JPH0926177A - 気体清浄化機能を有する消音装置 - Google Patents
気体清浄化機能を有する消音装置Info
- Publication number
- JPH0926177A JPH0926177A JP17711795A JP17711795A JPH0926177A JP H0926177 A JPH0926177 A JP H0926177A JP 17711795 A JP17711795 A JP 17711795A JP 17711795 A JP17711795 A JP 17711795A JP H0926177 A JPH0926177 A JP H0926177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sound absorbing
- gas
- absorbing material
- fiber
- sound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】クリーンルーム合理化および既存のクリーンル
ームの機能の向上。 【構成】吸音材にイオン交換繊維を用い気体の流路に装
着する。吸音効果に併せてイオン交換繊維の気体汚染物
質除去作用を利用し気体を清浄化する。吸音機能と気体
清浄化機能との多機能素材として用いるので、別個に設
置する必要のあった、気体清浄化装置と消音装置とをま
とめてコンパクトに形成でき、有利である。とくに電子
産業の半導体製造用クリーンルームの送風機に好適であ
る。クリーンルームを新設する場合は勿論、既設のクリ
ーンルームに取付けると、設置スペースをそのままにし
て、経済的に気体汚染物質の除去機能が追加され、より
高度な製品を製造できるようにグレードアップできる。
ームの機能の向上。 【構成】吸音材にイオン交換繊維を用い気体の流路に装
着する。吸音効果に併せてイオン交換繊維の気体汚染物
質除去作用を利用し気体を清浄化する。吸音機能と気体
清浄化機能との多機能素材として用いるので、別個に設
置する必要のあった、気体清浄化装置と消音装置とをま
とめてコンパクトに形成でき、有利である。とくに電子
産業の半導体製造用クリーンルームの送風機に好適であ
る。クリーンルームを新設する場合は勿論、既設のクリ
ーンルームに取付けると、設置スペースをそのままにし
て、経済的に気体汚染物質の除去機能が追加され、より
高度な製品を製造できるようにグレードアップできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、送風機や圧縮機などの
吸気側および／または吐出側に装着する、消音機能と気
体清浄化機能とを共に有する消音装置に関する。とく
に、高度の清浄雰囲気を必要とする半導体製造用などの
クリーンルームやクリーンベンチ（以下、クリーンルー
ムという）の循環系や気体の取入側の送風機に、気体清
浄化作用を兼ね備えた消音装置として有効に利用するこ
とができる。
吸気側および／または吐出側に装着する、消音機能と気
体清浄化機能とを共に有する消音装置に関する。とく
に、高度の清浄雰囲気を必要とする半導体製造用などの
クリーンルームやクリーンベンチ（以下、クリーンルー
ムという）の循環系や気体の取入側の送風機に、気体清
浄化作用を兼ね備えた消音装置として有効に利用するこ
とができる。
【０００２】
【従来の技術】前記のクリーンルームを例にあげて説明
すると、これらの高度清浄空間を形成し維持するには、
外部から清浄な気体を取入れ、あるいはクリーンルーム
内の気体を清浄にして循環する必要がある。そのためク
リーンルームには送風機が取付けられているが、半導体
製造装置用の大きなクリーンルームともなると所要の送
風機容量もそれ相応に大きく、騒音を防止するための消
音装置が不可欠である。一方、外部からの供給気体や循
環気体中にＮＯx 、ＳＯx や無機塩類などの除去しなけ
ればならない汚染物質が含まれている場合があって、そ
の除去には、例えば、ケミカルフィルタと称する特開平
６−１９８１２３号公報記載のイオン交換繊維からなる
フィルタが利用されている。
すると、これらの高度清浄空間を形成し維持するには、
外部から清浄な気体を取入れ、あるいはクリーンルーム
内の気体を清浄にして循環する必要がある。そのためク
リーンルームには送風機が取付けられているが、半導体
製造装置用の大きなクリーンルームともなると所要の送
風機容量もそれ相応に大きく、騒音を防止するための消
音装置が不可欠である。一方、外部からの供給気体や循
環気体中にＮＯx 、ＳＯx や無機塩類などの除去しなけ
ればならない汚染物質が含まれている場合があって、そ
