JPH09222310A - Device for inspecting bend of lead wire - Google Patents

Device for inspecting bend of lead wire

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Publication number
JPH09222310A
JPH09222310A JP5253796A JP5253796A JPH09222310A JP H09222310 A JPH09222310 A JP H09222310A JP 5253796 A JP5253796 A JP 5253796A JP 5253796 A JP5253796 A JP 5253796A JP H09222310 A JPH09222310 A JP H09222310A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
lead wire
inner lead
irradiating
camera
Prior art date
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Pending
Application number
JP5253796A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuo Moriya
一男 守矢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority to JP5253796A priority Critical patent/JPH09222310A/en
Publication of JPH09222310A publication Critical patent/JPH09222310A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To inspect any upward or downward bend of a lead wire by irradiating the lead wire held in the specified attitude with lights with wavelengths different from each other from different directions. SOLUTION: A first illuminating means 9 emits a red light 7 to an inner lead held in the specified attitude on a tape 1 from a first direction. A second illuminating means 13 emits a blue light 11 with a second wavelength to the inner lead from a second direction different from the first direction. A color TV camera 15 picks up both red and blue lights reflecting at the same time on the inner lead. When the inner lead has any curvature, the TV camera 15 becomes sensitive to the red light and weak in the blue light, that is, the balance of light reception intensity in the TV camera 15 is changed. Therefore, the presence or absence of bend of the inner lead can be judged by observing the change in balance through the TV camera 15.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームや
TAB用のインナーリード等のリード線の曲り(おじぎ
や跳ね上り)の有無を検査する装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting lead wires such as lead frames and inner leads for TAB for bending (bows and jumps).

【0002】[0002]

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】図6
に示すように、リードフレームやTAB用のインナーリ
ード2は、片持ちになっており、容易に曲がりやすい構
造を有する。そして、図7に示すように、インナーリー
ド1が上方や下方に曲がっていると、インナーリードを
半導体チップ3の表面電極5と接続する際に問題が生じ
る。
Prior Art and Problems to be Solved by the Invention FIG.
As shown in, the lead frame and the inner lead 2 for TAB are cantilevered and have a structure that is easily bent. Then, as shown in FIG. 7, if the inner lead 1 is bent upward or downward, a problem occurs when the inner lead is connected to the surface electrode 5 of the semiconductor chip 3.

【0003】そこで、本発明の目的は、インナーリード
等のリード線の上方や下方への曲りの有無を検査する装
置を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting the presence or absence of bending of lead wires such as inner leads upward or downward.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、第1の発明に係るリード線の曲りの検査装置は、一
定の姿勢で保持されるリード線に対して第1の波長の光
を第1の方向から照射する第1の照射手段と、前記リー
ド線に対して前記第1波長とは異なる第2の波長の光を
前記第1方向とは異なる第2の方向から照射する第2の
照射手段と、前記第1および第2の照射手段により照射
され、前記リード線から同時に反射される前記第1およ
び第2の光を同時に観察する観察手段とを具備すること
を特徴とする。
In order to achieve this object, a lead wire bending inspection apparatus according to a first aspect of the present invention applies light of a first wavelength to a lead wire held in a fixed posture. A first irradiating means for irradiating from a first direction and a second irradiating means for irradiating the lead wire with light of a second wavelength different from the first wavelength from a second direction different from the first direction. And an observing means for simultaneously observing the first and second light emitted by the first and second irradiating means and simultaneously reflected from the lead wire.

【0005】また第2の発明に係るリード線の曲りの検
査装置は、一定の姿勢で保持されるリード線に対して光
を一定の方向から照射する光照射手段と、これによって
照射され、前記リード線によって反射される光を一定の
方向から観察する観察手段とを具備することを特徴とす
る。
The lead wire bending inspection apparatus according to the second aspect of the present invention includes a light irradiating means for irradiating the lead wire, which is held in a fixed posture, with light from a fixed direction. An observation means for observing the light reflected by the lead wire from a fixed direction is provided.

