JPH09241079A - 長尺焼結体の製造方法 - Google Patents
長尺焼結体の製造方法Info
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- JPH09241079A JPH09241079A JP8075375A JP7537596A JPH09241079A JP H09241079 A JPH09241079 A JP H09241079A JP 8075375 A JP8075375 A JP 8075375A JP 7537596 A JP7537596 A JP 7537596A JP H09241079 A JPH09241079 A JP H09241079A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 吊り焼成中の焼結体の落下を防止しつつ、真
直性に優れた長尺焼結体を得ることのできる製造方法を
提供する。 【解決手段】 本発明の長尺焼結体の製造方法は、長尺
焼結体をその長手方向に引張応力がかからない状態で焼
成する工程（横焼成工程）と、横焼成工程の後に、長尺
焼結体を長手方向に吊した状態で焼成する工程（吊り焼
成工程）と、を含む。そして、吊り焼成工程の焼成温度
を横焼成工程の焼成温度よりも低い温度としたことを特
徴とする。
直性に優れた長尺焼結体を得ることのできる製造方法を
提供する。 【解決手段】 本発明の長尺焼結体の製造方法は、長尺
焼結体をその長手方向に引張応力がかからない状態で焼
成する工程（横焼成工程）と、横焼成工程の後に、長尺
焼結体を長手方向に吊した状態で焼成する工程（吊り焼
成工程）と、を含む。そして、吊り焼成工程の焼成温度
を横焼成工程の焼成温度よりも低い温度としたことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックパイプ
等の長尺の焼結体を製造する方法に関する。特には、曲
りの少ない長尺焼結体を歩留り良く製造することができ
る方法に関する。なお、本明細書中において、焼結体と
は焼成の対象となる未焼成の成形体並びに焼成中及び焼
成後の焼結体のいずれをも含む意である。
等の長尺の焼結体を製造する方法に関する。特には、曲
りの少ない長尺焼結体を歩留り良く製造することができ
る方法に関する。なお、本明細書中において、焼結体と
は焼成の対象となる未焼成の成形体並びに焼成中及び焼
成後の焼結体のいずれをも含む意である。
【０００２】
【従来の技術】円筒型セルタイプの固体電解質型燃料電
池（以下Ｔ−ＳＯＦＣとも言う）の空気電極や多孔質支
持管を例にとって従来技術を説明する。Ｔ−ＳＯＦＣ
は、特公平１−５９７０５等によって公知である。Ｔ−
ＳＯＦＣは、多孔質支持管−空気電極−固体電解質−燃
料電極−インターコネクターで構成される円筒型セルを
有する。空気電極側に酸素（空気）を流し、燃料電極側
にガス燃料（Ｈ2 、ＣＯ等）を流してやると、このセル
内でＯ2-イオンが移動して化学的燃焼が起り、空気電極
と燃料電極の間に電位が生じ発電が行われる。なお、空
気電極が支持管を兼用する形式のものもある。
池（以下Ｔ−ＳＯＦＣとも言う）の空気電極や多孔質支
持管を例にとって従来技術を説明する。Ｔ−ＳＯＦＣ
は、特公平１−５９７０５等によって公知である。Ｔ−
ＳＯＦＣは、多孔質支持管−空気電極−固体電解質−燃
料電極−インターコネクターで構成される円筒型セルを
有する。空気電極側に酸素（空気）を流し、燃料電極側
にガス燃料（Ｈ2 、ＣＯ等）を流してやると、このセル
内でＯ2-イオンが移動して化学的燃焼が起り、空気電極
と燃料電極の間に電位が生じ発電が行われる。なお、空
気電極が支持管を兼用する形式のものもある。
【０００３】Ｔ−ＳＯＦＣの空気電極用の材料として、
特公平１−５９７０５では、ＬａＭｎＯ3 、ＬａＮｉＯ
3 等の酸化物セラミックスが提案されている。その後、
特開平２−２９３３８４によって、Ｌａ1-x Ｓｒx Ｍｎ
Ｏ3 が、特開平２−２８８１５９によって、Ｌａ1-x Ｓ
ｒx Ｍｎ1-y Ａy Ｏ3 （ＡはＣｕ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｍｇの一以上）が提案され
