JPH09236381A - 液体ヘリウムの製造方法及びその装置 - Google Patents
液体ヘリウムの製造方法及びその装置Info
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- JPH09236381A JPH09236381A JP3925696A JP3925696A JPH09236381A JP H09236381 A JPH09236381 A JP H09236381A JP 3925696 A JP3925696 A JP 3925696A JP 3925696 A JP3925696 A JP 3925696A JP H09236381 A JPH09236381 A JP H09236381A
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- cooled
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体ヘリウムの製造に際し、ヘリウムガス圧
縮機の動力費を削減すると共に、熱エネルギーの有効利
用を図る。 【解決手段】 中間熱媒体冷却用熱交換器７によりＬＮ
Ｇの顕熱で中間熱媒体を冷却し、この中間熱媒体の冷熱
によりヘリウムガス冷却用熱交換器１１でヘリウムガス
を予冷することにより、ヘリウムガス圧縮機１８にかか
る負荷を軽減して動力費を削減する。又、ＬＮＧの気化
に際して捨てられていたＬＮＧが保有している熱エネル
ギーをヘリウムガスの予冷熱源として用いることによ
り、熱エネルギーの有効利用を図る。
縮機の動力費を削減すると共に、熱エネルギーの有効利
用を図る。 【解決手段】 中間熱媒体冷却用熱交換器７によりＬＮ
Ｇの顕熱で中間熱媒体を冷却し、この中間熱媒体の冷熱
によりヘリウムガス冷却用熱交換器１１でヘリウムガス
を予冷することにより、ヘリウムガス圧縮機１８にかか
る負荷を軽減して動力費を削減する。又、ＬＮＧの気化
に際して捨てられていたＬＮＧが保有している熱エネル
ギーをヘリウムガスの予冷熱源として用いることによ
り、熱エネルギーの有効利用を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被冷却体を数ｋの
極低温に冷却する際に用いられる液体ヘリウムの製造方
法（ヘリウムの液化方法）及びその装置に関する。
極低温に冷却する際に用いられる液体ヘリウムの製造方
法（ヘリウムの液化方法）及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被冷却体を極低温に冷却するための装置
として、図２に示すようなヘリウム液化冷凍装置が公知
である。この図２において、１００はヘリウムガス冷却
用熱交換器群、１０１は液体ヘリウム貯槽、１０２はヘ
リウムガスを圧縮するための循環圧縮機、１０３は被冷
却体冷却部、１０４はヘリウムガスホルダーであって、
このヘリウム液化冷凍装置の場合は、ヘリウムガスを循
環圧縮機１０２で圧縮し、これをヘリウムガス冷却用熱
交換器群１００で冷却し、ＪＴ弁１０５を経由させるこ
とにより液体ヘリウム貯槽１０１内に液体ヘリウムを発
生させ、これを被冷却体冷却部１０３に導いて冷却を行
うものである。
として、図２に示すようなヘリウム液化冷凍装置が公知
である。この図２において、１００はヘリウムガス冷却
用熱交換器群、１０１は液体ヘリウム貯槽、１０２はヘ
リウムガスを圧縮するための循環圧縮機、１０３は被冷
却体冷却部、１０４はヘリウムガスホルダーであって、
このヘリウム液化冷凍装置の場合は、ヘリウムガスを循
環圧縮機１０２で圧縮し、これをヘリウムガス冷却用熱
