JPH09243495A - 圧力センサーの良否判定方法及び圧力センサーの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空センサーに用いる歪みゲージ式の圧力セ
ンサーの真空漏れと電気回路的欠陥を、放射能を用いず
安全かつ無公害で、ほぼ同時に推定できる方法と装置を
提供する。 【解決手段】 圧力センサー１の圧力導入管３に所定の
真空圧を印加した状態で電極２にＤＣ６Ｖのバイアス電
圧を印加して出力電圧を測定し、出力値が１Ｖ以下なら
良品と、ゼロまたは１Ｖを超えれば不良品とする。次に
印加真空圧を徐々に大気圧に近づけ、途中で出力電圧値
が急激に上昇するものを良品、変化しないものを不良品
とする。電極２、２ａをすべて短絡して金属ケース６と
の間にＤＣ６００Ｖの高電圧を印加し、放電が生じなけ
れば良品、放電が生じれば不良品とする。放電が生じた
ものは、放電電圧値と放電電流値との関係から真空漏れ
率を算出し、漏れ率が所定値以下であれば良品とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、歪みゲージ式の圧
力センサーの真空漏れについての良否判定を行うための
方法と、この方法を実施するための圧力センサーの検査
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】歪みゲ
ージ式の圧力センサーは、例えば自動車用のエンジンの
高効率化等のための真空センサーとして必要不可欠のも
のである。通常のこの種の圧力センサーは、内部の高真
空領域と外部からの圧力導入管との間の圧力差を、両者
の間に真空的に絶縁して設置した圧電素子により検出
し、検出値を電気信号として増幅して取り出している。
製造時の内部真空度は通常６．７Ｐａ（０．０５Ｔｏｒ
ｒ）以下であり、真空センサーとしての耐久年数は２０
年以上である。即ち、実用化されているこの種の圧力セ
ンサーの最大許容真空漏れ率としては、１．０×１０^-5
Ｐａ・ｃｃ／秒以下が必要であるといわれている。

【０００３】このようなセンサー構造では、内部の真空
度がある値まで低下すると圧電素子の出力電気信号が外
部からの圧力変化に比例しなくなるので、真空漏れは圧
力センサーとしては致命傷となる。このため種々の検査
が行われているが、現行の一般的な検査方法は、圧力セ
ンサーを放射性物質の加圧釜中に数日間封入し、真空漏
れが生じていれば放射能ガスを吸引してしまうので、そ
れを取り出して放射能強度をガイガーカウンター等で測
定し、良否や真空漏れ率を判定するというものである。

【０００４】しかしながら上述の従来の良否判定方法で
は放射能汚染による公害という問題が付きまとうという
問題がある。即ち、放射能物質の取り扱いが大変困難
で、作業環境、作業者の就労性が大変に悪い。本発明は
このような従来の問題点に鑑み、かつ真空の漏れ率と放
電現象の関係に着目し、簡易かつ安全で、しかも正確、
無公害かつ経済的な圧力センサーの良否判定方法を提供
することを目的とする。

【０００５】また、たとえ圧力センサー内部の真空度が
保たれていても、電気回路的な欠陥が存在していて不良
品である場合もある。従って本発明は、電気回路に欠陥
があるか否かを簡易かつ速く検査できる圧力センサーの
良否判定方法を提供することをも目的とする。

【０００６】さらに本発明は、上述の新たな圧力センサ
ーの良否判定方法を実施して、圧力センサーの真空漏れ
検査を行う装置を提供することをも目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の圧力センサーの
良否判定方法のうち請求項１に係るものは、ケース内の
真空度と圧力導入部に印加される圧力との差から生じる
歪電圧によって圧力を測定する歪みゲージ式の圧力セン
サーについて真空漏れの良否を判定する方法であって、
上記圧力導入部に所定の真空圧を印加した状態で電極に
所定値の直流バイアス電圧を印加してその出力電圧を測
定し、該出力電圧値が所定値以下であれば良品と、出力
電圧値がゼロまたは所定値を超えれば不良品と判断し、
ついで上記圧力導入部に印加した真空圧を徐々に大気圧
に近づけてゆき、その途中で上記出力電圧値が急激に上
昇するものを良品とし、出力電圧が変化しないものを不
良品とし、さらに上記電極のすべてを短絡して上記ケー
スとの間に所定値の直流高電圧を印加し、放電が生じな
ければ良品とし、放電が生じれば不良品と判断すること
を特徴とする。

