO
S構成の半導体集積回路を含むシステムに好適なもので
ある。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路は一般に熱により特性が
変化するという性質がある。このため、半導体集積回路
においては、温度による特性の変動が大きな問題とな
り、極力温度変動が少なくなるように環境温度が制御さ
れる。一方、半導体集積回路自体の温度は半導体集積回
路の動作速度(クロック)や使用環境により大きく変化
する。特に、半導体集積回路のうちには、CMOS構成
のタイミングジェネレータなど温度に敏感な回路があ
り、このような回路では厳密な温度補償が必要となって
いる。
【0003】このため、半導体集積回路の温度を制御す
るために、種々の手法が提案されている。
【0004】まず、第1の手法は、ファンによる空冷や
冷却水等による水冷を行い、あるいはヒータを用いて加
熱を行う技術である。
【0005】このような冷却装置あるいは加熱装置を用
いて環境を制御する技術では、ファンの回転速度、冷却
媒体の流量、ヒータへの通電電力を制御することによ
り、比較的容易に冷却や加熱を制御することができる。
【0006】また、第2の手法は、図5に示すように、
CMOS半導体集積回路上にヒータ回路3をオンチップ
で形成して、これを温度補償回路1によって測定された
温度に基づきヒータ制御回路2を通じてヒータ回路を制
御してチップ温度を通常の使用状態よりも高温にしてお
き、動作速度や外部環境の変化によってチップ温度の変
動が生じないようにし、内部論理回路4での伝播遅延時
間の変動を招かないようにしている。
【0007】第3の手法は、例えば図6に示すように、
CMOS半導体集積回路の外部に設けられたPLL回路
などで発生され、温度依存性が極めて小さい伝播遅延時
間を有する基準クロックを入力し、これと内部論理回路
11のリングオシレータのタイミングとを位相比較回路
12で比較してチャージポンプ回路13を作動させ、リ
ングオシレータのタイミングを基準クロックに合わせる
ようにしたものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記第
1の手法では、冷却装置や加熱装置のコストが高く、メ
ンテナンスの必要があるという問題がある他、これらを
半導体集積回路の外部に設ける場合にはその実装するス
ペースが必要であり、システムの大型化を引き起こすと
いう問題がある。
【0009】また、第2の手法によれば、常時ヒータを
オンとしているので、消費電力が大きく、CMOS半導
体装置の低消費電力の利点が損なわれる。
【0010】さらに、第3の手法によれば、伝播遅延時
間はPLL回路のチャージポンプで制御されるため、ジ
ッタが発生しやすく、高精度が要求されるシステムでは
使用することができない。しかも、基準クロックと内部
論理回路の動作周波数を合わせるために複数のPLL回
路を内蔵する必要が生じ、回路配置、集積化に問題があ
る。
【0011】このような問題に鑑み、発明者は、半導体
集積回路上に消費電流を制御するヒータ回路をオンチッ
プで設け、チップ温度をモニタして温度変化分に相当す
る消費電流をフィードバック制御してヒータ回路の電流
増減で相殺するようにしたものを提案している。
【0012】しかし、この構成は上記諸問題を解決する
のに有効ではあるが、急激な温度変化があった場合の追
随性は十分とは言いがたい。
【0013】本発明はこのような問題を解決するために
なされたもので、使用環境の変化や回路動作速度が変化
しても伝播遅延時間の変動を抑制することのできる温度
補償回路および半導体集積回路を提供することを目的と
する。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる温度補償
回路は、温度依存性を有する能動素子と、これと直列接
続された温度依存性のない受動素子からなり、温度変化
に対応する検出電圧出力を前記能動素子と前記受動素子
の接続点より得る温度検出回路と、この温度検出回路の
検出出力により温度変化を相殺するように信号伝達の遅
延時間を変化させる制御回路とを備えたことを特徴とす
るものである。
【0015】この構成では、温度変化により2つの素子
間に生じた電圧変化を同じ温度変化を受けた制御回路の
制御信号として用いているので、急激な温度変化にも追
随して温度補償を行うことができる。
【0016】また、本発明にかかる温度補償回路は、ソ
ースを電源に接続し、ドレインを抵抗を介して接地し、
ゲートを接地し、前記ドレインと前記抵抗の接続点を出
力点とした第1のPチャネルMOSFETよりなるP型
温度検出回路と、ソースを接地し、ドレインを抵抗を介
して電源に接続し、ゲートを電源に接続し、前記ドレイ
ンと抵抗の接続点を出力点とした第1のNチャネルMO
SFETよりなるN型温度検出回路と、前記N型温度検
出回路の出力点の電圧と前記P型温度検出回路の出力点
の電圧とにより流れる電流を調節する電流制御手段とを
備える。
【0017】この回路では急激な温度変化にも追随して
温度補償を行うCMOS構成の温度補償回路が提供され
る。
【0018】電流制御手段が、ゲートとドレインとを共
