JPH09239627A - Tool end height position controlling device and method - Google Patents

Tool end height position controlling device and method

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Publication number
JPH09239627A
JPH09239627A JP8075228A JP7522896A JPH09239627A JP H09239627 A JPH09239627 A JP H09239627A JP 8075228 A JP8075228 A JP 8075228A JP 7522896 A JP7522896 A JP 7522896A JP H09239627 A JPH09239627 A JP H09239627A
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JP
Japan
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tool
conductive resin
resin paste
bare chip
tip
Prior art date
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Application number
JP8075228A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Shiragami
貴史 白神
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely transfer conductive resin paste to a bump at the time when a bare chip holding tool is expanded and contracted by measuring the minute change in the tool tip and controlling the tool tip position according to the measuring result. SOLUTION: Since in the process to transfer conductive resin paste 5 to the bump of the bare tip part 1 adsorbedly held at the tip of a tool 3, the tool 3 is expanded by length δ due to thermal expansion, the travel amount of the tool 3 from standard height must not be considered to be L2, initial setting amount, but to be L2-δ. Accordingly, when a control section 9 controls a motor 6 for vertically moving the tool 3 to correct the travel amount of the tool 3 from the standard height when transferring the conductive resin paste 5 to L2-δ, the conductive resin paste 5 can normally be transferred to the bump of the bare tip part 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はチップボンダーに取
り付けてあるベアチップ部品を保持するツールの先端位
置を一定の高さに制御する装置及びその方法に関し、特
に表面実装型部品等に導電性ペーストを転写する場合の
位置を制御する装置及びその方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for controlling the tip position of a tool for holding a bare chip component attached to a chip bonder to a constant height, and more particularly, to a conductive paste for a surface mount type component or the like. The present invention relates to an apparatus and method for controlling the position when transferring.

【0002】[0002]

【従来の技術】IC素子等のベアチップ部品を電子機器
のプリント基板等に実装する方法としてフリップチップ
実装という方法があり、そのフリップチップ実装とは図
4(a)上面斜視図、(b)底面斜視図に示すようなベ
アチップ部品1の外表面に設けた電極にバンプ2、2、
……を設け、更に該バンプ2、2、……に後述する導電
性樹脂ペーストを塗布しプリント基板に接続固定する実
装方法である。
2. Description of the Related Art As a method of mounting a bare chip component such as an IC element on a printed circuit board of an electronic device, there is a method called flip chip mounting, which is a top perspective view of FIG. 4A and a bottom surface of FIG. The bumps 2, 2 are provided on the electrodes provided on the outer surface of the bare chip component 1 as shown in the perspective view.
Is provided, and the bumps 2, 2, ... Are further coated with a conductive resin paste described later and connected and fixed to a printed circuit board.

【0003】前述したように、ベアチップ部品をプリン
ト基板にフリップチップ実装する手段は、例えばチップ
ボンダー等の実装装置により行うのが一般的である。そ
の装置は、図5に示すような金属であってその内部を空
洞にした管状のツール3を設け、その内部を真空ポンプ
等で吸引することによってベアチップ部品1を前記ツー
ル3の先端に吸着保持し、更にツール3に所望の動きを
させることによって、後述する前記ベアチップ部品1の
バンプ表面への導電性樹脂ペースト塗布、ベアチップ部
品1をプリント基板への搭載、ツール3を加熱し前記導
電性樹脂ペーストを硬化することまでを一連の動作とし
ている。
As described above, flip-chip mounting of bare chip components on a printed circuit board is generally performed by a mounting device such as a chip bonder. The apparatus is provided with a tubular tool 3 made of a metal and having a hollow inside as shown in FIG. 5, and the bare chip component 1 is suction-held on the tip of the tool 3 by sucking the inside with a vacuum pump or the like. Then, by causing the tool 3 to move in a desired manner, a conductive resin paste is applied to the bump surface of the bare chip component 1 described later, the bare chip component 1 is mounted on a printed circuit board, and the tool 3 is heated to move the conductive resin. A series of operations is performed until the paste is cured.