【０００８】同請求項２に係る圧力センサーの良否判定
方法は、上記放電が生じて不良品と判断した圧力センサ
ーについて、放電電圧値と放電電流値との関係から真空
漏れ率を算出し、該漏れ率が所定値以下であれば良品と
判断することを特徴とする。

【０００９】また本発明の圧力センサーの検査装置のう
ち請求項３に係るものは、ケース内の真空度と圧力導入
管に印加される圧力との差から生じる歪電圧によって圧
力を測定する歪みゲージ式の圧力センサーについて真空
漏れの有無及び良否を測定する検査装置であって、上記
圧力導入管及び電極部を上記ケースから外部に突出させ
たまま該ケースを着脱自在に保持するセンサー保持手段
と、上記圧力導入管及び電極部を覆い得る形状を有し移
動させ得る本体部に、上記圧力導入管への連結管、直流
高電圧を印加するための高圧電源への接続用の第１の端
子群、直流バイアス電圧を印加するための直流電源への
接続用の第２の端子群、上記電極部と上記第１の端子群
の間を接続するための第３の端子群、上記電極部と上記
第２の端子群の間を接続するための第４の端子群間、及
び上記端子群間または上記端子群と上記連結管を切替接
続するための切替配線とを設け、上記本体部の一側面に
おいて上記切替配線の途中を分断してなる電極カバー手
段と、上記電極カバー手段の移動位置に応じて上記切替
配線の分断位置を選択的に２種類の形態のいずれかで接
続し、上記高圧電源または上記直流電源のいずれかから
電圧印加を可能とする電源切替手段とからなることを特
徴とする。

【００１０】同請求項４に係る圧力センサーの検査装置
は、上記第２、第４の端子群間の上記切替配線は、上記
分断位置に臨む端部を、上記本体部の一側面に上記電極
カバー手段の移動方向に沿って現れる長さに長短の差異
を形成しかつ並設してなり、上記第１の端子群のいずれ
かと上記第３の端子群間の上記切替配線間を短絡すると
ともに該短絡位置から延びる端部を、上記第２、第４の
端子群間の上記切替配線の上記分断位置に臨む短い方の
端部に間隔を置いて対向しかつ長い方の端部と上記電極
カバー手段の移動方向との直交方向で隣り合う位置に配
し、上記電極カバー手段の移動位置に応じて、上記第
２、第４の端子群間の上記切替配線の上記分断位置また
は上記第２、第４の端子群間の上記切替配線の上記分断
位置における上記長い方の端部と上記第１の端子群のい
ずれかと上記第３の端子群間の上記切替配線間の上記短
絡位置から延びる端部との間を、選択的に接続可能とし
てなることを特徴とする。

【００１１】同請求項５に係る圧力センサーの検査装置
は、上記第１の端子群のいずれかと上記第３の端子群間
の上記切替配線間と、上記第１の端子群の他のいずれか
と上記連結管間の上記切替配線間に、これら切替配線間
を接・断するスイッチング手段を設けてなることを特徴
とする。

【００１２】同請求項６に係る圧力センサーの検査装置
は、上記電源切替手段が回転可能かつ同軸に保持した複
数の電極ローラーからなり、各電極ローラーが、上記第
２、第４の端子群間の上記切替配線の上記分断位置及び
上記第２、第４の端子群間の上記切替配線の上記分断位
置における上記長い方の端部と上記第１の端子群のいず
れかと上記第３の端子群間の上記切替配線間の上記短絡
位置から延びる端部との間を跨いで接続可能な長さを有
することを特徴とする。

【００１３】同請求項７に係る圧力センサーの検査装置
は、上記電源切替手段が、上記電極ローラーと同軸に上
記スイッチング手段の接・断駆動用のローラーを含むこ
とを特徴とする。

