JPH09260477A - Mask plate - Google Patents
Mask plateInfo
- Publication number
- JPH09260477A JPH09260477A JP6311396A JP6311396A JPH09260477A JP H09260477 A JPH09260477 A JP H09260477A JP 6311396 A JP6311396 A JP 6311396A JP 6311396 A JP6311396 A JP 6311396A JP H09260477 A JPH09260477 A JP H09260477A
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- JP
- Japan
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- mask
- base plate
- positioning
- plate
- mask plate
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はマスクを収納し、
搬送するマスクプレートに関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention stores a mask,
The present invention relates to a mask plate to be transported.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のマスクプレートを、図８及び図９
を用いて説明する。図８は従来のマスクプレートを示す
平面図で、１はベースプレート、２はマスク載置部、３
はベースプレート１とマスク載置部２を締結するボル
ト、４はベースプレート１の切り欠き部である。2. Description of the Related Art A conventional mask plate is shown in FIGS.
This will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a plan view showing a conventional mask plate, 1 is a base plate, 2 is a mask mounting portion, 3
Are bolts for fastening the base plate 1 and the mask mounting portion 2, and 4 is a cutout portion of the base plate 1.
【０００３】従来のマスクプレートは上記のように構成
され、図９に示すように、マスク載置部２上に載置され
たマスク５はマスク位置決爪６により位置決めされる。The conventional mask plate is constructed as described above, and the mask 5 placed on the mask placing portion 2 is positioned by the mask positioning claws 6 as shown in FIG.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のマスクプレート
は以上のように構成されていたので、マスク位置決爪が
４本必要であった、マスクプレートを搬送する時に把持
又は吸着等の保持機構が必要となる、マスクのサイズが
変更になった時に作り直す必要がある、さらにマスクの
有無の検出ができない、等の問題があった。Since the conventional mask plate is constructed as described above, four mask positioning claws are required, and a holding mechanism such as a gripping or suctioning when the mask plate is conveyed. There is a problem that it is necessary, needs to be recreated when the size of the mask is changed, and the presence or absence of the mask cannot be detected.
【０００５】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、マスク位置決爪を減らし、搬送
時の保持機構を無くし、またマスクサイズ変更時にマス
クプレートも対応して個別に作り分けるといった手間を
不要とし、マスクの検出を可能にしたマスクプレートを
得ることを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and reduces the mask positioning claws, eliminates the holding mechanism at the time of conveyance, and also individually corresponds to the mask plate when changing the mask size. The purpose of the present invention is to obtain a mask plate that enables detection of a mask without the trouble of separately making.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明に係るマスクプ
レートは、ベースプレートの対角部に切り欠き部を設け
たものである。A mask plate according to the present invention has a notch formed in a diagonal portion of a base plate.
【０００７】また、マスクカセット内で位置決めするた
めの切り欠き部を設けたものである。Further, a notch portion for positioning in the mask cassette is provided.
【０００８】また、マスクプレートを搬送工程で位置決
めするための位置決め穴を設けたものである。Further, a positioning hole for positioning the mask plate in the carrying process is provided.
【０００９】また、マスク載置部をベースプレート上で
移動可能に固定したものである。Further, the mask mounting portion is movably fixed on the base plate.
【００１０】また、マスク載置部をベースプレート上で
固定するための固定手段として、マスク載置部にピン及
びボルトを設けるとともに、ベースプレートにピン穴及
びネジ穴を設けたものである。Further, as the fixing means for fixing the mask mounting portion on the base plate, the mask mounting portion is provided with pins and bolts, and the base plate is provided with pin holes and screw holes.
【００１１】さらに、ベースプレートに、マスクの有無
を検出するためのセンサ対応部を設けたものである。Further, the base plate is provided with a sensor corresponding portion for detecting the presence or absence of the mask.
【００１２】[0012]
発明の実施の形態１．以下、この発明の一実施形態を図
について説明する。図１，２は、この実施形態のマスク
プレートを示したものである。図１，２において１はベ
ースプレート、２はボルト３によってベースプレート１
に取付けられるマスク載置部、４はベースプレート１の
切り欠き、７，８はベースプレート１に設けられた位置
決め用穴、９は位置決め用切り欠き、１０は位置決めピ
ン、１１はネジ穴、１２は位置決めピン用穴、１３はセ
ンサ対応部としての検出穴である。First Embodiment of the Invention Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show the mask plate of this embodiment. In FIGS. 1 and 2, 1 is a base plate and 2 is a base plate 1 by means of bolts 3.
To the mask mounting portion, 4 is a cutout of the base plate 1, 7 and 8 are positioning holes provided in the base plate 1, 9 is a positioning cutout, 10 is a positioning pin, 11 is a screw hole, and 12 is positioning. Pin holes, 13 are detection holes as sensor corresponding parts.