た。この空気電極パイプ（支持管兼用型）の寸法は、一
般的に径１０〜２０mm、厚さ１〜２mm、長さ１〜２ｍで
ある。
特公平１−５９７０５では、ＬａＭｎＯ3 、ＬａＮｉＯ
3 等の酸化物セラミックスが提案されている。その後、
特開平２−２９３３８４によって、Ｌａ1-x Ｓｒx Ｍｎ
Ｏ3 が、特開平２−２８８１５９によって、Ｌａ1-x Ｓ
ｒx Ｍｎ1-y Ａy Ｏ3 （ＡはＣｕ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｍｇの一以上）が提案され
た。この空気電極パイプ（支持管兼用型）の寸法は、一
般的に径１０〜２０mm、厚さ１〜２mm、長さ１〜２ｍで
ある。
【０００４】このような長尺のセラミック焼結体を製造
する際には、横方向の反りが問題となる。長尺焼結体の
反りを少なくする一つの方法として吊り焼成が行われ
る。吊り焼成は、焼結体を長手方向に吊り下げた状態で
焼成を行うものであり、焼結体の自重による引張り応力
が焼結体中に働いて焼結体に矯正力が加わるため、反り
の少ない焼結体を得ることができる。
する際には、横方向の反りが問題となる。長尺焼結体の
反りを少なくする一つの方法として吊り焼成が行われ
る。吊り焼成は、焼結体を長手方向に吊り下げた状態で
焼成を行うものであり、焼結体の自重による引張り応力
が焼結体中に働いて焼結体に矯正力が加わるため、反り
の少ない焼結体を得ることができる。
【０００５】特公平６−１０１１３には、長尺焼結体の
製造方法に関し、セラミックス長尺体を該セラミックス
原料の収縮開始温度以上で横焼成した後、次にそれ以上
の温度で吊り焼成するとの技術が開示されている。同公
報によれば、ＺｒＯ2 製の長さ１．１ｍ、径２０mmの棒
を、横焼成温度１，３００〜１，４５０℃、吊り焼成温
度１，４５０℃で焼成して良好な結果が得られたとして
いる。
製造方法に関し、セラミックス長尺体を該セラミックス
原料の収縮開始温度以上で横焼成した後、次にそれ以上
の温度で吊り焼成するとの技術が開示されている。同公
報によれば、ＺｒＯ2 製の長さ１．１ｍ、径２０mmの棒
を、横焼成温度１，３００〜１，４５０℃、吊り焼成温
度１，４５０℃で焼成して良好な結果が得られたとして
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特公平６−１
０１１３で具体的にその対象とされた材質・寸法以外の
長尺焼結体にあっては、吊り焼成前の横焼成の温度を低
くすると、横焼成時に十分に焼結が進まないために高温
強度が不足して、その後の吊り焼成において、自重によ
って焼結体が切れて焼結体が落下するおそれがあるもの
が多い。例えば、ランタンマンガナイトの収縮開始温度
は１，０００℃であるが、１，０００〜１，３５０℃の
範囲の温度で横焼成した焼結体を１，３５０℃を超える
温度で吊り焼成する場合、落下の危険性はきわめて高
い。
０１１３で具体的にその対象とされた材質・寸法以外の
長尺焼結体にあっては、吊り焼成前の横焼成の温度を低
くすると、横焼成時に十分に焼結が進まないために高温
強度が不足して、その後の吊り焼成において、自重によ
って焼結体が切れて焼結体が落下するおそれがあるもの
が多い。例えば、ランタンマンガナイトの収縮開始温度
は１，０００℃であるが、１，０００〜１，３５０℃の
範囲の温度で横焼成した焼結体を１，３５０℃を超える
温度で吊り焼成する場合、落下の危険性はきわめて高
い。
【０００７】本発明は、吊り焼成中の焼結体の落下を防
止しつつ、真直性に優れた長尺焼結体を得ることのでき
る製造方法を提供することを目的とする。より具体的に
は、同様の利点を有するランタンマンガナイト製等の固
体電解質型燃料電池用空気電極管の製造方法を提供する
ことを目的とする。
止しつつ、真直性に優れた長尺焼結体を得ることのでき
る製造方法を提供することを目的とする。より具体的に
は、同様の利点を有するランタンマンガナイト製等の固
体電解質型燃料電池用空気電極管の製造方法を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の長尺焼結体の製造方法は、長尺焼結体を、
