JPH09243723A - Sensor mounting correcting device for magnetic measuring device - Google Patents

Sensor mounting correcting device for magnetic measuring device

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Publication number
JPH09243723A
JPH09243723A JP8055759A JP5575996A JPH09243723A JP H09243723 A JPH09243723 A JP H09243723A JP 8055759 A JP8055759 A JP 8055759A JP 5575996 A JP5575996 A JP 5575996A JP H09243723 A JPH09243723 A JP H09243723A
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JP
Japan
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hall element
magnetic field
moving
magnetic
detecting
Prior art date
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Application number
JP8055759A
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Japanese (ja)
Inventor
Kunio Ishiyama
国雄 石山
Yasuyuki Tomita
康之 冨田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH09243723A publication Critical patent/JPH09243723A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely detect the center of a Hall element mounted on a probe by minutely moving the Hall element within magnetic fields differed in distribution to regularly measure the output according to the distribution of magnetic fields, and judging the arrangement position at the present time of the Hall element from the degree of change of the output. SOLUTION: Within a space surrounded by electromagnetic coils 3A, 3B, 3C, 3D, a distribution of electric fields is formed in lateral direction in x-y plane to each electromagnetic coil 3A-3D. A probe 4 is positioned vertically (z-axially) to the x-y plane. The probe 4 is moved in x-direction so as to cross the front surface of S-pole of the coil 3A, then turned to y-direction, and moved so as to cross the front surface of N-pole of the coil 3B. The output from the Hall element of the probe 4 is regularly detected to track the change of the output. The arrangement position of the Hall element at the present time to the probe 4 forming the support body can be judged from the degree of change of the output.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気測定装置のセ
ンサ取付け校正用装置に係り、たとえば3次元空間の磁
力の各方向およびその方向に対する量を検知する磁気測
定装置のセンサ取付け校正用装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensor mounting and calibrating device for a magnetic measuring device, and more particularly to a sensor mounting and calibrating device for a magnetic measuring device for detecting a magnetic force in a three-dimensional space in each direction and in each direction. .

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気測定装置は、一空間内に磁力がどれ
だけの量、そしてどの方向に発生しているかを検出する
装置である。
2. Description of the Related Art A magnetic measuring device is a device for detecting how much and in what direction a magnetic force is generated in one space.

【0003】そして、これらを3次元的に検出する場合
には、x、y、およびz方向における各磁力の量をそれ
ぞれ別個に設けた磁気センサによって検出し、それらの
各検出量をベクトル的に合成して求めるようになってい
る。
When detecting these three-dimensionally, the amounts of the magnetic forces in the x, y, and z directions are detected by magnetic sensors provided separately, and the detected amounts are vectorized. It is designed to be synthesized.

【0004】このような磁気測定装置は、たとえば陰極
線管に備えられる偏向ヨークにおける磁界分布の測定等
に用いられるようになっている。
Such a magnetic measuring device is used, for example, for measuring a magnetic field distribution in a deflection yoke provided in a cathode ray tube.

【0005】この場合、磁気センサとしてはホール素子
が使用されているのが一般的であり、このホール素子
は、極小のペレットからなるもので、その主表面に対し
て垂直方向にのみ発生している磁力の量に対応する電圧
値を出力できるように構成されている。
In this case, a Hall element is generally used as the magnetic sensor, and this Hall element is composed of extremely small pellets and is generated only in the direction perpendicular to the main surface thereof. It is configured to be able to output a voltage value corresponding to the amount of magnetic force present.

【0006】そして、ホール素子は、上述のように極小
のペレットからなることから、たとえば棒状の支持体の
先端等に支持され、それ自体、ホール素子を組み込んだ
プローブとして構成されるようになっている。
Since the Hall element is made of extremely small pellets as described above, it is supported by, for example, the tip of a rod-shaped support, and is itself configured as a probe incorporating the Hall element. There is.

【0007】ここで、プローブにおけるホール素子は間
接的には該プローブが配置される個所における磁力の量
をそれぞれ計測することから、該ホール素子はプローブ
に対して所定の個所に正確に配置して取り付けることが
要請されることになる。
Here, since the Hall element in the probe indirectly measures the amount of magnetic force at the position where the probe is arranged, the Hall element is accurately arranged at a predetermined position with respect to the probe. Installation will be required.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これま
での磁気測定装置は、その磁気センサであるホール素子
が極小のペレットであることから、所定の位置に正確に
配置することは極めて困難となり、その多くは所定の位
置から若干ずれた位置に配置されたままとなり、その解
決策が見出されないままとなっていた。
However, in the conventional magnetic measuring devices, since the Hall element, which is the magnetic sensor, is a very small pellet, it is extremely difficult to accurately place it in a predetermined position. Many were left at positions that were slightly offset from their intended positions, and no solution was found.

【0009】そこで、本発明者等は、プローブに取り付
けられたホール素子の中心(感度の最も優れた点)を正
確に検知できるならば、その検知結果から該ホール素子
の配置に校正を加えることによって、該ホール素子を所
定の位置に正確に配置できることを見出し、本発明をす
るに至った。
Therefore, if the center of the Hall element attached to the probe (the point of the highest sensitivity) can be accurately detected, the present inventors should calibrate the arrangement of the Hall element from the detection result. As a result, they have found that the Hall element can be accurately arranged at a predetermined position, and have completed the present invention.