【0006】また、第3の発明に係るリード線の曲りの
検査装置は、一定の姿勢で保持され、一定方向へ移動す
るリード線に対し、一定の方向から光を照射する光照射
手段と、これによって照射され、前記リード線によって
正反射される光を光電変換するとともに、前記移動方向
とは直角な方向に配置された一次元センサとを具備する
ことを特徴とする。
A lead wire bending inspection apparatus according to a third aspect of the present invention includes a light irradiating means for irradiating a lead wire, which is held in a fixed posture and moves in a fixed direction, with light from a fixed direction. Light emitted by this and photoelectrically converted by the lead wire is photoelectrically converted, and a one-dimensional sensor arranged in a direction perpendicular to the moving direction is provided.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(第1実施形態)図1は、本発明の第1の実施形態に係
るインナーリードの曲りの検査装置を示す概略図であ
る。同図に示すように、この検査装置は、一定の姿勢で
保持されるTABテープ1上のインナーリードに対して
赤色光7を第1の方向から照射する第1の照射手段9
と、インナーリードに対して第2の波長の光である青色
光11を前記第1方向とは異なる第2の方向から照射す
る第2の照射手段13と、前記第1および第2の照射手
段9、13により照射され、インナーリードから同時に
反射される赤および青色光を同時に観察するためのカラ
ーTVカメラ15を備える。
(First Embodiment) FIG. 1 is a schematic view showing an inner lead bending inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. As shown in the figure, this inspection apparatus has a first irradiation means 9 for irradiating the inner lead on the TAB tape 1 held in a fixed posture with red light 7 from a first direction.
A second irradiating means 13 for irradiating the inner lead with blue light 11 having a second wavelength from a second direction different from the first direction, and the first and second irradiating means. A color TV camera 15 is provided for simultaneously observing the red and blue light emitted from the inner leads 9 and 13 and reflected by the inner leads.

【0008】この構成において、図2に示すようにイン
ナーリード2に曲りがあるときは、TVカメラ15への
入射光の強度は、赤色光7は強く、青色光11が弱いと
いうように、TVカメラ15による赤色光と青色光との
受光強度のバランスが変化する。したがって、このバラ
ンスの変化をTVカメラ15を介して観察することによ
りインナーリードの曲りの有無を検査することができ
る。 (第2実施形態)図3は、本発明の第2の実施形態に係
るインナーリードの曲りの検査装置を示す概略図であ
る。同図に示すように、この検査装置は、一定の姿勢で
保持されるTABテープ1上のインナーリードに対して
光17を一定の方向から照射する光照射手段19と、こ
れによって照射され、インナーリードによって反射され
る光を一定の方向から観察するための白黒TVカメラ2
1とを備える。
In this structure, when the inner lead 2 is bent as shown in FIG. 2, the intensity of light incident on the TV camera 15 is such that the red light 7 is strong and the blue light 11 is weak. The balance of the received light intensity of the red light and the blue light by the camera 15 changes. Therefore, by observing this change in balance through the TV camera 15, it is possible to inspect whether or not the inner lead is bent. (Second Embodiment) FIG. 3 is a schematic view showing an inner lead bending inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention. As shown in the figure, this inspection apparatus includes a light irradiating means 19 for irradiating the inner lead on the TAB tape 1 held in a certain posture with light 17 from a certain direction, and the inner irradiating means 19 for irradiating the inner lead. A black and white TV camera 2 for observing the light reflected by the leads from a certain direction.
1 is provided.

【0009】この構成において、図4に示すようにイン
ナーリード2に曲りがあるときは、TVカメラ21への
入射光の強度は、曲りの方向によって変化する。したが
ってこの強度変化をTVカメラ21を介して観察するこ
とによりインナーリードの曲りの有無を検査することが
できる。 (第3実施形態)図5は、本発明の第3の実施形態に係
るインナーリードの曲りの検査装置を示す概略図であ
る。同図に示すように、この検査装置は、一定の姿勢で
保持され、一定方向23へ移動するTABテープ1上の
インナーリードに対し、一定の方向から光25を照射す
る光照射手段27と、これによって照射され、インナー
リードによって正反射される光29を光電変換するとと
もに、前記移動方向とは直角な方向に配置された一次元
センサを有する一次元TVカメラ31とを備える。この
場合、光25およびその正反射光29を含む平面と、イ
ンナーリードの進行方向23とがほぼ平行になるように
装置は配置される。
In this structure, when the inner lead 2 is bent as shown in FIG. 4, the intensity of light incident on the TV camera 21 changes depending on the bending direction. Therefore, by observing this intensity change through the TV camera 21, it is possible to inspect whether or not the inner lead is bent. (Third Embodiment) FIG. 5 is a schematic diagram showing a bending inspection device for an inner lead according to a third embodiment of the present invention. As shown in the figure, the inspection apparatus is a light irradiating means 27 for irradiating the inner lead on the TAB tape 1 which is held in a fixed posture and moves in a fixed direction 23 with light 25 from a fixed direction. A one-dimensional TV camera 31 having a one-dimensional sensor arranged in a direction perpendicular to the moving direction is provided while photoelectrically converting the light 29 that is irradiated by this and is regularly reflected by the inner lead. In this case, the device is arranged so that the plane including the light 25 and its regular reflection light 29 and the traveling direction 23 of the inner lead are substantially parallel to each other.