【００１４】同請求項８に係る圧力センサーの検査装置
は、上記の装置を複数個連設するとともに、コンベア等
の移送手段上に載置した上記圧力センサーに対して着脱
可能とする手段を備え、複数個の上記圧力センサーを同
時に検査可能としたことを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態及び実施例】以下本発明の実施の形
態及び実施例を図面を参照して説明する。図１（Ａ）、
（Ｂ）に本発明の検査装置で検査対象とする圧力センサ
ーの構造を示す。この圧力センサー１は、ベース１ａに
３本の電極２、５本の補助電極２ａ及び圧力導入管３を
互いに電気的に絶縁して設け、圧力導入管３の先端に金
属ダイアフラム４を取り付け、ダイアフラム面上に圧電
素子５・・・を設け、圧電素子５と電極２、２ａとの間
に配線５ａを施し、それらの上部を金属ケース６で覆っ
て構成してある。但しベース１ａ、圧力導入管３、金属
ケース６の間は電気的に絶縁しておらず、導通可能とな
っている。

【００１６】もちろん実際の圧力センサ−１内の真空度
を直接測定することはできないので、図２に示すような
真空装置及び電圧印加系を接続して測定を行う。即ち、
圧力センサー１の圧力導入管３とロータリーポンプ７と
の間に配管８を配して真空圧を印加可能とし、配管８の
途中にピラニー真空計９と圧力調整弁１０を接続する。

【００１７】図３は、ベルトコンベア上に多数の圧力セ
ンサー１を載せ、短時間に大量の圧力センサー１の良否
判定を行えるようにした本発明に係る検査装置の一実施
形態の外観を示す。この装置は、ロータリーポンプ７、
配管８、ピラニー真空計９、圧力調整弁１０その他の必
要な制御機器等を収納した制御部１１と、多数の検査ユ
ニット１２・・・をスライド枠１３に上下動可能に保持
したガイド枠部１４と、検査ユニット１２の下側を通し
たベルトコンベア１５とから主に構成してある。

【００１８】ベルトコンベア１５は、圧力センサー１を
着脱可能にする保持する多数のホルダー１６・・・を載
置できる搬送プレート１７と、搬送プレート１７の下側
に間隔を置いて配したベースプレート１８とからなり、
ベースプレート１８はホルダー１６の列毎に長孔１９を
備える。上述したスライド枠１３上にはホルダー１６の
突き上げ装置２０を備えており、この長孔１９を通して
ホルダー１６を上方へ突き上げ得るようになっている。

【００１９】図４、５は、圧力センサー１のホルダー１
６の構造を示す。ホルダー１６は主に、圧力センサー１
のベース１ａを保持する固定プレート２１とその上下に
位置して挟む可動プレート２２、２３の３枚のプレート
材からなる。固定プレート２１の中央部には、圧力セン
サー１のベース１ａに対応した形状の開口を設けてあ
り、この開口にベース１ａを緩く嵌着保持できるように
なっている。また可動プレート２２、２３は、それぞれ
可動片２２ａ、２２ｂ及び２３ａ、２３ｂからなり、こ
れら可動片２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂを図５に示
すように接離させて開閉可能となっている。また各可動
片２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂには図示のようにそ
れぞれ半円形の切り欠きを設けてあり、上可動プレート
２２においては圧力センサー１の電極２、２ａや圧力導
入管３と干渉せずにベース１ａの縁よりも若干内側へ入
り込んで閉じ、圧力センサー１の上方への抜け止めがで
きるようになっている。一方、下可動プレート２３にお
いては圧力センサー１の金属ケース６と干渉せずにベー
ス１ａの縁よりも若干内側へ入り込んでベース１ａを下
側から支えるように閉じ、圧力センサー１の下方への落
下止めができ、開けば保持している圧力センサー１を下
方へ落とせるようになっている。図示せぬが、突き上げ
装置２０には下可動プレート２３を開閉駆動する適宜の
装置を備える。

【００２０】図６は検査ユニット１２の詳細構造を示
し、図７は検査ユニット１２の配線回路系を示す。この
検査ユニット１２は主に、各種端子、配管等を備えると
ともに圧力センサー１のホルダー１６を下端開口で保持
する電極カバー体２５と、ホルダー１６で保持した圧力
センサー１への電圧印加を可能とする電源切替体２６と
からなる。