【0010】したがって、本発明の目的は、簡単な構成
にも拘らず、プローブに取り付けられたホール素子の中
心を正確に検知できる磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置を提供することにある。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a sensor mounting calibration device for a magnetic measuring device which can accurately detect the center of a Hall element mounted on a probe despite its simple structure.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、たとえば、x方向の磁場の強度を
測定するホール素子を備える磁気測定装置の該ホール素
子の中心を検出する場合には、磁気シールドされた空間
内に、少なくとも、そのx方向の中心を定める手段とし
て、少なくともxy平面に磁界を左右方向に分布をもた
せて発生させる磁界発生部と、該磁界の分布を横切るよ
うにして該ホール素子をx方向に微動移動させる移動手
段と、この移動手段による該ホール素子の移動過程にお
ける出力が0となる時点を検出する検出手段を有し、y
方向の中心を定める手段として、少なくともxy平面に
磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生部
と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子をy
方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段による
該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる時
点を検出する検出手段を有し、z方向の中心を定める手
段として、少なくともxz平面に磁界を左右方向に分布
をもたせて発生させる磁界発生部と、該磁界の分布を横
切るようにして該ホール素子をz方向に微度移動させる
移動手段と、この移動手段による該ホール素子の移動過
程における出力が最大値となる時点を検出する検出手段
を有することを特徴とするものである。
In order to achieve such an object, the present invention detects, for example, the center of a Hall element of a magnetic measuring apparatus including a Hall element for measuring the strength of a magnetic field in the x direction. In this case, as a means for determining at least the center in the x direction in the magnetically shielded space, at least a magnetic field generating section for generating a magnetic field in the left-right direction on the xy plane and the distribution of the magnetic field are crossed. Thus, it has a moving means for finely moving the hall element in the x direction, and a detecting means for detecting a time point when the output in the moving process of the hall element by the moving means becomes 0, y
As means for determining the center of the direction, a magnetic field generating portion for generating a magnetic field in the left-right direction in at least the xy plane is generated, and the Hall element is arranged so as to cross the distribution of the magnetic field.
The moving means for finely moving in the direction, and the detecting means for detecting the time point when the output of the moving means has the maximum value in the moving process of the hall element. In the left and right direction, a magnetic field generating portion, a moving means for slightly moving the Hall element in the z direction across the distribution of the magnetic field, and a moving process of the Hall element by the moving means. It is characterized in that it has a detecting means for detecting a time point when the output reaches a maximum value.

【0012】このように構成された磁気測定装置のセン
サ取付け校正用装置は、磁界発生部によって分布の異な
る磁界内に、ホール素子を該磁界を横切るようにして微
動移動させ、該磁界の分布に応じた出力を常時測定し、
その出力の変化度合いから該ホール素子の現時点の配置
位置(その支持体となるプロープに対して)を判定する
ことを基本的思想としている。
The sensor mounting calibration device of the magnetic measuring device configured as described above moves the Hall element finely across the magnetic field into a magnetic field having a different distribution by the magnetic field generating unit, and adjusts the distribution of the magnetic field. Always measure the output according to
The basic idea is to determine the current position of the Hall element (with respect to the probe serving as the support) from the degree of change in the output.

【0013】ホール素子の位置は、たとえば、基準位置
からの距離に対応されるものであり、この距離は情報と
して記憶され、その後において該ホール素子のプローブ
に対する位置の構成を行う際に利用されるようになる。
The position of the Hall element corresponds to, for example, the distance from the reference position, and this distance is stored as information and is used later when the position of the Hall element with respect to the probe is constructed. Like

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】実施例1. 図1は、本発明による磁気測定装置のセンサ
取付け校正用装置の一実施例を示す概略構成図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiment 1. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a sensor mounting calibration device of a magnetic measurement device according to the present invention.

【0015】同図(a)において、まず、図中z方向に
中心軸を有する円筒状のシールド1がある。この円筒状
のシールド1は、その内部を地磁気の影響から遮断する
ための地磁気シールドとして機能する。
In FIG. 1A, first, there is a cylindrical shield 1 having a central axis in the z direction in the figure. The cylindrical shield 1 functions as a geomagnetic shield for shielding the inside from the influence of geomagnetism.

【0016】そして、このシールド1は、その両端のう
ちの一端は完全に閉塞され、他端はその中心軸を中心と
した小円からなる開口1Aが形成された部分を除くほか
は閉塞されている。この開口1Aが設けられている理由
は後に詳述する。
The shield 1 is completely closed at one of its both ends and is closed at the other end except for a portion having an opening 1A formed of a small circle centered on its central axis. There is. The reason why the opening 1A is provided will be described in detail later.

【0017】シールド1内にはそのz軸方向のほぼ中央
部あたりに円形コア2が備えられ、この円形コア2は、
その外周辺がシールド1の内壁に当接するようにして配
置されている。
A circular core 2 is provided in the shield 1 around its center in the z-axis direction.
The outer periphery is arranged so as to contact the inner wall of the shield 1.

【0018】さらに、この円形コア2には電磁コイル3
A、3B、3C、3Dが4個取り付けられ、これら電磁
コイル3A、3B、3C、3Dは、同図(b)の平面図
に示すように、そのうちの2個の電磁コイル3B、3D
がx軸上においてそれぞれ一端が円形コア2に支持さ
れ、他端が互いに対向して配置されている。この場合、
図において、互いに対向する電磁コイル3B、3Dの他
端はN極となっている。
Further, the circular core 2 has an electromagnetic coil 3
Four A, 3B, 3C, and 3D are attached, and these electromagnetic coils 3A, 3B, 3C, and 3D are two of those electromagnetic coils 3B, 3D as shown in the plan view of FIG.
On the x-axis, one end is supported by the circular core 2 and the other ends are arranged to face each other. in this case,
In the figure, the other ends of the electromagnetic coils 3B and 3D facing each other are N poles.