交換器群１００で冷却し、ＪＴ弁１０５を経由させるこ
とにより液体ヘリウム貯槽１０１内に液体ヘリウムを発
生させ、これを被冷却体冷却部１０３に導いて冷却を行
うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のヘ
リウム液化冷凍装置にあっては、ヘリウムガスをそのま
ま循環圧縮機１０２で圧縮するため、ヘリウムガスのボ
リュウムが大きく、よって循環圧縮機１０２の負荷が増
大して動力費が非常に大きいという欠点がある。
リウム液化冷凍装置にあっては、ヘリウムガスをそのま
ま循環圧縮機１０２で圧縮するため、ヘリウムガスのボ
リュウムが大きく、よって循環圧縮機１０２の負荷が増
大して動力費が非常に大きいという欠点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、ヘリウムガス
圧縮機の動力費を大幅に削減する液体ヘリウムの製造方
法とその装置を提案するのが目的であって、その構成は
次のとおりである。
圧縮機の動力費を大幅に削減する液体ヘリウムの製造方
法とその装置を提案するのが目的であって、その構成は
次のとおりである。
【０００５】１．ＬＮＧの冷熱を利用して中間熱媒体を
冷却し、この冷却された中間熱媒体によりヘリウムガス
を予冷してからヘリウムガス圧縮機内に導入することに
より、ヘリウムガス圧縮機にかかる負荷を軽減してヘリ
ウムガス圧縮機の動力費を低減する液体ヘリウムの製造
方法。
冷却し、この冷却された中間熱媒体によりヘリウムガス
を予冷してからヘリウムガス圧縮機内に導入することに
より、ヘリウムガス圧縮機にかかる負荷を軽減してヘリ
ウムガス圧縮機の動力費を低減する液体ヘリウムの製造
方法。
【０００６】２．ＬＮＧタンクから払い出されたＬＮＧ
の一部又は全部を中間熱媒体冷却用熱交換器に導いて中
間熱媒体を冷却したのちＬＮＧ気化器に導く系路から成
る中間熱媒体冷却ラインと、前記中間熱媒体冷却用熱交
換器からＪＴ弁及びヘリウムガス冷却用熱交換器並びに
中間熱媒体圧縮機を経由して前記中間熱媒体冷却用熱交
換器に戻るヘリウムガス冷却ラインと、前記ヘリウムガ
ス冷却用熱交換器で冷却されたヘリウムガスをＪＴ弁を
経由することにより液体ヘリウム貯槽内に液体ヘリウム
を発生させてここに一旦液体ヘリウムを貯蔵するヘリウ
ムガス液化ラインと、前記液体ヘリウム貯槽内から液体
ヘリウムを被冷却体冷却部に導いて被冷却体を冷却し、
ガス化したヘリウムガスはヘリウムガス圧縮機を経由し
て前記ヘリウムガス冷却用熱交換器に戻す被冷却体冷却
ラインと、から成る液体ヘリウムの製造装置。
の一部又は全部を中間熱媒体冷却用熱交換器に導いて中
間熱媒体を冷却したのちＬＮＧ気化器に導く系路から成
る中間熱媒体冷却ラインと、前記中間熱媒体冷却用熱交
換器からＪＴ弁及びヘリウムガス冷却用熱交換器並びに
中間熱媒体圧縮機を経由して前記中間熱媒体冷却用熱交
換器に戻るヘリウムガス冷却ラインと、前記ヘリウムガ
ス冷却用熱交換器で冷却されたヘリウムガスをＪＴ弁を
経由することにより液体ヘリウム貯槽内に液体ヘリウム
を発生させてここに一旦液体ヘリウムを貯蔵するヘリウ
ムガス液化ラインと、前記液体ヘリウム貯槽内から液体
ヘリウムを被冷却体冷却部に導いて被冷却体を冷却し、
ガス化したヘリウムガスはヘリウムガス圧縮機を経由し
て前記ヘリウムガス冷却用熱交換器に戻す被冷却体冷却
ラインと、から成る液体ヘリウムの製造装置。
【０００７】３．液体ヘリウム貯槽内において発生した
ヘリウムガスをヘリウム冷却用熱交換器に導いて冷却を
行ったのち、被冷却体冷却ラインにおいてヘリウムガス
圧縮機の上流側に戻すヘリウムガス回収ラインを付加し