その長手方向に実質的に引張応力がかからない状態で焼
成する工程（横焼成工程）と、横焼成工程の後に、長尺
焼結体を長手方向に吊した状態で焼成する工程（吊り焼
成工程）と、を含み；吊り焼成工程の焼成温度を横焼成
工程の焼成温度よりも低い温度としたことを特徴とす
る。
め、本発明の長尺焼結体の製造方法は、長尺焼結体を、
その長手方向に実質的に引張応力がかからない状態で焼
成する工程（横焼成工程）と、横焼成工程の後に、長尺
焼結体を長手方向に吊した状態で焼成する工程（吊り焼
成工程）と、を含み；吊り焼成工程の焼成温度を横焼成
工程の焼成温度よりも低い温度としたことを特徴とす
る。
【０００９】すなわち、横焼成工程において十分に高い
焼成温度で焼成した後に横焼成温度未満の温度で吊り焼
成するのである。ここで横焼成工程における焼成温度を
どの程度に選ぶかは、必要とされる焼結体の特性に応じ
て適当に選択することができる。横焼成中における焼結
体の姿勢は基本的には水平置きであるが、問題となるよ
うな引張り応力がかからなければ、それに限定されるも
のではない。
焼成温度で焼成した後に横焼成温度未満の温度で吊り焼
成するのである。ここで横焼成工程における焼成温度を
どの程度に選ぶかは、必要とされる焼結体の特性に応じ
て適当に選択することができる。横焼成中における焼結
体の姿勢は基本的には水平置きであるが、問題となるよ
うな引張り応力がかからなければ、それに限定されるも
のではない。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の製造方法は、特に上記長
尺焼結体が以下組成のセラミックパイプ、（Ｌａ1-x Ｍ
x ）1-a ＭｎＯ3 、０．１≦ｘ≦０．５、０＜ａ≦０．
１、ＭはＳｒ及び／又はＣａ、である場合において良好
な結果を発揮することができる。このようなランタンマ
ンガナイトは、固体電解質型燃料電池の空気電極用材料
として好適である。その際の横焼成温度は１，４００℃
以上が好適である。
尺焼結体が以下組成のセラミックパイプ、（Ｌａ1-x Ｍ
x ）1-a ＭｎＯ3 、０．１≦ｘ≦０．５、０＜ａ≦０．
１、ＭはＳｒ及び／又はＣａ、である場合において良好
な結果を発揮することができる。このようなランタンマ
ンガナイトは、固体電解質型燃料電池の空気電極用材料
として好適である。その際の横焼成温度は１，４００℃
以上が好適である。
【００１１】本発明の製造方法においては、特に上記横
焼成工程において溝付きのセッタの溝内に焼結体を置い
て焼成を行い、ここで、該溝が、焼結体の断面プロフィ
ルと実質的に同一の断面プロフィルを有することが好ま
しい。横焼成においては、焼結体の断面横方向に自重が
かかるため、その方向に焼結体がつぶれるような変形を
起こしやすい。例えば、円形のパイプが楕円形のパイプ
になるようなものである。これを極力防止すべく、上記
セッタの溝が変形防止の役割を果すのである。
焼成工程において溝付きのセッタの溝内に焼結体を置い
て焼成を行い、ここで、該溝が、焼結体の断面プロフィ
ルと実質的に同一の断面プロフィルを有することが好ま
しい。横焼成においては、焼結体の断面横方向に自重が
かかるため、その方向に焼結体がつぶれるような変形を
起こしやすい。例えば、円形のパイプが楕円形のパイプ
になるようなものである。これを極力防止すべく、上記
セッタの溝が変形防止の役割を果すのである。
【００１２】特にランタンマンガナイトやランタンクロ
マイト系の材料を焼成する場合にはセッタ材料として高
純度アルミナが好ましい。これらの材料は、Ｓｉとの反
応性が高いので、Ｓｉを含まない耐火材料がセッタ材料
として好ましいのである。現状においては、そのような
材料としては高純度アルミナが実用的である。ここで、
好ましいアルミナの純度は９９％以上である。
マイト系の材料を焼成する場合にはセッタ材料として高
純度アルミナが好ましい。これらの材料は、Ｓｉとの反
応性が高いので、Ｓｉを含まない耐火材料がセッタ材料
として好ましいのである。現状においては、そのような
材料としては高純度アルミナが実用的である。ここで、
好ましいアルミナの純度は９９％以上である。