【0019】そして、他の残りの2個の電磁コイル3
A、3Cはy軸上においてそれぞれ一端が円形コア2に
支持され、他端が互いに対向して配置されている。この
場合、図において、互いに対向する電磁石コイルの他端
はS極となっている。
Then, the other two remaining electromagnetic coils 3
One end of each of A and 3C is supported by the circular core 2 on the y axis, and the other ends are arranged to face each other. In this case, in the figure, the other ends of the electromagnet coils facing each other are S poles.

【0020】これにより、各電磁コイル3A、3B、3
C、3Dによって囲まれる空間内には、各電磁コイルに
対して、xy平面における左右方向に電界の分布を形成
するとともに、xz平面における上下方向に電界の分布
を形成するようになる。
As a result, the electromagnetic coils 3A, 3B, 3
In the space surrounded by C and 3D, an electric field distribution is formed in the left-right direction in the xy plane and an electric field distribution is formed in the up-down direction in the xz plane for each electromagnetic coil.

【0021】そして、このように各電磁コイル3A、3
B、3C、3Dによって囲まれるxy平面上の空間に
は、該平面に対して垂直(z軸)にプローブ4が位置づ
けられるようにして配置されるようになっている。この
プローブ4は、その先端におけるホール素子の取付け個
所が前記各電磁コイル3A、3B、3C、3Dを含む平
面内に位置づけられ、他端はシールド1の前記開口1A
を通して延在されて配置されるようになっている。
Then, in this way, each electromagnetic coil 3A, 3
In the space on the xy plane surrounded by B, 3C, and 3D, the probe 4 is arranged so as to be positioned perpendicular (z axis) to the plane. The probe 4 has a hall element mounting portion at the tip thereof located in a plane including the electromagnetic coils 3A, 3B, 3C, 3D, and the other end thereof having the opening 1A of the shield 1.
It is arranged to be extended through.

【0022】この場合、プローブ4には、そのシールド
1の開口Aにおいて、スライドシールド5が取り付けら
れ、このスライドシールド5によって前記開口1Aが完
全に閉塞されるようになっている。
In this case, the slide shield 5 is attached to the probe 4 at the opening A of the shield 1, and the slide shield 5 completely closes the opening 1A.

【0023】プローブ4は、その他端において図示しな
い機構部(たとえばxyzテーブル)に支持され、該機
構部によって、シールド1内にて、そのx方向、y方
向、およびz方向に任意に移動できるようになってい
る。
The probe 4 is supported at its other end by a mechanism (not shown) (for example, an xyz table) so that the probe 4 can freely move within the shield 1 in the x, y, and z directions. It has become.

【0024】すなわち、このプローブ4の移動は、同図
(b)の点線に示すように、電磁コイル3AのS極の前
面を横切るようにしてx方向に移動し、次に、y方向に
方向転換して電磁コイル3BのN極の前面を横切るよう
に移動するようになっている。そして、その後、前記電
磁コイル3BのN極に対向するようにそれまでの移動に
対して戻り、z方向に移動することによって該電磁コイ
ル3BのN極の前面を横切るようになっている。
That is, the probe 4 is moved in the x direction across the front surface of the S pole of the electromagnetic coil 3A, and then in the y direction, as shown by the dotted line in FIG. It is adapted to move so as to cross the front surface of the N pole of the electromagnetic coil 3B. Then, after that, the electromagnetic coil 3B returns to the N pole of the electromagnetic coil 3B so as to face the N pole, and moves in the z direction to cross the N pole front surface of the electromagnetic coil 3B.

【0025】このことから、シールド1に設けられた前
記開口1Aは、プローブ4の前記移動を妨げない程度の
径を有し、かつプローブ4に取り付けられたスライドシ
ールド5は常に該開口1Aを塞ぐ程度に大きいものとな
っている。
From this, the opening 1A provided in the shield 1 has a diameter that does not hinder the movement of the probe 4, and the slide shield 5 attached to the probe 4 always closes the opening 1A. It is a big one.

【0026】この場合において、プローブ1のホール素
子からの出力は常時検出され、その出力変化を追跡する
ようになっている。
In this case, the output from the Hall element of the probe 1 is constantly detected and the change in the output is tracked.

【0027】次に、このように構成された磁気測定装置
のセンサ取付け校正用装置の使用方法の一実施例につい
て以下説明する。
Next, one embodiment of the method of using the sensor mounting calibration device of the magnetic measuring device thus constructed will be described below.

【0028】まず、この装置は、x、y、z方向のそれ
ぞれの磁力を検出する各プローブに対して、そのいずれ
においてもそのホール素子の中心を検出できるようにな
っている。
First, this device can detect the center of the Hall element of each probe for detecting the magnetic force in each of the x, y, and z directions.

【0029】ここで、図2(a)は、x方向の磁力を検
出するプローブ4を示し、その極小のペレット状のホー
ル素子6xは、その主表面がx軸と直交するように配置
されている。以下、このようなプロープをxプローブ4
と称する。また、図2(b)は、y方向の磁力を検出す
るプローブ4を示し、その極小のペレット状のホール素
子6yは、その主表面がy軸と直交するように配置され
ている。以下、このようなプロープをyプローブ4と称
する。さらに、図2(c)は、z方向の磁力を検出する
プローブ4を示し、その極小のペレット状のホール素子
6zは、その主表面がz軸と直交するように配置されて
いる。以下、このようなプロープをzプローブ4と称す
る。
Here, FIG. 2A shows a probe 4 for detecting a magnetic force in the x direction, and the minimum pellet-shaped Hall element 6x is arranged so that its main surface is orthogonal to the x axis. There is. Hereafter, such a probe is attached to the x probe 4
Called. Further, FIG. 2B shows the probe 4 for detecting the magnetic force in the y direction, and the minimum pellet-shaped Hall element 6y is arranged so that its main surface is orthogonal to the y axis. Hereinafter, such a probe is referred to as a y-probe 4. Further, FIG. 2C shows the probe 4 for detecting the magnetic force in the z direction, and the minimum pellet-shaped Hall element 6z is arranged so that its main surface is orthogonal to the z axis. Hereinafter, such a probe is referred to as a z-probe 4.