【0004】図6は、ベアチップ部品をプリント基板に
フリップチップ実装するフローチャートを示したもので
ある。即ち、外表面にバンプを形成したベアチップ部品
を、前述したツール先端に吸引しながら保持(ステップ
1)し、前記バンプ表面に加熱硬化する導電性樹脂ペー
ストを塗布(ステップ2)した後に、前記ベアチップ部
品をプリント基板に載せ(ステップ3)、ツールを加熱
(ステップ4)することにより前記導電性樹脂ペースト
を硬化し、ベアチップ部品とプリント基板の電極パター
ンとを電気的に接続している。
FIG. 6 shows a flow chart for flip-chip mounting bare chip components on a printed circuit board. That is, a bare chip component having bumps formed on the outer surface is held by suction on the above-mentioned tool tip (step 1), and a conductive resin paste that is cured by heating is applied to the bump surface (step 2), and then the bare chip The component is placed on the printed circuit board (step 3), and the tool is heated (step 4) to cure the conductive resin paste to electrically connect the bare chip component and the electrode pattern of the printed circuit board.

【0005】図7(a)、(b)は、従来の前記ベアチ
ップ部品のバンプに導電性樹脂ペーストを塗布する方法
の一手段である転写する方法を示し、同図(b)は同図
(a)のA部拡大図である。即ち、転写ステージ4に所
要量の導電性樹脂ペースト5を備えておき、ツール3の
先端部にベアチップ部品1を吸着保持した状態とし、ツ
ール上下移動用モーター6により前記ツール3を下げる
ことによって、バンプ2、2、……に導電性樹脂ペース
ト5を転写する方法を示している。
FIGS. 7 (a) and 7 (b) show a transfer method, which is one means of applying a conductive resin paste to the bumps of the conventional bare chip component, and FIG. It is the A section enlarged view of a). That is, the transfer stage 4 is provided with a required amount of the conductive resin paste 5, the tip of the tool 3 holds the bare chip component 1 by suction, and the tool vertical movement motor 6 lowers the tool 3. A method of transferring the conductive resin paste 5 to the bumps 2, 2, ... Is shown.

【0006】尚、ツール3を移動するための制御は設定
値入力による制御で行っており、例えばツール3にロー
ドセル等のセンサー7を備え、そのセンサー7に所望の
荷重がかかるまでツール上下移動用モーター6を動かす
よう構成すれば前記ツール3の制御は可能である。或い
はツール上下移動用モーター6をステッピングモーター
で構成すればその回転数でツール3の制御が可能であ
る。従って、設定値に基づいてツール3を基準高さより
長さL2だけ移動したとき、ベアチップ部品1のバンプ
2、2、……の表面に導電性樹脂ペースト5が正常に転
写されることとなる。
The control for moving the tool 3 is performed by inputting a set value. For example, the tool 3 is provided with a sensor 7 such as a load cell, and the tool 7 is moved up and down until a desired load is applied to the sensor 7. The tool 3 can be controlled by arranging the motor 6 to move. Alternatively, if the tool up-and-down moving motor 6 is composed of a stepping motor, the tool 3 can be controlled by the rotation speed thereof. Therefore, when the tool 3 is moved by the length L2 from the reference height based on the set value, the conductive resin paste 5 is normally transferred to the surfaces of the bumps 2, 2, ... Of the bare chip component 1.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ようにベアチップ部品をツールの先端に吸着保持したま
までプリント基板に搭載し、そのツールを加熱して導電
性樹脂ペーストを硬化することによってベアチップ部品
を実装しているが、前記ツールは加熱することによって
長さδだけ熱膨張する。即ち、加熱することによって、
ツールが長さδだけ伸長した状態でベアチップ部品のバ
ンプに導電性樹脂ペーストを転写することとなり、図8
(a)、(b)に示すように、ツール上下移動用モータ
ー6を駆動してツール3を基準高さより長さL2移動す
るよう制御したところで、ツール3の先端部分、即ち、
ベアチップ部品1は長さL2+δ移動するのと同等とな
る。
However, as described above, the bare chip component is mounted on the printed circuit board while being sucked and held on the tip of the tool, and the tool is heated to cure the conductive resin paste to thereby leave the bare chip component. , The tool thermally expands by a length δ by heating. That is, by heating,
The conductive resin paste is transferred to the bumps of the bare chip component while the tool is extended by the length δ.
As shown in (a) and (b), when the tool 6 for moving the tool up and down is driven to control the tool 3 to move by the length L2 from the reference height, the tip portion of the tool 3, that is,
The bare chip component 1 is equivalent to moving the length L2 + δ.