【００２１】電極カバー体２５は、ホルダー１６で保持
した圧力センサー１の圧力導入管３及び電極２、２ａを
覆い得るように下端を開口した箱体形状を有し、スライ
ド枠１３で上下に移動させ得る。電極カバー体２５に
は、上面に圧力センサー１の圧力導入管３と配管８の分
岐管８ａとの間をつなぐための連結管２７、直流高電圧
を印加するための高圧電源２８への接続用の第１の端子
群２９ａ、２９ｂ、直流バイアス電圧を印加するための
直流電源３０への接続用の第２の端子群３１ａ〜３１
ｃ、圧力センサー１の電極２、２ａと第１の端子群２９
ａ、２９ｂの間を接続するための第３の端子群３２ａ〜
３２ｅ、圧力センサー１の電極２、２ａと第２の端子群
３１ａ、３１ｂ、３１ｃの間を接続するための第４の端
子群間３３ａ〜３３ｃを設けてある。第１の端子群２９
ａ、２９ｂと第２の端子群３１ａ〜３１ｃは、電極カバ
ー体２５の一側の側面上縁に取り付けた断面逆Ｌ字状の
ホルダープレート３４に設けてあるが、もちろん電極カ
バー体２５の上面に直接設けてもよい。また電極カバー
体２５のホルダープレート３４を設けた側と対向する側
の側面２５ａには、上述の各端子群間または各端子群と
連結管２７の間を切替接続するための多数の切替配線を
途中を分断して設けてある。

【００２２】切替配線のうち、第２の端子群３１ａ〜３
１ｃと第４の端子群３３ａ〜３３ｃ間の切替配線３５〜
３７は、分断位置に臨む端部３５ａ、３５ｂ、３６ａ、
３６ｂ、３７ａ、３７ｂを電極カバー手段２５の移動方
向、即ち図中上下方向に沿って側面２５ａ上に現れる長
さに長短の差異を形成してずらし、かつ互いに平行に設
けてある。また第１の端子２９ｂと第３の端子群３２ａ
〜３２ｅ間の切替配線３８ａ、３８ｂ、３８ｃ間は図示
のように短絡配線３９により短絡してあり、短絡位置か
ら延びる端部４０ａ、４０ｂ、４０ｃを、第２の端子群
３１ａ〜３１ｃと第４の端子群３３ａ〜３３ｃ間の切替
配線３５〜３７の分断位置に臨む短い方の端部３５ａ、
３６ａ、３７ａに間隔を置いて対向させるとともに、長
い方の端部３５ｂ、３６ｂ、３７ｂと電極カバー手段２
５の移動方向との直交方向で隣り合う位置に配置してあ
る。

【００２３】また第１の端子２９ａと連結管２７間の切
替配線４１と第１の端子２９ｂと第３の端子群３２ａ〜
３２ｅ間の切替配線３８ａ間には、これら切替配線３８
ａ、４１間を接・断するスイッチ４２を設けてある。こ
のスイッチ４２は、スイッチ部４３と可動部４４とから
なり、可動部４４を電源切替体２６により後述のように
駆動されてスイッチ部４３のオン、オフを切り替えるよ
うになっている。

【００２４】電源切替体２６は、電極カバー体２５の上
下動位置に応じて上述の各切替配線の分断位置を選択的
に２種類の形態のいずれかで接続し、高圧電源２８また
は直流電源３０のいずれかからホルダー１６で保持した
圧力センサー１に電圧印加を可能とするもので、回転可
能かつ同軸に保持した複数の電極ローラー４５ａ、４５
ｂ、４５ｃと、スイッチ４２の可動部４４駆動用のロー
ラー４６と、これらローラーの軸４７の両端を支持する
軸受４８、４８を備えた支持ベース４９からなる。各電
極ローラー４５ａ、４５ｂ、４５ｃは、第２の端子群３
１ａ〜３１ｃと４の端子群３３ａ〜３３ｃ間の切替配線
３５〜３７の分断位置に臨む端部３５ａと３５ｂ、３６
ａと３６ｂ、３７ａと３７ｂ間及び長い方の端部３５
ｂ、３６ｂ、３７ｂと短絡配線３９の短絡位置から延び
る端部４０ａ〜４０ｃとの間を跨いで接続できるように
なっている。また可動部４４駆動用のローラー４６は、
通常時は電極カバー体２５の側面２５ａから突出してい
る可動部４４と当接してこれを押し込み、スイッチ４２
のスイッチ部４３をオンとすることができるようになっ
ている。もちろん各ローラーは電極カバー体２５の側面
２５ａと摺接可能な状態に配置する。