【0030】このような各プローブ4は、磁気測定装置
のセンサ取付け校正用装置内に図1のように配置される
際ににおいて、そのホール素子6x、6y、6zの向き
をそれぞれ対応する軸に一致づけて挿入されることにな
る。
When each probe 4 as described above is arranged in the sensor mounting calibration device of the magnetic measuring device as shown in FIG. 1, the orientations of the Hall elements 6x, 6y, 6z are set to correspond to the respective axes. It will be inserted with matching.

【0031】以下、図3を用いて各プローブ毎のホール
素子における中心を見出す方法を説明する。
A method of finding the center of the Hall element for each probe will be described below with reference to FIG.

【0032】(1)xプローブ4の場合 まず、電磁コイル3Aを横切るプロープ4内のホール素
子6xは、該電磁コイル3AのS極から発生する磁力の
うち、特にxy平面において左右方向に円弧形に発生す
る磁力を切ることになる。
(1) In the case of x probe 4 First, the Hall element 6x in the probe 4 that crosses the electromagnetic coil 3A is a circular arc in the left-right direction, especially in the xy plane, of the magnetic force generated from the S pole of the electromagnetic coil 3A. It will cut the magnetic force generated in the shape.

【0033】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子6x
からの出力は0になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, there is no magnetic force that passes through the main surface of the Hall element at right angles, and therefore the Hall element 6x.
The output from is 0.

【0034】すなわち、この時点において、該ホール素
子6xのx軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6x in the x-axis direction becomes clear.

【0035】なお、この場合におけるホール素子6xの
位置は、基準位置(x軸上)からの距離に対応されるも
のであり、この距離は情報として記憶され、その後にお
いて該ホール素子6xのプローブに対する位置の構成を
行う際に利用されるようになる。この方法は、以下の説
明においても同様である。
The position of the Hall element 6x in this case corresponds to the distance from the reference position (on the x-axis), and this distance is stored as information, and then the Hall element 6x with respect to the probe. It will be used when configuring the position. This method is the same in the following description.

【0036】そして、次に、電磁コイル3Bを横切るプ
ロープ4内のホール素子6xは、該電磁コイル3BのN
極から発生する磁力のうち、特にxy平面において左右
方向に円弧形に発生する磁力を切ることになる。
Then, the Hall element 6x in the probe 4 which traverses the electromagnetic coil 3B is connected to the N of the electromagnetic coil 3B.
Among the magnetic forces generated from the poles, the magnetic force generated in an arc shape in the left-right direction is cut particularly in the xy plane.

【0037】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6xの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子からの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6x orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element becomes the maximum.

【0038】すなわち、この時点において、該ホール素
子6xのy軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6x in the y-axis direction is known.

【0039】さらに、この時点において、プローブ4を
その上下方向(z軸方向)に移動させることによって、
前記電磁コイル3Bを横切るプロープ4内のホール素子
6xは、該電磁コイル3BのN極から発生する磁力のう
ち、特にxz平面において上下方向に円弧形に発生する
磁力を切ることになる。
Further, at this point, by moving the probe 4 in the vertical direction (z-axis direction),
The Hall element 6x in the probe 4 that traverses the electromagnetic coil 3B cuts the magnetic force generated from the N pole of the electromagnetic coil 3B, particularly, the magnetic force generated in the vertical direction in the xz plane.

【0040】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6xの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子6xからの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6x orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element 6x becomes the maximum.

【0041】すなわち、この時点において、該ホール素
子6xのz軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6x in the z-axis direction is known.

【0042】(2)yプローブ4の場合 まず、電磁コイル3Aを横切るプロープ4内のホール素
子6yは、該電磁コイル3AのS極から発生する磁力の
うち、特にxy平面において左右方向に円弧形に発生す
る磁力を切ることになる。
(2) In case of y-probe 4 First, the Hall element 6y in the probe 4 which crosses the electromagnetic coil 3A has a circular arc in the left-right direction particularly in the xy plane among the magnetic forces generated from the S pole of the electromagnetic coil 3A. It will cut the magnetic force generated in the shape.

【0043】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6yの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子6yからの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6y at right angles becomes maximum, and therefore the output from the Hall element 6y becomes maximum.

【0044】すなわち、この時点において、該ホール素
子6yのx軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6y in the x-axis direction is known.

【0045】次に、この時点において、プローブ4をそ
の上下方向(z軸方向)に移動させることによって、前
記電磁コイル3Aを横切るプロープ4内のホール素子6
yは、該電磁コイル3AのN極から発生する磁力のう
ち、特にxz平面において上下方向に円弧形に発生する
磁力を切ることになる。
Next, at this time point, the Hall element 6 in the probe 4 which crosses the electromagnetic coil 3A is moved by moving the probe 4 in the vertical direction (z-axis direction).
Of the magnetic forces generated from the N pole of the electromagnetic coil 3A, y cuts off the magnetic force generated in an arc shape in the vertical direction particularly on the xz plane.

【0046】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6yの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子6yからの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6y at right angles becomes maximum, and therefore the output from the Hall element 6y becomes maximum.

【0047】すなわち、この時点において、該ホール素
子6yのz軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6y in the z-axis direction is known.