通接続した第2のPチャネルMOSFETおよび第2の
NチャネルMOSFETよりなり、ゲート共通接続点を
入力端子、ドレイン共通接続点を出力端子とするCMO
Sインバータと、前記第2のPチャネルMOSFETの
ソースと電源の間に接続されゲートが前記P型温度検出
回路の出力点に接続された第3のPチャネルMOSFE
Tと、前記第2のNチャネルMOSFETのソースと接
地端子間に接続されゲートが前記N型温度検出回路の出
力点に接続された第3のNチャネルMOSFETとを備
えたもの、あるいは、並列接続された第2のPチャネル
MOSFETと第2のNチャネルMOSFETからな
り、入力回路と内部回路に中間にあって信号の伝達を制
御するトランスファゲートであって、前記N型温度検出
回路の出力点は第2のNチャネルMOSFETのゲート
に接続され、前記P型温度検出回路の出力点は前記第2
のPチャネルMOSFETのゲートに接続されたもの、
あるいは、ゲートとドレインとを共通接続した第2のP
チャネルMOSFETおよび第2のNチャネルMOSF
ETよりなり、ゲート共通接続点を入力端子、ドレイン
共通接続点を出力端子とするCMOSインバータでな
り、前記P型温度検出回路の出力が前記第2のPチャネ
ルMOSFETの基板電位として与えられ、前記N型温
度検出回路の出力点は前記第2のNチャネルMOSFE
Tの基板電位として与えられるものであると良い。
【0019】また、上述した各構成要素が同一基板上に
形成されたものであると、温度変化の影響が同じとなっ
て、遅延時間の変動を効果的に抑制した半導体装置が提
供できる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態のいくつかを説明する。
【0021】図1は、本発明にかかる温度補償回路を含
む半導体集積回路の概略構成を示す回路図である。
【0022】ゲート同士が接続されたPチャネルMOS
FET21とNチャネルMOSFET22のドレイン同
士が接続され、ゲート共通接続点が入力端子25、ドレ
イン共通接続点が出力端子26となる。PチャネルMO
SFET21のソース端子には、ソースが電源VDDに接
続されたPチャネルMOSFET23のドレインが接続
され、NチャネルMOSFET22のソース端子には、
ソースが接地されたNチャネルMOSFET24のドレ
インが接続されている。
【0023】また、ソースが電源VDDに接続され、ドレ
インが抵抗28を介して接地され、ゲートが接地された
PチャネルMOSFET27よりなる第1の温度セン
サ、およびソースが接地され、ドレインが抵抗30を介
して電源VDDに接続され、ゲートが電源VDDに接続され
たNチャネルMOSFET29よりなる第2の温度セン
サが半導体集積回路チップ上に形成されている。第1の
温度センサにおけるドレインと抵抗28の接続点31は
PチャネルMOSFET23のゲートに接続される。第
2の温度センサにおけるドレインと抵抗の接続点32は
NチャネルMOSFET24のゲートに接続される。
【0024】次にこの回路の動作を説明する。
【0025】今、PチャネルMOSFET側について温
度上昇があったとすると、PチャネルMOSFET27
のオン抵抗が増加するが、抵抗28の抵抗値は増加しな
いので、接続点31の電位Vpは接地側にシフトする。
この電位VpはPチャネルMOSFET23のゲートに
与えられているため、そのソース−ドレイン間に流れる
電流が増加する。
【0026】一方、直列接続されたPチャネルMOSF
ET21およびPチャネルMOSFET23においては
温度上昇によりキャリアの表面移動度が低下し、抵抗値
が増加することによる電流の低下が生じるが、前述した
ゲート電圧の低下による電流の増加と温度上昇による電
流の低下とが相殺されるようにMOSFET21、2
3、27のサイズや構造を設計することにより入力点2
5に入力された信号が出力点26に現れるまでの遅延時
間の変動を防止することができる。この際、MOSFE
T21、23、27は同一基板上に形成されているた
め、これらにおける温度変動はほぼ同時と考えられる。
したがって、フィードバックの必要がなく、急激な温度
変化があったとしても追随性が良く、ジッタの発生もな
い。
【0027】図2は本発明にかかる温度補償回路の第2
の実施の形態を示す回路図である。
【0028】ゲート同士が接続されたPチャネルMOS
FET41とNチャネルMOSFET42のドレイン同
士が接続され、ゲート共通接続点が入力端子43、ドレ
イン共通接続点が出力端子44となっている。また、第
1の温度検出回路をなす、ソースが接地され、ドレイン
が抵抗45を介して電源VDDに接続され、ゲートが電源
VDDに接続されたNチャネルMOSFET46も同一基
板上に形成されており、そのドレインと抵抗45の接続
点49はPチャネルMOSFET41のソース端子に接
続されている。同様に、第2の温度検出回路をなす、ソ
ースが電源に接続され、ドレインが抵抗48を介して接
地され、ゲートが接地されたPチャネルMOSFET4
7も同一基板上に形成されており、そのドレインと抵抗
48の接続点50はNチャネルMOSFET42のソー
ス端子に接続されている。
【0029】この実施の形態では、PチャネルMOSF