【００２５】即ち、電極カバー体２５の上下移動によっ
て図７中のＡの状態（動作状態を示す図８でも対応して
状態Ａとして示す。）となったときは、切替配線３５〜
３７の端部３５ａと３５ｂ、３６ａと３６ｂ、３７ａと
３７ｂ間を各対応する電極ローラー４５ａ、４５ｂ、４
５ｃが接続する。これによって直流電源３０から第４の
端子群間３３ａ〜３３ｃを介して圧力センサー１の電極
２へ直流バイアス電圧を印加できるようになる。また図
７中のＢの状態（図８でも対応して状態Ｂとして示
す。）となったときは切替配線３５〜３７の長い方の端
部３５ｂ、３６ｂ、３７ｂと短絡配線３９の端部４０ａ
〜４０ｃとの間が接続し、またＢの状態の時には、可動
部４４と当接してこれを押し込み、スイッチ４２のスイ
ッチ部４３をオンとする。これによって高圧電源２８か
ら連結管２７、第３の端子群３２ａ〜３２ｅ及び第４の
端子群３３ａ〜３３ｃを介して圧力センサー１の圧力導
入管３と電極２、２ａのすべてに直流高電圧を印加でき
るようになる。

【００２６】上述の検査装置により圧力センサー１に対
して実施する本発明の良否判定方法の一実施形態を説明
する。なお以下では直流バイアス電圧を６Ｖ、直流高電
圧を６００Ｖ（但し０Ｖ〜６００Ｖの間で可変）として
説明するが、本発明はこれらの値に限定されるものでは
ない。なお印加する直流高電圧を６００Ｖとしているの
は、別途の試験により真空センサーとして一般に用いら
れる圧力センサーが内蔵する歪電圧増幅用のＩＣ回路が
破壊されるのは、放電電圧が１０００Ｖ程度となったと
きであったので、安全性を見込んで設定したためであ
る。

【００２７】図９のフローチャートをも参照して説明す
る。まずベルトコンベア１５の搬送プレート１７上に圧
力センサー１を保持した多数のホルダー１６を載置し、
搬送プレート１７及びベースプレート１８を駆動して圧
力センサー１を移動させ、検査ユニット１２の直下位置
で停止させる（ステップ１）。もちろん多数の圧力セン
サー１を同時に検査することになるので、搬送プレート
１７上での保持位置により対象となる圧力センサー１を
識別できるように、番号付け等をしておくとよい。この
状態で突き上げ装置２０を駆動して一列のホルダー１６
・・・を上方へ押し上げ、これら圧力センサー１上へ検
査ユニット１２を降下させてゆき、電極カバー体２５の
下端開口で各ホルダー１６を嵌着保持する。この時、直
流電源３０の始動を準備するとともにロータリーポンプ
７を始動させ、直流電源３０から第４の端子群間３３ａ
〜３３ｃを介して圧力センサー１の電極２へ直流バイア
ス電圧を印加できるようにするとともに、連結管２７を
介して圧力導入管３に所定の真空圧１０² Ｐａを印加す
る。

【００２８】この状態でさらに検査ユニット１２を降下
させ、電極カバー体２５と電源切替体２６の位置関係を
図７、８のＡの状態とする（ステップ２）。この状態で
第１次検査を行う。即ち、直流電源３０から電極２ａに
６Ｖの直流バイアス電圧を印加し、その出力電圧を測定
し、出力電圧値が１Ｖ以下であれば良品と判断し、出力
電圧値がゼロまたは１Ｖを超えれば不良品と判断する
（ステップ３、３ａ）。ついでロータリーポンプ７から
圧力導入管３に印加する真空圧を徐々に大気圧に近づけ
てゆき、第２次検査を行い、真空圧が１０⁴ 〜１０⁵ で
上述の出力電圧値が急激に上昇するものを良品とし、出
力電圧が変化しないものを不良品と判断する（ステップ
４、４ａ）。