【0048】さらに、電磁コイル3Bを横切るプロープ
4内のホール素子6yは、該電磁コイル3BのN極から
発生する磁力のうち、特にxy平面において左右方向に
円弧形に発生する磁力を切ることになる。
Further, the Hall element 6y in the probe 4 which traverses the electromagnetic coil 3B is designed to cut off the magnetic force generated from the N pole of the electromagnetic coil 3B particularly in the arc shape in the left-right direction on the xy plane. become.

【0049】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6yの主表面を直交し
て通過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子
6yからの出力は0になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, there is no magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6y at right angles, and therefore the output from the Hall element 6y becomes zero.

【0050】すなわち、この時点において、該ホール素
子6yのy軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6y in the y-axis direction is known.

【0051】(3)zプローブ4の場合 まず、電磁コイル3Aを横切るプロープ4内のホール素
子6zは、該電磁コイル3AのS極から発生する磁力の
うち、特にxz平面において左右方向に円弧形に発生す
る磁力を切ることになる。
(3) In case of z probe 4 First, the Hall element 6z in the probe 4 which traverses the electromagnetic coil 3A has an arc in the left-right direction in the magnetic force generated from the S pole of the electromagnetic coil 3A. It will cut the magnetic force generated in the shape.

【0052】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6zの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子6zからの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force passing orthogonally to the main surface of the Hall element 6z becomes maximum, and therefore the output from the Hall element 6z becomes maximum.

【0053】すなわち、この時点において、該ホール素
子6zのx軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6z in the x-axis direction is known.

【0054】そして、次に、電磁コイル3Bを横切るプ
ロープ4内のホール素子6zは、該電磁コイル3BのN
極から発生する磁力のうち、特にxz平面において上下
方向に円弧形に発生する磁力を切ることになる。
Then, the Hall element 6z in the probe 4 which traverses the electromagnetic coil 3B is connected to the N of the electromagnetic coil 3B.
Among the magnetic forces generated from the poles, the magnetic force generated in an arcuate shape in the vertical direction is cut particularly in the xz plane.

【0055】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6zの主表面を直交し
て通過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素
子6zからの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6z orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element 6z becomes the maximum.

【0056】すなわち、この時点において、該ホール素
子6zのy軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6z in the y-axis direction is known.

【0057】さらに、この時点において、プローブ4を
その上下方向(z軸方向)に移動させることによって、
前記電磁コイル3Bを横切るプロープ4内のホール素子
6zは、該電磁コイル3BのN極から発生する磁力のう
ち、特にxz平面において上下方向に円弧形に発生する
磁力を切ることになる。
Further, at this point, the probe 4 is moved in the vertical direction (z-axis direction),
The Hall element 6z in the probe 4 that crosses the electromagnetic coil 3B cuts the magnetic force generated from the N pole of the electromagnetic coil 3B, particularly in the vertical direction in the xz plane, in the form of an arc.

【0058】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子6zの主表面を直交し
て通過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子
6zからの出力は0になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, there is no magnetic force that passes through the main surface of the Hall element 6z at right angles, so that the output from the Hall element 6z becomes zero.

【0059】すなわち、この時点において、該ホール素
子6zのz軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element 6z in the z-axis direction is known.

【0060】上述した実施例では、シールド内に配置さ
れる磁石として電磁コイルを用いたものであるが、これ
に限定されることはなくたとえば永久磁石であってもよ
いことはいうまでもない。要は磁界発生手段が備えられ
ていればよい。
In the above-mentioned embodiment, an electromagnetic coil is used as the magnet arranged in the shield, but it is needless to say that it is not limited to this and may be a permanent magnet, for example. The point is that the magnetic field generating means should be provided.

【0061】また、上述した実施例では、その磁界発生
手段の極面がある面積を持って平坦化された形状となっ
ているものであるが、これに限定されることはなく、先
端が尖鋭状となったいわゆる磁性ピン等であってもよい
ことはいうまでもない。
In the above-described embodiment, the pole surface of the magnetic field generating means has a flattened shape with a certain area, but the invention is not limited to this, and the tip is sharp. It goes without saying that it may be a so-called magnetic pin or the like in the shape of a sheet.

【0062】実施例2.図4は、本発明による磁気測定
装置のセンサ取付け校正用装置の他の実施例を示す概略
構成図である。なお、同図(a)は平面図、同図(b)
は同図(a)のb−b線における断面図である。
Example 2. FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the sensor mounting calibration device of the magnetic measurement device according to the present invention. In addition, the same figure (a) is a top view and the same figure (b).
FIG. 4B is a sectional view taken along line bb of FIG.

【0063】同図に示す装置は、各プロープのうち、特
にxプローブとyプローブにおけるホール素子の中心を
見出すことのできる装置を示したものである。
The apparatus shown in the figure shows an apparatus capable of finding the center of the Hall element in each of the probes, particularly the x probe and the y probe.

【0064】基本的には図1に示す構成とほぼ同様であ
るが、その磁界発生部の構成が簡略化されたものとなっ
ている。
The structure is basically the same as that shown in FIG. 1, but the structure of the magnetic field generator is simplified.

【0065】すなわち、シールド1の内壁において、該
シールド1の中心軸から90°の間隔で3個の磁界発生
部7A、7B、7Cが備えられている。
That is, the inner wall of the shield 1 is provided with three magnetic field generating portions 7A, 7B and 7C at intervals of 90 ° from the central axis of the shield 1.