の除去には、例えば、ケミカルフィルタと称する特開平
６−１９８１２３号公報記載のイオン交換繊維からなる
フィルタが利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ームでは、各種の付属設備、とくに清浄な気体をクリー
ンルームに送入するための空調設備が大きなスペースを
占めており、その合理化が求められている。一方、半導
体の高容量化と共に、半導体製造装置などでは従来レベ
ルよりさらに清浄度の高いクリーンルームが必要にな
る。高レベルのクリーンルームを新設するには多額の費
用と時間とを要し、既設のクリーンルームを改造するに
しても、高性能空調設備を始めとする付属機器を設置す
るスペースがなく容易ではない。本発明は、クリーンル
ーム空調設備の合理化を、さらには環境保全を考慮しつ
つ、既存のクリーンルームの性能向上を低コストで実施
することを目的に完成されたものである。
ームでは、各種の付属設備、とくに清浄な気体をクリー
ンルームに送入するための空調設備が大きなスペースを
占めており、その合理化が求められている。一方、半導
体の高容量化と共に、半導体製造装置などでは従来レベ
ルよりさらに清浄度の高いクリーンルームが必要にな
る。高レベルのクリーンルームを新設するには多額の費
用と時間とを要し、既設のクリーンルームを改造するに
しても、高性能空調設備を始めとする付属機器を設置す
るスペースがなく容易ではない。本発明は、クリーンル
ーム空調設備の合理化を、さらには環境保全を考慮しつ
つ、既存のクリーンルームの性能向上を低コストで実施
することを目的に完成されたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の問題を
解決するために、吸音材にイオン交換繊維を用いて気体
の流路に装着することを特徴とする、気体清浄化機能を
有する消音装置を提供する。本発明においては、吸音材
を１０００〜２５００ｇ／ｍ2 の目付量、５ｍｍ以上の
厚さであって、かつ、イオン交換繊維の混合率を少なく
とも７０重量％の不織布に形成して用いることが、消音
効果や気体清浄化効果を高めるのに好ましい。さらに好
ましくは、少なくとも７０重量％のイオン交換繊維に、
熱可塑性のバインダー繊維を混合して吸音材を構成し、
かつ、吸音材の気体接触面に加熱処理を施してバインダ
ー繊維の一部を溶融をせしめておく。
解決するために、吸音材にイオン交換繊維を用いて気体
の流路に装着することを特徴とする、気体清浄化機能を
有する消音装置を提供する。本発明においては、吸音材
を１０００〜２５００ｇ／ｍ2 の目付量、５ｍｍ以上の
厚さであって、かつ、イオン交換繊維の混合率を少なく
とも７０重量％の不織布に形成して用いることが、消音
効果や気体清浄化効果を高めるのに好ましい。さらに好
ましくは、少なくとも７０重量％のイオン交換繊維に、
熱可塑性のバインダー繊維を混合して吸音材を構成し、
かつ、吸音材の気体接触面に加熱処理を施してバインダ
ー繊維の一部を溶融をせしめておく。
【０００５】本発明の吸音装置の具体的態様としては、
吸音材を筒状体、例えば円筒状に成形して、容器内に気
体が通過できるよう規則的あるいはランダムに充填し、
この容器を装置気体の流路に装着する。さらに、容器の
内壁にも前記の吸音材を内張りしておくと効果的であ
る。すなわち、本発明者は、イオン交換繊維が高度の吸
音特性を有することを見出し、この特性を利用して、従
来、別個に取付けられていた消音装置と気体汚染物質の
浄化装置とをコンパクトにまとめ、本発明を完成したの
である。
吸音材を筒状体、例えば円筒状に成形して、容器内に気
体が通過できるよう規則的あるいはランダムに充填し、
この容器を装置気体の流路に装着する。さらに、容器の
内壁にも前記の吸音材を内張りしておくと効果的であ
る。すなわち、本発明者は、イオン交換繊維が高度の吸
音特性を有することを見出し、この特性を利用して、従
来、別個に取付けられていた消音装置と気体汚染物質の
浄化装置とをコンパクトにまとめ、本発明を完成したの
である。
【０００６】
【作用と実施態様例】本発明を、図面を参照し、さらに
具体的に実施態様例をあげながら説明する。図１はクリ
ーンルームにおける本発明に係る気体清浄化機能を有す
る消音装置の装着例を示すフローシート、図２は本発明
に係る消音装置の実施態様例の一部断面を含む斜視図で
ある。
具体的に実施態様例をあげながら説明する。図１はクリ
ーンルームにおける本発明に係る気体清浄化機能を有す
る消音装置の装着例を示すフローシート、図２は本発明
に係る消音装置の実施態様例の一部断面を含む斜視図で
ある。
【０００７】本発明の吸音材として用いるイオン交換繊