て成る前記２記載の液体ヘリウムの製造装置。
ヘリウムガスをヘリウム冷却用熱交換器に導いて冷却を
行ったのち、被冷却体冷却ラインにおいてヘリウムガス
圧縮機の上流側に戻すヘリウムガス回収ラインを付加し
て成る前記２記載の液体ヘリウムの製造装置。
【０００８】４．被冷却体冷却部において発生した余剰
のヘリウムガスを被冷却体冷却ラインから分岐してヘリ
ウムガスホルダー内に貯蔵するヘリウムガス貯蔵ライン
を付加して成る前記２又は３記載の液体ヘリウムの製造
装置。
のヘリウムガスを被冷却体冷却ラインから分岐してヘリ
ウムガスホルダー内に貯蔵するヘリウムガス貯蔵ライン
を付加して成る前記２又は３記載の液体ヘリウムの製造
装置。
【０００９】５．ヘリウムガスホルダー内に貯蔵された
ヘリウムガスを負荷に応じて被冷却体冷却ラインにおい
てヘリウムガス圧縮機の上流側に戻すヘリウム送出ライ
ンを付加して成る前記２又は３又は４記載の液体ヘリウ
ムの製造装置。
ヘリウムガスを負荷に応じて被冷却体冷却ラインにおい
てヘリウムガス圧縮機の上流側に戻すヘリウム送出ライ
ンを付加して成る前記２又は３又は４記載の液体ヘリウ
ムの製造装置。
【００１０】６．中間熱媒体として窒素を利用する前記
１又は２又は３又は４又は５記載の液体ヘリウムの製造
方法及びその装置。
１又は２又は３又は４又は５記載の液体ヘリウムの製造
方法及びその装置。
【００１１】
【作用】ＬＮＧの気化のみを行う場合には、ＬＮＧタン
ク内から払出ポンプによりＬＮＧを払い出してこれをＬ
ＮＧ気化器側に送出し、ここで海水等を利用して気化し
たのち、ＮＧ送出ラインを経由して消費側に送出する。
ク内から払出ポンプによりＬＮＧを払い出してこれをＬ
ＮＧ気化器側に送出し、ここで海水等を利用して気化し
たのち、ＮＧ送出ラインを経由して消費側に送出する。
【００１２】次に液体ヘリウムの製造を行う場合には、
払い出したＬＮＧの一部又は全部を中間熱媒体冷却用熱
交換器に導き、ここでＬＮＧの顕熱により中間熱媒体を
冷却してからＬＮＧ気化器側に送出する。ＬＮＧにより
冷却した中間熱媒体は、ＪＴ弁からヘリウムガス冷却用
熱交換器に導き、ここでヘリウムガスを冷却（予冷）し
たのち、中間熱媒体圧縮機により圧縮してから前記中間
熱媒体冷却用熱交換器に戻す。
払い出したＬＮＧの一部又は全部を中間熱媒体冷却用熱
交換器に導き、ここでＬＮＧの顕熱により中間熱媒体を
冷却してからＬＮＧ気化器側に送出する。ＬＮＧにより
冷却した中間熱媒体は、ＪＴ弁からヘリウムガス冷却用
熱交換器に導き、ここでヘリウムガスを冷却（予冷）し
たのち、中間熱媒体圧縮機により圧縮してから前記中間
熱媒体冷却用熱交換器に戻す。
【００１３】ヘリウムガス冷却用熱交換器で冷却したヘ
リウムガスは、ヘリウムガス液化ラインのＪＴ弁により
液体ヘリウム貯槽内において液化してここに一旦貯蔵
し、この貯槽から被冷却体冷却部に導いて被冷却体を冷
却する。被冷却体冷却部においてガス化したヘリウムガ
スは、ヘリウム圧縮機により圧縮してから前記ヘリウム
ガス冷却用熱交換器に戻す。
リウムガスは、ヘリウムガス液化ラインのＪＴ弁により
液体ヘリウム貯槽内において液化してここに一旦貯蔵
し、この貯槽から被冷却体冷却部に導いて被冷却体を冷
却する。被冷却体冷却部においてガス化したヘリウムガ
スは、ヘリウム圧縮機により圧縮してから前記ヘリウム
ガス冷却用熱交換器に戻す。
【００１４】液体ヘリウム貯槽内において発生したヘリ
ウムガスの一部は、負荷に応じてヘリウムガス回収ライ
ンを経由して前記ヘリウムガス冷却用熱交換器に導き、
ここで冷却してから被冷却体冷却ラインにおいてヘリウ
ムガス圧縮機の上流側に戻す。被冷却体冷却部で発生し