【００１３】次に、マスク搬送システムについて説明す
る。図３，４に示す様に、マスクの入ったマスクプレー
ト１４は、マスクカセット１６内に載置され、マスクカ
セット昇降機構１５によって上下動する。又、マスクプ
レート１４は、マスクプレート搬送機構１７により、マ
スクプレート搬送台１８に乗せられ、マスクプレート位
置決台１９に運ばれる。この状態で、マスク位置決爪６
が動作してマスクプレート１４上のマスクが位置決めさ
れる。このマスクを図示しないロボットが処理装置へと
搬送する。Next, the mask transfer system will be described. As shown in FIGS. 3 and 4, the mask plate 14 containing the mask is placed in the mask cassette 16 and moved up and down by the mask cassette lifting mechanism 15. Further, the mask plate 14 is carried by the mask plate carrying mechanism 17 onto the mask plate carrying table 18 and carried to the mask plate positioning table 19. In this state, the mask positioning claw 6
Operates to position the mask on the mask plate 14. A robot (not shown) conveys this mask to the processing apparatus.
【００１４】次にマスクプレート１４の作用について図
５〜７を用いて説明する。図５に示すように、マスクプ
レート１４はマスクカセット１６の位置決め部２０とマ
スクプレート１４の切り欠き９とによって、マスクカセ
ット１６の中で長手方向、幅方向とも位置決めされる。
マスクプレート１４は図６に示す様に、マスクカセット
１６の中からマスクプレート搬送台１８の位置決めピン
２１とベースプレート１の位置決め用穴７が嵌合して位
置決めされた状態で取り出される。この時、マスクプレ
ート搬送台１８内に設置したセンサ２２でベースプレー
ト１に設けた検出穴１３よりマスクの有無を検出する。
次にマスクプレート１４はマスクプレート搬送機構１７
によって図７に示すようにマスクプレート位置決台１９
上で位置決めピン２３とベースプレート１に設けた位置
決め用穴８が嵌合して、位置決めされる。この状態でマ
スク位置決爪６が動作してマスク５の角部を押し当て位
置決めをする。Next, the operation of the mask plate 14 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 5, the mask plate 14 is positioned in the mask cassette 16 in the longitudinal direction and the width direction by the positioning portion 20 of the mask cassette 16 and the notch 9 of the mask plate 14.
As shown in FIG. 6, the mask plate 14 is taken out of the mask cassette 16 with the positioning pins 21 of the mask plate carrier 18 and the positioning holes 7 of the base plate 1 fitted and positioned. At this time, the presence or absence of the mask is detected by the detection hole 13 provided in the base plate 1 by the sensor 22 installed in the mask plate carrier 18.
Next, the mask plate 14 is transferred to the mask plate transport mechanism 17
As shown in FIG. 7, the mask plate positioning table 19
The positioning pin 23 and the positioning hole 8 provided in the base plate 1 are fitted to each other for positioning. In this state, the mask positioning claw 6 operates to press the corner portion of the mask 5 for positioning.
【００１５】又、マスクプレート１４は載置するマスク
のサイズが変更した場合、図１に示す様に、ベースプレ
ート１にマスク載置部２を位置決めするピン１０を位置
決めピン用穴１２へ、ベースプレート１とマスク載置部
２を締結するボルト３をネジ穴１１へ移動させることに
より、マスク載置部２を、内側の固定位置へ移動し、再
度固定する。なお、図１に示したマスクプレートでは、
マスク載置部２を固定する位置は縦・横方向とも２箇所
（ピン１０に対応するピン用穴１２、及びボルト３に対
応するネジ穴１１が、それぞれ内外方向で２列）である
ものについて示されているが、縦・横方向にそれぞれ３
箇所（３列）以上設けられたものについても、同様の効
果を奏するものであり、より多種のマスクに対応可能と
なるものである。また、この実施の形態では、センサ対
応部として検出穴１３を設けたが、穴の代わりに、透光
性のガラス等、センサの種類に応じて、種々のものを用
いることが可能である。When the size of the mask to be mounted on the mask plate 14 is changed, the pins 10 for positioning the mask mounting portion 2 on the base plate 1 are inserted into the positioning pin holes 12 and the base plate 1 as shown in FIG. By moving the bolt 3 for fastening the mask mounting portion 2 to the screw hole 11, the mask mounting portion 2 is moved to the inner fixing position and fixed again. In the mask plate shown in FIG. 1,
Regarding the position where the mask mounting portion 2 is fixed at two positions in both the vertical and horizontal directions (the pin hole 12 corresponding to the pin 10 and the screw hole 11 corresponding to the bolt 3 are two rows in the inner and outer directions, respectively) As shown, 3 in each of the vertical and horizontal directions
The same effect can be obtained even in the case of providing more than three places (three rows), and it is possible to cope with more various masks. Further, in this embodiment, the detection hole 13 is provided as the sensor corresponding portion, but instead of the hole, various kinds such as translucent glass can be used depending on the type of the sensor.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上の説明により明らかなように、本発
明のマスクプレートは、以下の効果を有するものであ
る。As is apparent from the above description, the mask plate of the present invention has the following effects.