維としては、気体中に含まれる汚染物質の種類に応じ、
強酸性陽イオン交換繊維、弱酸性陽イオン交換繊維、Ｉ
型またはII型の強塩基性陰イオン交換繊維、中塩基性陰
イオン交換繊維、弱塩基性陰イオン交換繊維、またはこ
れらを混合したものを使用する。通常、陽イオン交換繊
維としては、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基
を交換基とするＨ型を、陰イオン交換繊維としては、第
１〜３級アミン基または第４級アンモニウム基を交換基
とするＯＨ型を、除去する目的物質に応じ単独または組
合わせて使用する。イオン交換繊維は、気体中にガスま
たはミストとして含まれるイオン物質を捕捉し、イオン
交換する作用を有する。
維としては、気体中に含まれる汚染物質の種類に応じ、
強酸性陽イオン交換繊維、弱酸性陽イオン交換繊維、Ｉ
型またはII型の強塩基性陰イオン交換繊維、中塩基性陰
イオン交換繊維、弱塩基性陰イオン交換繊維、またはこ
れらを混合したものを使用する。通常、陽イオン交換繊
維としては、−ＳＯ3 Ｈ基および／または−ＣＯＯＨ基
を交換基とするＨ型を、陰イオン交換繊維としては、第
１〜３級アミン基または第４級アンモニウム基を交換基
とするＯＨ型を、除去する目的物質に応じ単独または組
合わせて使用する。イオン交換繊維は、気体中にガスま
たはミストとして含まれるイオン物質を捕捉し、イオン
交換する作用を有する。
【０００８】イオン交換繊維は高い吸音特性を持つの
で、吸音材はイオン交換繊維を単独で用い構成すること
が望ましいが、入手容易なイオン交換繊維は加工性に乏
しい。現実的にはイオン交換繊維を不織布に容易に加工
できるよう、バインダー繊維をからみ繊維として均一に
混合し、交絡させておくることが好ましい。さらに、バ
インダー繊維としては、熱可塑性で低融点のポリエステ
ル繊維、ポリプロピレン繊維などが好適である。クリー
ンルームにあっては、消音材からの発じんにより、脱じ
んフィルターの負荷が増大することを避ける必要があ
る。バインダー繊維に前記の低融点の合成樹脂繊維を用
いる場合、例えば、吸音材を１３０〜１６０℃、０．５
〜５分間、加熱処理することにより、バインダー繊維表
面が溶融して固着し、発じんを阻止できるのである。イ
オン交換繊維の使用総量は、目的の不純物除去量や設置
場所の条件などに応じて決めればよい。
で、吸音材はイオン交換繊維を単独で用い構成すること
が望ましいが、入手容易なイオン交換繊維は加工性に乏
しい。現実的にはイオン交換繊維を不織布に容易に加工
できるよう、バインダー繊維をからみ繊維として均一に
混合し、交絡させておくることが好ましい。さらに、バ
インダー繊維としては、熱可塑性で低融点のポリエステ
ル繊維、ポリプロピレン繊維などが好適である。クリー
ンルームにあっては、消音材からの発じんにより、脱じ
んフィルターの負荷が増大することを避ける必要があ
る。バインダー繊維に前記の低融点の合成樹脂繊維を用
いる場合、例えば、吸音材を１３０〜１６０℃、０．５
〜５分間、加熱処理することにより、バインダー繊維表
面が溶融して固着し、発じんを阻止できるのである。イ
オン交換繊維の使用総量は、目的の不純物除去量や設置
場所の条件などに応じて決めればよい。
【０００９】吸音材を構成するイオン交換繊維やバイン
ダー繊維は、長さ２０〜７５ｍｍにカットして用いるこ
とが望ましい。２０ｍｍ以下にすると、一般的に発じん
量が増加する傾向にあり、７５ｍｍ以上では吸音材の加
工が困難になる。本発明に用いる吸音材の形状は、従来
の吸音材同様に、使用条件に応じてフェルト、不繊布あ
るいはこれらの積層体、充填体や成型体などにすること
ができる。なかでも、不繊布円筒が製造しやすく、取扱
が容易であるので、好ましく使用することができる。不
織布にする場合には、１０００〜２５００ｇ／ｍ2 の目
付量で５ｍｍ以上の厚さを有し、かつ、イオン交換繊維
の混合率が７０重量％以上のものが、消音性能および不
純物除去性能が高く、好適である。
ダー繊維は、長さ２０〜７５ｍｍにカットして用いるこ
とが望ましい。２０ｍｍ以下にすると、一般的に発じん
量が増加する傾向にあり、７５ｍｍ以上では吸音材の加
工が困難になる。本発明に用いる吸音材の形状は、従来
の吸音材同様に、使用条件に応じてフェルト、不繊布あ
るいはこれらの積層体、充填体や成型体などにすること
ができる。なかでも、不繊布円筒が製造しやすく、取扱
が容易であるので、好ましく使用することができる。不
織布にする場合には、１０００〜２５００ｇ／ｍ2 の目
付量で５ｍｍ以上の厚さを有し、かつ、イオン交換繊維
の混合率が７０重量％以上のものが、消音性能および不
純物除去性能が高く、好適である。