ET41のソース端子は第1の温度検出回路の抵抗45
を介して電源に接続され、NチャネルMOSFET42
のソース端子は第2の温度検出回路の抵抗48を介して
接地される。したがって、第1の温度制御回路および第
2の温度制御回路はそれぞれPチャネルMOSFET4
1のソース端子に与えられるVDDとNチャネルMOSF
ET42のソース端子に与えられるGNDのレベルを変
化させることになる。この結果、NチャネルMOSFE
T42およびPチャネルMOSFET41を流れる電流
はそのまま抵抗45、48を流れることになる。
【0030】この実施の形態における動作を説明する。
【0031】チップ温度が上昇した場合、NチャネルM
OSFET46は温度依存性があるためオン抵抗が大き
くなり、抵抗45は温度依存性が極めて小さいため、出
力点49の電位はVDD側にシフトする。一方、Pチャネ
ルMOSFET47も温度依存性があるため、オン抵抗
が大きくなる一方で抵抗48は温度依存性がきわめて小
さいため、出力点50の電位はGRD側にシフトする。
このシフト現象はいずれも伝播遅延時間を早めるので、
温度上昇による遅延時間の増加を相殺することができ
る。
【0032】この実施の形態においては温度制御回路の
出力点49、50の電位を5%程度変化させることによ
り、伝播遅延時間は10〜20%程度制御することが可
能であるので、温度補償回路の抵抗は大きな値は必要な
く、小面積のアルミニウム配線抵抗やポリシリコン抵抗
での実現が可能である。
【0033】また、この実施の形態では第1の実施の形
態に比べて必要な素子数がさらに減少し、集積度を向上
させることができる。
【0034】図3は本発明の第3の実施の形態を示す回
路図である。
【0035】ゲート同士が接続されたPチャネルMOS
FET61とNチャネルMOSFET62のドレイン同
士が接続され、ゲート共通接続点が入力端子63、ドレ
イン共通接続点が出力端子64となっている。また、第
1の温度検出回路をなす、ソースが接地され、ドレイン
が抵抗65を介して電源VDDに接続され、ゲートが電源
VDDに接続されたNチャネルMOSFET66および第
2の温度検出回路をなす、ソースが電源に接続され、ド
レインが抵抗68を介して接地され、ゲートが接地され
たPチャネルMOSFET67も同一基板上に形成され
ている。
【0036】出力端子64には並列接続されたNチャネ
ルMOSFET71およびPチャネルMOSFET72
よりなるトランスファゲートが接続されており、その出
力点73には内部回路74が接続されている。
【0037】NチャネルMOSFET66のドレインと
抵抗65の接続点69はトランスファゲートのNチャネ
ルMOSFET71のゲートに接続され、PチャネルM
OSFET67のドレインと抵抗68の接続点70はト
ランスファゲートのPチャネルMOSFET72のゲー
トに接続されている。
【0038】この回路ではチップ温度が上昇した場合、
トランスファゲートの伝達特性を向上させるので、伝播
遅延時間を早める結果となり、温度上昇による遅延時間
の増加を相殺することができる。したがって、この実施
の形態は、信号伝達が重要な回路に好適である。
【0039】図4は本発明の第4の実施の形態を示す回
路図である。
【0040】ゲート同士が接続されたPチャネルMOS
FET81とNチャネルMOSFET82のドレイン同
士が接続され、ゲート共通接続点が入力端子83、ドレ
イン共通接続点が出力端子84となっている。また、第
1の温度検出回路をなす、ソースが接地され、ドレイン
が抵抗85を介して電源VDDに接続され、ゲートが電源
VDDに接続されたNチャネルMOSFET86および第
2の温度検出回路をなす、ソースが電源に接続され、ド
レインが抵抗88を介して接地され、ゲートが接地され
たPチャネルMOSFET87も同一基板上に形成され
ている。出力端子84には内部回路89が接続されてい
る。
【0041】NチャネルMOSFET86のドレインと
抵抗85の接続点89はPチャネルMOSFET81の
基板電位として与えられ、PチャネルMOSFET87
のドレインと抵抗88の接続点90はNチャネルMOS
FET72の基板電位として与えられる。この場合、基
板電位のいずれかはウェル電位となる。
【0042】この回路ではチップ温度が上昇した場合、
基板電位を上昇させるため、伝播遅延時間を早める結果
となり、温度上昇による遅延時間の増加を相殺すること
ができる。
【0043】本発明は以上の実施の形態に限られるもの
ではなく、温度変化に応じた温度変化信号を発生し、こ
の信号により伝播遅延時間を温度変化を相殺するように
信号伝達の遅延時間を変化させるものであればどのよう
な構成でも良い。
【0044】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、温度変
化を温度検出回路で電圧変化として取り出し、この電圧
変化により伝播遅延時間を温度変化を相殺するように制
御しているので、急激な温度変化に対しても追随するこ
とができ、ジッタの発生もない。
【0045】また、温度検出回路と制御回路は同一基板
上に形成された半導体装置をなすようにすれば、温度検