【0008】従って、ベアチップ部品1は転写ステージ
4内の導電性樹脂ペースト5の中へ長さδだけ深く埋没
することとなり、導電性樹脂ペースト5をバンプ2、
2、……表面のみに正常に転写することができなくなる
という欠点があった。
Therefore, the bare chip component 1 is deeply embedded in the conductive resin paste 5 in the transfer stage 4 by the length δ, and the conductive resin paste 5 is bumped by the bumps 2,
2, ... There was a drawback that it was not possible to transfer normally to only the surface.

【0009】また、ベアチップ部品1が導電性樹脂ペー
スト5に埋没することによって、その外表面にも導電性
樹脂ペースト5が付着することとなるから、当該導電性
樹脂ペースト5がベアチップ部品1のバンプ2、2、…
…間、或いはバンプ2、2、……とプリント基板の電極
パターンの絶縁すべき端子間を短絡するという欠点があ
った。
Further, since the bare chip component 1 is buried in the conductive resin paste 5, the conductive resin paste 5 also adheres to the outer surface thereof, so that the conductive resin paste 5 is bumped to the bumps of the bare chip component 1. 2, 2, ...
, Or the bumps 2, 2, ... And the terminals to be insulated of the electrode pattern of the printed circuit board are short-circuited.

【0010】更に、熱膨張等によって、ツール3の長さ
が伸長した状態でその移動量を設定した後に、当該ツー
ル3の外周囲の温度等が変化することによってその長さ
が短く変化した場合、バンプ2、2、……が導電性樹脂
ペースト5に転写することができないので、ベアチップ
部品をプリント基板に実装することが不可能になるとい
う欠点があった。
Furthermore, when the length of the tool 3 is extended due to thermal expansion or the like and the movement amount is set, and then the length of the tool 3 is shortened due to a change in the temperature of the outer circumference of the tool 3 or the like. , Bumps 2, 2, ... Can not be transferred to the conductive resin paste 5, so that it is impossible to mount the bare chip component on the printed circuit board.

【0011】[0011]

【発明の目的】本発明は上述した如きベアチップ部品の
バンプに導電性樹脂ペーストを転写する際の欠点を除去
する為になされたものであって、ベアチップ部品を保持
するツールが伸縮したところでバンプに導電性樹脂ペー
ストを確実に転写するツール先端高さ位置制御装置及び
その方法を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks when transferring the conductive resin paste to the bumps of the bare chip component, and to form the bump on the bump when the tool for holding the bare chip component expands and contracts. An object of the present invention is to provide a tool tip height position control device and method for reliably transferring a conductive resin paste.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め本発明に関わるツール先端高さ位置制御装置は、部品
を固定するツール先端の位置を一定に制御する制御装置
において、ツール先端の微小変化を測定する機能と、そ
の測定結果を記憶する機能と、前記測定結果によりツー
ル先端の位置を制御する機能とを備えた装置である。
In order to achieve the above-mentioned object, a tool tip height position control device according to the present invention is a control device for controlling a position of a tool tip for fixing a component to a constant value. The apparatus has a function of measuring a change, a function of storing the measurement result, and a function of controlling the position of the tool tip based on the measurement result.