たヘリウムガスであって余剰のものは、ヘリウムガスホ
ルダーに一旦貯蔵し、負荷に応じてヘリウムガス送出ラ
インから被冷却体冷却ラインに戻す。
ウムガスの一部は、負荷に応じてヘリウムガス回収ライ
ンを経由して前記ヘリウムガス冷却用熱交換器に導き、
ここで冷却してから被冷却体冷却ラインにおいてヘリウ
ムガス圧縮機の上流側に戻す。被冷却体冷却部で発生し
たヘリウムガスであって余剰のものは、ヘリウムガスホ
ルダーに一旦貯蔵し、負荷に応じてヘリウムガス送出ラ
インから被冷却体冷却ラインに戻す。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１に基づ
いて説明する。１はＬＮＧタンク、２はＬＮＧ払出ライ
ン、３は払出ポンプ、４はＬＮＧ気化器、５はＮＧ送出
ラインである。６は前記払出ライン２を分岐した中間熱
媒体冷却ラインであって、この先は混合器８を介して払
出ライン２に結ばれている。なお、この実施例におい
て、中間熱媒体として窒素が利用されている。
いて説明する。１はＬＮＧタンク、２はＬＮＧ払出ライ
ン、３は払出ポンプ、４はＬＮＧ気化器、５はＮＧ送出
ラインである。６は前記払出ライン２を分岐した中間熱
媒体冷却ラインであって、この先は混合器８を介して払
出ライン２に結ばれている。なお、この実施例におい
て、中間熱媒体として窒素が利用されている。
【００１６】７は中間熱媒体冷却ライン６に取り付けら
れたＬＮＧの顕熱で中間熱媒体を冷却する中間熱媒体冷
却用熱交換器である。９は前記中間熱媒体冷却用熱交換
器７を経由し、ＪＴ弁１０、ヘリウムガス冷却用熱交換
器１１、中間熱媒体圧縮機１２を経由して中間熱媒体冷
却用熱交換器７に戻るヘリウムガス冷却ラインである。
れたＬＮＧの顕熱で中間熱媒体を冷却する中間熱媒体冷
却用熱交換器である。９は前記中間熱媒体冷却用熱交換
器７を経由し、ＪＴ弁１０、ヘリウムガス冷却用熱交換
器１１、中間熱媒体圧縮機１２を経由して中間熱媒体冷
却用熱交換器７に戻るヘリウムガス冷却ラインである。
【００１７】１３は前記ヘリウムガス冷却用熱交換器１
１を経由してＪＴ弁１４から液体ヘリウム貯槽１５に至
る液体ヘリウムガス液化ライン、１６は前記液体ヘリウ
ム貯槽１５から被冷却体冷却部１７に至る液体ヘリウム
送出ライン、２０は被冷却体冷却部１７からヘリウムガ
ス圧縮機１８を経由してヘリウムガス冷却用熱交換器１
１に至るヘリウムガス戻しラインである。なお、液体ヘ
リウム送出ライン１６とヘリウムガス戻しライン２０を
併せて被冷却体冷却ラインと称す。
１を経由してＪＴ弁１４から液体ヘリウム貯槽１５に至
る液体ヘリウムガス液化ライン、１６は前記液体ヘリウ
ム貯槽１５から被冷却体冷却部１７に至る液体ヘリウム
送出ライン、２０は被冷却体冷却部１７からヘリウムガ
ス圧縮機１８を経由してヘリウムガス冷却用熱交換器１
１に至るヘリウムガス戻しラインである。なお、液体ヘ
リウム送出ライン１６とヘリウムガス戻しライン２０を
併せて被冷却体冷却ラインと称す。
【００１８】１９は前記液体ヘリウム貯槽１５内に発生
したヘリウムガスをヘリウムガス冷却用熱交換器１１を
経由してヘリウムガス戻しライン２０に戻すためのヘリ
ウムガス回収ライン、２１はヘリウムガス戻しライン２
０を分岐し、加熱器２２を経由してヘリウムガスホルダ
ー２３に至るヘリウムガス貯蔵ライン、２４はヘリウム
ガスホルダー２３からヘリウムガス戻しライン２０に至
るヘリウムガス送出ラインである。図中ａ、ｂ、ｃ、ｄ
はバルブである。
したヘリウムガスをヘリウムガス冷却用熱交換器１１を
経由してヘリウムガス戻しライン２０に戻すためのヘリ
ウムガス回収ライン、２１はヘリウムガス戻しライン２