【００１３】また、セッタの溝には、焼成する焼結体と
同一材料のコーティングを施すことが好ましい。焼成中
の原子の拡散に起因する焼結体の材質変化を極力抑制す
ることができるからである。コーティングの方法として
はスラリーコート法を採用できる。コーティングの厚さ
は０．０５〜２．０mmが好ましい。
同一材料のコーティングを施すことが好ましい。焼成中
の原子の拡散に起因する焼結体の材質変化を極力抑制す
ることができるからである。コーティングの方法として
はスラリーコート法を採用できる。コーティングの厚さ
は０．０５〜２．０mmが好ましい。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。熱分解法
で作製した（Ｌａ0.75Ｓｒ0.25）0.99ＭｎＯ3 粉（平均
粒径３０μmのもの９０％、０．５μm のもの１０％）
１００部に、有機バインダーを１０部、グリセリンを３
部、水を１０部加えて混練した。これを圧力３０kgf/cm
2 、５℃で押し出して外径１９mm、肉厚２．０mm、長さ
１，２００mmのパイプ状成形体を得た。これを乾燥（４
０℃）後、１７５℃で脱バインダした。
で作製した（Ｌａ0.75Ｓｒ0.25）0.99ＭｎＯ3 粉（平均
粒径３０μmのもの９０％、０．５μm のもの１０％）
１００部に、有機バインダーを１０部、グリセリンを３
部、水を１０部加えて混練した。これを圧力３０kgf/cm
2 、５℃で押し出して外径１９mm、肉厚２．０mm、長さ
１，２００mmのパイプ状成形体を得た。これを乾燥（４
０℃）後、１７５℃で脱バインダした。
【００１５】セッタとして、高純度アルミナ（アルミナ
分９９．５％、密度８５％）に、曲率半径８mmの半円断
面ストレート溝を掘ったものを準備した。溝の表面は、
上記成形体の製造に用いたのと同じ粉末をスラリーコー
ト法により厚さ０．５mmコーティングしておいた。
分９９．５％、密度８５％）に、曲率半径８mmの半円断
面ストレート溝を掘ったものを準備した。溝の表面は、
上記成形体の製造に用いたのと同じ粉末をスラリーコー
ト法により厚さ０．５mmコーティングしておいた。
【００１６】上記セッタに上記成形体をのせて、表１に
示す１，３１０〜１，５１０℃の各温度で５Hr横焼成し
た。次に、同表１に示す１，３００〜１，５００℃の各
温度で吊り焼成した。焼成後の焼結体の寸法は、ほぼ外
径１６mm、肉厚１．７mm、長さは１，０００mmであっ
た。その空孔率は２８〜３９％であった。表１に、焼成
の結果を示す。落下とは、吊り焼成中に焼結体が切れて
落下したことを示す。表中の０．４、０．５、０．８等
の数字は反りの大きさ（mm）を示す。
示す１，３１０〜１，５１０℃の各温度で５Hr横焼成し
た。次に、同表１に示す１，３００〜１，５００℃の各
温度で吊り焼成した。焼成後の焼結体の寸法は、ほぼ外
径１６mm、肉厚１．７mm、長さは１，０００mmであっ
た。その空孔率は２８〜３９％であった。表１に、焼成
の結果を示す。落下とは、吊り焼成中に焼結体が切れて
落下したことを示す。表中の０．４、０．５、０．８等
の数字は反りの大きさ（mm）を示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】表において、横焼成温度１，３１０℃にお
いては、これよりも高い１，３５０〜１，５００℃での
吊り焼成ではいずれも焼結体が落下したが、吊り焼成温
度１，３００℃のときに反り０．４mmと良好な結果を示
した。横焼成温度１，３６０℃についても、吊り焼成温
度１，４００℃以上では落下となった。横焼成温度１，
４１０℃では、その温度よりも高温である１，４５０℃
での吊り焼成においても焼結体が落下することはなかっ
た。またそのとき反りは０．２mmときわめて小さかっ
た。しかし、この条件は、落下が発生しうる条件に近い
ため、焼結体の組成のバラツキや温度コントロールのバ
ラツキによっては、吊り焼成中に落下するおそれがある
ものと考えられる。横焼成温度１，４３５、１，４６０
℃についても同様な結果が見られた。横焼成温度１，５
１０℃では、吊り焼成温度１，４５０℃、１，５００℃
とも反りが比較的大きく、横焼成時の反りを矯正しきれ