【0066】まず、x軸と平行な内壁面にz軸方向へ延
在する2本の隣接する導電線に互いに逆方向に電流を流
して構成した第1磁界発生部7Aが備えられている。そ
して、y軸と平行な内壁面にz軸方向へ延在する2本の
隣接する導電線に互いに逆方向に電流を流して構成した
第2磁界発生部7Bが備えられている。さらに、この第
2磁界発生部7Bに対向するy軸と平行な内壁面にy軸
方向へ延在する2本の隣接する導電線に互いに逆方向に
電流を流して構成した第2磁界発生部7Cが備えられて
いる。
First, a first magnetic field generator 7A is provided on the inner wall surface parallel to the x-axis by passing currents in opposite directions to two adjacent conductive lines extending in the z-axis direction. A second magnetic field generation unit 7B is provided on the inner wall surface parallel to the y-axis by passing currents in opposite directions to two adjacent conductive wires extending in the z-axis direction. Further, a second magnetic field generating section formed by passing currents in opposite directions to two adjacent conductive wires extending in the y-axis direction on the inner wall surface parallel to the y-axis facing the second magnetic field generating section 7B. 7C is provided.

【0067】ここで、各磁界発生部7A、7B、7Cか
らの磁力は、実施例1の場合と異なり、導電線の延在方
向と直交する面内においてのみ、左右方向に円弧形に発
生する分布を呈するようになる。
Here, the magnetic force from each of the magnetic field generators 7A, 7B and 7C is generated in an arc shape in the horizontal direction only in the plane orthogonal to the extending direction of the conductive wire, unlike the case of the first embodiment. It exhibits a distribution that

【0068】このようなことを前提にして、以下、各プ
ローブ毎のホール素子における中心を見出す方法を説明
する。
Given the above, a method of finding the center of the Hall element for each probe will be described below.

【0069】(1)xプローブの場合 まず、第1磁界発生部7Aを横切るプロープ内のホール
素子は、該第1磁界発生部におけるxy平面の磁力であ
って、その左右方向に円弧形に発生する磁力を切ること
になる。
(1) In the case of x probe First, the Hall element in the probe that crosses the first magnetic field generating portion 7A is the magnetic force of the xy plane in the first magnetic field generating portion, and is arcuate in the left-right direction. It will cut off the generated magnetic force.

【0070】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子から
の出力は0になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, there is no magnetic force that passes through the main surface of the Hall element orthogonally, and therefore the output from the Hall element becomes zero.

【0071】すなわち、この時点において、該ホール素
子のx軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element in the x-axis direction is known.

【0072】そして、次に、第2磁界発生部7Bを横切
るプロープ内のホール素子は、該第2磁界発生部7Bに
おけるxy平面の磁力であって、その左右方向に円弧形
に発生する磁力を切ることになる。
Then, the Hall element in the probe which crosses the second magnetic field generating section 7B is the magnetic force of the xy plane in the second magnetic field generating section 7B, which is a magnetic force generated in an arc shape in the left-right direction. Will be cut.

【0073】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element becomes the maximum.

【0074】すなわち、この時点において、該ホール素
子のy軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element in the y-axis direction is known.

【0075】さらに、第3磁界発生部7Cを横切るプロ
ープ内のホール素子は、該第3磁界発生部7Cにおける
xz平面の磁力であって、その上下方向に円弧形に発生
する磁力を切ることになる。
Further, the Hall element in the probe which traverses the third magnetic field generating section 7C is to cut off the magnetic force generated in the vertical direction by the magnetic force of the xz plane in the third magnetic field generating section 7C. become.

【0076】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element becomes the maximum.

【0077】すなわち、この時点において、該ホール素
子のz軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element in the z-axis direction is known.

【0078】(2)yプローブの場合 まず、第1磁界発生部7Aを横切るプロープ内のホール
素子は、該第1磁界発生部7Aにおけるxy平面の磁力
であって、その左右方向に円弧形に発生する磁力を切る
ことになる。
(2) In case of y-probe First, the Hall element in the probe which crosses the first magnetic field generating section 7A is the magnetic force on the xy plane in the first magnetic field generating section 7A, and has an arc shape in the left-right direction. It will cut off the magnetic force generated in.

【0079】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は全くなく、したがって、該ホール素子から
の出力は0になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, there is no magnetic force that passes through the main surface of the Hall element orthogonally, and therefore the output from the Hall element becomes zero.

【0080】すなわち、この時点において、該ホール素
子のx軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element in the x-axis direction is known.

【0081】そして、次に、第2磁界発生部7Bを横切
るプロープ内のホール素子は、該第2磁界発生部7Bに
おけるxy平面の磁力であって、その左右方向に円弧形
に発生する磁力を切ることになる。
Then, the Hall element in the probe which crosses the second magnetic field generating section 7B is the magnetic force of the xy plane in the second magnetic field generating section 7B, which is a magnetic force generated in an arc shape in the left-right direction. Will be cut.

【0082】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element becomes the maximum.

【0083】すなわち、この時点において、該ホール素
子のy軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element in the y-axis direction is known.

【0084】さらに、第3磁界発生部7Cを横切るプロ
ープ内のホール素子は、該第3磁界発生部7Cにおける
xz平面の磁力であって、その左右方向に円弧形に発生
する磁力を切ることになる。
Further, the Hall element in the probe which crosses the third magnetic field generating section 7C is designed to cut off the magnetic force generated in the xz plane in the third magnetic field generating section 7C and which is generated in an arc shape in the left-right direction. become.

【0085】このため、それぞれの方向に発生する磁力
の境界においては前記ホール素子の主表面を直交して通
過する磁力は最大となり、したがって、該ホール素子か
らの出力は最大になる。
Therefore, at the boundaries of the magnetic forces generated in the respective directions, the magnetic force that passes through the main surface of the Hall element orthogonally becomes the maximum, and therefore the output from the Hall element becomes the maximum.