【００１７】ベースプレートの対角部に切り欠き部を設
けたので、マスク位置決爪の数を減らすことができ、マ
スクプレート保持機構が不要となり、精度が高いシステ
ムが得られる。Since the notch is provided in the diagonal portion of the base plate, the number of mask positioning claws can be reduced, the mask plate holding mechanism is not required, and a highly accurate system can be obtained.
【００１８】また、マスク載置部をベースプレート上で
移動可能に固定したことにより、異なるサイズの種々の
マスクに対応できる。Further, by fixing the mask mounting portion so as to be movable on the base plate, various masks of different sizes can be dealt with.
【図１】 この発明の一実施形態によるマスクプレート
を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a mask plate according to an embodiment of the present invention.
【図２】 この発明の一実施形態によるマスクプレート
を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a mask plate according to an embodiment of the present invention.
【図３】 この発明の一実施形態によるマスク搬送シス
テムを示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a mask transfer system according to an embodiment of the present invention.
【図４】 この発明の一実施形態によるマスク搬送シス
テムを示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a mask carrying system according to an embodiment of the present invention.
【図５】 この発明の一実施形態によるマスクカセット
断面図である。FIG. 5 is a sectional view of a mask cassette according to an embodiment of the present invention.
【図６】 この発明の一実施形態によるマスクプレート
搬送爪側面図である。FIG. 6 is a side view of a mask plate carrying claw according to an embodiment of the present invention.
【図７】 この発明の一実施形態によるマスクプレート
位置決台及びマスク位置決爪の平面図である。FIG. 7 is a plan view of a mask plate positioning table and a mask positioning claw according to an embodiment of the present invention.
【図８】 従来のマスクプレートを示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a conventional mask plate.
【図９】 従来のマスク位置決爪を示す平面図である。FIG. 9 is a plan view showing a conventional mask positioning claw.
１ ベースプレート、２ マスク載置部、３ ボルト、
４ 切り欠き、７ 位置決め用穴、８ 位置決め用穴、
９ 位置決め用切り欠き、１０ 位置決めピン、１１
ネジ穴、１２ 位置決めピン用穴、１３ 検出穴、１４
マスクプレート。1 base plate, 2 mask mounting part, 3 bolts,
4 notches, 7 positioning holes, 8 positioning holes,
9 positioning notches, 10 positioning pins, 11
Screw hole, 12 Positioning pin hole, 13 Detection hole, 14
Mask plate.
Claims (6)
設けたことを特徴とするマスクプレート。1. A mask plate, characterized in that a cutout portion is provided in a diagonal portion of the base plate.
切り欠き部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の
マスクプレート。2. The mask plate according to claim 1, further comprising a cutout portion for positioning in the mask cassette.
るための位置決め穴を設けたことを特徴とする請求項１
または２のいずれかに記載のマスクプレート。3. A positioning hole for positioning the mask plate in the carrying step is provided.
Or the mask plate according to any one of 2).
可能に固定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれ
かに記載のマスクプレート。4. The mask plate according to claim 1, wherein the mask mounting portion is movably fixed on the base plate.
するための固定手段として、マスク載置部にピン及びボ
ルトを設けるとともに、ベースプレートにピン穴及びネ
ジ穴を設けたことを特徴とする請求項４に記載のマスク
プレート。5. A fixing means for fixing the mask mounting portion on the base plate, wherein the mask mounting portion is provided with pins and bolts, and the base plate is provided with pin holes and screw holes. 4. The mask plate according to 4.
するためのセンサ対応部を設けたことを特徴とする請求
項１〜５のいずれかに記載のマスクプレート。6. The mask plate according to claim 1, wherein the base plate is provided with a sensor corresponding portion for detecting the presence or absence of a mask.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6311396A JPH09260477A (en) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Mask plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6311396A JPH09260477A (en) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Mask plate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09260477A true JPH09260477A (en) | 1997-10-03 |
Family
ID=13219919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6311396A Pending JPH09260477A (en) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | Mask plate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09260477A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100774984B1 (en) * | 2006-06-20 | 2007-11-12 | 주식회사 티케이씨 | A variable pcb mask structure for plating equipment |
-
1996
- 1996-03-19 JP JP6311396A patent/JPH09260477A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100774984B1 (en) * | 2006-06-20 | 2007-11-12 | 주식회사 티케이씨 | A variable pcb mask structure for plating equipment |
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