０を分岐し、加熱器２２を経由してヘリウムガスホルダ
ー２３に至るヘリウムガス貯蔵ライン、２４はヘリウム
ガスホルダー２３からヘリウムガス戻しライン２０に至
るヘリウムガス送出ラインである。図中ａ、ｂ、ｃ、ｄ
はバルブである。
【００１９】上記実施例に係る液体ヘリウムの製造装置
について、その運転例を詳述する。先ず、ＬＮＧを気化
して燃料又は原料として供給する場合には、ＬＮＧタン
ク１内に貯蔵されたＬＮＧを払出ポンプ３により払い出
し、この払い出したＬＮＧを払出ライン２からＬＮＧ気
化器４に導き、ここで気化したのち、ＮＧ送出ライン５
を経由して消費側に送出する。
について、その運転例を詳述する。先ず、ＬＮＧを気化
して燃料又は原料として供給する場合には、ＬＮＧタン
ク１内に貯蔵されたＬＮＧを払出ポンプ３により払い出
し、この払い出したＬＮＧを払出ライン２からＬＮＧ気
化器４に導き、ここで気化したのち、ＮＧ送出ライン５
を経由して消費側に送出する。
【００２０】次に、ＬＮＧの顕熱を予冷に用いて液体ヘ
リウムを製造する場合について詳述する。 ＬＮＧタン
ク１から払い出したＬＮＧの一部又は全部を中間熱媒体
冷却ライン６から中間熱媒体冷却用熱交換器７に導き、
ここで中間熱媒体に冷熱を与えて払出ライン２に戻す。
リウムを製造する場合について詳述する。 ＬＮＧタン
ク１から払い出したＬＮＧの一部又は全部を中間熱媒体
冷却ライン６から中間熱媒体冷却用熱交換器７に導き、
ここで中間熱媒体に冷熱を与えて払出ライン２に戻す。
【００２１】中間熱媒体冷却用熱交換器７でＬＮＧの顕
熱で冷却された中間熱媒体は、ヘリウムガス冷却ライン
９のＪＴ弁１０からヘリウムガス冷却用熱交換器１１に
導き、ここでヘリウムガスを冷却（予冷）し、ヘリウム
ガス圧縮機１８により圧縮して前記中間熱媒体冷却用熱
交換器７に戻す。
熱で冷却された中間熱媒体は、ヘリウムガス冷却ライン
９のＪＴ弁１０からヘリウムガス冷却用熱交換器１１に
導き、ここでヘリウムガスを冷却（予冷）し、ヘリウム
ガス圧縮機１８により圧縮して前記中間熱媒体冷却用熱
交換器７に戻す。
【００２２】ヘリウムガス冷却用熱交換器１１で冷却さ
れたヘリウムガスは、液体ヘリウムガス液化ライン１３
のＪＴ弁１４により液体ヘリウム貯槽１５内に液体ヘリ
ウムを発生させてここに一旦貯蔵する。貯蔵した液体ヘ
リウムは、液体ヘリウム送出ライン１６を経由して被冷
却体冷却部１７に導き、ここで被冷却体を冷却し、発生
したヘリウムガスはヘリウム圧縮機１８により圧縮して
ヘリウムガス冷却用熱交換器１１に戻す。
れたヘリウムガスは、液体ヘリウムガス液化ライン１３
のＪＴ弁１４により液体ヘリウム貯槽１５内に液体ヘリ
ウムを発生させてここに一旦貯蔵する。貯蔵した液体ヘ
リウムは、液体ヘリウム送出ライン１６を経由して被冷
却体冷却部１７に導き、ここで被冷却体を冷却し、発生
したヘリウムガスはヘリウム圧縮機１８により圧縮して
ヘリウムガス冷却用熱交換器１１に戻す。
【００２３】液体ヘリウム貯槽１５内において蒸発によ
り発生したヘリウムガスは、ヘリウムガス回収ライン１
９を経由して前記ヘリウムガス冷却用熱交換器１１で冷
却したのち、戻しライン２０に戻す。被冷却体冷却部１
７で発生したヘリウムガスであって余剰のものは、加熱
器２２で加熱したのち、ヘリウムガスホルダー２３に導
いてここに貯蔵しておき、負荷に応じてヘリウムガス送
出ライン２４からヘリウムガス戻しライン２０に戻す。
り発生したヘリウムガスは、ヘリウムガス回収ライン１
９を経由して前記ヘリウムガス冷却用熱交換器１１で冷
却したのち、戻しライン２０に戻す。被冷却体冷却部１
７で発生したヘリウムガスであって余剰のものは、加熱