【0010】この構成において、TABテープ1上のイ
ンナーリードに曲りがあると、一次元TVカメラ31へ
入射する正反射光29の強度が減少する。したがって、
一次元センサで得られる正反射光29の光強度に基づい
てインナーリードの曲りの有無を検査することができ
る。
In this structure, if the inner lead on the TAB tape 1 is bent, the intensity of the regular reflection light 29 incident on the one-dimensional TV camera 31 is reduced. Therefore,
Whether or not the inner lead is bent can be inspected based on the light intensity of the regular reflection light 29 obtained by the one-dimensional sensor.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、簡
単な構成でリード線の曲りを検査することができる。
As described above, according to the present invention, the bending of the lead wire can be inspected with a simple structure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の第1の実施形態に係るインナーリー
ドの曲りの検査装置を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing a bending inspection device for an inner lead according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1の装置における作用を説明するための模
式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the operation of the apparatus of FIG.

【図3】 本発明の第2の実施形態に係るインナーリー
ドの曲りの検査装置を示す概略図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a bending inspection device for an inner lead according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 図2の装置における作用を説明するための模
式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the operation of the apparatus of FIG.

【図5】 本発明の第3の実施形態に係るインナーリー
ドの曲りの検査装置を示す概略図である。
FIG. 5 is a schematic view showing a bending inspection device for an inner lead according to a third embodiment of the present invention.

【図6】 インナーリードの構造を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a structure of an inner lead.

【図7】 インナーリードの曲りによる問題を説明する
ための模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining a problem due to bending of an inner lead.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:TABテープ、2:インナーリード、3:半導体チ
ップ、5:表面電極、7:赤色光、9:第1の照射手
段、11:青色光、第2の照射手段13、15:カラー
TVカメラ、17:光、19:光照射手段、21:白黒
TVカメラ、25:光、29:正反射光、31:一次元
TVカメラ。
1: TAB tape, 2: inner lead, 3: semiconductor chip, 5: surface electrode, 7: red light, 9: first irradiation means, 11: blue light, second irradiation means 13, 15: color TV camera , 17: light, 19: light irradiation means, 21: black and white TV camera, 25: light, 29: specular reflection light, 31: one-dimensional TV camera.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一定の姿勢で保持されるリード線に対し
て第1の波長の光を第1の方向から照射する第1の照射
手段と、前記リード線に対して前記第1波長とは異なる
第2の波長の光を前記第1方向とは異なる第2の方向か
ら照射する第2の照射手段と、前記第1および第2の照
射手段により照射され、前記リード線から同時に反射さ
れる前記第1および第2の光を同時に観察する観察手段
とを具備することを特徴とするリード線の曲り検査装
置。
1. A first irradiation means for irradiating a lead wire, which is held in a fixed posture, with light of a first wavelength from a first direction, and the lead wire having the first wavelength. Second irradiation means for irradiating light of a different second wavelength from a second direction different from the first direction, and irradiation by the first and second irradiation means and simultaneously reflected from the lead wire. An apparatus for inspecting bending of a lead wire, comprising: an observing means for observing the first and second lights at the same time.
【請求項2】 一定の姿勢で保持されるリード線に対し
て光を一定の方向から照射する光照射手段と、これによ
って照射され、前記リード線によって反射される光を一
定の方向から観察する観察手段とを具備することを特徴
とするリード線の曲り検査装置。
2. A light irradiating means for irradiating a lead wire, which is held in a certain posture, with light from a certain direction, and observing the light radiated by the light emitting means and reflected by the lead wire from a certain direction. An apparatus for inspecting bending of a lead wire, comprising: an observing means.
【請求項3】 一定の姿勢で保持され、一定方向へ移動
するリード線に対し、一定の方向から光を照射する光照
射手段と、これによって照射され、前記リード線によっ
て正反射される光を光電変換するとともに、前記移動方
向とは直角な方向に配置された一次元センサとを具備す
ることを特徴とするリード線検査装置。
3. A light irradiating means for irradiating a lead wire, which is held in a certain posture and moves in a certain direction, with light from a certain direction, and light which is radiated by the light emitting means and specularly reflected by the lead wire. A lead wire inspection apparatus comprising: a one-dimensional sensor that is photoelectrically converted and is arranged in a direction perpendicular to the moving direction.
JP5253796A 1996-02-16 1996-02-16 Device for inspecting bend of lead wire Pending JPH09222310A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106066562A (en) * 2015-04-21 2016-11-02 康代有限公司 There is the inspection system of the angular coverage of extension

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106066562A (en) * 2015-04-21 2016-11-02 康代有限公司 There is the inspection system of the angular coverage of extension
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