【００１０】このイオン交換繊維を主成分とする不織布
を用いた消音装置の好ましい例として、前記消音材の不
織布を内張りした容器内に、例えば、内径が４０〜１０
０ｍｍ、肉厚が１０〜１５ｍｍ、長さが１０００ｍｍ程
度の不織布円筒を、気体の流れ方向に平行に配列充填し
た消音装置があげられる。充填する不織布の成形した形
状にとくに制限はないが、イオン交換繊維の吸音効果と
気体汚染物の捕捉効果とを発揮させ、経済的に製作、充
填するには筒状体、とくに円筒が好ましい。一般的に、
気体の通過速度が５ｍ／ｓｅｃを超えない場合、厚さが
５ｍｍ以上、目付が１０００ｇ／ｍ2 以上の高密度不織
布円筒を用いれば機械的強度が高く、長期間使用しても
変形せず、１０ｄｂ以上の消音効果を持続する。一方、
目付が２５００ｇ／ｍ2 を超えると、気体の吸音材への
浸透が不十分になり、内部のイオン交換繊維のイオン交
換機能が発揮されなくなる。２５００ｇ／ｍ2 以下であ
ると厚さ１５ｍｍの不織布であっても内部までイオン交
換することができる。目付量が２５００ｍｇ／ｍ2 を超
えるとイオン交換に対する貫流容量（貫流点）が低下
し、イオンの除去効果が悪くなることは、実施例の結果
（図５）からも明らかである。
を用いた消音装置の好ましい例として、前記消音材の不
織布を内張りした容器内に、例えば、内径が４０〜１０
０ｍｍ、肉厚が１０〜１５ｍｍ、長さが１０００ｍｍ程
度の不織布円筒を、気体の流れ方向に平行に配列充填し
た消音装置があげられる。充填する不織布の成形した形
状にとくに制限はないが、イオン交換繊維の吸音効果と
気体汚染物の捕捉効果とを発揮させ、経済的に製作、充
填するには筒状体、とくに円筒が好ましい。一般的に、
気体の通過速度が５ｍ／ｓｅｃを超えない場合、厚さが
５ｍｍ以上、目付が１０００ｇ／ｍ2 以上の高密度不織
布円筒を用いれば機械的強度が高く、長期間使用しても
変形せず、１０ｄｂ以上の消音効果を持続する。一方、
目付が２５００ｇ／ｍ2 を超えると、気体の吸音材への
浸透が不十分になり、内部のイオン交換繊維のイオン交
換機能が発揮されなくなる。２５００ｇ／ｍ2 以下であ
ると厚さ１５ｍｍの不織布であっても内部までイオン交
換することができる。目付量が２５００ｍｇ／ｍ2 を超
えるとイオン交換に対する貫流容量（貫流点）が低下
し、イオンの除去効果が悪くなることは、実施例の結果
（図５）からも明らかである。
【００１１】本発明に係る気体清浄化機能を有する消音
装置は、例えばクリーンルーム１の清浄気体の送風機２
や圧縮機の騒音防止に用いられる。気体流路８に前記の
吸音材を挿入し、あるいは、前記吸音材の不織布１０を
内張りした容器（ケーシング）１１に、円筒状に成形加
工した不織布９を充填した消音装置６および７を、例え
ば、送風機２の吸入側あるいは出力側に装着して送風機
２から伝ぱんする広帯域周波数の騒音を減衰させる。そ
して、吸音材にイオン交換繊維を用いることにより、併
せてイオン交換繊維の気体汚染物質捕捉作用を利用し、
ＮＨ3 、ＮａＣｌ、イオン性のＮＯx 、やＳＯx などの
気体汚染物質を捕捉、清浄化する機能が付与されてい
る。
装置は、例えばクリーンルーム１の清浄気体の送風機２
や圧縮機の騒音防止に用いられる。気体流路８に前記の
吸音材を挿入し、あるいは、前記吸音材の不織布１０を
内張りした容器（ケーシング）１１に、円筒状に成形加
工した不織布９を充填した消音装置６および７を、例え
ば、送風機２の吸入側あるいは出力側に装着して送風機
２から伝ぱんする広帯域周波数の騒音を減衰させる。そ
して、吸音材にイオン交換繊維を用いることにより、併
せてイオン交換繊維の気体汚染物質捕捉作用を利用し、
ＮＨ3 、ＮａＣｌ、イオン性のＮＯx 、やＳＯx などの
気体汚染物質を捕捉、清浄化する機能が付与されてい
る。
【００１２】
【実施例】本発明を実施例をあげて具体的に説明する。 実施例 いずれも繊度が５〜１０デニールであって、総交換容量
２ｍｅｑ／ｇの強酸性陽イオン交換繊維（Ｈ型：ＩＥＦ
ＳＣ：（株）ニチビ（製）））、総交換容量３ｍｅｑ
／ｇの強塩基性陰イオン交換繊維（ＯＨ型：ＩＥＦ Ｓ
Ａ：（株）ニチビ（製））およびバインダー繊維として
用いるポリエステル繊維を、長さ２０〜７５ｍｍに切断
した。切断した陽イオン交換繊維と陰イオン交換繊維と
を同じ等量比になるように、かつ、陽・陰イオン交換繊
維の合計：ポリエステル繊維の重量比率が７０：３０に
なるように均一に混合した。得られた混合繊維から、乾
式円筒不織布製造装置を用いて目付量が１０００ｇ／ｍ
2 、２０００ｇ／ｍ2 、２５００ｇ／ｍ2 および２７０
０ｇ／ｍ2 、内径３８ｍｍ、肉厚各々５〜１５ｍｍ、長