【0013】またその方法は、部品を固定するツール先
端の位置を一定に制御する制御方法において、ツール先
端の微小変化を測定し、その測定結果をツール上下移動
用モータの制御にフィードバックし、前記ツール先端の
位置を制御する方法である。
Further, the method is a control method in which the position of the tool tip for fixing a component is controlled to be constant, a minute change in the tool tip is measured, and the measurement result is fed back to the control of the tool vertical movement motor. This is a method of controlling the position of the tool tip.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態例を示
す図面に基づいて詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings showing an embodiment.

【0015】図1は本発明の実施の一形態例を示す、ツ
ール先端高さ位置制御装置の構成図である。即ち、ベア
チップ部品1を固定するツール3の先端の位置を制御す
る装置において、ツール3の長さの微小変化を測定する
機能と、前記測定結果に基づいてツール3の移動量を制
御する機能とを備えたことを特徴とするものである。
FIG. 1 is a block diagram of a tool tip height position control device showing an embodiment of the present invention. That is, in the device that controls the position of the tip of the tool 3 that fixes the bare chip component 1, a function that measures a minute change in the length of the tool 3 and a function that controls the movement amount of the tool 3 based on the measurement result. It is characterized by having.

【0016】尚、前記ツール3の伸長した長さを測定す
るための機能は、レベリングテーブル8と、ツール3を
移動したときに発生する圧力を測定するロードセル等の
センサー7と、制御部9とから構成し、ツール3の先端
にベアチップ部品1を吸着保持した状態で、そのツール
3をレベリングテーブル8に押しつけ、そのときに発生
する荷重をセンサー7により測定し、その測定結果に基
づいて制御部9がツール3の熱膨張した長さを計算し、
更に記憶する。
The function for measuring the extended length of the tool 3 includes a leveling table 8, a sensor 7 such as a load cell for measuring the pressure generated when the tool 3 is moved, and a controller 9. The tool 3 is pressed against the leveling table 8 in a state where the tip of the tool 3 is suction-held on the tip of the tool 3, the load generated at that time is measured by the sensor 7, and the control unit is based on the measurement result. 9 calculates the length of thermal expansion of tool 3,
Further memorize.

【0017】また、導電性樹脂ペーストを転写するため
にツールの移動量を制御する機能は、制御部と、ツール
3を移動したときに発生する圧力を測定するロードセル
等のセンサー7とから構成し、ツール3の伸長した長さ
の計算結果に基づいて制御部9がツール3の移動量を計
算し、ツール3の先端に保持したベアチップ部品1のバ
ンプに正常に導電性樹脂ペーストを転写するように構成
したものである。尚、ツール3の移動量の制御は、セン
サー7にて荷重を測定しながら行う構成としている。
The function of controlling the amount of movement of the tool for transferring the conductive resin paste is composed of a control section and a sensor 7 such as a load cell for measuring the pressure generated when the tool 3 is moved. , The control unit 9 calculates the movement amount of the tool 3 based on the calculation result of the extended length of the tool 3, and normally transfers the conductive resin paste to the bump of the bare chip component 1 held at the tip of the tool 3. It is configured in. The control of the movement amount of the tool 3 is performed while measuring the load by the sensor 7.

【0018】即ち、ベアチップ部品1の高さを一定とす
るためツール3の熱膨張により変化した長さを測定すれ
ばレベリング工程を実施した後、その測定結果に基づい
てツール3の移動量を制御することによって、ベアチッ
プ部品のバンプに導電性樹脂ペースト5を転写するよう
に制御することを特徴としたものである。
That is, in order to keep the height of the bare chip component 1 constant, if the length of the tool 3 changed by thermal expansion is measured, the leveling process is performed, and then the movement amount of the tool 3 is controlled based on the measurement result. By doing so, the conductive resin paste 5 is controlled to be transferred to the bumps of the bare chip component.