【００２９】この判断の根拠を図１０により説明する。
図１０は、良品であると判明している圧力センサー１に
直流電源３０により直流バイアス電圧Ｖｃｃ＝６Ｖを印
加して図２のピラニー真空計９の測定端子圧Ｐｘを徐々
に増加させながら電圧計３０ａにより出力電圧Ｖｏを測
定した結果を示す。即ち、良品の圧力センサー１の出力
は、大気圧近くまではバイアス電圧の１〜２割程度の小
さい値ながら、圧力増加とともに僅かに増加してゆき、
大気圧に近付くと急激に直流バイアス電圧値まで増加す
る。これに対し、不良品の圧力センサーの出力は測定端
子圧Ｐｘの変化にかかわらず直流バイアス電圧に近い一
定値となることがわかっている。

【００３０】その後、検査ユニット１２をさらに降下さ
せ、電極カバー体２５と電源切替体２６の位置関係を図
７、８のＢの状態とし（ステップ５）、この状態で第３
次検査を行う。即ち、すべて短絡した状態にある電極
２、２ａと圧力導入管３への連結管２７、従って電極
２、２ａと圧力センサー１の金属ケース６の間に６００
Ｖの直流高電圧を印加し、放電が生じなければ良品と判
断する（ステップ６）。また放電が生じれば不良品であ
るかどうかを判断するために、第４次検査を実施する
（ステップ７）。第３、４次検査はパッシェンの法則
（Paschen's Law ）を用いた判断を行うものである。パ
ッシェンの法則は、周知のように放電現象を利用する真
空漏れ率の測定に利用できるものであり、電場が一様で
気体の温度、湿度が一定ならば、火花放電を起こすのに
必要な最小電圧を、電極間距離と気体の圧力との積の関
数として定められるというものである。

【００３１】これを図１１を参照して説明する。図１１
は、圧力センサー１内の圧力Ｐ１を変化させたときの放
電開始電圧Ｖｄおよび放電電流Ｉｄの測定結果を示す。
放電が生じた圧力センサー１について放電電圧と放電電
流との関係値は以下のように計算する。即ち、真空圧の
違いによって生じる放電開始電圧または放電電流からそ
の真空圧Ｐ１を推定し、圧力センサーに封じ込んだとき
の真空圧Ｐ０との差と、封じ込み時から測定時までの時
間Ｔとから、その期間における平均的な真空漏れ率Ｒを
下記の数式１により概算する。

【数１】Ｒ＝（Ｐ１−Ｐ０）・ｖ／Ｔ ［Ｐａ・
ｃｃ／秒］ 式中のｖは圧力センサーの内部容積である。

【００３２】図１１に示すように、放電電圧の最大値を
６００Ｖとすると、試験対象となる圧力センサー１では
放電が生じる圧力範囲は約２０Ｐａ〜８００Ｐａで、こ
の範囲では放電電流値からそのときの圧力Ｐ１がほぼ正
確にわかり、圧力センサー１内の真空度が推定できる。
たとえば圧力センサー１の真空封じ込み時圧力Ｐ０＝
６．７Ｐａ、封じ込み時から１０日後の圧力Ｐ１＝２０
Ｐａ、センサー内部容積ｖ＝０．５ｃｃとすれば、上述
の数式１より、真空漏れ率はＲ＝０．７７×１０^-5（Ｐ
ａ・ｃｃ／秒）となり、この場合は辛うじて最大許容真
空漏れ率Ｒｍ以下となる。逆に、Ｐ１＝８００Ｐａとす
ればＲ＝４．６×１０^-4（Ｐａ・ｃｃ／秒）となり、最
大許容真空漏れ率Ｒｍの約５０倍の速さで真空漏れが生
じていることになる。一方、２０Ｐａ以下の圧力及び８
００Ｐａ以上の圧力範囲では放電が生じないので、圧力
センサー１内の真空度が推定できないが、２０Ｐａ以下
の圧力のものは良品であり、８００Ｐａ以上となるもの
は既に述べた直流バイアス電圧の印加による第１次検査
で不良品と判断されているので、実際には第３、４次の
検査では既に対象外となっている。

【００３３】そして、上述した第１次〜第４次検査で不
良と判断した圧力センサーは突き上げ装置２０によりホ
ルダー１６の下可動プレート２３を開いて落下させ、別
途の経路により排除する（ステップ８）。もちろん、金
属ケース６内の圧電素子５の電気回路と、圧電素子５と
電極２、２ａ間の配線５ａに短絡や断線のように正規に
作動しない原因があれば、上述のいずれかの検査におい
て正常な出力が生じないので不良品と判断できる。