さ１０００ｍｍの円筒形の不織布成形品を製造した。
２ｍｅｑ／ｇの強酸性陽イオン交換繊維（Ｈ型：ＩＥＦ
ＳＣ：（株）ニチビ（製）））、総交換容量３ｍｅｑ
／ｇの強塩基性陰イオン交換繊維（ＯＨ型：ＩＥＦ Ｓ
Ａ：（株）ニチビ（製））およびバインダー繊維として
用いるポリエステル繊維を、長さ２０〜７５ｍｍに切断
した。切断した陽イオン交換繊維と陰イオン交換繊維と
を同じ等量比になるように、かつ、陽・陰イオン交換繊
維の合計：ポリエステル繊維の重量比率が７０：３０に
なるように均一に混合した。得られた混合繊維から、乾
式円筒不織布製造装置を用いて目付量が１０００ｇ／ｍ
2 、２０００ｇ／ｍ2 、２５００ｇ／ｍ2 および２７０
０ｇ／ｍ2 、内径３８ｍｍ、肉厚各々５〜１５ｍｍ、長
さ１０００ｍｍの円筒形の不織布成形品を製造した。
【００１３】吸音材としての効果を調べる目的で、上記
の円筒形不織布成形品を切り開き、吸音特性をＪＩＳ
Ａ １４５０４に記載の方法に準拠して測定した。測定
結果を図３に示す。また、実際の使用形態における騒音
低下傾向を調べる目的で、約３００ｍｍ角、長さ１０５
０ｍｍのステンレス製容器を製作し、その中に前記の円
筒不織布を軸が気体の流れ方向に平行になるように規則
的に充填した。上記の消音装置を送風機の吐出側にダク
トを介して接続し、騒音測定を行った。測定結果を図４
に示す。
の円筒形不織布成形品を切り開き、吸音特性をＪＩＳ
Ａ １４５０４に記載の方法に準拠して測定した。測定
結果を図３に示す。また、実際の使用形態における騒音
低下傾向を調べる目的で、約３００ｍｍ角、長さ１０５
０ｍｍのステンレス製容器を製作し、その中に前記の円
筒不織布を軸が気体の流れ方向に平行になるように規則
的に充填した。上記の消音装置を送風機の吐出側にダク
トを介して接続し、騒音測定を行った。測定結果を図４
に示す。
【００１４】さらに、前記の目付量が１０００ｇ／ｍ2
の円筒不織布成形品を１４０℃で約１分間加熱処理し、
その発じん性を測定して無処理の成型品の発じん性と比
較した。本実施例においては、ＨＥＰＡフィルタに空気
を透過させて透過空気中の発じんがゼロである事を確認
した後、前記試験体をＨＥＰＡフィルタの下流側に積層
し、流速を変化させて空気を透過し、透過空気中の微粉
数を測定した。測定には微粉カウンター（レーザダスト
モニタ：（株）日立製作所製）を使用した。その結果を
表１に示す。
の円筒不織布成形品を１４０℃で約１分間加熱処理し、
その発じん性を測定して無処理の成型品の発じん性と比
較した。本実施例においては、ＨＥＰＡフィルタに空気
を透過させて透過空気中の発じんがゼロである事を確認
した後、前記試験体をＨＥＰＡフィルタの下流側に積層
し、流速を変化させて空気を透過し、透過空気中の微粉
数を測定した。測定には微粉カウンター（レーザダスト
モニタ：（株）日立製作所製）を使用した。その結果を
表１に示す。
【００１５】
【表１】 次に、上述の試作した不織布円筒を用いてイオン交換機
能を測定した。４０ｍｍφ×１，０００ｍｍ長さの試作
円筒１本を用いて、一方を定量希釈空気出口側に接続し
た。アンモニア含有空気は、ボンベからアンモニアを定
量的に取り出し、室内空気を用いて送風機により連続定
量希釈装置に送風し、１０ｐｐｍを目標に希釈空気を作
り、この空気を約２３０リットル／ｍｉｎ〜２５０リッ
トル／ｍｉｎを不織布円筒１本に接続し、入口および出
口側のアンモニア濃度をイオンクロマト法により分析し
た。
能を測定した。４０ｍｍφ×１，０００ｍｍ長さの試作
円筒１本を用いて、一方を定量希釈空気出口側に接続し
た。アンモニア含有空気は、ボンベからアンモニアを定
量的に取り出し、室内空気を用いて送風機により連続定
量希釈装置に送風し、１０ｐｐｍを目標に希釈空気を作
り、この空気を約２３０リットル／ｍｉｎ〜２５０リッ
トル／ｍｉｎを不織布円筒１本に接続し、入口および出
口側のアンモニア濃度をイオンクロマト法により分析し
た。
【００１６】その結果、アンモニア除去率を５０％に設
定した場合、総交換容量に対する貫流容量は不織布円筒
の目付量が１０００〜２０００ｇ／ｍ2 では６０〜６５
％、また、２５００ｇ／ｍ2 では５０％を示した。これ
に対し２７００ｇ／ｍ2 では密度の影響を受けて、貫流
容量は急速に低下し、また、貫流点を示さないことが分
かった。
定した場合、総交換容量に対する貫流容量は不織布円筒
の目付量が１０００〜２０００ｇ／ｍ2 では６０〜６５
％、また、２５００ｇ／ｍ2 では５０％を示した。これ
に対し２７００ｇ／ｍ2 では密度の影響を受けて、貫流
容量は急速に低下し、また、貫流点を示さないことが分
かった。
【００１７】
【発明の効果】本発明の気体清浄化機能を有する消音装