ないような傾向も見られる。この表及びその他の特性か
ら考えて、最適横焼成温度は１，４００〜１，４６０
℃、吊り焼成温度はそれよりも１０〜３０℃下と考えら
れる。なお、この条件下でのセラミックパイプの断面の
真円度（最小径÷最大径×１００）は９５％以上であっ
た。さらにＳＥＭ／ＥＤＸにより観察した結果、表１の
全ての条件下で、セラミックパイプ表面の有害な組成変
化は見られなかった。
いては、これよりも高い１，３５０〜１，５００℃での
吊り焼成ではいずれも焼結体が落下したが、吊り焼成温
度１，３００℃のときに反り０．４mmと良好な結果を示
した。横焼成温度１，３６０℃についても、吊り焼成温
度１，４００℃以上では落下となった。横焼成温度１，
４１０℃では、その温度よりも高温である１，４５０℃
での吊り焼成においても焼結体が落下することはなかっ
た。またそのとき反りは０．２mmときわめて小さかっ
た。しかし、この条件は、落下が発生しうる条件に近い
ため、焼結体の組成のバラツキや温度コントロールのバ
ラツキによっては、吊り焼成中に落下するおそれがある
ものと考えられる。横焼成温度１，４３５、１，４６０
℃についても同様な結果が見られた。横焼成温度１，５
１０℃では、吊り焼成温度１，４５０℃、１，５００℃
とも反りが比較的大きく、横焼成時の反りを矯正しきれ
ないような傾向も見られる。この表及びその他の特性か
ら考えて、最適横焼成温度は１，４００〜１，４６０
℃、吊り焼成温度はそれよりも１０〜３０℃下と考えら
れる。なお、この条件下でのセラミックパイプの断面の
真円度（最小径÷最大径×１００）は９５％以上であっ
た。さらにＳＥＭ／ＥＤＸにより観察した結果、表１の
全ての条件下で、セラミックパイプ表面の有害な組成変
化は見られなかった。
【００１９】焼成の際は、試料を耐火レンガで覆った密
閉空間に置いて行った。これは、焼成中に試料の表面か
らＭｎが飛散して、焼結が阻害されることを防ぐためで
ある。耐火レンガで覆わない状態で焼成した場合、強度
は６０％以下に低下する恐れがある。
閉空間に置いて行った。これは、焼成中に試料の表面か
らＭｎが飛散して、焼結が阻害されることを防ぐためで
ある。耐火レンガで覆わない状態で焼成した場合、強度
は６０％以下に低下する恐れがある。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の長尺焼結体の製造方法によれば、真直性の良好な長尺
焼結体を歩留り良く製造することができる。また、横焼
成工程において溝付きのセッタの溝内に焼結体を置いて
焼成を行い、該溝が焼結体の断面プロフィルと実質的に
同一の断面プロフィルを有する場合、焼結体の断面形状
の変形も抑制することができる。さらに、セッタが高純
度アルミナからなり、溝の表面がセラミックパイプと同
組成のセラミック粉によって被覆されている場合、焼成
時におけるセラミックパイプ表面の組成変化を防止する
ことができる。これらの結果、形状的及び材質的に優れ
た固体電解質型燃料電池用空気電極管を提供することが
できる。
の長尺焼結体の製造方法によれば、真直性の良好な長尺
焼結体を歩留り良く製造することができる。また、横焼
成工程において溝付きのセッタの溝内に焼結体を置いて
焼成を行い、該溝が焼結体の断面プロフィルと実質的に
同一の断面プロフィルを有する場合、焼結体の断面形状
の変形も抑制することができる。さらに、セッタが高純
度アルミナからなり、溝の表面がセラミックパイプと同
組成のセラミック粉によって被覆されている場合、焼成
時におけるセラミックパイプ表面の組成変化を防止する
ことができる。これらの結果、形状的及び材質的に優れ
た固体電解質型燃料電池用空気電極管を提供することが
できる。
Claims (6)
- 【請求項１】 長尺焼結体を、その長手方向に実質的に
引張応力がかからない状態で焼成する工程（横焼成工
程）と、 横焼成工程の後に、長尺焼結体を長手方向に吊した状態
で焼成する工程（吊り焼成工程）と、を含み；吊り焼成
工程の焼成温度を横焼成工程の焼成温度よりも低い温度
としたことを特徴とする長尺焼結体の製造方法。 - 【請求項２】 上記長尺焼結体が以下組成のセラミック