【００３４】

【発明の効果】本発明に係る圧力センサーの良否判定方
法は以上説明してきたようなものなので、従来の放射能
利用による方法に代わって、真空漏れ及び電気回路的な
欠陥について放電と電気出力特性の両者から広範囲にわ
たって実用的に推定でき、しかも簡易かつ安全で、かつ
正確、無公害、経済的なものとなるという効果がある。

【００３５】本発明に係る圧力センサーの検査装置は以
上説明してきたようなものなので、本発明の良否判定方
法による真空漏れ及び電気回路的な欠陥についての検査
をほぼ同時に行える安全かつ無公害の装置となるという
効果がある。

【００３８】また請求項８に係る圧力センサーの検査装
置は、複数個の圧力センサーを同時に検査できるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】測定対象となる圧力センサーの構造を示す平面
断面図（Ａ）及び側面部分断面図（Ｂ）である。

【図２】図１の圧力センサーの測定系を示す概念図であ
る。

【図３】多数の圧力センサーて良否判定を行えるように
した本発明に係る検査装置の一実施形態の外観を示す斜
視図である。

【図４】圧力センサーのホルダーを示す斜視図である。

【図５】圧力センサーのホルダーを示す分解斜視図であ
る。

【図６】検査ユニットの詳細構造を示す斜視図である。

【図７】検査ユニットの配線回路系を示す回路図であ
る。

【図８】検査ユニットの動作状態を示す斜視図である。

【図９】本発明の検査装置の動作及び本発明に係る良否
判定法法の一実施形態のフローチャートである。

【図１０】圧力センサーへの直流バイアス電圧印加によ
る測定結果を示す図である。

【図１１】圧力センサーへの直流高電圧印加による放電
結果を示す図である。

【符号の説明】

１ 圧力センサー １ａ ベース ２、２ａ 電極 ３ 圧力導入管 ４ 金属ダイアフラム ５ 圧電素子 ５ａ 配線 ６ 金属ケース ７ ロータリーポンプ ８ 配管 ９ ピラニー真空計 １０ 圧力調整弁 １１ 制御部 １２ 検査ユニット １３ スライド枠 １４ ガイド枠部 １５ ベルトコンベア １６ ホルダー ２０ 突き上げ装置 ２１ 固定プレート ２２、２３ 可動プレート ２５ 電極カバー体 ２５ａ 電極カバー体の側面 ２６ 電源切替体 ２７ 連結管 ２８ 高圧電源 ２９ａ、２９ｂ 第１の端子群 ３０ 直流電源 ３１ａ〜３１ｃ 第２の端子群 ３２ａ〜３２ｅ 第３の端子群 ３３ａ〜３３ｃ 第４の端子群間 ３５〜３７ 切替配線 ３５ａ、３５ｂ、３６ａ、３６ｂ、３７ａ、３７ｂ 同
端部 ３８ａ、３８ｂ、３８ｃ 切替配線 ３９ 短絡配線 ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ 短絡位置から延びる端部 ４１ 切替配線 ４２ スイッチ ４５ａ、４５ｂ、４５ｃ 電極ローラー ４６ スイッチ駆動用のローラー