置を利用すれば、従来、独立して別個に設置する必要の
あった、気体清浄化装置と消音装置とをまとめて設置す
ることができる。とくに、本発明に使用する吸音材は、
吸音機能と気体清浄化機能とを共に有する多機能素材と
して用いられているので、装置をコンパクトに形成する
ことができて有利である。とくに電子産業の半導体製造
用クリーンルームの送風機に好適に取付けることができ
る。クリーンルームを新設する場合は勿論、例えば、既
設のクリーンルーム空調設備に本発明の消音装置を取付
けると、クリーンルームを新設することなく、設置スペ
ースをそのままにして、経済的に気体汚染物質の除去機
能を追加し、より高度な清浄空間に変えることができ
る。
置を利用すれば、従来、独立して別個に設置する必要の
あった、気体清浄化装置と消音装置とをまとめて設置す
ることができる。とくに、本発明に使用する吸音材は、
吸音機能と気体清浄化機能とを共に有する多機能素材と
して用いられているので、装置をコンパクトに形成する
ことができて有利である。とくに電子産業の半導体製造
用クリーンルームの送風機に好適に取付けることができ
る。クリーンルームを新設する場合は勿論、例えば、既
設のクリーンルーム空調設備に本発明の消音装置を取付
けると、クリーンルームを新設することなく、設置スペ
ースをそのままにして、経済的に気体汚染物質の除去機
能を追加し、より高度な清浄空間に変えることができ
る。
【図１】本発明の消音装置取付例を示すフローシート。
【図２】本発明の消音装置の実施態様例の断面を含む斜
視図。
視図。
【図３】本発明に係る吸音材の吸音特性測定例を示すグ
ラフ。
ラフ。
【図４】本発明の消音装置の消音効果測定例を示すグラ
フ。
フ。
【図５】本発明の消音装置の気体清浄化機能測定例を示
すグラフ。
すグラフ。
１：クリーンルーム ２：送風機 ３：ＨＥＰＡフィルタ ４：グレーチング ５：循環
ダクト ６：吐出側消音装置 ７：吸入側消音装置 ８：気
体流路 ９：吸音材（不織布）円筒成形品 １０：内張り吸音
材（不織布） １１：容器（ケーシング）
ダクト ６：吐出側消音装置 ７：吸入側消音装置 ８：気
体流路 ９：吸音材（不織布）円筒成形品 １０：内張り吸音
材（不織布） １１：容器（ケーシング）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野中 浩 熊本県熊本市八幡１丁目１番１号 九州日 本電気株式会社内 (72)発明者 徳永 慎吾 熊本県熊本市八幡１丁目１番１号 九州日 本電気株式会社内 (72)発明者 堤 宏一郎 熊本県熊本市八幡１丁目１番１号 九州日 本電気株式会社内 (72)発明者 藤原 護朗 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目３番23号 株式会社タクマ内 (72)発明者 益田 光信 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目３番23号 株式会社タクマ内 (72)発明者 服部 進司 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目３番23号 株式会社タクマ内 (72)発明者 入江 直樹 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目３番23号 株式会社タクマ内
Claims (5)
- 【請求項１】吸音材にイオン交換繊維を用いて気体の流
路に装着することを特徴とする、気体清浄化機能を有す
る消音装置。 - 【請求項２】吸音材が、１０００〜２５００ｇ／ｍ2 の
目付量、５ｍｍ以上の厚さ、かつ、イオン交換繊維の混
合率が少なくとも７０重量％の不織布に形成されて用い
られていることを特徴とする、請求項１記載の気体清浄
化機能を有する消音装置。 - 【請求項３】吸音材がイオン交換繊維と熱可塑性のバイ
ンダー繊維とを含み、かつ、吸音材の気体接触面に加熱
処理を施してバインダー繊維の一部を溶融をせしめたこ
とを特徴とする、請求項１または２記載の気体清浄化機
能を有する消音装置。 - 【請求項４】筒状体に形成した吸音材が容器に充填され
ていることを特徴とする、請求項１、２または３記載の
気体清浄化機能を有する消音装置。 - 【請求項５】容器の内壁に吸音材が内ばりされているこ
とを特徴とする、請求項４記載の気体清浄化機能を有す