パイプである請求項１記載の長尺焼結体の製造方法； （Ｌａ1-x Ｍx ）1-a ＭｎＯ3 ０．１≦ｘ≦０．５、０＜ａ≦０．１、ＭはＳｒ及び／
又はＣａ。 - 【請求項３】 上記セラミックパイプの横焼成工程にお
ける焼成温度が１４００℃以上である請求項２記載の長
尺焼結体の製造方法。 - 【請求項４】 上記横焼成工程において溝付きのセッタ
の溝内に焼結体を置いて焼成を行い、 ここで、該溝が、焼結体の断面プロフィルと実質的に同
一の断面プロフィルを有する請求項１〜３いずれか１項
記載の長尺焼結体の製造方法。 - 【請求項５】 上記セッタは高純度アルミナからなり、 上記溝の表面は上記セラミックパイプと同組成のセラミ
ック粉によって被覆されている請求項４記載の長尺焼結
体の製造方法。 - 【請求項６】 上記セラミックパイプの横焼成工程にお
ける焼成温度が１，４００〜１，４６０℃であり、上記
吊り焼成工程の焼成温度が横焼成温度よりも１０〜３０
℃低い請求項２記載の長尺焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075375A JPH09241079A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 長尺焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075375A JPH09241079A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 長尺焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09241079A true JPH09241079A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=13574403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8075375A Pending JPH09241079A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 長尺焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09241079A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016151043A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | 三井金属鉱業株式会社 | セラミックス製ターゲット材の製造方法および円筒形スパッタリングターゲット |
| CN111656589A (zh) * | 2018-04-18 | 2020-09-11 | 株式会社Lg化学 | 烧结用盒 |
-
1996
- 1996-03-06 JP JP8075375A patent/JPH09241079A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016151043A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | 三井金属鉱業株式会社 | セラミックス製ターゲット材の製造方法および円筒形スパッタリングターゲット |
| CN111656589A (zh) * | 2018-04-18 | 2020-09-11 | 株式会社Lg化学 | 烧结用盒 |
| EP3680971A4 (en) * | 2018-04-18 | 2021-01-13 | Lg Chem, Ltd. | COOKING CARTRIDGE |
| US11276864B2 (en) | 2018-04-18 | 2022-03-15 | Lg Chem, Ltd. | Cartridge for firing |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040713 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041125 |