【0086】すなわち、この時点において、該ホール素
子のz軸方向における中心が判明することになる。
That is, at this point, the center of the Hall element in the z-axis direction is known.

【0087】この場合、zプロープにおけるホール素子
の中心を検出できないのは、図5において他のプロープ
との関係を示すように、該ホール素子の主表面が磁界発
生部における磁界分布の異なる平面と一致してしまうか
らである。この点、図1に示した磁界発生部(電磁コイ
ル3A、3B、3C、3D)が一平面に限らず空間的に
磁界分布が異なっていることとは相違する。
In this case, the center of the Hall element in the z-probe cannot be detected because the main surface of the Hall element is a plane with a different magnetic field distribution in the magnetic field generating portion, as shown in the relationship with other probes in FIG. This is because they will match. This is different from the fact that the magnetic field generators (electromagnetic coils 3A, 3B, 3C, and 3D) shown in FIG. 1 have spatially different magnetic field distributions not limited to one plane.

【0088】以上説明した各実施例から明らかなよう
に、磁界発生部によって分布の異なる磁界内に、ホール
素子を該磁界を横切るようにして微動移動させ、該磁界
の分布に応じた出力を常時測定し、その出力の変化度合
いから該ホール素子の現時点の配置位置(その支持体と
なるプロープに対して)を判定できるようになる。
As is clear from each of the embodiments described above, the Hall element is finely moved within the magnetic field having a different distribution by the magnetic field generating unit so as to traverse the magnetic field, and an output corresponding to the distribution of the magnetic field is constantly generated. It becomes possible to determine the current arrangement position of the Hall element (with respect to the probe serving as its support) by measuring and changing the output.

【0089】ここで、ホール素子の位置は、たとえば、
基準位置からの距離に対応されるものであり、この距離
は情報として記憶され、その後において該ホール素子の
プローブに対する位置の構成を行う際に利用されるよう
になる。
Here, the position of the Hall element is, for example,
This distance corresponds to the distance from the reference position, and this distance is stored as information, and is used later when configuring the position of the Hall element with respect to the probe.

【0090】[0090]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置に
よれば、プローブに取り付けられたホール素子の中心を
正確に検知できるようになる。
As is apparent from the above description,
According to the sensor mounting calibration device of the magnetic measurement device of the present invention, the center of the Hall element mounted on the probe can be accurately detected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の一実施例を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a sensor mounting calibration device of a magnetic measurement device according to the present invention.

【図2】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置によって測定される各種プロープを示した説明図
である。
FIG. 2 is an explanatory view showing various probes measured by the sensor mounting calibration device of the magnetic measurement device according to the present invention.

【図3】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の利用の仕方を説明した説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view explaining how to use the sensor mounting calibration device of the magnetic measurement device according to the present invention.

【図4】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の他の実施例を示す概略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the sensor attachment calibration device of the magnetic measurement device according to the present invention.

【図5】本発明による磁気測定装置のセンサ取付け校正
用装置の他の実施例においてzプロープを測定できない
理由を示した説明図である。
FIG. 5 is an explanatory view showing the reason why the z probe cannot be measured in another embodiment of the sensor attachment calibration device of the magnetic measurement device according to the present invention.