る消音装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17711795A JPH0926177A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 気体清浄化機能を有する消音装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17711795A JPH0926177A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 気体清浄化機能を有する消音装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926177A true JPH0926177A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16025469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17711795A Pending JPH0926177A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 気体清浄化機能を有する消音装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0926177A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084099A1 (en) * | 2001-04-11 | 2002-10-24 | Donaldson Company, Inc. | Filter assemblies and systems for intake air for fuel cells |
| WO2003023884A3 (en) * | 2001-09-11 | 2004-02-19 | Donaldson Co Inc | Integrated systems for use with fuel cells, and methods |
| US6780534B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-08-24 | Donaldson Company, Inc. | Filter assembly for intake air of fuel cell |
| US6783881B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-08-31 | Donaldson Company, Inc. | Filter assembly for intake air of fuel cell |
| US7416580B2 (en) | 2001-04-11 | 2008-08-26 | Donaldsom Company, Inc. | Filter assemblies and systems for intake air for fuel cells |
| US7845463B2 (en) | 2007-01-31 | 2010-12-07 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. | Low-noise machine package |
-
1995
- 1995-07-13 JP JP17711795A patent/JPH0926177A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002084099A1 (en) * | 2001-04-11 | 2002-10-24 | Donaldson Company, Inc. | Filter assemblies and systems for intake air for fuel cells |
| US6780534B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-08-24 | Donaldson Company, Inc. | Filter assembly for intake air of fuel cell |
| US6783881B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-08-31 | Donaldson Company, Inc. | Filter assembly for intake air of fuel cell |
| US6797027B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-09-28 | Donaldson Company, Inc. | Filter assemblies and systems for intake air for fuel cells |