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケース内の真空度と圧力導入部に印加さ
   れる圧力との差から生じる歪電圧によって圧力を測定す
   る歪みゲージ式の圧力センサーについて真空漏れの良否
   を判定する方法であって、 上記圧力導入部に所定の真空圧を印加した状態で電極に
   所定値の直流バイアス電圧を印加してその出力電圧を測
   定し、該出力電圧値が所定値以下であれば良品と、出力
   電圧値がゼロまたは所定値を超えれば不良品と判断し、 ついで上記圧力導入部に印加した真空圧を徐々に大気圧
   に近づけてゆき、その途中で上記出力電圧値が急激に上
   昇するものを良品とし、出力電圧が変化しないものを不
   良品とし、 さらに上記電極のすべてを短絡して上記ケースとの間に
   所定値の直流高電圧を印加し、放電が生じなければ良品
   とし、放電が生じれば不良品と判断することを特徴とす
   る圧力センサーの良否判定方法。
2. 【請求項２】 上記放電が生じて不良品と判断した圧力
   センサーについて、放電電圧値と放電電流値との関係か
   ら真空漏れ率を算出し、該漏れ率が所定値以下であれば
   良品と判断することを特徴とする請求項１の圧力センサ
   ーの良否判定方法。
3. 【請求項３】 ケース内の真空度と圧力導入管に印加さ
   れる圧力との差から生じる歪電圧によって圧力を測定す
   る歪みゲージ式の圧力センサーについて真空漏れの有無
   及び良否を測定する検査装置であって、 上記圧力導入管及び電極部を上記ケースから外部に突出
   させたまま該ケースを着脱自在に保持するセンサー保持
   手段と、 上記圧力導入管及び電極部を覆い得る形状を有し移動さ
   せ得る本体部に、上記圧力導入管への連結管、直流高電
   圧を印加するための高圧電源への接続用の第１の端子
   群、直流バイアス電圧を印加するための直流電源への接
   続用の第２の端子群、上記電極部と上記第１の端子群の
   間を接続するための第３の端子群、上記電極部と上記第
   ２の端子群の間を接続するための第４の端子群間、及び
   上記端子群間または上記端子群と上記連結管を切替接続
   するための切替配線とを設け、上記本体部の一側面にお
   いて上記切替配線の途中を分断してなる電極カバー手段
   と、 上記電極カバー手段の移動位置に応じて上記切替配線の
   分断位置を選択的に２種類の形態のいずれかで接続し、
   上記高圧電源または上記直流電源のいずれかから電圧印
   加を可能とする電源切替手段とからなることを特徴とす
   る圧力センサーの検査装置。
4. 【請求項４】 上記第２、第４の端子群間の上記切替配
   線は、上記分断位置に臨む端部を、上記本体部の一側面
   に上記電極カバー手段の移動方向に沿って現れる長さに
   長短の差異を形成しかつ並設してなり、 上記第１の端子群のいずれかと上記第３の端子群間の上
   記切替配線間を短絡するとともに該短絡位置から延びる
   端部を、上記第２、第４の端子群間の上記切替配線の上
   記分断位置に臨む短い方の端部に間隔を置いて対向しか
   つ長い方の端部と上記電極カバー手段の移動方向との直
   交方向で隣り合う位置に配し、 上記電極カバー手段の移動位置に応じて、上記第２、第
   ４の端子群間の上記切替配線の上記分断位置または上記
   第２、第４の端子群間の上記切替配線の上記分断位置に
   おける上記長い方の端部と上記第１の端子群のいずれか
   と上記第３の端子群間の上記切替配線間の上記短絡位置
   から延びる端部との間を、選択的に接続可能としてなる
   ことを特徴とする請求項３の圧力センサーの検査装置。
5. 【請求項５】 上記第１の端子群のいずれかと上記第３
   の端子群間の上記切替配線間と、上記第１の端子群の他
   のいずれかと上記連結管間の上記切替配線間に、これら
   切替配線間を接・断するスイッチング手段を設けてなる
   ことを特徴とする請求項４の圧力センサーの検査装置。
6. 【請求項６】 上記電源切替手段が回転可能かつ同軸に
   保持した複数の電極ローラーからなり、各電極ローラー
   が、上記第２、第４の端子群間の上記切替配線の上記分
   断位置及び上記第２、第４の端子群間の上記切替配線の
   上記分断位置における上記長い方の端部と上記第１の端
   子群のいずれかと上記第３の端子群間の上記切替配線間
   の上記短絡位置から延びる端部との間を跨いで接続可能
   な長さを有することを特徴とする請求項４または５の圧
   力センサーの検査装置。
7. 【請求項７】 上記電源切替手段が、上記電極ローラー
   と同軸に上記スイッチング手段の接・断駆動用のローラ
   ーを含むことを特徴とする請求項６の圧力センサーの検
   査装置。
8. 【請求項８】 請求項４〜７の装置を複数個連設すると
   ともに、コンベア等の移送手段上に載置した上記圧力セ
   ンサーに対して着脱可能とする手段を備え、複数個の上
   記圧力センサーを同時に検査可能としたことを特徴とす
   る圧力センサーの検査装置。