【符号の説明】 1……シールド、2……ヨーク、3A、3B、3C、3
D……電磁コイル、4……プローブ、6x、6y、6z
……ホール素子。
[Explanation of symbols] 1 ... shield, 2 ... yoke, 3A, 3B, 3C, 3
D ... Electromagnetic coil, 4 ... Probe, 6x, 6y, 6z
……Hall element.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 x方向の磁場の強度を測定するホール素
子を備える磁気測定装置の該ホール素子の中心を検出す
る磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置であって、磁
気シールドされた空間内に、 そのx方向の中心を定める手段として、少なくともxy
平面に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界
発生部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素
子をx方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段
による該ホール素子の移動過程における出力が0となる
時点を検出する検出手段を有し、 y方向の中心を定める手段として、少なくともxy平面
に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
y方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段によ
る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
時点を検出する検出手段を有し、 z方向の中心を定める手段として、少なくともxz平面
に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
z方向に微度移動させる移動手段と、この移動手段によ
る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
時点を検出する検出手段を有することを特徴とする磁気
測定装置のセンサ取付け校正用装置。
1. A device for calibrating a sensor of a magnetic measuring device comprising a hall element for measuring the strength of a magnetic field in the x direction, the center of the hall element being detected, the device being calibrated in a magnetically shielded space. , As a means for determining the center in the x direction, at least xy
A magnetic field generating section for generating a magnetic field in the horizontal direction with a distribution in the left-right direction, a moving unit for finely moving the Hall element in the x direction across the distribution of the magnetic field, and a movement of the Hall element by this moving unit. A detection means for detecting the time when the output becomes 0 in the process, and as a means for defining the center in the y direction, at least a magnetic field generating portion for generating a magnetic field in the left-right direction on the xy plane, and a distribution of the magnetic field A moving means for finely moving the hall element in the y direction so as to traverse the hall element, and a detecting means for detecting a time point when the output in the movement process of the hall element reaches a maximum value by the moving means. As a means for determining, the magnetic field generating portion for generating a magnetic field in the left-right direction at least in the xz plane, and the Hall element in the z direction so as to cross the distribution of the magnetic field. Bido moving means for moving the sensor mounting calibration apparatus of a magnetic measurement device output in moving process of the Hall element by the moving means and having a detecting means for detecting a time when the maximum value.
【請求項2】 y方向の磁場の強度を測定するホール素
子を備える磁気測定装置の該ホール素子の中心を検出す
る磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置であって、磁
気シールドされた空間内に、 そのx方向の中心を定める手段として、少なくともxy
平面に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界
発生部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素
子をx方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段
による該ホール素子の移動過程における出力が最大値と
なる時点を検出する検出手段を有し、 y方向の中心を定める手段として、少なくともxy平面
に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
y方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段によ
る該ホール素子の移動過程における出力が0となる時点
を検出する検出手段を有し、 z方向の中心を定める手段として、少なくともxz平面
に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
z方向に微度移動させる移動手段と、この移動手段によ
る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
時点を検出する検出手段を有することを特徴とする磁気
測定装置のセンサ取付け校正用装置。
2. A device for calibrating a sensor of a magnetic measuring device for detecting the center of the Hall element of a magnetic measuring device comprising a Hall element for measuring the strength of a magnetic field in the y direction, wherein the apparatus is provided in a magnetically shielded space. , As a means for determining the center in the x direction, at least xy
A magnetic field generating section for generating a magnetic field in the horizontal direction with a distribution in the left-right direction, a moving unit for finely moving the Hall element in the x direction across the distribution of the magnetic field, and a movement of the Hall element by this moving unit. A detection means for detecting a time point at which the output in the process reaches a maximum value, and as a means for defining the center in the y direction, a magnetic field generating portion for generating a magnetic field with a lateral distribution at least in the xy plane, It has a moving means for finely moving the hall element in the y direction across the distribution, and a detecting means for detecting the time when the output in the moving process of the hall element by the moving means becomes 0, and the center in the z direction. As a means for determining, the magnetic field generating portion for generating a magnetic field in the left-right direction at least in the xz plane, and the Hall element in the z direction so as to cross the distribution of the magnetic field. Bido moving means for moving the sensor mounting calibration apparatus of a magnetic measurement device output in moving process of the Hall element by the moving means and having a detecting means for detecting a time when the maximum value.
【請求項3】 z方向の磁場の強度を測定するホール素
子を備える磁気測定装置の該ホール素子の中心を検出す
る磁気測定装置のセンサ取付け校正用装置であって、磁
気シールドされた空間内に、 そのx方向の中心を定める手段として、少なくともxy
平面に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界
発生部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素
子をx方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段
による該ホール素子の移動過程における出力が最大値と
なる時点を検出する検出手段を有し、 y方向の中心を定める手段として、少なくともxy平面
に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
y方向に微動移動させる移動手段と、この移動手段によ
る該ホール素子の移動過程における出力が最大値となる
時点を検出する検出手段を有し、 z方向の中心を定める手段として、少なくともxz平面
に磁界を左右方向に分布をもたせて発生させる磁界発生
部と、該磁界の分布を横切るようにして該ホール素子を
z方向に微度移動させる移動手段と、この移動手段によ
る該ホール素子の移動過程における出力が0となる時点
を検出する検出手段を有することを特徴とする磁気測定
装置のセンサ取付け校正用装置。
3. A device for calibrating a sensor of a magnetic measuring device, which detects the center of the Hall element of a magnetic measuring device comprising a Hall element for measuring the strength of a magnetic field in the z direction, in a magnetically shielded space. , As a means for determining the center in the x direction, at least xy
A magnetic field generating section for generating a magnetic field in the horizontal direction with a distribution in the left-right direction, a moving unit for finely moving the Hall element in the x direction across the distribution of the magnetic field, and a movement of the Hall element by this moving unit. A detection means for detecting a time point at which the output in the process reaches a maximum value, and as a means for defining the center in the y direction, a magnetic field generating portion for generating a magnetic field with a lateral distribution at least in the xy plane, It has a moving means for finely moving the hall element in the y direction across the distribution, and a detecting means for detecting the time when the output of the hall element in the moving process of the hall means reaches a maximum value. As means for determining the center, at least an xz plane is used to generate a magnetic field in the left-right direction by generating a magnetic field generating portion and the Hall element so as to cross the magnetic field distribution. Moving means for Bido moved in direction, the sensor mounting calibration apparatus of a magnetic measurement device output in moving process of the Hall element by the moving means and having a detecting means for detecting a time when the 0.
【請求項4】 地磁気がシールドされた空間内に、その
x軸上で一方の極が対向し、かつy軸上で他方の極が対
向する磁場空間が構成され、この磁場空間内において、
x、y、z方向のうちいずれかの方向磁場の強度を測定
するホール素子をy軸上の一方の極に対向させてx方向
に移動させ、次にx軸上の一方の極に対向させてy方向
に移動させ、その後、前記x軸上の一方の極に対向させ
てz方向に移動させる移動手段と、この移動手段による
該ホール素子の移動過程における出力が0あるいは最大
値となる時点を検出する検出手段とからなる、請求項
1、2、3を適用させたことを特徴とする磁気測定装置
のセンサ取付け校正用装置。
4. A magnetic field space in which one pole is opposed on the x-axis and the other pole is opposed on the y-axis is formed in the space where the geomagnetism is shielded, and in the magnetic field space,
A Hall element for measuring the strength of a magnetic field in any of the x, y, and z directions is made to face one pole on the y axis and moved in the x direction, and then made to face one pole on the x axis. Moving means for moving in the y direction and then in the z direction facing one of the poles on the x axis, and a time point when the output in the moving process of the Hall element by this moving means becomes 0 or the maximum value. 5. A sensor mounting calibration device for a magnetic measuring device, characterized in that it is provided with a detecting means for detecting.
JP8055759A 1996-03-13 1996-03-13 Sensor mounting correcting device for magnetic measuring device Pending JPH09243723A (en)

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Cited By (5)

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