【0019】本発明による装置の動作は、先端にベアチ
ップ部品1を吸着保持した状態のツール3をレベリング
テーブル8に押しつけることによってレベリング工程を
行う。そのとき、ツール3の移動量を測定するようにロ
ードセル等のセンサー7を備えておき、そのセンサー7
にかかる荷重を測定する。そのとき、制御部9はセンサ
ー7の測定結果から、ツール3の基準高さからの移動量
L1を計算及び記憶する。
In the operation of the apparatus according to the present invention, the leveling process is performed by pressing the tool 3 with the tip of the bare chip component 1 sucked and held onto the leveling table 8. At that time, a sensor 7 such as a load cell is provided so as to measure the movement amount of the tool 3, and the sensor 7
Measure the load on. At that time, the control unit 9 calculates and stores the movement amount L1 of the tool 3 from the reference height based on the measurement result of the sensor 7.

【0020】その後、ツール3の先端部にそのままベア
チップ部品1を吸着保持した状態で、ベアチップ部品1
のバンプ2、2、……に転写ステージ4に備えた導電性
樹脂ペースト5を正常に転写し、前記ツールに備えたセ
ンサー7にかかる荷重を測定する。この測定結果に基づ
いて、制御部9はベアチップ部品のバンプへ導電性ペー
ストを転写するツール3の基準高さからの移動量L2を
計算及び記憶する。
Thereafter, the bare chip component 1 is sucked and held on the tip portion of the tool 3 as it is, and the bare chip component 1 is held.
The conductive resin paste 5 provided on the transfer stage 4 is normally transferred to the bumps 2, 2, ..., And the load applied to the sensor 7 provided on the tool is measured. Based on the measurement result, the control unit 9 calculates and stores the movement amount L2 from the reference height of the tool 3 that transfers the conductive paste to the bump of the bare chip component.

【0021】その後、ツール3は先端部にベアチップ部
品1を吸着保持した状態で、プリント基板(図示しな
い)上に前記ベアチップ部品を保持固定しながら、当該
ツール3を加熱して導電性樹脂ペースト5を硬化させ、
そのベアチップ部品1をプリント基板上に保持するとと
もにプリント基板上に設けた配線パターンと電気的に接
続する。
Thereafter, with the tip of the tool 3 holding the bare chip component 1 by suction, while holding the bare chip component on a printed circuit board (not shown), the tool 3 is heated and the conductive resin paste 5 is applied. Cure
The bare chip component 1 is held on the printed board and electrically connected to the wiring pattern provided on the printed board.

【0022】その後、ツール3はその先端に別のベアチ
ップ部品を吸着保持した後、プリント基板に実装する。
このとき、前述したように導電性樹脂ペーストを硬化す
るための加熱により、ツール3が長さδ膨張する。従っ
て、図2に示すようにツール3のレベリング工程におい
て、そのツール3の基準高さからの移動量はL1−δと
なる。
After that, the tool 3 sucks and holds another bare chip component at its tip and then mounts it on the printed circuit board.
At this time, as described above, the tool 3 expands by the length δ due to the heating for hardening the conductive resin paste. Therefore, as shown in FIG. 2, in the leveling process of the tool 3, the movement amount of the tool 3 from the reference height is L1-δ.

【0023】このときツール3に備えたセンサー7の測
定結果と、前回のレベリング工程の測定結果とに基づい
て、ツール3の伸びた長さδを制御部9が計算する。
At this time, the control unit 9 calculates the extended length δ of the tool 3 based on the measurement result of the sensor 7 provided in the tool 3 and the measurement result of the previous leveling process.