器２２で加熱したのち、ヘリウムガスホルダー２３に導
いてここに貯蔵しておき、負荷に応じてヘリウムガス送
出ライン２４からヘリウムガス戻しライン２０に戻す。
【００２４】
【発明の効果】本発明は以上のように、ＬＮＧの顕熱を
利用して中間熱媒体を冷却し、この中間熱媒体によりヘ
リウムガスを冷却（予冷）しながら液体ヘリウムを製造
するようにしたので、このＬＮＧにより予冷した分、ヘ
リウムガスの圧縮に用いられているヘリウムガス圧縮機
の動力費を削減できる。
利用して中間熱媒体を冷却し、この中間熱媒体によりヘ
リウムガスを冷却（予冷）しながら液体ヘリウムを製造
するようにしたので、このＬＮＧにより予冷した分、ヘ
リウムガスの圧縮に用いられているヘリウムガス圧縮機
の動力費を削減できる。
【００２５】又、ＬＮＧ気化器で放棄されるＬＮＧの顕
熱を利用するため、熱エネルギーの有効利用が可能であ
る。
熱を利用するため、熱エネルギーの有効利用が可能であ
る。
【図１】本発明に係る液体ヘリウムの製造方法とその装
置の一例を示す説明図。
置の一例を示す説明図。
【図２】従来の液体ヘリウムの製造方法とその装置の一
例を示す説明図。
例を示す説明図。
１ ＬＮＧタンク ２ ＬＮＧ払出ライン ３ 払出ポンプ ４ ＬＮＧ気化器 ５ ＮＧ送出ライン ６ 中間熱媒体冷却ライン ７ 中間熱媒体冷却用熱交換器 ８ 混合器 ９ ヘリウムガス冷却ライン １０ ＪＴ弁 １１ ヘリウムガス冷却用熱交換器 １２ 中間熱媒体圧縮機 １３ 液体ヘリウムガス液化ライン １４ ＪＴ弁 １５ 液体ヘリウム貯槽 １６ 液体ヘリウム送出ライン １７ 被冷却体冷却部 １８ ヘリウムガス圧縮機 １９ ヘリウムガス回収ライン ２０ ヘリウムガス戻しライン ２１ ヘリウムガス貯蔵ライン ２２ 加熱器 ２３ ヘリウムガスホルダー ２４ ヘリウムガス送出ライン
Claims (6)
- 【請求項１】 ＬＮＧの冷熱を利用して中間熱媒体を冷
却し、この冷却された中間熱媒体によりヘリウムガスを
予冷してからヘリウムガス圧縮機内に導入することによ
り、ヘリウムガス圧縮機にかかる負荷を軽減してヘリウ
ムガス圧縮機の動力費を低減する液体ヘリウムの製造方
法。 - 【請求項２】 ＬＮＧタンクから払い出されたＬＮＧの
一部又は全部を中間熱媒体冷却用熱交換器に導いて中間
熱媒体を冷却したのちＬＮＧ気化器に導く系路から成る
中間熱媒体冷却ラインと、 前記中間熱媒体冷却用熱交換器からＪＴ弁及びヘリウム
ガス冷却用熱交換器並びに中間熱媒体圧縮機を経由して
前記中間熱媒体冷却用熱交換器に戻るヘリウムガス冷却
ラインと、 前記ヘリウムガス冷却用熱交換器で冷却されたヘリウム
ガスをＪＴ弁を経由することにより液体ヘリウム貯槽内
に液体ヘリウムを発生させてここに一旦液体ヘリウムを
貯蔵するヘリウムガス液化ラインと、 前記液体ヘリウム貯槽内から液体ヘリウムを被冷却体冷
却部に導いて被冷却体を冷却し、ガス化したヘリウムガ
スはヘリウムガス圧縮機を経由して前記ヘリウムガス冷
却用熱交換器に戻す被冷却体冷却ラインと、 から成る液体ヘリウムの製造装置。 - 【請求項３】 液体ヘリウム貯槽内において発生したヘ
リウムガスをヘリウム冷却用熱交換器に導いて冷却を行
ったのち、被冷却体冷却ラインにおいてヘリウムガス圧
縮機の上流側に戻すヘリウムガス回収ラインを付加して
成る請求項２記載の液体ヘリウムの製造装置。 - 【請求項４】 被冷却体冷却部において発生した余剰の
ヘリウムガスを被冷却体冷却ラインから分岐してヘリウ
ムガスホルダー内に貯蔵するヘリウムガス貯蔵ラインを
付加して成る請求項２又は３記載の液体ヘリウムの製造
装置。 - 【請求項５】 ヘリウムガスホルダー内に貯蔵されたヘ