出回路と制御回路の温度変化はぼ同一であり、フィード
バックによる遅延を生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態にかかる温度補償回
路を示す回路図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態にかかる温度補償回
路を示す回路図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態にかかる温度補償回
路を示す回路図である。
【図4】本発明の第4の実施の形態にかかる温度補償回
路を示す回路図である。
【図5】従来の温度補償回路の構成を示すブロック図で
ある。
【図6】従来の温度補償回路の他の例の構成を示すブロ
ック図である。
【符号の説明】
21,23,27,41,47,61,67,72 8
1,87 PチャネルMOSFET 22,24,29,42,46,62,66,71,8
2,86 NチャネルMOSFET 28,30,45,47,65,68,85,88 抵
抗 33,51,74,91 内部回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H03K 19/0948

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】温度依存性を有する能動素子と、これと直
    列接続された温度依存性のない受動素子からなり、温度
    変化に対応する検出電圧出力を前記能動素子と前記受動
    素子の接続点より得る温度検出回路と、 この温度検出回路の検出出力により温度変化を相殺する
    ように信号伝達の遅延時間を変化させる制御回路とを備
    えた温度補償回路。
  2. 【請求項2】ソースを電源に接続し、ドレインを抵抗を
    介して接地し、ゲートを接地し、前記ドレインと前記抵
    抗の接続点を出力点とした第1のPチャネルMOSFE
    TよりなるP型温度検出回路と、 ソースを接地し、ドレインを抵抗を介して電源に接続
    し、ゲートを電源に接続し、前記ドレインと抵抗の接続
    点を出力点とした第1のNチャネルMOSFETよりな
    るN型温度検出回路と、 前記N型温度検出回路の出力点の電圧と前記P型温度検
    出回路の出力点の電圧とにより流れる電流を調節する電
    流制御手段とを備えた温度補償回路。
  3. 【請求項3】電流制御手段が、ゲートとドレインとを共
    通接続した第2のPチャネルMOSFETおよび第2の
    NチャネルMOSFETよりなり、ゲート共通接続点を
    入力端子、ドレイン共通接続点を出力端子とするCMO
    Sインバータと、前記第2のPチャネルMOSFETの
    ソースと電源の間に接続されゲートが前記P型温度検出
    回路の出力点に接続された第3のPチャネルMOSFE
    Tと、前記第2のNチャネルMOSFETのソースと接
    地端子間に接続されゲートが前記N型温度検出回路の出
    力点に接続された第3のNチャネルMOSFETとを備
    えたことを特徴とする請求項1に記載の温度補償回路。
  4. 【請求項4】電流制御手段が、並列接続された第2のP
    チャネルMOSFETと第2のNチャネルMOSFET
    からなり、入力回路と内部回路に中間にあって信号の伝
    達を制御するトランスファゲートであって、前記N型温
    度検出回路の出力点は第2のNチャネルMOSFETの
    ゲートに接続され、前記P型温度検出回路の出力点は前
    記第2のPチャネルMOSFETのゲートに接続された
    ことを特徴とする請求項1に記載の温度補償回路。
  5. 【請求項5】入力回路が、ゲートとドレインとを共通接
    続した第3のPチャネルMOSFETおよび第3のNチ
    ャネルMOSFETよりなり、ゲート共通接続点を入力
    端子、ドレイン共通接続点を出力端子とするCMOSイ
    ンバータであることを特徴とする請求項4に記載の温度
    補償回路。
  6. 【請求項6】電流制御手段が、ゲートとドレインとを共
    通接続した第2のPチャネルMOSFETおよび第2の
    NチャネルMOSFETよりなり、ゲート共通接続点を
    入力端子、ドレイン共通接続点を出力端子とするCMO
    Sインバータでなり、前記P型温度検出回路の出力が前
    記第2のPチャネルMOSFETの基板電位として与え
    られ、前記N型温度検出回路の出力点は前記第2のNチ
    ャネルMOSFETの基板電位として与えられることを
    特徴とする請求項1に記載の温度補償回路。
  7. 【請求項7】各構成要素が同一基板上に形成されたこと
    を特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の半導体装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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