【0024】次に、ツール3の先端に吸着保持したベア
チップ部品のバンプに導電性樹脂ペーストを転写する工
程では、熱膨張によってツール3に長さδののびが発生
しているので、ツール3の基準高さからの移動量を初期
設定のL2ではなく、L2−δとしなければならない。
従って、図3に示すように、制御部9はツール上下移動
用モーター6を制御して、導電性樹脂ペースト5を転写
する際のツール3の基準高さからの移動量をL2−δと
することによって、ベアチップ部品1のバンプに導電性
樹脂ペースト5を正常に転写することができ、そのベア
チップ部品1をプリント基板に確実に搭載することがで
きる。
Next, in the step of transferring the conductive resin paste to the bumps of the bare chip component which is suction-held at the tip of the tool 3, the tool 3 is stretched by the length δ due to thermal expansion. The amount of movement from the reference height must be L2-δ, not L2 which is the initial setting.
Therefore, as shown in FIG. 3, the control unit 9 controls the tool vertical movement motor 6 to set the movement amount of the tool 3 from the reference height when transferring the conductive resin paste 5 to L2-δ. As a result, the conductive resin paste 5 can be normally transferred to the bumps of the bare chip component 1, and the bare chip component 1 can be reliably mounted on the printed board.

【0025】即ち、導電性樹脂ペーストの転写状況が良
好のときのレベリング工程のツール先端高さ位置と導電
性樹脂ペーストの転写時のツール先端高さ位置を記憶さ
せ、更に熱膨張したツールのレベリング工程のツール先
端高さ位置を検知することにより、ツールの伸びの長さ
を検知することができ、ツール3の移動量を制御するこ
とが可能となる。従ってベアチップ部品のバンプへの導
電性樹脂ペーストの転写不良によるプリント基板への実
装不良を防止することができるから、そのプリント基板
の歩留まり向上となる。
That is, the tool tip height position during the leveling process when the conductive resin paste transfer condition is good and the tool tip height position during the conductive resin paste transfer are stored, and the leveling of the tool that has been further thermally expanded is stored. By detecting the height position of the tool tip in the process, the length of extension of the tool can be detected, and the movement amount of the tool 3 can be controlled. Therefore, it is possible to prevent defective mounting on the printed circuit board due to defective transfer of the conductive resin paste to the bumps of the bare chip component, which improves the yield of the printed circuit board.

【0026】前述のようにレベリング工程或いは導電性
樹脂ペースト転写の際に、ツール3を動かすツール上下
移動用モーター6をステッピングモーターで構成すれ
ば、その回転数からツール3の熱膨張した長さの計算が
可能であり、更に導電性樹脂ペーストを転写するときに
はその回転数によってツール3の移動を制御することが
可能である。
As described above, if the tool up / down moving motor 6 for moving the tool 3 is composed of a stepping motor during the leveling process or the transfer of the conductive resin paste, the length of the tool 3 which has been thermally expanded is determined from the number of rotations thereof. Calculation is possible, and further, when transferring the conductive resin paste, the movement of the tool 3 can be controlled by the rotation speed thereof.

【0027】以上本発明をベアチップ部品をプリント基
板に実装する装置及び方法について説明したが、本発明
はこれのみに限定されるものではなく、一般的な電子部
品をプリント基板に実装する装置及びその方法に適用可
能であり、電子部品を確実に電子機器のプリント基板に
実装することが可能となる。
The present invention has been described above with respect to an apparatus and method for mounting a bare chip component on a printed board, but the present invention is not limited to this, and an apparatus and a device for mounting a general electronic component on the printed board. It is applicable to the method, and the electronic component can be surely mounted on the printed circuit board of the electronic device.

【0028】更に、従来はベアチップ部品に設けている
バンプには大きさ或いは高さ等の製造ばらつきがあるた
め、導電性樹脂ペーストの転写が不良となることがあっ
た。しかし本発明を適用することによって、ツールの伸
びと共にバンプの製造ばらつきをも測定することが可能
であるため、バンプに導電性樹脂ペーストを確実に転写
することが可能となる。
Further, since the bumps conventionally provided on the bare chip component have manufacturing variations such as size and height, the transfer of the conductive resin paste may be defective. However, by applying the present invention, it is possible to measure the manufacturing variation of the bump as well as the extension of the tool, so that it is possible to reliably transfer the conductive resin paste to the bump.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明は以上説明した如く構成するもの
であるからあらかじめ設定を記憶させることにより電子
部品の電極(バンプ)に導電性樹脂ペーストを転写する
際に、バンプのみに導電性樹脂ペーストを塗布すること
ができるので、導電性樹脂ペースト塗布の不良を防止
し、電子部品をプリント基板に搭載する上で著しい効果
を発揮する。
Since the present invention is configured as described above, when the conductive resin paste is transferred to the electrodes (bumps) of the electronic component by storing the settings in advance, the conductive resin paste is applied only to the bumps. Since it can be applied, it is possible to prevent defective application of the conductive resin paste and to exert a remarkable effect in mounting the electronic component on the printed board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係わるツール先端高さ制御装置の構成
FIG. 1 is a block diagram of a tool tip height control device according to the present invention.