| US7138008B2 (en) | 2001-04-11 | 2006-11-21 | Donaldson Company, Inc. | Filter assemblies and systems for intake air for fuel cells |
| US7416580B2 (en) | 2001-04-11 | 2008-08-26 | Donaldsom Company, Inc. | Filter assemblies and systems for intake air for fuel cells |
| CN100414086C (zh) * | 2001-04-11 | 2008-08-27 | 唐纳森公司 | 发电的系统 |
| WO2003023884A3 (en) * | 2001-09-11 | 2004-02-19 | Donaldson Co Inc | Integrated systems for use with fuel cells, and methods |
| US6951697B2 (en) | 2001-09-11 | 2005-10-04 | Donaldson Company, Inc. | Integrated systems for use with fuel cells, and methods |
| US7845463B2 (en) | 2007-01-31 | 2010-12-07 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. | Low-noise machine package |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6641648B2 (en) | Passive filtration system | |
| US20040262241A1 (en) | High efficiency decontamination method and apparatus for the treatment of indoor air | |
| JPH08238307A (ja) | 除菌フィルターと無菌室の無菌化維持装置 | |
| JP6807834B2 (ja) | 空気清浄機のための濾過装置 | |
| US5968214A (en) | Air cleaning apparatus for vehicles | |
| JPH10103714A (ja) | 半導体清浄室用の空気調和システム | |
| JPH0626669A (ja) | ヒトの生活空間、ことに居住空間および職場空間のための空調設備 | |
| KR20010086195A (ko) | 화학적 필터 유닛 및 가스 세정 시스템 | |
| JPH0926177A (ja) | 気体清浄化機能を有する消音装置 | |
| KR20070004743A (ko) | 청정 처리 재료, 에어 필터, 공기 조화 장치, 열교환엘리멘트, 및 열교환 유닛 | |
| JP2013210162A (ja) | 空気清浄機 | |
| JPH0824534A (ja) | 再生可能な空気清浄用イオン交換フィルタユニット及びそれを用いる空気清浄方法 | |
| JPH0347506A (ja) | 空気フィルタ装置 | |
| FI92290C (fi) | Tupakkahuone | |
| Gundel et al. | A pilot study of energy efficient air cleaning for ozone | |
| JP2000152983A (ja) | 空気清浄装置 | |
| JPH07241491A (ja) | 空気浄化用フィルタ | |
| JP3552141B2 (ja) | ケミカルフィルタおよびそれを用いた空気濾過方法 | |
| JPH10192623A (ja) | ボロン除去用フィルタ及び汚染気体浄化方法 | |
| JP3434587B2 (ja) | エアフィルタ用ろ材 | |
| US5856250A (en) | Ionic substance removing material for use in super-clean room | |
| JP4888651B2 (ja) | 浄化気体供給装置 | |
| JP2009226243A (ja) | 除塵装置 | |
| JPH10238799A (ja) | 空気調和機 | |
| KR20240026693A (ko) | 하이브리드 필터를 구비하는 환기장치 |