リウムガスを負荷に応じて被冷却体冷却ラインにおいて
ヘリウムガス圧縮機の上流側に戻すヘリウム送出ライン
を付加して成る請求項２又は３又は４記載の液体ヘリウ
ムの製造装置。 - 【請求項６】 中間熱媒体として窒素を利用する請求項
１又は２又は３又は４又は５記載の液体ヘリウムの製造
方法及びその装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3925696A JPH09236381A (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 液体ヘリウムの製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3925696A JPH09236381A (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 液体ヘリウムの製造方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236381A true JPH09236381A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12548068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3925696A Pending JPH09236381A (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 液体ヘリウムの製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236381A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013207302A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | General Electric Co <Ge> | 電気部品を冷却するためのシステムおよび方法 |
| CN104792113A (zh) * | 2014-01-22 | 2015-07-22 | 中国科学院理化技术研究所 | 氦液化器及其控制方法 |
| CN110608581A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-12-24 | 北京中科富海低温科技有限公司 | 一种内纯化器和氦液化器 |
| CN110986484A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-04-10 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种利用lng厂尾气进行氦气提取的工艺系统 |
| CN116592579A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-08-15 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种粗氦气精制提纯系统 |
-
1996
- 1996-02-27 JP JP3925696A patent/JPH09236381A/ja active Pending
Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
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