【図2】本発明に係るツール先端高さ制御装置のレベリ
ング工程を示す図
FIG. 2 is a diagram showing a leveling process of the tool tip height control device according to the present invention.

【図3】本発明に係るツール先端高さ制御装置のツール
先端高さの制御を示す説明図
FIG. 3 is an explanatory view showing control of a tool tip height of a tool tip height control device according to the present invention.

【図4】(a)及び(b)はベアチップ部品の上面斜視
図及び底面斜視図
4A and 4B are a top perspective view and a bottom perspective view of a bare chip component.

【図5】実装装置のツールの構造図FIG. 5 is a structural diagram of a tool of a mounting apparatus

【図6】実装装置のベアチップ部品を実装するフローチ
ャート図
FIG. 6 is a flow chart for mounting bare chip components of a mounting apparatus.

【図7】(a)及び(b)は従来のベアチップ部品を実
装する方法を示すツール先端高さ制御装置の構成図及び
A部拡大図
7A and 7B are a block diagram of a tool tip height control device and a magnified view of part A showing a conventional method for mounting bare chip components.

【図8】(a)及び(b)はツールが熱膨張した状態で
部品を実装する方法を示すツール先端高さ制御装置の構
成図及びA部拡大図
8 (a) and 8 (b) are configuration diagrams of a tool tip height control device and an enlarged view of a portion A showing a method for mounting components in a state where the tool is thermally expanded.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……ベアチップ部品 2……バンプ 3……ツール 4……転写ステージ 5……導電性樹脂ペースト 6……ツール上下移動用モーター 7……センサー 8……レベリングテーブル 9……制御部 1 ... Bare chip part 2 ... Bump 3 ... Tool 4 ... Transfer stage 5 ... Conductive resin paste 6 ... Tool vertical movement motor 7 ... Sensor 8 ... Leveling table 9 ... Control unit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】部品を固定するツール先端の位置を一定に
制御する制御装置において、ツール先端の微小変化を測
定する機能と、その測定結果を記憶する機能と、前記測
定結果によりツール先端の位置を制御する機能とを備え
たことを特徴とするツール先端高さ位置制御装置。
1. A control device for controlling a position of a tool tip for fixing a component to be constant, a function of measuring a minute change of the tool tip, a function of storing the measurement result, and a position of the tool tip based on the measurement result. A tool tip height position control device having a function of controlling.
【請求項2】部品を固定するツール先端の位置を一定に
制御する制御方法において、ツール先端の微小変化を測
定し、その測定結果をツール上下移動用モータの制御に
フィードバックし、前記ツール先端の位置を制御するこ
とを特徴とするツール先端高さ位置制御方法。
2. A control method for controlling a position of a tool tip for fixing a component to be constant, measuring a minute change of the tool tip and feeding back the measurement result to the control of a tool up-and-down moving motor to obtain the tool tip. A tool tip height position control method characterized by controlling a position.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000188498A (en) * 1998-10-13 2000-07-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic component-packaging device and method
WO2016129151A1 (en) * 2015-02-13 2016-08-18 富士機械製造株式会社 Mounting device and control method for mounting device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000188498A (en) * 1998-10-13 2000-07-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic component-packaging device and method
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